WO2014049822A1

WO2014049822A1 - 吸着ノズルおよび部品装着方法

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Publication number: WO2014049822A1
Application number: PCT/JP2012/075048
Authority: WO
Inventors: 力茂手嶋; 岳史櫻山
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2012-09-28
Filing date: 2012-09-28
Publication date: 2014-04-03
Also published as: CN104663014B; JP6118329B2; JPWO2014049822A1; CN104663014A

Abstract

　それぞれが長方形状の被吸着面を有してその被吸着面の大きさにおいて互いに異なる２種の部品Ｐ１，Ｐ２を吸着して保持することが可能な吸着ノズル１０であって、(A)部品Ｐ１，Ｐ２の被吸着面に当接する吸着面５０が、２種の部品のうちの大きなものＰ２の被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されるとともに、自身の内側に、２種の部品のうちの小さなものＰ１の被吸着面が収まる寸法形状に形成され、(B)吸気通路として機能する貫通孔６０の吸着面５０への開口６２が、２種の部品のうちの小さなものＰ１の被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成する。したがって、本吸着ノズル１０を用いることで、例えば、１つの基板を製造するために必要な吸着ノズルの本数を減らすことが可能である。

Description

吸着ノズルおよび部品装着方法

　本発明は、部品を吸着して保持するための吸着ノズルに関し、その吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する方法に関する。

　回路基板には、多くの部品が装着される。それら回路基板に装着される部品には、大きさが異なる複数のものが存在し、それら大きさの異なる種々の部品を吸着して保持するために、それら部品の大きさごとに、複数の吸着ノズルが用意される。大きさが同じであっても種別の異なる部品が存在するため、種別の異なる部品の各々を安定して保持するために、例えば、下記の特許文献に記載された吸着ノズルが存在する。

特開平８－７８８８５号公報特許第４４６１６６０号公報

　例えば、部品装着機においては、装着する部品の大きさごとに、複数の吸着ノズルを用意する必要があり、さらに、作業中にノズルを交換する工程が必要となるため、製造工程における１サイクル当たりの時間の増加に繋がるという問題がある。つまり、吸着ノズルは、改良の余地を残しており、何らかの改良を加えることで、その吸着ノズルの実用性が向上するものと思われる。本発明は、そのような事情に鑑みてなされたものであり、実用性の高い吸着ノズルを提供するとともに、その吸着ノズルを用いた実用的な部品装着方法を提供することを課題とする。

　上記課題を解決するために、本発明の吸着ノズルは、それぞれが長方形状の被吸着面を有してその被吸着面の大きさにおいて互いに異なる２種の部品を吸着して保持することが可能な吸着ノズルであって、(A)部品の被吸着面に当接する吸着面が、２種の部品のうちの大きなものの被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されるとともに、自身の内側に、２種の部品のうちの小さなものの被吸着面が収まる寸法形状に形成され、(B)吸気通路として機能する貫通孔の吸着面への開口が、２種の部品のうちの小さなものの被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されたことを特徴とする。

　また、本発明の部品装着方法は、上記の吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する方法であって、(I)上記の吸着ノズルによって、２種の部品のうちの大きなものを吸着して保持し、基板に装着する大部品装着工程と、(II)上記の吸着ノズルによって、２種の部品のうちの小さなものを吸着して保持し、基板に装着する小部品装着工程とを含むことを特徴とする。

　本発明の吸着ノズルによれば、１本の吸着ノズルで２種の大きさの部品に対応できるため、例えば、１つの基板を製造するために必要な吸着ノズルの本数を減らすことが可能である。また、本発明の部品装着方法によれば、２種の大きさの部品のうちの１つの部品を装着する工程と、もう１つの部品を装着する工程との間に、吸着ノズルを交換する工程が必要ないため、製造時のサイクルタイムの短縮を図ることが可能である。

発明の態様

　以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、それらの発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から何某かの構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。なお、以下の各項において、（１）項ないし（７）項の各々が、請求項１ないし請求項７の各々に相当する。

　（１）それぞれが長方形状の被吸着面を有してその被吸着面の大きさにおいて互いに異なる２種の部品を吸着して保持することが可能な吸着ノズルであって、
　(a)前記部品の被吸着面に当接する吸着面と、(b)軸線方向に貫通して前記吸着面に開口し、吸気通路として機能する貫通孔とを有し、
　前記吸着面が、前記２種の部品のうちの大きなものの前記被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されるとともに、自身の内側に、前記２種の部品のうちの小さなものの前記被吸着面が収まる寸法形状に形成され、
　前記貫通孔の開口が、前記２種の部品のうちの小さなものの前記被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成された吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルは、大きさが異なる２種の部品に対応できるように、吸着面および吸気口の寸法形状が、対応する２種の部品に応じて定められている。先にも述べたように、１つの基板に装着させる部品は、種々の大きさのものがあるため、１つの基板を製造するためには、それら種々の部品に対応して複数の吸着ノズルを用意しておく必要がある。つまり、本項の吸着ノズルを用いることで、その基板を製造するのに必要な吸着ノズルの本数を減らすことが可能である。

　（２）前記吸着面が、一方向に延びた形状とされ、その吸着面の輪郭が、その吸着面の延びる方向である長手方向に直交する方向において対向するとともに互いに平行な２つの辺を有する形状とされ、
　前記貫通孔の開口が、前記長手方向と同じ方向に延びる長穴形状とされた(1)項に記載の吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルは、吸着面とその吸着面への貫通孔の開口とが、長方形状の被吸着面を有する部品と同じように、一方向に長い形状とされた態様であり、当該吸着ノズルは、その部品の長手方向と、自身の長手方向とを合わせた状態で吸着・保持するように用いられる。したがって、例えば、２種の部品のうちの小さいものを部品フィーダから離脱させる際に、その部品フィーダにおける部品の間隔をできる限り小さくすることが可能である。

　（３）前記貫通孔の開口が、
　前記長手方向の中間部に、その長手方向に直交する方向の寸法が、両端側の半分の寸法に形成された狭幅部を有する形状とされた(2)項に記載の吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルによれば、２種の部品のうちの小さいものが貫通孔に吸い込まれること、あるいは、吸着面に対して部品が傾いて吸着してしまうことを防止することが可能である。

　（４）前記貫通孔の開口が、
　前記長手方向の両端側の各々に、円形状の円形部を有し、それら２つの円形部の各々が、前記狭幅部によって繋がれた形状とされた(3)項に記載の吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルは、貫通孔の開口が円形部を有するため、部品の吸着面が丸みを帯びた形状のものであっても、円形部が部品の吸着面に隙間なく当接することができるため、そのような部品であっても、安定して吸着・保持することが可能である。

　（５）当該吸着ノズルが、
　小径部と、大径部と、それら小径部と大径部とを繋いでテーパ状に形成されたテーパ部とを含んで構成され、
　前記小径部の先端が、円柱を切り欠いたような形状とされることによって、その小径部の先端に、前記互いに平行な２つの辺を有する形状となる前記吸着面が形成され、
　前記大径部が、自身の断面形状の内側に、前記２種の部品のうちの大きなものが収まる寸法形状に形成された(2)項ないし(4)項のいずれか１つに記載の吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルは、その外形形状が具体化されている。本項に記載の吸着ノズルは、先端に向かうほど、断面形状が小さくなるような形状とされている。したがって、本項に記載の吸着ノズルは、型抜きによる製造を容易に行うことが可能である。また、本項に記載の吸着ノズルは、吸着保持した部品が撮像される場合に、２種のうちの大きな部品であっても、テーパ部が背景を形成するため、良好な画像を撮像することが可能である。

　（６）当該吸着ノズルが、
　前記被吸着面の大きさにおいて長辺が１．６ｍｍで短辺が０．８ｍｍの部品と、長辺が１．０ｍｍで短辺が０．５ｍｍの部品とを吸着して保持するためのものである(1)項ないし(5)項のいずれか１つに記載の吸着ノズル。

　本項に記載の吸着ノズルは、対応する２種の部品が特定されており、いわゆる１６０８部品と１００５部品と呼ばれるものに対応するように形成された態様である。

　（７）(1)項ないし(6)項のいずれか１つに記載の吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する方法であって、
　前記吸着ノズルによって、前記２種の部品のうちの大きなものを吸着して保持し、前記基板に装着する大部品装着工程と、
　前記吸着ノズルによって、前記２種の部品のうちの小さなものを吸着して保持し、前記基板に装着する小部品装着工程と
　を含む部品装着方法。

　本項に記載の態様は、カテゴリを部品の装着方法とした態様である。本項に記載の部品装着方法によれば、２種の部品に対応可能な上記の吸着ノズルを用いて、それら２種の部品の各々が、それぞれ基板に装着される。２種の部品の各々に対応して２種の吸着ノズルを用意する場合には、２種の吸着ノズルの一方から他方に交換する行程が必要であったが、本項に記載の部品装着方法によれば、その行程が必要ないため、１つの基板を製造するためのサイクルタイムの短縮を図ることが可能である。

請求可能発明の実施例である吸着ノズルを含んで構成される部品装着機の斜視図である。図１に示す装着ヘッドの１つを拡大して示す側面図である。請求可能発明の実施例である吸着ノズルの斜視図である。図３に示す吸着ノズルの平面図であり、その吸着ノズルの吸着面と部品の被吸着面との関係を示す図である。

　以下、請求可能発明を実施するための形態としての実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、前記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することができる。また、〔発明の態様〕の各項の説明に記載されている技術的事項を利用して、下記の実施例の変形例を構成することも可能である。

　図１には、請求可能発明の実施例である吸着ノズル１０を含んで構成される部品装着機２０の斜視図である。なお、その図１は、外装パネルを外した状態の部品装着機２０を示している。その部品装着機２０は、ベース２２と、そのベース２２に上架されたビーム２４と、ベース２２に配設された基板コンベア装置２６と、当該部品装着機２０の正面側においてベース２２に交換可能に取付られた複数の部品フィーダ２８と、基板コンベア装置２６と複数の部品フィーダ２８との間においてベース２２に固定された部品カメラ３０と、複数の部品フィーダ２８のいずれかから供給される部品を保持してその部品を基板Ｓに装着するための装着ヘッド３２と、ビーム２４に配設されて装着ヘッド３２を移動させるヘッド移動装置３４とを備えている。

　装着ヘッド３２は、インデックス型のヘッドであり、後に詳しく説明する吸着ノズル１０を８つ備えている。それら８つの吸着ノズル１０の各々は、負圧の供給（大気圧より圧力を低くすること）によって、部品Ｐを吸着保持し、負圧の供給の停止により、吸着保持した部品Ｐを自身から離脱させる。なお、８つの吸着ノズル１０の各々は、図２に示すように、装着ヘッド３２が有するノズルホルダ４０によって保持されており、特定の位置にある１つの吸着ノズル１０に対応するノズルホルダ４０を、装着ヘッド３２が有するノズル昇降機構（図示省略）によって昇降させることで、吸着ノズル１０を上下方向に移動させるように構成されている。

　吸着ノズル１０は、装着ヘッド３２が備えるノズルホルダ４０の下端に取り付けられ、着脱可能とされている。そのノズルホルダ４０は、装着位置の調整のために装着ヘッド３２が有するノズル回転機構（図示省略）によって軸線回りに回転させられるように構成されており、吸着ノズル１０は、そのノズルホルダ４０に対して相対回転不能に保持される。つまり、吸着ノズル１０は、ノズルホルダ４０と一体的に回転するように構成されている。なお、そのノズルホルダ４０は、概して筒状に形成されたものであり、その内部が、負圧を供給するための通路、つまり、エアを吸引するための吸気通路４２（図３参照）とされている。

　次に、本実施例の吸着ノズル１０について、図３および図４をも参照しつつ詳しく説明する。図３に、吸着ノズル１０の先端側の斜視図を、図４に、吸着ノズル１０と部品との関係を示す平面図を、それぞれ示す。図３に示すように、吸着ノズル１０は、小径部４４と、大径部４６と、それら小径部４４と大径部４６とを繋いでテーパ状に形成されたテーパ部４８とから構成されている。その小径部４４は、先端が、軸線を挟んで対向する両端側の各々を、抉りとったような形状とされており、その小径部４４の先端面が、部品の被吸着面に当接する吸着面５０とされる。吸着面５０は、図４に示すように、円形から、１本の中心線を挟んだ両端側の各々を、その中心線と平行に切り取ったような形状とされている。つまり、吸着面５０は、一方向に延びた形状とされ、その吸着面５０の輪郭が、その吸着面５０の延びる方向と直交する方向において対向するとともに互いに平行な２つの辺である平行辺５２を有する形状とされている。

　上述したように、小径部４４は、先端が、軸線を挟んで対向する両端側の各々を、抉りとったような形状とされている。そのため、小径部４４は、テーパ部４８に繋がる円柱部５４と、吸着面５０の形状と同じ断面形状で柱状のノズル先端部５６と、ノズル先端部５４における吸着面５０の平行辺５４から軸線方向に延びる２つの面と円柱部５６とを傾斜面で繋ぐ傾斜面部５８とから構成されている。

　また、吸着ノズル１０は、吸着面５０に開口して上記の吸気通路４２の一部として機能する貫通孔６０を有している。その貫通孔６０の開口、つまり、吸気口６２は、上記の吸着面５０の延びる方向と同じ方向に長い形状とされている。より詳しく言えば、その吸気口６２は、自身が延びる方向の両端側の各々に形成された円形状の円形部６４と、それら２つの円形部６４の各々をその円形部６４の外形の半分の幅で接続する狭幅部６６とを含んだ形状とされている。

　そして、本吸着ノズル１０は、互いに大きさが異なる２種の部品Ｐ１，Ｐ２とを吸着して保持することが可能とされている。部品Ｐ１は、吸着ノズル１０に吸着される被吸着面の寸法が長辺１．０ｍｍ，短辺０．５ｍｍとされた部品、いわゆる１００５部品である。また、部品Ｐ２は、吸着ノズル１０に吸着される被吸着面の寸法が長辺１．６ｍｍ，短辺０．８ｍｍとされた部品、いわゆる１６０８部品である。図４（ａ）には、吸着ノズル１０の吸着面５０と部品Ｐ１の被吸着面との関係を、図４（ｂ）には、吸着ノズル１０の吸着面５０と部品Ｐ２の被吸着面との関係を示している。なお、吸着ノズル１０は、それら部品Ｐ１，Ｐ２を吸着・保持する際には、装着ヘッド３２により、自身の長手方向が、部品Ｐ１，Ｐ２の長手方向とが一致する状態に、調整されるようになっている。

　その図４から分かるように、吸着面５０は、２種の部品Ｐ１，Ｐ２のうちの大きなものであるＰ２の被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されるとともに、自身の内側に、２種の部品Ｐ１，Ｐ２のうちの小さなものであるＰ１の被吸着面が収まる寸法形状に形成されている。また、吸気口６２は、２種の部品Ｐ１，Ｐ２のうちの小さなものであるＰ１の被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されている。

　本実施例の吸着ノズル１０は、吸着面５０および吸気口６２が上述のような形状とされているため、互いに大きさの異なる２種の部品Ｐ１，Ｐ２を、安定して吸着・保持することが可能とされてる。特に、２種の部品のうちの小さいものであるＰ１は、貫通孔５２に吸い込まれてしまう虞や、吸着面５０に対して部品が傾いて吸着してしまう虞があるが、本実施例の吸着ノズル１０は、吸気口６２が長手方向の中間部に狭幅部６６を有する形状とされているため、その小さい方の部品Ｐ１をも安定して吸着・保持することが可能である。また、図４に示したように、吸着面５０における上記の平行辺５２の間隔が、２種の部品のうちの大きな部品Ｐ２の短辺より僅かに小さくされるとともに、小さな部品Ｐ１の短辺より僅かに大きくされている。それにより、本実施例の吸着ノズル１０によれば、供給フィーダ２８における部品間隔が、大きな部品Ｐ２においては、ほとんど必要なく、小さな部品Ｐ１においても、大きな間隔を空けずに済むようになっている。

　なお、被吸着面が長方形状の部品は、概して直方体形状の角チップであり、その角チップには、抵抗とコンデンサとの２つの種類のものが存在する。それら角チップは、テープに貼り付けられた状態で部品フィーダ２８にセットされているため、吸着ノズル１０によって吸着して、そのテープから角チップを離脱させるのに充分な吸着力を有する。そして、上記の部品Ｐ１は、抵抗の角チップであり、抵抗の角チップは、コンデンサの角チップに比較して、直方体形状の８つの角が角張っている。つまり、抵抗の角チップは、コンデンサの角チップに比較して、テープから離脱させる際に角が引っ掛かりやすく、大きな吸着力が必要となる。さらに、抵抗の角チップの表面は、僅かに丸みを帯びた形状とされている。本実施例の吸着ノズル１０は、吸気口６２の両端部が、円形状に形成されているため、その円形部６４が、丸みを帯びた抵抗の被吸着面に隙間なく当接することができる。したがって、本実施例の吸着ノズル１０によれば、上記のような形状の部品であっても、安定して吸着・保持することが可能とされているのである。

　さらに、吸着ノズル１０は、図４（ｂ）に示すように、大径部４６の内側に、２種の部品のうちに大きなものであるＰ２が収まるような寸法形状とされている。したがって、本実施例の吸着ノズル１０は、部品Ｐ２を吸着保持した状態で、その部品をＰ２が撮像される際に、小径部４４の傾斜面部５８とテーパ部４８とがその部品Ｐ２の背景形成部材として機能するため、良好な画像を撮像することが可能である。

　次に、上記の吸着ノズル１０を含んで構成される部品装着機２０の作業工程について、簡単に説明する。まず、２種の部品のうちに小さなものである部品Ｐ１を、部品装着機２０において保持する際には、まず、装着ヘッド３２が、ヘッド移動装置３４により部品フィーダ２８の上方に位置させられる。そして、８つの吸着ノズル１０のうちの特定位置にある吸着ノズル１０がノズル昇降機構によって下降させられ、その吸着ノズルに負圧が供給されて、その部品フィーダ２８から供給される部品Ｐが吸着保持される。この吸着保持動作を、順次各吸着ノズル１０について繰り返し行うことで、８つの吸着ノズル１０の各々によって部品Ｐ１が吸着保持される。

　次いで、部品Ｐ１を基板Ｓに装着する際には、装着ヘッド３２が、ヘッド移動装置３４により、基板コンベア装置２６によって固定された基板Ｓにおける部品Ｐ１の装着位置の上方に位置させられる。そして、特定位置にある吸着ノズル１０がノズル昇降機構によって下降させられ、その吸着ノズル１０への負圧の供給が断たれて、その部品が装着位置に装着される。この装着動作を、順次各吸着ノズル１０について繰り返し行うことで、８つの吸着ノズル１０の各々によって吸着保持された部品Ｐ１が基板Ｓに装着される。

　続いて、２種の部品のうちに大きなものである部品Ｐ２が、部品Ｐ１と同様に、８つの吸着ノズル１０の各々によって吸着保持され、その吸着保持された部品Ｐ２が基板Ｓに装着される。つまり、吸着ノズル１０を利用した本実施例の部品装着方法は、２種の部品のうちの小さなものであるＰ１を吸着保持して基板Ｓに装着する小部品装着工程と、２種の部品のうちの大きなものであるＰ２を吸着保持して基板Ｓに装着する大部品装着工程とを含むものとされている。つまり、本実施例の部品装着方法は、２種の部品の各々に対応して２種の吸着ノズルを用意する場合にに比較して、２種の吸着ノズルの一方から他方に交換する行程に掛かる時間分だけ、１つの基板を製造するためのサイクルタイムが短縮されているのである。ちなみに、装着ヘッド３２が有する８つの吸着ノズル１０は、自動的に交換可能となっており、基板コンベア装置２６と複数の部品フィーダ２８との間に配置されたノズルストッカ７０に、上記２種の部品Ｐ１，Ｐ２と異なる大きさの２種の部品に対応可能な交換用の吸着ノズルが収容されている。

　以上のことから、本実施例の吸着ノズルを利用することで、１つの基板を製造するのに必要な吸着ノズルの種類を減らすことができる。さらに言えば、本実施例の吸着ノズルを利用することで、１つの部品装着機２０において基板Ｓに装着する部品の種類を増加させることが可能であるため、必要な部品装着機の数をも減らすことが可能である。

　１０：吸着ノズル　　２０：部品装着機　　２２：ベース　　２４：ビーム　　２６：基板コンベア装置　　２８：部品フィーダ　　３０：部品カメラ　　３２：装着ヘッド　　３４：ヘッド移動装置　　４０：ノズルホルダ　　４２：吸気通路　　４４：小径部　　４６：大径部　　４８：テーパ部　　５０：吸着面　　５２：平行辺　　５４：円柱部　　５６：ノズル先端部　　５８：傾斜面部　　６０：貫通孔　　６２：吸気口　　６４：円形部　　６６：狭幅部　　７０：ノズルストッカ　　Ｐ１：１００５部品（抵抗）　　Ｐ２：１６０８部品　　Ｓ：基板

Claims

　それぞれが長方形状の被吸着面を有してその被吸着面の大きさにおいて互いに異なる２種の部品を吸着して保持することが可能な吸着ノズルであって、
　(a)前記部品の被吸着面に当接する吸着面と、(b)軸線方向に貫通して前記吸着面に開口し、吸気通路として機能する貫通孔とを有し、
　前記吸着面が、前記２種の部品のうちの大きなものの前記被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成されるとともに、自身の内側に、前記２種の部品のうちの小さなものの前記被吸着面が収まる寸法形状に形成され、
　前記貫通孔の開口が、前記２種の部品のうちの小さなものの前記被吸着面の内側に収まる寸法形状に形成された吸着ノズル。
　前記吸着面が、一方向に延びた形状とされ、その吸着面の輪郭が、その吸着面の延びる方向である長手方向に直交する方向において対向するとともに互いに平行な２つの辺を有する形状とされ、
　前記貫通孔の開口が、前記長手方向と同じ方向に延びる長穴形状とされた請求項１に記載の吸着ノズル。
　前記貫通孔の開口が、
　前記長手方向の中間部に、その長手方向に直交する方向の寸法が、両端側の半分の寸法に形成された狭幅部を有する形状とされた請求項２に記載の吸着ノズル。
　前記貫通孔の開口が、
　前記長手方向の両端側の各々に、円形状の円形部を有し、それら２つの円形部の各々が、前記狭幅部によって繋がれた形状とされた請求項３に記載の吸着ノズル。
　当該吸着ノズルが、
　小径部と、大径部と、それら小径部と大径部とを繋いでテーパ状に形成されたテーパ部とを含んで構成され、
　前記小径部の先端が、切り欠かれたような形状とされることによって、その小径部の先端に、前記互いに平行な２つの辺を有する形状となる前記吸着面が形成され、
　前記大径部が、自身の断面形状の内側に、前記２種の部品のうちの大きなものが収まる寸法形状に形成された請求項２ないし請求項４のいずれか１つに記載の吸着ノズル。
　当該吸着ノズルが、
　前記被吸着面の大きさにおいて長辺が１．６ｍｍで短辺が０．８ｍｍの部品と、長辺が１．０ｍｍで短辺が０．５ｍｍの部品とを吸着して保持するためのものである請求項１ないし請求項５のいずれか１つに記載の吸着ノズル。
　請求項１ないし請求項６のいずれか１つに記載の吸着ノズルを用いて部品を基板に装着する方法であって、
　前記吸着ノズルによって、前記２種の部品のうちの大きなものを吸着して保持し、前記基板に装着する大部品装着工程と、
　前記吸着ノズルによって、前記２種の部品のうちの小さなものを吸着して保持し、前記基板に装着する小部品装着工程と
　を含む部品装着方法。