WO2014013896A1 - 積層コイル部品の製造方法 - Google Patents

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浜田　邦彦
前田　英一
謙治 河端
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株式会社村田製作所
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Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a multilayer coil component, and more particularly to a method for manufacturing a multilayer coil component such as a power inductor provided with a magnetic layer mainly composed of a magnetic metal material.
  • Patent Document 1 discloses that a metal magnetic alloy powder containing Cr, Si, and Fe is made of glass having SiO 2 , B 2 O 3 , ZnO as main components and a softening temperature of 600 ⁇ 50 ° C. Add the volume so that the volume is less than 10% of the volume of the metal magnetic alloy powder, using the metal magnetic body coated with the glass surface of the metal magnetic alloy powder to form a molded body incorporating a coil, There has been proposed a method of manufacturing an electronic component in which the compact is fired at 700 ° C. or higher and below the melting point of the conductor material of the coil in a non-oxidizing atmosphere of vacuum or oxygen-free or low oxygen partial pressure.
  • Patent Document 2 includes a component body (magnetic ferrite body) made of a magnetic ferrite material and an internal conductor embedded in the component body so as to form a coil.
  • a chip ferrite component in which at least a part of a conductor is disposed so as to be exposed to the outside of a component body, and a portion exposed to the outside is covered with a nonmagnetic material.
  • JP 2010-62424 A (Claim 1) JP 2001-44039 A (Claims 1 and 2)
  • Patent Document 1 since the component body is formed of a metal-based magnetic material, the saturation magnetic flux density Bs is smaller than that of a chip ferrite component in which the component body is formed of a ferrite-based magnetic material as in Patent Document 2. It is considered that a laminated coil component having a high direct current superimposition characteristic with a small inductance change rate even when a large current is passed can be obtained.
  • this type of laminated coil component is generally manufactured by a so-called multi-cavity method from the viewpoint of ensuring good productivity.
  • the multi-cavity method is to produce an assembly of laminates to be a component body after firing using a lamination method or the like, and to cut the laminate block that is an assembly of the laminates vertically and horizontally.
  • a large number of laminates are obtained from the laminate block.
  • By firing this multilayer body a large number of component bodies can be obtained from one multilayer body block, and it is possible to produce multilayer coil components with high efficiency by forming external electrodes on the component body. It becomes.
  • Patent Document 1 when the multilayer coil component is manufactured by using the multi-cavity method as described above, there are the following problems.
  • Patent Document 1 since the metal magnetic body with a built-in coil is formed of a metal-based magnetic material whose surface is covered with a glass material, the metal magnetic body is damaged when the laminate block is cut, There is a possibility that the glass material covering the metal-based magnetic material is lost and the surface of the metal-based magnetic material is exposed. And since this metallic magnetic material is inferior in corrosion resistance, when the metallic magnetic material is exposed on the surface, the exposed part may corrode and rust may be generated, leading to deterioration of characteristics.
  • the saturation magnetic flux density Bs is lower than that of the metal-based magnetic material, although the specific resistance is high and the eddy current loss is small even in the high-frequency region. , Easy to magnetic saturation.
  • Patent Document 2 a part of the component body is exposed to the outside, and the exposed portion is covered with a nonmagnetic material to form an open magnetic circuit structure, thereby improving the DC superposition characteristics.
  • Patent Document 2 cannot obtain a good direct current superposition characteristic like a metal-based magnetic material due to the material characteristics. It is difficult to obtain superposition characteristics.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a laminated coil component suitable for a power inductor with improved reliability without impairing the DC superposition characteristics.
  • a method for manufacturing a laminated coil component according to the present invention includes a magnetic material containing at least a glass material so that conductor layers containing a conductive material are electrically connected to form a coil pattern.
  • the dividing step divides the multilayer block so that at least a part of the conductor layer is exposed from the side surface of the multilayer body.
  • the laminate block producing step includes a magnetic paste producing step of producing a magnetic paste mainly comprising a magnetic metal material containing at least a glass material, and the magnetic paste producing step.
  • the magnetic paste is preferably applied to the side surface of the laminate.
  • the magnetic paste preparation step includes a magnetic material preparation step in which a surface of the magnetic metal material is coated with the glass material to prepare a magnetic material, and the magnetic material preparation step. It is preferable to include a pasting step for pasting the body material.
  • a magnetic metal material containing at least a glass material is a main component so that conductor layers containing a conductive material are electrically connected to form a coil pattern.
  • the component body is mainly composed of a magnetic metal material
  • the direct current superposition characteristics are better than when the component body is made of a ferrite-based material, and therefore the direct current superposition characteristics are good and the reliability is good. Therefore, it is possible to obtain a laminated coil component suitable for a power inductor having the characteristics.
  • FIG. 1 It is a perspective view which shows one Embodiment of the laminated coil components manufactured with the manufacturing method which concerns on this invention. It is a schematic cross section of FIG. It is a perspective view which shows one Embodiment of a laminated body block. It is a disassembled perspective view of a laminated body. It is a perspective view of a laminated body. It is a perspective view of the laminated body in which the magnetic material application part was formed.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a laminated coil component according to the present invention
  • FIG. 2 is a schematic sectional view of FIG.
  • This multilayer coil component is composed of a component element body 1, a coil conductor 2 incorporated in the component element body 1, and external conductors 3a and 3b formed at both ends of the component element body 1.
  • the coil conductor 2 has an internal conductor 4 (4a to 4o) formed so as to have a predetermined conductor pattern electrically connected in series via a via conductor (not shown). And wound in a coil shape.
  • the lead portion 6 of the internal conductor 4o is electrically connected to one external electrode 3a
  • the lead portion 7 of the internal conductor 4a is electrically connected to the other external electrode 3b. Yes.
  • the component body 1 is formed on a magnetic body portion 8 containing a magnetic metal material as a main component and a glass material as a subcomponent, and a side portion of the magnetic body portion 8. And magnetic material applying portions 9a and 9b made of a magnetic material.
  • the magnetic metal material is not particularly limited as long as it is a metal material having magnetism.
  • Fe—Si series containing Si as a main component and containing Si Fe—Si—Cr containing Si and Cr.
  • Various crystalline or amorphous magnetic metal materials such as Fe—Ni—containing Ni, Fe—Si—Al containing Si, and Al can be used.
  • the glass material is not particularly limited, and various glass materials such as Si-B, Si-B-alkali metal, Si-B-Zn, and water glass can be used.
  • the magnetic metal material and the glass material are mixed, and the surface of the magnetic metal material is coated with the glass material to produce a magnetic material.
  • the method for coating the surface of the magnetic metal material with this glass material is not particularly limited, and the surface of the magnetic metal material can be coated with the glass material using, for example, a mechano-fusion method. That is, a magnetic metal material and a glass material are mixed and mechanical energy is applied to the mixture to cause a mechanochemical reaction, whereby the surface of the magnetic metal material can be coated with the glass material.
  • the blending ratio of the magnetic metal material and the glass material may be such that the magnetic metal material forms the main component, and for example, the blending is performed so that the content of the magnetic metal material is 70 to 90% by weight.
  • an additive such as an organic solvent, an organic binder, a dispersing agent and a plasticizer is added to the magnetic material and kneaded to prepare a magnetic paste.
  • internal conductor paste a conductive paste for internal conductor (hereinafter referred to as “internal conductor paste”).
  • FIG. 3 is a perspective view of the laminate block.
  • the laminate block 10 is an assembly of laminates 11 and is produced on a base film (not shown) such as polyethylene terephthalate (PET) using a lamination method. And this laminated body block 10 is provided with the cutting lines 15 and 16 in the laminated body block 10 so that one laminated body 11 may form the one component body 1 after baking. And the laminated body block 10 is cut
  • a base film not shown
  • PET polyethylene terephthalate
  • FIG. 4 is an exploded perspective view of the laminate 11.
  • a magnetic paste is applied on a base film and dried, thereby producing magnetic sheets 12a and 12b.
  • an inner conductor paste is applied to the surface of the magnetic sheet 12b by a screen printing method or the like and dried to form a conductor layer 13a having a predetermined pattern.
  • a magnetic paste is applied onto the magnetic sheet 12b on which the conductor layer 13a is formed and dried, thereby producing the magnetic sheet 12c.
  • an inner conductor paste is applied to the surface of the magnetic sheet 12c by a screen printing method or the like, and dried to form a conductor layer 13b having a predetermined pattern.
  • the via hole 14a is formed so that the conductor layer 13b and the conductor layer 13a can be electrically connected.
  • magnetic sheets 12d to 12q and conductor layers 13c to 13o are sequentially formed by using the magnetic paste and the internal conductor paste in the same manner and procedure.
  • Via holes 14b to 14n are formed so that the conductive layers of the first and second conductive layers are conductive.
  • a large number of laminates 11 are integrally formed in a matrix on the base film, and a laminate block 10 is formed.
  • the laminated block 10 is cut along the cutting lines 15 and 16, and the laminated body 11 as shown in FIG. 5 is formed.
  • the laminated body 11 to which this magnetic material has been applied is placed in a pod and heated at 300 to 500 ° C. in a nitrogen atmosphere.
  • a binder removal treatment is performed at a temperature, and then a firing treatment is performed at a temperature of 900 to 1000 ° C. in a nitrogen atmosphere, whereby the component body 1 is obtained.
  • FIG. 6 is a perspective view of the component body 1, and magnetic material applying portions 9 a and 9 b are formed on the side surface portion of the magnetic body main body portion 8.
  • an external electrode paste mainly composed of Ag or the like is applied to both end portions of the component element body 1 and subjected to a baking treatment to form the external electrodes 3a and 3b, whereby a laminated coil component is formed.
  • a magnetic metal material containing at least a glass material is a main component so that the conductor layers 13a to 13o containing a conductive material are electrically connected to form a coil pattern.
  • the laminated body 11 is fired to produce the component body 1, and the glass material contained in the conductor layers 13a to 13o when the laminated body block 10 is divided in the dividing step. Damaged, even missing, since the magnetic material is applied to the side face of the stack 11, the component element assembly 1 after firing never magnetic metal material having poor corrosion resistance is exposed surfaces. That is, even when the glass material covering the surface of the magnetic metal material is damaged or lost during cutting in the dividing step, the magnetic metal material is covered with the magnetic material, so that rust is generated on the coil conductor 2. It can be avoided.
  • the magnetic metal material is not exposed on the surface in this way, it is possible to obtain a laminated coil component that does not cause rusting due to contact of the conductor portion with the atmosphere and does not cause deterioration of characteristics. .
  • the component body 1 is mainly composed of a magnetic metal material, the direct current superimposition characteristics are better than when the component body 1 is formed of a ferrite-based material, and thus the direct current superposition characteristics are good and good. It is possible to obtain a laminated coil component suitable for a power inductor having high reliability.
  • the laminated block 10 is provided with the cutting lines 15 and 16 so that one laminated body 11 forms one component body 1 after firing, and is laminated along the cutting lines 15 and 16.
  • the body block 10 is cut, it is also preferable to divide the laminate block 10 so that at least a part of the conductor layers 13 a to 13 o is exposed from the side surface of the laminate 11. In this case, at least a part of the conductor layers 13a to 13o is exposed from the side surface portion of the multilayer body 11.
  • the magnetic material is applied to the side surface portion, rust does not occur and much more.
  • a multilayer coil component suitable for a miniaturized power inductor can be obtained.
  • an Fe—Si—Cr magnetic metal powder having an Fe: 92.0 wt%, Si: 3.5 wt%, Cr: 4.5 wt%, and an average particle diameter of 6 ⁇ m was prepared.
  • the magnetic metal material and the glass material are mixed so that the magnetic metal powder is 88% by weight and the glass powder is 12% by weight, and the surface of the magnetic metal material is coated with the glass material using a mechano-fusion method. Thus, a magnetic material was produced.
  • a magnetic paste is applied on the PET film and dried, and this is repeated a predetermined number of times to produce a magnetic sheet, and then the inner conductor paste is applied to the surface of the magnetic sheet using a screen printing method. And dried to form a conductor layer having a predetermined pattern.
  • a magnetic paste was applied onto the magnetic sheet on which the conductor layer was formed and dried, thereby producing a magnetic sheet.
  • a via hole was formed in a predetermined portion of the magnetic sheet.
  • an inner conductor paste was applied to the surface of the magnetic sheet using a screen printing method and dried to form a conductor layer having a predetermined pattern. At this time, it was made to conduct with the conductor layer formed first through the via hole.
  • a magnetic paste was applied to the side surface of the laminate and dried to obtain a laminate on which a magnetic material was applied.
  • an external electrode paste mainly composed of Ag or the like is applied to both ends of the component element body using the dipping method, dried in a nitrogen atmosphere at a temperature of 100 ° C. for 10 minutes, and then at a temperature of 780 ° C.
  • the baking process was performed for 15 minutes, the external electrode was formed, and the laminated coil component was produced by this (Example sample).
  • a laminate block is manufactured by the same method and procedure as described above, and then the laminate block is cut and divided into laminates, and a magnetic paste is applied to the side surface of the laminate.
  • the laminated coil part which made it by baking without performing this and made this into a component element body (comparative sample) was produced.
  • Rust can be avoided on the outer surface, and DC superposition characteristics are good, even when a multi-layered coil component with a component body consisting mainly of a magnetic metal material is manufactured. And realizes highly reliable laminated coil parts.
  • Coil conductor 10 Laminated body block 11 Laminated bodies 12a to 12q Magnetic sheet (magnetic layer) 13a to 13o Conductor layer

Abstract

　導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、ガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、積層体ブロックを各積層体毎に切断し分割する分割工程と、磁性金属材料を含む磁性材料を積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体１を作製する焼成工程とを含んでいる。部品素体１は、磁性金属材料を主成分とし、副成分としてガラス材料を含有した磁性体本体部８と、該磁性体本体部８の側面部に形成された磁性材料からなる磁性材料付与部９ａ、９ｂとで構成される。これにより直流重畳特性を損なうことなく、信頼性の向上したパワーインダクタに好適な積層コイル部品の製造方法を実現する。

Description

積層コイル部品の製造方法
　本発明は、積層コイル部品の製造方法に関し、より詳しくは磁性金属材料を主成分とする磁性体層を備えたパワーインダクタ等の積層コイル部品の製造方法に関する。
　従来より、大電流が流れる電源回路やＤＣ／ＤＣコンバータ回路用のパワーインダクタ等に使用される電子部品としては、磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆した金属系磁性材料を使用して部品素体を形成し、コイル導体を前記部品素体に内蔵した積層コイル部品が知られている。
　例えば、特許文献１には、Ｃｒ、Ｓｉ、及びＦｅを含有した金属磁性合金粉末に、ＳｉＯ２、Ｂ２Ｏ３、ＺｎＯを主成分とし、かつ、軟化温度が６００±５０℃のガラスをその体積が該金属磁性合金粉末の体積の１０％未満になる様に添加して、該金属磁性合金粉末の表面を該ガラスで被覆した金属磁性体を用いてコイルを内蔵した成形体を形成し、該成形体が、真空、又は無酸素あるいは低酸素分圧の非酸化雰囲気中で７００℃以上、該コイルの導体材料の融点未満の温度で焼成した電子部品の製造方法が提案されている。
　この特許文献１では、上記製造方法を使用することによって、コイルの抵抗を高めることなく、絶縁抵抗を高くすることができ、これにより直流重畳特性が良好で磁気損失の少ないパワーインダクタを得ることが可能である。
　一方、フェライト系磁性材料を使用した積層コイル部品も、従来より、各種提案されている。
　例えば、特許文献２には、磁性フェライト材で構成される部品素体（磁性フェライト本体）と、該部品素体の内部にコイルを構成するように埋設された内部導体とを有し、該内部導体の少なくとも一部が部品素体の外部に露出するように配され、外部に露出した部分が、非磁性材料で被覆されたチップフェライト部品が提案されている。
　この特許文献２では、上記構成を有することにより、開磁路構造となることから、大電流下で安定したインダクタンスやインピーダンスを有するチップフェライト部品を得ることが可能となる。
特開２０１０－６２４２４号公報（請求項１） 特開２００１－４４０３９号公報（請求項１、２）
　特許文献１は、部品素体が金属系磁性材料で形成されていることから、特許文献２のように部品素体がフェライト系磁性材料で形成されたチップフェライト部品と比べ、飽和磁束密度Ｂｓが高く磁気飽和し難く、したがって大電流を流してもインダクタンスの変化率が小さい直流重畳特性の良好な積層コイル部品が得られると考えられる。
　一方、この種の積層型コイル部品は、良好な生産性を確保する観点から、いわゆる多数個取り方式で作製されるのが一般的である。
　多数個取り方式とは、焼成後に部品素体となる積層体の集合体を積層法等を使用して作製し、この積層体の集合体である積層体ブロックを縦横に切断し、１個の積層体ブロックから多数の積層体を得る方式である。そして、この積層体を焼成することにより１個の積層体ブロックから多数の部品素体が得られ、該部品素体に外部電極を形成することにより積層コイル部品を高効率で作製することが可能となる。
　しかしながら、特許文献１では、積層コイル部品を上述のような多数個取り方式を使用して製造した場合、以下のような問題点があった。
　すなわち、特許文献１では、コイルを内蔵した金属磁性体が、表面をガラス材料で被覆した金属系磁性材料で形成されているため、積層体ブロックを切断する際に、金属磁性体が損傷し、金属系磁性材料を被覆しているガラス材料が欠落し、金属系磁性材料が表面露出するおそれがある。そして、この金属系磁性材料は耐食性に劣るため、該金属系磁性材料が表面露出すると、露出部分が腐食し、錆が発生して特性劣化を招くおそれがある。
　一方、特許文献２のように部品素体がフェライト系磁性材料で形成されている場合、比抵抗が高く高周波領域でも渦電流損失は小さいものの、金属系磁性材料に比べて飽和磁束密度Ｂｓが低く、磁気飽和し易い。
　そこで、特許文献２では、部品素体の一部を外部に露出させ、この外部に露出した部分を非磁性材料で被覆して開磁路構造とし、これにより直流重畳特性を向上させようとしている。
　しかしながら、特許文献２で使用しているフェライト系磁性材料は、材料特性が原因で金属系磁性材料のような良好な直流重畳特性を得ることができず、このためパワーインダクタに必要な所望の直流重畳特性を得るのは困難である。
　本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、直流重畳特性を損なうことなく、信頼性の向上したパワーインダクタに好適な積層コイル部品の製造方法を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために本発明に係る積層コイル部品の製造方法は、導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むことを特徴としている。
　これにより分割工程で積層体ブロックを分割した際に導体層に含まれるガラス材料が損傷して欠落しても、積層体の側面部に磁性材料を付与することから、焼成後の部品素体は導体部分が表面露出することがない。そして、このように導体部分が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接することもなく、したがって錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。
　また、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記分割工程は、前記導体層の少なくとも一部が前記積層体の側面部から表面露出するように前記積層体ブロックを分割するのが好ましい。
　これにより導体層の少なくとも一部が積層体の側面部から表面露出しても、側面には磁性材料が付与されることから、錆が発生することもなく、より一層の小型化されたパワーインダクタに好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
　また、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記積層体ブロック作製工程が、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体ペーストを作製する磁性体ペースト作製工程と、前記磁性体ペーストに成形加工を施してシート状の磁性体層を作製する磁性体層作製工程と、前記導電性材料を含有した導電性ペーストを前記磁性体層に塗布して所定の導体パターンを有する導体層を形成する導体層形成工程と、前記導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、前記導体層の形成された磁性体層を積層する積層工程とを含み、前記磁性材料付与工程は、前記磁性体ペーストを前記積層体の側面部に塗布するのが好ましい。
　さらに、本発明の積層コイル部品の製造方法は、前記磁性体ペースト作製工程が、前記磁性金属材料の表面を前記ガラス材料で被覆して磁性体原料を作製する磁性体原料作製工程と、前記磁性体原料をペースト化するペースト化工程とを含むのが好ましい。
　これにより分割工程での切断時に、磁性金属材料の表面を被覆するガラス材料が損傷し欠落しても、磁性金属材料は磁性材料で被覆されることとなり、内部導体に錆が発生するのを回避することができる。
　本発明の積層コイル部品の製造方法によれば、導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むので、分割工程で積層体ブロックを分割した際に導体層に含まれるガラス材料が損傷して欠落しても、積層体の側面部に磁性材料が付与されることから、焼成後の部品素体は耐食性に劣る磁性金属材料が表面露出することがない。そして、このように導体部分が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接して錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。
　しかも、部品素体が磁性金属材料を主成分とすることから、部品素体がフェライト系材料で形成された場合に比べ直流重畳特性が良好であり、したがって直流重畳特性が良好でかつ良好な信頼性を有するパワーインダクタ等に好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
本発明に係る製造方法で製造された積層コイル部品の一実施の形態を示す斜視図である。 図１の模式断面図である。 積層体ブロックの一実施の形態を示す斜視図である。 積層体の分解斜視図である。 積層体の斜視図である。 磁性材料塗布部が形成された積層体の斜視図である。
　次に、本発明の実施の形態を詳説する。
　図１は、本発明に係る積層コイル部品の一実施の形態を示す斜視図であり、図２は図１の模式断面図である。
　この積層コイル部品は、部品素体１と、部品素体１に内蔵されたコイル導体２と、部品素体１の両端部に形成された外部導体３ａ、３ｂとから構成されている。
　また、コイル導体２は、図２に示すように、所定の導体パターンを有するように形成された内部導体４（４ａ～４ｏ）が、ビア導体（不図示）を介して電気的に直列に接続され、コイル状に巻回されている。そして、本積層コイル部品は、内部導体４ｏの引き出し部６が一方の外部電極３ａと電気的に接続されると共に、内部導体４ａの引き出し部７が他方の外部電極３ｂと電気的に接続されている。
　また、部品素体１は、図１に示すように、磁性金属材料を主成分とし、副成分としてガラス材料を含有した磁性体本体部８と、該磁性体本体部８の側面部に形成された磁性材料からなる磁性材料付与部９ａ、９ｂとで構成されている。
　次に、上記積層コイル部品の製造方法を詳述する。
　まず、磁性金属材料及びガラス材料を用意する。
　磁性金属材料としては、磁性を有する金属材料であれば特に限定されるものではなく、例えば、Ｆｅを主成分とし、Ｓｉを含有したＦｅ－Ｓｉ系、Ｓｉ、Ｃｒを含有したＦｅ－Ｓｉ－Ｃｒ系、Ｎｉを含有したＦｅ－Ｎｉ系、Ｓｉ、Ａｌを含有したＦｅ－Ｓｉ－Ａｌ系等の結晶系又は非晶質系の各種磁性金属材料を使用することができる。
　また、ガラス材料についても、特に限定されるものではなく、Ｓｉ－Ｂ系、Ｓｉ－Ｂ－アルカリ金属系、Ｓｉ－Ｂ－Ｚｎ系、水ガラス等、各種ガラス材料を使用することができる。
　そして、これら磁性金属材料及びガラス材料を混合し、磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆し、磁性体原料を作製する。
　このガラス材料の磁性金属材料表面への被覆方法についても、特に限定されるものではなく、例えばメカノフュージョン法等を使用して磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆することができる。すなわち、磁性金属材料とガラス材料とを混合し、この混合物に機械的エネルギーを負荷してメカノケミカル的な反応を生じさせ、これにより磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆させることができる。
　尚、磁性金属材料とガラス材料との配合比率は、磁性金属材料が主成分を形成していればよく、例えば、磁性金属材料の含有量が７０～９０重量％となるように配合される。
　そして、この磁性体原料に有機溶剤、有機バインダ、分散剤や可塑剤等の添加剤を加えて混練し、これにより磁性体ペーストを作製する。
　また、Ａｇ粉末等の導電性粉末にワニスや有機溶剤を加えて混練し、これにより内部導体用導電性ペースト（以下、「内部導体ペースト」という。）を作製する。
　次に、前記磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、積層体ブロックを作製する。
　図３は、積層体ブロックの斜視図である。
　この積層体ブロック１０は、積層体１１の集合体であって、積層法を使用し、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）等のベースフィルム（不図示）上に作製される。そして、この積層体ブロック１０は、１個の積層体１１が焼成後には１個の部品素体１を形成するように、積層体ブロック１０に切断線１５、１６が設けられている。そして、ダイサーや切断刃等の切断具により切断線１５、１６に沿って積層体ブロック１０を切断し、これにより焼成後に部品素体１となる積層体１１が形成される。
　次に、この積層体１１の作製方法を説明する。
　図４は、積層体１１の分解斜視図である。
　まず、ベースフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート１２ａ、１２ｂを作製する。次いで該磁性体シート１２ｂの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層１３ａを形成する。
　次いで、導体層１３ａが形成された磁性体シート１２ｂ上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート１２ｃを作製する。次いで該磁性体シート１２ｃの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層１３ｂを形成する。尚、磁性体シート１２ｃの形成時には、導体層１３ｂと導体層１３ａとが導通可能となるようにビアホール１４ａを形成しておく。
　以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート１２ｄ～１２ｑ、導体層１３ｃ～１３ｏを順次形成し、同様にして磁性体シート１２ｄ～１２ｐの形成時には、上下の導体層が導通するようにビアホール１４ｂ～１４ｎを形成しておく。これによりベースフィルム上には積層体１１がマトリックス状に一体的に多数作製され、積層体ブロック１０が形成される。
　そして、上述したように切断具を使用し、積層ブロック１０を切断線１５、１６に沿って切断し、図５に示すような積層体１１が形成される。
　次いで、積層体１１の側面部に磁性体ペーストを塗布して磁性材料を付与した後、この磁性材料が付与された積層体１１を匣（さや）に入れ、窒素雰囲気下、３００～５００℃の温度で脱バインダ処理を行ない、その後窒素雰囲気下、９００～１０００℃の温度で焼成処理を行い、これにより部品素体１を得る。
　図６は部品素体１の斜視図であって、磁性体本体部８の側面部に磁性材料付与部９ａ、９ｂが形成されている。
　そしてその後、部品素体１の両端部にＡｇ等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、焼付処理を行って外部電極３ａ、３ｂを形成し、これにより積層コイル部品が形成される。
　このように本実施の形態では、導電性材料を含有した導体層１３ａ～１３ｏ同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体シート１２ａ～１２ｑ（磁性体層）と前記導体層１３ａ～１３ｏとを交互に積層し、多数の積層体１１の集合体である積層体ブロック１０を作製する積層体ブロック作製工程と、前記積層体ブロック１０を各積層体１１毎に切断し分割する分割工程と、前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体１１の側面部に付与する磁性材料付与工程と、前記磁性材料が付与された積層体１１を焼成し、部品素体１を作製する焼成工程とを含むので、分割工程で積層体ブロック１０を分割した際に導体層１３ａ～１３ｏに含まれるガラス材料が損傷し、欠落しても、積層体１１の側面部に磁性材料が付与されることから、焼成後の部品素体１は耐食性に劣る磁性金属材料が表面露出することがない。すなわち、分割工程における切断時に、磁性金属材料の表面を被覆するガラス材料が損傷し、欠落しても、磁性金属材料は磁性材料で被覆されることから、コイル導体２に錆が発生するのを回避することができる。
　そして、このように磁性金属材料が表面露出することがないことから、導体部分が大気に接して錆が発生することもなく、特性劣化を招くことのない積層コイル部品を得ることが可能となる。
　しかも、部品素体１が磁性金属材料を主成分とすることから、部品素体１がフェライト系材料で形成された場合に比べ直流重畳特性が良好であり、したがって直流重畳特性が良好でかつ良好な信頼性を有するパワーインダクタ等に好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
　尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記分割工程は、１個の積層体１１が焼成後には１個の部品素体１を形成するように、積層体ブロック１０に切断線１５、１６を設け、切断線１５、１６に沿って積層体ブロック１０を切断しているが、導体層１３ａ～１３ｏの少なくとも一部が積層体１１の側面部から表面露出するように前記積層体ブロック１０を分割するのも好ましい。この場合は、導体層１３ａ～１３ｏの少なくとも一部が積層体１１の側面部から表面露出するが、側面部には磁性材料が付与されることから、錆が発生することもなく、より一層の小型化されたパワーインダクタに好適な積層コイル部品を得ることが可能となる。
　次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
　磁性金属材料として、Ｆｅ：９２.０重量％、Ｓｉ：３.５重量％、Ｃｒ：４.５重量％、平均粒径が６μｍのＦｅ－Ｓｉ－Ｃｒ系磁性金属粉末を用意した。
　また、ガラス材料として、ＳｉＯ２：７９重量％、Ｂ２Ｏ３：１９重量％、Ｋ２Ｏ：２重量％、軟化点が７６０℃、平均粒径が１μｍのホウケイ酸アルカリガラスのガラス粉末を用意した。
　次いで、磁性金属粉末：８８重量％、ガラス粉末：１２重量％となるように、前記磁性金属材料及び前記ガラス材料を混合し、メカノフュージョン法を使用して磁性金属材料の表面をガラス材料で被覆させ、磁性体原料を作製した。
　次に、この磁性体原料１００重量部に対し、有機溶剤としてのジヒドロタービニルアセテートを２６重量部、有機バインダとしてのエチルセルロースを３重量部、分散剤を１重量部、可塑剤を１重量部となるように秤量して混練し、磁性体ペーストを作製した。
　また、Ａｇ粉末、ワニス、及び有機溶剤を含有した内部導体ペーストを用意した。
　次いで、ＰＥＴフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これを所定回数繰り返して磁性体シートを作製し、次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層を形成した。
　次いで、導体層が形成された磁性体シート上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シートを作製した。このとき、磁性体シートの所定箇所にビアホールを形成した。次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層を形成した。このとき、ビアホールを介して最初に形成した導体層と導通するようにした。
　以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート、及び導体層を順次形成し、これにより図４に示すような導体パターンを有する積層体の集合体、すなわち積層体ブロックを形成した。
　そして、ダイサーを使用して積層体ブロックを切断し、これにより積層体を得た。
　次いで、積層体の側面部に磁性体ペーストを塗布し、乾燥させて磁性材料が塗布された積層体を得た。
　そして、この積層体を匣（さや）に入れて、窒素雰囲気中４００℃の温度で２時間加熱して脱バインダ処理を行った後、窒素雰囲気中、９００℃の温度で９０分間焼成処理を行い、部品素体を得た。
　次いで、浸漬法を使用して部品素体の両端部にＡｇ等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、窒素雰囲気中、１００℃の温度で１０分間乾燥した後、７８０℃の温度で１５分間焼付処理を行い、外部電極を形成し、これにより積層コイル部品を作製した（実施例試料）。
　また、比較例として、上述と同様の方法・手順で積層体ブロックを作製し、その後、該積層体ブロックを切断して積層体毎に分割し、該積層体の側面部に磁性体ペーストを塗布することなく焼成し、これを部品素体とした積層コイル部品を作製した（比較例試料）。
　次に、このようにして作製した実施例試料及び比較例試料の各試料１００個について、相対湿度９５％ＲＨ、温度４０℃に保持した恒温槽に５００時間放置し、各試料が錆などによって変色していないか否かを光学顕微鏡で観察した。
　その結果、比較例試料では１００個中、６０個の試料で外観が変色していたのに対し、実施例試料では、変色していた試料は皆無であることが確認された。
　磁性金属材料を主成分とする部品素体を備えた積層コイル部品を多数個取り方式で作製する場合であっても、外表面に錆が生じるのを回避することができ、直流重畳特性が良好で信頼性に優れた積層コイル部品を実現できる。
２　コイル導体
１０　積層体ブロック
１１　積層体
１２ａ～１２ｑ　磁性体シート（磁性体層）
１３ａ～１３ｏ　導体層

Claims (4)

  1. 　導電性材料を含有した導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体層と前記導体層とを交互に積層し、多数の積層体の集合体である積層体ブロックを作製する積層体ブロック作製工程と、
    　前記積層体ブロックを前記各積層体毎に切断し分割する分割工程と、
    　前記磁性金属材料を含む磁性材料を前記積層体の側面部に付与する磁性材料付与工程と、
    　前記磁性材料が付与された積層体を焼成し、部品素体を作製する焼成工程とを含むことを特徴とする積層コイル部品の製造方法。
  2. 　前記分割工程は、前記導体層の少なくとも一部が前記積層体の側面部から表面露出するように前記積層体ブロックを分割することを特徴とする請求項１記載の積層コイル部品の製造方法。
  3. 　前記積層体ブロック作製工程は、少なくともガラス材料を含有した磁性金属材料を主成分とする磁性体ペーストを作製する磁性体ペースト作製工程と、
    　前記磁性体ペーストに成形加工を施してシート状の磁性体層を作製する磁性体層作製工程と、
    　前記導電性材料を含有した導電性ペーストを前記磁性体層に塗布して所定の導体パターンを有する導体層を形成する導体層形成工程と、
    　前記導体層同士が電気的に接続されてコイルパターンを形成するように、前記導体層の形成された磁性体層を積層する積層工程とを含み、
    　前記磁性材料付与工程は、前記磁性体ペーストを前記積層体の側面部に塗布することを特徴とする請求項１又は請求項２記載の積層コイル部品の製造方法。
  4. 　前記磁性体ペースト作製工程は、前記磁性金属材料の表面を前記ガラス材料で被覆して磁性体原料を作製する磁性体原料作製工程と、
    　前記磁性体原料をペースト化するペースト化工程とを含むことを特徴とする請求項３記載の積層コイル部品の製造方法。
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