WO2013187420A1 - 表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法 - Google Patents

表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法 Download PDF

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printed wiring
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新井　英太
敦史 三木
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Jx日鉱日石金属株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a surface-treated copper foil and a laminated board, a printed wiring board, an electronic device, and a printed wiring board manufacturing method using the same, and in particular, the transparency of the remaining resin after etching the copper foil is required.
  • the present invention relates to a surface-treated copper foil suitable for a field to be used, a laminated board using the copper foil, a printed wiring board, an electronic device, and a printed wiring board manufacturing method.
  • FPCs flexible printed wiring boards
  • the signal transmission speed has been increased, and impedance matching has become an important factor in FPC.
  • a resin insulation layer for example, polyimide
  • processing such as bonding to a liquid crystal substrate and mounting of an IC chip is performed on the FPC, but the alignment at this time is the resin insulation remaining after etching the copper foil in the laminate of the copper foil and the resin insulating layer
  • the visibility of the resin insulation layer is important because it is performed through a positioning pattern that is visible through the layer.
  • a copper clad laminate that is a laminate of a copper foil and a resin insulating layer can be manufactured using a rolled copper foil having a roughened plating surface.
  • This rolled copper foil usually uses tough pitch copper (oxygen content of 100 to 500 ppm by weight) or oxygen free copper (oxygen content of 10 ppm by weight or less) as a raw material, and after hot rolling these ingots, It is manufactured by repeating cold rolling and annealing to a thickness.
  • Patent Document 1 a polyimide film and a low-roughness copper foil are laminated, and a light transmittance at a wavelength of 600 nm of the film after copper foil etching is 40% or more, a haze value.
  • An invention relating to a copper clad laminate having (HAZE) of 30% or less and an adhesive strength of 500 N / m or more is disclosed.
  • Patent Document 2 has an insulating layer in which a conductive layer made of electrolytic copper foil is laminated, and the light transmittance of the insulating layer in the etching region when the circuit is formed by etching the conductive layer is 50% or more.
  • the electrolytic copper foil includes a rust-proofing layer made of a nickel-zinc alloy on an adhesive surface bonded to an insulating layer, and the surface roughness (Rz) of the adhesive surface ) Is 0.05 to 1.5 ⁇ m, and the specular gloss at an incident angle of 60 ° is 250 or more.
  • Patent Document 3 discloses a method for treating a copper foil for a printed circuit, in which a cobalt-nickel alloy plating layer is formed on the surface of the copper foil after a roughening treatment by copper-cobalt-nickel alloy plating, and further zinc-nickel.
  • An invention relating to a method for treating a copper foil for printed circuit, characterized by forming an alloy plating layer is disclosed.
  • JP 2004-98659 A WO2003 / 096776 Japanese Patent No. 2849059
  • Patent Document 1 a low-roughness copper foil obtained by improving adhesion with an organic treatment agent after blackening treatment or plating treatment is broken due to fatigue in applications where flexibility is required for a copper-clad laminate. May be inferior in resin transparency. Moreover, in patent document 2, the roughening process is not made and the adhesive strength of copper foil and resin is low and inadequate in uses other than the flexible printed wiring board for COF. Further, in the treatment method described in Patent Document 3, it was possible to finely process the copper foil with Cu—Co—Ni, but the resin after bonding the copper foil to the resin and removing it by etching was excellent. Transparency is not realized.
  • the present invention provides a surface-treated copper foil that adheres well to a resin and is excellent in the transparency of a resin after the copper foil is removed by etching, and a laminate using the same.
  • the present inventors have determined that the number density of the roughened particles having a predetermined major axis on the surface of the roughened surface and the glossiness in the copper foil in which the roughened particles are formed on the surface by the roughening treatment. Has found that it affects the resin transparency after the copper foil is removed by etching.
  • At least one copper foil surface is roughened by roughening treatment, and the roughened surface of the roughened surface has a major axis of 100 nm or less.
  • the roughened particles on the roughened surface are formed with 90 / ⁇ m 2 or more of roughened particles having a major axis of 200 nm or less per unit area.
  • the roughened particles on the roughened surface are formed with rough particles having a major axis exceeding 100 nm and not more than 150 nm at a rate of 50 particles / ⁇ m 2 or less per unit area. Has been.
  • the 60 degree glossiness of the MD is 90 to 250%.
  • the ratio A between the surface area A of the roughened particles and the area B obtained when the roughened particles are viewed in plan from the copper foil surface side. / B is 1.90 to 2.40.
  • the A / B is 2.00 to 2.20.
  • the copper foil is bonded to both surfaces of a 50 ⁇ m thick resin substrate from the roughened surface side, and then the copper foils on both sides are etched. When removed, the resin substrate has a haze value of 20 to 70%.
  • the present invention is a laminated plate configured by laminating the surface-treated copper foil of the present invention and a resin substrate.
  • the present invention is a printed wiring board using the surface-treated copper foil of the present invention.
  • the present invention is an electronic device using the printed wiring board of the present invention.
  • the present invention is a method of manufacturing a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected by connecting two or more printed wiring boards of the present invention.
  • the present invention includes a step of connecting at least one printed wiring board of the present invention and another printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention, This is a method for manufacturing a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected.
  • the present invention is an electronic device using one or more printed wiring boards to which at least one printed wiring board of the present invention is connected.
  • the present invention is a method for manufacturing a printed wiring board, including at least a step of connecting the printed wiring board of the present invention and a component.
  • the step of connecting at least one printed wiring board of the present invention to another printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention and A method of manufacturing a printed wiring board having two or more printed wiring boards connected, comprising at least a step of connecting a printed wiring board of the present invention or a printed wiring board having two or more printed wiring boards of the present invention connected thereto and a component. It is.
  • the present invention it is possible to provide a surface-treated copper foil that adheres well to a resin and is excellent in the transparency of a resin after the copper foil is removed by etching, and a laminate using the same.
  • 4 is a SEM observation photograph of the copper foil surface of Example 4.
  • 4 is a SEM observation photograph of the copper foil surface of Comparative Example 1.
  • 10 is a SEM observation photograph of the copper foil surface of Comparative Example 7.
  • the copper foil used in the present invention is useful for a copper foil used by making a laminate by bonding to a resin substrate and removing it by etching.
  • the copper foil used in the present invention may be either an electrolytic copper foil or a rolled copper foil.
  • the surface of the copper foil that adheres to the resin substrate that is, the roughened surface, has a fist-like electric surface on the surface of the copper foil after degreasing in order to improve the peel strength of the copper foil after lamination.
  • a roughening process is carried out to wear.
  • the electrolytic copper foil has irregularities at the time of manufacture, the irregularities are further increased by enhancing the convex portions of the electrolytic copper foil by roughening treatment.
  • this roughening treatment can be performed by copper-cobalt-nickel alloy plating, copper-nickel-phosphorus alloy plating, or the like.
  • Ordinary copper plating or the like may be performed as a pretreatment before roughening, and ordinary copper plating or the like may be performed as a finishing treatment after roughening in order to prevent electrodeposits from dropping off.
  • the content of treatment may be somewhat different between the rolled copper foil and the electrolytic copper foil.
  • known treatments related to copper foil roughening are included as necessary, and are collectively referred to as roughening treatment.
  • the rolled copper foil according to the present invention includes a copper alloy foil containing one or more elements such as Ag, Sn, In, Ti, Zn, Zr, Fe, P, Ni, Si, Te, Cr, Nb, and V. It is. When the concentration of the above elements increases (for example, 10% by mass or more in total), the conductivity may decrease.
  • the conductivity of the rolled copper foil is preferably 50% IACS or more, more preferably 60% IACS or more, and still more preferably 80% IACS or more.
  • the copper-cobalt-nickel alloy plating as the roughening treatment is, as a result of electrolytic plating, an amount of adhesion of 15 to 40 mg / dm 2 of copper—100 to 3000 ⁇ g / dm 2 of cobalt—100 to 1500 ⁇ g / dm 2 of nickel. It can be carried out so as to form a ternary alloy layer. If the amount of deposited Co is less than 100 ⁇ g / dm 2 , the heat resistance may deteriorate and the etching property may deteriorate.
  • the amount of Co deposition exceeds 3000 ⁇ g / dm 2 , it is not preferable when the influence of magnetism must be taken into account, etching spots may occur, and acid resistance and chemical resistance may deteriorate. If the Ni adhesion amount is less than 100 ⁇ g / dm 2 , the heat resistance may deteriorate. On the other hand, when the Ni adhesion amount exceeds 1500 ⁇ g / dm 2 , the etching residue may increase.
  • a preferable Co adhesion amount is 1000 to 2500 ⁇ g / dm 2
  • a preferable nickel adhesion amount is 500 to 1200 ⁇ g / dm 2 .
  • the etching stain means that Co remains without being dissolved when etched with copper chloride
  • the etching residue means that Ni remains without being dissolved when alkaline etching is performed with ammonium chloride. It means that.
  • Plating bath composition Cu 10-20 g / L, Co 1-10 g / L, Ni 1-10 g / L pH: 1 to 4 Temperature: 30-50 ° C Current density D k : 20 to 30 A / dm 2 Plating time: 1-5 seconds
  • cobalt nickel cobalt -100 ⁇ 700 ⁇ g / dm 2 weight deposited on the roughened surface is 200 ⁇ 3000 ⁇ g / dm 2 - can form a nickel alloy plating layer.
  • This treatment can be regarded as a kind of rust prevention treatment in a broad sense.
  • This cobalt-nickel alloy plating layer needs to be performed to such an extent that the adhesive strength between the copper foil and the substrate is not substantially lowered. If the amount of cobalt adhesion is less than 200 ⁇ g / dm 2 , the heat-resistant peel strength is lowered, and the oxidation resistance and chemical resistance may be deteriorated.
  • the treated surface becomes reddish, which is not preferable.
  • the amount of cobalt deposition exceeds 3000 ⁇ g / dm 2 , it is not preferable when the influence of magnetism must be taken into account, and etching spots may occur, and acid resistance and chemical resistance may deteriorate.
  • a preferable cobalt adhesion amount is 500 to 2500 ⁇ g / dm 2 .
  • the nickel adhesion amount is less than 100 ⁇ g / dm 2 , the heat-resistant peel strength is lowered, and the oxidation resistance and chemical resistance may be deteriorated.
  • nickel exceeds 1300 microgram / dm ⁇ 2 > alkali etching property will worsen.
  • a preferable nickel adhesion amount is 200 to 1200 ⁇ g / dm 2 .
  • Plating bath composition Co 1-20 g / L, Ni 1-20 g / L pH: 1.5-3.5 Temperature: 30-80 ° C Current density D k : 1.0 to 20.0 A / dm 2 Plating time: 0.5-4 seconds
  • a zinc plating layer having an adhesion amount of 30 to 250 ⁇ g / dm 2 is further formed on the cobalt-nickel alloy plating. If the zinc adhesion amount is less than 30 ⁇ g / dm 2 , the heat deterioration rate improving effect may be lost. On the other hand, when the zinc adhesion amount exceeds 250 ⁇ g / dm 2 , the hydrochloric acid deterioration rate may be extremely deteriorated.
  • the zinc coating weight is 30 ⁇ 240 ⁇ g / dm 2, more preferably 80 ⁇ 220 ⁇ g / dm 2.
  • Plating bath composition Zn 100 to 300 g / L pH: 3-4 Temperature: 50-60 ° C Current density D k : 0.1 to 0.5 A / dm 2 Plating time: 1 to 3 seconds
  • a zinc alloy plating layer such as zinc-nickel alloy plating may be formed in place of the zinc plating layer, and a rust prevention layer may be formed on the outermost surface by chromate treatment or application of a silane coupling agent. Good.
  • Roughened particles having a major axis of 100 nm or less are preferably formed at 60 particles / ⁇ m 2 or more per unit area, more preferably 150 particles / ⁇ m 2 or more.
  • examples of the upper limit of the number of coarse particles having a major axis of 100 nm or less include 2500 particles / ⁇ m 2 or less.
  • the roughened particles on the surface of the roughened surface are preferably formed with 90 / ⁇ m 2 or more of roughened particles having a major axis of 200 nm or less per unit area.
  • Roughened particles having a major axis of 200 nm or less are preferably formed at least 100 particles / ⁇ m 2 per unit area, more preferably at least 150 particles / ⁇ m 2 . There is no particular need to set an upper limit, but examples of the upper limit of the number of coarse particles having a major axis of 200 nm or less include 2500 particles / ⁇ m 2 or less.
  • the roughened particles on the surface of the roughened surface are preferably formed with roughened particles having a major axis exceeding 100 nm and not more than 150 nm at a rate of 50 particles / ⁇ m 2 or less per unit area.
  • the rough particle having a major axis of more than 100 nm and not more than 150 nm is 50 particles / ⁇ m 2 or more per unit area, the degree of haze (haze value) of the resin after removing the copper foil by etching increases, and transparency is increased. There is a risk that the problem of lowering may occur.
  • Roughened particles having a major axis exceeding 100 nm and not more than 150 nm are preferably formed at 30 particles / ⁇ m 2 or less per unit area, more preferably at 10 particles / ⁇ m 2 or less.
  • the lower limit of the number of particles having a major axis exceeding 100 nm and not more than 150 nm is 0 / ⁇ m 2 or more.
  • the glossiness at an incident angle of 60 degrees in the rolling direction (MD) of the roughened surface of the surface-treated copper foil greatly affects the haze value of the resin. That is, the haze value of the above-mentioned resin becomes smaller as the copper foil has a higher glossiness on the roughened surface.
  • the surface-treated copper foil of the present invention has a glossiness of the roughened surface of 76 to 350%, preferably 80 to 350%, preferably 90 to 300%, and 90 to 250%. Is more preferable, and 100 to 250% is more preferable.
  • the TD surface roughness (Rz) of the copper foil before the surface treatment is 0.30 to 0.80 ⁇ m, preferably 0.30 to 0.50 ⁇ m, and the incident angle 60 in the rolling direction (MD) is 60.
  • the glossiness at 350 degrees is 350 to 800%, preferably 500 to 800%, the current density is higher than the conventional roughening treatment and the roughening treatment time is shortened.
  • the glossiness of the surface-treated copper foil is 76 to 350% at an incident angle of 60 degrees in the rolling direction (MD).
  • Such a copper foil can be produced by adjusting the oil film equivalent of rolling oil (high gloss rolling), or by chemical polishing such as chemical etching or electrolytic polishing in a phosphoric acid solution.
  • rolling oil high gloss rolling
  • chemical polishing such as chemical etching or electrolytic polishing in a phosphoric acid solution.
  • the gloss of TD roughness (Rz) on the treated side surface of the previous copper foil is 0.18 to 0.80 ⁇ m, preferably 0.25 to 0.50 ⁇ m, at an incident angle of 60 degrees in the rolling direction (MD)
  • the degree is 350 to 800%, preferably 500 to 800%.
  • the current density is made higher than that of the conventional roughening treatment, and the roughening treatment time is shortened.
  • the high gloss rolling can be performed by setting the oil film equivalent defined by the following formula to 13000 to 24000.
  • Rolling is performed by setting the oil film equivalent defined by the following formula to 12000 to 24000.
  • Oil film equivalent ⁇ (rolling oil viscosity [cSt]) ⁇ (sheet feeding speed [mpm] + roll peripheral speed [mpm]) ⁇ / ⁇ (roll biting angle [rad]) ⁇ (yield stress of material [kg / mm 2 ]) ⁇
  • the rolling oil viscosity [cSt] is a kinematic viscosity at 40 ° C.
  • a known method such as using a low-viscosity rolling oil or slowing a sheet passing speed may be used.
  • Chemical polishing is performed with an etching solution such as sulfuric acid-hydrogen peroxide-water system or ammonia-hydrogen peroxide-water system at a lower concentration than usual and for a long time.
  • the surface-treated copper foil of the present invention is controlled in the average roughness Rz and glossiness of the roughened surface as described above. Therefore, after being bonded to the resin substrate, the portion of the resin substrate where the copper foil is removed The haze value decreases.
  • the haze value (%) is a value calculated by (diffuse transmittance) / (total light transmittance) ⁇ 100.
  • the surface-treated copper foil of the present invention has a haze value of the resin substrate when the copper foil is removed by etching after being bonded to both surfaces of a 50 ⁇ m thick resin substrate from the roughened surface side. It is preferably 20 to 70%, more preferably 30 to 55%.
  • the ratio A / B between the surface area A of the roughened particles and the area B obtained when the roughened particles are viewed in plan from the copper foil surface side greatly affects the haze value of the resin. That is, if the surface roughness Rz is the same, the haze value of the above-described resin decreases as the copper foil having a smaller ratio A / B. Therefore, in the surface-treated copper foil of the present invention, the ratio A / B is 1.90 to 2.40, and preferably 2.00 to 2.20.
  • the form and formation density of the particles are determined, and the surface roughness Rz, glossiness, and particle area ratio A / B can be controlled.
  • the etching factor is preferably 1.8 or more, preferably 2.0 or more, preferably 2.2 or more, and 2.3 or more. Preferably, it is 2.4 or more.
  • the area ratio (A / B), glossiness, and rough particle number density of the above-mentioned particles on the copper circuit or copper foil surface can be measured.
  • Transmission loss When the transmission loss is small, attenuation of the signal when performing signal transmission at a high frequency is suppressed, so that a stable signal transmission can be performed in a circuit that transmits the signal at a high frequency. Therefore, a smaller transmission loss value is preferable because it is suitable for use in a circuit for transmitting a signal at a high frequency.
  • the transmission loss at a frequency of 20 GHz is preferably less than 5.0 dB / 10 cm, and more preferably less than 4.1 dB / 10 cm. Preferably, less than 3.7 dB / 10 cm is even more preferable.
  • the surface-treated copper foil of the present invention can be bonded to a resin substrate from the roughened surface side to produce a laminate.
  • the resin substrate is not particularly limited as long as it has characteristics applicable to a printed wiring board or the like.
  • a paper base phenol resin, a paper base epoxy resin, a synthetic fiber cloth base epoxy resin for rigid PWB Glass cloth / paper composite base material epoxy resin, glass cloth / glass nonwoven fabric composite base material epoxy resin and glass cloth base material epoxy resin, etc. are used, polyester film, polyimide film, liquid crystal polymer (LCP) film, fluorine for FPC A resin film or the like can be used.
  • the peel strength between the film and the surface-treated copper foil tends to be smaller than when a polyimide film is used. Therefore, when a liquid crystal polymer (LCP) film or a fluororesin film is used, the copper circuit is covered with a coverlay after the copper circuit is formed, so that the film and the copper circuit are not easily peeled off, and the peel strength is reduced. The film can be prevented from peeling off from the copper circuit.
  • a liquid crystal polymer (LCP) film or a fluororesin film has a small dielectric loss tangent
  • a copper clad laminate or a printed wiring board using the liquid crystal polymer (LCP) film or the fluororesin film and the surface-treated copper foil according to the present invention is suitable for high-frequency circuits (circuits that transmit signals at high frequencies).
  • the surface-treated copper foil according to the present invention has a small surface roughness Rz and a high glossiness, so that the surface is smooth and suitable for high-frequency circuit applications.
  • a prepreg in which a base material such as glass cloth is impregnated with a resin and the resin is cured to a semi-cured state is prepared. It can be carried out by superposing a copper foil on the prepreg from the opposite surface of the coating layer and heating and pressing.
  • FPC it is laminated on a copper foil under high temperature and high pressure without using an adhesive on a substrate such as a polyimide film, or a polyimide precursor is applied, dried, cured, etc.
  • a laminated board can be manufactured by performing.
  • the laminate of the present invention can be used for various printed wiring boards (PWB) and is not particularly limited.
  • PWB printed wiring boards
  • the single-sided PWB, the double-sided PWB, and the multilayer PWB 3
  • rigid PWB, flexible PWB (FPC), and rigid flex PWB from the viewpoint of the type of insulating substrate material.
  • a laminate of a surface-treated copper foil and a resin substrate is prepared.
  • a specific example of the laminate of the surface-treated copper foil and the resin substrate according to the present invention at least one of a main substrate, an attached circuit substrate, and a resin substrate such as polyimide used for electrically connecting them.
  • a laminated board manufactured by accurately positioning the flexible printed circuit board and crimping it to the wiring ends of the main circuit board and the attached circuit board Is mentioned.
  • the laminate is a laminate in which the wiring end portions of the flexible printed circuit board and the main body substrate are bonded together by pressure bonding, or the wiring edge portions of the flexible printed circuit board and the circuit board are bonded together by pressure bonding.
  • the laminated board has a mark formed of a part of the copper wiring and a separate material.
  • the position of the mark is not particularly limited as long as it can be photographed by photographing means such as a CCD camera through the resin constituting the laminated plate.
  • the mark refers to a mark used to detect, position, or align the position of a laminated board, printed wiring board, or the like.
  • the position of the mark when the above-mentioned mark is photographed by the photographing means through the resin, the position of the mark can be detected well. And the position of the said mark can be detected in this way, and based on the position of the said detected mark, the positioning of the laminated board of surface-treated copper foil and a resin substrate can be performed favorably.
  • the photographing means can detect the position of the mark well by such a positioning method, and the printed wiring board can be positioned more accurately.
  • the connection failure is reduced and the yield is improved.
  • a method of connecting one printed wiring board and another printed wiring board soldering, connection through an anisotropic conductive film (Anisotropic Conductive Film, ACF), anisotropic conductive paste (Anisotropic Conductive Paste, A known connection method such as connection via ACP) or connection via a conductive adhesive can be used.
  • the “printed wiring board” includes a printed wiring board, a printed circuit board, and a printed board on which components are mounted.
  • a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected by connecting two or more printed wiring boards according to the present invention, and at least one printed wiring board according to the present invention.
  • One printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention can be connected, and an electronic apparatus can be manufactured using such a printed wiring board.
  • “copper circuit” includes copper wiring.
  • the printed wiring board of the present invention may be connected to a component to produce a printed wiring board.
  • at least one printed wiring board of the present invention is connected to another printed wiring board of the present invention or a printed wiring board not corresponding to the printed wiring board of the present invention.
  • a printed wiring board in which two or more printed wiring boards are connected may be manufactured by connecting two or more printed wiring boards and components.
  • “components” include connectors, LCDs (Liquid Crystal Display), electronic components such as glass substrates used in LCDs, ICs (Integrated Circuits), LSIs (Large Scale Integrated Circuits), VLSIs (Very Large Circuits). ), Electronic components including semiconductor integrated circuits such as ULSI (Ultra-Large Scale Integration) (for example, IC chips, LSI chips, VLSI chips, ULSI chips), components for shielding electronic circuits and covers on printed wiring boards Examples include parts necessary for fixing.
  • the positioning method according to the embodiment of the present invention may include a step of moving a laminated board (including a laminated board of copper foil and a resin substrate and a printed wiring board).
  • a laminated board including a laminated board of copper foil and a resin substrate and a printed wiring board.
  • it may be moved by a conveyor such as a belt conveyor or a chain conveyor, may be moved by a moving device provided with an arm mechanism, or may be moved by floating a laminated plate using gas.
  • a moving means a moving device or moving means (including a roller or a bearing) that moves a laminated plate by rotating an object such as a substantially cylindrical shape, a moving device or moving means that uses hydraulic pressure as a power source, Moving devices and moving means powered by air pressure, moving devices and moving means powered by motors, gantry moving linear guide stages, gantry moving air guide stages, stacked linear guide stages, linear motor drive stages, etc. It may be moved by a moving device or moving means having a stage. Moreover, you may perform the movement process by a well-known moving means. In the step of moving the laminated plate, the laminated plate can be moved for alignment.
  • the positioning method according to the embodiment of the present invention may be used for a surface mounter or a chip mounter.
  • the printed wiring board which has the circuit provided on the resin board and the said resin board may be sufficient as the laminated board of the surface treatment copper foil and the resin board which are positioned in this invention. In that case, the mark may be the circuit.
  • positioning includes “detecting the position of a mark or an object”.
  • alignment includes “after detecting the position of a mark or object, moving the mark or object to a predetermined position based on the detected position”.
  • Examples 1 to 23 and Comparative Examples 1 to 13 various copper foils were prepared, and one surface was plated under the conditions shown in Tables 1 to 8 as a roughening treatment. After performing the above-described rough plating treatment, the following heat treatment layer and rust prevention layer formation treatment were performed for Examples 1 to 12, 14 to 19, 21 to 23, and Comparative Examples 2, 4, and 7 to 10. went.
  • the conditions for forming the heat-resistant layer 1 are shown below. Liquid composition: Nickel 5-20 g / L, Cobalt 1-8 g / L pH: 2-3 Liquid temperature: 40-60 ° C Current density: 5 to 20 A / dm 2 Coulomb amount: 10-20 As / dm 2 A heat-resistant layer 2 was formed on the copper foil provided with the heat-resistant layer 1.
  • Liquid composition potassium dichromate 1-10 g / L, zinc 0-5 g / L pH: 3-4 Liquid temperature: 50-60 ° C Current density: 0-2A / dm 2 (for immersion chromate treatment) Coulomb amount: 0 to 2 As / dm 2 (for immersion chromate treatment)
  • the weathering layer was further formed. The formation conditions are shown below.
  • silane coupling agent having an amino group N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane (Example 16), N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane (implementation) Examples 1 to 12, 14, 15, 23), N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane (Example 17), 3-aminopropyltrimethoxysilane (Example 18), 3-amino Propyltriethoxysilane (Example 19), 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine (Example 21), N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (Example 22) ) Was applied and dried to form a weather resistant layer.
  • These silane coupling agents can be used in combination of two or more.
  • the rolled copper foil was manufactured as follows. A copper ingot having the composition shown in Table 9 was manufactured and hot-rolled, and then the annealing and cold rolling of a continuous annealing line at 300 to 800 ° C. were repeated to obtain a rolled plate having a thickness of 1 to 2 mm. This rolled sheet was annealed in a continuous annealing line at 300 to 800 ° C. and recrystallized, and finally cold-rolled to the thickness shown in Table 9 to obtain a copper foil. “Tough pitch copper” in the “Type” column of Table 9 indicates tough pitch copper standardized in JIS H3100 C1100, and “Oxygen-free copper” indicates oxygen-free copper standardized in JIS H3100 C1020.
  • “Tough pitch copper + Ag: 100 ppm” means that 100 mass ppm of Ag is added to tough pitch copper.
  • the electrolytic copper foil used was an electrolytic copper foil HLP foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals. When electrolytic polishing or chemical polishing was performed, the plate thickness after electrolytic polishing or chemical polishing was described. Table 9 shows the points of the copper foil preparation process before the surface treatment. “High gloss rolling” means that the final cold rolling (cold rolling after the final recrystallization annealing) was performed at the value of the oil film equivalent. “Normal rolling” means that the final cold rolling (cold rolling after the final recrystallization annealing) was performed at the oil film equivalent value described.
  • “Chemical polishing” and “electropolishing” mean the following conditions. “Chemical polishing” was performed using an etching solution of 1 to 3% by mass of H 2 SO 4 , 0.05 to 0.15% by mass of H 2 O 2 , and the remaining water, and the polishing time was 1 hour. “Electropolishing” is a condition of phosphoric acid 67% + sulfuric acid 10% + water 23%, voltage 10 V / cm 2 , and the time shown in Table 9 (when electropolishing for 10 seconds, the polishing amount is 1 to 2 ⁇ m. ).
  • the copper foil was laminated on both sides of a polyimide film with a thermosetting adhesive for lamination (thickness 50 ⁇ m, Ube Industries Upilex), and the copper foil was removed by etching (ferric chloride aqueous solution) to prepare a sample film.
  • the haze value of the sample film was measured using a haze meter HM-150 manufactured by Murakami Color Research Laboratory based on JIS K7136 (2000).
  • Peel strength adheresive strength
  • PC-TM-650 the normal peel strength was measured with a tensile tester Autograph 100, and the normal peel strength of 0.7 N / mm or more could be used for laminated substrates.
  • the copper foil was bonded to both surfaces of a polyimide film with a thermosetting adhesive for laminating (thickness 50 ⁇ m, Upilex manufactured by Ube Industries).
  • a thickness of 12 ⁇ m copper foil was used as a reference. That is, when the thickness was thicker than 12 ⁇ m, the thickness was reduced to 12 ⁇ m by electrolytic polishing. On the other hand, when the thickness was thinner than 12 ⁇ m, the thickness was increased to 12 ⁇ m by copper plating.
  • the circuit width was set such that the bottom width of the circuit cross section was 20 ⁇ m.
  • Equipment Spray type small etching equipment
  • Spray pressure 0.2 MPa
  • Etching solution Ferric chloride aqueous solution (specific gravity 40 Baume)
  • Liquid temperature 50 ° C
  • the photosensitive resist film was peeled off by dipping in a 45 ° C. NaOH aqueous solution for 1 minute.
  • solder heat resistance evaluation The copper foil was bonded to both surfaces of a polyimide film with a thermosetting adhesive for laminating (thickness 50 ⁇ m, Upilex manufactured by Ube Industries). About the obtained double-sided laminated board, the test coupon based on JISC6471 was created. The prepared test coupon was exposed to high temperature and high humidity of 85 ° C. and 85% RH for 48 hours, and then floated in a solder bath at 300 ° C. to evaluate solder heat resistance.
  • ⁇ ⁇ less than 3.7 dB / 10 cm, ⁇ 3.7 dB / 10 cm or more and less than 4.1 dB / 10 cm, ⁇ 4 4.1 dB / 10 cm or more and less than 5.0 dB / 10 cm, ⁇ , 5.0 dB / 10 cm or more was defined as x.
  • the conditions and evaluation of each test are shown in Tables 1 to 11.
  • Example 1 shows an SEM observation photograph of the surface of the copper foil in Example 4, FIG. 2 in Comparative Example 1, and FIG. 3 in Comparative Example 7.

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Abstract

　樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の透明性に優れた表面処理銅箔及びそれを用いた積層板を提供する。少なくとも一方の銅箔表面に粗化処理により粗化粒子が形成され、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以上形成されており、粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度が７６～３５０％である表面処理銅箔。

Description

表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法
　本発明は、表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法に関し、特に、銅箔をエッチングした後の残部の樹脂の透明性が要求される分野に好適な表面処理銅箔及びそれを用いた積層板、プリント配線板、電子機器、並びに、プリント配線板の製造方法に関する。
　スマートフォンやタブレットＰＣといった小型電子機器には、配線の容易性や軽量性からフレキシブルプリント配線板（以下、ＦＰＣ）が採用されている。近年、これら電子機器の高機能化により信号伝送速度の高速化が進み、ＦＰＣにおいてもインピーダンス整合が重要な要素となっている。信号容量の増加に対するインピーダンス整合の方策として、ＦＰＣのベースとなる樹脂絶縁層（例えば、ポリイミド）の厚層化が進んでいる。一方、ＦＰＣは液晶基材への接合やＩＣチップの搭載などの加工が施されるが、この際の位置合わせは銅箔と樹脂絶縁層との積層板における銅箔をエッチングした後に残る樹脂絶縁層を透過して視認される位置決めパターンを介して行われるため、樹脂絶縁層の視認性が重要となる。
　また、銅箔と樹脂絶縁層との積層板である銅張積層板は、表面に粗化めっきが施された圧延銅箔を使用しても製造できる。この圧延銅箔は、通常タフピッチ銅（酸素含有量１００～５００重量ｐｐｍ）又は無酸素銅（酸素含有量１０重量ｐｐｍ以下）を素材として使用し、これらのインゴットを熱間圧延した後、所定の厚さまで冷間圧延と焼鈍とを繰り返して製造される。
　このような技術として、例えば、特許文献１には、ポリイミドフィルムと低粗度銅箔とが積層されてなり、銅箔エッチング後のフィルムの波長６００ｎｍでの光透過率が４０％以上、曇価（ＨＡＺＥ）が３０％以下であって、接着強度が５００Ｎ／ｍ以上である銅張積層板に係る発明が開示されている。
　また、特許文献２には、電解銅箔による導体層を積層された絶縁層を有し、当該導体層をエッチングして回路形成した際のエッチング領域における絶縁層の光透過性が５０％以上であるチップオンフレキ（ＣＯＦ）用フレキシブルプリント配線板において、前記電解銅箔は、絶縁層に接着される接着面にニッケル－亜鉛合金による防錆処理層を備え、該接着面の表面粗度（Ｒｚ）は０．０５～１．５μｍであるとともに入射角６０°における鏡面光沢度が２５０以上であることを特徴とするＣＯＦ用フレキシブルプリント配線板に係る発明が開示されている。
　また、特許文献３には、印刷回路用銅箔の処理方法において、銅箔の表面に銅－コバルト－ニッケル合金めっきによる粗化処理後、コバルト－ニッケル合金めっき層を形成し、更に亜鉛－ニッケル合金めっき層を形成することを特徴とする印刷回路用銅箔の処理方法に係る発明が開示されている。
特開２００４－９８６５９号公報 ＷＯ２００３／０９６７７６ 特許第２８４９０５９号公報
　特許文献１において、黒化処理又はめっき処理後の有機処理剤により接着性が改良処理されて得られる低粗度銅箔は、銅張積層板に屈曲性が要求される用途では、疲労によって断線することがあり、樹脂透視性に劣る場合がある。
　また、特許文献２では、粗化処理がなされておらず、ＣＯＦ用フレキシブルプリント配線板以外の用途においては銅箔と樹脂との密着強度が低く不十分である。
　さらに、特許文献３に記載の処理方法では、銅箔へのＣｕ－Ｃｏ－Ｎｉによる微細処理は可能であったが、当該銅箔を樹脂と接着させてエッチングで除去した後の樹脂について、優れた透明性を実現できていない。
　本発明は、樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の透明性に優れた表面処理銅箔及びそれを用いた積層板を提供する。
　本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、表面に粗化処理により粗化粒子が形成された銅箔において、粗化処理表面の所定の長径を有する粗化粒子の個数密度、及び、光沢度が、銅箔をエッチング除去した後の樹脂透明性に影響を及ぼすことを見出した。
　以上の知見を基礎として完成された本発明は一側面において、少なくとも一方の銅箔表面に粗化処理により粗化粒子が形成され、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以上形成されており、粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度が７６～３５０％である表面処理銅箔である。
　本発明に係る表面処理銅箔の一実施形態においては、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり９０個／μｍ2以上形成されている。
　本発明に係る表面処理銅箔の別の実施形態においては、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以下で形成されている。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記ＭＤの６０度光沢度が９０～２５０％である。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃ（Ｃ＝（ＭＤの６０度光沢度）／（ＴＤの６０度光沢度））が０．８０～１．４０である。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃ（Ｃ＝（ＭＤの６０度光沢度）／（ＴＤの６０度光沢度））が０．９０～１．３５である。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記粗化粒子の表面積Ａと、前記粗化粒子を前記銅箔表面側から平面視したときに得られる面積Ｂとの比Ａ／Ｂが１．９０～２．４０である。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記Ａ／Ｂが２．００～２．２０である。
　本発明に係る表面処理銅箔の更に別の実施形態においては、前記銅箔を、粗化処理表面側から厚さ５０μｍの樹脂基板の両面に貼り合わせた後、エッチングで前記両面の銅箔を除去したとき、前記樹脂基板のヘイズ値が２０～７０％となる。
　本発明は更に別の側面において、本発明の表面処理銅箔と樹脂基板とを積層して構成した積層板である。
　本発明は更に別の側面において、本発明の表面処理銅箔を用いたプリント配線板である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を用いた電子機器である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を２つ以上接続して、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程を含む、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板が少なくとも１つ接続したプリント配線板を１つ以上用いた電子機器である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板と、部品とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板を製造する方法である。
　本発明は更に別の側面において、本発明のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程、および、本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板と、部品とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法である。
　本発明によれば、樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の透明性に優れた表面処理銅箔及びそれを用いた積層板を提供することができる。
実施例４の銅箔表面のＳＥＭ観察写真である。 比較例１の銅箔表面のＳＥＭ観察写真である。 比較例７の銅箔表面のＳＥＭ観察写真である。
　〔表面処理銅箔の形態及び製造方法〕
　本発明において使用する銅箔は、樹脂基板と接着させて積層体を作製し、エッチングにより除去することで使用される銅箔に有用である。
　本発明において使用する銅箔は、電解銅箔或いは圧延銅箔いずれでも良い。通常、銅箔の、樹脂基板と接着する面、即ち粗化面には積層後の銅箔の引き剥し強さを向上させることを目的として、脱脂後の銅箔の表面にふしこぶ状の電着を行う粗化処理が施される。電解銅箔は製造時点で凹凸を有しているが、粗化処理により電解銅箔の凸部を増強して凹凸を一層大きくする。本発明においては、この粗化処理は銅－コバルト－ニッケル合金めっきや銅－ニッケル－りん合金めっき等により行うことができる。粗化前の前処理として通常の銅めっき等が行われることがあり、粗化後の仕上げ処理として電着物の脱落を防止するために通常の銅めっき等が行なわれることもある。圧延銅箔と電解銅箔とでは処理の内容を幾分異にすることもある。本発明においては、こうした前処理及び仕上げ処理をも含め、銅箔粗化と関連する公知の処理を必要に応じて含め、総称して粗化処理と云うものとする。
　なお、本願発明に係る圧延銅箔にはＡｇ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｔｉ、Ｚｎ、Ｚｒ、Ｆｅ、Ｐ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｔｅ、Ｃｒ、Ｎｂ、Ｖ等の元素を一種以上含む銅合金箔も含まれる。上記元素の濃度が高くなる（例えば合計で１０質量％以上）と、導電率が低下する場合がある。圧延銅箔の導電率は、好ましくは５０％ＩＡＣＳ以上、より好ましくは６０％ＩＡＣＳ以上、更に好ましくは８０％ＩＡＣＳ以上である。
　粗化処理としての銅－コバルト－ニッケル合金めっきは、電解めっきにより、付着量が１５～４０ｍｇ／ｄｍ2の銅－１００～３０００μｇ／ｄｍ2のコバルト－１００～１５００μｇ／ｄｍ2のニッケルであるような３元系合金層を形成するように実施することができる。Ｃｏ付着量が１００μｇ／ｄｍ2未満では、耐熱性が悪化し、エッチング性が悪くなることがある。Ｃｏ付着量が３０００μｇ／ｄｍ2を超えると、磁性の影響を考慮せねばならない場合には好ましくなく、エッチングシミが生じ、また、耐酸性及び耐薬品性の悪化がすることがある。Ｎｉ付着量が１００μｇ／ｄｍ2未満であると、耐熱性が悪くなることがある。他方、Ｎｉ付着量が１５００μｇ／ｄｍ2を超えると、エッチング残が多くなることがある。好ましいＣｏ付着量は１０００～２５００μｇ／ｄｍ2であり、好ましいニッケル付着量は５００～１２００μｇ／ｄｍ2である。ここで、エッチングシミとは、塩化銅でエッチングした場合、Ｃｏが溶解せずに残ってしまうことを意味しそしてエッチング残とは塩化アンモニウムでアルカリエッチングした場合、Ｎｉが溶解せずに残ってしまうことを意味するものである。
　このような３元系銅－コバルト－ニッケル合金めっきを形成するための一般的浴及びめっき条件の一例は次の通りである：
　めっき浴組成：Ｃｕ１０～２０ｇ／Ｌ、Ｃｏ１～１０ｇ／Ｌ、Ｎｉ１～１０ｇ／Ｌ
　ｐＨ：１～４
　温度：３０～５０℃
　電流密度Ｄk：２０～３０Ａ／ｄｍ2
　めっき時間：１～５秒
　粗化処理後、粗化面上に付着量が２００～３０００μｇ／ｄｍ2のコバルト－１００～７００μｇ／ｄｍ2のニッケルのコバルト－ニッケル合金めっき層を形成することができる。この処理は広い意味で一種の防錆処理とみることができる。このコバルト－ニッケル合金めっき層は、銅箔と基板の接着強度を実質的に低下させない程度に行う必要がある。コバルト付着量が２００μｇ／ｄｍ2未満では、耐熱剥離強度が低下し、耐酸化性及び耐薬品性が悪化することがある。また、もう一つの理由として、コバルト量が少ないと処理表面が赤っぽくなってしまうので好ましくない。コバルト付着量が３０００μｇ／ｄｍ2を超えると、磁性の影響を考慮せねばならない場合には好ましくなく、エッチングシミが生じる場合があり、また、耐酸性及び耐薬品性の悪化することがある。好ましいコバルト付着量は５００～２５００μｇ／ｄｍ2である。一方、ニッケル付着量が１００μｇ／ｄｍ2未満では耐熱剥離強度が低下し耐酸化性及び耐薬品性が悪化することがある。ニッケルが１３００μｇ／ｄｍ2を超えると、アルカリエッチング性が悪くなる。好ましいニッケル付着量は２００～１２００μｇ／ｄｍ2である。
　また、コバルト－ニッケル合金めっきの条件の一例は次の通りである：
　めっき浴組成：Ｃｏ１～２０ｇ／Ｌ、Ｎｉ１～２０ｇ／Ｌ
　ｐＨ：１．５～３．５
　温度：３０～８０℃
　電流密度Ｄk：１．０～２０．０Ａ／ｄｍ2
　めっき時間：０．５～４秒
　本発明に従えば、コバルト－ニッケル合金めっき上に更に付着量の３０～２５０μｇ／ｄｍ2の亜鉛めっき層が形成される。亜鉛付着量が３０μｇ／ｄｍ2未満では耐熱劣化率改善効果が無くなることがある。他方、亜鉛付着量が２５０μｇ／ｄｍ2を超えると耐塩酸劣化率が極端に悪くなることがある。好ましくは、亜鉛付着量は３０～２４０μｇ／ｄｍ2であり、より好ましくは８０～２２０μｇ／ｄｍ2である。
　上記亜鉛めっきの条件の一例は次の通りである：
　めっき浴組成：Ｚｎ１００～３００ｇ／Ｌ
　ｐＨ：３～４
　温度：５０～６０℃
　電流密度Ｄk：０．１～０．５Ａ／ｄｍ2
　めっき時間：１～３秒
　なお、亜鉛めっき層の代わりに亜鉛－ニッケル合金めっき等の亜鉛合金めっき層を形成してもよく、さらに最表面にはクロメート処理やシランカップリング剤の塗布等によって防錆層を形成してもよい。
　〔粗化粒子の個数密度〕
　本発明の表面処理銅箔は、少なくとも一方の銅箔表面に粗化処理により粗化粒子が形成され、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以上形成されている。このような構成により、ピール強度が高くなって樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が小さくなり、透明性が高くなる。この結果、当該樹脂を透過して視認される位置決めパターンを介して行うＩＣチップ搭載時の位置合わせ等が容易となる。長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2未満であると、銅箔表面の粗化処理が不十分であり、樹脂と十分に接着できない。また粒子径が１００ｎｍ超であり、単位体積あたりの粒子個数が少ない場合は、樹脂との接着性は確保されるが、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が大きくなり、透明性が低くなる。長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子は、好ましくは単位面積あたり６０個／μｍ2以上形成されており、より好ましくは１５０個／μｍ2以上形成されている。特に上限を設定する必要はないが、長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子の粒子個数の上限としては、例えば２５００個／μｍ2以下などが挙げられる。
　本発明の表面処理銅箔は、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり９０個／μｍ2以上形成されているのが好ましい。このような構成により、ピール強度が高くなって樹脂と良好に接着し、且つ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が小さくなり、透明性が高くなる。この結果、当該樹脂を透過して視認される位置決めパターンを介して行うＩＣチップ搭載時の位置合わせ等が容易となるという効果が生じる。長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり９０個／μｍ2未満であると、銅箔表面の粗化処理が不十分であり、樹脂と十分に接着できないおそれがある。また粒子径が２００ｎｍ超であり、単位体積あたりの粒子個数が少ない場合は、樹脂との接着性は確保されるが、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が大きくなり、透明性が低くなるという問題が生じるおそれがある。長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子は、好ましくは単位面積あたり１００個／μｍ2以上形成されており、より好ましくは１５０個／μｍ2以上形成されている。特に上限を設定する必要はないが、長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子の粒子個数の上限としては、例えば２５００個／μｍ2以下などが挙げられる。
　本発明の表面処理銅箔は、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以下で形成されているのが好ましい。このような構成により、樹脂との接着性を確保しつつ、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が高くなり、良好な透明性が得られるという効果が生じる。長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以上であると、銅箔をエッチングで除去した後の樹脂の曇りの度合い（ヘイズ値）が大きくなり、透明性が低くなるという問題が生じるおそれがある。長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粗化粒子は、好ましくは単位面積あたり３０個／μｍ2以下形成されており、より好ましくは１０個／μｍ2以下形成されている。特に下限を限定する必要はないが、長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粒子個数の下限としては０個／μｍ2以上が挙げられる。
　〔光沢度〕
　表面処理銅箔の粗化面の圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度は、上述の樹脂のヘイズ値に大いに影響を及ぼす。すなわち、粗化面の光沢度が大きい銅箔ほど、上述の樹脂のヘイズ値が小さくなる。このため、本発明の表面処理銅箔は、粗化面の光沢度が７６～３５０％であり、８０～３５０％であるのが好ましく、９０～３００％であるのが好ましく、９０～２５０％であるのがより好ましく、１００～２５０％であるのがより好ましい。
　ここで、本発明の視認性の効果をさらに向上させるために、表面処理前の銅箔の処理側の表面のＴＤの粗さ（Ｒｚ）及び光沢度を制御しておくことも重要である。具体的には、表面処理前の銅箔のＴＤの表面粗さ（Ｒｚ）が０．３０～０．８０μｍ、好ましくは０．３０～０．５０μｍであり、圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度が３５０～８００％、好ましくは５００～８００％であって、更に従来の粗化処理よりも電流密度を高くし、粗化処理時間を短縮すれば、表面処理を行った後の、表面処理銅箔の圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度が７６～３５０％となる。このような銅箔としては、圧延油の油膜当量を調整して圧延を行う（高光沢圧延）、或いは、ケミカルエッチングのような化学研磨やリン酸溶液中の電解研磨により作製することができる。このように、処理前の銅箔のＴＤの表面粗さ（Ｒｚ）と光沢度とを上記範囲にすることで、処理後の銅箔の所定長さの長径を有する粗化粒子の個数密度及び光沢度を制御しやすくすることができる。
　なお、表面処理後の圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度をより高く（例えば圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度＝３５０％）したい場合には、表面処理前の銅箔の処理側表面のＴＤの粗さ（Ｒｚ）を０．１８～０．８０μｍ、好ましくは０．２５～０．５０μｍであり、圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度が３５０～８００％、好ましくは５００～８００％であって、更に従来の粗化処理よりも電流密度を高くし、粗化処理時間を短縮する。
　なお、高光沢圧延は以下の式で規定される油膜当量を１３０００以上～２４０００以下とすることで行うことが出来る。なお、表面処理後の圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度をより高く（例えば圧延方向（ＭＤ）の入射角６０度での光沢度＝３５０％）したい場合には、高光沢圧延を以下の式で規定される油膜当量を１２０００以上～２４０００以下とすることで行う。
　油膜当量＝｛（圧延油粘度[ｃＳｔ]）×（通板速度[ｍｐｍ]＋ロール周速度[ｍｐｍ]）｝/｛（ロールの噛み込み角[ｒａｄ]）×（材料の降伏応力[ｋｇ／ｍｍ2]）｝
　圧延油粘度[ｃＳｔ]は４０℃での動粘度である。
　油膜当量を１２０００以上～２４０００以下とするためには、低粘度の圧延油を用いたり、通板速度を遅くしたりする等、公知の方法を用いればよい。
　化学研磨は硫酸－過酸化水素－水系またはアンモニア－過酸化水素－水系等のエッチング液で、通常よりも濃度を低くして、長時間かけて行う。
　粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃ（Ｃ＝（ＭＤの６０度光沢度）／（ＴＤの６０度光沢度））が０．８０～１．４０であるのが好ましい。粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃが０．８０未満であると、０．８０以上である場合よりもヘイズ値が高くなるおそれがある。また、当該比Ｃが１．４０超であると、１．４０以下である場合よりもヘイズ値が高くなるおそれがある。当該比Ｃは、０．９０～１．３５であるのがより好ましく、１．００～１．３０であるのが更により好ましい。
　〔ヘイズ値〕
　本発明の表面処理銅箔は、上述のように粗化処理表面の平均粗さＲｚ及び光沢度が制御されているため、樹脂基板に貼り合わせた後、銅箔を除去した部分の樹脂基板のヘイズ値が小さくなる。ここで、ヘイズ値（％）は、（拡散透過率）／（全光線透過率）×１００で算出される値である。具体的には、本発明の表面処理銅箔は、粗化処理表面側から厚さ５０μｍの樹脂基板の両面に貼り合わせた後、エッチングで当該銅箔を除去したとき、樹脂基板のヘイズ値が２０～７０％であるのが好ましく、３０～５５％であるのがより好ましい。
　〔粒子の表面積〕
　粗化粒子の表面積Ａと、粗化粒子を銅箔表面側から平面視したときに得られる面積Ｂとの比Ａ／Ｂは、上述の樹脂のヘイズ値に大いに影響を及ぼす。すなわち、表面粗さＲｚが同じであれば、比Ａ／Ｂが小さい銅箔ほど、上述の樹脂のヘイズ値が小さくなる。このため、本発明の表面処理銅箔は、当該比Ａ／Ｂが１．９０～２．４０であり、２．００～２．２０であるのが好ましい。
　粒子形成時の電流密度とメッキ時間とを制御することで、粒子の形態や形成密度が決まり、上記表面粗さＲｚ、光沢度及び粒子の面積比Ａ／Ｂを制御することができる。
　〔エッチングファクター〕
　銅箔を用いて回路を形成する際のエッチングファクターの値が大きい場合、エッチング時に生じる回路のボトム部のすそ引きが小さくなるため、回路間のスペースを狭くすることができる。そのため、エッチングファクターの値は大きい方が、ファインパターンによる回路形成に適しているため好ましい。本発明の表面処理銅箔は、例えば、エッチングファクターの値は１．８以上であることが好ましく、２．０以上であることが好ましく、２．２以上であることが好ましく、２．３以上であることが好ましく、２．４以上であることがより好ましい。
　なお、プリント配線板または銅張積層板においては、樹脂を溶かして除去することで、銅回路または銅箔表面について、前述の粒子の面積比（Ａ／Ｂ）、光沢度、粗化粒子個数密度を測定することができる。
　［伝送損失］
　伝送損失が小さい場合、高周波で信号伝送を行う際の、信号の減衰が抑制されるため、高周波で信号の伝送を行う回路において、安定した信号の伝送を行うことができる。そのため、伝送損失の値が小さい方が、高周波で信号の伝送を行う回路用途に用いることに適するため好ましい。表面処理銅箔を、市販の液晶ポリマー樹脂（（株）クラレ製Ｖｅｃｓｔａｒ　ＣＴＺ－５０μｍ）と貼り合わせた後、エッチングで特性インピーダンスが５０Ωのとなるようマイクロストリップ線路を形成し、ＨＰ社製のネットワークアナライザーＨＰ８７２０Ｃを用いて透過係数を測定し、周波数２０ＧＨｚおよび周波数４０ＧＨｚでの伝送損失を求めた場合に、周波数２０ＧＨｚにおける伝送損失が、５．０ｄＢ／１０ｃｍ未満が好ましく、４．１ｄＢ／１０ｃｍ未満がより好ましく、３．７ｄＢ／１０ｃｍ未満が更により好ましい。
　本発明の表面処理銅箔を、粗化処理面側から樹脂基板に貼り合わせて積層体を製造することができる。樹脂基板はプリント配線板等に適用可能な特性を有するものであれば特に制限を受けないが、例えば、リジッドＰＷＢ用に紙基材フェノール樹脂、紙基材エポキシ樹脂、合成繊維布基材エポキシ樹脂、ガラス布・紙複合基材エポキシ樹脂、ガラス布・ガラス不織布複合基材エポキシ樹脂及びガラス布基材エポキシ樹脂等を使用し、ＦＰＣ用にポリエステルフィルムやポリイミドフィルム、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルム、フッ素樹脂フィルム等を使用する事ができる。なお、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルムやフッ素樹脂フィルムを用いた場合、ポリイミドフィルムを用いた場合よりも、当該フィルムと表面処理銅箔とのピール強度が小さくなる傾向にある。よって、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルムやフッ素樹脂フィルムを用いた場合には、銅回路を形成後、銅回路をカバーレイで覆うことによって、当該フィルムと銅回路とが剥がれにくくし、ピール強度の低下による当該フィルムと銅回路との剥離を防止することができる。
　なお、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルムやフッ素樹脂フィルムは誘電正接が小さいため、液晶ポリマー（ＬＣＰ）フィルムやフッ素樹脂フィルムと本願発明に係る表面処理銅箔とを用いた銅張積層板、プリント配線板、プリント回路板は高周波回路（高周波で信号の伝送を行う回路）用途に適する。また、本願発明に係る表面処理銅箔は表面粗さＲｚが小さく、光沢度が高いため表面が平滑であり、高周波回路用途にも適する。
　貼り合わせの方法は、リジッドＰＷＢ用の場合、ガラス布などの基材に樹脂を含浸させ、樹脂を半硬化状態まで硬化させたプリプレグを用意する。銅箔を被覆層の反対側の面からプリプレグに重ねて加熱加圧させることにより行うことができる。ＦＰＣの場合、ポリイミドフィルム等の基材に接着剤を介して、又は、接着剤を使用せずに高温高圧下で銅箔に積層接着して、又は、ポリイミド前駆体を塗布・乾燥・硬化等を行うことで積層板を製造することができる。
　本発明の積層体は各種のプリント配線板（ＰＷＢ）に使用可能であり、特に制限されるものではないが、例えば、導体パターンの層数の観点からは片面ＰＷＢ、両面ＰＷＢ、多層ＰＷＢ（３層以上）に適用可能であり、絶縁基板材料の種類の観点からはリジッドＰＷＢ、フレキシブルＰＷＢ（ＦＰＣ）、リジッド・フレックスＰＷＢに適用可能である。
　〔積層板及びそれを用いたプリント配線板の位置決め方法〕
　本発明の表面処理銅箔と樹脂基板との積層板の位置決めをする方法について説明する。まず、表面処理銅箔と樹脂基板との積層板を準備する。本発明の表面処理銅箔と樹脂基板との積層板の具体例としては、本体基板と付属の回路基板と、それらを電気的に接続するために用いられる、ポリイミド等の樹脂基板の少なくとも一方の表面に銅配線が形成されたフレキシブルプリント基板とで構成される電子機器において、フレキシブルプリント基板を正確に位置決めして当該本体基板及び付属の回路基板の配線端部に圧着させて作製される積層板が挙げられる。すなわち、この場合であれば、積層板は、フレキシブルプリント基板及び本体基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層体、或いは、フレキシブルプリント基板及び回路基板の配線端部が圧着により貼り合わせられた積層板となる。積層板は、当該銅配線の一部や別途材料で形成したマークを有している。マークの位置については、当該積層板を構成する樹脂越しにＣＣＤカメラ等の撮影手段で撮影可能な位置であれば特に限定されない。ここで、マークとは積層板やプリント配線板等の位置を検出し、または、位置決めをし、または、位置合わせをするために用いられる印（しるし）のことをいう。
　このように準備された積層板において、上述のマークを樹脂越しに撮影手段で撮影すると、前記マークの位置を良好に検出することができる。そして、このようにして前記マークの位置を検出して、前記検出されたマークの位置に基づき表面処理銅箔と樹脂基板との積層板の位置決めを良好に行うことができる。また、積層板としてプリント配線板を用いた場合も同様に、このような位置決め方法によって撮影手段がマークの位置を良好に検出し、プリント配線板の位置決めをより正確に行うことが出来る。
　そのため、一つのプリント配線板ともう一つのプリント配線板を接続する際に、接続不良が低減し、歩留まりが向上すると考えられる。なお、一つのプリント配線板ともう一つのプリント配線板を接続する方法としては半田付けや異方性導電フィルム（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｆｉｌｍ、ＡＣＦ）を介した接続、異方性導電ペースト（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ　Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ　Ｐａｓｔｅ、ＡＣＰ）を介した接続または導電性を有する接着剤を介しての接続など公知の接続方法を用いることができる。なお、本発明において、「プリント配線板」には部品が装着されたプリント配線板およびプリント回路板およびプリント基板も含まれることとする。また、本発明のプリント配線板を２つ以上接続して、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造することができ、また、本発明のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続することができ、このようなプリント配線板を用いて電子機器を製造することもできる。なお、本発明において、「銅回路」には銅配線も含まれることとする。さらに、本発明のプリント配線板を、部品と接続してプリント配線板を製造してもよい。また、本発明のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの本発明のプリント配線板又は本発明のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続し、さらに、本発明のプリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板と、部品とを接続することで、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造してもよい。ここで、「部品」としては、コネクタやＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ　Ｃｒｉｓｔａｌ　Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＬＣＤに用いられるガラス基板などの電子部品、ＩＣ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ　ｓｃａｌｅ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＶＬＳＩ（Ｖｅｒｙ　Ｌａｒｇｅ　ｓｃａｌｅ　ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　ｃｉｒｃｕｉｔ）、ＵＬＳＩ　（Ｕｌｔｒａ－Ｌａｒｇｅ　Ｓｃａｌｅ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）などの半導体集積回路を含む電子部品（例えばＩＣチップ、ＬＳＩチップ、ＶＬＳＩチップ、ＵＬＳＩチップ）、電子回路をシールドするための部品およびプリント配線板にカバーなどを固定するために必要な部品等が挙げられる。
　なお、本発明の実施の形態に係る位置決め方法は積層板（銅箔と樹脂基板との積層板やプリント配線板を含む）を移動させる工程を含んでいてもよい。移動工程においては例えばベルトコンベヤーやチェーンコンベヤーなどのコンベヤーにより移動させてもよく、アーム機構を備えた移動装置により移動させてもよく、気体を用いて積層板を浮遊させることで移動させる移動装置や移動手段により移動させてもよく、略円筒形などの物を回転させて積層板を移動させる移動装置や移動手段（コロやベアリングなどを含む）、油圧を動力源とした移動装置や移動手段、空気圧を動力源とした移動装置や移動手段、モーターを動力源とした移動装置や移動手段、ガントリ移動型リニアガイドステージ、ガントリ移動型エアガイドステージ、スタック型リニアガイドステージ、リニアモーター駆動ステージなどのステージを有する移動装置や移動手段などにより移動させてもよい。また、公知の移動手段による移動工程を行ってもよい。上記、積層板を移動させる工程において、積層板を移動させて位置合わせをすることができる。そして、位置合わせをすることで、一つのプリント配線板ともう一つのプリント配線板や部品を接続する際に、接続不良が低減し、歩留まりが向上すると考えられる。
　なお、本発明の実施の形態に係る位置決め方法は表面実装機やチップマウンターに用いてもよい。
　また、本発明において位置決めされる表面処理銅箔と樹脂基板との積層板が、樹脂板及び前記樹脂板の上に設けられた回路を有するプリント配線板であってもよい。また、その場合、前記マークが前記回路であってもよい。
　本発明において「位置決め」とは「マークや物の位置を検出すること」を含む。また、本発明において、「位置合わせ」とは、「マークや物の位置を検出した後に、前記検出した位置に基づいて、当該マークや物を所定の位置に移動すること」を含む。
　実施例１～２３及び比較例１～１３として、各種銅箔を準備し、一方の表面に、粗化処理として表１～８に記載の条件にてめっき処理を行った。
　上述の粗化めっき処理を行った後、実施例１～１２、１４～１９、２１～２３、比較例２、４、７～１０について次の耐熱層および防錆層形成のためのめっき処理を行った。
　耐熱層１の形成条件を以下に示す。
　　液組成　　：ニッケル５～２０ｇ／Ｌ、コバルト１～８ｇ／Ｌ
　　ｐＨ　　　：２～３
　　液温　　　：４０～６０℃
　　電流密度　：５～２０Ａ／ｄｍ2
　　クーロン量：１０～２０Ａｓ／ｄｍ2
　上記耐熱層１を施した銅箔上に、耐熱層２を形成した。比較例３、５、６については、粗化めっき処理は行わず、準備した銅箔に、この耐熱層２を直接形成した。耐熱層２の形成条件を以下に示す。
　　液組成　　：ニッケル２～３０ｇ／Ｌ、亜鉛２～３０ｇ／Ｌ
　　ｐＨ　　　：３～４
　　液温　　　：３０～５０℃
　　電流密度　：１～２Ａ／ｄｍ2
　　クーロン量：１～２Ａｓ／ｄｍ2
　上記耐熱層１及び２を施した銅箔上に、さらに防錆層を形成した。防錆層の形成条件を以下に示す。
　　液組成　　：重クロム酸カリウム１～１０ｇ／Ｌ、亜鉛０～５ｇ／Ｌ
　　ｐＨ　　　：３～４
　　液温　　　：５０～６０℃
　　電流密度　：０～２Ａ／ｄｍ2（浸漬クロメート処理のため）
　　クーロン量：０～２Ａｓ／ｄｍ2（浸漬クロメート処理のため）
　上記耐熱層１、２及び防錆層を施した銅箔上に、さらに耐候性層を形成した。形成条件を以下に示す。
　　アミノ基を有するシランカップリング剤として、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリメトキシシラン（実施例１６）、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルトリエトキシシラン（実施例１～１２、１４、１５、２３）、Ｎ－２－（アミノエチル）－３－アミノプロピルメチルジメトキシシラン（実施例１７）、３－アミノプロピルトリメトキシシラン（実施例１８）、３－アミノプロピルトリエトキシシラン（実施例１９）、３－トリエトキシシリル－Ｎ－（１，３－ジメチル－ブチリデン）プロピルアミン（実施例２１）、Ｎ－フェニル－３－アミノプロピルトリメトキシシラン（実施例２２）で、塗布・乾燥を行い、耐候性層を形成した。これらのシランカップリング剤を２種以上の組み合わせで用いることもできる。
　なお、圧延銅箔は以下のように製造した。表９に示す組成の銅インゴットを製造し、熱間圧延を行った後、３００～８００℃の連続焼鈍ラインの焼鈍と冷間圧延を繰り返して１～２ｍｍ厚の圧延板を得た。この圧延板を３００～８００℃の連続焼鈍ラインで焼鈍して再結晶させ、表９の厚みまで最終冷間圧延し、銅箔を得た。表９の「種類」の欄の「タフピッチ銅」はＪＩＳ　Ｈ３１００　Ｃ１１００に規格されているタフピッチ銅を、「無酸素銅」はＪＩＳ　Ｈ３１００　Ｃ１０２０に規格されている無酸素銅を示す。また、「タフピッチ銅＋Ａｇ：１００ｐｐｍ」はタフピッチ銅にＡｇを１００質量ｐｐｍ添加したことを意味する。
　電解銅箔はＪＸ日鉱日石金属社製電解銅箔ＨＬＰ箔を用いた。電解研磨または化学研磨を行った場合には、電解研磨または化学研磨後の板厚を記載した。
　なお、表９に表面処理前の銅箔作製工程のポイントを記載した。「高光沢圧延」は、最終の冷間圧延（最終の再結晶焼鈍後の冷間圧延）を記載の油膜当量の値で行ったことを意味する。「通常圧延」は、最終の冷間圧延（最終の再結晶焼鈍後の冷間圧延）を記載の油膜当量の値で行ったことを意味する。「化学研磨」、「電解研磨」は、以下の条件で行ったことを意味する。
　「化学研磨」はＨ2ＳＯ4が１～３質量％、Ｈ2Ｏ2が０．０５～０．１５質量％、残部水のエッチング液を用い、研磨時間を１時間とした。
　「電解研磨」はリン酸６７％＋硫酸１０％＋水２３％の条件で、電圧１０Ｖ／ｃｍ2、表９に記載の時間（１０秒間の電解研磨を行うと、研磨量は１～２μｍとなる。）で行った。
　上述のようにして作製した実施例及び比較例の各サンプルについて、各種評価を下記の通り行った。
（１）粒子の面積比（Ａ／Ｂ）；
　粗化粒子の表面積はレーザー顕微鏡による測定法を使用した。株式会社キーエンス製レーザーマイクロスコープＶＫ８５００を用いて粗化処理面の倍率２０００倍における１００×１００μｍ相当面積Ｂ（実データでは９９８２．５２μｍ2）における三次元表面積Ａを測定して、三次元表面積Ａ÷二次元表面積Ｂ＝面積比（Ａ／Ｂ）とする手法により設定を行った。
（２）光沢度；
　ＪＩＳ　Ｚ８７４１に準拠した日本電色工業株式会社製光沢度計ハンディーグロスメーターＰＧ－１を使用し、圧延方向（ＭＤ、電解銅箔の場合は通箔方向）及び圧延方向に直角な方向（ＴＤ、電解銅箔の場合は通箔方向に直角な方向）のそれぞれの入射角６０度で粗化面について測定した。
　なお、表面処理前の銅箔についても、同様にして光沢度を求めておいた。
（３）ヘイズ値；
　銅箔をラミネート用熱硬化性接着剤付きポリイミドフィルム（厚み５０μｍ、宇部興産製ユーピレックス）の両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング（塩化第二鉄水溶液）で除去してサンプルフィルムを作成した。ＪＩＳ　Ｋ７１３６（２０００）に準拠した村上色彩技術研究所製ヘイズメーターＨＭ－１５０を使用し、サンプルフィルムのヘイズ値を測定した。
（４）視認性（樹脂透明性）；
　銅箔をラミネート用熱硬化性接着剤付きポリイミドフィルム（厚み５０μｍ、宇部興産製ユーピレックス）の両面に貼り合わせ、銅箔をエッチング（塩化第二鉄水溶液）で除去してサンプルフィルムを作成した。得られた樹脂層の一面に印刷物（直径６ｃｍの黒色の円）を貼り付け、反対面から樹脂層越しに印刷物の視認性を判定した。印刷物の黒色の円の輪郭が円周の９０％以上の長さにおいてはっきりしたものを「◎」、黒色の円の輪郭が円周の８０％以上９０％未満の長さにおいてはっきりしたものを「○」（以上合格）、黒色の円の輪郭が円周の０～８０％未満の長さにおいてはっきりしたもの及び輪郭が崩れたものを「×」（不合格）と評価した。
（５）ピール強度（接着強度）；
　ＰＣ－ＴＭ－６５０に準拠し、引張り試験機オートグラフ１００で常態ピール強度を測定し、上記常態ピール強度が０．７Ｎ／ｍｍ以上を積層基板用途に使用できるものとした。
（６）粗化粒子個数密度；
　日立ハイテクノロジーズ社製走査型電子顕微鏡写真Ｓ４７００を用いて、表面処理銅箔の粗化粒子を８万倍の倍率（面積：１．５８μｍ×１．１９μｍ＝１．８８μｍ2）で観察し、粒径サイズ毎に粒子個数をカウントした。なお、走査型電子顕微鏡写真の粒子の上に直線を引いた場合に、粒子を横切る直線の長さが最も長い部分の粒子の長さをその粒子の長径とした。観察された粒子個数を面積１．８８μｍ2を用いて、単位面積当たりの粒子個数として表に示す。
（７）エッチングによる回路形状（ファインパターン特性）
　銅箔をラミネート用熱硬化性接着剤付きポリイミドフィルム（厚み５０μｍ、宇部興産製ユーピレックス）の両面に貼り合わせた。ファインパターン回路形成を行うために銅箔厚みを同じにする必要があり、ここでは１２μｍ銅箔厚みを基準とした。すなわち、１２μｍよりも厚みが厚い場合には、電解研磨により１２μｍ厚みまで減厚した。一方で１２μｍより厚みが薄い場合には、銅めっき処理により１２μｍ厚みまで増厚した。得られた両面積層板の片面側について、積層板の銅箔光沢面側に感光性レジスト塗布及び露光工程により、ファインパターン回路を印刷し、銅箔の不要部分を下記条件でエッチング処理を行い、Ｌ／Ｓ＝２０／２０μｍとなるようなファインパターン回路を形成した。ここで回路幅は回路断面のボトム幅が２０μｍとなるようにした。
（エッチング条件）
装置：スプレー式小型エッチング装置
スプレー圧：０．２ＭＰａ
エッチング液：塩化第二鉄水溶液（比重４０ボーメ）
液温度：５０℃
ファインパターン回路形成後に、４５℃のＮａＯＨ水溶液に１分間浸漬させて感光性レジスト膜を剥離した。
（８）エッチングファクター（Ｅｆ）の算出
　上記にて得られたファインパターン回路サンプルを、日立ハイテクノロジーズ社製走査型電子顕微鏡写真Ｓ４７００を用いて、２０００倍の倍率で回路上部から観察を行い、回路上部のトップ幅（Ｗａ）と回路底部のボトム幅（Ｗｂ）を測定した。銅箔厚み（Ｔ）は１２μｍとした。エッチングファクター（Ｅｆ）は、下記式により算出した。
　　エッチングファクター（Ｅｆ）　＝　（２×Ｔ）／（Ｗｂ－Ｗａ）
（９）はんだ耐熱評価；
　銅箔をラミネート用熱硬化性接着剤付きポリイミドフィルム（厚み５０μｍ、宇部興産製ユーピレックス）の両面に貼り合わせた。得られた両面積層板について、ＪＩＳ　Ｃ６４７１に準拠したテストクーポンを作成した。作成したテストクーポンを８５℃、８５％ＲＨの高温高湿下で４８時間暴露した後に、３００℃のはんだ槽に浮かべて、はんだ耐熱特性を評価した。はんだ耐熱試験後に、銅箔粗化処理面とポリイミド樹脂接着面の界面において、テストクーポン中の銅箔面積の５％以上の面積において、膨れにより界面が変色したものを×（不合格）、面積が５％未満の膨れ変色の場合を○、全く膨れ変色が発生しなかったものを◎として評価した。
（１０）伝送損失の測定
　１８μｍ厚の各サンプルについて、市販の液晶ポリマー樹脂（（株）クラレ製Ｖｅｃｓｔａｒ　ＣＴＺ－５０μｍ）と貼り合わせた後、エッチングで特性インピーダンスが５０Ωのとなるようマイクロストリップ線路を形成し、ＨＰ社製のネットワークアナライザーＨＰ８７２０Ｃを用いて透過係数を測定し、周波数２０ＧＨｚおよび周波数４０ＧＨｚでの伝送損失を求めた。周波数２０ＧＨｚにおける伝送損失の評価として、３．７ｄＢ／１０ｃｍ未満を◎、３．７ｄＢ／１０ｃｍ以上且つ４．１ｄＢ／１０ｃｍ未満を○、４．１ｄＢ／１０ｃｍ以上且つ５．０ｄＢ／１０ｃｍ未満を△、５．０ｄＢ／１０ｃｍ以上を×とした。
　上記各試験の条件及び評価を表１～１１に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000007
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000008
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000009
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000010
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000011
　〔評価結果〕
　実施例１～２３は、いずれもヘイズ値、視認性及びピール強度が良好であった。
　比較例１～２、４、７～１１、１３は、ヘイズ値が著しく高く、視認性が不良であった。
　比較例３、５、６、１２は、視認性は優れていたが、ピール強度が不十分であり、基板密着性が不良であった。
　また、実施例４は実施例１４とＭＤの６０度光沢度、表面積比Ａ／Ｂがほぼ同じ値であるが、実施例４の粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃの値が０．８４と０．８０～１．４０の範囲内であったため、Ｃの値が０．７５と０．８０～１．４０の範囲外である実施例１４よりもヘイズ値が小さくなった。
　同様の理由で実施例１５は実施例１６よりもヘイズ値が小さくなった。
　図１に実施例４、図２に比較例１、図３に比較例７の銅箔表面のＳＥＭ観察写真をそれぞれ示す。

Claims (17)

  1. 　少なくとも一方の銅箔表面に粗化処理により粗化粒子が形成され、粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以上形成されており、粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度が７６～３５０％である表面処理銅箔。
  2. 　粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が２００ｎｍ以下である粗化粒子が単位面積あたり９０個／μｍ2以上形成されている請求項１に記載の表面処理銅箔。
  3. 　粗化処理表面の前記粗化粒子について、長径が１００ｎｍ超且つ１５０ｎｍ以下の粗化粒子が単位面積あたり５０個／μｍ2以下で形成されている請求項１又は２に記載の表面処理銅箔。
  4. 　前記ＭＤの６０度光沢度が９０～２５０％である請求項１～３のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  5. 　粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃ（Ｃ＝（ＭＤの６０度光沢度）／（ＴＤの６０度光沢度））が０．８０～１．４０である請求項１～４のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  6. 　粗化処理表面のＭＤの６０度光沢度とＴＤの６０度光沢度との比Ｃ（Ｃ＝（ＭＤの６０度光沢度）／（ＴＤの６０度光沢度））が０．９０～１．３５である請求項５に記載の表面処理銅箔。
  7. 　前記粗化粒子の表面積Ａと、前記粗化粒子を前記銅箔表面側から平面視したときに得られる面積Ｂとの比Ａ／Ｂが１．９０～２．４０である請求項１～６のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  8. 　前記Ａ／Ｂが２．００～２．２０である請求項７に記載の表面処理銅箔。
  9. 　前記銅箔を、粗化処理表面側から厚さ５０μｍの樹脂基板の両面に貼り合わせた後、エッチングで前記両面の銅箔を除去したとき、前記樹脂基板のヘイズ値が２０～７０％となる請求項１～８のいずれかに記載の表面処理銅箔。
  10. 　請求項１～９のいずれかに記載の表面処理銅箔と樹脂基板とを積層して構成した積層板。
  11. 　請求項１～９のいずれかに記載の表面処理銅箔を用いたプリント配線板。
  12. 　請求項１１に記載のプリント配線板を用いた電子機器。
  13. 　請求項１１に記載のプリント配線板を２つ以上接続して、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
  14. 　請求項１１に記載のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの請求項１１に記載のプリント配線板又は請求項１１に記載のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程を含む、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
  15. 　請求項１３又は１４に記載のプリント配線板が少なくとも１つ接続したプリント配線板を１つ以上用いた電子機器。
  16. 　請求項１１に記載のプリント配線板と、部品とを接続する工程を少なくとも含む、プリント配線板を製造する方法。
  17. 　請求項１１に記載のプリント配線板を少なくとも１つと、もう一つの請求項１１に記載のプリント配線板又は請求項１１に記載のプリント配線板に該当しないプリント配線板とを接続する工程、および、
    　請求項１１に記載のプリント配線板又は請求項１４に記載のプリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板と、部品とを接続する工程
    を少なくとも含む、プリント配線板が２つ以上接続したプリント配線板を製造する方法。
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