WO2012176737A1 - 仮固定組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
を含み、100℃における溶融粘度が1~5000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が30~100である、平面研磨に用いられる、仮固定組成物である。
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
を含み、100℃における溶融粘度が1000~20000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が20~50である、金属研削に用いられる、仮固定組成物である。
本発明で使用することができる(A)成分は、炭素数16~35のα-オレフィン(以下、「高級オレフィン」とも称する)のみから重合される熱可塑性樹脂である。α-オレフィンの炭素数が16以下であると、重合体は結晶性が低くなり、硬度が低下する傾向がある。また、α-オレフィンの炭素数が35以上であると、重合体は融解、結晶化の温度域が広くなり不均一になる傾向がある。
本発明で使用することができる(B)成分は、水素添加された粘着付与剤である。(B)成分を添加することにより、仮固定組成物が硬質になる。
本発明で使用できる(C)成分は、25℃で固体である炭化水素化合物である。(C)成分を添加することにより、剪断強度が向上する。
[ウェハ等・金属]
用いられうるウェハ等としては、特に制限されないが、シリコンウェハ、サファイアガラス、セラミックス材料、光学用ガラス、水晶、磁性材料等が挙げられる。より詳細には、光学ガラス(レンズ、プリズム、PBS、オプチカルフィルター)、電子部品ガラス、石英ガラス(合成石英、溶融石英)、水晶(水晶放熱板、SAW、オプチカルローパスフィルター)、ニオブ酸リチウム LiNbO3、タンタル酸リチウム LiTaO3、酸化マグネシウム MgO、サマリウムコバルト SmCo、ネオジム鉄ボロン NbFeB、フェライト (ハードフェライト、ソフトフェライト)、チタン酸バリウム BaTiO3、チタン酸カリウム、ジルコニア ZrO2、窒化ケイ素 Si3N4、窒化アルミAlN、アルミナ Al2O3、サファイア、圧電セラミックス PZT、マシナブルセラミックスなどが挙げられる。
本形態に係る仮固定組成物は、非反応型であり、高い接着強度を有し、簡便かつきれいに剥離することができることから、ウェハ等や金属の表面加工(研磨、研削等)を行う場合の仮固定に好適に適用される。
はじめに以下に示す(A)~(C)成分、(B’)成分、および(C’)成分の相溶性を確認した。より詳細には、はじめに(A)成分を加熱して溶融させた。この際、溶融温度は使用する(A)成分ごとに適宜変更した。次に、溶融した(A)成分に(B)成分または(B’)成分を添加して均一になるまで15分撹拌した。その後、(C)成分または(C’)成分を添加して、さらに15分間撹拌して、組成物を得た。詳細な調製量は表1に示す。この際、数値は全て質量部で表記した。
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂(25℃で固形)
・融点が70℃の熱可塑性樹脂(エルクリスタC-7100 出光興産株式会社製)
・融点が40℃の熱可塑性樹脂(エルクリスタC-4100 出光興産株式会社製)
(B)成分:水素添加された粘着付与剤(25℃で固形)
・アイマーブ P-100(出光興産株式会社製)
・アイマーブ P-125(出光興産株式会社製)
・アイマーブ P-140(出光興産株式会社製)
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
炭化水素系ワックス
・Hi-Mic-1090(25℃で固形)(日本精蝋株式会社製)
・LUVAX-2191(25℃で固形)(日本精蝋株式会社製)
・PARAFFIN WAX-115(25℃で固形)(日本精蝋株式会社製)
・PARAFFIN WAX-130(25℃で固形)(日本精蝋株式会社製)
・PARAFFIN WAX-155(25℃で固形)(日本精蝋株式会社製)
・licocene PP 1602(25℃で固形)(Clariant製)
EVAワックス
・ウルトラセン 7A55A(25℃で固形)(東ソー株式会社製)
・P-100A(25℃で固形)(東ソー株式会社製)
(B’)成分:(B)成分以外の成分(25℃で固形)
非水素添加型粘着付与剤
・アイマーブS-100(出光興産株式会社製)
・アイマーブS-110(出光興産株式会社製)
(C’)成分:(C)成分以外の成分
炭化水素系ワックス(25℃で液体)
・IPソルベント 2835(出光興産株式会社製)
・リニアレンPAO V-50(出光興産株式会社製)
SEBS系ゴムエラストマー(25℃で固形)
・FG1901X(KRATON製)
・G1726M(KRATON製)
SIBS系ゴムエラストマー(25℃で固形)
・シブスター102T(株式会社カネカ製)
・シブスター103T(株式会社カネカ製)
ゴムエラストマー(25℃で固形)
・HYBRAR7125(株式会社クラレ製)
ポリアミドエラストマー(25℃で固形)
・セバシン酸(伊藤製油株式会社製)
・1,2-ヒドロキシステアリン酸(伊藤製油株式会社製)
・ヒマシ硬化油(伊藤製油株式会社製)
・A-S-A T-1700(伊藤製油株式会社製)
・A-S-A T-1800(伊藤製油株式会社製)
・ITOHWAX J-420(伊藤製油株式会社製)
・ITOHWAX J-500(伊藤製油株式会社製)
・ITOHWAX J-530(伊藤製油株式会社製)
・ITOHWAX J-630(伊藤製油株式会社製)
・ITOHWAX J-700(伊藤製油株式会社製)
(実施例1~20および比較例1~19)
以下に示す(A)~(C)成分を適宜組み合わせて仮固定組成物を製造した。より詳細には、(A)成分を溶融させた後、はじめに(A)成分を加熱して溶融させた。この際、溶融温度は使用する(A)成分ごとに適宜変更した。次に、溶融した(A)成分に(B)成分を添加して均一になるまで15分撹拌した。その後、(C)成分を添加して、さらに15分間撹拌して、仮固定組成物を得た。詳細な調製量は表2に示す。この際、数値は全て質量部で表記した。なお、仮固定組成物が(B)成分を含まない場合には、(B)成分の添加および撹拌は省略した。
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
・融点が70℃の熱可塑性樹脂(エルクリスタC-7100 出光興産株式会社製)
・融点が40℃の熱可塑性樹脂(エルクリスタC-4100 出光興産株式会社製)
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
・アイマーブ P-100(出光興産株式会社製)
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
・licocene PP 1602(軟化点:85~91℃)(Clariant製)
・PARAFFIN WAX-115(融点:69℃)(日本精蝋株式会社製)
・PARAFFIN WAX-130(融点:55℃)(日本精蝋株式会社製)
・PARAFFIN WAX-155(融点:47℃)(日本精蝋株式会社製)
その他
・IPソルベント2835(25℃で液体)(出光興産株式会社製)
上記で製造した実施例1~20および比較例1~19の仮固定組成物について、その物性を評価した。
下記の条件で溶融粘度を測定した。得られた結果を表3に示す。なお、25℃において液状の場合は、「液体」と記載した。
スピンドル:SC4-21
回転速度:組成物の粘度により5、10、20、50、100rpmと適宜変更する
測定温度:100℃
(ショア硬度測定)
上記で製造した仮固定組成物を円筒形に成型した後、加圧基準面が接する面および測定台が接する面として対向する2つの面が平坦となるように処理した。成型した仮固定組成物を測定台の上に載置し、デュロメーターの加圧基準面を試料表面に平行に保ちながら衝撃を伴うことなく仮固定組成物の表面に押しつけて密着させた。この際、デュロメーターの押針は仮固定組成物の端より12mm以上離れていた。仮固定組成物にデュロメーターの押針を所定の力で押しつけその最大値を「ショア硬度」とした。測定温度は25℃であった。なお、10N(1kgf)で押しつけて得られた値はショアA硬度であり、50N(5kgf)で押しつけて得られた値はショアD硬度である。得られた結果を表3に示す。なお、硬度が100の場合は「上限値」と記載し、25℃において液状の場合は「測定不可能」と記載した。
上記で製造した仮固定組成物を加温しながら下記のガラス板に塗布して、ガラス板の位置を合わせて貼り合わせた。その後、図1に記載のようにガラス板を仮固定してデジタルフォースゲージを所定の移動速度で移動させて、接着面に対して剪断方向にデジタルフォースゲージのヘッドをガラス板に接触させた時の強度(N)を測定した。接着面積(m2)当たりの強度を「剪断強度(MPa)」とした。得られた結果を表3に示す。この際、25℃において液状の場合は、「測定不可能」と記載した。なお、剪断強度が0.05MPa未満の場合には、一般的に仮固定に適していないといえる。
接着面積:25×10mm
強度測定器:デジタルフォースゲージ FGC-10 日本電産シンポ株式会社製
強度測定器の移動速度:10mm/min
上記ウェハ等の平面研磨に用いられる仮固定組成物の製造と同様の方法で、金属の研削に用いられる仮固定組成物を製造した。詳細な調製量は表4に示す。
上記で製造した実施例21~24および比較例20~24の仮固定組成物について、その物性を評価した。
上記ウェハ等の平面研磨に用いられる仮固定組成物で行った方法と同様の方法で溶融粘度を測定した。得られた結果を表5に示す。
上記ウェハ等の平面研磨に用いられる仮固定組成物で行った方法と同様の方法でショアA硬度およびショアD硬度を測定した。得られた結果を表5に示す。
仮固定組成物をステンレス板に塗布したことを除いては、上記ウェハ等の平面研磨に用いられる仮固定組成物で行った方法と同様の方法で剪断強度を測定した。得られた結果を表5に示す。
1:一定速度で移動するデジタルフォースゲージのヘッド(本体省略)
2:仮固定したガラス板
3:固定治具
図2および図3は下記の符号に従う。
1:キャリア
2:仮固定組成物
3:ウェハ(被着体)
4:ノズル
5:スラリー
6:パットコンディショナ
7:プラテン
8:パット
Claims (7)
- 下記(A)~(C)成分:
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
を含み、100℃における溶融粘度が1~5000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が30~100である、平面研磨に用いられる、仮固定組成物。 - 下記(A)~(C)成分:
(A)成分:炭素数16~35のα-オレフィンのみから重合される熱可塑性樹脂
(B)成分:水素添加された粘着付与剤
(C)成分:25℃で固体である炭化水素化合物
を含み、100℃における溶融粘度が1000~20000mPa・sであり、かつ、ショアD硬度が20~50である、金属研削に用いられる、仮固定組成物。 - 25℃において液体である炭化水素化合物を実質的に含まない、請求項1または2に記載の仮固定組成物。
- 前記(B)成分が、ジシクロペンタジエンと芳香族化合物との共重合体を水素添加したものである、請求項1~3のいずれか1項に記載の仮固定組成物。
- 前記(A)成分100質量部に対して、前記(B)成分を100~600質量部含む、請求項1~4のいずれか1項に記載の仮固定組成物。
- 前記(C)成分が、軟化点が60~100℃である炭化水素化合物、および融点が40~80℃である炭化水素化合物を含む、請求項1~5のいずれか1項に記載の仮固定組成物。
- 前記(A)成分100質量部に対して、前記(C)成分を1~600質量部含む、請求項1~6のいずれか1項に記載の仮固定組成物。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/127,641 US20140114007A1 (en) | 2011-06-20 | 2012-06-18 | Temporary fixing composition |
KR1020137033370A KR20140033133A (ko) | 2011-06-20 | 2012-06-18 | 가고정 조성물 |
CN201280029004.1A CN103703094A (zh) | 2011-06-20 | 2012-06-18 | 临时固定组合物 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011-136018 | 2011-06-20 | ||
JP2011136018 | 2011-06-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
WO2012176737A1 true WO2012176737A1 (ja) | 2012-12-27 |
Family
ID=47422574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
PCT/JP2012/065522 WO2012176737A1 (ja) | 2011-06-20 | 2012-06-18 | 仮固定組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140114007A1 (ja) |
JP (1) | JPWO2012176737A1 (ja) |
KR (1) | KR20140033133A (ja) |
CN (1) | CN103703094A (ja) |
TW (1) | TW201300473A (ja) |
WO (1) | WO2012176737A1 (ja) |
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- 2012-06-18 JP JP2013521574A patent/JPWO2012176737A1/ja active Pending
- 2012-06-18 US US14/127,641 patent/US20140114007A1/en not_active Abandoned
- 2012-06-18 WO PCT/JP2012/065522 patent/WO2012176737A1/ja active Application Filing
- 2012-06-18 TW TW101121812A patent/TW201300473A/zh unknown
- 2012-06-18 CN CN201280029004.1A patent/CN103703094A/zh active Pending
- 2012-06-18 KR KR1020137033370A patent/KR20140033133A/ko not_active Application Discontinuation
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KR20140033133A (ko) | 2014-03-17 |
TW201300473A (zh) | 2013-01-01 |
US20140114007A1 (en) | 2014-04-24 |
CN103703094A (zh) | 2014-04-02 |
JPWO2012176737A1 (ja) | 2015-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 12802708 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 2013521574 Country of ref document: JP Kind code of ref document: A |
|
ENP | Entry into the national phase |
Ref document number: 20137033370 Country of ref document: KR Kind code of ref document: A |
|
WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 14127641 Country of ref document: US |
|
NENP | Non-entry into the national phase |
Ref country code: DE |
|
122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 12802708 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |