WO2012156647A1 - Piece avec revetement dlc et procede d'application du revetement dlc - Google Patents

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WO2012156647A1
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μηι
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Christophe Heau
Laurent BOMBILLON
Philippe Maurin-Perrier
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Definitions

  • the invention relates to the technical sector of DLC coatings especially for friction parts.
  • the invention finds a particularly advantageous application for reducing the coefficient of friction, for example piston pins, cam shafts, pushers, cylinders, segments, and more generally, in all cases of friction loaded.
  • it is well known to a person skilled in the art to subject the part or parts concerned to a DLC coating.
  • the invention can also find applications in which it seeks a black color of the surface provided by the coating without seeking a reduction of friction.
  • WO201 1/018252 discloses with a friction piece a coating consisting of an underlayer hooked, a metal coating DLC and a DLC coating without metal.
  • the hook layer is preferably a chromium coating with a maximum thickness of ⁇ while the metal coating DLC is preferably tungsten carbide WCC.
  • the thickness ratios of the different layers and coatings are limited to ranges of values so that outside of these ranges, if the thickness of DLC is too low, the The service life of the part will also be reduced while if the thickness of DLC is too great, the part will have premature wear with risk of flaking.
  • WO0179585 discloses a multilayer system having a hook layer, a transition layer and an adamantine carbon layer.
  • the hook layer comprises a group 4, 5 or 6 element and silicon, while the transition layer comprises carbon or at least one group 4, 5, or 6 element and silicon.
  • the upper layer is mainly adiamantin carbon.
  • the system has a hardness of at least 15 GPa and an adhesion of at least HF3.
  • the problem to be solved by the invention is to produce DLC films having improved adhesion without using an undercoat of metallic hook, silicon or chromium for example, as is apparent from the teaching of the state of the art.
  • microwave stripping of the part is carried out
  • the part is subjected to a gradient layer of composition WC-C; the DLC coating is applied to the WC-C layer by microwave plasma;
  • Microwave stripping makes it possible, compared with stripping using diode technology, to obtain a stripping that is more efficient and independent of the geometry of the part to be treated by adjusting the flow of ions. It is also possible to perform stripping on low temperature parts of income, without altering them. It is also observed that the use of a microwave DLC coating makes it possible to reduce the application process time by about 50% compared to a conventional DLC.
  • an argon plasma is generated for etching in a pressure range of between 0.05 and 0.5 Pa.
  • the WC-C composition gradient layer is produced by magnetron PVD technique. We start from a first layer of pure WC followed by a ramp with a hydrocarbon gas such as C 2 H 2 and finally followed by a WC-C layer.
  • the thickness of the gradient layer WC-C composition is between 0.3 and ⁇ and advantageously 0.8 ⁇ for most applications, except those requiring greater thicknesses as for segments
  • the DLC coating has a thickness of between 1 and 20 ⁇ m.
  • the invention also relates to a friction piece coated with DLC applied to a layer of WC-C composition gradient present in the part stripped by microwave technology.
  • FIG. 1 is a view of the rupture profile of the coating according to the scratch test method.
  • FIG. 2 is a sectional view along the line A-A of Figure 1 in the case of adhesive peeling.
  • FIG. 3 is a sectional view along the line A-A of FIG. 1, in the case of cohesive peeling.
  • FIG. 4 is a sectional view along the line
  • DLC coatings including, in all cases, an adhesion sub-layer made, for example, of pure Cr, followed by a tungsten carbide-based layer in which the The carbon is progressively increased until a DLC layer is obtained, doped with tungsten, with the aim of ensuring the adhesion of an undoped DLC deposit with metal.
  • tests have been carried out in order to compare the results obtained in the case of realizations of DLC coatings with one or more adhesion and coating sublayers that do not use a coating layer.
  • Different ion pickling technologies are known to those skilled in the art, namely essentially diode technology, triode amplified plasma technology, and microwave triode technology EC system.
  • the diode technology consists in applying a negative voltage to the substrates of a few hundred volts ( ⁇ -500V), in an argon atmosphere of 1 to 10 Pa. Under these conditions, a glow discharge appears around the pieces, from which the positive argon ions of the plasma bombard the surface of the substrate allowing the surface to be sprayed and the oxide to be removed.
  • a dense argon plasma at lower pressure (0.1 to 1 Pa) is generated by a plasma amplification device.
  • the positive argon ions of the plasma are accelerated by negative polarization of the substrate and etch the surface.
  • the negative voltage must be between -250V and -500V to show its maximum efficiency in terms of stripping.
  • the triode technology microwave ECR system can generate an argon plasma in a pressure range between 0.05 and 0.5 Pa.
  • the parts are biased to a negative voltage optimally between -50V and - 250V .
  • each stripping technology was used. Following the stripping, on a part of the specimens, an undercoat pure chromium adhesion was carried out by magnetron sputtering, to obtain a chromium thickness of the order of 0.1 to 0.2 ⁇ .
  • a deposition of tungsten carbide was then carried out by magnetron sputtering, progressively introducing an increasing flow of hydrocarbon, allowing the enrichment of the carbon deposit at a content greater than 50 at. allow adhesion of the final layer of DLC.
  • the layer containing tungsten has a thickness of the order of 0.5 ⁇ and that of the DLC of the order of 2 ⁇ with the exception of Examples 9 and 10, for which the thickness of the layer containing tungsten is increased. at 1.5 ⁇ .
  • the scratch test method was used. It is recalled that this method consists in scratching the surface of the deposit with a diamond such as those used in indentation H C. A gradually increasing load is applied while the specimen is translated at a constant speed under the diamond. This makes it possible to obtain a stripe with increasing load (FIG. 1) from which it is possible to determine a flaking force (critical load), as well as the flaking mode. The flaking mode indicates the location of the coating failure. There are 2 large families of flaking:
  • Adhesive spalling is the propagation of cracks along an interface, thus parallel to the surface of the part, while cohesive spalling propagates through the coating at an oblique angle to the interfaces.
  • Adhesive peeling characterizes a lack of adhesion of the coating. Cohesive peeling occurs when the stresses exceed the breaking limit of the materials constituting the coating.
  • the critical load characterizes the adhesive force.
  • the adhesion In the case of a cohesive failure, the adhesion is not characterized, but the breaking strength of the coating.
  • the critical load is not only a characteristic of the deposit, but also a characteristic of its thickness and the hardness of the substrate.
  • a second method for evaluating adhesion was used. It involves indenting the deposit with a Vickers diamond under a load of 2kg.
  • the experiment matrix was taken up by including the results of the scratch test, obtained on tool steel substrates (hardness 64H C), for total deposit thicknesses of 2.5 ⁇ with no undercoat.
  • Examples 1 1 and 12 have stacks of strong thickness, demonstrating the robustness of the invention.
  • Example 11 comprises a tungsten-based layer 4 ⁇ thick on which 8 ⁇ of DLC was deposited.
  • the thickness of the tungsten layer was increased to 9.7 ⁇ and the surface layer of DLC to 19.2 ⁇ .
  • CA cohesive-adhesive
  • triode etching technology shows an evolution of the behavior of the scratch deposit in the absence of underlayer of chromium (Examples 4 and 5).
  • the critical load increased compared to diode pickling (Example 2) and the scaling mode evolved (Examples 4 and 5)
  • the use of the triode microwave technology ECR shows that it is possible to obtain a mechanical behavior quite similar to the state of the art, in the absence of underlayer of chromium (Example 8). It is noted, as in amplified triode technology, that the lowering of pressure results in an improvement of the scratch test behavior (examples 7 and 8).
  • Examples 9 and 10 teach that cohesive peel strength is increased through the thickness of the tungsten-containing underlayer, as shown by the critical load values.
  • the thickness of the tungsten carbide and the gradient layer is 1.5 ⁇ . More particularly, in Example 9, the thickness of the tungsten carbide has been increased to 1 ⁇ , that corresponding to the carbon content gradient is 0.5 ⁇ . In Example 10, the thickness of the tungsten carbide is 0.2 ⁇ , while the layer with a carbon content gradient is brought to 1.3 ⁇ . Examples 11 and 12 illustrate the robustness of the solution. It is known that the increase of the thickness of the hard thin layers deposited under vacuum results in the increase of the internal compressive stresses. Nevertheless, the scratch test behavior remains cohesive and the increase of the critical load results from the increase in thickness of the tungsten-based layer.
  • the results tend to show an improvement in the adhesion of the layers produced without chromium under-layer when the etching pressure decreases.
  • the pressure decrease during pickling depends on the technology itself. Typically, diode technology is unable to generate plasma at pressures as low as 0.5 Pa.
  • the use of an appropriate pickling technology makes it possible to reduce the argon pressure, and to produce a DLC-type adherent stack without a chromium underlayer, which goes against the general knowledge of those skilled in the art and prior technical solutions.
  • the process according to the invention brings many advantages:
  • the removal of the adhesion sub-layer results in the disappearance of an interface and therefore an increase in the reliability and robustness of the coating.

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Abstract

Cette pièce présente une couche à gradient de composition WC-C, à l'exception d'une sous-couche métallique et à l'exception d'une couche d'implantation ionique et une couche superficielle de DLC, caractérisée par un comportement cohésif en scratch test.

Description

PIECE AVEC REVETEMENT DLC ET PROCEDE D'APPLICATION
DU REVETEMENT DLC
L'invention se rattache au secteur technique des revêtements DLC notamment pour pièces de frottement.
L'invention trouve une application particulièrement avantageuse pour réduire le coefficient de frottement, par exemple des axes de piston, arbres à came, poussoirs, cylindres, segments , et plus généralement, dans tous les cas de frottement chargés. Pour réduire ce frottement, il est parfaitement connu pour un homme du métier de soumettre la ou les pièces concernées à un revêtement DLC.
L'invention peut aussi trouver des applications dans lesquelles on recherche une couleur noire de la surface apportée par le revêtement sans pour autant chercher une réduction de frottement.
Il ressort également des connaissances générales de l'homme du métier que la faible adhérence des films DLC sur les pièces, peut poser de réels problèmes pour certaines applications. Pour améliorer l'adhérence, une solution technique consiste à utiliser une sous-couche métallique d'accroché à base par exemple de silicium ou de chrome. Différentes solutions techniques ont été proposées.
Par exemple, le document WO201 1/018252 décrit avec une pièce de frottement un revêtement constitué d'une sous-couche d'accroché, d'un revêtement métallique DLC et d'un revêtement DLC sans métal. La couche d'accroché est préférentiellement un revêtement de chrome d'épaisseur maximum de Ιμηι tandis que le revêtement métallique DLC est préférentiellement du carbure de tungstène WCC. Les rapports d'épaisseur des différentes couches et revêtements sont limités à des plages de valeurs de sorte qu'en dehors de ces plages, si l'épaisseur de DLC est trop faible, la durée de vie de la pièce sera également réduite tandis que si l'épaisseur de DLC est trop importante, la pièce aura une usure prématurée avec des risques d'écaillage. Le document WO0179585 divulgue un système multicouches ayant une couche d'accroché, une couche de transition et une couche de carbone adamantin. La couche d'accroché comprend un élément du groupe 4, 5 ou 6 et du silicium, tandis que la couche de transition comprend du carbone ou au moins un élément du groupe 4, 5, ou 6 et du silicium. La couche supérieure est principalement du carbone adiamantin. Le système a une dureté d'au moins 15 GPa et une adhérence d'au moins HF3.
D'une manière générale, on observe une délamination du film de DLC vis-à-vis de cette sous-couche liée aux contraintes internes du film de DLC qui augmente avec l'augmentation de l'épaisseur d'un tel film. On observe également que la formation de cette sous-couche d'accroché est effectuée dans une étape séparée ce qui augmente les coûts du procédé tout en compliquant un tel procédé. L'invention s'est fixée pour but de remédier à ces inconvénients de manière simple, sure, efficace et rationnelle.
Le problème que se propose de résoudre l'invention est de réaliser des films de DLC ayant une adhérence améliorée sans pour autant utiliser une sous-couche d'accroché métallique, silicium ou chrome par exemple, comme il ressort de l'enseignement de l'état de la technique.
Pour résoudre un tel problème, il a été conçu et mis au point, une pièce métallique présentant une couche à gradient de composition WC-C, à l'exception d'une sous-couche métallique, et une couche superficielle de DLC, caractérisée par un comportement cohésif en scratch test.
Le problème posé est avantageusement résolu par un procédé, selon lequel :
on réalise un décapage micro-onde de la pièce ;
on soumet la pièce à une couche à gradient de composition WC-C ; on applique sur la couche WC-C le revêtement DLC par plasma microonde ;
Le décapage micro-onde permet par rapport à un décapage utilisant la technologie diode, d'obtenir un décapage plus efficace et indépendant de la géométrie de la pièce à traiter par l'ajustement du flux d'ions. Il est également possible de réaliser un décapage sur des pièces à basse température de revenu, sans les altérer. On observe également que l'utilisation d'un revêtement DLC micro-onde, permet de réduire le temps du procédé d'application d'environ 50 %, par rapport à un DLC classique.
Avantageusement, on génère un plasma d'argon pour le décapage dans une plage de pression, comprise entre 0,05 et 0,5 Pa.
Selon une autre caractéristique, on réalise la couche à gradient de composition WC-C par technique PVD magnétron. On part d'une première couche de WC pur suivie d'une rampe avec un gaz hydrocarbure comme le C2H2 et suivie en final d'une couche WC-C. L'épaisseur de la couche à gradient de composition WC-C est comprise entre 0,3 et ΙΟμηι et avantageusement 0,8μηι pour la plupart des applications, à l'exception de celles nécessitant des épaisseurs plus importantes comme pour les segments Selon une autre caractéristique, le revêtement DLC a une épaisseur comprise entre 1 à 20μηι
L'invention concerne également une pièce de frottement revêtue de DLC appliqué sur une couche à gradient de composition WC-C que présente la pièce décapée par technologie micro-onde.
L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des dessins annexé dans lesquels :
- la figure 1 est une vue du profil de rupture du revêment selon la méthode de scratch test.
- La figure 2 est une vue en coupe selon la ligne A-A de la figure 1 dans le cas d'un écaillage adhésif.
- - La figure 3 est une vue en coupe selon la ligne A-A de la figure 1 , dans le cas d'un écaillage cohésif.La figure 4 est une vue coupe selon la ligne
A-A de la figure 1 dans le cas d'un écaillage cohéso-adhésif.
Comme indiqué, l'état de la technique décrit des revêtements de DLC incluant, dans tous les cas une sous-couche d'adhérence faite par exemple en Cr pur, suivie d'une couche à base de carbure de tungstène dans laquelle la teneur en carbone est augmentée progressivement jusqu'à l'obtention d'une couche de DLC et dopée de tungstène, avec pour objectif d'assurer l'adhérence d'un dépôt de DLC non dopé par du métal. Dans le cadre de l'invention, des essais ont été effectués afin de comparer les résultats obtenus dans le cas de réalisations de revêtements de DLC avec une ou plusieurs sous-couches d'adhérence et de revêtement DLC n'utilisant pas de couche d'adhérence selon les caractéristiques de l'invention. Des dépôts ont été effectués sur des substrats métalliques ayant subi préalablement un décapage ionique pour éliminer l'oxyde superficiel afin de favoriser l'adhérence du revêtement. Différentes technologies de décapage ionique sont connues par l'homme du métier, à savoir essentiellement la technologie diode, la technologie triode de plasma amplifié, et la technologie triode système micro-ondes EC .
La technologie diode consiste à appliquer une tension négative aux substrats de quelques centaines de volts (<-500V), dans une atmosphère d'argon de 1 à 10 Pa. Dans ces conditions, une décharge luminescente apparaît autour des pièces, à partir de laquelle les ions argon positifs du plasma bombardent la surface du substrat permettant la pulvérisation de la surface et l'élimination de l'oxyde.
Dans la technologie triode de plasma amplifié, un plasma d'argon dense à plus basse pression (0,1 à 1 Pa), est généré par un dispositif d'amplification de plasma. Les ions argon positifs du plasma sont accélérés par une polarisation négative du substrat et décapent la surface. Pour ce type de procédé, la tension négative doit être comprise entre -250V et -500V pour montrer son maximum d'efficacité en terme de décapage.
La technologie triode système micro-onde ECR permet de générer un plasma d'argon dans une plage de pression comprise entre 0,05 et 0,5 Pa. Les pièces sont polarisées à une tension négative comprise de façon optimale entre -50V et - 250V.
Pour ces essais, chacune des technologies de décapage a été utilisée. Suite au décapage, sur une partie des éprouvettes, une sous-couche d'adhérence de chrome pur a été réalisée par pulvérisation cathodique magnétron, pour obtenir une épaisseur de chrome de l'ordre de 0,1 à 0,2 μηι. Sur l'ensemble des éprouvettes, on a ensuite procédé à un dépôt de carbure de tungstène par pulvérisation cathodique magnétron, en introduisant progressivement un débit croissant d'hydrocarbure, permettant l'enrichissement du dépôt en carbone à une teneur supérieure à 50% atomique pour permettre l'adhérence de la couche finale de DLC. La couche contenant du tungstène a une épaisseur de l'ordre de 0,5 μηι et celle du DLC de l'ordre de 2μηι à l'exception des exemples 9 et 10, pour lesquels l'épaisseur de la couche contenant du tungstène est augmentée à 1,5μηι.
Le tableau suivant récapitule les conditions d'essai.
Figure imgf000008_0001
L'ensemble des revêtements a été caractérisé en terme d'adhérence.
Ainsi, la méthode du scratch test a été utilisée. On rappelle que cette méthode consiste à rayer la surface du dépôt avec un diamant tel que ceux utilisés en indentation H C. Une charge progressivement croissante est appliquée tandis, que l'éprouvette est translatée à vitesse constante sous le diamant. Ceci permet d'obtenir une rayure à charge croissante (figure 1) à partir de laquelle il est possible de déterminer une force d'écaillage (charge critique), ainsi que le mode d'écaillage. Le mode d'écaillage indique la localisation de la rupture du revêtement. Il existe 2 grandes familles d'écaillages :
l'écaillage adhésif (figure 2)
l'écaillage cohésif (figure 3)
II existe un mode mixte combinant une rupture adhésive à une rupture cohésive dénommée adhéso-cohésive (figure 4).
L'écaillage adhésif correspond à la propagation de fissures le long d'une interface, donc parallèle à la surface de la pièce, tandis que l'écaillage cohésif se propage au travers du revêtement sous un angle oblique par rapport aux interfaces. L'écaillage adhésif caractérise un défaut d'adhérence du revêtement. L'écaillage cohésif intervient lorsque les contraintes dépassent la limite à rupture des matériaux constituant le revêtement.
Dans le cas du faciès adhésif, la charge critique caractérise la force d'adhérence.
Dans le cas d'une rupture cohésive, on ne caractérise pas l'adhérence, mais la résistance à la rupture du revêtement. La charge critique est non seulement une caractéristique du dépôt, mais aussi une caractéristique de son épaisseur et de la dureté du substrat.
Une seconde méthode pour évaluer l'adhérence a été utilisée. Elle consiste à indenter le dépôt à l'aide d'un diamant Vickers sous une charge de 2kg. Dans le tableau suivant, on a repris la matrice d'expériences en incluant les résultats du scratch test, obtenus sur des substrats en acier à outil (dureté 64H C), pour des épaisseurs totales de dépôt de 2,5μηι sans sous- couche de chrome et de 2,7μηι d'épaisseur avec sous-couche de chrome et une épaisseur totale de 3,5 μηι pour les exemples 9 et 10. Les exemples 1 1 et 12 présentent des empilements d'épaisseur forte, démontrant la robustesse de l'invention. L'exemple 11 comporte une couche à base de tungstène de 4μηι d'épaisseur sur laquelle 8μηι de DLC a été déposé. Pour l'exemple 12, l'épaisseur de la couche de tungstène a été portée à 9,7 μηι et la couche superficielle de DLC à 19,2 μηι.
Figure imgf000010_0001
C = cohésif
A = adhésif
CA = cohéso-adhésif
RAS = aucun décollement du dépôt Il ressort de ce tableau que dans le cas d'un décapage diode, et comme l'enseigne l'état de la technique, la sous-couche de chrome permet d'avoir une forte adhérence (exemple 1) et qu'en son absence, la rupture intervient à l'interface entre le WC et l'acier (exemple 2).
L'utilisation de la technologie de décapage triode amplifié, montre une évolution du comportement du dépôt à la rayure en l'absence de sous couche de chrome (exemples 4 et 5). La charge critique a augmenté par rapport au décapage diode (exemple 2) et le mode d'écaillage a évolué (exemples 4 et 5)·
L'observation des éclats montre un mode intermédiaire d'écaillage.
Selon l'invention, l'utilisation de la technologie triode micro-onde ECR, montre qu'il est possible d'obtenir un comportement mécanique tout à fait similaire à l'état de la technique, en l'absence de sous-couche de chrome (exemple 8). On remarque, comme en technologie triode amplifiée, que l'abaissement de pression se traduit par une amélioration du comportement au scratch test (exemples 7 et 8).
Les exemples 9 et 10 enseignent que la résistance à l'écaillage cohésif est augmentée par le biais de l'épaisseur de la sous-couche contenant du tungstène, comme le montrent les valeurs de charge critique. Dans les deux exemples, l'épaisseur du carbure de tungstène et de la couche à gradient est de 1,5 μηι. Plus particulièrement, dans l'exemple 9, l'épaisseur du carbure de tungstène a été portée à 1 μηι, celle correspondant au gradient de teneur en carbone est de 0,5 μηι. Dans l'exemple 10, l'épaisseur du carbure de tungstène est de 0,2 μηι, tandis que la couche à gradient de teneur de carbone est portée à 1 ,3 μηι. Les exemples 1 1 et 12 illustrent la robustesse de la solution. Il est connu que l'augmentation de l'épaisseur des couches minces dures déposées sous vide se traduit par l'augmentation des contraintes internes de compression. Néanmoins, le comportement en scratch test reste cohésif et l'augmentation de la charge critique résulte de l'augmentation d'épaisseur de la couche à base de tungstène.
Au-delà de la technologie de décapage, les résultats tendent à montrer une amélioration de l'adhérence des couches réalisées sans sous-couche chrome lorsque la pression de décapage diminue. La diminution de pression, pendant le décapage, dépend de la technologie elle-même. Typiquement, la technologie diode est incapable de générer un plasma à des pressions aussi basses que 0,5 Pa.
Ainsi selon l'invention, l'utilisation d'une technologie de décapage appropriée, permet de réduire la pression d'argon, et de réaliser un empilement adhérant de type DLC sans sous-couche chrome, ce qui va à rencontre des connaissances générales de l'homme du métier et des solutions techniques antérieures. Le procédé selon l'invention apporte de nombreux avantages :
Outre la simplification de l'équipement et la réduction de son coût, la suppression de la sous-couche d'adhérence entraîne la disparition de d'une interface et donc une augmentation de la fiabilité et de la robustesse du revêtement.
On observe également, comme il ressort des essais effectués, que la sous-couche de chrome tend à masquer les déficiences de certains décapages contrairement au carbure tungstène qui semble nécessiter un décapage plus efficace, afin d'être aussi performant sur le plan de l'adhérence qu'un dépôt réalisé avec une sous-couche de chrome. Par ailleurs, l'utilisation d'une indentation Vickers sous 2 kg n'a pas permis de mettre en évidence les différences d'adhérence des différents types de dépôt. Bien que la charge appliquée soit de 2kg (20N), la déformation induite par le diamant Vickers n'est pas suffisante pour induire le décollement des dépôts, comme dans l'exemple 2, dont l'adhérence est pourtant mise à défaut par la méthode du scratch test.

Claims

R E V E N D I C A T I O N S
-1- Pièce métallique présentant une couche à gradient de composition WC-C, à l'exception d'une sous-couche métallique et à l'exception d'une couche d'implantation ionique et une couche superficielle de DLC, caractérisée par un comportement cohésif en scratch test.
-2- Pièce selon la revendication 1 revêtue de DLC appliqué sur une couche à gradient de composition WC-C que présente la pièce décapée par une technologie micro-onde.
-3- Procédé d'application d'un revêtement DLC sur une pièce métallique caractérisé par les étapes suivantes :
on réalise un décapage micro-onde,
- on soumet la pièce à une couche à gradient de composition WC-C,
on applique sur la couche WC-C le revêtement DLC par plasma microonde.
-4- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on génère un plasma d'argon pour le décapage dans une plage de pression, comprise entre 0,05 et 0,5 Pa.
-5- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'on réalise la couche à gradient de composition WC-C par PVD magnéton.
-6- Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'on part d'une première couche de WC pur suivie d'une rampe de débit d'un hydrocarbure et suivie en final d'une couche WC-C. -7- Procédé selon l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche à gradient de composition WC-C est comprise entre 0,3 et 10 μηι et avantageusement 0,8 μηι. -8- Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le revêtement DLC a une épaisseur comprise entre 1 et 20 μηι.
-9- Pièce revêtue de DLC obtenue exclusivement par le procédé selon l'une quelconque des revendications 3-8 caractérisé par l'absence d'une sous- couche métallique et par l'absence d'une couche d'implantation ionique et présentant un gradient de composition WC-C.
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