RU2013152884A

RU2013152884A - Деталь с dlc покрытием и способ нанесения dlc покрытия

Info

Publication number: RU2013152884A
Application number: RU2013152884/02A
Authority: RU
Inventors: Кристоф О; Лоран БОМБИЙОН; Филип МОРЕН-ПЕРЬЕ
Original assignee: Х.Э.Ф.
Priority date: 2011-05-19
Filing date: 2012-05-16
Publication date: 2015-06-10
Also published as: CA2835803C; ES2654290T3; MX2013013411A; RS56836B1; JP2014517150A; KR20140028077A; AU2012257680A1; TWI537402B; EP2710168A1; US9103016B2; AU2012257680B2; MX361485B; EP2710168B1; US20140087190A1; FR2975404A1; PL2710168T3; MA35157B1; MY166740A; TW201309819A; TN2013000475A1

Abstract

1. Металлическая деталь, содержащая WC-C слой с градиентом состава, без металлсодержащего подслоя и без ионно-имплантированного слоя, и поверхностный DLC слой, характеризующийся когезионными свойствами при испытаниях с помощью нанесения царапин.2. Деталь по п. 1, отличающаяся тем, что покрыта DLC покрытием, нанесенным на WC-C слой с градиентом состава, который имеет протравленная в СВЧ-плазме деталь.3. Способ нанесения DLC покрытия на металлическую деталь, отличающийся тем, что включает следующие этапы, на которых:- травят деталь в СВЧ-плазме;- подвергают деталь нанесению WC-C слоя с градиентом состава;- используют СВЧ-плазму для нанесения DLC покрытия на WC-C слой.4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что создают плазму аргона для обеспечения травления в диапазоне давлений от 0,05 до 0,5 Па.5. Способ по п. 3, отличающийся тем, что WC-C слой с градиентом состава производят посредством магнетронного физического осаждения из паровой фазы (PVD).6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что начинают с первого чистого WC слоя, за которым следует слой с постепенно увеличивающимся расходом углеводорода, за которым, наконец, следует WC-C слой.7. Способ по любому из пп. 5 или 6, отличающийся тем, что толщина WC-C слоя с градиентом состава составляет от 0,3 до 10 мкм, предпочтительно, 0,8 мкм.8. Способ по п. 3, отличающийся тем, что DLC покрытие имеет толщину от 1 до 20 мкм.9. Деталь, покрытая DLC покрытием, полученным непосредственно с помощью применения способа по любому из пп. 3-8, отличающаяся тем, что не содержит металлсодержащего подслоя и ионно-имплантированного слоя, и содержит WC-C слой с градиентом состава.

Claims

1. Металлическая деталь, содержащая WC-C слой с градиентом состава, без металлсодержащего подслоя и без ионно-имплантированного слоя, и поверхностный DLC слой, характеризующийся когезионными свойствами при испытаниях с помощью нанесения царапин.

2. Деталь по п. 1, отличающаяся тем, что покрыта DLC покрытием, нанесенным на WC-C слой с градиентом состава, который имеет протравленная в СВЧ-плазме деталь.

3. Способ нанесения DLC покрытия на металлическую деталь, отличающийся тем, что включает следующие этапы, на которых:

- травят деталь в СВЧ-плазме;

- подвергают деталь нанесению WC-C слоя с градиентом состава;

- используют СВЧ-плазму для нанесения DLC покрытия на WC-C слой.

4. Способ по п. 3, отличающийся тем, что создают плазму аргона для обеспечения травления в диапазоне давлений от 0,05 до 0,5 Па.

5. Способ по п. 3, отличающийся тем, что WC-C слой с градиентом состава производят посредством магнетронного физического осаждения из паровой фазы (PVD).

6. Способ по п. 5, отличающийся тем, что начинают с первого чистого WC слоя, за которым следует слой с постепенно увеличивающимся расходом углеводорода, за которым, наконец, следует WC-C слой.

7. Способ по любому из пп. 5 или 6, отличающийся тем, что толщина WC-C слоя с градиентом состава составляет от 0,3 до 10 мкм, предпочтительно, 0,8 мкм.

8. Способ по п. 3, отличающийся тем, что DLC покрытие имеет толщину от 1 до 20 мкм.

9. Деталь, покрытая DLC покрытием, полученным непосредственно с помощью применения способа по любому из пп. 3-8, отличающаяся тем, что не содержит металлсодержащего подслоя и ионно-имплантированного слоя, и содержит WC-C слой с градиентом состава.