WO2012098673A1 - フォトレジストの管理装置及び方法 - Google Patents

フォトレジストの管理装置及び方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2012098673A1
WO2012098673A1 PCT/JP2011/051064 JP2011051064W WO2012098673A1 WO 2012098673 A1 WO2012098673 A1 WO 2012098673A1 JP 2011051064 W JP2011051064 W JP 2011051064W WO 2012098673 A1 WO2012098673 A1 WO 2012098673A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
photoresist
container
data
host
tag reader
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2011/051064
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
ビョンミン イム
ウォンジョン キム
ソクジェ キム
ヨンファン キム
グァンウ キム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to PCT/JP2011/051064 priority Critical patent/WO2012098673A1/ja
Priority to PCT/JP2012/051074 priority patent/WO2012099201A1/ja
Priority to KR1020127027616A priority patent/KR20140018084A/ko
Publication of WO2012098673A1 publication Critical patent/WO2012098673A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Program-control systems
    • G05B19/02—Program-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/4183—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by data acquisition, e.g. workpiece identification
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P76/00—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography
    • H10P76/20—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography of masks comprising organic materials
    • H10P76/204—Manufacture or treatment of masks on semiconductor bodies, e.g. by lithography or photolithography of masks comprising organic materials of organic photoresist masks
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0448—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a semiconductor manufacturing process, and more particularly to a photoresist management apparatus and management method for a semiconductor photolithography process.
  • a photoresist used in a semiconductor photolithography process is managed using a bar code, and manages data and data from a semiconductor process tool for performing a semiconductor manufacturing process. Data from the bar code system was reported to the host via a separate channel.
  • FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a conventional PR management system using a barcode.
  • the host 20 is connected to the semiconductor process tool 10 and transmits / receives and processes data related to the semiconductor manufacturing process.
  • PR is a photosensitive polymer material used for photolithography, and is generally placed in a bottle-shaped PR container 30 and placed in the semiconductor process tool 10.
  • a barcode is attached to the PR container 30, and the operator acquires data relating to PR with the barcode reader 50 and sends the data to the host 20 via the barcode controller 40.
  • PR is managed by the following process.
  • the semiconductor process tool 10 detects that there is no PR in the PR container 30 and notifies the host 20 of it. Therefore, the operator sees the message notified from the host 20 and recognizes that the PR container 30 is empty. Thereafter, the operator directly checks the state of the PR container 30 arranged in the semiconductor process tool 10 to confirm the empty PR container 30. Then, the operator inputs data on a new PR container 30 '(not shown) containing the same PR with the barcode reader 50, and then replaces the empty PR container 30 with a new PR container 30'. Data input by the bar code reader 50 is sent to the host 20 via the bar code reader controller 40.
  • the conventional PR management system shown in FIG. 1 a communication channel between the semiconductor process tool 10 and the host 20 and a communication channel between the barcode reader 50 and the host 20 exist separately. There was annoyance that it was necessary to synchronize and use data coming in via two different routes.
  • the conventional PR management system is basically a system using a bar code, and the operator directly inputs the PR data to be replaced with the bar code reader 50 during the PR replacement work. There is a problem that the replacement takes time and is replaced with another PR due to an operator error. *
  • the present invention has been made to solve such problems of the prior art, and is managed by managing the PR used in the semiconductor manufacturing process by using the wireless tag technology and unifying the communication system.
  • the purpose is to provide the PR management data at a more appropriate timing.
  • a photoresist management apparatus is connected to a semiconductor process tool, a wireless tag reader, and a host, and indicates that a photoresist container is empty from the semiconductor process tool.
  • a first event processing unit that requests and obtains data relating to the empty photoresist container from the wireless tag reader and sends the data obtained from the wireless tag reader to the host; Receiving a second message including data relating to the photoresist container removed from the semiconductor process tool from the wireless tag reader; a second event processing unit sending data relating to the removed photoresist container to the host; Location of photoresist container removed from the semiconductor process tool And a third event processing unit that sends data relating to the newly placed photoresist container to the host when receiving a third message including data relating to the newly placed photoresist container from the wireless tag reader.
  • a photoresist management method for achieving the above object is a method for managing photoresist in a photoresist management apparatus connected to a semiconductor process tool, a wireless tag reader, and a host.
  • the wireless tag reader is requested to obtain data related to the empty photoresist container, and the wireless tag is acquired.
  • PR used in the semiconductor manufacturing process is managed using the wireless tag technology, and synchronized PR management data can be provided at a more appropriate timing by unifying the communication system.
  • information from a semiconductor process tool and information from a wireless tag reader that reads data from a PR container can be collected simultaneously by unifying the conventional PR management system that has been dualized. Therefore, the PR management data can be managed at an appropriate timing.
  • SECS Session Control Coding Standard
  • SECS protocol is a communication protocol related to message exchange between a semiconductor process tool and a host in the SEMI standard.
  • SEMI is an abbreviation for “Semiconductor Equipment and Material International”.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration in which a PR management device 60 according to an embodiment of the present invention is connected to a semiconductor process tool 10, a host 20, and a wireless tag reader 70.
  • FIG. It is a block diagram showing PR management device 60 concerning one embodiment of the present invention. It is a flowchart which shows the PR management method which concerns on one Embodiment of this invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing a configuration in which the PR management device 60 according to an embodiment of the present invention is connected to the semiconductor process tool 10, the host 20, and the wireless tag reader 70.
  • the PR management device 60 is connected to the semiconductor process tool 10, the host 20, and the wireless tag reader 70, synchronizes data sent from the semiconductor process tool 10 or the wireless tag reader 70, and sends the data to the host 20. Is sent to the semiconductor process tool 10 or the wireless tag reader 70.
  • the semiconductor process tool 10 sends various data generated in the semiconductor manufacturing process to the host 20 via the PR management device 60.
  • the wireless tag reader 70 reads data from the wireless tag attached to each PR container 30 arranged in the semiconductor process tool 10, and sends the read data to the host 20 via the PR management device 60.
  • the PR management device 60 includes a semiconductor process tool IF 610 that is an interface unit for exchanging data with the semiconductor process tool 10, a wireless tag reader IF 620 that is an interface unit for exchanging data with the wireless tag reader 70, and a host. And a host IF 630 which is an interface unit for exchanging data with 20. Further, the PR management device 60 includes a control unit 600 that processes data from the semiconductor process tool IF 610, the wireless tag reader IF 620, and the host IF 630 and sends necessary commands. Data processed by the control unit 600 is displayed on the display unit 690 and can be easily confirmed by the operator.
  • the PR empty event processing unit 650 When receiving a PR empty message as a first message indicating that the PR container 30 is empty from the semiconductor process tool 10, the PR empty event processing unit 650 as a first event processing unit receives an empty Data regarding the PR container 30 in a state is requested and acquired from the wireless tag reader 70, and the data acquired from the wireless tag reader 70 is sent to the host 20.
  • the PR empty event processing unit 650 also displays the position of the empty PR container 30 in the semiconductor process tool 10 and the data related to the PR container 30 on the display unit 690 based on the data related to the PR container 30 acquired from the wireless tag reader 70. Display. As a result, the operator can easily grasp the position of the empty PR container 30 and the data related to the PR container 30.
  • the PR removal event processing unit 660 as a second event processing unit removes the PR container 30 from the semiconductor process tool 10 and outputs a PR removal message as a second message including data regarding the removed PR container 30.
  • data regarding the removed PR container 30 is sent to the host 20.
  • the PR input event processing unit 670 as a third event processing unit includes a new PR container 30 ′ disposed at the position of the PR container 30 removed from the semiconductor process tool 10, and includes data regarding the new PR container 30 ′.
  • data regarding the newly placed PR container 30 ′ is sent to the host 20.
  • the error determination unit 680 compares the data regarding the empty PR container 30 with the data regarding the newly disposed PR container 30 ′ to determine whether or not there is an error in the PR replacement work, and it is determined that there is an error. In this case, it is configured to notify that there is an error in the replacement work of the PR containers 30, 30 ′.
  • the error determination unit 680 is provided in the PR management device 60 so that the PR management device 60 determines whether there is an error in the replacement work of the PR containers 30 and 30 ′.
  • an error determination unit 680 may be provided in the host 20 to determine whether or not the host 20 has an error in the replacement work of the PR containers 30 and 30 ′.
  • communication protocol data used for data exchange between the semiconductor process tool 10 and the host 20 such as the SECS protocol
  • the PR management device 60 determines whether or not a PR empty message indicating that the PR container 30 is empty is received from the semiconductor process tool 10 (step S410).
  • the PR management device 60 receives the PR empty message (“YES” in step S410)
  • the PR management device 60 performs data relating to the empty PR container 30 (data relating to the position of the PR container 30 and the type of PR, etc.).
  • Is obtained by requesting the wireless tag reader 70 and the data obtained from the wireless tag reader 70 is converted into data of a communication protocol (SECS protocol) used for data exchange between the semiconductor process tool 10 and the host 20.
  • SECS protocol communication protocol
  • the PR management device 60 displays the position of the empty PR container 30 in the semiconductor process tool 10 and the data related to the PR container 30 on the display unit 690 based on the data related to the PR container 30 acquired from the wireless tag reader 70 (Ste S430). Thereby, the operator can easily grasp the position of the empty PR container 30 and the data related to the PR container 30.
  • steps S410, S420, and S430 constitute a first event processing step of the present invention.
  • the PR management device 60 determines whether or not a PR removal message including data related to the PR container 30 removed from the semiconductor process tool 10 is received from the wireless tag reader 70 (step S440).
  • the PR management device 60 exchanges data regarding the removed PR container 30 between the semiconductor process tool 10 and the host 20.
  • the data is converted into communication protocol data to be used and sent to the host 20 (step S450). That is, the operator brings a new PR container 30 ′, which is the same as the empty PR container 30, from the data displayed on the display unit 690 of the PR management device 60 from the PR temporary storage (PR Stocker) in the clean room.
  • steps S440 and S450 constitute a second event processing step of the present invention.
  • the PR management device 60 wirelessly transmits a PR insertion message including data relating to the newly placed PR container 30 ′ at the position of the PR container 30 removed from the semiconductor process tool 10. It is determined whether it has been received from the tag reader 70 (step S460). When the PR management device 60 receives the PR insertion message (“YES” in step S460), the PR management device 60 transmits data regarding the newly placed PR container 30 ′ between the semiconductor process tool 10 and the host 20. The data is converted into communication protocol data used for the exchange of data and sent to the host 20 (step S470).
  • Steps S460 and S470 constitute the third event processing step of the present invention.
  • the PR management device 60 compares the data regarding the empty PR container 30 with the data regarding the newly disposed PR container 30 'to determine whether or not there is an error in the PR replacement work (step S480). If there is no error (“NO” in step S480), the process ends. If there is an error (“YES” in step S480), it is notified that there was an error in the PR replacement work (step S490). As a result, the operator recognizes that an error has occurred in the PR replacement work, and performs the corresponding process. Steps S480 and S490 constitute an error determination step of the present invention.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

　本発明に係るフォトレジスト管理装置は、半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態のフォトレジスト容器に関するデータを無線タグリーダーに要求して取得し、当該データをホストへ送る第１のイベント処理部と、半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータをホストへ送る第２のイベント処理部と、半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータをホストへ送る第３のイベント処理部と、を含む。

Description

フォトレジストの管理装置及び方法
　本発明は、半導体製造工程に係り、特に半導体フォトリソグラフィ工程用フォトレジストの管理装置及び管理方法に関する。
　従来、半導体フォトリソグラフィ工程において使用されるフォトレジスト（以下、「ＰＲ」と略称する）は、バーコードを用いて管理され、半導体製造工程を実施する半導体工程ツールからのデータと、ＰＲを管理するバーコードシステムからのデータとが別途のチャンネルを介してホストへ報告されていた。
　図１は、従来のバーコードを用いたＰＲ管理システムの構成を示す図である。ホスト２０は、半導体工程ツール１０に接続され、半導体製造工程に関するデータを送受信及び処理する。ＰＲは、フォトリソグラフィに使用される感光性高分子物質であり、一般に、ボトル形状のＰＲ容器３０に入れられて半導体工程ツール１０内に配置される。ＰＲ容器３０には、バーコードが付着されており、オペレーターは、バーコードリーダー５０にてＰＲに関するデータを取得し、該データをバーコードコントローラ４０を介してホスト２０へ送る。
　図１に示された従来のＰＲ管理システムでは、次のようなプロセスによってＰＲを管理する。
　半導体製造工程の進行に伴い、ＰＲ容器３０内のＰＲが完全に無くなると、半導体工程ツール１０はＰＲ容器３０内にＰＲがないことを検出し、それをホスト２０に通知する。そこで、オペレーターは、ホスト２０から通知されたメッセージを見てＰＲ容器３０が空状態であることを認識する。しかる後、オペレーターは、半導体工程ツール１０に配置されたＰＲ容器３０の状態を直接目視して空状態のＰＲ容器３０を確認する。そして、オペレーターは、同じＰＲが入っている新しいＰＲ容器３０’（図示せず）に関するデータをバーコードリーダー５０にて入力した後、空状態のＰＲ容器３０を新しいＰＲ容器３０’に取り替える。バーコートリーダー５０にて入力されたデータは、バーコードリーダーコントローラ４０を介してホスト２０へ送られる。
図１に示された従来のＰＲ管理システムでは、半導体工程ツール１０とホスト２０間での通信チャンネルと、バーコードリーダー５０とホスト２０間での通信チャンネルとが別に存在するため、ホスト２０では２つの別の経路を介して入ってくるデータを同期化して使用する必要があるという煩わしさがあった。また、従来のＰＲ管理システムは、基本的にバーコードを用いたシステムであって、ＰＲの取り替え作業の際にオペレーターが、取り替えられるＰＲのデータをバーコードリーダー５０にて直接入力していたため、その取り替えに手間がかかり、またオペレーターのエラーによって別のＰＲに取り替えられてしまうという問題点が存在していた。　
本発明は、こうした従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、半導体製造工程において使用されたＰＲを無線タグ技術を用いて管理し、通信系統を一元化することで同期化されたＰＲ管理データをより適切なタイミングで提供することをその目的とする。
　上記の目的を達成するための本発明に係るフォトレジストの管理装置は、半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続され、上記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の上記フォトレジスト容器に関するデータを上記無線タグリーダーに対して要求して取得し、上記無線タグリーダーから取得したデータを上記ホストへ送る第１のイベント処理部と、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第２のイベント処理部と、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第３のイベント処理部と、を含む。
　また、上記の目的を達成するための本発明に係るフォトレジスト管理方法は、半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置における、フォトレジストを管理するための方法であって、上記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の上記フォトレジスト容器に関するデータを上記無線タグリーダーに要求して取得し、上記無線タグリーダーから取得したデータを上記ホストへ送る第１のイベント処理ステップと、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第２のイベント処理ステップと、上記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを上記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを上記ホストへ送る第３のイベント処理ステップと、を含む。
本発明によれば、半導体製造工程において使用されるＰＲを無線タグ技術を用いて管理し、通信系統を一元化することで同期化されたＰＲ管理データをより適切なタイミングで提供することができる。　
また、本発明によれば、二元化されていた従来のＰＲ管理体系を一元化することで、半導体工程ツールからの情報とＰＲ容器からデータを読み取る無線タグリーダーからの情報とが同時に取り集められてホストへ通知されるため、ＰＲ管理データを適切なタイミングで管理することができる。　
さらに、本発明によれば、半導体工程ツールや無線タグリーダーから取得したデータをＳＥＣＳプロトコルメッセージに変換して管理することで、ホスト側においてより容易にデータを管理することができる。なお、ＳＥＣＳは“ＳＥＭＩ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ　Ｓｔａｎｄａｒｄ”の略称であって、ＳＥＣＳプロトコルはＳＥＭＩスタンダードの中で半導体工程ツールとホスト間のメッセージ交換に関する通信プロトコルである。また、ＳＥＭＩは、“Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ａｎｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ”の略称である。
従来技術のＰＲ管理システムの構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０が半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続されている構成を示す図である。 本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０を示すブロック図である。 本発明の一実施形態に係るＰＲ管理方法を示すフローチャートである。
　以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０及びＰＲ管理方法について詳しく説明する。
　図２は、本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０が、半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続されている構成を示す図である。
　ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０、ホスト２０、及び無線タグリーダー７０に接続され、半導体工程ツール１０または無線タグリーダー７０から送られてくるデータを同期化してホスト２０へ送り、ホスト２０からのデータを半導体工程ツール１０または無線タグリーダー７０へ送る。半導体工程ツール１０は、半導体製造工程において発生する各種のデータをＰＲ管理装置６０を介してホスト２０へ送る。無線タグリーダー７０は、半導体工程ツール１０内に配置された各ＰＲ容器３０に付着された無線タグからデータを読み取り、該読み取りデータをＰＲ管理装置６０を介してホスト２０へ送る。
　以下、図３を参照して本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０の構成について説明する。
　ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０とのデータのやり取りのためのインターフェース部である半導体工程ツールＩＦ６１０、無線タグリーダー７０とのデータのやり取りのためのインターフェース部である無線タグリーダーＩＦ６２０、及びホスト２０とのデータのやり取りのためのインターフェース部であるホストＩＦ６３０と、を含む。さらに、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツールＩＦ６１０、無線タグリーダーＩＦ６２０、及びホストＩＦ６３０からのデータを処理し且つ必要な指令を送る制御部６００を含む。制御部６００が処理したデータは表示部６９０に表示され、オペレーターが容易に確認することができる。
　第１のイベント処理部としてのＰＲエンプティー（ｅｍｐｔｙ）イベント処理部６５０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が空状態であることを示す、第１のメッセージとしてのＰＲエンプティーメッセージを受信すると、空状態のＰＲ容器３０に関するデータを無線タグリーダー７０に要求して取得し、無線タグリーダー７０から取得したデータをホスト２０へ送る構成となっている。
　また、ＰＲエンプティーイベント処理部６５０は、無線タグリーダー７０から取得したＰＲ容器３０に関するデータに基づき、半導体工程ツール１０内の空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを表示部６９０にディスプレイする。これにより、オペレーターは空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを容易に把握することができる。
　第２のイベント処理部としてのＰＲ取り外しイベント処理部６６０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が取り外され、該取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを含む、第２のメッセージとしてのＰＲ取り外しメッセージを無線タグリーダー７０から受信すると、該取り外されたＰＲ容器３０に関するデータをホスト２０へ送る構成となっている。
　第３のイベント処理部としてのＰＲ投入イベント処理部６７０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０の位置に新しいＰＲ容器３０’が配置され、該新しいＰＲ容器３０’に関するデータを含む、第３のメッセージとしてのＰＲ投入メッセージを無線タグリーダー７０から受信すると、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータをホスト２０へ送る構成となっている。
　エラー判定部６８０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータと新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータとを比べて、ＰＲ取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合にＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあることを通知する構成となっている。なお、本実施形態では、ＰＲ管理装置６０内にエラー判定部６８０を設けて、ＰＲ管理装置６０にてＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定するように構成したが、他の実施形態として、ホスト２０内にエラー判定部６８０を設けて、ホスト２０にてＰＲ容器３０、３０’の取り替え作業にエラーがあったか否かを判定することに構成することもできる。
　半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータ通信と、無線タグリーダー７０とホスト２０間でのデータ通信とでは互いに異なる通信規約を用いる。このため、ＰＲエンプティーイベント処理部６５０、ＰＲ取り外しイベント処理部６６０及びＰＲ投入イベント処理部６７０は、無線タグリーダー７０からの空状態のＰＲ容器３０に関するデータ、ＰＲ取り外しメッセージ及びＰＲ投入メッセージを、例えば、ＳＥＣＳプロトコルのような半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換されたデータをホスト２０へ送る。
　以下、図４を参照して本発明の一実施形態に係るＰＲ管理装置６０によるＰＲ管理方法について説明する。
　先ず、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０からＰＲ容器３０が空状態であることを示すＰＲエンプティーメッセージを受信したか否かを判定する（ステップＳ４１０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲエンプティーメッセージを受信した場合（ステップＳ４１０の「ＹＥＳ」）には、ＰＲ管理装置６０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータ（ＰＲ容器３０の位置及びＰＲの種類などに関するデータ）を無線タグリーダー７０に要求して取得し、無線タグリーダー７０から取得したデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約（ＳＥＣＳプロトコル）のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４２０）。またＰＲ管理装置６０は、無線タグリーダー７０から取得したＰＲ容器３０に関するデータに基づき、半導体工程ツール１０内の空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを表示部６９０にディスプレイする（ステップＳ４３０）。これにより、オペレーターは、空状態のＰＲ容器３０の位置及びＰＲ容器３０に関するデータを容易に把握することができる。なお、ステップＳ４１０、Ｓ４２０及びＳ４３０は、本発明の第１のイベント処理ステップを構成している。
　しかる後、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを含むＰＲ取り外しメッセージを無線タグリーダー７０から受信したか否かを判定する（ステップＳ４４０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲ取り外しメッセージを受信した場合（ステップＳ４４０の「ＹＥＳ」）、ＰＲ管理装置６０は、取り外されたＰＲ容器３０に関するデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４５０）。すなわち、オペレーターがＰＲ管理装置６０の表示部６９０にディスプレイされたデータから空状態のＰＲ容器３０と同じの新しいＰＲ容器３０’をクリーンルーム内のＰＲ仮保管所（ＰＲ　Ｓｔｏｃｋｅｒ）から持ってきて、空状態のＰＲ容器３０を新しいＰＲ容器３０’で取り替えるために空状態のＰＲ容器３０を取り外した場合、無線タグリーダー７０がＰＲ取り外しメッセージをＰＲ管理装置６０へ送り、該メッセージを受信したＰＲ管理装置６０は、取り外されたＰＲ容器３０に関するデータをＳＥＣＳプロトコルに変換してホスト２０へ送るようになる。なお、ステップＳ４４０及びＳ４５０は、本発明の第２のイベント処理ステップを構成している。
　そして、ＰＲ管理装置６０は、半導体工程ツール１０から取り外されたＰＲ容器３０の位置にＰＲ容器３０’が新たに配置され、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータを含むＰＲ投入メッセージを無線タグリーダー７０から受信したか否かを判定する（ステップＳ４６０）。ＰＲ管理装置６０がＰＲ投入メッセージを受信した場合（ステップＳ４６０の「ＹＥＳ」）、ＰＲ管理装置６０は、新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータを半導体工程ツール１０とホスト２０間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換してホスト２０へ送る（ステップＳ４７０）。すなわち、オペレーターが新しいＰＲ容器３０’をＰＲ容器３０が取り外された位置に装着すると、無線タグリーダー７０がＰＲ投入メッセージをＰＲ管理装置６０へ送り、該メッセージを受信したＰＲ管理装置６０は新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータをＳＥＣＳプロトコルに変換してホスト２０へ送るようになる。なお、ステップＳ４６０及びＳ４７０は、本発明の第３のイベント処理ステップを構成している。
　最後に、ＰＲ管理装置６０は、空状態のＰＲ容器３０に関するデータと新たに配置されたＰＲ容器３０’に関するデータとを比べてＰＲ取り替え作業にエラーがあったか否かを判定する（ステップＳ４８０）。エラーがない場合（ステップＳ４８０の「ＮＯ」）にプロセスを終了する。エラーがあった場合（ステップＳ４８０の「ＹＥＳ」）にはＰＲ取り替え作業にエラーがあったことを通知する（ステップＳ４９０）。これにより、オペレーターはＰＲ取り替え作業にエラーが発生したことを認識し、対応処理を遂行するようになる。なお、ステップＳ４８０及びＳ４９０は、本発明のエラー判定ステップを構成している。
　１０　半導体工程ツール
　２０　ホスト
　３０、３０’　ＰＲ容器
　４０　バーコードリーダーコントローラ
　５０　バーコートリーダー
　６０　ＰＲ管理装置
　７０　無線タグリーダー
　６００　制御部
　６１０　半導体工程ツールＩＦ
　６２０　無線タグリーダーＩＦ
　６３０　ホストＩＦ
　６５０　ＰＲエンプティーイベント処理部
　６６０　ＰＲ取り外しイベント処理部
　６７０　ＰＲ投入イベント処理部
　６８０　エラー判定部
　６９０　表示部

Claims (10)

  1. 　半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置であって、
    　前記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータを前記無線タグリーダーに要求して取得し、前記無線タグリーダーから取得したデータを前記ホストへ送る第１のイベント処理部と、
    　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第２のイベント処理部と、
    　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第３のイベント処理部と
    を含む。
  2. 　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
    　前記第１のイベント処理部、前記第２のイベント処理部、及び前記第３のイベント処理部は、前記無線タグリーダーから受信した空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータ、第２のメッセージ、及び第３のメッセージを前記半導体工程ツールと前記ホスト間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換したデータを前記ホストへ送る。
  3. 　請求項２に記載のフォトレジスト管理装置であって、
    　前記通信規約はＳＥＣＳプロトコルである。
  4. 　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
    　第１のイベント処理部は、前記無線タグリーダーから取得した前記フォトレジスト容器に関するデータに基づき、前記半導体工程ツール内の空状態のフォトレジスト容器の位置を表示する。
  5. 　請求項１に記載のフォトレジスト管理装置であって、
    　空状態のフォトレジスト容器に関するデータと新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータとを比べてフォトレジストの取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合、エラーの発生を通知するエラー判定部をさらに含む。
  6. 　半導体工程ツール、無線タグリーダー、及びホストに接続されたフォトレジスト管理装置における、フォトレジストを管理するためのフォトレジスト管理方法であって、
    　前記半導体工程ツールからフォトレジスト容器が空状態であることを示す第１のメッセージを受信すると、空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータを前記無線タグリーダーに要求して取得し、前記無線タグリーダーから取得したデータを前記ホストへ送る第１のイベント処理ステップと、
    　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第２のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、取り外されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第２のイベント処理ステップと、
    　前記半導体工程ツールから取り外されたフォトレジスト容器の位置に新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを含む第３のメッセージを前記無線タグリーダーから受信すると、新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータを前記ホストへ送る第３のイベント処理ステップと
    を含む。
  7. 　請求項６に記載のフォトレジスト管理方法であって、
    　前記第１のイベント処理ステップ、前記第２のイベント処理ステップ、及び前記第３のイベント処理ステップは、前記無線タグリーダーから受信した空状態の前記フォトレジスト容器に関するデータ、第２のメッセージ、及び第３のメッセージを前記半導体工程ツールと前記ホスト間でのデータのやり取りに用いられる通信規約のデータに変換し、該変換したデータを前記ホストへ送る。
  8. 　請求項７に記載のフォトレジスト管理方法であって、
    　前記通信規約はＳＥＣＳプロトコルである。
  9. 　請求項６に記載のフォトレジスト管理方法であって、
    　第１のイベント処理ステップは、前記無線タグリーダーから取得した前記フォトレジスト容器に関するデータに基づき、前記半導体工程ツール内の空状態のフォトレジスト容器の位置を表示するステップを含む。
  10. 　請求項６に記載のフォトレジスト管理方法であって、
    　空状態のフォトレジスト容器に関するデータと新たに配置されたフォトレジスト容器に関するデータとを比べてフォトレジストの取り替え作業にエラーがあったか否かを判定し、エラーがあったと判定された場合、エラーの発生を通知するエラー判定ステップをさらに含む。
PCT/JP2011/051064 2011-01-21 2011-01-21 フォトレジストの管理装置及び方法 Ceased WO2012098673A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2011/051064 WO2012098673A1 (ja) 2011-01-21 2011-01-21 フォトレジストの管理装置及び方法
PCT/JP2012/051074 WO2012099201A1 (ja) 2011-01-21 2012-01-19 フォトレジストの管理装置及び方法
KR1020127027616A KR20140018084A (ko) 2011-01-21 2012-01-19 포토레지스트 관리 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2011/051064 WO2012098673A1 (ja) 2011-01-21 2011-01-21 フォトレジストの管理装置及び方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2012098673A1 true WO2012098673A1 (ja) 2012-07-26

Family

ID=46515325

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2011/051064 Ceased WO2012098673A1 (ja) 2011-01-21 2011-01-21 フォトレジストの管理装置及び方法
PCT/JP2012/051074 Ceased WO2012099201A1 (ja) 2011-01-21 2012-01-19 フォトレジストの管理装置及び方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2012/051074 Ceased WO2012099201A1 (ja) 2011-01-21 2012-01-19 フォトレジストの管理装置及び方法

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR20140018084A (ja)
WO (2) WO2012098673A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104979233B (zh) * 2014-04-03 2018-07-10 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司 更换机台上化学制剂的方法及系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10229045A (ja) * 1997-01-17 1998-08-25 Samsung Electron Co Ltd 半導体製造用ケミカル供給装置、そしてこれに適用するケミカルとその受容容器管理方法及び、コンピュータを利用したフォトレジストと、それに連関されたデータ管理方法
JP2006218391A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP2010171258A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Sokudo Co Ltd 基板処理装置及び基板処理方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050112225A (ko) * 2004-05-25 2005-11-30 삼성전자주식회사 케미컬 공급시스템
KR20060131076A (ko) * 2005-06-15 2006-12-20 삼성전자주식회사 스피너설비의 감광액 혼용방지장치 및 그 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10229045A (ja) * 1997-01-17 1998-08-25 Samsung Electron Co Ltd 半導体製造用ケミカル供給装置、そしてこれに適用するケミカルとその受容容器管理方法及び、コンピュータを利用したフォトレジストと、それに連関されたデータ管理方法
JP2006218391A (ja) * 2005-02-10 2006-08-24 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JP2010171258A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Sokudo Co Ltd 基板処理装置及び基板処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140018084A (ko) 2014-02-12
WO2012099201A1 (ja) 2012-07-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103888729B (zh) 一种视频监控平台间摄像机信息同步方法及装置
CN103873288A (zh) 基于告警信息对通信网络设备故障进行定位的系统和方法
JP2015014981A (ja) 情報処理システム、機器管理装置、資産管理装置、及び情報処理方法
KR101849512B1 (ko) 관리 시스템
CN109257198A (zh) Sdn控制器的适配器、管理系统和网络资源操作方法
WO2012098673A1 (ja) フォトレジストの管理装置及び方法
JP5358310B2 (ja) 入出力部一体型の２重系駅装置における入出力管理方式及び入出力部一体型の２重系駅装置
CN102540873B (zh) 车间控制系统、等同化数据选择装置以及等同化数据选择方法
CN1881902A (zh) 冗余组状态管理设备和方法
JP2016173622A (ja) 情報処理システム
CN103001819A (zh) Mpls-tp网络中oam侦测结果处理方法及系统
CN106850464B (zh) 报文处理方法及装置
WO2019239999A1 (ja) 制御システム、プログラム
JP2001244187A (ja) 保守システム、保守方法、露光装置及び記憶媒体
JP2018064179A (ja) 伝送装置，プログラムおよびネットワークシステム
JP2008148017A (ja) ノード検出装置及びプログラム
JP5126138B2 (ja) ネットワーク管理システム及びプログラム
CN106792854B (zh) 多模基站的告警方法、多模基站、和通讯系统
JP2021096580A (ja) 機器管理装置
WO2013051145A1 (ja) コンピュータシステム、管理装置、管理方法、及びプログラム
JP4826967B2 (ja) サーバ管理システム、表示装置、故障サーバ特定方法、プログラム及び記録媒体
JP2011182293A (ja) ネットワーク管理システム及びプログラム
KR100533962B1 (ko) 반도체 제조공정에서 분리된 두 로트를 병합하는 시스템및 그 방법
CN114781883A (zh) 一种手机摄像模组的工艺物料的管理方法及装置
JP2008305184A (ja) 製造装置制御システム及び製造装置制御方法、並びに製造装置制御システムの半自動制御化方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 11856533

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 11856533

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP