CN104979233B - 更换机台上化学制剂的方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种更换机台上化学制剂的方法，通过一EAP系统实时收集机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中后，一控制系统根据数据库存储的第三数据集合，从第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息，然后根据该控制系统输出的具体信息更换化学制剂，且在更换化学制剂时，采用一比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，从而能准确和及时地收集报警数据，保证了机台化学制剂更换的高效性和准确性。

Description

更换机台上化学制剂的方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种更换机台上化学制剂的方法及系统。

背景技术

集成电路的制造流程极其复杂，通常要用到许多化学制剂，以六甲基二硅氮甲烷化学制剂（Hexamethyldisilazane，简称HMDS）为例，黄光区（Litho）的光刻工艺（Photolithography）是集成电路制造的核心，在光刻工艺中有一项重要的涂胶工艺。在该涂胶工艺中，所用到的光刻胶大部分都具有疏水性，而晶片表面的羟基和残留的水分子则具有亲水性。为了解决在晶片表面直接旋涂光刻胶会由于光刻胶和晶片的粘合性较差，可能造成局部的间隙或气泡，从而可能影响光刻和显影效果的问题，因此，涂胶工艺中引入了HMDS化学制剂涂到硅片表面，通过加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物，该化合物实际上是一种表面活性剂，可以成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起到耦合的作用，且在后续的显影的过程中，由于该化学制剂增强了光刻胶与基底的粘附力，从而有效地抑制刻蚀液进入掩膜与基底的侧向刻蚀。

目前，HMDS化学制剂通常装在一个特殊的瓶子中，和光刻胶(Photoresist)等化学制剂存储在专门的柜子中，需要使用时拿到机台的特殊管道上连接供机台抽取使用，当瓶子中的HMDS抽光了之后机台会报警提示更换一瓶新的化学制剂。集成电路制造过程中需要频繁的更换HMDS，而六甲基二硅胺(HMDS)是黄光区最毒的化学制剂，更换过程中需要严格核实HMDS名称、批次、有效期、瓶号等信息，如果更换错误或更换不及时，会导致严重的问题产生。因此如何有效的管理和更换，确保正确及时的使用HMDS，对先进的晶圆厂生产至关重要。

现在HMDS粘合剂的瓶子上有一个原始的条形码（barcode），包含有粘合剂名称，批次号，有效期，原始序列号。当机台上正在使用的HMDS抽取光了之后，机台会产生报警确认HMDS被抽空了，然后人为的查看正在使用的HMDS相关信息和在HMDS储存柜中挑选合适的一瓶更换。在此过程中面临两个主要问题：

1）由于黄光区有很多机台，很容易导致无法听到报警声，导致HMDS延迟更换以及漏换；

2）在核对需要的HMDS时出现错误，导致更换错误，例如拿成了其他的化学制剂，或是拿了错误批次等会导致严重的问题。

因此，如何解决现在黄光区的HMDS粘合剂以及其他化学制剂的更换问题成为本领域技术人员致力研究的方向。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种更换机台上化学制剂的方法及系统，以克服现有技术中人为的根据机台的报警声核对需要的化学制剂进行更换容易出现错误，导致更换错误的问题。

为了实现上述目的，本申请记载了一种更换机台上化学制剂的方法，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，所述方法包括如下步骤：

对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿；

将包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合均存储至一数据库中；

利用一EAP系统实时收集所述机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中；

一控制系统根据所述数据库存储的所述第三数据集合，从所述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从所述第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息；

根据所述待更换器皿的属性信息于所述待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿；

其中，所述待用器皿属性信息中包括有每个所述待用器皿中盛放的化学制剂的名称，所述槽位属性信息包括可用于每个槽位对应的化学制剂的名称。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述第一数据集合包括所述待用器皿盛放的化学制剂的名称、所述待用器皿盛放的化学制剂的批次号、所述待用器皿盛放的化学制剂的有效期、所述待用器皿盛放的化学制剂的瓶号和所述待用器皿所放置的位置信息。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述第二数据集合包括：槽位对应的机台列表信息、槽位对应的机台管路信息、槽位对应的化学制剂名称、槽位对应的型号信息；

其中，所述槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息和槽位的名称信息。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述第三数据集合包括：报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述预置的盛放有化学制剂的器皿以及待用器皿均具有更新条形码。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号；

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，将所述待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿的步骤包括：

步骤S1，分别扫描所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码得到所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息；

步骤S2，由一比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则继续进行步骤S3；

步骤S3，查看所述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，则继续进行步骤S4；

步骤S4，比较该待更换器皿的瓶号是否为对应该槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

上述的更换机台上化学制剂的方法，其中，所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：

比较所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较所述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的化学制剂的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则进行进一步的确认，并根据确认结果得出比对是否成功。

本申请还记载了一种更换机台上化学制剂的系统，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿，所述系统包括：EAP模块、控制与显示模块、更换模块以及数据库；

所述数据库中预先存储包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合；

所述EAP模块实时收集所述机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中；

所述控制与显示模块根据所述数据库存储的所述第三数据集合，从所述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从所述第一数据集合中提取并显示待更换器皿的属性信息；

所述更换模块根据所述待更换器皿的属性信息于所述待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿；

其中，所述待用器皿属性信息中包括有每个所述待用器皿中盛放的化学制剂的名称，所述槽位属性信息包括可用于每个槽位对应的化学制剂的名称。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述第一数据集合包括所述待用器皿盛放的化学制剂的名称、所述待用器皿盛放的化学制剂的批次号、所述待用器皿盛放的化学制剂的有效期、所述待用器皿盛放的化学制剂的瓶号和所述待用器皿所放置的位置信息。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述第二数据集合包括：槽位对应的机台列表信息、槽位对应的机台管路信息、槽位对应的化学制剂名称、槽位对应的型号信息；

其中，所述槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息和槽位信息。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述第三数据集合包括：报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述盛放有化学制剂的器皿以及待用器皿均具有更新条形码。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述更换模块包括更新条形码读取单元、比对单元和更换单元；

所述条形码读取单元分别扫描所述待更换器皿和被抽空的预置器皿得到所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息并将该更新条形码信息发送至比对模块；

所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则查看所述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较该待更换器皿的瓶号是否为对应该槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则通过所述更换单元将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

上述的更换机台上化学制剂的系统，其中，所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：

比较所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较所述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则进行进一步的确认，并根据确认结果得出比对是否成功。

上述发明具有如下优点或者有益效果：

综上所述，本发明公开了一种更换机台上化学制剂的系统及方法，通过一EAP系统实时收集机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中，一控制系统根据数据库存储的第三数据集合，从包含有槽位属性信息的第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从包含有待用器皿属性信息的第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息，然后根据该控制系统输出的具体信息更换化学制剂，且在更换化学制剂时，采用一比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，从而能准确和及时地收集报警数据，保证了机台化学制剂更换的高效性和准确性，同时为机台化学制剂的高效管理和更换提供了有力的支持。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明实施例中更换机台上化学制剂的方法的流程示意图；

图2是本发明实施例中更换条形码并存储更换后的条形码信息的流程示意图；

图3是本发明实施例中更换机台上化学制剂的系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

图1是本发明实施例中更换机台上化学制剂的方法的流程示意图；如图1所示：

本实施例涉及一种更换机台上化学制剂的方法，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，该方法包括如下步骤：

步骤S1，对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿，优选的，该每个待用器皿上均具有符合工艺需求的更新条形码，该化学制剂为即六甲基二硅氮甲烷化学制剂（Hexamethyldisilazane，简称HMDS）；在本发明的实施例中，由于刚领进工厂（FAB）的盛放有化学制剂的器皿上存在的原始条形码不符合工艺需求，且该原始条形码的信息一般包括化学制剂的名称、批次号、有效期以及原始序列号，为了能成功把条形码的信息存储至数据库中，需设计新的条形码编码作为符合工艺需求的更新条形码，因此，可以通过条形码阅读器（Barcode Reader）或其他可以读取条形码信息的工具读取原始条形码的信息并根据原始条形码的信息按规则生成更新条形码，并将该更新条形码打印出来贴在相应的化学制剂的器皿上，从而得到上述具有更新条形码的待用器皿，同样的，上述每个槽位上预置的盛放有化学制剂的器皿上也具有符合工艺需求的更新条形码，在本发明的实施例中，上述器皿可为专门存放化学制剂的特殊的瓶子。

具体的，图2是更换条形码并存储更换后的条形码信息的流程示意图；如图2所示，首先，生产助理领进新的具有原始条形码的盛放有化学制剂的器皿，用条形码阅读器读取盛放有化学制剂的器皿的原始条形码的信息后，根据该原始条形码的信息生成符合工艺需求的更新条形码，并将该更新条形码打印出来贴在盛放相应的化学制剂的器皿上，然后用条形码阅读器读取更新条形码的信息并将其存储至数据库中。

优选的，上述更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号；该更新条形码的信息包括27位字符，其中，更新条形码的信息中的前7位字符为化学制剂名称，即第一部分为化学制剂的名称，应该为7位字符，若化学制剂的名称不足7位字符的则在该化学制剂名称之前补0，例如：000HMDS；第8位至第15位字符为化学制剂批次号，即第二部分为化学制剂批次号，应该为8位字符，不足8位字符补0，例如:1307099k；第16位至第21位字符为化学制剂有效期，即第三部分为化学制剂有效期，应该为6位字符，不足6位字符补0，例如：140425，表示该化学制剂有效期至2014年4月25日；第22位至第27位字符为化学制剂瓶号，即第四部分为化学制剂瓶号，应该为6位字符，不足6位字符补0，例如：102805，表示是10月28日生产的第5瓶该化学制剂。

步骤S2，将包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合均存储至一数据库中；在本发明的实施例中，上述待用器皿属性信息中包括有每个待用器皿中盛放的化学制剂的名称，上述槽位属性信息中包括可用于每个槽位对应的化学制剂的名称。

优选的，上述第一数据集合包括待用器皿盛放的化学制剂的名称、待用器皿盛放的化学制剂的批次号、待用器皿盛放的化学制剂的有效期、待用器皿盛放的化学制剂的瓶号以及待用器皿所放置的位置信息，即包括待用器皿上更新条形码的信息以及待用器皿所放置的位置信息。在本发明的实施例中，该待用器皿上更新条形码的信息存储至数据库中的步骤为，使用条形码扫描器或其它可读取更新条形码信息的工具扫描待用器皿上的更新条形码得到更新条形码的信息，并将该更新条形码的信息存储至数据库中。

在本发明的一实施例中，该第一数据集合的部分信息如下表所示：

此外，上述第二数据集合包括槽位对应的机台列表信息（EQPID）、槽位对应的机台管路信息（Line）、槽位对应的化学制剂名称（Name）、槽位对应的型号信息等，且该槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息（Type）和槽位信息（Unit），即预先把哪个机台的哪个管路的哪个槽位具体能使用哪些化学制剂等相关信息配置在数据库中；该第二数据集合一示例的部分信息如下表所示：

步骤S3，当机台发出警报并产生报警信息时，一EAP（Equipment AutomationProgram，简称EAP）系统实时收集机台产生的报警信息，并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至上述数据库中。

其中，预先设定的规则是指根据具体工艺需求设定的能够从EAP系统收集的报警信息中提取化学制剂抽空的有效报警信息的规则，对于同一个机台的同一个管路，如果在一定时间内有两条及以上的报警信息，则自动判定为机台针对一瓶被抽空的化学制剂的连续报警，因此只取一条来作为有效报警信息，其余的忽略，因为一瓶化学制剂至少可以连续使用一段时间，在本发明的实施例中，该有效报警信息主要包括报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息，该第三数据集合的一示例的部分信息如下表所示：

步骤S4，一控制系统根据上述数据库存储的第三数据集合，从上述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息；即，机台发出的报警信息经收集和提取得到第三数据集合之后，控制系统可以根据该第三数据集合得到在哪个时间点，哪个机台的哪个管路上什么槽位上的化学制剂被抽空了，但具体该更换哪种化学制剂还需要对应之前存储在数据库中的包含有槽位属性信息的第二数据集合得出具体需要更换的化学制剂的名称等信息，然后根据得出的具体需要更换的化学制剂的名称等信息，再对应之前存储在数据库中的包含有待用器皿属性信息的第一数据集合才能具体得出待更换器皿的属性信息，该待更换器皿的属性信息包括具体要更换的待用化学制剂所在的具体位置信息，例如位于几号柜子的第几层等。

在本发明的实施例中，该控制系统输出的信息包括第三数据集合中的有效报警信息、待更换化学制剂槽位的属性信息以及待更换器皿的属性信息，且三者通过对应关系显示在同一个总集合中，优选的，该控制系统以一种可视化的界面显示出该总集合。

具体的，该控制系统将包含有有效报警信息的第三数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合相对应，具体的，即，将第三数据集合中的报警的机台列表信息、报警的机台管路信息分别与包含有槽位属性信息的第二数据集合中的槽位对应的机台列表信息对应、槽位对应的机台管路信息相对应；将第三数据集合中的报警的机台类型信息和包含有槽位属性信息的第二数据集合中的槽位对应的型号信息中的槽位对应的机台类型信息相对应；将第三数据集合中的报警的槽位信息和包含有槽位属性信息的第二数据集合中的型号信息中的槽位信息相对应；如果这几个对应项都符合的话，就可以确切的知道一个机台在一个具体的时间点，该机台的某个具体的管路上的一个槽位的特定类型的化学制剂被抽空了，再结合数据库中存储的待用器皿的更新条形码的信息以及具有该待用器皿放置的位置信息就可以直接得出并具体显示出需要更换的待更换器皿所在的具体位置，从而进行更换。

此外，由于化学制剂均具有一定的有效期，因此需要尽量在过期之前用完，因此，在找待更换化学制剂时按照先进先出的原则，因此，每一瓶化学制剂在被领进半导体工厂（FAB）时就会自动记录一个该瓶化学制剂的开始时间，即进入FAB的时间，该控制系统会优先选取离被抽空的预置器皿的开始时间最近的开始时间的瓶号的化学制剂作为待更换化学制剂，换句话说，就是要更换某个槽位的化学制剂，则从对应该槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中选择离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号的化学制剂作为待更换化学制剂。

步骤S5，根据上述总集合中显示的待更换器皿的属性信息于待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿；具体的，生产助理或管理人员根据控制系统显示的总集合中的待更换器皿的属性信息（包括待更换器皿盛放的化学制剂的名称、待更换器皿盛放的化学制剂的批次号、待更换器皿盛放的化学制剂的有效期、待更换器皿盛放的化学制剂的瓶号和待更换器皿盛放的化学制剂所放置的位置信息）从待用器皿中找出待更换器皿，然后，将该待更换器皿替换位于待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

为了确保化学制剂更换的准确性，首先，采用条形码扫描器或其它可读取更新条形码信息的工具分别扫描待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码得到待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，然后由一比对模块比对上述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则继续查看上述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较该待更换器皿的瓶号是否为对应该槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则将该待更换器皿替换位于待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

优选的，上述比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：首先，比较上述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较上述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的化学制剂的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则提醒相关技术人员进一步确认，若相关技术人员同意，则比对成功，若相关技术人员不同意，则报警显示错误。

在本发明的实施例中，若报警显示错误，说明生产助理或管理人员从待用器皿中找出的待更换器皿不符合要求，需要生产助理或管理人员根据控制系统显示的总集合中的待更换器皿的属性信息从待用器皿中重新找出待更换器皿，然后进行更新条形码的扫描后继续进行比对和查看，直到满足将该待更换器皿替换位于待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿的所有条件。

图3是本发明实施例中更换机台上化学制剂的系统的结构示意图；如图3所示：

本实施例涉及一种更换机台上化学制剂的系统，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿，该系统包括：EAP模块、控制与显示模块、更换模块以及数据库：

上述数据库中预先存储包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合，且在本发明的实施例中，上述待用器皿属性信息中包括有每个待用器皿中盛放的化学制剂的名称，上述槽位属性信息中包括可用于每个槽位对应的化学制剂的名称。

优选的，上述第一数据集合包括待用器皿盛放的化学制剂的名称、待用器皿盛放的化学制剂的批次号、待用器皿盛放的化学制剂的有效期、待用器皿盛放的化学制剂的瓶号以及待用器皿所放置的位置信息，即包括待用器皿上更新条形码的信息以及待用器皿所放置的位置信息，上述待用器皿上更新条形码的信息可使用条形码扫描器或其它可读取更新条形码信息的工具扫描待用器皿上的更新条形码并将扫描得到的更新条形码的信息存储至数据库中；上述第二数据集合包括槽位对应的机台列表信息（EQP ID）、槽位对应的机台管路信息（Line）、槽位对应的化学制剂名称（Name）、槽位对应的型号信息等，且该槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息（Type）和槽位信息（Unit），即预先把哪个机台的哪个管路的哪个槽位具体能使用哪些化学制剂等相关信息配置在数据库中。

优选的，该每个待用器皿上均具有符合工艺需求的更新条形码，且该更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号。

上述EAP模块实时收集机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中，优选的，该第三数据集合包括报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息。

上述控制与显示模块根据上述数据库存储的所述第三数据集合，从上述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从上述第一数据集合中提取并显示待更换器皿的属性信息。

上述更换模块根据待更换器皿的属性信息于待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于上述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿，在本发明的实施例中，更换模块包括条形码读取单元、比对单元和更换单元；该条形码读取单元用于分别扫描待更换器皿和被抽空的预置器皿得到待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息并将该更新条形码信息发送至比对模块；该比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则查看所述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较该待更换器皿的瓶号是否为对应该槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则通过所述更换单元将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

优选的，上述比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：首先，比较上述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较上述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的化学制剂的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则提醒相关技术人员确认，若相关技术人员同意，则比对成功，若相关技术人员不同意，则报警显示错误。

不难发现，本实施例为与上述更换机台上化学制剂的方法的实施例相对应的系统实施例，本实施例可与上述更换机台上化学制剂的方法的实施例互相配合实施。上述更换机台上化学制剂的方法的实施例中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施例中提到的相关技术细节也可应用在上述更换机台上化学制剂的方法的实施例中。

值得一提的是，本实施方式中所涉及到的各模块均为逻辑模块，在实际应用中，一个逻辑模块可以是一个物理模块，也可以是一个物理模块的一部分，还可以以多个物理模块的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施方式中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的模块引入，但这并不表明本实施方式中不存在其它的模块。

综上所述，本发明公开了一种更换机台上化学制剂的系统及方法，通过一EAP系统实时收集机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中，一控制系统根据数据库存储的第三数据集合，从包含有槽位属性信息的第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从包含有待用器皿属性信息的第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息，然后根据该控制系统输出的具体信息更换化学制剂，且在更换化学制剂时，采用一比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，从而能准确和及时地收集报警数据，保证了机台化学制剂更换的高效性和准确性，同时为机台化学制剂的高效管理和更换提供了有力的支持。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (9)

1.一种更换机台上化学制剂的方法，其特征在于，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，所述方法包括如下步骤：

对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿；

将包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合均存储至一数据库中；

利用一EAP系统实时收集所述机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，并将该第三数据集合存储至所述数据库中；

一控制系统根据所述数据库存储的所述第三数据集合，从所述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从所述第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息；

根据待更换化学制剂槽位的属性信息和所述待更换器皿的属性信息于所述待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿；

其中，所述待用器皿属性信息中包括有每个所述待用器皿中盛放的化学制剂的名称，所述槽位属性信息包括用于每个槽位对应的化学制剂的名称；

所述预置的盛放有化学制剂的器皿以及待用器皿均具有更新条形码；

所述更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号；

将所述待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿的步骤包括：

步骤S1，分别扫描所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码得到所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息；

步骤S2，由一比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则继续进行步骤S3；

步骤S3，查看所述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，继续进行步骤S4；

步骤S4，比较该待更换器皿的瓶号是否为对应所述待更换化学制剂槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

2.如权利要求1所述的更换机台上化学制剂的方法，其特征在于，所述第一数据集合包括所述待用器皿盛放的化学制剂的名称、所述待用器皿盛放的化学制剂的批次号、所述待用器皿盛放的化学制剂的有效期、所述待用器皿盛放的化学制剂的瓶号和所述待用器皿所放置的位置信息。

3.如权利要求2所述的更换机台上化学制剂的方法，其特征在于，所述第二数据集合包括：槽位对应的机台列表信息、槽位对应的机台管路信息、槽位对应的化学制剂名称、槽位对应的型号信息；

其中，所述槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息和槽位的名称信息。

4.如权利要求1所述的更换机台上化学制剂的方法，其特征在于，所述第三数据集合包括：报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息。

5.如权利要求1所述的更换机台上化学制剂的方法，其特征在于，

所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：

比较所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较所述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的化学制剂的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则进行进一步的确认，并根据确认结果得出比对是否成功。

6.一种更换机台上化学制剂的系统，其特征在于，应用于设置有若干槽位的机台上，且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿，对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿，所述系统包括：EAP模块、控制与显示模块、更换模块以及数据库；

所述数据库中预先存储包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合；

所述EAP模块实时收集所述机台上的报警信息，并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合，将该第三数据集合存储至所述数据库中；

所述控制与显示模块根据所述数据库存储的所述第三数据集合，从所述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息，并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从所述第一数据集合中提取并显示待更换器皿的属性信息；

所述更换模块根据所述待更换器皿的属性信息于所述待用器皿中获取待更换器皿，并将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿；

其中，所述待用器皿属性信息中包括有每个所述待用器皿中盛放的化学制剂的名称，所述槽位属性信息包括用于每个槽位对应的化学制剂的名称；

所述第一数据集合包括所述待用器皿盛放的化学制剂的名称、所述待用器皿盛放的化学制剂的批次号、所述待用器皿盛放的化学制剂的有效期、所述待用器皿盛放的化学制剂的瓶号和所述待用器皿所放置的位置信息；

所述盛放有化学制剂的器皿以及待用器皿均具有更新条形码；

所述更新条形码的信息包括化学制剂名称、化学制剂批次号、化学制剂有效期和化学制剂瓶号；

所述更换模块包括条形码读取单元、比对单元和更换单元；

所述条形码读取单元分别扫描所述待更换器皿和被抽空的预置器皿得到所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息并将该更新条形码信息发送至比对模块；

所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息，若比对不成功，则报警显示错误，若比对成功，则查看所述待更换器皿是否在有效期内，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较该待更换器皿的瓶号是否为对应所述待更换化学制剂槽位提供的若干盛放有相应化学制剂的待用器皿中离被抽空的预置器皿的有效期最接近的瓶号，若否，则报警显示错误，若是，则通过所述更换单元将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿。

7.如权利要求6所述的更换机台上化学制剂的系统，其特征在于，所述第二数据集合包括：槽位对应的机台列表信息、槽位对应的机台管路信息、槽位对应的化学制剂名称、槽位对应的型号信息；

其中，所述槽位对应的型号信息包括槽位对应的机台类型信息和槽位信息。

8.如权利要求6所述的更换机台上化学制剂的系统，其特征在于，所述第三数据集合包括：报警的机台列表信息、报警的机台管路信息、报警的机台类型信息、报警的时间信息和报警的槽位信息。

9.如权利要求6所述的更换机台上化学制剂的系统，其特征在于，

所述比对模块比对所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息的具体步骤为：

先比较所述待更换器皿和被抽空的预置器皿的化学制剂名称是否相同，若否，则报警显示错误，若是，则继续比较所述待用化学制剂和被抽空的预置器皿的批次号是否相同，若相同，则比对成功，若不同，则进行进一步的确认，并根据确认结果得出比对是否成功。