CN113240137A - 光刻胶更换方法及系统和光刻胶管理方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种光刻胶更换方法，包括：获取待更换光刻胶信息；按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息；根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证；当验证成功时，则基于所领取的光刻胶执行光刻胶更换操作；接收更换下的光刻胶的第二待验证信息；根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证；当验证成功时，则光刻胶更换结束。上述光刻胶更换方法，可以确保更换的光刻胶正确无误，避免换胶错误，防止光刻胶更换错误造成晶圆报废。

Description

光刻胶更换方法及系统和光刻胶管理方法及系统

技术领域

本发明涉及光刻胶供应和管理的技术领域，特别是涉及一种光刻胶更换方法及系统以及光刻胶管理方法及系统。

背景技术

光刻胶(Photoresist，PR)又称光致抗蚀剂，常用于半导体制造过程中的光刻阶段，以在晶圆上形成图案。

光刻设备中一般配备有多个管道，以供应不同种类的光刻胶。每个管道配备有液面传感器，以检测光刻胶的用量状态。当某一管道的光刻胶可用量低于系统设置的最小值后，传感器就会发出预警信号，提醒用户更换一瓶新的同一品种的光刻胶。

然而，由于光刻胶种类的限定，不同的设备以及管道所使用的光刻胶的种类存在不同，传统的光刻胶更换方法在更换光刻胶的过程中，人工进行光刻胶的更换容易出现换胶错误的情况，造成晶圆报废。

发明内容

基于此，有必要针对传统换胶过程容易出现换胶错误，从而造成晶圆报废的问题，提供一种光刻胶更换方法和换胶装置。

一种光刻胶更换方法，包括：获取待更换光刻胶信息；按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息；根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证；当验证成功时，则基于所领取的光刻胶执行光刻胶更换操作；接收更换下的光刻胶的第二待验证信息；根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证；当验证成功时，则光刻胶更换结束。

上述光刻胶更换方法，在获取待更换光刻胶信息后，通过查询光刻胶管理信息获取目标光刻胶信息，并根据目标光刻胶进行光刻胶更换，其中，在换胶之前，根据待匹配光刻胶信息对目标光刻胶进行验证，在换胶之后，根据待匹配光刻胶信息对换下的空瓶进行验证。通过双重验证，可以确保更换的光刻胶正确无误，避免换胶错误，进而避免光刻胶更换错误造成的晶圆报废。

在其中一个实施例中，所述获取待更换光刻胶信息，包括：获取待更换光刻胶所在的设备信息和管道信息；基于所述设备信息和所述管道信息获取所述待更换光刻胶信息。

在其中一个实施例中，所述按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息，包括：获取光刻胶管理信息中，与所述待更换光刻胶信息对应的初始光刻胶信息；获取最小失效期或入库时间满足要求的所述初始光刻胶信息作为目标光刻胶信息。

在其中一个实施例中，所述基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作之后，包括：接收人工确认的光刻胶更换结果。

一种光刻胶管理方法，所述光刻胶管理方法包括：至少基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息；根据上述任一实施例中所述的光刻胶更换方法进行光刻胶更换操作得到光刻胶更换结果；根据所述光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

在其中一个实施例中，所述根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新，包括：接收新换的光刻胶所对应的光刻胶信息、设备信息和管道信息；将所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对应的待更换光刻胶信息进行匹配；若匹配成功，则根据所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对所述光刻胶管理信息进行更新。

一种光刻胶更换系统，所述光刻胶更换系统包括：信息获取装置，用于获取待更换光刻胶信息，以及按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；换胶装置，用于基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作。

一种光刻胶管理系统，所述光刻胶管理系统包括：信息生成装置，用于至少基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息；上一实施例中所述的光刻胶更换系统；信息更新装置，用于根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

一种计算机设备，包括存储器和处理器，该存储器存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现上述各个方法实施例中的步骤。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述各个方法实施例中的步骤。

上述光刻胶管理方法，通过建立完备的光刻胶管理信息，将光刻胶信息与光刻设备信息、管道信息建立对应关系，同时在换胶过程中在每瓶光刻上贴附与之对应的标签，可以避免换胶过程中出现换胶错误。

附图说明

图1为本申请一实施例中一种光刻胶更换方法的流程框图。

图2为本申请一实施例中一种光刻胶管理方法的流程框图。

图3为本申请一实施例中一种光刻胶更换系统的结构框图。

图4为本申请一实施例中一种光刻胶管理系统的结构框图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳的实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在描述位置关系时，除非另有规定，否则当一元件例如层、膜或基板被指为在另一膜层“上”时，其能直接在其他膜层上或亦可存在中间膜层。进一步说，当层被指为在另一层“下”时，其可直接在下方，亦可存在一或多个中间层。亦可以理解的是，当层被指为在两层“之间”时，其可为两层之间的唯一层，或亦可存在一或多个中间层。

在使用本文中描述的“包括”、“具有”、和“包含”的情况下，除非使用了明确的限定用语，例如“仅”、“由……组成”等，否则还可以添加另一部件。除非相反地提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式，并不能理解为其数量为一个。

在本申请的一个实施例中，如图1所示，提供了一种光刻胶更换方法，本实施例以该方法应用于终端进行举例说明，可以理解的是，该方法也可以应用于服务器，还可以应用于包括终端和服务器的系统，并通过终端和服务器的交互实现。本实施例中，该方法包括以下步骤：

S11：获取待更换光刻胶信息；

S12：按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；

S13：接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息；

S14：根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证；

S15：当验证成功时，则基于所领取的光刻胶执行光刻胶更换操作；

S16：接收更换下的光刻胶的第二待验证信息；

S17：根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证；

S18：当验证成功时，则光刻胶更换结束。

在步骤S11中，获取待更换光刻胶信息。具体地，光刻设备的各个管道中配备有液面传感器，当某个管道中的光刻胶低于系统预设值时，该管道中的液面传感器发出警报信息。终端接收该警报信息并在显示设备上进行显示，例如，显示设备上可以显示发出该警报信息的液面传感器所在的位置信息，即光刻设备号和管道号。作为示例，显示设备上显示有各个光刻设备、各个管道的模拟图标，各模拟图标上显示有各个光刻设备、各个管道的位置信息。并且，对于需要换胶的设备管道，终端在接收到该设备管道中的液面传感器发回的警报信息后，可以通过对该设备管道对应的模拟图标进行颜色变换，(例如，将模拟图标的颜色由绿色变为黄色，绿色代表光刻胶可用量高于系统预设值，黄色代表光刻胶可用量低于系统预设值)以更加直观地显示各个设备、设个管道的光刻胶的使用状态，提醒用户及时进行换胶操作。可选地，各个模拟图标上还可以简要显示该位置的设备管道中对应使用的光刻胶信息，例如光刻胶的编码或名称的缩写标识。

用户点击由绿变黄的模拟图标，终端接收换胶命令，将该位置对应的光刻胶信息显示到显示设备上；或者终端仅获取到该位置对应的光刻胶信息而不显示出来，该光刻胶信息即为待更换光刻胶信息。模拟图标可以与待更换光刻胶信息一一对应。待更换光刻胶信息包括光刻胶编码、光刻胶名称、当前光刻胶对应的设备号和管道号、上次换胶时间以及换胶人等信息。

在一个实施例中，获取待更换光刻胶信息的步骤包括：获取待更换光刻胶所在的设备信息和管道信息；基于设备信息和管道信息获取所述待更换光刻胶信息。具体地，液面传感器在当前设备的管道中检测到光刻胶可用量低于系统预设值后，将当前设备号和管道号发送至终端，终端根据设备号、管道号与光刻胶的对应关系，在系统中查询并确定待更换光刻胶信息，当接收到用户点击模拟图标发出的换胶命令时，将待更换光刻胶信息显示在显示设备上。

在步骤S12中，按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息。具体地，光刻胶管理信息是指对光刻胶的领料、换胶以及确认等过程的记录信息，光刻胶管理信息以各种信息表的形式记录于光刻胶管理信息库中。可选地，光刻胶管理信息库中包含的信息表包括：光刻胶表、生产线表、生产线换胶表和领料单表中的至少一个。其中，光刻胶表中存储有仓库中每一瓶光刻胶的光刻胶名称、光刻胶编码、存储位置以及适用的设备号和管道号。生产线表记录有各个设备上的各个管道当前所使用的光刻胶种类以及光刻胶可用量。生产线换胶表中记录有各个设备上各个管道的换胶记录，包括换胶时间、换胶负责人、换胶前所用光刻胶的信息以及换胶后所用光刻胶的信息。领料表中存储有领料单号、领料时间、领料人以及领取的光刻胶的信息。按照预设规则是指按照预先设定好的检索规则，从光刻胶管理信息库中查询目标光刻胶信息。例如，预设规则可以是在与待更换光刻胶信息相匹配的光刻胶信息中，选取库存光刻胶中入库时间最早或最临近失效期的光刻胶信息。作为示例，目标光刻胶信息可以是仓库中存储的与待更换光刻胶信息中的光刻胶编码相同的光刻胶的信息，或者仓库中存储的与待更换光刻胶信息中的光刻胶名称相同的光刻胶的信息。筛选出上述信息后，再对其入库时间或失效期进行排序，以得到目标光刻胶信息。

在一个实施例中，终端获取目标光刻胶信息后，还包括：终端将目标光刻胶信息打印成标签。标签上的信息包括：光刻胶编码、名称、在线仓库位、入库时间、出厂日期、失效期、换胶人(默认当前登陆用户)、换胶时间(打印标签时间，年-月-日时-分-秒)。

在步骤S13中，接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息。具体地，用户可以根据标签上的信息在仓库中寻找获取的目标光刻胶。可选地，还可以将目标光刻胶信息导入光刻胶获取设备，由光刻胶获取设备自动获取目标光刻胶。每个光刻胶瓶在入库时贴附有标签，标签上通过文字和图像码的形式存储有瓶内光刻胶的信息，包括：光刻胶编码、名称、在线仓库位、入库时间、出厂日期和失效期等信息。在根据目标光刻胶信息找到目标光刻胶后，通过图像码扫描设备扫描光刻胶瓶上的图像码，获取所领取的光刻胶瓶上的信息，作为第一待验证信息。第一待验证信息包括当前光刻胶瓶中光刻胶的编码、名称、在线仓库位、入库时间、出厂日期和失效期等信息中的至少一个。作为示例，图像码可以是条形码或者二维码。

在步骤S14中，根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证。具体地，待更换光刻胶信息为当前生产线使用的光刻胶信息，包括当前设备管道用使用的光刻胶的名称、编码、在线仓库位、入库时间、出厂日期和失效期等信息。作为示例，可以根据光刻胶编码对第一待验证信息进行验证。例如，终端将第一待验证信息中的光刻胶编码和待更换光刻胶信息中的光刻胶编码进行匹配，如果匹配成功，则验证成功。作为示例，可以根据光刻胶编码和入库时间这两项参数对第一待验证信息进行验证，以提高验证结果的可靠性。可选地，本领域技术人员可以根据需求灵活设置用于验证的参数，本实施例对此不作限制。

在步骤S15中，当验证成功时，则基于所领取的目标光刻胶执行光刻胶更换操作。具体地，如果验证成功，则执行光刻胶更换操作。如果验证失败，则根据扫描结果的提示，将该光刻胶转移至与其对应的设备和管道处，再次进行标签扫描，直至扫描结果显示验证成功，再执行光刻胶更换操作。可选地，还可以根据扫描结果的提示，将所领取的光刻胶退回至仓库。

通过对领取到的光刻胶瓶上的标签进行扫描，获取瓶内光刻胶的信息，作为第一待验证信息，根据待更换光刻胶信息对第一待验证信息进行验证，以确保领取到的光刻胶瓶中存储的光刻胶与当前生产线上的光刻胶保持一直，避免在光刻胶瓶较多的情况下出现换胶错误的情况。

在步骤S16中，接收更换下的光刻胶的第二待验证信息。具体地，更换下的光刻胶瓶身上同样贴附有入库时贴的标签，标签上通过文字和图像码的形式存储有瓶内光刻胶的信息，包括：光刻胶编码、名称、在线仓库位、入库时间、出厂日期和失效期等信息中的至少一个。终端通过使用图像码扫描设备扫描换下的空瓶身上的标签，即可获取从生产线上换下的光刻胶的信息，即第二待验证信息。

在步骤S17和S18中，根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证，当验证成功时，则光刻胶更换结束。具体地，待更换光刻胶即生产线上原来使用的光刻胶，根据前述内容可知终端中已经存储有待更换光刻胶信息。通过对第二待验证信息与待更换光刻胶信息中的一项或多项参数(例如光刻胶编码和/或入库时间)进行匹配，如果匹配成功，则对第二待验证信息验证成功，换胶结束。

通过对换下的空瓶进行信息验证，增加了换胶过程中想信息验证步骤，可以进一步防止光刻胶更换过程中出现疏忽，提高光刻胶更换的准确性和可靠性。

上述光刻胶更换方法，在获取待更换光刻胶信息后，通过查询光刻胶管理信息获取目标光刻胶信息，并根据目标光刻胶进行光刻胶更换，其中，在换胶之前，根据待匹配光刻胶信息对目标光刻胶进行验证，以确保获取的光刻胶正确无误，避免换胶错误，进而避免光刻胶更换错误造成的晶圆报废。

在一个实施例中，按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息的步骤包括：

S121：获取光刻胶管理信息中，与所述待更换光刻胶信息对应的初始光刻胶信息。

终端在获取待更换光刻胶信息后，将其输入光刻胶管理信息库，从光刻胶管理信息库中匹配得到与待更换光刻胶信息对应的初始光刻胶信息。具体地，光刻胶管理信息库中存储有光刻胶标，光刻胶表包括：存入仓库中的每一瓶光刻胶的光刻胶名称、光刻胶编码、在线仓库位、入库时间、出厂时间、失效时间以及适用的设备号和管道号。终端根据待更换光刻胶信息中的光刻胶名称、光刻胶编码等信息中的一种或多种，从光刻胶表中获得与之相匹配的光刻胶信息，作为初始光刻胶信息。

S122：获取最小失效期或入库时间满足要求的所述初始光刻胶信息作为目标光刻胶信息。

为了优先用掉库存光刻胶中入库时间最早或最临近失效期的光刻胶，终端根据最小失效期对初始光刻胶信息进行排序。其中，最小失效期为工厂失效期和供应商失效期中较早的一个日期。工厂失效期为入库时间加上工厂定义的失效期天数；供应商失效期为出厂时间加上供应商保质期天数。作为示例，终端可以根据最小失效期对初始光刻胶信息进行排序，获取最接近失效日期的光刻胶的信息，将其作为目标光刻胶信息。可选地，终端还可以根据入库日期对初始光刻胶信息进行排序，以获取入库最早的光刻胶的信息，将其作为目标光刻胶信息。目标光刻胶信息包括：光刻胶名称、光刻胶编码、在线仓库位、入库时间、出厂时间、失效时间以及适用的设备号和管道号。

在一个实施例中，基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作之后，包括：接收人工确认的光刻胶更换结果。具体地，光刻胶更换结束后，为了更进一步确保光刻胶更换无误，增加人工检查和确认的过程。由于任何系统和机器都存在故障的风险，因此，最后换胶结果还需要人工核验，终端接收人工确认的光刻胶更换结果。作为示例，人工核验的操作人员与换胶过程的操作人员为不同的人员。

本申请的另一个实施例还公开了一种光刻胶管理方法，如图2所示，包括：

S21：基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息。

S23：根据上述任一实施例中的光刻胶更换方法进行光刻胶更换操作得到光刻胶更换结果。

S25：根据所述光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

具体地，各类光刻胶在入库的时候，就将其纳入光刻胶管理信息库。例如，对于入库的每一瓶光刻胶，均记录该光刻胶的名称、编码、出厂日期、失效日期、入库时间以及适合装载的设备号和管道号，并将上述信息制备为标签，贴附于装载光刻胶的瓶身上。当光刻胶被装载到设备的管道中后，还可以对光刻胶管理信息进行更新。例如，可以在光刻胶管理信息库中增加该光刻胶的换胶记录，换胶记录包括：换胶时间、换胶操作员、换胶确认操作员等信息。

在一个实施例中，光刻胶管理方法还包括生产设备管道配置的方法。终端根据实际设备的变化新建、修改以及删除生产设备管道信息，设备管道信息包括设备号、管道号和使用的光刻胶种类等信息。其中，新建生产设备管道信息时，以设备号和管道号作为唯一关键字；修改生产设备管道信息时，设备号和管道号作为关键字段不可修改，可以修改设备管道中使用的光刻胶种类。删除生产设备管道信息时，可以将设备号、管道号以及光刻胶种类等信息全部删除。

在一个实施例中，光刻胶管理方法还包括领料方法。根据光刻胶管理信息可以随时查看到各个种类的光刻胶的使用情况，当某种类型的光刻胶库存少于最低预设值时，终端发出领料信号，提醒工作人员及时进行领料，或者，将领料信号发送至领料设备，进行自动化领料。作为示例，在领料过程中，记录领取每一瓶光刻胶的种类、名称、编号、出厂日期、入库日期、失效日期以及在线仓库位，将上述信息制备成标签贴附于瓶身之上，并将上述信息即时更新至光刻胶管理信息库中。

通过建立完备的光刻胶管理信息，将光刻胶信息与光刻设备信息、管道信息建立对应关系，同时在换胶过程中根据光刻胶瓶上的的标签，可以及时获取当前光刻胶瓶中的光刻胶信息，并与当前设备和管道中使用的光刻胶信息进行匹配，避免换胶过程中出现换胶错误。

在一个实施例中，根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新，包括：接收新换的光刻胶所对应的光刻胶信息、设备信息和管道信息；将所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对应的待更换光刻胶信息进行匹配；若匹配成功，则根据所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对所述光刻胶管理信息进行更新。

具体地，在更新光刻胶管理信息之前，由与换胶员不同人员再次核对待更换光刻胶信息与新换的光刻胶所对应的光刻胶信息，只有当两者匹配成功时，才进行光刻胶管理信息的更新。

通过对待更换光刻胶信息与新换的光刻胶所对应的光刻胶信息进行匹配，可以避免换胶错误的情况下进行信息更新，确保光刻胶管理信息的正确性。

本申请的一个实施例还公开了一种光刻胶更换系统，如图3所示，包括：信息获取装置21，用于获取待更换光刻胶信息，以及按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；换胶装置22，用于基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作。

具体地，信息获取装置21可以接收液面传感器发送的警报信息，并根据警报信息中包含的设备信息和管道信息，获取待更换光刻胶信息，待更换光刻胶信息包括光刻胶编码、光刻胶名称、当前光刻胶对应的设备号和管道号、上次换胶时间以及换胶人等信息。根据待更换光刻胶信息，在光刻胶管理信息库中匹配获取与待更换光刻胶类型相同的光刻胶信息，作为目标光刻胶信息。目标光刻胶信息包括：光刻胶名称、光刻胶编码、在线仓库位、入库时间、出厂时间、失效时间以及适用的设备号和管道号。

换胶装置22用于基于目标光刻胶信息进行换胶操作。具体地，在换胶操作前后，可以基于待更换光刻胶信息分别对目标光刻胶信息和换下的光刻胶的信息进行信息验证，以确保换胶操作的正确性，避免换胶错误造成的晶圆大面积报废。

在一个实施例中，信息获取装置21包括：第一子信息获取装置，用于获取待更换光刻胶所在的设备信息和管道信息；第二子信息获取装置，基于所述设备信息和所述管道信息获取所述待更换光刻胶信息。

在一个实施例中，信息获取装置21还包括：初始光刻胶信息获取装置，用于获取光刻胶管理信息中与待更换光刻胶信息对应的初始光刻胶信息；目标光刻胶信息获取装置，用于获取最小失效期或入库时间满足要求的所述初始光刻胶信息作为目标光刻胶信息。

在一个实施例中，光刻胶更换系统还包括：第一信息接收装置，用于接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息；第一验证装置，用于根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证。

在一个实施例中，光刻胶更换系统还包括：第二信息接收装置，用于接收更换下的光刻胶的第二待验证信息；第一验证装置，用于根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证。

在一个实施例中，光刻胶更换系统还包括：确认装置，用于接收人工确认的光刻胶更换结果。

本申请的一个实施例还公开了一种光刻胶管理系统，如图4所示，包括：信息生成装置1，用于至少基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息；上一实施例中所述的光刻胶更换系统2；信息更新装置3，用于根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

具体地，信息生成装置1可以基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息。具体地，在从中心仓库领域光刻胶到各车间在线仓中时，对每一瓶光刻胶进行信息备案，将每一瓶光刻胶的光刻胶名称、光刻胶编码、所存储的在线仓库位、入库时间、出厂时间、失效时间以及适用的设备号和管道号等信息纳入电子信息系统，同时将上述信息制备为标签，贴附于光刻胶瓶的瓶身。作为示例，标签可以包含文字信息和图像码信息，以文字形式和图像码的形式分别进行存储，以便于人工识别或者机器识别。信息更新装置3可以在光刻胶更换系统2完成光刻胶更换操作之后，更新光刻胶管理信息，实现光刻胶管理信息的即时更新。

在一个实施例中，提供了一种计算机设备，包括存储器和处理器，该存储器存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现上述各个方法实施例中的步骤。

在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现上述各个方法实施例中的步骤。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种光刻胶更换方法，其特征在于，包括：

获取待更换光刻胶信息；

按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；

接收基于所述目标光刻胶信息所领取的光刻胶的第一待验证信息；

根据所述待更换光刻胶信息对所述第一待验证信息进行验证；

当验证成功时，则基于所领取的光刻胶执行光刻胶更换操作；

接收更换下的光刻胶的第二待验证信息；

根据所述待更换光刻胶信息对所述第二待验证信息进行验证；

当验证成功时，则光刻胶更换结束。

2.根据权利要求1所述的光刻胶更换方法，其特征在于，所述获取待更换光刻胶信息，包括：

获取待更换光刻胶所在的设备信息和管道信息；

基于所述设备信息和所述管道信息获取所述待更换光刻胶信息。

3.根据权利要求1所述的光刻胶更换方法，其特征在于，所述按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息，包括：

获取光刻胶管理信息中，与所述待更换光刻胶信息对应的初始光刻胶信息；

获取最小失效期或入库时间满足要求的所述初始光刻胶信息作为目标光刻胶信息。

4.根据权利要求1所述的光刻胶更换方法，其特征在于，所述基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作之后，包括：

接收人工确认的光刻胶更换结果。

5.一种光刻胶管理方法，其特征在于，所述光刻胶管理方法包括：

基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息；

根据权利要求1-4中任一项所述的光刻胶更换方法进行光刻胶更换操作得到光刻胶更换结果；

根据所述光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

6.根据权利要求5所述的光刻胶管理方法，其特征在于，所述根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新，包括：

接收新换的光刻胶所对应的光刻胶信息、设备信息和管道信息；

将所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对应的待更换光刻胶信息进行匹配；

若匹配成功，则根据所述光刻胶信息、所述设备信息和所述管道信息对所述光刻胶管理信息进行更新。

7.一种光刻胶更换系统，其特征在于，所述光刻胶更换系统包括：

信息获取装置，用于获取待更换光刻胶信息，以及按照预设规则查询光刻胶管理信息，以得到与所述待更换光刻胶信息对应的目标光刻胶信息；

换胶装置，用于基于所述目标光刻胶信息执行光刻胶更换操作。

8.一种光刻胶管理系统，其特征在于，所述光刻胶管理系统包括：

信息生成装置，用于至少基于车间在线仓中光刻胶的库存信息生成光刻胶管理信息；

权利要求7所述的光刻胶更换系统；和

信息更新装置，用于根据光刻胶更换结果对所述光刻胶管理信息进行更新。

9.一种计算机设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至6或7至8中任一项所述方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至4或5至6中任一项所述的方法的步骤。

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