KR20050112225A - 케미컬 공급시스템 - Google Patents

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KR20050112225A
KR20050112225A KR1020040037151A KR20040037151A KR20050112225A KR 20050112225 A KR20050112225 A KR 20050112225A KR 1020040037151 A KR1020040037151 A KR 1020040037151A KR 20040037151 A KR20040037151 A KR 20040037151A KR 20050112225 A KR20050112225 A KR 20050112225A
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류형식
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 케미컬 공급시스템에 관한 것으로, 그의 시스템은, 반도체 제조설비에 케미컬을 공급하는 케미컬 공급시스템에 있어서; 상기 반도체 제조설비를 제어하는 호스트 컴퓨터; 상기 케미컬에 대한 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 입출력하는 관리용 인터페이스 컴퓨터; 및 상기 용기에 형성된 바코드를 센싱하여 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터와 근거리 통신으로 상기 케미컬에 대한 정보를 송수신하는 상기 무선 바코드 리더를 포함하여 이루어진다.

Description

케미컬 공급시스템{System for providing chemical}
본 발명은 반도체 제조설비에 관한 것으로, 상세하게는 반도체 제조라인 내에서 포토레지스트에 관한 정보를 용이하게 이용할 수 있도록 포토레지스트 용기에 형성된 바코드를 인식하는 포토 레지스트 공급시스템에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 공정에는 확산공정, 포토공정, 식각공정, 임플란트공정,씬필름공정의 순서로 진행되며, 하나의 반도체가 공정이 완료되기까지는 이러한 공정순서가 수차례에서 수십차례 반복해야 하며 표면처리 또는 마스킹을 위한 다양한 종류의 케미컬(Chemical)이 공급되어야 한다.
전술한 용도의 케미컬은 대개 소정 용기 별로 구분되어 수용되며, 이들 용기는 제조라인 내부를 소정 레이아웃으로 구분하도록 형성된 섹터별 각 트랙에 케미컬을 특정 공정챔버로 공급하기 위하여 장착된다. 여기에서 트랙은 단위 용기가 장착되는 설비이고, 섹터는 복수 개의 트랙이 조합된 것이다.
특히, 웨이퍼 상에 마스킹 막질을 형성하기 위해서는 스핀코팅 공정에서 상기 케미컬의 한 종류인 포토레지스트가 분사공급되어야 하며, 상기 포토레지스트는 전술한 트랙에 장착된 용기로부터 섹터별 공급기를 거쳐서 스핀코터로 공급된다.
또한, 스핀코터는 공정챔버 내부로 로딩된 웨이퍼를 고속으로 회전시키면서 그 상부에 용기로부터 공급되는 포토레지스트를 분사한다. 그러면, 웨이퍼 상부에 포토레지스트 박막이 코팅되고, 그 후 웨이퍼는 노광 및 현상 공정을 거치게되고 그 결과 소정 패턴을 갖는 마스킹 막질이 형성된 웨이퍼가 완성된다.
이와 같은 공정설비에 있어서, 포토레지스트의 공급 유무 또는 용기에 남아 있는 상기 포토레지스트의 잔여양 센싱 등의 방법으로 포토레지스트의 교체 시점을 알리고 공정설비의 동작을 홀딩(Holding)시키는 시스템이 개발된 바 있었다.
이때, 포토레지스트를 사용하는 스핀코팅 시스템은 공정 중 트랙에 장착된 용기에 수용된 포토레지스트의 양이 소정량 이하로 되면 교체시점을 알리는 경보 동작을 수행하고 공정을 홀딩한다. 그러면 작업자는 전술한 경보 동작으로 용기가 비어있음을 인식하고 빈 용기를 새 용기와 교체시킨다. 그리고, 경보 동작이 해제되면 스핀코팅 시스템은 재가동된다. 그러나, 섹터의 트랙별로 설치된 용기의 교체시, 교체된 용기가 정확히 원하는 종류의 포토레지스트를 수용한 것인지 여부를 확인할 수 있는 장치가 제공되지 않았다.
포토레지스트는 점성 또는 감광되는 광에 따라 각각의 특성 차를 갖는 다양한 종류가 있으며, 그러므로 작업자는 케이스 별로 다른 종류의 포토레지스트를 수용한 용기를 육안으로 구분할 수 없기 때문에 바코드(bar-code)를 이용하여 트랙 별로 장착한 후 공정을 수행한다.
이하, 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 케미컬 공급시스템에 대하여 설명한다. 또한, 상기 케미컬을 대신하여 포토레지스트라 표기한다.
도 1은 종래 기술에 따른 포토레지스트 공급시스템을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 종래 기술의 포토레지스트 공급시스템은, 데이터 베이스(15)에 저장된 각종정보를 이용하여 포토 설비(60)를 제어하는 호스트 컴퓨터(10)와, 포토레지스트에 대한 정보를 상기 호스트 컴퓨터(10)에 입출력하는 관리용 인터페이스 컴퓨터(20)와, 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(20)에 유선(35)으로 연결되고, 상기 포토레지스트를 수용하는 용기(40)에 설치된 바코드(50)를 리딩하는 스캐너(30)를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 호스트 컴퓨터(10)를 통해 제어되는 상기 포토 설비(60)의 상태를 모니터링하는 사용자 인터페이스 컴퓨터(70)를 더 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 스캐너(30)는 광을 주사하여 상기 바코드(50)에서 흡수되고 반사되는 광을 이용하여 상기 포토레지스트에 해당되는 바코드 리드 데이터를 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(20)에 제공한다. 이때, 상기 스캐너(30)는 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(20)에 연결되어 있다.
또한, 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(20) 또는 상기 사용자 인터페이스 컴퓨터(70)를 통해 작업자는 각 포토공정에 사용되는 상기 포토레지스트의 종류, 제조사를 상기 데이터 베이스(15)에 등록시키고, 각 포토공정에서 사용되는 상기 용기(40)의 교체 및 현황을 조회할 수 있다.
따라서, 종래 기술의 포토레지스트 공급시스템은 스캐너(30)를 사용하여 용기(40)에 형성된 바코드(50)를 리딩하고, 상기 스캐너(30)로부터 리딩된 바코드 리드 데이터에 따라 상기 호스트 컴퓨터(10)에 의해 상기 포토 설비(60)에 제공되는 포토레지스트를 관리할 수 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 포토레지스트 공급시스템은 다음과 같은 문제점이 있었다.
종래 기술에 따른 포토레지스트 공급시스템은 관리용 인터페이스 컴퓨터(20)와 스캐너(30)사이에 연결되는 전선들이 상기 용기(40)의 교체 또는 포토 설비(60)의 예방정비시 작업자의 작업 또는 이동을 방해하여 작업자의 작업수행 능력을 떨어뜨리기 때문에 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 용기의 교체 또는 포토설비의 예방정비 시 작업자의 작업을 원활히 수행할 수 있는 작업 영역을 확보하여 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 케미컬 공급시스템을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 양태에 따라, 반도체 제조설비에 케미컬을 공급하는 케미컬 공급시스템에 있어서; 상기 반도체 제조설비를 제어하는 호스트 컴퓨터; 상기 케미컬에 대한 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 입출력하는 관리용 인터페이스 컴퓨터; 및 상기 용기에 형성된 바코드를 센싱하여 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터와 근거리 통신으로 상기 케미컬에 대한 정보를 송수신하는 상기 무선 바코드 리더를 포함함을 특징으로 한다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 케미컬을 대신하여 포토레지스트로 표기한다.
도 2는 본 발명에 따른 포토레지스트 공급시스템을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 포토레지스트 공급시스템은, 데이터 베이스(115)에 저장된 각종정보를 이용하여 포토 설비(160)를 제어하는 호스트 컴퓨터(110)와, 포토레지스트에 대한 각종정보를 상기 호스트 컴퓨터(110)에 입출력하는 포토레지스트 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)와, 상기 포토레지스트의 용기(140)에 형성된 바코드(150)를 감지하여 상기 포토레지스트 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)와 근거리 무선 통신으로 상기 포토레지스트에 대한 정보를 송수신하는 상기 무선 바코드 리더기(130)를 포함하여 구성된다. 또한, 상기 호스트 컴퓨터(10)를 통해 제어되는 상기 포토 설비(160)의 상태를 반도체 제조 설비외부에서 모니터링하는 사용자 인터페이스 컴퓨터(170)를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
여기서, 상기 호스트 컴퓨터(110)는 반도체 제조 공정에 관련되는 데이터를 관리하는 데이터 베이스(115)를 구비하고, 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(120) 또는 사용자 인터페이스 컴퓨터(170)에 연결되어 상기 무선 바코드 리더기(130)에서 제공되는 상기 바코드 리드 데이터 상기 데이터를 입출력할 수 있다.
이때, 작업자는 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(120) 또는 사무용 컴퓨터를 이용하여 상기 호스트 컴퓨터(110)를 통해 제어되는 상기 포토 설비(160)의 상태를 모니터링할 수 있다. 또한, 작업자는 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(120) 또는 상기 사용자 인터페이스 컴퓨터(170) 통해 제공되는 상기 바코드 리드 데이터를 상기 데이터 베이스(115)에 등록시키고, 각 포토공정에서 사용되는 상기 포토레지스트 용기(140)의 교체 및 현황을 조회할 수 있다.
도 3은 도 2의 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)를 개략적으로 나타낸 구성블록도로서, 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)는, 무선 바코드 리더기(130)에 소정의 데이터 코드를 무선으로 송수신하는 제 1 무선송수신부(210)와, 전원을 공급하는 제 1 전원공급장치(221) 및 전원 스위치(222)로 구성된 제 1 전원부(220)와, 상기 제 1 무선송수신부(210)에서 생성된 데이터 코드에 대응되는 출력 데이터가 저장된 제 1 기억장치부(230)와, 상기 제 1 무선송수신부(210)에서 생성된 데이터 코드에 대응되는 출력 데이터를 상기 제 1 기억장치부(230)에서 추출하여 데이터 입출력부(250)를 통해 출력하도록 제어하는 제 1 제어부(240))와, 상기 제 1 제어부에서 입출력되는 입출력 데이터를 상기 호스트 컴퓨터(110)에 입출력하는 데이터 입출력부(250)와, 상기 제 1 제어부(240)에 소정의 데이터를 입력하는 제 1 입력부(260)와, 상기 제 1 제어부(240)에 입출력되는 상기 입출력 데이터를 표시하는 제 1 표시 출력부(270)를 포함하여 이루어진다.
도시하지는 않았지만, 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)는 다양한 종류의 공정설비 또는 트랙으로부터 전송 받은 바코드(150) 정보에 실린 각 섹터의 트랙 상태 및 포토레지스터에 대한 정보를 상기 호스트 컴퓨터(110)에 전송하고, 상기 호스트 컴퓨터(110)로부터 전송되는 메시지 및 명령을 각 해당 공정 설비 또는 트랙에 전송하는 중계기에 연결되어 구성될 수도 있다.
한편, 상기 바코드(150)는 문자나 숫자를 흑과 백의 막대모양 기호로 조합한 것으로, 작업자의 유관보다 판독하기 쉽고 데이터를 빠르게 입력받기 위해서 사용된다. 이때, 상기 용기(140)의 외벽에 부착되는 바코드(150)는 용기(140)를 사이즈별로 구분하고, 용기(140) 내부에 수용된 포토레지스트의 종류, 점도, 제조사 및 제조 일에 대한 각종 데이터를 포함하도록 형성되어 있다.
이때, 상기 용기(140)의 외벽에 부착되는 상기 바코드(150)를 리딩하는 상기 무선 바코드 리더기(130)는 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)와 쌍방향으로 실시간 무선 통신을 가능하게 해주는 규격을 사용하는 공지된 장치로서, 예를 들어 블루투스(blue tooth) 규격을 사용하는 고유명 'DT900'이라는 제품을 사용할 수 있다. 또한, 상기 무선 바코드 리더기(130)는 상기 용기(140)에 형성된 상기 바코드(150)를 리딩할 수 있으며, 상기 바코드(150)의 정보를 작업자에게 제공하기 위해 작업자에 의해 조작이 가능한 별도의 입력키 및 기능키를 더 구비한다.
도 4는 도 2의 무선 바코드 리더기(130)의 기능별 구성요소를 나타내는 블록도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 무선 바코드 리더기(130)는 바코드(150)에 광선을 주사하고 반사 또는 흡수된 광선을 이용하여 전기적인 데이터 코드를 생성하는 바코드 리더부(310)와, 전원을 공급하는 제 2 전원부(320)와, 상기 바코드 리더부(310)에서 생성된 데이터 코드에 대응되는 입력데이터가 저장된 제 2 기억장치부(330)와, 상기 바코드 리더부에서 생성된 데이터코드에 대응되는 데이터 를 상기 제 2 기억장치부에서 추출하여 데이터를 변환시키는 제 2 제어부(340)와, 상기 제 2 제어부(340)에서 입력되는 데이터 코드를 입력받아 무선으로 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터(도 2의 120)에 송수신하는 제 2 무선송수신부(350)와, 상기 제 2 제어부(340)에 작업자에 의해 소정의 데이터를 입력하는 제 2 입력부(360)와, 상기 제 2 제어부(340)에 입출력되는 상기 데이터를 표시하는 제 2 표시 출력부(370)를 포함하여 이루어진다.
여기서, 상기 바코드 리더부(310)에 적용되는 광원은, 그 종류에 따라 발광 다이오드(Light Emitting Diode), 헬륨-네온 레이저(He-Ne Laser), 레이저 다이오드(Laser Diode) 등이 있고, 광원의 운동 여부에 따라 고정식 광선(Fixed Beam), 이동식 광선(Moving Beam)이 있으며, 바코드(150)에 접촉하느냐 여부에 따라 접촉식(Contact method), 비접촉식(Noncontact method)을 사용할 수 있다.
또한, 상기 바코드 리더부(310)는 크게 상기 광원을 이용하여 바코드(150)에 광선을 주사하여 이를 감지하는 광학부와, 이 광학부에서 받은 전기적 신호를 데이터 코드로 변환하는 판독부를 포함하여 이루어진다. 바람직하게는, 상기 광학부는 바코드(150)에 광선을 주사하는 광주사부(311)와, 상기 광주사부(311)에서 입사된 광선이 바코드(150)에서 반사되는 광선을 감지하고 그 강약에 따라 전기적 신호를 발생시키는 수광부(312)로 구성된다. 또한, 상기 판독부는 상기 수광부(312)에서 발생된 미약한 아날로그 신호를 증폭시킨 후 디지타이징(Digitizing) 과정을 거쳐 디지탈 신호로 변환시키는 증폭 및 신호처리회로(313)와, 상기 디지털 신호를 디코딩(Dicoding)하여 그 비트 패턴에 할당된 데이터 코드를 생성시키는 디코더(314)로 구성된다. 또한, 바코드 선택스위치(315)가 상기 광주사부(311)에 연결되어 있다.
따라서, 작업자는 상기 무선 바코드 리더기(130)를 상기 바코드(150)에 위치시킨 후, 바코드 선택스위치(8)를 누르고 바코드 리더부(3)가 상기 바코드(150)를 스캐닝함으로써 상기 무선 바코드 리더기(130)에서 상기 호스트 컴퓨터(110)에 상기 바코드(150)를 입력하고, 다시 상기 호스트 컴퓨터(110)로부터 상기 바코드(150)에 따른 포토레지스트의 정보를 상기 바코드 리더부를 통해 제공받을 수 있다. 더욱 바람직하게는 입력받은 바코드(150)에 대응되는 포토레지스트의 정보를 반복하여 출력하고자 할 때 바코드 선택스위치(315)를 이용할 수도 있다.
또한, 상기 제 2 전원부(320)는 상기 바코드 리더부의 후면 또는 측면에 수납부를 설치하고, 이 수납부에 상기 제 2 전원공급장치(321)를 수납시키도록 구성되며, 바람직하게는 상기 제 2 전원공급장치(321)는 소형 건전지를 사용한다. 더욱 바람직하게는, 상기 전원부(320)에는 제 2 전원 스위치(322)가 연결되어 필요한 경우에만 전원을 공급함으로써 에너지 소모를 줄일 수 있다.
또한, 상기 무선전송부(12)는 도시되지는 않았지만, 상기 디코더에서 생성된 데이터 코드를 무선 송수신에 적합한 형태로 변환하는 R/F입출력부와, 상기 R/F 입출력부에서 제공되는 데이터 코드를 송수신하는 안테나로 구성된다. 이러한 안테나에는 로드형 안테나와 루프형 안테나가 있으며, 사용편의를 고려한다면 루프형 안테나를 내장시켜 구성함이 바람직하다.
또한, 상기 제 2 제어부(340)는 상기 전원부(320)로부터 전원을 공급받아 상기 바코드 리더부(310)를 제어하여 입력되는 상기 데이터 코드를 이용하여 바코드(1)를 판독하고, 판독되는 데이터 코드를 상기 제 2 무선송수신부(350)에 입출력하는 것을 제어한다. 더욱 상세하게는, 상기 바코드 선택스위치(320)에 연결된 광주사부(4)에서 광선을 주사하는데 필요한 신호와, 상기 디코더(314)로부터 생성된 데이터 코드를 상기 R/F회로로 입출력하는데 필요한 신호와, 상기 R/F회로에서 데이터 코드를 변환하여 안테나를 통해 송수신하는데 필요한 신호등을 제어한다.
따라서, 본 발명에 따른 포토레지스트 공급시스템은 포토레지스트를 수용하는 용기(140)에 형성된 바코드(150)를 리딩하고, 관리용 인터페이스 컴퓨터(120)와 무선으로 통신하는 무선 바코드 리더기(130)를 구비하여 상기 용기의 교체 또는 포토 설비(160)의 예방정비 시 작업자의 작업을 원활히 수행할 수 있는 작업 영역을 확보할 수 있기 때문에 작업자의 이동 또는 설비 관리에 따른 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있다.
또한, 상기한 실시예의 설명은 본 발명의 더욱 철저한 이해를 제공하기 위하여 도면을 참조로 예를 든 것에 불과하므로, 본 발명을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론이다.
상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 케미컬 공급시스템은 포토레지스트를 수용하는 용기에 형성된 바코드를 리딩하고, 관리용 인터페이스 컴퓨터와 무선으로 통신하는 무선 바코드 리더기(130)를 구비하여 상기 용기의 교체 또는 포토 설비의 예방정비 시 작업자의 작업을 원활히 수행할 수 있는 작업 영역을 확보할 수 있기 때문에 작업자의 이동 또는 설비 관리에 따른 생산성을 증대 또는 극대화할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 케미컬 공급시스템을 개략적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 케미컬 공급시스템을 개략적으로 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 관리용 인터페이스 컴퓨터를 개략적으로 나타내는 블록도.
도 4는 도 2의 무선 바코드 리더기의 기능별 구성요소를 나타내는 블록도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
110 : 호스터 컴퓨터 115 : 데이터 베이스
120 : 관리용 인터페이스 컴퓨터 130 : 무선 바코드 리더기
140 : 용기 150 : 바코드
160 : 포토 설비 170 : 사용자 인터페이스 컴퓨터
210 : 제 1 무선 송수신부 220 : 제 1 전원부
221 : 제 1 전원공급장치 222 : 제 1 전원 스위치
230 : 제 1 기억장치부 240 : 제 1 제어부
250 : 데이터 입출력부 260 : 제 1 입력부
270 : 제 1 표시 출력부 310 : 바코드 리더부
311 : 광주사부 312 : 수광부
313 : 증폭 및 신호처리회로 314 : 디코더
315 : 바코드 선택 스위치 320 : 제 2 전원부
321 : 제 2 전원공급장치 322 : 제 2 전원 스위치
330 : 제 2 기억장치부 340 : 제 2 제어부
350 : 제 2 무선 송수신부 360 : 제 2 입력부
370 : 제 2 표시 출력부

Claims (6)

  1. 반도체 제조설비에 케미컬을 공급하는 케미컬 공급시스템에 있어서;
    상기 반도체 제조설비를 제어하는 호스트 컴퓨터;
    상기 케미컬에 대한 정보를 상기 호스트 컴퓨터에 입출력하는 관리용 인터페이스 컴퓨터; 및
    상기 용기에 형성된 바코드를 센싱하여 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터와 근거리 통신으로 상기 케미컬에 대한 정보를 송수신하는 상기 무선 바코드 리더를 포함함을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 관리용 인터페이스 컴퓨터는,
    상기 무선 바코드 리더기에 소정의 데이터 코드를 무선으로 송수신하는 제 1 무선송수신부와,
    전원을 공급하는 제 1 전원부와,
    상기 제 1 무선송수신부에서 입출력 데이터 코드에 대응되는 출력 데이터가 저장된 제 1 기억장치부와,
    상기 제 1 무선송수신부에 입출력되는 데이터 코드에 대응되는 출력 데이터를 상기 제 1 기억장치부에서 추출하여 출력 데이터 및 제어 데이터를 생성하는 제 1 제어부와,
    상기 제 1 제어부에서 입출력되는 출력 데이터를 상기 호스트 컴퓨터에 입출력하는 데이터 입출력부와,
    상기 제 1 제어부에 소정의 데이터를 입력하는 제 1 입력부와,
    상기 제 1 제어부에 입출력되는 상기 입출력 데이터를 표시하는 제 1 표시 출력부를 포함함을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 무선 바코드 리더기는 고유명 DT900으로 이루어짐을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 무선 바코드 리더기는,
    상기 바코드에 광선을 주사하고 반사 또는 흡수된 광선을 이용하여 전기적인 데이터 코드를 생성하는 바코드 리더부와,
    전원을 공급하는 제 2 전원부와,
    상기 바코드 리더부에서 생성된 데이터 코드에 대응되는 입력데이터가 저장된 제 2 기억장치부와,
    상기 바코드 리더부에서 생성된 데이터코드에 대응되는 데이터를 상기 제 2 기억장치부에서 추출하여 입출력데이터와 제어 데이터를 생성하는 제 2 제어부와,
    상기 제 2 제어부에서 출력되는 데이터 코드를 입력받아 무선으로 상기 관리용 인터페이스 컴퓨터에 송수신하는 제 2 무선송수신부와,
    상기 제 2 제어부에 소정의 데이터를 입력하는 제 2 입력부와,
    상기 제 2 제어부에 입출력되는 상기 데이터를 표시하는 제 2 표시 출력부를포함함을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 바코드 리더부는,
    상기 바코드에 광선을 주사하는 광주사부와,
    상기 광주사부에서 입사된 광선이 상기 바코드에서 반사되는 광선을 감지하여 전기적 신호를 발생시키는 수광부와,
    상기 수광부에서 발생된 전기적 신호를 증폭시킨 후 디지탈 신호로 변환시키는 증폭 및 신호처리회로와,
    상기 디지털 신호를 디코딩하여 그 비트 패턴에 할당된 데이터 코드를 생성시키는 디코더를 포함함을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 바코드 리더부는 상기 제 2 전원부에서 공급되는 전원을 스위칭하는 바코드 선택스위치 더 포함함을 특징으로 하는 케미컬 공급시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140018084A (ko) * 2011-01-21 2014-02-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 포토레지스트 관리 장치 및 방법

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