KR20140018084A - 포토레지스트 관리 장치 및 방법 - Google Patents

포토레지스트 관리 장치 및 방법 Download PDF

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영환 김
관우 김
영준 김
효석 이
명식 한
상은 송
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명에 따른 포토레지스트 관리 장치는, 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 무선 태그 리더에 요구하여 취득하고, 이 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리부와, 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리부와, 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리부를 포함한다.

Description

포토레지스트 관리 장치 및 방법{PHOTORESIST MANAGEMENT DEVICE AND METHOD}
본 발명은 반도체 제조 공정에 있어서 포토레지스트의 관리에 관한 것으로서, 특히 반도체 포토리소그래피 공정용 포토레지스트의 관리 장치 및 관리 방법에 관한 것이다.
종래에 반도체 포토리소그래피 공정에서 사용되는 포토레지스트(이하 'PR'로 약칭함)는 바코드를 이용하여 관리되었고, 반도체 제조 공정을 실시하는 반도체 공정툴로부터의 데이터와 PR을 관리하는 바코드 시스템으로부터의 데이터가 별도의 채널을 통하여 호스트에 보고되었다.
도 1은 종래의 바코드를 이용한 PR 관리 시스템의 구성도를 나타낸다. 호스트(20)는 반도체 공정툴(10)과 접속하여 반도체 제조 공정에 대한 데이터를 송수신하고 처리한다. PR은 포토리소그래피에 사용되는 감광성 고분자 물질이며, 일반적으로 병 모양의 PR 용기(30)에 담겨 반도체 공정툴(10) 내에 배치된다. PR 용기(30)에는 바코드가 부착되어 있고, 오퍼레이터는 바코드 리더(50)를 이용하여 PR에 관한 데이터를 취득하고, 이 데이터를 바코드 제어기(40)를 통해 호스트(20)로 전송한다.
도 1에 도시된 종래의 PR 관리 시스템에서는 다음과 같은 프로세스에 의해 PR을 관리한다.
반도체 제조 공정의 진행에 따라, PR 용기(30) 내의 PR이 완전히 없어지면, 반도체 공정툴(10)은 PR 용기(30) 내에 PR이 존재하지 않는 것을 검출하고, 이를 호스트에 통지한다. 여기서, 오퍼레이터는 호스트(20)로부터 통지된 메시지를 보고 PR 용기(30)가 빈 상태로 있다는 것을 인식한다. 그 후, 오퍼레이터는 반도체 공정툴(10)에 배치된 PR 용기(30)의 상태를 직접 확인하여 빈 상태의 PR 용기(30)를 확인한다. 그리고, 오퍼레이터는 동일한 PR이 담긴 새로운 PR 용기(30'; 미도시)에 대한 데이터를 바코드 리더(50)를 이용하여 입력한 후, 빈 상태의 PR 용기(30)를 새로운 PR 용기(30')로 교체한다. 바코드 리더(50)에 의해 입력된 데이터는 바코드 리더 제어기(40)를 통해 호스트(20)에 전송된다.
또한, 종래에는 소정의 위치(예컨대, 반도체 공정툴(10))에 장착된 PR 용기(30) 내의 PR이 다 사용되었을 때의 PR 용기(30)의 교체 작업은 다음과 같은 순서로 이루어졌다. 먼저, 센서에 의해 PR 용기(30) 내에 PR이 존재하지 않는 것(PR 엠프티 이벤트)이 검출되면, 오퍼레이터는 동일한 종류의 새로운 PR 용기(30')를 가져온다. 그 후, 오퍼레이터는 PR이 없는 PR 용기(30)를 제거하고 그 위치에 새로운 PR 용기(30')를 장착하며, 새롭게 장착된 PR 용기(30')에 부착된 바코드를 바코드 리더(50)를 통해 판독한다. 이때 바코드 리더(50)가 접속된 PR 관리 장치는 판독된 바코드 데이터로부터 교체 전후의 PR 용기(30, 30') 내의 PR이 동일한 종류인지 여부를 판정하고, 동일한 종류가 아닌 경우에는 경고 메시지를 표시한다.
도 1에 도시된 종래의 PR 관리 시스템에서는, 반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 통신 채널과 바코드 리더(50)와 호스트(20) 간의 통신 채널이 별도로 존재하므로, 호스트(20)에서는 2개의 다른 경로를 통해 들어오는 데이터를 동기화하여 사용해야 한다는 번거로움이 있었다. 또한, 종래의 PR 관리 시스템은 기본적으로 바코드를 이용한 시스템으로서 PR 교체 작업시에 오퍼레이터가 바코드 리더(50)를 이용하여 교체되는 PR의 데이터를 직접 입력하였으므로, 작업 시간이 오래 걸리고 오퍼레이터의 실수에 의해 잘못된 PR 교체 작업이 수행될 수 있다는 문제점이 존재하였다.
또한, 전술한 종래 기술에서는, 교체 전후의 PR 용기(30, 30')에 부착된 바코드 데이터를 이용하여 PR의 종류가 일치하는지만을 확인하였으나, 실제의 반도체 제조시에 있어서는, 동일한 종류의 PR이라고 해도, 제조사, 로트 번호, 에이징 여부 등이 상이한 경우에는, PR에 있어서 미세한 성분의 차이가 발생하고, 이러한 차이가 실제 반도체 제조 프로세스에 영향을 미친다는 문제점이 존재하였다.
본 발명은 이러한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체 제조 공정에서 사용되는 PR을 무선 태그 기술을 이용하여 관리하고, 통신 계통을 일원화함으로써 동기화된 PR 관리 데이터를 보다 적절한 타이밍에 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 실제 반도체 제조 프로세스에 영향을 미칠 수 있는 부적합한 PR로의 교체를 사전에 검출하여 프로세스 안정성을 높일 수 있는 것을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 관리 장치는, 반도체 공정툴, 무선 태그 리더 및 호스트에 접속되며, 상기 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 무선 태그 리더에 대하여 요구하여 취득하고, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리부와, 상기 반도체 공정툴로부터 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리부와, 상기 반도체 공정툴로부터 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리부를 포함한다.
또한, 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 포토레지스트 관리 방법은, 반도체 공정툴, 무선 태그 리더 및 호스트에 접속된 포토레지스트 관리 장치에서 포토레지스트를 관리하기 위한 방법으로서, 상기 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 무선 태그 리더에 요구하여 취득하고, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리 단계와, 상기 반도체 공정툴로부터 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리 단계와, 상기 반도체 공정툴로부터 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리 단계를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 다른 포토레지스트 관리 장치는, 소정의 위치에 장착된 포토레지스트 용기에 대해, 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터를 취득하는 취득부와, 상기 취득부에 의해 취득된 상기 포토레지스트 종류 데이터와 상기 포토레지스트 속성 데이터를 저장하는 저장부와, 상기 포토레지스트 용기가 교체된 경우에, 상기 저장부에 저장되거나 상기 취득부로부터 취득된 데이터를 이용하여, 교체 전의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터를 교체 후의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터와 비교하는 비교부와, 상기 비교의 결과에 따라, 포토레지스트 용기 교체에 있어서의 오류 여부를 통지하는 통지부를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 다른 포토레지스트 관리 방법은, 소정의 위치에 장착된 포토레지스트 용기에 대해, 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터를 취득하는 취득 단계와, 상기 취득 단계에서 취득된 상기 포토레지스트 종류 데이터와 상기 포토레지스트 속성 데이터를 저장하는 저장 단계와, 상기 포토레지스트 용기가 교체된 경우에, 상기 저장 단계에서 저장되거나 상기 취득 단계에서 취득된 데이터를 이용하여, 교체 전의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터를 각각 교체 후의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터와 비교하는 비교 단계와, 상기 비교의 결과에 따라, 포토레지스트 용기 교체에 있어서의 오류 여부를 통지하는 통지 단계를 포함한다.
본 발명에 따르면, 반도체 제조 공정에서 사용되는 PR을 무선 태그 기술을 이용하여 관리하고, 통신 계통을 일원화시킴으로써 동기화된 PR 관리 데이터를 보다 적절한 타이밍에 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 이원화되어 있었던 종래의 PR 관리 체계를 일원화함으로써, 반도체 공정툴로부터의 정보와 PR 용기로부터 데이터를 판독하는 무선 태그 리더로부터의 정보가 동시에 취합되어 호스트에 통지되므로, PR 관리 데이터를 적절한 타이밍으로 관리할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 반도체 공정툴이나 무선 태그 리더로부터 취득한 데이터를 SECS 프로토콜 메시지로 변환하여 관리함으로써, 호스트 측에서 보다 용이하게 데이터를 관리할 수 있다. 여기서, SECS는 "SEMI Equipment Communication Standard"의 약칭이며, SECS 프로토콜은 SEMI 스탠다드 중에서 반도체 공정툴과 호스트 간의 메시지 교환에 관한 통신 프로토콜이다. 또한, SEMI는 "Semiconductor Equipment and Material International"의 약칭이다.
또한, 본 발명에 따르면, 실제 반도체 제조 프로세스에 영향을 미칠 수 있는 부적합한 PR로의 교체를 사전에 검출하여 프로세스 안정성을 높일 수 있다.
도 1은 종래기술의 PR 관리 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 장치(60)가 반도체 공정툴(10), 호스트(20) 및 무선 태그 리더(70)와 접속되어 있는 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 장치(60)의 블록도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 방법의 흐름도를 나타낸다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 PR 관리 장치(80)의 블록도를 나타낸다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 PR 관리 방법의 흐름도를 나타낸다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 PR 관리 장치(60, 80) 및 PR 관리 방법을 상세히 설명한다.
<제1 실시예>
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 장치(60)가 반도체 공정툴(10), 호스트(20) 및 무선 태그 리더(70)와 접속되어 있는 구성도를 나타낸다.
PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴(10), 호스트(20) 및 무선 태그 리더(70)와 접속하여, 반도체 공정툴(10) 또는 무선 태그 리더(70)로부터 전송되는 데이터를 동기화하여 호스트(20)에 전송하고, 호스트(20)로부터의 데이터를 반도체 공정툴(10) 또는 무선 태그 리더(70)로 전송한다. 반도체 공정툴(10)은 반도체 제조 공정에서 발생하는 다양한 데이터를 PR 관리 장치(60)를 경유하여 호스트(20)에 전송한다. 무선 태그 리더(70)는 반도체 공정툴(10) 내에 배치된 각 PR 용기(30)에 부착된 무선 태그로부터 데이터를 판독하여, 판독 데이터를 PR 관리 장치(60)를 경유하여 호스트(20)에 전송한다.
이하에서는, 도 3을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 장치(60)의 구성을 설명한다.
PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴(10)과의 데이터 송수신을 위한 인터페이스부인 반도체 공정툴 IF(610), 무선 태그 리더(70)와의 데이터 송수신을 위한 인터페이스부인 무선 태그 리더 IF(620) 및 호스트(20)와의 데이터 송수신을 위한 인터페이스부인 호스트 IF(630)를 포함한다. 또한, PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴 IF(610), 무선 태그 리더 IF(620) 및 호스트 IF(630)로부터의 데이터를 처리하고 필요한 명령을 전송하는 제어부(600)를 포함한다. 제어부(600)가 처리한 데이터는 표시부(690)에 표시되어 오퍼레이터가 용이하게 확인할 수 있다.
제1 이벤트 처리부로서의 PR 엠프티(empty) 이벤트 처리부(650)는, 반도체 공정툴(10)로부터 PR 용기(30)가 빈 상태인 것을 나타내는, 제1 메시지로서의 PR 엠프티 메시지를 수신하면, 빈 상태의 PR 용기(30)에 관한 데이터를 무선 태그 리더(70)에 요구하여 취득하고, 무선 태그 리더(70)로부터 취득된 데이터를 호스트(20)에 전송하는 구성이다.
또한, PR 엠프티 이벤트 처리부(650)는 무선 태그 리더(70)로부터 취득된 PR 용기(30)에 관한 데이터에 기초하여, 반도체 공정툴(10) 내의 빈 상태의 PR 용기(30)의 위치 및 PR 용기(30)에 관한 데이터를 표시부에 디스플레이한다. 이에 따라, 오퍼레이터는 빈 상태의 PR 용기(30)의 위치 및 PR 용기(30)에 관한 데이터를 용이하게 파악할 수 있다.
제2 이벤트 처리부로서의 PR 제거 이벤트 처리부(660)는, 반도체 공정툴(10)에서 PR 용기(30)가 제거되었을 때, 제거된 PR 용기(30)에 관한 데이터를 포함하는, 제2 메시지로서의 PR 제거 메시지를 무선 태그 리더(70)로부터 수신하면, 제거된 PR 용기(30)에 관한 데이터를 호스트(20)에 전송하는 구성이다.
제3 이벤트 처리부로서의 PR 투입 이벤트 처리부(670)는, 반도체 공정툴(10)에서 제거된 PR 용기(30)의 위치에 새 PR 용기(30')가 배치되고, 새 PR 용기(30')에 관한 데이터를 포함하는, 제3 메시지로서의 PR 투입 메시지를 무선 태그 리더(70)로부터 수신하면, 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 호스트(20)에 전송하는 구성이다.
오류 판정부(680)는 빈 상태의 PR 용기(30)에 관한 데이터와 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 비교하여 PR 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정하고, 오류가 있는 것으로 판정된 경우에 PR 용기(30, 30')의 교체 작업에 오류가 있음을 통지하는 구성이다. 한편, 본 실시예에서는, PR 관리 장치(60) 내에 오류 판정부(680)를 설치하여 PR 관리 장치(60)에 의해 PR 용기(30, 30')의 교체 작업의 오류 여부를 판정하는 것으로 구성하였으나, 다른 실시예로서 호스트(20) 내에 오류 판정부(680)를 설치하여 호스트(20)에 의해 PR 용기(30, 30')의 교체 작업의 오류 여부를 판정하는 것으로 구성할 수도 있다. 오류 판정부(680)는 PR의 종류를 나타내는 PR 종류 데이터를 비교하여 PR 용기(30)의 교체 작업의 오류 여부를 판정할 수도 있고, 후술하는 제2 실시예와 같이 PR의 종류를 나타내는 PR 종류 데이터뿐만 아니라, PR의 종류보다 더 상세한 PR의 속성을 나타내는 PR 속성 데이터를 비교하여 PR 용기(30)의 교체 작업의 오류 여부를 판정할 수도 있다.
반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 데이터 통신과 무선 태그 리더(70)와 호스트(20) 간의 데이터 통신은 서로 다른 통신 규약을 사용한다. 이 때문에 PR 엠프티 이벤트 처리부(650), PR 제거 이벤트 처리부(660) 및 PR 투입 이벤트 처리부(670)는 무선 태그 리더(70)로부터의 빈 상태의 PR 용기(30)에 관한 데이터, PR 제거 메시지 및 PR 투입 메시지를 예컨대 SECS 프로토콜과 같은 반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약의 데이터로 변환하고, 변환된 데이터를 호스트(20)에 전송한다.
이하에서는, 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 PR 관리 장치(60)에 의한 PR 관리 방법을 설명한다.
먼저, PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴(10)로부터 PR 용기(30)가 빈 상태인 것을 나타내는 PR 엠프티 메시지를 수신하였는지 여부를 판정한다(스텝 S410). PR 관리 장치(60)가 PR 엠프티 메시지를 수신한 경우(스텝 S410의 '예')에는, PR 관리 장치(60)는 빈 상태의 PR 용기(30)에 관한 데이터(PR 용기(30)의 위치 및 PR의 종류 등에 대한 데이터)를 무선 태그 리더(70)에 요구하여 취득하고, 무선 태그 리더(70)로부터 취득된 데이터를, 반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약(SECS 프로토콜)의 데이터로 변환하여 호스트(20)에 전송한다(스텝 S420). 또한, PR 관리 장치(60)는 무선 태그 리더(70)로부터 취득된 PR 용기(30)에 관한 데이터에 기초하여, 반도체 공정툴(10) 내의 빈 상태의 PR 용기(30)의 위치 및 PR 용기(30)에 관한 데이터를 표시부(690)에 디스플레이한다(스텝 S430). 이에 따라, 오퍼레이터는 빈 상태의 PR 용기(30)의 위치 및 PR 용기(30)에 관한 데이터를 용이하게 파악할 수 있다. 여기서, 스텝 S410, S420 및 S430은 본 발명의 제1 이벤트 처리 스텝을 구성하고 있다.
그 후, PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴(10)에서 제거된 PR 용기(30)에 관한 데이터를 포함하는 PR 제거 메시지를 무선 태그 리더(70)로부터 수신하였는지 여부를 판정한다(스텝 S440). PR 관리 장치(60)가 PR 제거 메시지를 수신한 경우(스텝 S440의 '예'), PR 관리 장치(60)는 제거된 PR 용기(30)에 관한 데이터를, 반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약의 데이터로 변환하여 호스트(20)에 전송한다(스텝 S450). 즉, 오퍼레이터가 PR 관리 장치(60)의 표시부(690)에 디스플레이된 데이터로부터 빈 상태의 PR 용기(30)와 동일한 새로운 PR 용기(30')를 클린룸 내의 PR 임시 보관소(PR Stocker)에서 가져와서, 빈 상태의 PR 용기(30)를 새로운 PR 용기(30')로 교체하기 위해 빈 상태의 PR 용기(30)를 제거한 경우에, 무선 태그 리더(70)는 PR 제거 메시지를 PR 관리 장치(60)로 전송하며, 이 메시지를 수신한 PR 관리 장치(60)는 제거된 PR 용기(30)에 관한 데이터를 SECS 프로토콜로 변환하여 호스트(20)에 전송하게 된다. 여기서, 스텝 S440 및 S450은 본 발명의 제2 이벤트 처리 스텝을 구성하고 있다.
그리고, PR 관리 장치(60)는 반도체 공정툴(10)에서 제거된 PR 용기(30)의 위치에 PR 용기(30')가 새롭게 배치되고, 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 포함하는 PR 투입 메시지를 무선 태그 리더(70)로부터 수신하였는지 여부를 판정한다(스텝 S460). PR 관리 장치(60)가 PR 투입 메시지를 수신한 경우(스텝 S460의 '예'), PR 관리 장치(60)는 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 반도체 공정툴(10)과 호스트(20) 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약의 데이터로 변환하여 호스트(20)에 전송한다(스텝 S470). 즉, 오퍼레이터가 새로운 PR 용기(30')를 PR 용기(30)가 제거된 위치에 장착하면, 무선 태그 리더(70)는 PR 투입 메시지를 PR 관리 장치(60)에 전송하며, 이 메시지를 수신한 PR 관리 장치(60)는 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 SECS 프로토콜로 변환하여 호스트(20)에 전송하게 된다. 여기서, 스텝 S460 및 S470은 본 발명의 제3 이벤트 처리 스텝을 구성하고 있다.
마지막으로, PR 관리 장치(60)는 빈 상태의 PR 용기(30)에 관한 데이터와 새롭게 배치된 PR 용기(30')에 관한 데이터를 비교하여 PR 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정한다(스텝 S480). 오류가 없는 경우(스텝 S480의 '아니오')에는, 프로세스를 종료한다. 오류가 있는 경우(스텝 S480의 '예')에는, PR 교체 작업에 오류가 있음을 통지한다(스텝 S490). 이에 따라 오퍼레이터는 PR 교체 작업에 오류가 발생한 것을 인식하고, 대응 처리를 수행하게 된다. 여기서, 스텝 S480 및 S490은 본 발명의 오류 판정 스텝을 구성하고 있다.
<제2 실시예>
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 따른 PR 관리 장치(80)의 블록도를 나타낸다.
PR 관리 장치(80)는 무선 태그 리더(70)와 접속하고, 취득부(810), 저장부(820), 비교부(830) 및 통지부(840)를 포함한다.
취득부(810)는 무선 태그 리더(70)를 통해, 소정의 위치에 부착된 PR 용기(30)에 대하여, PR의 종류를 나타내는 PR 종류 데이터와, PR의 종류보다 더 상세한 PR의 속성을 나타내는 PR 속성 데이터를 취득하고, 저장부(820)는 취득부(810)에 의해 취득된 PR 종류 데이터와 PR 속성 데이터를 저장한다. 취득부(810)는 무선 태그 리더(70)와 접속되어 있으며, 무선 태그 리더(70)는 PR 용기(30)에 부착된 무선 태그에 저장된 PR 종류 데이터와 PR 속성 데이터를 포함하는 데이터를 판독하여 취득부(810)에 전송하며, 취득부(810)는 무선 태그 리더(70)로부터 전송된 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터를 취득한다.
본 실시예에서는, PR 관리 장치(80)가 무선 태그 리더(70)에 접속하고, 취득부(810)가 무선 태그 리더(70)로부터 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터를 취득하는 것을 예시하고 있으나, 다른 실시예로서 PR 관리 장치(80)가 바코드 리더에 접속하고, 취득부(810)가 바코드 리더로부터 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터를 취득하도록 구성할 수도 있다.
PR 종류 데이터는 일반적으로 PR의 종류(타입)를 식별하기 위한 데이터로서, 예컨대 PR의 제조사가 판매하는 PR의 상품명 또는 해당 상품명에 대응하는 제품 고유 코드 등이고, PR 속성 데이터는 PR의 종류보다 더 상세한 PR의 속성을 식별하기 위한 데이터로서, 예컨대 PR의 제조사를 나타내는 데이터, PR의 제조 로트 번호(LOT No.)를 나타내는 데이터 및 PR의 에이징(Aging) 여부를 나타내는 데이터이다.
비교부(830)는 PR 용기(30)가 교체된 경우에, 저장부(820)에 저장되거나 취득부(810)에서 취득된 데이터를 이용하여, 교체 전의 PR 용기(30)에 대한 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터를 각각 교체 후의 PR 용기(30')에 대한 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터와 비교한다. 종래 기술에서는 PR 용기(30)의 교체 전후에 있어서 PR 종류 데이터의 일치 여부만을 비교하였으나, 본 발명에서는 PR 종류 데이터보다 더 상세한 PR의 속성을 나타내는 PR 속성 데이터의 일치 여부도 비교하기 때문에, 반도체 제조 프로세스에 영향을 미치는 작은 변화도 감지할 수 있어, 반도체 제조 프로세스를 더욱 안정화할 수 있다.
통지부(840)는 비교부(830)의 비교 결과에 따라 PR 용기(30) 교체의 오류 여부를 통지한다. 비교의 결과, PR 용기(30)의 교체 전후에 있어서 PR 종류 데이터가 다르다고 판정된 경우에, 통지부(840)는 부적합한 PR 용기로 교체되었음을 통지한다. 또한, 비교의 결과, PR 용기(30)의 교체 전후에 있어서 PR 종류 데이터는 동일하지만, PR 속성 데이터가 다른 경우에, 통지부(840)는 PR 용기의 교체로 인해 오류가 발생할 가능성이 있음을 통지한다. 통지부(840)에 의한 통지는 청각적 또는 시각적인 알림 등 어떠한 방법에 의해서도 행해질 수 있으며, 그 통지는 오퍼레이터에게 또는 호스트 장치에 전달될 수 있다.
본 발명의 제2 실시예에 따른 PR 관리 장치(80)는 PR 용기(30)의 교체시 PR 종류 데이터보다 더 상세한 PR의 속성을 나타내는 PR 속성 데이터의 일치 여부도 비교하기 때문에, 반도체 제조 프로세스에 영향을 미치는 작은 변화도 감지할 수 있으므로, PR 관리 장치(80)에 의하면 반도체 제조 프로세스를 더욱 안정화할 수 있다는 효과를 얻을 수 있다.
이하에서는 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 PR 관리 장치(80)에 의한 PR 관리 방법을 설명한다.
먼저, 취득부(810)는 무선 태그 리더(70)를 통해 PR 용기(30) 내의 PR의 종류를 나타내는 PR 종류 데이터와, PR의 종류보다 더 상세한 PR의 속성을 나타내는 PR 속성 데이터를 취득한다(스텝 S610). 취득부(810)에 의해 취득된 PR 종류 데이터와 PR 속성 데이터는 저장부(820)에 저장된다(스텝 S620).
그 후, PR 관리 장치(80)는 PR 용기(30)가 교체되었는지 여부를 판정한다(스텝 S630). 여기서, PR 용기(30)의 교체 여부의 판정은 PR 용기(30)가 탑재된 위치에서의 압력의 변화나 무선 태그 리더에 의한 검출 등의 이미 알려진 방법에 의해 이루어질 수 있다.
PR 용기(30)가 교체되었다고 판정되면(스텝 S630의 '예'), 취득부(810)는 무선 태그 리더(70)를 통해 새로 교체된 PR 용기(30')에 대한 PR 종류 데이터 및 PR 속성 데이터를 취득한다(스텝 S640). 그리고, 비교부(830)는 교체 전후에 있어서 PR 종류 데이터가 동일한지 여부를 판정하고(스텝 S650), 동일하지 않다고 판정된 경우(스텝 S650의 '아니오')에, 통지부(840)는 부적합한 PR 용기로 교체되었음을 통지한다(스텝 S660). 비교부(830)가 교체 전후에 있어서 PR 종류 데이터가 동일하다고 판정한 경우(스텝 S650의 '예')에는, 계속하여 교체 전후에 있어서 PR 속성 데이터가 동일한지 여부를 판정한다(스텝 S670). 여기서, 동일하지 않다고 판정된 경우(스텝 S670의 '아니오')에는, 통지부(840)가 PR 용기의 교체로 인해 오류가 발생할 가능성이 있음을 통지한다(스텝 S680). 교체 전후에 있어서 PR 속성 데이터가 동일하다고 판정된 경우(스텝 S670의 '예')에는, 통지부(840)가 PR 용기의 교체로 인해 오류가 발생할 가능성이 없음을 통지한다(스텝 S690).
이상의 실시예는, 모두 본 발명을 실시하는 데 있어서의 구체적인 예를 나타낸 것에 불과하며, 이들에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정적으로 해석 되어서는 안되며, 본 발명은 그 기술 사상, 또는 그 주요한 특징을 갖는 여러 가지 형태로 실시할 수 있다.
10: 반도체 공정툴 20: 호스트
30, 30': PR 용기 40: 바코드 리더 제어기
50: 바코드 리더 60, 80: PR 관리 장치
70: 무선 태그 리더 600: 제어부
610: 반도체 공정툴 IF 620: 무선 태그 리더 IF
630: 호스트 IF 650: PR 엠프티 이벤트 처리부
660: PR 제거 이벤트 처리부 670: PR 투입 이벤트 처리부
680: 오류 판정부 690: 표시부
810: 취득부 820: 저장부
830: 비교부 840: 통지부

Claims (22)

  1. 반도체 공정툴, 무선 태그 리더 및 호스트와 접속된 포토레지스트 관리 장치로서,
    상기 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 무선 태그 리더에 요구하여 취득하고, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리부와,
    상기 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리부와,
    상기 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리부
    를 포함하는 포토레지스트 관리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 이벤트 처리부, 상기 제2 이벤트 처리부 및 상기 제3 이벤트 처리부는, 상기 무선 태그 리더로부터 수신한 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터, 제2 메시지 및 제3 메시지를 상기 반도체 공정툴과 상기 호스트 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약의 데이터로 변환하고, 변환된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 통신 규약은 SECS 프로토콜인 것인 포토레지스트 관리 장치.
  4. 제1항에 있어서, 제1 이벤트 처리부는, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터에 기초하여, 상기 반도체 공정툴 내의 빈 상태의 포토레지스트 용기의 위치를 표시하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 빈 상태의 포토레지스트 용기에 관한 데이터와 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 비교하여 포토레지스트의 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정하고, 오류가 있다고 판정된 경우에 오류의 발생을 통지하는 오류 판정부를 더 포함하는 포토레지스트 관리 장치.
  6. 제5항에 있어서, 포토레지스트 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정하기 위하여 비교되는 데이터는 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터인 것인 포토레지스트 관리 장치.
  7. 반도체 공정툴, 무선 태그 리더 및 호스트와 접속된 포토레지스트 관리 장치에서 포토레지스트를 관리하기 위한 포토레지스트 관리 방법으로서,
    상기 반도체 공정툴로부터 포토레지스트 용기가 빈 상태인 것을 나타내는 제1 메시지를 수신하면, 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 무선 태그 리더에 요구하여 취득하고, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제1 이벤트 처리 단계와,
    상기 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제2 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 제거된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제2 이벤트 처리 단계와,
    상기 반도체 공정툴에서 제거된 포토레지스트 용기의 위치에 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 포함하는 제3 메시지를 상기 무선 태그 리더로부터 수신하면, 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 상기 호스트에 전송하는 제3 이벤트 처리 단계
    를 포함하는 포토레지스트 관리 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 이벤트 처리 단계, 상기 제2 이벤트 처리 단계 및 상기 제3 이벤트 처리 단계는, 상기 무선 태그 리더로부터 수신한 빈 상태의 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터, 제2 메시지 및 제3 메시지를 상기 반도체 공정툴과 상기 호스트 간의 데이터 송수신에 사용되는 통신 규약의 데이터로 변환하고, 변환된 데이터를 상기 호스트에 전송하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 통신 규약은 SECS 프로토콜인 것인 포토레지스트 관리 방법.
  10. 제7항에 있어서, 제1 이벤트 처리 단계는, 상기 무선 태그 리더로부터 취득된 상기 포토레지스트 용기에 관한 데이터에 기초하여, 상기 반도체 공정툴 내의 빈 상태의 포토레지스트 용기의 위치를 표시하는 단계를 포함하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
  11. 제7항에 있어서, 빈 상태의 포토레지스트 용기에 관한 데이터와 새롭게 배치된 포토레지스트 용기에 관한 데이터를 비교하여 포토레지스트의 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정하고, 오류가 있다고 판정된 경우에 오류의 발생을 통지하는 오류 판정 단계를 더 포함하는 포토레지스트 관리 방법.
  12. 제11항에 있어서, 포토레지스트의 교체 작업에 오류가 있는지 여부를 판정하기 위하여 비교되는 데이터는 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터인 것인 포토레지스트 관리 방법.
  13. 포토레지스트를 관리하기 위한 포토레지스트 관리 장치로서,
    예정된 위치에 장착된 포토레지스트 용기에 대해, 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터를 취득하는 취득부와,
    상기 취득부에 의해 취득된 상기 포토레지스트 종류 데이터와 상기 포토레지스트 속성 데이터를 저장하는 저장부와,
    상기 포토레지스트 용기가 교체된 경우에, 상기 저장부에 저장되거나 상기 취득부에서 취득된 데이터를 이용하여, 교체 전의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터를 각각 교체 후의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터와 비교하는 비교부와,
    상기 비교의 결과에 따라, 포토레지스트 용기 교체의 오류 여부를 통지하는 통지부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 관리 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 취득부는 상기 포토레지스트 종류 데이터 및 상기 포토레지스트 속성 데이터를 바코드 리더 또는 무선 태그 리더로부터 취득하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 비교의 결과, 포토레지스트 용기의 교체 전후에 있어서 포토레지스트 종류 데이터가 다른 경우에, 상기 통지부는 부적합한 포토레지스트 용기로 교체되었음을 통지하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 비교의 결과, 포토레지스트 용기의 교체 전후에 있어서 포토레지스트 종류 데이터는 동일하지만 포토레지스트 속성 데이터가 다른 경우에, 상기 통지부는 포토레지스트 용기의 교체로 인해 오류가 발생할 가능성이 있음을 통지하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  17. 제13항에 있어서, 상기 포토레지스트 속성 데이터는 포토레지스트의 제조사를 나타내는 데이터, 포토레지스트의 제조 로트 번호(Lot No.)를 나타내는 데이터 및 포토레지스트의 에이징(Aging) 여부를 나타내는 데이터 중 하나 이상을 포함하는 것인 포토레지스트 관리 장치.
  18. 포토레지스트를 관리하기 위한 포토레지스트 관리 방법으로서,
    예정된 위치에 장착된 포토레지스트 용기에 대해, 포토레지스트의 종류를 나타내는 포토레지스트 종류 데이터와, 포토레지스트의 속성을 나타내는 포토레지스트 속성 데이터를 취득하는 취득 단계와,
    상기 취득 단계에서 취득된 상기 포토레지스트 종류 데이터와 상기 포토레지스트 속성 데이터를 저장하는 저장 단계와,
    상기 포토레지스트 용기가 교체된 경우에, 상기 저장 단계에서 저장되거나 상기 취득 단계에서 취득된 데이터를 이용하여, 교체 전의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터를 각각 교체 후의 포토레지스트 용기에 대한 포토레지스트 종류 데이터 및 포토레지스트 속성 데이터와 비교하는 비교 단계와,
    상기 비교 결과에 따라, 포토레지스트 용기 교체의 오류 여부를 통지하는 통지 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 포토레지스트 관리 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 취득 단계는 상기 포토레지스트 종류 데이터 및 상기 포토레지스트 속성 데이터를 바코드 리더 또는 무선 태그 리더로부터 취득하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 비교의 결과, 포토레지스트 용기의 교체 전후에 있어서 포토레지스트 종류 데이터가 다른 경우에는, 상기 통지 단계는 부적합한 포토레지스트 용기로 교체되었음을 통지하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 비교의 결과, 포토레지스트 용기의 교체 전후에 있어서 포토레지스트 종류 데이터는 동일하지만 포토레지스트 속성 데이터가 다른 경우에는, 상기 통지 단계는 포토레지스트 용기의 교체로 인해 오류가 발생할 가능성이 있음을 통지하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
  22. 제18항에 있어서, 상기 포토레지스트 속성 데이터는 포토레지스트의 제조사를 나타내는 데이터, 포토레지스트의 제조 로트 번호를 나타내는 데이터 및 포토레지스트의 에이징 여부를 나타내는 데이터 중 하나 이상을 포함하는 것인 포토레지스트 관리 방법.
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