CN103425562B - 软件断联监控系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出了一种软件断联监控方法，包括以下步骤：待测软件通过发送模块以第一周期T1改变发送数据；接收模块以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；根据获得的所述发送数据判断所述待检测软件是否发生了断联。该方法可以减少软件对数据的读写次数，节约了成本，并大大降低了错误的几率，更有效地判断出断联的发生。本发明还提出了一种软件断联监控系统。

Description

软件断联监控系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种软件断联监控系统及方法。

背景技术

在刻蚀、太阳能等半导体生产领域中，设备端软件包括设备控制软件、数据采集软件、CTC（Cluster Tool Controller，集簇设备控制器）软件等。这些软件需要保持连接状态，交互数据和各种服务，协同完成对整个设备的生产和产品质量控制。这些软件分布在不同计算机上，通过网络进行数据交互，在设备生产过程中要保证各个软件的连接必需正常。设备端控制软件，负责控制Wafer（晶圆）刻蚀工艺、记录各种工艺过程参数并把这些参数传送给CTC软件与APC（Automatic Power Control，自动功率控制）软件。APC软件负责接收设备控制软件传送的数据、分析数据，并根据相应的事件发送命令给设备软件进行工艺。CTC软件具有图形显示、用户交互，与上层软件交互等功能。这些软件需要交互信息，协同工作。但是在实际生产中因为各种原因，会出现其中的某些软件异常退出的情况，如网络连接问题、非正常操作、计算机异常、软件异常等等。这时就会造成某些功能的缺失，如果发现的晚，会造成较严重的后果。因此，对各个软件的连接状态需要进行监控。

目前，对软件连接状态的监控方法主要是通过对软件发出的数据进行判断。例如，某一软件以固定的周期改变并发出数据，而监控软件以相同的周期接收该软件发出的数据，通过判断接收的数据是否有变化来判断该软件是否断联。

现有技术的缺点是：因为监控软件与被监控软件以相同周期接收数据，所以监控的周期时间短，如果判断出现断联的情况，就根据情况抛出报警，这样的操作对于负责整个设备控制的软件来说，会花费较大的系统资源，对软件的性能也是一个较大的浪费。此外，这种方法会出现当监控软件读取数据在数据即将开始或即将结束变化（即数据传输波形的上升或下降沿）时，读取的数据就不会变化，始终为同一个值，这样就会造成判断错误。而且数据读取频率越高，出现读取错误的几率越大，这样出现错误判断的几率也越大。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的第一个目的在于提出一种软件断联监控方法，该方法可以减少软件对数据的读写次数，节约了成本，并大大降低了错误的几率。本发明的第二个目的还在于提出一种软件断联监控系统。

为了实现上述目的，本发明第一方面的实施例提出了一种软件断联监控方法，包括以下步骤：

S1：待测软件通过发送模块以第一周期T1改变发送数据；

S2：接收模块以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；以及

S3：根据获得的所述发送数据判断所述待测软件是否发生了断联。

根据本发明实施例的软件断联监控方法，可以通过配置接收模块的读取周期，减小软件相应的对联接状态监控的资源花费。同时由于读取数据频率降低，可以较大地减小出现错误的几率。此外，因为读取数据周期与数据变化周期不相同，解决了在数据传输波形上升沿或下降沿读取数据时，数据不会变化的问题，大大降低了误差。

在本发明的一个实施例中，所述S1包括：所述发送模块将改变后的数据发送至所述接收模块。

在本发明的另一个实施例中，所述S1包括：所述发送模块将改变后的数据共享给所述接收模块，以使所述接收模块读取所述改变后的数据。

在本发明的一个实施例中，所述S3进一步包括：

所述接收模块按照预设次数存储所述接收模块读取或接收的所述发送数据；

判断所述按照预设次数存储的所述发送数据是否相等；

如果判断相等，则计数器的值加1，并判断所述计数器的值是否达到预设值，当判断达到所述预设值，则判断所述待测软件发生了断联；以及

如果判断不相等，则将所述计数器的值清零。

在本发明的一个优选实施例中，所述预设次数为3-5次。

本发明第二方面的实施例还提出了一种软件断联监控系统，包括：发送模块，用于以第一周期T1改变发送数据；接收模块，用于以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；和判断模块，用于根据获得的所述改变的发送数据判断所述待测软件是否发生了断联。

根据本发明实施例的软件断联监控系统，通过对接收数据端接收模块读取周期的设置，可以减少软件对数据的读写次数，降低了软件的系统花费，节约了成本，并且可以减少短周期频繁读取数据可能出现的错误，降低了出现错误的几率。此外，还可以避免不能读到数据变化的错误，减少误判的几率。

在本发明的一个实施例中，所述发送模块将改变后的数据发送至所述接收模块。

在本发明的另一个实施例中，所述发送模块将改变后的数据共享给所述接收模块，以使所述接收模块读取所述改变后的数据。

在本发明的一个实施例中，所述的软件断联监控系统，还包括计数器，在所述接收模块按照预设次数存储所述接收模块读取或接收的所述发送数据，且所述判断模块判断按照所述预设次数存储的所述发送数据相等时，所述计数器的值加1。

并且，在所述计数器的值达到预设值时，所述判断模块判断所述待测软件发生了断联。

此外，在所述判断模块判断按照所述预设次数存储的所述发送数据不相等时，将所述计数器的值清零。

在本发明的一个优选实施例中，所述预设次数为3-5次。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明实施例的软件断联监控方法的流程图；

图2为根据本发明实施例的软件断联监控方法的进一步流程图；

图3为根据本发明实施例的软件断联监控方法的具体流程图；

图4为根据本发明实施例的软件断联监控系统的方框图；

图5为根据本发明一个实施例的软件断联监控系统的具体方框图；和

图6为根据本发明另一个实施例的软件断联监控系统的具体方框图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

参照图1至图3描述根据本发明第一方面实施例提出的软件断联监控方法。

如图1所示，该软件断联监控方法包括以下步骤：

S1：待测软件在启动的同时触发发送模块以第一周期T1改变发送数据。

S2：接收模块以第二周期T2获得发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数。

可以理解的是，这里所说的改变发送数据是广义上的数据传送，可以是数据改变后直接发送，也可以是数据改变后进行共享以供读取。

具体地，在本发明的一个实施例中，发送模块通过第一周期T1不断地改变数据并把改变后的数据发送给接收模块，而接收模块通过第二周期T2不断地接收发送模块发送变化的数据。其中，第二周期T2是第一周期T1的倍数，但不能是整数倍。在本发明的一个示例中，第一周期T1可以为1秒，第二周期T2可以为1.5秒。

在本发明的另一个实施例中，发送模块通过第一周期T1不断地改变数据，并把改变后的数据通过程序间的共享服务进行共享，接收模块以第二周期T2读取共享的改变后的数据。同样地，第二周期T2是第一周期T1的倍数，但不能是整数倍。在本发明的一个示例中，第一周期T1可以为1秒，第二周期T2可以为1.5秒。

以1秒为周期改变数据和以1.5秒为周期读取数据并读取多次，即使某次读取数据在上升沿或下降沿，但是下次读取的数据就不会在上升沿或下降沿，肯定能读到数据的变化，大大减少了误判。

S3：根据获得的发送数据判断待测软件是否发生了断联。

在本发明的一个实施例中，如图2所示，步骤S3进一步包括：

S201，接收模块按照预设次数存储接收模块读取或接收的改变的发送数据。

S202，判断模块判断按照预设次数存储的发送数据是否相等。正常的情况下，因为接收模块是以第一周期T1不断地改变数据的，因此接收模块获得的数据应该是变化的。

S203，如果判断相等，则计数器的值加1。也就是说，接收模块获得的数据没有变化，即数据在此期间没有变化，则判断连接有可能出现断联，计数器加1。

S204，判断计数器的值是否达到预设值。如果判断达到，则判断待测软件发生了断联，发出警报。

S205，如果判断不相等，将计数器的值清零。也就是说，接收模块在此期间获得的数据是有变化的，则判断连接没有出现断联，计数器清零。

在本发明的一个优选实施例中，预设次数可以为3-5次。

具体地说，在本发明的一个实施例中，如图3所示，上述软件断联监控方法包括以下步骤：

S301，CTC软件以第一周期T1例如1秒不断地改变数据。也就是说，CTC软件触发发送模块以1秒的周期对数据进行改变并发送。

S302，接收模块以与数据改变不同周期读取数据3次。也就是说，接收模块以另一固定周期例如1.5秒按照预设次数读取改变后的数据。在本发明的一个优选示例中，预设次数为3次。

S303，判断3次数据是否相等。如果相等，则说明数据在此期间没有变化，连接可能出现断联，执行下一步骤S304；如果不相等，则说明数据在变化，执行步骤S305。

S304，计数器加1，执行步骤S306。

S305，计数器清零。连接没有出现断联，计数器复位，返回步骤S302。

S306，计数器是否超过预设值。连接有可能出现断联，计数器加1后，判断模块继续判断计数器的值是否超过预设值，如果是，则执行下一步骤S307；如果否，则返回步骤S302。

S307，抛出报警。

根据本发明实施例的软件断联监控方法，可以通过配置接收模块的读取周期（例如设置为数据改变周期的1.5倍），减少软件对数据的读写次数，降低软件相应的对联接状态监控的资源花费，节约了成本。同时由于读取数据频率降低，可以较大地减小出现错误的几率。此外，因为读取数据周期与数据变化周期不相同，解决了在数据传输波形上升沿或下降沿读取数据时，数据不会变化的问题，大大降低了误差。

参照图4至图6描述根据本发明第二方面实施例提出的软件断联监控系统。

如图4所示，该系统包括发送模块401、接收模块402和判断模块403。发送模块401用于以第一周期T1改变发送数据；接收模块402用于以第二周期T2获得发送模块401改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；判断模块403根据获得的改变的发送数据判断待测软件是否发生了断联，

进一步地，在本发明的一个实施例中，如图5所示，发送模块401通过第一周期T1不断地改变数据并把改变后的数据发送给接收模块402，而接收模块402通过第二周期T2接收发送模块401发送的变化的数据。其中，第二周期T2是第一周期T1的倍数，但不能是整数倍。在本发明的一个示例中，第一周期T1可以为1秒，第二周期T2可以为1.5秒。

在本发明的另一个实施例中，如图6所示，接收模块401通过第一周期T1不断地改变数据，并把改变后的数据通过程序间的共享服务进行共享，接收模块402以第二周期T2读取共享的改变后的数据。同样地，第二周期T2是第一周期T1的倍数，但不能是整数倍。在本发明的一个示例中，第一周期T1可以为1秒，第二周期T2可以为1.5秒。

具体地，以1秒为周期改变数据和以1.5秒为周期读取数据并读取多次，即使其中一次读取数据在上升沿或下降沿，但是下次读取的数据就不会在上升沿或下降沿，肯定能读到数据的变化，大大减少了误判。

更进一步地，在本发明的一个实施例中，上述软件断联监控系统还包括计数器（未示出）。在接收模块402按照预设次数存储接收模块402读取或接收的改变的发送数据，且判断模块403判断按照预设次数存储的数据相等时，计数器的值加1。换言之，在正常的情况下，因为发送模块401是以第一周期T1不断地改变发送数据的，因此接收模块402获得的数据应该是变化的。也就是说，若接收模块402获得的数据没有变化，即数据在此期间没有变化，则判断连接有可能出现断联。在本发明的一个示例中，预设次数为3次。

并且，判断模块403还判断计数器的值是否达到预设值，如果判断达到，则判断当前运行的设备软件发生了断联，发出警报。

此外，如果判断模块判断按照预设次数存储的发送数据不相等时，则复位计数器。也就是说，接收模块402在此期间获得的数据有变化，则判断连接没有出现断联，将计数器清零。

在本发明的一个优选实施例中，预设次数可以为3-5次。

需要说明的是，本发明第二方面实施例提出的软件断联监控系统可以独立地与半导体技术领域中的设备端软件同时存在，也可以是各设备端软件的一部分。

根据本发明实施例的软件断联监控系统，通过对接收数据端接收模块402读取周期的设置，可以减少软件对数据的读写次数，降低了软件的系统花费，节约了成本，并且可以减少短周期频繁读取数据可能出现的错误，降低了出现错误的几率。此外，还可以避免不能读到数据变化的错误，减少误判的几率，更有效地判断出断联的发生。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同限定。

Claims (12)

1.一种软件断联监控方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：待测软件通过发送模块以第一周期T1改变发送数据；

S2：接收模块以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；以及

S3：根据获得的所述发送数据判断所述待测软件是否发生了断联。

2.根据权利要求1所述的软件断联监控方法，其特征在于，所述S1包括：

所述发送模块将改变后的数据发送至所述接收模块。

3.根据权利要求1所述的软件断联监控方法，其特征在于，所述S1包括：

所述发送模块将改变后的数据共享给所述接收模块，以使所述接收模块读取所述改变后的数据。

4.根据权利要求1所述的软件断联监控方法，其特征在于，所述S3进一步包括：

所述接收模块按照预设次数存储所述接收模块读取或接收的所述发送数据；

判断所述按照预设次数存储的所述发送数据是否相等；

如果判断相等，则计数器的值加1，并判断所述计数器的值是否达到预设值，当判断达到所述预设值，则判断所述待测软件发生了断联；以及

如果判断不相等，则将所述计数器的值清零。

5.根据权利要求4所述的软件断联监控方法，其特征在于，所述预设次数为3-5次。

6.一种软件断联监控系统，其特征在于，包括：

发送模块，用于以第一周期T1改变发送数据；

接收模块，用于以第二周期T2获得所述发送模块改变的发送数据，其中，N*T1<T2<(N+1)*T1，N为正整数；和

判断模块，用于根据获得的所述改变的发送数据判断待测软件是否发生了断联。

7.根据权利要求6所述的软件断联监控系统，其特征在于，所述发送模块将改变后的数据发送至所述接收模块。

8.根据权利要求6所述的软件断联监控系统，其特征在于，所述发送模块将改变后的数据共享给所述接收模块，以使所述接收模块读取所述改变后的数据。

9.根据权利要求6所述的软件断联监控系统，其特征在于，还包括：

计数器，在所述接收模块按照预设次数存储所述接收模块读取或接收的所述发送数据，且所述判断模块判断按照所述预设次数存储的所述发送数据相等时，所述计数器的值加1。

10.根据权利要求9所述的软件断联监控系统，其特征在于，所述判断模块在所述计数器的值达到预设值时，判断所述待测软件发生了断联。

11.根据权利要求9所述的软件断联监控系统，其特征在于，所述判断模块判断按照所述预设次数存储的所述发送数据不相等时，将所述计数器的值清零。

12.根据权利要求9-11任一项所述的软件断联监控系统，其特征在于，所述预设次数为3-5次。