KR20060131076A - 스피너설비의 감광액 혼용방지장치 및 그 방법 - Google Patents

스피너설비의 감광액 혼용방지장치 및 그 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스피너설비에서 감광액을 도포하는 공정진행 중 감광액 교체시기가 되어 감광액용기를 교체를 할 시 현재 공정진행중인 감광액의 성분을 파악하여 교체한 감광액용액이 일치하지 않을 시 에러메시지를 발생하는 감광액 혼용방지장치 및 그 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 포토스피너설비의 감광액 혼용방지방법은, 감광액 용기 교체 시 교체된 감광액의 점도 및 성분을 감지하고, 상기 감지한 감광액의 점도 및 성분을 미리 저장된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않으면 에러메시지를 표시하고 또한 경보음을 발생하도록 한다.
감광액 도포, 감광액 혼용방지, 포토스피너

Description

스피너설비의 감광액 혼용방지장치 및 그 방법{DEVICE AND METHOD FOR PREVENTING USE TOGETHER WITH PHOTO RESIST OF SPINNER EQUIPMENT THEREOF}
도 1은 종래의 스피너설비에서 감광액 용기의 교체 시 감광액의 종류를 확인하기 위한 장치의 구성도
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스피너설비의 감광액 혼용방지장치 구성도
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 감광액 교체 시 감광액 점도 및 성분의 에러 메시지를 표시하는 제어흐름도
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *
100: 감광액용기 장착부 102, 104: 제1 및 제2 포토레지스트 공급관
106, 108: 제1 및 제2 센서 110: 트랩탱크
112: 제3 포토레지스트 공급관 114: 제3 센서
116: 콘트롤러 118: 표시부
120, 122: 제1 및 제2 포토레지스트 보틀
124: 경보발생부
본 발명은 스피너설비의 감광액 혼용방지장치에 관한 것으로, 특히 스피너설비에서 감광액을 도포하는 공정진행 중 감광액 교체시기가 되어 감광액용기를 교체를 할 시 현재 공정진행중인 감광액의 성분을 파악하여 교체한 감광액용액이 일치하지 않을 시 에러메시지를 발생하는 감광액 혼용방지장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정은 패브리케이션(FABRICATION), 어셈블리, 테스트로 구분되며, 패브리케이션은 원자재 웨이퍼가 투입되어 확산, 사진, 식각, 박막공정을 여러 차례 반복하여 진행되면서 전기회로를 구성하여 웨이퍼 상태에서 전기적으로 완전하게 동작되는 웨이퍼 상태의 반제품이 만들어지는 전공정을 나타낸다.
상기 공정 중 사진공정은 연마된 실리콘 웨이퍼의 표면 보호 및 사진식각을 위하여 그 표면에 산화막을 형성하고 그 산화막 위에 액체상태의 감광액을 떨어뜨린 후 고속 회전시켜 균일한 코팅막을 형성한다. 이렇게 웨이퍼에 감광액을 코팅한 후 마스크를 걸쳐 감광액이 도포된 웨이퍼에 빛을 가하여 빛을 받은 부위만 반응하도록 한다. 그런 후 웨이퍼의 산화된 표면이 반응하도록 현상하여 일종의 허상을 갖도록 한 다음 감광액 밑에 성장, 침적, 증착된 박막들을 개스나 케미걸을 이용하여 식각에 의해 제거하여 패턴을 형성한다. 이와 같은 포토공정에서 감광액은 패턴을 형성하는데 매우 중요한 비중을 갖게 되는데, 이는 웨이퍼에 감광액이 얼마의 두께로 도포되는가에 따라 회로선폭(CD)의 정확도가 가려지게 된다.
이러한 반도체 제조공정에서 감광액을 도포하기 위해서는 스피너라는 설비가 사용된다. 스피너는 감광액을 공급하고 분사하는 감광액 공급라인과 감광액 분사노즐이 구비되어 있으며, 이와 별도로 도포공정 후 웨이퍼의 사이드와 이면 등 감광액의 도포가 불필요한 부분에 잔류하는 감광액을 세정, 제거하기 위한 용제 공급라인이 구비되어 있으며, 이 용제라인을 통하여 통상 시너(Thiner)라 불리우는 용제가 공급되어 웨이퍼의 가장자리에 잔류하는 감광액을 린스하는 사이드린스 및 웨이퍼의이면에 잔류하는 감광액을 린스하는 백린스 등을 수행한다.
도 1은 종래의 스피너설비에서 감광액 용기의 교체 시 감광액의 종류를 확인하기 위한 장치의 구성도이다.
스피너설비(10)는 감광액용기 장착부(11)와 콘트롤러(10)를 포함한다. 감광액용기 장착부(11)는 감광액 용기를 교체하여 장착하는 하며, 감광액 용기에 채원진 잔량을 검출하여 그 검출신호를 출력한다. 콘트롤러(12)는 감광액을 공급하여 웨이퍼에 도포하도록 제어하며, 인터록신호를 받아 설비를 정지시킨다. 바코드리더(20)는 상기 감광액 용기 장착부(11)에 장착된 감광액 용기의 바코드를 리드한다. 외부 컴퓨터(30)는 상기 바코드리더(20)로부터 리드한 바코드를 입력하여 현재 설정된 감광액종류와 일치하는지 감지하여 일치하지 않을 시 인터록(Interlock)신호를 콘트롤러(12)로 인가한다.
상기와 같이 종래에는 감광액 용기를 교체하는 경우 외부에 장착된 바코드리더(20)로부터 외부컴퓨터(30)으로 리드한 바코드를 인가하여 외부컴퓨터(30)에서 현재 설정된 감광액의 종류와 일치하는 감광액 용기가 장착되었는지 검사하여 감광 액의 종류가 일치하지 않으면 스피너설비(10)의 콘트롤러(12)로 인터록신호를 인가하도록 하고 있다. 그러나 리드한 바코드의 감광액은 동일하지만 제조되는 롯식별코드(LOT ID)별로 약간의 성분이 다르므로 이것이 혼용되었을 때 유의차가 없을 때도 있지만 회로선폭(CD)에 악영향을 주는 문제가 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 스피너설비에서 성분이 서로 다른 감광액을 혼용 사용하는 것을 방지하여 웨이퍼의 불량발생을 방지하는 스피너설비의 감광액 혼용방지장치 및 그 방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 스피너설비의 감광액 혼용방지장치는, 감광액용기 교체신호 및 감광액잔량 검출신호를 발생하여 출력하는 감광액용기 장착부와, 상기 감광액용기 장착부의 상부에 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제1 포토레지스트 공급관과, 상기 감광액 용기 장착부로부터 공급되는 감광액을 수용하는 트랩탱크와, 상기 포토레지스트 공급관 상에 설치되어 상기 감광액용기 장착부로부터 공급되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제1 센서와, 상기 트랩탱크의 하단에 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제2 포토레지스트 공급관과, 상기 제2 포토레지스트 공급관 상에 설치되어 상기 트랩탱크로부터 배출되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제2 센서와, 상기 제2 센서로부터 감지된 감광액의 점도 및 성분 을 기억하고 있다가 감광액 교체 시 상기 제1 센서로부터 감지되는 감광액의 점도 및 성분과 비교하여 감광액의 점도 및 성분이 일치하지 않을 경우 에러메시지를 발생하도록 제어하는 콘트롤러와, 상기 콘트롤러의 제어신호를 받아 감광액의 점도 및 성분이 일치하는지의 판정결과 메시지를 표시하는 표시부와, 상기 콘트롤러의 제어신호에 의해 경보를 발생하는 경보발생부를 더 포함함을 특징으로 한다.
상기 감광액용기 장착부는 적어도 하나 이상의 포토레지스트 보틀을 구비함을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하기위한 본 발명의 포토스피너설비의 감광액 혼용방지방법은, 감광액 용기 교체 시 교체된 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 과정과, 상기 감지한 감광액의점도 및 성분을 미리 저장된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않으면 에러메시지를 표시하는 과정으로 이루어짐을 특징으로한다.
상기 감지한 감광액의점도 및 성분을 미리 저장된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않으면 에러메시지를 표시하는 하도록 하는 것이 바람직하다.
이하 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 그리고 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 스피너설비의 감광액 혼용방지장치 구성도이다.
제1 및 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)이 장착되며, 감광액용기 교체신호 및 감광액잔량 검출신호를 발생하여 출력하는 감광액용기 장착부(100)와, 상기 제1 및 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)의 상부에 각각 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제1 및 제2 포토레지스트 공급관(102, 104)과, 상기 제1 및 제2 포토레지스트 공급관(102, 104)에 연결되어 상기 제1 및 제2 포토레지스트 보틀(102)로부터 공급되는 감광액을 수용하는 트랩탱크(110)와, 상기 제1 및 제2 포토레지스트 공급관(102, 104) 상에 설치되어 상기 상기 제1 및 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)로부터 공급되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제1 및 제2 센서(106, 108)와, 상기 트랩탱크(110)의 하단에 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제3 포토레지스트 공급관(112)과, 상기 제3 포토레지스트 공급관(112) 상에 설치되어 상기 트랩탱크(110)로부터 배출되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제3 센서(114)와, 상기 제3 센서(114)로부터 감지된 감광액의 점도 및 성분을 기억하고 있다가 감광액 교체 시 상기 제1 또는 제2 센서(106, 108)로부터 감지되는 감광액의 점도 및 성분과 비교하여 감광액의 점도 및 성분이 일치하지 않을 경우 에러메시지를 발생하도록 제어하는 콘트롤러(116)와, 상기 콘트롤러(116)의 제어신호를 받아 감광액의 점도 및 성분이 일치하는지의 판정결과 메시지를 표시하는 표시부(118)와, 상기 콘트롤러(116)의 제어신호에 의해 경보를 발생하는 경보발생부(124)로 구성되어 있다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 감광액 교체 시 감광액 점도 및 성분의 에러 메시지를 표시하는 제어흐름도이다.
상술한 도 2 내지 도 3을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예의 동작을 상세히 설명한다.
먼저 작업자가 감광액용기 장착부(100)에 제1 및 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)을 장착하여 공정을 진행하는 도중에 301단계에서 콘트롤러(116)는 감광액용기 장착부(100)로부터 감광액 잔량검출신호가 입력되었는가 검사한다. 상기 감광액 잔량검출신호가 입력되면 302단계로 진행하여 콘트롤러(116)는 감광액 교체시기인가 검사하여 감광액 교체시기가 아니면 계속해서 304단계로 진행하여 공정을 진행한다. 그런 후 305단계에서 콘트롤러(116)는 제3 센서(114)로부터 감지된 감광액의 점도 및 성분을 내부 메모리에 기억시켜 놓는다. 그러나 감광액 교체시기이면 303단계로 진행하여 콘트롤러(116)는 감광액 교체 경보를 발생하도록 한다. 이때 작업자가 감광액 교체경보를 확인하고 제1 또는 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)를 교체하면 감광액용기 장착부(100)에서는 포토레지스트 보틀 교체신호를 콘트롤러(116)로 인가한다. 그러면 306단계에서 콘트롤러(100)는 포토레지스트 보틀 교체신호가 수신되었는가 검사한다. 상기 포토레지스트 보틀 교체신호가 수신되었으면 307단계로 진행하여 콘트롤러(100)는 제1 또는 제2 포토레지스트 보틀(120, 122)로부터 감지된 감광액의 점도 및 성분을 수신하고 308단계로 진행한다. 상기 308단계에서 콘트롤러(100)는 상기 수신한 감광액의 점도 및 성분과 제3 센서로부터 감지된 이전에 공정을 진행한 감광액의 점도 및 성분값을 비교하여 감광액의 점도 및 성분이 일치하는가 검사한다. 상기 감광액의 점도 및 성분이 일치하면 304단계로 공정을 진행하도록 한다. 그러나 감광액의 점도 및 성분이 일치하지 않으면 309단계로 진행하여 콘트롤러(100)는 표시부(118)를 통해 에러메시지 표시되도록 제어한다. 이때 콘트롤러(100)는 경보발생부(124)를 제어하여 경보를 발생하여 감광액의 점도 및 성분이 일치하지않는 상태를 통보할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명은 감광액용기가 교체될 경우 스피너설비의 포토레지스트 공급관에 구비된 센서를 이용하여 감광액의 점도 및 성분을 검출하도록 하여 이전에 진행된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않을 경우 에러메시지를 표시하고 또한 경보를 발생하도록 하여 조기에 공정사고 및 웨이퍼 불량발생을 방지할 수 있는 이점이 있다.

Claims (5)

  1. 스피너설비의 감광액 혼용방지장치에 있어서,
    감광액용기 교체신호 및 감광액잔량 검출신호를 발생하여 출력하는 감광액용기 장착부와,
    상기 감광액용기 장착부의 상부에 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제1 포토레지스트 공급관과,
    상기 감광액 용기 장착부로부터 공급되는 감광액을 수용하는 트랩탱크와,
    상기 포토레지스트 공급관 상에 설치되어 상기 감광액용기 장착부로부터 공급되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제1 센서와,
    상기 트랩탱크의 하단에 설치되어 감광액을 공급하기 위한 제2 포토레지스트 공급관과,
    상기 제2 포토레지스트 공급관 상에 설치되어 상기 트랩탱크로부터 배출되는 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 제2 센서와,
    상기 제2 센서로부터 감지된 감광액의 점도 및 성분을 기억하고 있다가 감광액 교체 시 상기 제1 센서로부터 감지되는 감광액의 점도 및 성분과 비교하여 감광액의 점도 및 성분이 일치하지 않을 경우 에러메시지를 발생하도록 제어하는 콘트롤러와,
    상기 콘트롤러의 제어신호를 받아 감광액의 점도 및 성분이 일치하는지의 판정결과 메시지를 표시하는 표시부를 포함함을 포함함을 특징으로 하는 스피너설비 의 감광액 혼용방지장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 콘트롤러의 제어신호에 의해 경보를 발생하는 경보발생부를 더 포함함을 특징으로 하는 스피너설비의 감광액 혼용방지장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 감광액용기 장착부는 적어도 하나 이상의 포토레지스트 보틀을 구비함을 특징으로 하는 스피너설비의 감광액 혼용방지장치.
  4. 포토스피너설비의 감광액 혼용방지방법에 있어서,
    감광액 용기 교체 시 교체된 감광액의 점도 및 성분을 감지하는 과정과,
    상기 감지한 감광액의점도 및 성분을 미리 저장된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않으면 에러메시지를 표시하는 과정으로 이루어짐을 특징으로 하는 스피너설비의 감광액 혼용방지방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 감지한 감광액의점도 및 성분을 미리 저장된 감광액의 점도 및 성분을 비교하여 일치하지 않으면 에러메시지를 표시하는 과정을 더 포함함을 특징으로 하는 스피너설비의 감광액 혼용방지방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20140018084A (ko) * 2011-01-21 2014-02-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 포토레지스트 관리 장치 및 방법

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