WO2012018175A3 - 세리아계 연마재의 재생방법 - Google Patents

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    • B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents

Abstract

본 발명은, 세리아계 연마재, 프릿 글래스, 연마패드 및 무기계 응집제를 포함하는 연마 폐기물에서 세리아계 연마재를 재생하는 방법에 있어서, 반응조에 상기 세리아계 연마재와 반응하여 염을 형성하지 않는 유기산 용액과 상기 연마 폐기물을 첨가하고 교반하여, 상기 유기산에 의한 산처리에 의하여 상기 무기계 응집제는 이온종으로 변화되고 상기 프릿 글래스 및 상기 연마패드는 부유되는 단계와, 부유된 상기 프릿 글래스 및 상기 연마패드를 제거하는 단계 및 세정 및 건조 공정을 수행하여 세리아계 연마재를 얻는 단계를 포함하며, 상기 유기산의 pH는 0.5∼6.0 범위인 것을 특징으로 하는 세리아계 연마재 재생방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 연마 폐기물에서 세리아계 연마재를 친환경적으로 재생할 수 있고, 고순도의 세리아계 연마재를 얻을 수 있으며, 수율이 매우 높다.
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