WO2011111101A1 - 並列スライダ装置の制御装置および制御方法および測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置は、各々、フィードバック補償式のものであり、前記第1の位置制御装置として、位置ループと速度ループと加速度ループとをカスケード接続されたものを用い、前記第2の位置制御装置として、位置ループと速度ループとをカスケード接続されたものを用いる。
Claims (9)
- 互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御装置であって、
前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第1の位置制御装置と、
前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動を制御する第2の位置制御装置とを有し、
前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与えられ、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置とで制御ゲインが互いに相違している並列スライダ装置の制御装置。 - 前記第1の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された適正値であり、前記第2の位置制御装置の制御ゲインは、システム同定された前記適正値より小さい値である請求項1に記載の並列スライダ装置の制御装置。
- 前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置は、各々、フィードバック補償式のものであり、前記制御ゲインとして位置ループゲインを設定する位置ループゲイン設定器を有し、
前記第1の位置制御装置の位置ループゲイン設定器は、比例要素と積分要素を含むPI制御あるいは比例要素と積分要素と微分要素を含むPID制御のゲインを設定し、
前記第2の位置制御装置の位置ループゲイン設定器は、比例要素のみを含むP制御のゲインを設定する請求項1に記載の並列スライダ装置の制御装置。 - 前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置は、各々、フィードバック補償式のものであり、
前記第1の位置制御装置は、位置ループと速度ループと加速度ループとをカスケード接続され、
前記第2の位置制御装置は、位置ループと速度ループとをカスケード接続されている請求項1に記載の並列スライダ装置の制御装置。 - 互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータを有する並列スライダ装置の制御方法であって、
前記第1の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第1の位置制御装置によって行い、前記第2の電動サーボアクチュエータの駆動制御を第2の位置制御装置によって行い、前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置には互いに同一の位置指令を与え、前記第1の位置制御装置の制御ゲインと前記第2の位置制御装置の制御ゲインとを互いに異なった値に設定している並列スライダ装置の制御方法。 - 前記第1の位置制御装置の制御ゲインはシステム同定された適正値であり、前記第2の位置制御装置の制御ゲインは、システム同定された前記適正値より小さい値である請求項5に記載の並列スライダ装置の制御方法。
- 前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置は、各々、フィードバック補償式のものであり、前記制御ゲインとして位置ループゲインを設定する位置ループゲイン設定器を有し、前記第1の位置制御装置の位置ループゲイン設定器は、比例要素と積分要素を含むPI制御あるいは比例要素と積分要素と微分要素を含むPID制御のゲインを設定し、前記第2の位置制御装置の位置ループゲイン設定器は、比例要素のみを含むP制御のゲインを設定する請求項5に記載の並列スライダ装置の制御方法。
- 前記第1の位置制御装置と前記第2の位置制御装置は、各々、フィードバック補償式のものであり、前記第1の位置制御装置として、位置ループと速度ループと加速度ループとをカスケード接続されたものを用い、前記第2の位置制御装置として、位置ループと速度ループとをカスケード接続されたものを用いる請求項5に記載の並列スライダ装置の制御方法。
- 互いに平行に配置された第1のガイドレールおよび第2のガイドレールと、
前記第1および第2のガイドレールの各々にレール長手方向に移動可能に設けられた第1のスライダおよび第2のスライダと、前記第1のスライダと前記第2のスライダとを互いに機械的に連結する連結手段と、
前記第1のスライダおよび前記第2のスライダを各々個別に前記レール長手方向に駆動する第1の電動サーボアクチュエータおよび第2の電動サーボアクチュエータと、
前記第1のガイドレールと前記第2のガイドレールとの間に配置され、被測定物を支持する支持体と、
前記第1のスライダに取り付けられ、前記被測定物の一方の面までの距離を測定する第1の測定手段と、
前記第2のスライダに取り付けられ、前記被測定物の他方の面までの距離を測定する第2の測定手段と、
請求項1から4の何れか一項に記載の並列スライダ装置の制御装置と、
を有する測定装置。
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