WO2010056051A8 - 투명도전막 식각용액 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막트랜지스터 액정 표시장치 등의 평판 디스플레이 표시장치의 박막트랜지스터 제조공정에 사용하는 미세 패턴으로 형성된 투명 도전막의 식각 용액 조성물에 관한 것이다. 본 발명은 함할로겐 화합물 0.05 ~15 중량%, 보조 산화제 0.1 ~ ~20중량%, 식각조절제 0.05 ~ 15중량%, 잔사억제제 0.1 ~ 15중량%, 부식억제제 0.3 ~ 10중량% 및 전체 조성물 총 중량이 100중량%가 되도록 하는 물로 구성되어 있으며, 구리막, 구리합금막, 몰리브데늄막, 몰리브데늄합금막 또는 이들이 적층된 다중막의 침해 현상이 없도록 하는 투명 도전막 식각 조성물에 관한 것이다.
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