WO2009130935A1 - 電子部品 - Google Patents

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WO2009130935A1
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Inventor
勝之 内田
Original Assignee
株式会社村田製作所
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00—Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006—Printed inductances
    • H01F17/0013—Printed inductances with stacked layers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F3/00—Cores, Yokes, or armatures
    • H01F3/10—Composite arrangements of magnetic circuits
    • H01F3/14—Constrictions; Gaps, e.g. air-gaps

Definitions

  • the present invention relates to an electronic component, and relates to an electronic component incorporating a coil.
  • the multilayer inductor includes a multilayer body in which a plurality of magnetic bodies and a plurality of nonmagnetic bodies are laminated, a plurality of coils provided in each magnetic body, and a conductor pattern that electrically connects the coils. ing.
  • the non-magnetic material is provided between the magnetic materials, so that the coil constitutes an open magnetic circuit type coil.
  • the switching frequency of the DCDC converter has been increased to, for example, about 10 MHz.
  • the switching frequency of the DCDC converter has been increased to, for example, about 10 MHz.
  • the ratio of the material constituting the magnetic material is adjusted.
  • the magnetic material with low magnetic permeability has a higher Ni ratio than the magnetic material with high magnetic permeability.
  • Ni diffuses from the magnetic layer to the nonmagnetic layer during firing of the laminate.
  • an object of the present invention is to provide an electronic component capable of suppressing the diffusion of Ni from a magnetic layer to a nonmagnetic layer during firing.
  • An electronic component includes NiO and is laminated together with a plurality of first magnetic layers constituting the laminate, and the first magnetic layers, and connected to each other.
  • a plurality of internal electrodes constituting a coil, a non-magnetic layer provided in a region of the stacked body where the coil is formed in the stacking direction, and a lower ratio than the first magnetic layer
  • a second magnetic material layer that includes NiO and is provided so as to sandwich the nonmagnetic material layer from the stacking direction.
  • the second magnetic layer contains NiO at a lower rate than the first magnetic layer, and is provided so as to sandwich the nonmagnetic layer from the stacking direction. Therefore, it is possible to suppress Ni from diffusing into the nonmagnetic layer and firing the nonmagnetic layer when the laminate is fired.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a multilayer inductor according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded view of the multilayer body of the multilayer inductor shown in FIG. 1.
  • FIG. 3 is a cross-sectional structure view taken along line AA of the multilayer inductor. It is a cross-section figure of the analysis model concerning a comparative example. It is a cross-section figure of the analysis model concerning a comparative example. It is the graph which showed the direct current superposition characteristic of the 1st model thru / or the 3rd model. It is the graph which showed the direct current superimposition characteristic of the 2nd model and the 3rd model when the magnetic permeability of a magnetic body layer is set to 290.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the multilayer inductor 1.
  • FIG. 2 is an exploded view of the laminate 2.
  • the lamination direction is defined as the z-axis direction
  • the longitudinal direction of the multilayer inductor 1 is defined as the x-axis direction
  • the direction orthogonal to the x-axis and the z-axis is defined as the y-axis direction.
  • the x-axis, y-axis, and z-axis are parallel to the sides constituting the multilayer inductor 1.
  • FIG. 3 is a cross-sectional structure view taken along the line AA of the multilayer inductor 1.
  • the boundary between the magnetic layers 4 is indicated by a dotted line for easy understanding, but actually, such a boundary is often not visually recognized.
  • the multilayer inductor 1 includes a rectangular parallelepiped multilayer body 2 and external electrodes 3a and 3b in which coils are incorporated.
  • the laminated body 2 has a rectangular parallelepiped shape.
  • the external electrodes 3a and 3b are respectively formed on side surfaces located at both ends in the x-axis direction of the multilayer body 2.
  • the multilayer body 2 is configured by laminating a plurality of internal electrodes and a plurality of magnetic layers. Specifically, it is as follows.
  • the laminate 2 is composed of magnetic layers 4a to 4l, 10a, 10b and a nonmagnetic layer 11.
  • the magnetic layers 4a to 4l are ferrites having a basic composition of Fe 2 O 3 , CuO, NiO, and ZnO, and a ratio of 30 mol% or more and 45 mol% or less when the entire basic composition is 100 mol% (this embodiment) In the form, it is composed of Ni—Zn—Cu ferrite having a high magnetic permeability containing NiO at 40 mol%). Accordingly, the magnetic layers 4a to 4l have a magnetic permeability of 230.
  • the magnetic layers 10a and 10b are made of Ni—Zn—Cu ferrite containing NiO at a lower rate than the magnetic layers 4a to 4l. More specifically, each of the magnetic layers 10a and 10b is a ferrite having a basic configuration of Fe 2 O 3 , CuO, NiO, and ZnO. When the total basic configuration is 100 mol%, the mol layers are 10 mol% or more and 25 mol%. It is composed of Ni—Zn—Cu ferrite containing NiO at the following ratio (in this embodiment, 20 mol%). As a result, the magnetic permeability of the magnetic layers 10a and 10b is 18, which is lower than the magnetic permeability of the magnetic layers 4a to 4l. In the present embodiment, the ratio of NiO contained in the magnetic layers 4a to 4l, 10a, 10b is a value obtained by measurement with a scanning electron microscope X-ray analyzer (SEM-EDX).
  • SEM-EDX scanning electron microscope X-ray analyzer
  • the nonmagnetic material layer 11 is made of ferrite having a magnetic permeability of 1 (in this embodiment, Zn—Cu ferrite), and as shown in FIGS. 2 and 3, the magnetic material layer 10a and the magnetic material layer 10b have z It is sandwiched in the axial direction.
  • the plurality of magnetic layers 4a to 4l, 10a, 10b and the nonmagnetic layer 11 are rectangular insulating layers each having substantially the same area and shape.
  • each internal electrode 7 is made of a conductive material made of Ag and has a “U” shape corresponding to 3/4 turns.
  • the internal electrode 7 may be made of a conductive material such as a noble metal mainly composed of Pd, Au, Pt or the like or an alloy thereof.
  • the via conductor 8 is made of a conductive material made of Ag, and is formed at one end of the internal electrode 7 so as to penetrate the magnetic layers 4 and 10 and the nonmagnetic layer 11 in the z-axis direction. Has been. Thereby, the via conductor 8 electrically connects the internal electrodes 7 adjacent in the z-axis direction.
  • the plurality of internal electrodes 7 constitute a 5.5-turn coil L by being connected to each other by the via conductor 8.
  • the inner electrodes 7a and 7g formed on the uppermost side and the lowermost side in the z-axis direction are connected to the external electrodes 3a and 3b via the lead portions 9a and 9g, respectively, as shown in FIGS. ing.
  • the laminated body 2 is configured by overlapping the magnetic layers 4a to 4e and 10a, the nonmagnetic layer 11, and the magnetic layers 10b and 4f to 4l in the exploded perspective view shown in FIG. 2 in this order from the upper side in the z-axis direction. Furthermore, when the external electrodes 3a and 3b are formed on the surface of the multilayer body 2, the multilayer inductor 1 having the cross-sectional structure shown in FIG. 3 is obtained.
  • the magnetic layers 4a to 4l contain NiO at a rate of 40 mol%
  • the magnetic layers 10a and 10b contain NiO at a rate of 20 mol%. .
  • the ceramic green sheet to be the magnetic layer 4 is produced as follows. Each material weighed 45 mol% ferric oxide (Fe 2 O 3 ), 5 mol% zinc oxide (ZnO), 40 mol% nickel oxide (NiO), and 10 mol% copper oxide (CuO). Is put into a ball mill as a raw material and wet blended. The obtained mixture is dried and pulverized, and the obtained powder is calcined at 800 ° C. for 1 hour. The obtained calcined powder is wet pulverized by a ball mill, dried and then crushed to obtain a ferrite ceramic powder of the magnetic layer 4 having a particle diameter of 2 ⁇ m.
  • a binder (vinyl acetate, water-soluble acrylic, etc.), a plasticizer, a wetting material, and a dispersing agent are added and mixed with a ball mill, and then defoamed under reduced pressure.
  • the obtained ceramic slurry is formed into a sheet by a doctor blade method and dried to produce a ceramic green sheet having a thickness of 25 ⁇ m.
  • the ceramic green sheet to be the magnetic layer 10 is produced as follows. Each material weighed 47 mol% ferric oxide (Fe 2 O 3 ), 24 mol% zinc oxide (ZnO), 20 mol% nickel oxide (NiO), and 9 mol% copper oxide (CuO). Is put into a ball mill as a raw material and wet blended. The obtained mixture is dried and pulverized, and the obtained powder is calcined at 800 ° C. for 1 hour. The obtained calcined powder is wet pulverized by a ball mill, dried and then pulverized to obtain a ferrite ceramic powder of the magnetic layer 10 having a particle diameter of 2 ⁇ m.
  • a binder (vinyl acetate, water-soluble acrylic, etc.), a plasticizer, a wetting material, and a dispersing agent are added and mixed with a ball mill, and then defoamed under reduced pressure.
  • the obtained ceramic slurry is formed into a sheet by a doctor blade method and dried to produce a ceramic green sheet having a thickness of 12 ⁇ m.
  • the ceramic green sheet to be the nonmagnetic layer 11 is produced as follows.
  • Ferrous oxide (Fe 2 O 3 ) 49 mol%, zinc oxide (ZnO) 41 mol%, and copper oxide (CuO) 10 mol% were weighed in the respective materials as raw materials and placed in a ball mill. Mix.
  • the obtained mixture is dried and pulverized, and the obtained powder is calcined at 800 ° C. for 1 hour.
  • the obtained calcined powder is wet pulverized by a ball mill, dried and then crushed to obtain a ferrite ceramic powder having a particle size of 2 ⁇ m.
  • a binder (vinyl acetate, water-soluble acrylic, etc.), a plasticizer, a wetting material, and a dispersing agent are added and mixed with a ball mill, and then defoamed under reduced pressure.
  • the obtained ceramic slurry is formed into a sheet by a doctor blade method and dried to produce a ceramic green sheet having a thickness of 25 ⁇ m.
  • via conductors 8a to 8h are formed on the magnetic layers 4d, 4e and 10a, the nonmagnetic layer 11 and the ceramic green sheets to be the magnetic layers 10b, 4f, 4g and 4h, respectively.
  • the via holes are formed by irradiating the ceramic green sheets to be the magnetic layers 4d, 4e and 10a, the nonmagnetic layer 11 and the magnetic layers 10b, 4f, 4g and 4h with a laser beam.
  • the via hole is filled with a conductive paste such as Ag, Pd, Cu, Au or an alloy thereof by a method such as printing.
  • a conductive paste mainly composed of Ag, Pd, Cu, Au, or an alloy thereof is used.
  • the internal electrodes 7a to 7g are formed by coating by a method such as screen printing or photolithography. Note that the step of forming the internal electrodes 7a to 7g and the step of filling the via hole with the conductive paste may be performed in the same step.
  • each ceramic green sheet is laminated. Specifically, a ceramic green sheet to be the magnetic layer 4l is disposed. Next, the ceramic green sheet to be the magnetic layer 4k is placed and temporarily pressed onto the ceramic green sheet to be the magnetic layer 4l. Thereafter, the magnetic layers 4j, 4i, 4h, 4g, 4f, and 10b, the nonmagnetic layer 11, and the ceramic green sheets that should become the magnetic layers 10a, 4e, 4d, 4c, 4b, and 4a are similarly arranged in this order. Laminate and pre-press. Thereby, a mother laminated body is formed. The mother laminate is subjected to main pressure bonding by a hydrostatic pressure press or the like.
  • the mother laminate is cut into a laminate 2 having dimensions of 2.0 mm ⁇ 1.25 mm ⁇ 1.0 mm by guillotine cutting. Thereby, the unsintered laminated body 2 is obtained.
  • This unfired laminate 2 is subjected to binder removal treatment and firing.
  • the binder removal treatment is performed, for example, in a low oxygen atmosphere at 500 ° C. for 2 hours. Firing is performed, for example, at 890 ° C. for 2.5 hours.
  • the baked laminated body 2 is obtained.
  • an electrode paste whose main component is silver is applied and baked by a method such as an immersion method, whereby silver electrodes to be the external electrodes 3 a and 3 b are formed.
  • the silver electrode is dried at 120 ° C. for 10 minutes, and the silver electrode is baked at 800 ° C. for 60 minutes.
  • the external electrodes 3a and 3b are formed by performing Ni plating / Sn plating on the surface of the silver electrode. Through the above steps, the multilayer inductor 1 as shown in FIG. 1 is completed.
  • the nonmagnetic material layer 11 is provided in the multilayer body 2 in the region X where the coil L is formed in the z-axis direction.
  • the non-magnetic layer 11 crosses the coil L in a direction perpendicular to the z-axis direction, so that the coil L constitutes an open magnetic circuit type coil.
  • magnetic saturation is less likely to occur in the coil L, and the DC superposition characteristics of the multilayer inductor 1 are improved.
  • the magnetic layer 4 having a high NiO ratio is not in direct contact with the nonmagnetic layer 11 as will be described below. 11 is prevented from diffusing into Ni. More specifically, in the multilayer inductor 1, the magnetic layers 10a and 10b having a lower NiO ratio than the magnetic layers 4a to 4l sandwich the nonmagnetic layer 11 from the z-axis direction. The amount of diffusion of Ni depends on the magnitude of the difference in the proportion of NiO between adjacent magnetic and nonmagnetic layers. Therefore, by reducing the ratio of NiO contained in the magnetic layer 10 that is in contact with the nonmagnetic layer 11 as in the multilayer inductor 1, the nonmagnetic layer 11 is formed in the multilayer body 2 during firing.
  • FIG. 4 and 5 are cross-sectional structural views of an analysis model (hereinafter referred to as a second model and a third model) according to a comparative example. 4 and 5, the same components as those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals.
  • the second model is different from the first model in that the magnetic layers 10a and 10b are not provided. That is, the second model is a conventional multilayer inductor in which the nonmagnetic layer 11 is provided in order to improve the DC superposition characteristics.
  • the third model is different from the first model in that a magnetic layer 4 is provided instead of the magnetic layers 10a and 10b and the nonmagnetic layer 11 as shown in FIGS. There are differences. That is, the third model is a conventional multilayer inductor that does not take measures against a decrease in DC superposition characteristics due to magnetic saturation.
  • the thickness of the magnetic layer 4 was 25 ⁇ m
  • the thickness of the magnetic layer 10 was 12 ⁇ m
  • the thickness of the nonmagnetic layer 11 was 25 ⁇ m.
  • the magnetic layer 4 has a permeability of 230
  • the magnetic layer 10 has a permeability of 18
  • the nonmagnetic layer 11 has a permeability of 1.
  • the dimensions of the first model to the third model were set to 2.0 mm ⁇ 1.25 mm ⁇ 1.0 mm.
  • the number of turns of the coil was 5.5.
  • the inductance of the first model was 267 nH.
  • the inductance of the second model and the inductance of the third model were 394 nH and 378 nH, respectively.
  • the coil of the second model has a closed magnetic circuit structure like the coil of the third model. Furthermore, in the multilayer inductance, the magnetic permeability increases as the proportion of NiO contained decreases. Since the non-magnetic layer 11 originally did not contain Ni in the third model, the proportion of NiO in the third model is lower than the proportion of NiO in the second model. Therefore, the inductance of the second model is larger than the inductance of the third model.
  • FIG. 6 is a graph showing the DC superposition characteristics of the first model to the third model.
  • the vertical axis represents the inductance, and the horizontal axis represents the magnitude of the superimposed current.
  • the nonmagnetic layer 11 does not exist. Therefore, when the superimposed current increases, magnetic saturation occurs and the inductance decreases rapidly.
  • the nonmagnetic layer 11 is provided, as in the third model, when the superimposed current increases, magnetic saturation occurs and the inductance decreases rapidly. ing. This is because Ni diffuses and the nonmagnetic layer 11 has magnetism when the laminate 2 is fired.
  • the nonmagnetic layer 11 does not have magnetism. That is, according to the analysis result shown in FIG. 6, the nonmagnetic layer 11 is sandwiched by the magnetic layer 10 having a lower NiO ratio than the magnetic layer 4, so that the magnetic layer can be fired when the laminate 2 is fired. It can be understood that the diffusion of Ni from 4 to the nonmagnetic material layer 11 can be suppressed, and the direct current superposition characteristics of the multilayer inductor 1 can be improved.
  • the ratio (20 mol%) of NiO contained in the magnetic layer 10 is 1 / of the ratio (40 mol%) of NiO contained in the magnetic layer 4. 2.
  • the difference in the NiO ratio between the nonmagnetic layer 11 and the magnetic layer 10 and the difference in the NiO ratio between the magnetic layer 10 and the magnetic layer 4 can be made equal.
  • the amount of Ni diffusion depends on the magnitude of the difference in NiO ratio between adjacent layers. Therefore, according to the multilayer inductor 1, the diffusion amount of Ni from the magnetic layer 10 to the nonmagnetic layer 11 and the diffusion amount of Ni from the magnetic layer 4 to the magnetic layer 10 can be made substantially equal. . Thereby, the diffusion of Ni in the multilayer inductor 1 can be effectively suppressed.
  • the preferable ratio of NiO contained in the magnetic layer 4 is 30 mol% or more and 45 mol% or less
  • the preferable ratio of NiO contained in the magnetic layer 10 is 10 mol% or more and 25 mol%. % Or less.
  • the lower limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 4 is determined by the switching frequency of the DCDC converter to which the multilayer inductor 1 is applied. More specifically, the switching frequency of the DCDC converter is increased to about 10 MHz. In a DCDC converter that operates at a switching frequency of 10 MHz, the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is preferably 60 or less. In order to obtain the magnetic layer 4 having a magnetic permeability of 60 or less, the proportion of NiO contained in the magnetic layer 4 needs to be 30 mol% or more. Therefore, the lower limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 4 is preferably 30 mol%.
  • the ferromagnetic ferrite constituting the magnetic layer 4 contains Fe as a main component and Ni, Cu, and Zn. More specifically, the ferrite contains Fe in a proportion of 45 mol% to 50 mol%. Since the ferrite contains Cu and Zn in addition to Ni, NiO can be contained up to a ratio of 45 mol% at the maximum. Therefore, the upper limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 4 is preferably 45 mol%.
  • the lower limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 10 is preferably 10 mol%.
  • the lower limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 10 is preferably 10 mol%.
  • NiO is likely to diffuse from the magnetic layer 10 to the nonmagnetic layer 11. From this point of view, the NiO contained in the magnetic layer 10 can be diffused.
  • the lower limit of the ratio is preferably 10 mol%.
  • the reason why the upper limit of the proportion of NiO contained in the magnetic layer 10 is preferably 25 mol% will be described based on analysis.
  • the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is changed by changing the ratio of NiO contained in the magnetic layer 4.
  • the change in the DC superposition characteristics of the second model was examined.
  • the ratio of NiO which a direct current superimposition characteristic falls because Ni diffused in the nonmagnetic material layer 11 was made into the upper limit of NiO which the magnetic material layer 10 contains.
  • FIG. 7 is a graph showing the DC superposition characteristics of the second model and the third model when the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is 290.
  • FIG. 8 is a graph showing the DC superposition characteristics of the second model and the third model when the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is 130.
  • FIG. 9 is a graph showing the DC superposition characteristics of the second model and the third model when the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is 70.
  • FIG. 10 is a graph showing the DC superposition characteristics of the second model and the third model when the magnetic permeability of the magnetic layer 4 is 20.
  • the vertical axis represents the inductance
  • the horizontal axis represents the magnitude of the superimposed current.
  • the ratio of NiO contained in the magnetic layer 4 was set to 18 mol%, 23 mol%, 25 mol%, and 33 mol%, respectively.
  • the present invention is useful for electronic components, and is particularly excellent in that Ni can be prevented from diffusing from a magnetic layer to a nonmagnetic layer during firing.

Abstract

　焼成時に磁性体層から非磁性体層にＮｉが拡散することを抑制できる電子部品を提供する。 　磁性体層（４）は、３０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下の割合でＮｉＯを含有し、かつ、積層体（２）を構成している。内部電極（７）は、磁性体層（４）と共に積層され、かつ、互いに接続されてコイル（Ｌ）を構成している。非磁性体層（１１）は、積層体（２）内であって、積層方向においてコイル（Ｌ）が形成されている領域に設けられている。磁性体層（１０）は、１０ｍｏｌ％以上２５ｍｏｌ％以下の割合でＮｉＯを含有し、かつ、非磁性体層（１１）を積層方向から挟むように設けられている。

Description

電子部品
　本発明は、電子部品に関し、コイルを内蔵した電子部品に関する。
　ＤＣＤＣコンバータにおいて、コイルを内蔵した積層型の電子部品が多用されている。このような電子部品としては、例えば、特許文献１に記載の積層型インダクタが提案されている。該積層型インダクタは、複数の磁性体及び複数の非磁性体が積層されてなる積層体と、各磁性体内に設けられた複数のコイルと、各コイルを電気的に接続する導体パターンとを備えている。該積層型インダクタでは、磁性体間に非磁性体が設けられることにより、コイルが開磁路型コイルを構成するようになる。その結果、該積層型インダクタでは、コイルを流れる重畳電流が大きくなっても、磁気飽和によるインダクタンスの急激な低下が発生しにくい。すなわち、積層型コイルの直流重畳特性が向上する。
　ところで、近年、ＤＣＤＣコンバータのスイッチング周波数は、例えば、１０ＭＨｚ程度まで高周波化している。このようにスイッチング周波数が高周波化したＤＣＤＣコンバータに適したコイルを得るためには、磁性体層を低透磁率の磁性体材料により作製する必要がある。低透磁率の磁性体材料を得る場合、磁性体材料を構成する材料の割合が調整される。この際、低透磁率の磁性体材料では、高透磁率の磁性体材料に比べて、Ｎｉの割合が高くなる。このように磁性体材料内のＮｉの割合が高くなると、積層体の焼成時において、磁性体層から非磁性体層へとＮｉが拡散してしまう。これにより、非磁性体層が磁性を有してしまい、コイルが閉磁路型コイルを構成してしまう。その結果、積層型インダクタにおいて磁気飽和が発生し易くなり、該積層型インダクタの直流重畳特性が低下してしまう。
特開２００６－２６１５７７号公報
　そこで、本発明の目的は、焼成時に磁性体層から非磁性体層にＮｉが拡散することを抑制できる電子部品を提供することである。
　本発明の一形態に係る電子部品は、ＮｉＯを含有し、かつ、積層体を構成する複数の第１の磁性体層と、前記第１の磁性体層と共に積層され、かつ、互いに接続されてコイルを構成する複数の内部電極と、前記積層体内であって、積層方向において前記コイルが形成されている領域に設けられている非磁性体層と、前記第１の磁性体層よりも低い割合でＮｉＯを含有し、かつ、前記非磁性体層を積層方向から挟むように設けられている第２の磁性体層と、を備えること、を特徴とする。
　本発明によれば、第２の磁性体層が、第１の磁性体層よりも低い割合でＮｉＯを含有し、かつ、非磁性体層を積層方向から挟むように設けられている。これにより、積層体の焼成時に、非磁性体層にＮｉが拡散して、非磁性体層が磁性を帯びることを抑制できる。
本発明の一実施形態に係る積層型インダクタの外観斜視図である。 図１に示す積層型インダクタの積層体の分解図である。 積層型インダクタのＡ－Ａにおける断面構造図である。 比較例に係る解析モデルの断面構造図である。 比較例に係る解析モデルの断面構造図である。 第１のモデルないし第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。 磁性体層の透磁率を２９０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。 磁性体層の透磁率を１３０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。 磁性体層の透磁率を７０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。 磁性体層の透磁率を２０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。
符号の説明
　Ｌ コイル
　１ 積層型インダクタ
　２ 積層体
　３ａ，３ｂ　外部電極
　４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂ　磁性体層
　７ａ～７ｇ　内部電極
　８ａ～８ｈ　ビア導体
　９ａ，９ｇ　引き出し部
　１１　非磁性体層
　以下に、本発明の一実施形態に係る電子部品である積層型インダクタについて図面を参照しながら説明する。
（積層型インダクタの構成について）
　図１は、積層型インダクタ１の外観斜視図である。図２は、積層体２の分解図である。以下では、積層型インダクタ１の形成時に、セラミックグリーンシートが積層される方向を積層方向と定義する。そして、この積層方向をｚ軸方向とし、積層型インダクタ１の長手方向をｘ軸方向とし、ｘ軸とｚ軸とに直交する方向をｙ軸方向とする。ｘ軸、ｙ軸及びｚ軸は、積層型インダクタ１を構成する辺に対して平行である。図３は、積層型インダクタ１のＡ－Ａにおける断面構造図である。図３において、理解の容易のために磁性体層４同士の境界を点線で示したが、実際には、このような境界は視認できないことが多い。
　積層型インダクタ１は、図１及び図３に示すように、コイルを内蔵する直方体状の積層体２及び外部電極３ａ，３ｂを備える。積層体２は、直方体状である。外部電極３ａ，３ｂはそれぞれ、積層体２のｘ軸方向の両端に位置する側面に形成されている。
　積層体２は、図２に示すように、複数の内部電極と複数の磁性体層とが共に積層されて構成されている。具体的には、以下の通りである。積層体２は、磁性体層４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂ、及び、非磁性体層１１により構成されている。磁性体層４ａ～４ｌは、Ｆｅ2Ｏ3，ＣｕＯ，ＮｉＯ，ＺｎＯを基本構成とするフェライトであって、該基本構成全体を１００ｍｏｌ％としたときに３０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下の割合（本実施形態では、４０ｍｏｌ％）でＮｉＯを含有する高透磁率のＮｉ－Ｚｎ－Ｃｕフェライトにより構成されている。これにより、磁性体層４ａ～４ｌは、２３０の透磁率を有している。
　磁性体層１０ａ，１０ｂは、磁性体層４ａ～４ｌよりも低い割合でＮｉＯを含有するＮｉ－Ｚｎ－Ｃｕフェライトにより構成されている。より具体的には、磁性体層１０ａ，１０ｂは、Ｆｅ2Ｏ3，ＣｕＯ，ＮｉＯ，ＺｎＯを基本構成とするフェライトであって、該基本構成全体を１００ｍｏｌ％としたときに１０ｍｏｌ％以上２５ｍｏｌ％以下の割合（本実施形態では、２０ｍｏｌ％）でＮｉＯを含有するＮｉ－Ｚｎ－Ｃｕフェライトにより構成されている。これにより、磁性体層１０ａ，１０ｂの透磁率は、磁性体層４ａ～４ｌの透磁率よりも低い１８となる。本実施形態において、磁性体層４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂに含有されるＮｉＯの割合は、走査型電子顕微鏡Ｘ線分析装置（ＳＥＭ－ＥＤＸ）により計測して得られた値である。
　非磁性体層１１は、透磁率が１のフェライト（本実施形態では、Ｚｎ－Ｃｕフェライト）により構成され、図２及び図３に示すように、磁性体層１０ａと磁性体層１０ｂとにｚ軸方向において挟まれている。複数の磁性体層４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂ及び非磁性体層１１は、それぞれ略同じ面積及び形状を有する長方形の絶縁層である。
　図２に示すように、磁性体層４ａ～４ｃ，４ｊ～４ｌの主面上には何も形成されない。一方、磁性体層４ｄ，４ｅ，１０ａ，４ｆ，４ｇ，４ｈ，４ｉの主面上にはそれぞれ、内部電極７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ，７ｇが形成される。更に、磁性体層４ｄ，４ｅ，１０ａ、非磁性体層１１及び磁性体層１０ｂ，４ｆ，４ｇ，４ｈにはそれぞれ、ｚ軸方向に延びるビア導体８ａ，８ｂ，８ｃ，８ｄ，８ｅ，８ｆ，８ｇ，８ｈが形成されている。
　以下では、個別の磁性体層４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂ及びビア導体８ａ～８ｈを示す場合には、参照符号の後ろにアルファベットを付し、磁性体層４ａ～４ｌ，１０ａ，１０ｂ、内部電極７ａ～７ｇ及びビア導体８ａ～８ｈを総称する場合には、参照符号の後ろのアルファベットを省略するものとする。
　図２に示すように、各内部電極７は、Ａｇからなる導電性材料からなり、３／４ターン分に相当する「コ」字形状を有する。なお、内部電極７は、Ｐｄ，Ａｕ，Ｐｔ等を主成分とする貴金属やこれらの合金などの導電性材料からなっていてもよい。
　図２に示すように、ビア導体８は、Ａｇからなる導電性材料からなり、磁性体層４，１０及び非磁性体層１１をｚ軸方向に貫通するように、内部電極７の一端に形成されている。これにより、ビア導体８は、ｚ軸方向に隣り合う内部電極７同士を電気的に接続している。複数の内部電極７は、該ビア導体８により互いに接続されることにより５．５ターンのコイルＬを構成している。また、ｚ軸方向において最も上側及び最も下側に形成された内部電極７ａ，７ｇはそれぞれ、図２及び図３に示すように、引き出し部９ａ，９ｇを介して外部電極３ａ，３ｂに接続されている。
　図２に示す分解斜視図の磁性体層４ａ～４ｅ，１０ａ、非磁性体層１１、磁性体層１０ｂ，４ｆ～４ｌをｚ軸方向の上側からこの順に重ねて積層体２を構成する。更に、積層体２の表面に外部電極３ａ，３ｂを形成すると、図３に示す断面構造を有する積層型インダクタ１が得られる。
（積層型インダクタの製造方法について）
　以下に図１及び図２を参照しながら積層型インダクタ１の製造方法について説明する。以下で作製する積層型インダクタ１では、磁性体層４ａ～４ｌが、４０ｍｏｌ％の割合でＮｉＯを含有し、磁性体層１０ａ，１０ｂが、２０ｍｏｌ％の割合でＮｉＯを含有しているものとする。
　まず、磁性体層４となるべきセラミックグリーンシートは、以下のようにして作製される。酸化第二鉄（Ｆｅ2Ｏ3）を４５ｍｏｌ％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を５ｍｏｌ％、酸化ニッケル（ＮｉＯ）を４０ｍｏｌ％、及び、酸化銅（ＣｕＯ）を１０ｍｏｌ％の比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を８００℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕して、２μｍの粒径の磁性体層４のフェライトセラミック粉末を得る。
　このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤材、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、シート状に形成して乾燥させ、２５μｍの膜厚のセラミックグリーンシートを作製する。
　次に、磁性体層１０となるべきセラミックグリーンシートは、以下のようにして作製される。酸化第二鉄（Ｆｅ2Ｏ3）を４７ｍｏｌ％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を２４ｍｏｌ％、酸化ニッケル（ＮｉＯ）を２０ｍｏｌ％、及び、酸化銅（ＣｕＯ）を９ｍｏｌ％の比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を８００℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕して、２μｍの粒径の磁性体層１０のフェライトセラミック粉末を得る。
　このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤材、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、シート状に形成して乾燥させ、１２μｍの膜厚のセラミックグリーンシートを作製する。
　次に、非磁性体層１１となるべきセラミックグリーンシートは、以下のようにして作製される。酸化第二鉄（Ｆｅ2Ｏ3）を４９ｍｏｌ％、酸化亜鉛（ＺｎＯ）を４１ｍｏｌ％、及び、酸化銅（ＣｕＯ）を１０ｍｏｌ％の比率で秤量したそれぞれの材料を原材料としてボールミルに投入し、湿式調合を行う。得られた混合物を乾燥してから粉砕し、得られた粉末を８００℃で１時間仮焼する。得られた仮焼粉末をボールミルにて湿式粉砕した後、乾燥してから解砕して、２μｍの粒径のフェライトセラミック粉末を得る。
　このフェライトセラミック粉末に対して結合剤（酢酸ビニル、水溶性アクリル等）と可塑剤、湿潤材、分散剤を加えてボールミルで混合を行い、その後、減圧により脱泡を行う。得られたセラミックスラリーをドクターブレード法により、シート状に形成して乾燥させ、２５μｍの膜厚のセラミックグリーンシートを作製する。
　次に、磁性体層４ｄ，４ｅ，１０ａ、非磁性体層１１及び磁性体層１０ｂ，４ｆ，４ｇ，４ｈとなるべきセラミックグリーンシートのそれぞれに、ビア導体８ａ～８ｈを形成する。具体的には、磁性体層４ｄ，４ｅ，１０ａ、非磁性体層１１及び磁性体層１０ｂ，４ｆ，４ｇ，４ｈとなるべきセラミックグリーンシートにレーザビームを照射してビアホールを形成する。次に、このビアホールに対して、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などの導電性ペーストを印刷塗布などの方法により充填する。
　次に、磁性体層４ｄ，４ｅ，１０ａ，４ｆ，４ｇ，４ｈ，４ｉとなるべきセラミックグリーンシート上には、Ａｇ，Ｐｄ，Ｃｕ，Ａｕやこれらの合金などを主成分とする導電性ペーストをスクリーン印刷法やフォトリソグラフィ法などの方法で塗布することにより、内部電極７ａ～７ｇを形成する。なお、内部電極７ａ～７ｇを形成する工程とビアホールに対して導電性ペーストを充填する工程とは、同じ工程において行われてもよい。
　次に、各セラミックグリーンシートを積層する。具体的には、磁性体層４ｌとなるべきセラミックグリーンシートを配置する。次に、磁性体層４ｌとなるべきセラミックグリーンシート上に、磁性体層４ｋとなるべきセラミックグリーンシートの配置及び仮圧着を行う。この後、磁性体層４ｊ，４ｉ，４ｈ，４ｇ，４ｆ，１０ｂ、非磁性体層１１及び磁性体層１０ａ，４ｅ，４ｄ，４ｃ，４ｂ，４ａとなるべきセラミックグリーンシートについても同様にこの順番に積層及び仮圧着する。これにより、マザー積層体が形成される。このマザー積層体には、静水圧プレスなどにより本圧着が施される。
　次に、マザー積層体をギロチンカットにより２．０ｍｍ×１．２５ｍｍ×１．０ｍｍの寸法の積層体２にカットする。これにより未焼成の積層体２が得られる。この未焼成の積層体２には、脱バインダー処理及び焼成がなされる。脱バインダー処理は、例えば、低酸素雰囲気中において５００℃で２時間の条件で行う。焼成は、例えば、８９０℃で２．５時間の条件で行う。これにより、焼成された積層体２が得られる。積層体２の表面には、例えば、浸漬法等の方法により主成分が銀である電極ペーストが塗布及び焼き付けされることにより、外部電極３ａ，３ｂとなるべき銀電極が形成される。銀電極の乾燥は、１２０℃で１０分間行われ、銀電極の焼き付けは、８００℃で６０分間行われる。
　最後に、銀電極の表面に、Ｎｉめっき／Ｓｎめっきを施すことにより、外部電極３ａ，３ｂを形成する。以上の工程を経て、図１に示すような積層型インダクタ１が完成する。
（効果）
　積層型インダクタ１では、図２及び図３に示すように、非磁性体層１１は、積層体２内であって、ｚ軸方向においてコイルＬが形成されている領域Ｘに設けられている。これにより、非磁性体層１１は、ｚ軸方向に対して垂直な方向にコイルＬを横切るようになるので、コイルＬは、開磁路型コイルを構成するようになる。その結果、コイルＬにおいて磁気飽和が発生しにくくなり、積層型インダクタ１の直流重畳特性が向上する。
　また、積層型インダクタ１では、以下に説明するように、ＮｉＯの割合が高い磁性体層４が非磁性体層１１に直接に接触していないので、積層体２の焼成時において非磁性体層１１にＮｉが拡散することが抑制される。より詳細には、積層型インダクタ１では、磁性体層４ａ～４ｌよりもＮｉＯの割合が低い磁性体層１０ａ，１０ｂが、非磁性体層１１をｚ軸方向から挟んでいる。Ｎｉの拡散量は、隣接し合う磁性体層と非磁性体層とのＮｉＯの割合の差の大きさに依存している。そのため、積層型インダクタ１のように、非磁性体層１１と接触している磁性体層１０に含有されるＮｉＯの割合を低くすることにより、積層体２の焼成時に、非磁性体層１１にＮｉが拡散して、非磁性体層１１が磁性を有することを抑制できる。したがって、積層型インダクタ１では、高周波化したＤＣＤＣコンバータに適したコイルＬを得るためにＮｉＯの割合を高くすることにより磁性体層４の透磁率を低くしても、直流重畳特性が低下しにくくなる。
　上記効果をより明確なものとするために、本願発明者は、以下に説明する解析を行った。本実施形態に係る積層型インダクタ１の解析モデル（以下、第１のモデルと称す）の断面構造図は、図３に示した通りである。また、図４及び図５は、比較例に係る解析モデル（以下、第２のモデル及び第３のモデルと称す）の断面構造図である。図４及び図５において、図３と同じ構成については、同じ参照符号を付してある。
　第２のモデルは、図３及び図４に示すように、磁性体層１０ａ，１０ｂが設けられていない点において、第１のモデルと相違点を有している。すなわち、第２のモデルは、直流重畳特性を向上させるために非磁性体層１１が設けられた従来の積層型インダクタである。また、第３のモデルは、図３及び図５に示すように、磁性体層１０ａ，１０ｂ及び非磁性体層１１の代わりに磁性体層４が設けられている点において、第１のモデルと相違点を有している。すなわち、第３のモデルは、磁気飽和による直流重畳特性の低下に対する対策が施されていない従来の積層型インダクタである。
　以下に、解析条件について説明する。第１のモデルないし第３のモデルにおいて、磁性体層４の厚みを２５μｍ、磁性体層１０の厚みを１２μｍ、非磁性体層１１の厚みを２５μｍとした。更に、磁性体層４の透磁率を２３０とし、磁性体層１０の透磁率を１８とし、非磁性体層１１の透磁率を１とした。また、第１のモデルないし第３のモデルの寸法を２．０ｍｍ×１．２５ｍｍ×１．０ｍｍとした。コイルのターン数を５．５ターンとした。
　以上のような条件において、第１のモデルのインダクタンスは、２６７ｎＨとなった。一方、第２のモデルのインダクタンス及び第３のモデルのインダクタンスはそれぞれ、３９４ｎＨ及び３７８ｎＨとなった。このように、第１のモデルでは、非磁性体層１１が存在している分だけ、インダクタンスは低くなっていることが理解できる。
　一方、第２のモデルと第３のモデルとを比較すると、第２のモデルの方が第３のモデルよりもインダクタンスが大きくなっていることが理解できる。理由は以下の通りである。
　第２のモデルでは、積層体２の焼成時に、磁性体層４から非磁性体層１１へとＮｉが拡散したため、非磁性体層１１が磁性を有するようになる。すなわち、第２のモデルのコイルは、第３のモデルのコイルと同様に閉磁路構造を有するようになる。更に、積層型インダクタンスにおいて、ＮｉＯが含有されている割合が小さくなると、透磁率が大きくなる。第３のモデルではもともと非磁性体層１１にＮｉが含有されていなかったので、第３のモデルにおけるＮｉＯの割合は、第２のモデルにおけるＮｉＯの割合よりも低い。そのため、第２のモデルのインダクタンスは、第３のモデルのインダクタンスよりも大きくなる。
　次に、本願発明者は、第１のモデルないし第３のモデルの直流重畳特性を計算した。図６は、第１のモデルないし第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。縦軸は、インダクタンスを示し、横軸は、重畳電流の大きさを示している。
　図６に示すように、第３のモデルでは、非磁性体層１１が存在しないので、重畳電流が大きくなると、磁気飽和が発生して、インダクタンスが急激に減少している。また、第２のモデルでは、非磁性体層１１が設けられているにもかかわらず、第３のモデルと同様に、重畳電流が大きくなると、磁気飽和が発生して、インダクタンスが急激に減少している。これは、積層体２の焼成時に、Ｎｉが拡散して非磁性体層１１が磁性を有しているためである。
　一方、第１のモデルでは、重畳電流が大きくなっても、インダクタンスの急激な減少が発生していない。これにより、非磁性体層１１が磁性を有していないことが理解できる。すなわち、図６に示した解析結果によれば、磁性体層４よりもＮｉＯの割合が低い磁性体層１０で非磁性体層１１を挟むことにより、積層体２の焼成時において、磁性体層４から非磁性体層１１にＮｉが拡散することを抑制でき、積層型インダクタ１の直流重畳特性の向上を図ることが可能なことが理解できる。
　特に、本実施形態に係る積層型インダクタ１では、磁性体層１０に含有されているＮｉＯの割合（２０ｍｏｌ％）は、磁性体層４に含有されているＮｉＯの割合（４０ｍｏｌ％）の１／２である。これにより、非磁性体層１１と磁性体層１０とのＮｉＯの割合の差と、磁性体層１０と磁性体層４とのＮｉＯの割合の差とを等しくすることができる。前記の通り、Ｎｉの拡散量は、隣接し合う層同士のＮｉＯの割合の差の大きさに依存している。そのため、積層型インダクタ１によれば、磁性体層１０から非磁性体層１１へのＮｉの拡散量と磁性体層４から磁性体層１０へのＮｉの拡散量とを略等しくすることができる。これにより、積層型インダクタ１内でのＮｉの拡散を効果的に抑制することができる。
　ところで、積層型インダクタ１では、前記の通り、磁性体層４が含有するＮｉＯの好適な割合として３０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下とし、磁性体層１０が含有するＮｉＯの好適な割合として１０ｍｏｌ％以上２５ｍｏｌ％以下としている。以下に、これらの数値限定について説明する。
　まず、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の下限値が３０ｍｏｌ％であることが好ましい理由について説明する。磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の下限値は、積層型インダクタ１が適用されるＤＣＤＣコンバータのスイッチング周波数によって定まる。より詳細には、ＤＣＤＣコンバータのスイッチング周波数は、１０ＭＨｚ程度まで高周波化している。１０ＭＨｚのスイッチング周波数で動作するＤＣＤＣコンバータでは、磁性体層４の透磁率は、６０以下であることが好ましい。透磁率が６０以下の磁性体層４を得るには、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を３０ｍｏｌ％以上とする必要がある。したがって、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の下限値は、３０ｍｏｌ％であることが好ましい。
　次に、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の上限値が４５ｍｏｌ％であることが好ましい理由について説明する。磁性体層４を構成する強磁性のフェライトは、Ｆｅを主成分とし、Ｎｉ、Ｃｕ及びＺｎを含有している。より詳細には、該フェライトは、Ｆｅを４５ｍｏｌ％～５０ｍｏｌ％の割合で含有している。該フェライトは、ＮｉのほかにＣｕ及びＺｎも含有しているので、最大で４５ｍｏｌ％の割合までＮｉＯを含有することができる。したがって、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の上限値は、４５ｍｏｌ％であることが好ましい。
　次に、磁性体層１０が含有するＮｉＯの割合の下限値が１０ｍｏｌ％であることが好ましい理由について説明する。積層型インダクタ１では、セラミックグリーンシートの積層後に、積層体２を焼成する必要がある。焼成温度及び焼成時間は、磁性体層１０の透磁率に大きな影響を及ぼす。特に、ＮｉＯの割合が１０ｍｏｌ％よりも低くなると、焼成温度及び焼成時間のばらつきによる透磁率のばらつきが大きくなることがわかっている。したがって、磁性体層１０が含有するＮｉＯの割合の下限値は、１０ｍｏｌ％であることが好ましい。更に、磁性体層１０が含有するＮｉＯの割合が大きくなると、磁性体層１０から非磁性体層１１へとＮｉＯが拡散し易くなるので、かかる観点からも、磁性体層１０が含有するＮｉＯの割合の下限値は、１０ｍｏｌ％であることが好ましい。
　次に、磁性体層１０が含有するＮｉＯの割合の上限値が２５ｍｏｌ％であることが好ましい理由について解析をもとに説明する。本解析では、図４及び図５に示した第２のモデル及び第３のモデルにおいて、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を変化させることにより、磁性体層４の透磁率を変化させて、第２のモデルの直流重畳特性の変化を調べた。そして、Ｎｉが非磁性体層１１に拡散することにより、直流重畳特性が低下するＮｉＯの割合を磁性体層１０が含有するＮｉＯの上限値とした。
　図７は、磁性体層４の透磁率を２９０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。図８は、磁性体層４の透磁率を１３０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。図９は、磁性体層４の透磁率を７０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。図１０は、磁性体層４の透磁率を２０としたときの第２のモデル及び第３のモデルの直流重畳特性を示したグラフである。縦軸は、インダクタンスを示し、横軸は、重畳電流の大きさを示している。ここで、磁性体層４の透磁率を２９０，１３０，７０，２０とするために、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合をそれぞれ１８ｍｏｌ％，２３ｍｏｌ％，２５ｍｏｌ％，３３ｍｏｌ％とした。
　図７ないし図９に示すように、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を１８ｍｏｌ％，２３ｍｏｌ％，２５ｍｏｌ％とした場合には、第２のモデルにおいて、重畳電流が大きくなっても、磁気飽和が発生してインダクタンスが急激に低下することが抑制されている。すなわち、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を１８ｍｏｌ％，２３ｍｏｌ％，２５ｍｏｌ％とした場合には、非磁性体層１１が磁性を有してしまうことが抑制されている。
　一方、図１０に示すように、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を３３ｍｏｌ％とした場合には、第２のモデルにおいても、第３のモデルと同様に、重畳電流が大きくなると、磁気飽和が発生してインダクタンスが急激に低下している。すなわち、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合を３３ｍｏｌ％とした場合には、非磁性体層１１が磁性を有してしまっている。以上より、磁性体層４が含有するＮｉＯの割合の上限値は、２５ｍｏｌ％であることが好ましい。
　以上のように、本発明は、電子部品に有用であり、特に、焼成時に磁性体層から非磁性体層にＮｉが拡散することを抑制できる点において優れている。

Claims (4)

  1. 　ＮｉＯを含有し、かつ、積層体を構成する複数の第１の磁性体層と、
    　前記第１の磁性体層と共に積層され、かつ、互いに接続されてコイルを構成する複数の内部電極と、
    　前記積層体内であって、積層方向において前記コイルが形成されている領域に設けられている非磁性体層と、
    　前記第１の磁性体層よりも低い割合でＮｉＯを含有し、かつ、前記非磁性体層を積層方向から挟むように設けられている第２の磁性体層と、
    　を備えること、
    　を特徴とする電子部品。
  2. 　前記第１の磁性体層は、３０ｍｏｌ％以上４５ｍｏｌ％以下の割合でＮｉＯを含有し、
    　前記第２の磁性体層は、１０ｍｏｌ％以上２５ｍｏｌ％以下の割合でＮｉＯを含有していること、
    　を特徴とする請求の範囲第１項に記載の電子部品。
  3. 　前記第２の磁性体層に含有されているＮｉＯの割合は、前記第１の磁性体層に含有されているＮｉＯの割合の１／２であること、
    　を特徴とする請求の範囲第１項又は請求の範囲第２項のいずれかに記載の電子部品。
  4. 　前記第１の磁性体層及び前記第２の磁性体層は、Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライトからなっており、
    　前記非磁性体層は、Ｃｕ－Ｚｎ系フェライトからなっていること、
    　を特徴とする請求の範囲第１項ないし請求の範囲第３項のいずれかに記載の電子部品。
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