WO2007099725A1

WO2007099725A1 - 電子部品の吸着ノズル部材

Info

Publication number: WO2007099725A1
Application number: PCT/JP2007/051285
Authority: WO
Inventors: Takamasa Ishiwata; Wataru Tokukura
Original assignee: Nanto.Precision Co., Ltd
Priority date: 2006-02-28
Filing date: 2007-01-26
Publication date: 2007-09-07
Also published as: JP2007229860A; CN101390457A; CN101390457B

Abstract

　セラミックスで形成されたノズル本体を備え、該ノズル本体の先端部に配された吸着面に、電子部品を吸着する複数の吸着孔が形成され、前記複数の吸着孔が、略均等に密集配置された略同一形状の複数の微細孔であり、前記吸着孔の長さが密集配置された領域である密集領域の最も長辺な部分よりも長く、前記複数の吸着孔が直線状かつ互いに平行に形成されている電子部品の吸着ノズル部材である。

Description

明細書

電子部品の吸着ノズル部材

技術分野

[0001] 本発明は、例えば、半導体チップ等の電子部品を実装基板等に搭載する電子部品実装装置に使用される電子部品の吸着ノズル部材に関する。本願は、 2006年 2月 28日に出願された特願 2006— 054072号に対し優先権を主張し、その内容をここに援用する。

背景技術

[0002] IC、 LSI等の半導体チップや抵抗器、コンデンサ等の電子部品を実装基板などに実装、搭載する電子部品実装装置において、電子部品を真空吸着して搬送するために吸着ノズル部材が用いられている。この吸着ノズル部材は、吸着面に吸着孔が開口して形成され、この吸着面に電子部品を当接させ吸着孔によって真空吸引することで、吸着面に電子部品を吸着させている。

[0003] 従来、吸着ノズル部材には、種々の電子部品を吸着可能にするためや吸着時の位置ずれ抑制等のために、吸着面に吸着孔を多数形成したものが提案されている。例えば、特許文献 1では、ノズル本体に細管や仕切を用いて複数の細孔が形成された吸着ノズルが提案されている。また、特許文献 2では、板状のノズル先端にヮークよりも広い範囲に分布する多数の小径孔を穿設して成る吸着ノズル部材が提案されている。

特許文献 1 :特開平 11 261295号公報

特許文献 2 :特開平 1— 321171号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0004] 上記従来の技術には、以下の課題が残されている。

すなわち、上記特許文献 1に記載の吸着ノズル部材では、複数の細管や仕切用の部材を組み合わせて複数の孔を形成して、るために、部材点数及び部材コストが増大してしまう不都合があると共に高精度に多数の微細孔を形成することが困難であつた。特に、微細な孔を形成できないため、真空による吸引時にゴミ等が孔に入り込み易ぐ詰まり易いためにメンテナンス頻度が多くなつてしまう問題があった。また、各孔径が比較的大きいために、孔内に電子部品の角部が嵌り込む等、電子部品が傾いて吸着されて吸着不良となるおそれもある。さらに、円筒の細管を束ねて複数の細孔を形成した場合、細管内の細孔と細管間の細孔とで互いに形状及び開口面積が異なり、各細孔における吸引力に差が生じて吸弓 I力及び吸着力が不均一になる不都合があった。このため、電子部品の吸着ずれ (吸着時の位置ずれ)が生じる問題があつた o

また、上記特許文献 2に記載の吸着ノズル部材では、板状のノズル先端に穿設することで微細な小径孔を多数形成しているが、孔の長さが板厚に制限されて短いために、吸引による孔開口部近傍におけるエアの流れ方向が傾き易、と共に流量が乱れ易いという不都合があった。このため、広い範囲の微細孔によって面方向への気流を抑制しょうとして、るにも関わらず、吸弓 I力及び吸着力の分布が不均一となり、やはり吸着ずれが生じるおそれがあった。

課題を解決するための手段

[0005] 本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、部材点数等の増大を招かず、ゴミ等が入り難いと共に均一な吸引力及び吸着力で電子部品を吸着可能な電子部品の吸着ノズル部材を提供することを目的とする。

[0006] 本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明の電子部品の吸着ノズル部材は、セラミックスで形成されたノズル本体を備え、該ノズル本体の先端部に配された吸着面に、電子部品を吸着する複数の吸着孔が形成され、前記複数の吸着孔が、略均等に密集配置された略同一形状の複数の微細孔であり、前記吸着孔の長さが密集配置された領域である密集領域の最も長辺な部分よりも長ぐ前記複数の吸着孔が直線状かつ互いに平行に形成されている。

[0007] この電子部品の吸着ノズル部材では、セラミックスで形成されたノズル本体に吸着孔が形成されているので、孔形成用の別部材を組み込む必要がないと共に、複数の吸着孔が略均等に密集配置された略同一形状の複数の微細孔であるので、ゴミ等が孔内に入り難い。また、各吸着孔が、密集領域の最も長辺な部分よりも長く互いに直線状かつ平行に形成されて、ることで、密集領域のサイズに対応して密集領域全体における必要十分な安定かつ均一な吸引力及び吸着力を得ることができる。特に、互いに近接し密集した長く微細な吸着孔を高硬度のセラミックスで形成するので、密集化により吸着孔間の壁が薄くなつても高い強度及び耐久性を有していると共に、長さ方向にぉ、て高、精度で平行度及び一定の内径寸法を維持することができる。

[0008] さらに、本発明の電子部品の吸着ノズル部材は、前記複数の吸着孔の各々が、前記ノズル本体の軸方向全長にわたって形成されていることが好ましい。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、各吸着孔がノズル本体の軸方向全長にわたつて形成されていることで、最大限長く形成された吸着孔により、より安定かつ均一な吸引力及び吸着力を得ることができる。

[0009] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記吸着面における前記吸着孔の密集領域が、前記電子部品の外形よりも小さくかつその略相似形とされている。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、吸着孔を電子部品の外形よりも小さくかつその略相似形に密集配置して、るので、電子部品の外形に対応した均等な吸引力で電子部品を吸引して吸着することができ、吸着時の位置ずれが生じ難い。また、上記従来の特許文献 1及び 2に記載の吸着ノズル部材は、いずれも吸着する電子部品よりも広い範囲に孔を分布させているため、電子部品を吸着した状態でも周囲の孔が開口状態であり、高い吸着力が得られないが、本発明では、吸着時に全ての吸着孔が電子部品に覆われて閉塞されるため、真空抜けが生じず、高い吸着力を得ることができる。

[0010] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記複数の吸着孔が、前記吸着面に千鳥配置されてメッシュ状に開口形成されていることが好ましい。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、千鳥配置によるメッシュ状の吸着孔とされるため、各吸着孔が効率よく狭ピッチで配列されてより近接、密集することで高い開口率を得ることがでさる。

[0011] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、隣接する前記吸着孔の間隔が、前記吸着孔の内径よりも小さいことが好ましい。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、隣接する吸着孔間の壁厚（間隔)が、吸着孔の内径よりも小さいことにより、各吸着孔をより狭ピッチで近接、密集させることができ、高い開口率を得ることができる。

[0012] さらに、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記吸着孔が、 0. 15mm以下の内径で形成されている。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、 0. 15m m以下の内径を有する吸着孔とされるので、微細で密集した吸着孔の開口領域を形成することができ、より均一な吸引力及び吸着力を実現することができる。

[0013] そして、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記吸着孔が、 0. 07mm以下の内径で形成されていることが好ましい。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、 0. 07mm以下の内径を有する吸着孔とされるので、極めて微細で密集した吸着孔の開口領域を形成することができ、さらに均一な吸引力及び吸着力を実現することができる。

[0014] そして、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記吸着孔が、 5mm以上の長さで形成されていることが好ましい。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、内径に対して十分に長い 5mm以上の吸着孔を有しているので、各吸着孔の開口部近傍におけるエアの流れ方向が傾かず十分に揃った安定した吸引力及び吸着力を得ることができる。

[0015] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記ノズル本体が、ジルコユアで形成されている。すなわち、この電子部品の吸着ノズル部材では、ジルコユア (ZrO

2

)でノズル本体が形成されてヽるので、ダイヤモンドゃサフアイャに匹敵する非常に高い硬度を有し、吸着面の磨耗度をさらに低下させ、より優れた耐久性を得ることができる。

[0016] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記密集領域は長方形であり、前記密集領域の前記最も長辺な部分とは、前記長方形の長辺であることが好ま U、

[0017] また、本発明の電子部品の吸着ノズル部材では、前記密集領域は長方形以外の形状であり、前記密集領域の前記最も長辺な部分とは、前記密集領域全体を包含する長方形のうち、最も小さ、長方形の長辺であることが好ま、。発明の効果

[0018] 本発明によれば、以下の効果を奏する。

すなわち、本発明に係る電子部品の吸着ノズル部材によれば、セラミックスで一体形成されたノズル本体の複数の吸着孔が、略均等に密集配置された略同一形状の複数の微細孔であり、複数の吸着孔の各々の長さが前記密集配置された領域である密集領域の最も長辺な部分よりも長ぐ複数の吸着孔の各々は直線状かつ互いに平行に形成されているので、電子部品に対する吸引力及び吸着力の優れた均一性が得られ、吸着ずれを防ぐことができる。したがって、本発明の吸着ノズル部材を電子部品実装装置に採用すれば、高い精度で正規の位置に電子部品を実装可能になる。また、本発明の吸着ノズル部材によれば、高硬度なセラミックスによる一体形成によつて極めて小径な吸着孔を高い強度及び耐久性をもって密集形成することができる。したがって、部品点数の増大を招かず、ゴミ等の詰まりや電子部品の角部の嵌り込みを防ぐと共に、吸着面の高、耐久性を得ることができる。

図面の簡単な説明

[0019] [図 1A]図 1Aは、本発明に係る第 1実施形態の電子部品の吸着ノズル部材において、吸着面の正面図である。

[図 1B]図 1Bは、本発明に係る第 1実施形態の電子部品の吸着ノズル部材において、図 1Aにおける吸着面の正面図の A1— A1線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 1C]図 1Cは、本発明に係る第 1実施形態の電子部品の吸着ノズル部材において、図 1Aにおける吸着面の正面図の B1— B1線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 2]図 2は、第 1実施形態において、吸着ノズル部材を装着したノズル支持部材を示す側面図である。

[図 3A]図 3Aは、本発明に係る第 2実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、吸着面の正面図である。

[図 3B]図 3Bは、本発明に係る第 2実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 3Aにおける吸着面の正面図の A2— A2線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 3C]図 3Cは、本発明に係る第 2実施形態の電子部品の吸着ノズル部材において、図 3Aにおける吸着面の正面図の B2— B2線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 4A]図 4Aは、本発明に係る第 3実施形態の電子部品の吸着ノズル部材におヽて、吸着面の正面図である。

[図 4B]図 4Bは、本発明に係る第 3実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 4Aにおける吸着面の正面図の A3— A3線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 4C]図 4Cは、本発明に係る第 3実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 4Aにおける吸着面の正面図の B3— B3線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 5A]図 5Aは、本発明に係る第 4実施形態の電子部品の吸着ノズル部材におヽて、吸着面の正面図である。

[図 5B]図 5Bは、本発明に係る第 4実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 5Aにおける吸着面の正面図の A4— A4線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 5C]図 5Cは、本発明に係る第 4実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 5Aにおける吸着面の正面図の B4— B4線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 6A]図 6Aは、本発明に係る第 5実施形態の電子部品の吸着ノズル部材におヽて、吸着面の正面図である。

[図 6B]図 6Bは、本発明に係る第 5実施形態の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、図 6Aにおける吸着面の正面図の A5— A5線矢視におけるノズル本体断面図である。

[図 6C]図 6Cは、本発明に係る第 5実施形態の電子部品の吸着ノズル部材において、図 6Aにおける吸着面の正面図の B5— B5線矢視におけるノズル本体断面図である。符号の説明

[0020] 1、 11、 21、 31、 41"'吸着ノズノレ咅^^:才、 2· ··ノス、ノレ本体、 3· ··ノズノレ本体の吸着面、 4 …吸着孔、 E…電子部品

発明を実施するための最良の形態

[0021] 以下、本発明に係る電子部品の吸着ノズル部材の第 1実施形態を、図 1A〜図 1C 及び図 2を参照しながら説明する。

[0022] 本実施形態の電子部品の吸着ノズル部材 1は、図 1A〜図 1Cに示すように、 IC、 L SI等の半導体チップや抵抗器やチップコンデンサ等のチップ状の電子部品 Eを実装基板などに実装する電子部品実装装置に取り付けられるもので、セラミックスで形成されたノズル本体 2の先端部に配された吸着面 3に、電子部品 Eを吸着する吸着孔 4 が開口形成されたものである。

[0023] 上記ノズル本体 2は、全長にわたって断面長方形状とされ、上記吸着面 3を有し断面長方形状とされたノズル先端部 2aと、ノズル先端部 2aに連設され軸方向に直交する方向にノズル先端部 2aよりも拡がったフランジ部 2bと、フランジ部 2bに連設されたノズル後端部 2cとで構成されている。また、ノズル本体 2は、セラミックスとしてジルコユア (ZrO )で形成されている。

2

[0024] この吸着ノズル部材 1は、図 2に示すように、電子部品実装装置（図示略）に取付固定されるノズル支持部材 5の先端部に、ノズル後端部 2cが差し込み固定されて使用される。このノズル支持部材 5は、円筒形状とされ、内部の真空孔がノズル本体 2の吸着孔 4に連通されると共に、基端部が電子部品実装装置に装着された際に電子部品実装装置の真空吸引源に接続されるようになっている。すなわち、吸着ノズル部材 1 の吸着孔 4では、真空吸引源に接続されたノズル支持部材 5の真空孔を介して吸引、吸着が行われる。

[0025] 上記吸着孔 4は、略均等に (複数の吸着孔 4の全体において、隣り合う吸着孔 4同士の離間距離が略同一)密集配置された略同一形状の複数の微細孔であり、その長さが密集配置された領域である密集領域の最も長辺な部分よりも長く直線状かつ平行に形成されている。なお、本実施形態では、吸着孔 4は、互いにノズル本体 2の軸方向全長にわたって形成されている。また、吸着面 3における吸着孔 4の密集領域は、電子部品 Eの外形よりも小さくかつその略相似形とされている。なお、本実施形態では、吸着面 3の外形を電子部品 Eの外形とほぼ同じに設定しており、 1. 5mm X l. Ommの長方形状としている。また、吸着孔 4の密集領域は、 1. 05mm X O. 69mm の長方形範囲内に設定している。すなわち、密集領域の最も長辺な部分のサイズ（図 1Aにおける、複数の吸着孔 4のうち最左端の吸着孔 4の左端から、複数の微細孔 4のうち最右端の吸着孔 4の右端までの距離）は、 1. 05mmであり、これよりも吸着孔 4は長く設定される。

尚、密集領域の最も長辺な部分とは、密集領域が長方形 (正方形を含む)である場合、その長辺である。また、密集領域が長方形でない場合、即ち、密集領域が、例えば、長方形以外の四角形、四角形以外の多角形、または、円形等である場合、密集領域全体を包含する長方形のうち、最も小さい長方形における長辺である。

[0026] また、吸着孔 4は、吸着面 3に千鳥配置されてメッシュ状に開口形成されていると共に、隣接する吸着孔 4の間隔が吸着孔 4の内径よりも小さく設定されている。なお、本実施形態では、内径 0. 15mmの吸着孔 4が 25個形成されている。また、本実施形態では、隣接する吸着孔 4の間隔（壁の肉厚）が 0. 02mmに設定され、 0. 18mmの狭ピッチで各吸着孔 4が配列されて、る。

さらに、ノズル本体 2は、軸方向長さが 5mmとされ、ノズル本体 2の軸方向全長にわたって貫通形成されてヽる吸着孔 4も、 5mmの長さに設定されて!、る。

[0027] このように本実施形態では、セラミックスで形成されたノズル本体 2に吸着孔 4が開口形成されているので、孔形成用の別部材を組み込む必要がないと共に、吸着孔 4 が均等に密集配置された同一形状の複数の微細孔であるので、ゴミ等が孔内に入り難い利点がある。さらに、各吸着孔 4が密集領域の最も長辺な部分よりも長ぐ密集領域のサイズに対応して密集領域全体における必要十分な安定かつ均一な吸引力及び吸着力を得ることができる。特に、各吸着孔 4が互いにノズル本体 2の軸方向全長にわたって形成されていることで、最大限長く形成された吸着孔 4により、より安定かつ均一な吸引力及び吸着力を得ることができる。

[0028] また、互、に近接し密集した長、吸着孔 4を高硬度のセラミックスで形成するので、密集化により吸着孔 4間の壁が薄くなつても高い強度及び耐久性を有していると共に、長さ方向にぉ、て高、精度で平行度及び一定の内径寸法を維持することができる

。特に、吸着面 3がダイヤモンドゃサフアイャに匹敵する非常に高い硬度を有するジルコユアで形成されているので、吸着面 3の磨耗度をさらに低下させ、より優れた耐久性を得ることができる。

[0029] また、吸着孔 4を電子部品 Eの外形よりも小さくかつその略相似形に密集配置しているので、電子部品 Eの外形に対応した均等な吸弓 I力で電子部品 Eを吸弓 Iして吸着することができ、吸着時の位置ずれが生じ難い。さらに、吸着時に全ての吸着孔 4が電子部品 Eに覆われて閉塞されるため、真空抜けが生じず、高い吸着力を得ることができる。

そして、千鳥配置によるメッシュ状の吸着孔 4とされていると共に、隣接する吸着孔 4 間の壁厚が、吸着孔 4の内径よりも小さくされていることにより、各吸着孔 4が効率よく狭ピッチで配列されてより近接、密集することで高い開口率を得ることができる。また、内径に対して十分に長い 5mmの吸着孔 4を有しているので、各吸着孔 4の開口部近傍におけるエアの流れ方向が傾かず十分に揃った安定した吸引力及び吸着力を得ることができる。

[0030] 次に、本発明に係る電子部品の吸着ノズル部材の第 2、第 3及び第 4実施形態について、図 3A〜図 5Cを参照して説明する。なお、以下の各実施形態の説明において、上記実施形態において説明した同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明は省略する。

[0031] 第 2、第 3及び第 4実施形態と第 1実施形態との異なる点は、第 1実施形態では、吸着面 3に 25個の吸着孔 4が開口形成されているのに対し、第 2、第 3及び第 4実施形態の吸着ノズル部材 11、 21、 31では、図 3A〜図 5Cに示すように、吸着面 3にそれぞれ 71個、 162個及び 450個の吸着孔 4が密集して開口形成されている点である。

[0032] すなわち、第 2実施形態の吸着ノズル部材 11は、図 3A〜図 3Cに示すように、内径 0. 10mmの吸着孔 4が 71個形成されている。また、第 2実施形態では、隣接する吸着孔 4の間隔 (壁の肉厚）が 0. 02mmに設定され、 0. 13mmの狭ピッチで各吸着孔 4が配列されている。また、第 3実施形態の吸着ノズル部材 21は、図 4A〜図 4Cに示すように、内径 0. 07mmの吸着孔 4が 162個形成されている。また、第 3実施形態では、隣接する吸着孔 4の間隔 (壁の肉厚）が 0. Olmmに設定され、 0. 09mmの狭ピツチで各吸着孔 4が配列されている。さらに、第 4実施形態の吸着ノズル部材 31は、図 5A〜図 5Cに示すように、内径 0. 04mmの吸着孔 4力 50個形成されている。また、第 4実施形態では、隣接する吸着孔 4の間隔 (壁の肉厚)が 0. Olmmに設定され、 0. 05mmの狭ピッチで各吸着孔 4が配列されている。

[0033] このように第 2から第 4実施形態では、第 1実施形態に比べて吸着孔 4の形成数が大幅に増えていると共に、微細化されて、高い密集度による細かなメッシュ状に千鳥配置されている。特に、第 3及び第 4実施形態では、内径が 0. 07mm以下の極めて微細な吸着孔 4が 100個以上密集されて開口領域を形成しているため、より均一な吸引力及び吸着力を実現することができる。

[0034] 次に、本発明に係る電子部品の吸着ノズル部材の第 5実施形態にっ、て、図 6A 〜図 6Cを参照して説明する。

[0035] 第 5実施形態と第 1実施形態との異なる点は、第 1実施形態では吸着面 3が先端面に面一に形成されているのに対し、第 5実施形態の吸着ノズル部材 41では、図 6A 〜図 6Cに示すように、先端面に形成された凹部に吸着面 3が形成されている点である。また、第 1実施形態では、ノズル本体 42の全長にわたって吸着孔 4が形成されているのに対し、第 5実施形態の吸着ノズル部材 41では、ノズル本体 42の略半分の長さで吸着孔 4が形成されてヽる点で相違して!/、る。

[0036] すなわち、第 5実施形態では、ノズル本体 42の先端面に断面矩形状の凹部が形成されており、この凹部に吸着孔 4が密集配置された吸着面 3が形成されている。また、凹部周囲は、吸着面 3より若干突出した外周突条部 45となっている。したがって、電子部品 Eを吸着した際、電子部品 Eが吸着面 3周囲の外周突条部 45に当接した状態で吸着孔 4から吸引されて吸着状態とされる。

[0037] また、第 5実施形態では、ノズル本体 42のノズル先端部 42aにお、てフランジ部 2b 近傍まで微細な複数の吸着孔 4が形成され、フランジ部 2b近傍カゝらノズル後端部 42 cの端部までは吸着孔 4に接続された 1つの吸引管路 46が形成されている。すなわち、この吸引管路 46を介して各吸着孔 4が真空吸引源に接続されている。このように、第 5実施形態では、吸引管路 46の長さを任意に設定することで、ノズル本体 42の長さにかかわらず吸着孔 4の任意の長さを調整することができる。なお、この場合でも、吸着孔 4の長さはその密集領域の最も長辺の部分よりも長く設定される。

[0038] なお、本発明の技術範囲は上記各実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記第 5実施形態では、先端面に断面矩形状に形成された凹部内に吸着面 4が形成されているが、先端面に断面円弧状又は断面湾曲状に形成された凹部内に吸着面 4が形成されてヽても構わな、。

産業上の利用可能性

[0039] 本発明は、ゴミ等が孔内に入り難ぐ各吸着孔がその密集領域の最も長径辺な部分よりも長く直線状かつ平行に形成されていることで、全体に安定かつ均一な吸引力及び吸着力を得ることができる電子部品の吸着ノズル部材として利用可能である。

Claims

請求の範囲

[1] セラミックスで形成されたノズル本体を備え、

該ノズル本体の先端部に配された吸着面に、電子部品を吸着する複数の吸着孔が形成され、

前記複数の吸着孔が、略均等に密集配置された略同一形状の複数の微細孔であり、前記吸着孔の長さが密集配置された領域である密集領域の最も長辺な部分よりも長ぐ前記複数の吸着孔が直線状かつ互いに平行に形成されている電子部品の吸着ノズル部材。

[2] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記複数の吸着孔の各々前記ノズル本体の軸方向全長にわたって形成されて

V、る電子部品の吸着ノズル部材。

[3] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記吸着面における前記吸着孔の前記密集領域が、前記電子部品の外形よりも小さくかつその略相似形とされている電子部品の吸着ノズル部材。

[4] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記複数の吸着孔が、前記吸着面に千鳥配置されてメッシュ状に開口形成されて

V、る電子部品の吸着ノズル部材。

[5] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

隣接する前記吸着孔の間隔が、前記吸着孔の内径よりも小さい電子部品の吸着ノズル部材。

[6] 請求項 4に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記吸着孔が、 0. 15mm以下の内径で形成されている電子部品の吸着ノズル部材。

[7] 請求項 6に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記吸着孔が、 0. 07mm以下の内径で形成されている電子部品の吸着ノズル部材。

[8] 請求項 6に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記吸着孔が、 5mm以上の長さで形成されてヽる電子部品の吸着ノズル部材。

[9] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記ノズル本体が、ジルコユアで形成されてヽる電子部品の吸着ノズル部材。

[10] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材にお、て、

前記密集領域は長方形であり、前記密集領域の前記最も長辺な部分とは、前記長方形の長辺である電子部品の吸着ノズル部材。

[11] 請求項 1に記載の電子部品の吸着ノズル部材において、

前記密集領域は長方形以外の形状であり、前記密集領域の前記最も長辺な部分とは、前記密集領域全体を包含する長方形のうち、最も小さい長方形の長辺である電子部品の吸着ノズル部材。