WO2007018118A1 - レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法 - Google Patents

Abstract

　レーザープローブにより非球面レンズの表裏両面おける各頂点での第１方向及び第２方向の断面形状測定を行い、測定された非球面レンズの表裏両面の断面形状を、測定されたピンホール(共通基準点)の三次元位置に基づいて決定された共通の座標系で記述する。測定された断面形状に基づいて各頂点位置を検出して非球面レンズの表裏両面の相対的な偏芯量をマイクロメートル以下のレベルで定量的に求める。

Description

明 細 書

レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法

技術分野

[0001] 本発明は、特に非球面レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法に関する。

背景技術

[0002] 非球面レンズの多くが金型を用いた成型技術により大量生産されている。両面が球 面一平面または球面 球面で構成されるレンズは、いずれの表面の任意の点にお Vヽてもその点での法線ベクトルに回転対称な形状となるので 、ずれの面にぉ ヽても そのまわりに回転対称となるような軸が存在し、それが光軸となる。しかし、非球面レ ンズにおいては、回転対称となる軸は唯一であるため非球面 非球面や球面 非 球面レンズでは成形の際に両面の回転対称軸が一致するように加工しなければなら ない。したがって、加工精度を向上させるためには、非球面レンズの偏芯を定量的に 測定することが不可欠となる。

[0003] 金型を用いた成型技術によれば光軸の偏芯は数十マイクロメートルの精度に抑え ることができる。非球面レンズの偏心測定は、従来、日本国特許公開公報特開平 5— 340838号に開示されるように、オートコリメータ一一を用いて外周に対する焦点像 の振れを光学的に評価することにより行われている。

発明の開示

[0004] 発明が解決しょうとする課題

し力しながら、このような従来のオートコリメーターによる方法では、形状誤差を定量 的に評価できないため、得られた結果から、金型の加工修正ができない。し力も、最 近の非球面レンズの小型化、高 NAィ匕の傾向に応じて、偏心許容値も数マイクロメ一 トル以下のレベルが求められており、オートコリメーターによる方法では精度的にも対 応できない。そこで、非球面レンズの表面形状を実際に精密測定し、得られた形状 データから、非球面レンズの表裏両面の光軸中心と傾きを求め、両面の相対的な偏 芯量をマイクロメートル以下のレベルで定量的に求める必要性がある。

[0005] 本発明は、このような従来の技術に着目してなされたものであり、非球面レンズの表 裏表面の形状を精密測定することにより、非球面レンズの両面の相対的な偏芯量を マイクロメートルレベルで定量的に求めることができる測定方法を提供することができ る。

[0006] 課題を解決するための手段

本発明の第 1の技術的側面によれば、非球面レンズにおける表裏両面の光軸偏芯 量の測定方法は、相互に位置固定された 3つ以上の基準点を有するホルダに第 1面 および第 2面を有する非球面レンズを位置固定することと、前記第 1面に対して、前 記ホルダの第 1の方向および第 2の方向に所定ピッチで前記第 1面の一次元表面形 状を測定することと、前記第 1面の一次元表面形状を測定するときの前記ホルダの位 置において前記第 1面側における前記基準点の第 1の位置を測定することと、前記 第 2面に対して、前記ホルダの第 1の方向および第 2の方向に所定ピッチで前記第 2 面の一次元表面形状を測定することと、前記第 2面の一次元表面形状を測定すると きの前記ホルダの位置において前記第 2面側における前記基準点の第 2の位置を測 定することと、 測定された前記第 1の位置および第 2の位置に基づいて、前記非球 面レンズの第 1面の表面形状および前記非球面レンズの第 2面の表面形状を同一の 3次元座標系で記述することと、前記第 1面の表面形状および前記第 2面の表面形 状を所定の表面形状で非球面フィッティングし、ベストフィッティングのときの頂点位 置と光軸の傾き力 光軸偏芯量を算出することとを含むことを特徴とする。

[0007] 本発明の第 2の技術的特徴によれば、非球面レンズにおける表裏両面の光軸偏芯 量の測定方法は、相互に位置固定された第 1基準点、第 2基準点、第 3基準点およ び第 4基準点を有するホルダを用意することであって、前記第 1基準点及び第 2基準 点は第 1の方向に沿って配列し、前記第 3基準点および第 4基準点は前記第 1の方 向に直交する第 2の方向に沿って配列するものと、前記ホルダに第 1面および第 2面 を有する非球面レンズを位置固定することと、前記第 1面側における前記各基準点の 第 1の位置を検出し、前記第 1の方向および第 2の方向に基づいて共通基準座標を 設定することと、前記第 1面の第 1の頂点位置を検出して前記共通基準座標により記 述することと、前記第 1面の第 1の頂点位置を検出して前記基準座標により記述する ことと、 前記ホルダを反転することと、前記第 2面側における前記各基準点の第 2の 位置を検出し、前記共通基準座標に対応づけることと、前記第 2面の第 2の頂点位置 を検出して前記基準座標に対応づけて記述することと、前記第 1の頂点位置および 第 2の頂点位置力 偏芯量を算出することとを含むことを特徴とする。

図面の簡単な説明

[0008] [図 1]図 1は、非球面レンズを測定するためのレーザープローブ式非接触三次元測定 装置の構造を示す概略図。

[図 2]図 2は、非球面レンズを保持したレンズホルダを示す斜視図。

[図 3]図 3は、図 2中矢 SA— SA線に沿う断面図。

[図 4]図 4は、非球面レンズの拡大断面図。

[図 5]図 5は、非球面レンズの平面図。

[図 6]図 6は、非球面レンズ表面の測定状態を示すレンズホルダの断面図。

[図 7]図 7は、非球面レンズ表面の頂点の検出を示す。

[図 8]図 8は、非球面レンズの光軸の傾きを示す拡大断面図。

[図 9]図 9は、第 2実施例に係る非球面レンズを保持するレンズホルダを示す斜視図。

[図 10]図 10は、第 2実施例による非球面レンズの表面の測定を示す。

[図 11]図 11は、第 2実施例による非球面レンズの表面の頂点検出を示す。

[図 12]図 12は、変更実施例に係る非球面レンズの表面の頂点検出を示す。

発明を実施するための最良の形態

[0009] 以下、本発明に係るスイッチング電源装置の実施の形態を図面を参照して詳細に 説明する。

[0010] 本発明は、非球面レンズの表裏表面の形状を精密測定することにより、非球面レン ズの両面の相対的な偏芯量をマイクロメートル以下のレベルで定量的に求めることが できる測定方法を提供することができる。以下、本発明の実施例図面に基づいて説 明する。

[0011] ¾細

図 1〜図 7は、本発明の一実施例を示す図である。図 1は、この実施形態に係るレ 一ザ一プローブ式形状測定器の構造を示す図である。図 1において、 X, Yは水平面 上で直交する二方向で、 Zは鉛直方向である。また、図 1は概略的に図示されている [0012] <共通基準点および共通基準面 >

測定対象である非球面レンズ 1は、表面 (第 1面） la及び裏面 (第 2面） lbを有し非 球面形状に形成されている。この非球面レンズ 1は、一定厚さを有する熱膨張率の少 な 、金属で形成されたレンズホルダ 2に保持されて!、る。レンズホルダ 2はさらにスキ ャナ等の治具に固定された基準ピン 21により位置決めされる。レンズホルダ 2の中心 には保持孔 3が形成されている。保持孔 3は非球面レンズ 1の径に相当する凹部 4が 形成され、その底部に非球面レンズ 1の周縁が載せられた状態で、リングキャップ 5に より固定されている。

[0013] 図 2、 3に示すように、レンズホルダ 2の三方位置には、「共通基準点」としてのピン ホール 6がレンズホルダ 2を表面 laから裏面 lbに貫通するように形成されて共通基 準面 Scを規定している。ピンホール 6は形成が容易で、画像処理による三次元位置 検出も容易に行える。すなわち、各ピンホールは相互い位置固定されてレンズホル ダに形成されており、ピンホール 6を透過する光を光学系を介して二次元撮像装置 で検出し、取得した二次元画像力 各ピンホール 6の水平面方向の位置を検出する 。また、対物光学系の合焦点位置力 各ピンホールの垂直方向の位置を検出するこ とができる。その結果ピンホール 6の 3次元位置の測定が可能となる。各ピンホールの サイズはたとえば直径、長さともに 10 m程度である。上記方法により各ピンホール の位置から 3次元空間上に第 1の基準座標を規定することができる。被測定レンズで ある非球面レンズはレンズホルダに固定されるため共通基準点 6とは相互に位置固 定されることになる。したがって、後述する非球面レンズ表面の 3次元測定の測定結 果は第 1の基準座標により記述することができる。さらに、レンズホルダを裏返して同 様に上記各ピンホールの 3次元位置測定を行って第 2の基準座標を規定し、非球面 レンズの反対面の表面の 3次元測定の結果を第 2基準座標により記述することができ る。

[0014] この場合に、同一のピンホールが第 1面 (表面）および第 2面 (裏面)での位置検出 のいずれにも利用できる。したがって、各第 1の基準座標と対応する第 2の基準座標 は同一点に関する座標であるため非球面レンズの両面の 3次元測定データを同一の 3次元座標系（X, Y, Ζ)によって記述することが可能となる。なお、垂直方向の位置 検出には後述するレーザプローブ法を用いても良い。

[0015] <レーザプローブ法によるレンズ表面の 3次元測定 >

レンズホルダ 2は、 ΧΥ方向に精密移動するスキャンステージ 7上に、表面 la又は裏 面 lbを上にした状態でセットされる。レンズホルダ 2に保持された非球面レンズ 1の表 面 la及び裏面 lbに対して、レーザー照射装置 8からの半導体レーザー光線 Lをォ 一トフォーカス光学系を介して照射する。

[0016] 具体的には、レーザー照射装置 8からの半導体レーザー光線 Lをミラー 9を介して 反射させ、対物レンズ 10を介して、非球面レンズ 1の例えば表面 laに照射する。この 非球面レンズ 1に照射されるレーザー光線 Lは実質的に光軸 Lの上のみを通る拡がり のない光線である。レーザー光線 Lは Z— Y面に平行な面内において対物レンズ 10 の光軸 LOから離れた位置を通り非球面レンズに斜め（光軸 LOと非平行）に入射する 。レーザー光線 Lは障害物がない状態では対物レンズ 10の焦点面において対物レ ンズの光軸 LOと交差する。したがって、レーザー光線 Lは非球面レンズ 1の表面 laの 実質的に 1点に斜めに照射されるため、その 1点の X— Y面内（図において水平面） における位置を検出することができれば三角測量の原理で Z方向の位置（図におい て高さ)を測定することができる。すなわち、レーザー光線 Lが照射された被測定物の 表面の 1点（反射点）が対物レンズ 10の焦点位置にあればその 1点は対物レンズの 光軸 LO上にあり、焦点位置力 ずれた位置にあれば 1点の位置はそれに応じて Y方 向にずれる。したがって、 Z方向の表面の位置を Y方向の反射点の位置に変換する ことによって被測定物の表面の焦点位置力ものずれを検出することができる。このよう なレーザー光線 Lカ^、わゆる「レーザープローブ」である。

[0017] 非球面レンズ 1の一点に照射されたレーザー光 Lはそこで散乱、反射されて一部の 成分 L，が再度対物レンズ 10を通過して、 2枚のミラー 9, 11で反射され、結像レンズ 12を経て光位置検出装置 13に至る。光位置検出装置 13は光学的重心の位置を検 出する光検出器を備え、光検出器のセンター 13sの位置は対物レンズ 10の焦点面 位置に対応する。なお、散乱、反射成分 L'は通常拡がりをもった光束であるが図に お!ヽては反射光で代表して表示して 、る。 [0018] 対物レンズ 10、結像レンズ 12、光位置検出装置 13、サーボ機構 14等により、ォー トフォーカス光学系が構成される。すなわち、非球面レンズ表面力 の反射光 L'が光 位置検出装置 13のセンター 13sからずれた場合には、そのずれを是正するために、 サーボ機構 14により対物レンズ 10をフォーカス方向 (Z方向)に移動させるようにフィ ードバック制御することによりオートフォーカスを実現して 、る。その結果その対物レ ンズ 10の光軸方向（Z軸）の移動量から、非球面レンズ 1の表面 la又は裏面 lbの高 さ寸法を測定することができる。

[0019] レーザー光線 Lまたは対物レンズ 10に対してスキャンステージ 7を X方向及び Y方 向へスキャンすることにより、レーザー光線 Lが Y— Z平面内で非球面レンズ 1の頂点 Paを含む表面 laに対して照射され反射される。

[0020] ミラー 9はハーフミラーで、このミラー 9および結像レンズ 15を介してレンズホルダ 2 の全体画像を 2次元撮像装置 (CCDカメラ） 16により撮影することができる。 2次元撮 像装置 16には画像処理部 17とモニタ 18が接続されている。また、画像処理部 17は サーボ機構 14とも接続されており、レンズホルダ 2の表面の画像から、レンズホルダ 2 に設定された 3箇所のピンホール 6を認識して、その三次元位置を測定することがで きる。

[0021] 次に、図 3〜図 8に基づいて実際の測定手順を説明する。まず、非球面レンズ 1の 表面 laを上にした状態で、レンズホルダ 2をスキャンステージ 7上にセットし、スキャン ステージ 7を X方向にスキャンして非球面レンズ 1の表面 laの頂点 Paを含む X軸での 断面形状を測定する (断面形状はマイクロメートル以下の精度で測定可能)。 X方向 へのスキャンによる断面形状測定は Y方向に所定ピッチ移動して繰り返される。

[0022] 次に、同様にして、スキャンステージ 7を X方向に所定ピッチ移動しながら Y方向へ のスキャンを繰り返して、非球面レンズ 1の表面 laの頂点 Paを含む Y軸での一次元 断面形状を測定する。これは図 4に示すように被測定対象である非球面レンズに対し て相対的にレーザープローブ Lがスキャン計測することと等価である。

[0023] 最後に、レンズホルダ 2における 3箇所のピンホール 6の三次元位置を、 CCDカメラ 16により得られた画像、及び焦点合わせ方向での対物レンズ 10の移動量から、画像 処理部 17により演算して求める。 [0024] 次に、レンズホルダ 2の上下を逆にして、非球面レンズ 1の裏面 lbを上にした状態 で、前述と同様に、非球面レンズ 1の裏面 lbの頂点 Pbを含む X軸及び Y軸での断面 形状を測定する。また、レンズホルダ 2を裏側にした状態における 3箇所のピンホー ル 6の三次元位置を、同じく CCDカメラ 16により得られた画像等力も画像処理部 17 により演算して求める。

[0025] <非球面フィッティング >

以上のようにして求められた非球面レンズ 1の表面 laと裏面 lbの形状測定データ は、ピンホール 6の三次元位置に基づいて決定された XY座標系において、 Z軸の座 標系が反転した同一の座標系のデータとして扱うことができる。

[0026] 従って、その共通の XY座標系において、測定した非球面形状を、計算式により求 められる完全な非球面形状に対してフィッティング処理する。非球面形状は一般に以 下の非球面式によって表される。

[数 1]

[0027] ここで、 Cは Rを曲率半径として C = lZRなる曲率、 kは円錐定数、 Aiは非球面係 数 (i= l , 2, · · ·)である。

[0028] 被測定レンズの設計値が既知であれば、表面形状を測定し、上式に対して最小二 乗法等によりフィッティングして頂点位置と光軸の傾斜を取得することができる。フイツ ティングにおいては誤差曲線力 ¾軸に対して対称になる点を探査する。

[0029] まず、図 7 (a)において y方向のスキャンにより表面形状を測定した場合に、一般に 非球面の頂点を通らない断面 S2, S3についての表面形状が得られる。軸対象な表 面形状の断面なので、図 7 (b)に示すように断面 S2、 S3においても共通の対称軸 Ls が存在し、 y軸に垂直で対称軸 Lsを通る平面は光軸 Saを通る。そこで非球面形状の 対称軸である光軸 Saおよび対称軸 Lsを含む平面に沿って X方向にスキャンすること により頂点 Paを通る X軸方向の断面形状を取得することができる。 y軸方向の断面形 状も同様に取得することができる。さらに、裏面 (第 2面） lbの断面形状測定も同様で ある。

[0030] 以上の操作により、ベストフィッティング時の頂点 Pa, Pbと光軸 Sa, Sbから、光軸 S a, Sb間の角度のずれ（ θ χ, Θ y)と、頂点 Pa, Pb間の位置のずれ (D)をマイクロメ一 トル以下の精度で定量的に求めることができる。尚、図 8の光軸 Sbの傾きは誇張図示 されて 、る。実際は図示できな 、程の僅かなものである。

[0031] 本実施形態によれば、求められた角度のずれ（ θ X, Θ y)や位置のずれ (D)に関す る偏芯量を、非球面レンズ 1を製造するための金型の設計にフィードバックし、より完 全な非球面レンズ 1の成形が可能な金型を製造することができる。

[0032] 実施例 2

本発明の実施例 2に係る光軸偏芯量測定装置においてレーザープローブ法を用 いた形状測定器やその動作は実施例 1と同様であるので共通する部分の説明は割 愛する。

[0033] 本実施例に係るレンズホルダ 22は図 9に示すように共通基準点を 4点有し、 2つの 基準点 6a, 6cの配列方向に対して基準点 6b, 6dが直交するように配列する。

[0034] 基準点 6b, 6dの 3次元位置測定力 これら 2点を通る X軸を規定し、基準点 6a, 6c の 3次元位置測定からこれら 2点を通り x軸に直交する y軸を規定し、これらに直交す る z軸を規定して直交座標系（X, y, z)により位置を記述する。 X軸および y軸により規 定される仮想面が共通基準面 Scである。このような共通基準点 6により直交座標系を 設定することによって、レンズおよびレンズホルダを裏返しても同じ基準座標系で位 置を記述することができる。たとえば、 X軸のまわりにレンズおよびレンズホルダを裏返 すと、基準点 6b, 6dの位置は変わらず、基準点 6a, 6cの位置がそっくり交換される ので位置の対応づけが容易になる。

[0035] <頂点位置の検出 >

本実施例では、非球面レンズの頂点位置に基づ 、て偏芯量を見積もることを特徴 とする。非球面レンズにぉ 、ては軸対象となる頂点は一点しか存在しな 、ので頂点 位置を特定することが可能になり、頂点位置力 光軸の位置を特定することができる 。また、近年の金型加工技術の向上により非球面レンズの両面における光軸の角度 のずれが偏芯量測定に支障がな 、程度に改善されて 、ることが多く、この場合には 非球面レンズの各頂点位置に基づいて偏芯量を算出することができるのでより迅速 な測定が可能となる。

[0036] 図 10において、現実の頂点 POの近傍に仮の中心点 P'を設定し X軸方向および y 軸方向にそれぞれ 1次元形状測定 (断面形状測定)を実施する。仮の中心点 P'を共 通基準面に射影した座標系を (χ ' , y' )とすると、図 11に示すように、 X軸方向の断面 形状において x' = Δ χ、および y軸方向の断面形状において y' = Ayの位置に見力 け上の頂点が見いだされる。したがって、各軸における頂点位置から基準面に射影 された頂点の位置（ Δ χ, Δγ)が特定される。もし仮の中心点 P'が現実の頂点から離 れている場合には上記操作を繰り返すことにより現実の頂点に収束してより頂点位置 をより高い精度で測定することができる。

[0037] 上記操作を非球面レンズの第 1面および第 2面の両面について行うことにより、頂点 位置の基準面内でのずれ力 偏芯量を算出することができる。

[0038] <変更実施例 >

非球面レンズの非球面部分とフランジ部分が同時加工されている場合にはこれら の境界線は非球面レンズの光軸に対して同心円をなす。したがって、非球面レンズ の両面において非球面部分とフランジ部分の境界線を検出することによって基準面 内における同心円の中心位置を頂点の射影位置として求めることができる。

図 12に示すように、現実の同心円 COの中心の近傍に仮の中心点を設定し仮の中 心点から設計された半径だけ離れた点を含む領域 elにおける二次元画像を取得し その画像の輝度変化 (空間微分)から同心円におけるエッジ位置 31を検出しその位 置を読み取る。他の領域 e2, e3においても同様にエッジ検出を行うことによって同心 円の中心 COの座標を求めることができる。エッジ検出は 3力所以上の領域において 行う。

中心 COの座標は非球面レンズの頂点位置に対応するため、上記操作を非球面レ ンズの両面について行うことにより、頂点位置の共通基準面内でのずれから偏芯量 を算出することができる。

[0039] 発明の効果

本発明の第 1の技術的側面によれば、非球面レンズの表裏両面の相対的な偏芯 量をマイクロメートルより小さい精度で定量的に求めることができる。その結果、求めら れた偏芯量を、非球面レンズを製造するための金型の設計にフィードバックし、より完 全な非球面レンズの成形が可能な金型を製造することができる。

[0040] 本発明の第 2の技術的側面によれば、非球面レンズの表裏両面の相対的な偏芯 量が表面形状の頂点を迅速に検出することにより求められるので、操作がより単純化 されまた即座に定量評価できるため、非球面レンズを製造するための金型設計に迅 速にフィードバックすることができる。

[0041] 産業上の利用可能性

以上の実施例では、共通基準点としてピンホール 6を例にした力 これに限定され ない。また、ピンホール 6の三次元位置を画像処理により測定する例を示した力 非 球面レンズ 1を測定するためのレーザープローブを用いて検出しても良い。

[0042] (米国指定）

本出願は米国指定に関し、 2005年 8月 5日に出願された日本国特許出願第 2005 — 228760 (2005年 8月 5日出願）について米国特許法第 119条 (a)に基づく優先 権の利益を援用し、当該開示内容を引用する。

Claims

請求の範囲

[1] 非球面レンズにおける表裏両面の光軸偏芯量の測定方法であって、

相互に位置固定された 3つ以上の基準点を有するホルダに第 1面および第 2面を 有する非球面レンズを位置固定することと、

前記第 1面に対して、前記ホルダの第 1の方向および第 2の方向にそれぞれ所定ピ ツチで前記第 1面の一次元表面形状を測定することと、

前記第 1面の一次元表面形状を測定するときの前記ホルダの位置にお!/、て前記第 1面側における前記基準点の第 1の位置を測定することと、

前記第 2面に対して、前記ホルダの第 1の方向および第 2の方向にそれぞれ所定ピ ツチで前記第 2面の一次元表面形状を測定することと、

前記第 2面の一次元表面形状を測定するときの前記ホルダの位置において前記第 2面側における前記基準点の第 2の位置を測定することと、

測定された前記第 1の位置および第 2の位置に基づ 、て、前記非球面レンズの第 1 面の表面形状および前記非球面レンズの第 2面の表面形状を同一の 3次元座標系 で記述することと、

前記第 1面の表面形状および前記第 2面の表面形状を所定の表面形状によりフィ ッティング処理し、ベストフィッティングのときの頂点位置と光軸の傾き力 光軸偏芯 量を算出することと

を含むことを特徴とする測定方法。

[2] 前記第 1面の一次元表面形状を測定することは、

前記第 1の方向に前記第 1面の一次元表面形状を計測して第 1の頂点位置を検 出することと、

前記第 1の頂点位置を通る仮想平面内で前記第 2の方向に前記第 1面の一次元 表面形状を測定して第 2の頂点位置を検出することと、

前記第 1の頂点位置および第 2の頂点位置に基づいて測定位置を決定することと を含むことを特徴とする請求項 1記載の測定方法。

[3] 各前記基準点は前記ホルダに形成されたピンホールであって、前記ホルダを前記 第 1面側から前記第 2面側に貫通していることを特徴とする請求項 1記載の測定方法

[4] 前記基準点の第 1の位置および第 2の位置を測定することは、

各前記基準点のピンホールを透過した照明光を前記第 1の方向および第 2の方向 に直交する第 3の方向（Z軸)から光学系を介して撮像し、前記第 1の方向および第 2 の方向における前記ピンホールの位置を測定することと、

前記光学系の前記ピンホールに関する焦点合わせの位置に基づいて前記基準点 の前記第 3の方向の位置を測定することとを含むことを特徴とする請求項 1乃至請求 項 3の 、ずれか 1項記載の測定方法。

[5] 非球面レンズにおける表裏両面の光軸偏芯量の測定方法であって、

相互に位置固定された第 1基準点 (6b)、第 2基準点 (6d)、第 3基準点 (6a)および 第 4基準点 (6c)を有するホルダを用意することであって、前記第 1基準点及び第 2基 準点は第 1の方向（X軸）に沿って配列し、前記第 3基準点および第 4基準点は前記 第 1の方向に直交する第 2の方向（y軸）に沿って配列するものと、

前記ホルダに第 1面（la)および第 2面（lb)を有する非球面レンズを位置固定する ことと、

前記第 1面側における前記各基準点の第 1の位置を検出し、前記第 1の方向およ び第 2の方向に基づ 、て共通基準座標を設定することと、

前記第 1面の第 1の頂点位置を検出して前記共通基準座標により記述することと、 前記ホルダを反転することと、

前記第 2面側における前記各基準点の第 2の位置を検出し、前記共通基準座標に 対応づけることと、

前記第 2面の第 2の頂点位置を検出して前記共通基準座標に対応づけて記述する ことと、

前記第 1の頂点位置および第 2の頂点位置力 偏芯量を算出することとを含むこと を特徴とする測定方法。

[6] 前記基準点の第 1の位置および第 2の位置を測定することは、

各前記基準点のピンホールを透過した照明光を前記第 1の方向および第 2の方向 に直交する第 3の方向から光学系を介して撮像し、前記第 1の方向および第 2の方向 における前記ピンホールの位置を測定することと、

前記光学系の前記ピンホールに関する焦点合わせの位置に基づいて前記基準点 の前記第 3の方向の位置を測定することとを含むことを特徴とする請求項 5記載の測 定方法。

[7] 前記第 1の頂点位置を検出することは、

前記第 1の方向に前記第 1面の一次元表面形状を計測して第 1の対称中心位置 を検出することと、

前記第 2の方向に前記第 1面の一次元表面形状を測定して第 2の対称中心位置 を検出することと、

前記第 1の対称中心位置および第 2の対称中心位置力 前記第 1の頂点位置を 算出することとを含むことを特徴とする請求項 5または 6記載の測定方法。

[8] 前記非球面レンズのフランジ部との境界が光軸に対して同心円状に形成されてい る場合に、

前記第 1の頂点位置を検出することは、前記同心円状の境界を検出し、その同心 円の中心位置力も前記第 1の頂点位置を求めることを特徴とする請求項 5または 6記 載の測定方法。