JP2016194435A - レンズの形状測定方法及び形状測定装置 - Google Patents

レンズの形状測定方法及び形状測定装置 Download PDF

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Abstract

【課題】光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズの表面形状測定方法を提供する。
【解決手段】形状測定装置は、円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズLの表面の三次元形状を第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2に沿って測定し、第1走査ラインS1上の第1起点M1及び第2走査ラインS2上の第2起点M2を求め、レンズLの表面の光軸中心として、第1起点M1を通って第1走査ラインS1に直交する第1垂線V1と第2起点M2を通って第2走査ラインS2に直交する第2垂線V2との交点を求める。
【選択図】図8

Description

本発明は、レンズの形状測定方法及び形状測定装置に関する。
プロジェクタやデジタルスチルカメラなどの光学機器に搭載されるレンズとして、射出成形や注型成形などの型成形によって製造されたレンズが用いられている。また、この種の光学機器に用いられるレンズは、典型的には光軸方向にみて円形に形成されるが、光学機器の小型化及び軽量化の観点から、結像に寄与しない部分が割線に沿ってカットされてなる非円形レンズも用いられている。
型成形によるレンズの製造では少なからずレンズ材料の硬化収縮を伴い、レンズの成形精度を高めるため、レンズの表面の三次元形状を測定して成形型が修正される。その際、レンズの表面の光軸中心を測定することが不可欠となる。特許文献1や特許文献2に記載されたレンズの形状測定方法では、互いに直交する二本の走査ライン上の頂点に基づいて光軸中心が求められ、偏芯量が測定されている。
特開2007−232629号公報 国際公開第2007/018118号
特許文献1や特許文献2に記載されたレンズの光軸偏芯の測定方法を、結像に寄与しない部分が割線に沿ってカットされてなる非円形レンズに適用した場合に、二本の走査ラインのうち一方の走査ラインが割線に交差し、割線と交差する走査ラインは他方の走査ラインに比べて短くなる。このため、割線に交差する方向に延びる走査ライン上の頂点を求めるためのデータ量が不足し、光軸中心の測定精度が低下する。
本発明は、上述した事情に鑑みなされたものであり、光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズの表面形状を高精度に測定することのできる形状測定方法及び形状測定装置を提供することを目的としている。
本発明の一態様のレンズの形状測定方法は、光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定方法であって、上記割線を逸れる上記円の第1弦上に設けられた第1走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、上記割線を逸れ、且つ上記第1弦と交差する上記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、上記第1走査ラインに沿って測定された上記レンズ表面の第1三次元形状、及び上記第2走査ラインに沿って測定された上記レンズ表面の第2三次元形状に基づいて上記レンズ表面の光軸中心を求めるステップと、を備え、上記第1弦と上記第2弦とは、上記割線と上記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び上記円の中心を通る第1境界線と、上記第1交点、及び上記円の中心を通り上記割線に直交する中心線と上記円との交点を通る第2境界線と、上記割線と上記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び上記円の中心を通る第3境界線と、上記第2交点、及び上記中心線と上記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、上記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における上記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、上記第1走査ラインは、少なくとも上記奇数個の極値点を与える上記第1弦上の範囲を含み、上記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における上記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、上記第2走査ラインは、少なくとも上記奇数個の極値点を与える上記第2弦上の範囲を含み、上記光軸中心を求めるステップは、上記第1三次元形状に基づいて、上記第1弦における上記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える上記第1走査ライン上の第1起点を求めるステップと、上記第2三次元形状に基づいて、上記第2弦における上記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える上記第2走査ライン上の第2起点を求めるステップと、上記光軸中心として、上記第1起点を通り且つ上記第1走査ラインに直交する第1垂線と上記第2起点を通り且つ上記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求めるステップと、を有する。
また、本発明の一態様のレンズの形状測定装置は、光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定装置であって、レンズ表面上の点の三次元座標値を測定する測定部と、上記割線を逸れる上記円の第1弦上に設けられた第1走査ライン、及び上記割線を逸れ且つ上記第1弦と交差する上記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿って上記測定部を移動させる駆動部と、上記第1走査ラインに沿って移動された上記測定部によって取得される上記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第1三次元形状データ、及び上記第2走査ラインに沿って移動された上記測定部によって取得される上記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第2三次元形状データを記憶する記憶部と、上記第1三次元形状データ及び上記第2三次元形状データに基づいてレンズ表面における光軸中心を求める演算部と、を備え、上記第1弦と上記第2弦とは、上記割線と上記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び上記円の中心を通る第1境界線と、上記第1交点、及び上記円の中心を通り上記割線に直交する中心線と上記円との交点を通る第2境界線と、上記割線と上記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び上記円の中心を通る第3境界線と、上記第2交点、及び上記中心線と上記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、上記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における上記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、上記第1走査ラインは、少なくとも上記奇数個の極値点を与える上記第1弦上の範囲を含み、上記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における上記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、上記第2走査ラインは、少なくとも上記奇数個の極値点を与える上記第2弦上の範囲を含み、上記演算部は、上記第1三次元形状データに基づいて、上記第1弦における上記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える上記第1走査ライン上の第1起点を求め、上記第2三次元形状データに基づいて、上記第2弦における上記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える上記第2走査ライン上の第2起点を求める起点演算部と、上記光軸中心として、上記第1起点を通り且つ上記第1走査ラインに直交する第1垂線と上記第2起点を通り且つ上記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求める光軸中心演算部と、を有する。
本発明によれば、光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり円の中心を含む非円形に形成されたレンズの表面形状を高精度に測定することができる。
本発明の実施形態を説明するための、レンズの形状測定装置の一例の構成を示す図である。 本発明の実施形態を説明するための、非円形レンズの一例の斜視図である。 (a)は図2のレンズの平面図、(b)は同図(a)のb−b線断面図である。 本発明の実施形態を説明するための、レンズの形状測定方法を説明するフローチャートである。 図4の形状測定方法を説明する模式図である。 図4の形状測定方法を説明する模式図である。 図4の形状測定方法を説明する模式図である。 図4の形状測定方法を説明する模式図である。
図1は、本発明の実施形態を説明するための、レンズの形状測定装置の一例の構成を示し、図2は、本発明の実施形態を説明するための、非円形レンズの一例を示す。
図1に示す形状測定装置20は、レンズ表面上の点の三次元座標値を測定する測定部と、この測定部を移動させる駆動部と、制御部32とを備えている。
測定部は、レーザダイオード21と、レーザダイオード21から出射されたレーザ光を収束してレンズLの表面に照射する対物レンズ22と、レンズLの表面で反射されたレーザ光を受光してレンズLの表面におけるレーザ光のスポットの大きさを検出するオートフォーカスセンサ23と、レーザダイオード21から出射されたレーザ光をレンズLの表面に導き、レンズLの表面で反射したレーザ光をオートフォーカスセンサ23に導くビームスプリッタ24及びミラー25を備えている。
駆動部は、レンズLが載置される載置部26を互いに直交するX軸方向及びY軸方向に移動させるXYステージ27と、XYステージ27の位置を検知するXYリニアスケール28と、対物レンズ22を支持し、対物レンズ22をXY平面に対して垂直なZ軸方向に移動させるオートフォーカス駆動機構29と、オートフォーカス駆動機構29の位置を検出するZリニアスケール30と、XYステージ27及びオートフォーカス駆動機構29の移動量を検出するXYZコントローラ31とを備えている。
制御部32は、例えばパーソナルコンピュータであり、記憶部33、起点演算部34、光軸中心演算部35、等を備え、上記の測定部及び駆動部の各部の動作を統括的に制御する。
レンズLは、図2及び図3に示すように、光軸方向に見て円Cを割線Dに沿ってカットしてなり、円Cの中心Oを含む非円形に形成されたレンズである。なお、円Cは、光軸方向に見たレンズLの外形から把握される円であって、例えばレンズLの縁上の任意の三点を通る円として定義することができる。
レンズLの表面形状は凸又は凹の球面でもよいし非球面でもよい。図示の例では、レンズLの一方の表面は全体として凸の非球面であり、光軸方向に見て中心Oに重なる部位が局所的に窪んでおり、他方の表面は全体として凹の非球面であり、光軸方向にみて中心Oに重なる部位が局所的に盛り上がっている。
形状測定装置20では、制御部32の制御のもと、レーザダイオード21から出射されたレーザ光が載置部26に載置されたレンズLに照射される。オートフォーカスセンサ23によって検出されるレーザ光のスポットの大きさに基づき、制御部32によってレンズLの表面とレーザ光の焦点とのずれ量が検出され、レーザ光の焦点がレンズLの表面と一致するよう、XYZコントローラ31を介してオートフォーカス駆動機構29が駆動され、対物レンズ22がZ軸方向に移動される。
XYZコントローラ31を介してXYステージ27がX軸方向及びY軸方向に移動されてレンズLの表面におけるレーザ光の照射点が移動され、各点において、レーザ光の焦点がレンズLの表面と一致するように対物レンズ22がZ軸方向に移動される。XYZコントローラ31によって検出される対物レンズ22及びXYステージ27の移動量に基づき、レンズLの表面上の各点の三次元座標値が測定される。
なお、形状測定装置20は上述した構成に限定されるものではない。例えば、三角測量の原理を応用し、レンズLの表面で反射されたレーザ光を、受光レンズを通して受光素子上に結像させ、受光素子上での結像位置の移動量に基づいてレンズLの表面上の各点のZ軸方向の座標値を測定するようにしてもよい。
次に、形状測定装置20を用いたレンズLの形状測定方法について、図4に示すフローチャート、及び図5〜図8の模式図を参照しながら説明する。このレンズLの形状測定方法はレンズLの表面の光軸中心を求めるものであり、以下では、全体として凸の非球面に形成されたレンズLの一方の表面を例に説明する。
まず、最初のステップS1では、レーザ光でレンズLの表面を走査する際の第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2を形状測定装置20に設定する。
図5に示すとおり、レンズLは、光軸方向に見て円Cを割線Dに沿ってカットしてなり、この円の中心Oを含む非円形に形成されており、第1走査ラインS1は割線Dを逸れる(割線Dの両端を除き割線Dと交差しない)円Cの第1弦Ch1上のラインとし、第2走査ラインS2は割線Dを逸れ且つ第1弦C1と交差する円Cの第2弦Ch2上のラインとする。
第1弦Ch1及び第2弦Ch2は、第1弦Ch1と第2弦Ch2との交点が下記(a)〜(d)の境界線によって囲まれる領域(図5のハッチングで示す領域)Aの内側に位置するように設定される。なお、各境界線は領域Aの内側に含まないものとする。
(a)円Cと割線Dとが交わる交点P1及び交点P2のうち一方の第1交点P1と、円Cの中心Oとを通る第1境界線B1
(b)上記第1交点P1と、円Cの中心Oを通って割線Dに直交する中心線CLと円Cとが交わる交点P3とを通る第2境界線B2
(c)円Cと割線Dとが交わる交点P1及び交点P2のうち他方の第2交点P2と、円Cの中心Oとを通る第3境界線B3
(d)上記第2交点P2と上記交点P3とを通る第4境界線B4
さらに、割線Dを逸れる第1弦Ch1は、この第1弦Ch1を含み且つ光軸に平行な断面におけるレンズLの表面の輪郭線に奇数個(図示の例では1個)の極値点を与え、第1走査ラインS1は、これら奇数個の極値点を与える第1弦Ch1上の範囲を少なくとも含んで第1弦Ch1上に設定される。
同様に、割線Dを逸れる第2弦Ch2もまた、この第2弦Ch2を含み且つ光軸に平行な断面におけるレンズLの表面の輪郭線に奇数個(図示の例では3個)の極値点を与え、第2走査ラインS2は、これら奇数個の極値点を与える第2弦Ch2上の範囲を少なくとも含んで第2弦Ch2上に設定される。
次のステップS2では、第1走査ラインS1に沿ってレーザ光でレンズLの表面を走査し、レンズLの表面におけるレーザ光の照射点の各々の三次元座標値を測定し、測定点群の三次元座標値を含む第1三次元形状データを取得する。取得された第1三次元形状データは制御部32の記憶部33(図1参照)に記憶される。
次のステップS3では、第2走査ラインS2に沿ってレーザ光でレンズLの表面を走査し、レンズLの表面におけるレーザ光の照射点の各々の三次元座標値を測定し、測定点群の三次元座標値を含む第2三次元形状データを取得する。取得された第2三次元形状データは制御部32の記憶部33(図1参照)に記憶される。
次のステップS4では、図6に示すとおり、ステップS2で取得された第1三次元形状データに基づいて、第1走査ラインS1に沿ったレンズLの表面の輪郭線における奇数個の極値点のうち中央の極値点E1を与える第1走査ライン上の第1起点M1を求める。第1起点M1を求める処理は、制御部32の起点演算部34によって行われる。
次のステップS5では、図7に示すとおり、ステップS3で取得された第2三次元形状データに基づいて、第2走査ラインS2に沿ったレンズLの表面の輪郭線における奇数個の極値点のうち奇数個の極値点のうち中央の極値点E2を与える第2走査ライン上の第2起点M2を求める。第2起点M2を求める処理は、制御部32の起点演算部34によって行われる。
次のステップS6では、図8に示すとおり、ステップS4で求めた第1起点M1を通って第1走査ラインS1に直交する第1垂線V1と、ステップS5で求めた第2起点M2を通って第2走査ラインS2に直交する第2垂線V2とを求め、続いて第1垂線V1と第2垂線V2との交点Pを求める。第1垂線V1及び第2垂線V2、並びに第1垂線V1と第2垂線V2との交点Pを求める処理は、制御部32の光軸中心演算部35によって行われる。
ここで、レンズLが割線Dに沿ってカットされていないとした場合に、レンズLは光軸まわりの回転体を構成し、光軸を含む任意の平面に対してレンズLは対称性を有する。第1弦Ch1を含み且つ光軸に平行な断面におけるレンズLの表面の輪郭線もまた対称性を有し、この輪郭線における奇数個の極値点のうち中央の極値点E1は対称性の中心となる。よって、極値点E1を与える第1走査ラインS1上の第1起点M1を通る第1垂線V1は、光軸方向にみて上記の輪郭線の対称軸となり、光軸と交わる。同様に、極値点E2を与える第2走査ラインS2上の第2起点M2を通る第2垂線V2は、光軸方向にみて第2弦Ch2を含み且つ光軸に平行な断面におけるレンズLの表面の輪郭線の対称軸となり、光軸と交わる。そこで、第1垂線V1と第2垂線V2との交点PをレンズLの表面の光軸中心とすることができる。
このように、第1走査ラインS1に対する第1垂線V1、及び第2走査ラインS2に対する第2垂線V2をそれぞれ求め、第1垂線V1及び第2垂線V2の交点を光軸中心とすることにより、第1弦Ch1及び第1走査ラインS1、並びに第2弦Ch2及び第2走査ラインS2の設定自由度が高まり、割線Dと交差しないように第1弦Ch1及び第2弦Ch2を設定し、第1弦Ch1に設けられる第1走査ラインS1及び第2弦Ch2に設けられる第2走査ラインS2を比較的長く設定することができ、第1走査ラインS1に沿って測定される第1三次元形状データ及び第2走査ラインS2に沿って測定される第2三次元形状データのデータ量を十分に確保することができる。
そして、レンズLの縁部、特に割線Dに沿うレンズLの縁部ではレンズ材料の硬化収縮に伴う歪がレンズLの中央部に比べて大きく現れるところ、上述したレンズLの形状測定方法では、第1弦Ch1と第2弦Ch2との交点が、境界線B1と境界線B2と境界線B3と境界線B4とによって囲まれる領域(図5のハッチングで示す領域)Aの内側に位置するよう、第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2を設定している。これにより、第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2は割線Dに沿うレンズLの縁部から外れ、第1走査ラインS1に沿って測定される第1三次元形状データ及び第2走査ラインS2に沿って測定される第2三次元形状データの信頼性を高めることができる。
以上により、第1走査ラインS1に沿って測定される第1三次元形状データ及び第2走査ラインS2に沿って測定される第2三次元形状データのデータ量及び信頼性を確保でき、第1三次元形状データ及び第2三次元形状データを用いて求められる光軸中心の精度を高め、求めた光軸中心を基準にしてレンズLの表面の形状精度を適切に評価することが可能となる。
また、図5に示すように、第1走査ラインS1の一端が中心線CLの第1交点P1側に位置し、第2走査ラインS2の一端が中心線CLの第2交点P2側に位置するよう、第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2を設定することが好ましい。このように第1走査ラインS1及び第2走査ラインS2を設定することにより、第1三次元形状データ及び第2三次元形状データがレンズLの表面の広範な領域で測定され、より高精度にレンズLの光軸中心を求めることができる。
また、第1弦Ch1の延長線と割線Dの延長線との交点から第1交点P1までの距離、及び第2弦Ch2の延長線と割線Dの延長線との交点から第2交点P2までの距離は、それぞれ割線Dの線分の長さの1/4以下であることが好ましく、図5に示すように、第1弦Ch1の一端が円Cと割線Dとの第1交点P1に位置し、第2弦Ch2の一端が円Cと割線Dとの第2交点P2に位置することがさらに好ましい。このように第1弦Ch1及び第2弦Ch2を設定することにより、第1弦Ch1に設けられる第1走査ラインS1及び第2弦Ch2に設けられる第2走査ラインS2をより長く設定することができ、高精度にレンズLの光軸中心を求めることができる。
また、割線Dと第1弦Ch1と第2弦Ch2の3線で定義される三角形のうち、第1弦Ch1と第2弦Ch2が交差する内角θが小さくなるほど、第1弦Ch1と第2弦Ch2との交点がレンズLの縁部に接近することから、内角θは90°より大きく180°よりも小さいことが好ましい。
20 形状測定装置
21 レーザダイオード
22 対物レンズ
23 オートフォーカスセンサ
24 ビームスプリッタ
25 ミラー
26 載置部
27 XYステージ
28 XYリニアスケール
29 オートフォーカス駆動機構
30 Zリニアスケール
31 XYZコントローラ
32 制御部
33 記憶部
34 起点演算部
35 光軸中心演算部

Claims (6)

  1. 光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり該円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定方法であって、
    前記割線を逸れる前記円の第1弦上に設けられた第1走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、
    前記割線を逸れ、且つ前記第1弦と交差する前記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿ってレンズ表面の三次元形状を測定するステップと、
    前記第1走査ラインに沿って測定された前記レンズ表面の第1三次元形状、及び前記第2走査ラインに沿って測定された前記レンズ表面の第2三次元形状に基づいて前記レンズ表面の光軸中心を求めるステップと、
    を備え、
    前記第1弦と前記第2弦とは、前記割線と前記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び前記円の中心を通る第1境界線と、前記第1交点、及び前記円の中心を通り前記割線に直交する中心線と前記円との交点を通る第2境界線と、前記割線と前記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び前記円の中心を通る第3境界線と、前記第2交点、及び前記中心線と前記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、
    前記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第1走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第1弦上の範囲を含み、
    前記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第2走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第2弦上の範囲を含み、
    前記光軸中心を求めるステップは、
    前記第1三次元形状に基づいて、前記第1弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第1走査ライン上の第1起点を求めるステップと、
    前記第2三次元形状に基づいて、前記第2弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第2走査ライン上の第2起点を求めるステップと、
    前記光軸中心として、前記第1起点を通り且つ前記第1走査ラインに直交する第1垂線と前記第2起点を通り且つ前記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求めるステップと、を有するレンズの形状測定方法。
  2. 請求項1記載のレンズの形状測定方法であって、
    前記第1走査ラインの一端は、前記中心線の前記第1交点側に位置し、
    前記第2走査ラインの一端は、前記中心線の前記第2交点側に位置するレンズの形状測定方法。
  3. 請求項2記載のレンズの形状測定方法であって、
    前記第1弦の延長線と前記割線の延長線との交点から前記第1交点までの距離、及び前記第2弦の延長線と前記割線の延長線との交点から前記第2交点までの距離は、それぞれ前記割線の線分の長さの1/4以下であるレンズの形状測定方法。
  4. 請求項3記載のレンズの形状測定方法であって、
    前記第1弦の一端は前記第1交点に位置し、
    前記第2弦の一端は前記第2交点に位置するレンズの形状測定方法。
  5. 請求項1から4のいずれか一項記載のレンズの形状測定方法であって、
    前記割線と前記第1弦と前記第2弦の3線で定義される三角形のうち、前記第1弦と前記第2弦が交差する内角は90°より大きく180°より小さいレンズの形状測定方法。
  6. 光軸方向にみて円を割線に沿ってカットしてなり該円の中心を含む非円形に形成されたレンズの形状測定装置であって、
    レンズ表面上の点の三次元座標値を測定する測定部と、
    前記割線を逸れる前記円の第1弦上に設けられた第1走査ライン、及び前記割線を逸れ且つ前記第1弦と交差する前記円の第2弦上に設けられた第2走査ラインに沿って前記測定部を移動させる駆動部と、
    前記第1走査ラインに沿って移動された前記測定部によって取得される前記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第1三次元形状データ、及び前記第2走査ラインに沿って移動された前記測定部によって取得される前記レンズ表面上の複数の点の各々の三次元座標値を含む第2三次元形状データを記憶する記憶部と、
    前記第1三次元形状データ及び前記第2三次元形状データに基づいてレンズ表面における光軸中心を求める演算部と、
    を備え、
    前記第1弦と前記第2弦とは、前記割線と前記円との二つの交点のうち一方の第1交点、及び前記円の中心を通る第1境界線と、前記第1交点、及び前記円の中心を通り前記割線に直交する中心線と前記円との交点を通る第2境界線と、前記割線と前記円との二つの交点のうち他方の第2交点、及び前記円の中心を通る第3境界線と、前記第2交点、及び前記中心線と前記円との交点を通る第4境界線とによって囲まれる領域内で交差し、
    前記第1弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第1走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第1弦上の範囲を含み、
    前記第2弦を含み且つ光軸に平行な断面における前記レンズ表面の輪郭線に奇数個の極値点が存在し、前記第2走査ラインは、少なくとも前記奇数個の極値点を与える前記第2弦上の範囲を含み、
    前記演算部は、
    前記第1三次元形状データに基づいて、前記第1弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第1走査ライン上の第1起点を求め、前記第2三次元形状データに基づいて、前記第2弦における前記奇数個の極値点のうち中央の極値点を与える前記第2走査ライン上の第2起点を求める起点演算部と、
    前記光軸中心として、前記第1起点を通り且つ前記第1走査ラインに直交する第1垂線と前記第2起点を通り且つ前記第2走査ラインに直交する第2垂線との交点を求める光軸中心演算部と、を有する形状測定装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106873122A (zh) * 2017-01-26 2017-06-20 西安应用光学研究所 一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007018118A1 (ja) * 2005-08-05 2007-02-15 Mitaka Kohki Co., Ltd. レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法
JP2007232629A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Funai Electric Co Ltd レンズ形状測定装置
JP2010271057A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Mitsutoyo Corp 形状測定装置、形状測定方法、及びプログラム
DE102012023377B3 (de) * 2012-11-22 2014-05-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Position und Justage eines asphärischen Körpers
JP2014132264A (ja) * 2012-12-06 2014-07-17 Canon Inc 輪郭形状測定方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007018118A1 (ja) * 2005-08-05 2007-02-15 Mitaka Kohki Co., Ltd. レンズにおける表裏面の光軸偏芯量の測定方法
JP2007232629A (ja) * 2006-03-02 2007-09-13 Funai Electric Co Ltd レンズ形状測定装置
JP2010271057A (ja) * 2009-05-19 2010-12-02 Mitsutoyo Corp 形状測定装置、形状測定方法、及びプログラム
DE102012023377B3 (de) * 2012-11-22 2014-05-08 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Position und Justage eines asphärischen Körpers
JP2014132264A (ja) * 2012-12-06 2014-07-17 Canon Inc 輪郭形状測定方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106873122A (zh) * 2017-01-26 2017-06-20 西安应用光学研究所 一种用于大口径非球面反射镜定心装调的装置及方法

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