WO2006115007A1 - 超電導線材の検査装置および検査方法 - Google Patents

Abstract

　超電導線材の検査装置は、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向に光を照射する青色ＬＥＤ（１）と、超電導線材（２０）の表面（２０ａ）の法線方向と角度をなす方向に光を照射する赤色ＬＥＤ（２）と、超電導線材（２０）からの反射光（Ｂ１）を主として受光し、かつ超電導線材（２０）からの散乱光（Ｃ２）を主として受光するカラーラインセンサ（３）と、カラーラインセンサ（３）にて受光した光の光量を積算して出力するコンピュータ（５）とを備えている。これにより、超電導線材の欠陥を感度よく検査することができる。

Description

明 細 書

超電導線材の検査装置および検査方法

技術分野

[0001] 本発明は、超電導線材の検査装置および検査方法に関し、より特定的には、超電 導線材の欠陥を感度よく検査することのできる超電導線材の検査装置および検査方 法に関する。

背景技術

[0002] 超電導ケーブルなどの超電導機器は、多数の超電導線材によって構成されている 。超電導機器を使用する際には、超電導機器中の超電導体フィラメントを臨界温度（ T )以下に冷却するために、たとえば液体窒素や液体へリウムなどの液体冷媒に超 電導機器が浸漬され、極低温に保持される。一方、たとえば点検などの際には、液体 冷媒から超電導機器が取り出され、室温の気体冷媒などを超電導機器の周りに流入 させることにより、極低温力 室温にまで温度上昇される。しかし、液体冷媒浸漬後に 室温へ温度上昇する際には、超電導機器を構成する超電導線材にバルーニングが 生じることがある。

[0003] バルーニングとは、超電導線材内に浸入した液体冷媒が温度上昇によって気化し 、気化したガスが外に放出されない結果、超電導線材内部の圧力が上昇し、超電導 線材が膨張する現象である。バルーニングの原因は、液体冷媒に超電導機器が浸 漬された際に超電導線材の表面に存在するピンホールなどの欠陥を通じて液体冷 媒が線材内部へ侵入し、温度上昇とともにこの液体冷媒が気化し、膨張することにあ る。バル一二ングが発生した箇所は、超電導線材の電流経路が分断され、臨界電流 値などの超電導特性の低下を招く。なお、バルーニングの現象については、たとえば L.Masur, et al., "Long Length Manufacturing of High Performance BSし CO- 2223 Ta pe for the Detroit Edison Power Cable Project" (非特許文献 1)に開示されている。

[0004] そこで、バルーニングの発生を防止することを目的として、超電導線材を実際に使 用する前に欠陥の有無が検査されている。このような検査 (試験）の 1つである加圧窒 素試験は、 IMPa程度に加圧した液体冷媒中に所定時間超電導線材を浸漬して冷 却し、その後超電導線材を室温まで急激に昇温して、バルーニングの発生の有無を 検査する試験である。加圧窒素試験では、バルーニングの発生の有無により欠陥の ある超電導線材か否かが検査されて ヽる。

非特干文献 1 : L.Masur, et al., Long Length Manufacturing of high Performance BS CCO-2223 Tape for the Detroit Edison Power Cable Project", IEEE Trans. Appl. S uperconductivity. , vol.11, No. l, pp. 3256—3260.

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、加圧窒素試験では、超電導線材の欠陥を感度よく検査できな 、と 、 う問題があった。上述のように加圧窒素試験では、所定時間超電導線材を浸漬する ことで、欠陥のある超電導線材の内部へ液体冷媒を侵入させている。しかし、欠陥が 小さい場合には、欠陥を通じて液体冷媒が線材内部へ侵入するのに時間がかかる。 このため、小さな欠陥のある超電導線材には、加圧窒素試験の浸漬時間では液体冷 媒が十分に侵入せず、ノ レーニングが発生しないことがあった。また、加圧窒素試験 を複数回繰り返したとしても、やはりバルーニングが発生しな 、ことがあった。

[0006] 一方、送電'配電ケーブルなどの超電導機器では、数十年間の使用に耐えうる耐 久性が求められている。数十年間の使用の際には小さな欠陥であってもバル一ニン グの発生の原因になるので、小さい欠陥についても感度よく検出する必要がある。

[0007] したがって、本発明の目的は、超電導線材の欠陥を感度よく検査することのできる 超電導線材の検査装置および検査方法を提供することである。

課題を解決するための手段

[0008] 本発明の一の局面における超電導線材の検査装置は、超電導線材に光を照射す る照射部と、超電導線材からの光を受光する受光部と、受光部にて受光した光の光 量を積算して出力する出力部とを備えている。

[0009] 本発明の超電導線材の検査方法は、超電導線材に光を照射する照射工程と、超 電導線材からの光を受光する受光工程と、受光した光の光量を積算して出力する出 力工程とを備えている。

[0010] 本発明の一の局面における超電導線材の検査装置および検査方法によれば、超 電導線材における欠陥の部分で反射した光と、超電導線材の欠陥のな!ヽ部分で反 射した光とは、欠陥の大小に関わらず、互いに異なる方向に反射される。このため、 欠陥の有無によって受光される光の光量が変化するので、この光量の変化に基づい て欠陥の有無を検査することができる。したがって、小さな欠陥についても検出するこ とができるので、超電導線材の欠陥を感度よく検査することができる。

[0011] 上記検査装置において好ましくは、上記受光部は、超電導線材からの反射光を主 として受光する反射光受光部である。

[0012] 上記検査方法において好ましくは、上記受光工程において、超電導線材からの反 射光を主として受光する。

[0013] 超電導線材からの反射光は、欠陥の有無によってその光量が変化するので、この 光量の変化に基づいて欠陥の有無を感度よく検査することができる。なお、「超電導 線材からの反射光」とは、超電導線材における欠陥のない部分で反射された光を意 味している。

[0014] 上記検査装置において好ましくは、上記受光部は、超電導線材からの散乱光を主 として受光する散乱光受光部である。

[0015] 上記検査方法において好ましくは、上記受光工程において、超電導線材からの散 乱光を主として受光する。

[0016] 超電導線材からの散乱光は、欠陥の有無によってその光量が変化するので、この 光量の変化に基づいて欠陥の有無を感度よく検査することができる。なお、「超電導 線材からの散乱光」とは、超電導線材における欠陥の部分でさまざまな方向へ散乱 された光を意味している。

[0017] 上記検査装置において好ましくは、上記照射部は、超電導線材の表面の法線方向 に光を照射する同軸照射部である。

[0018] 上記検査方法において好ましくは、上記照射工程において、超電導線材の表面の 法線方向に光を照射する。

[0019] これにより、特に超電導線材の表面キズを検出しやすくなる。

上記検査装置において好ましくは、上記照射部は、超電導線材の表面の法線方向 と角度をなす方向に光を照射する斜方照射部である。 [0020] 上記検査方法において好ましくは、上記照射工程において、超電導線材の表面の 法線方向と角度をなす方向に光を照射する。

[0021] これにより、特に超電導線材のピンホールを検出しやすくなる。

上記検査装置において好ましくは、超電導線材にレーザ光を照射しながら超電導 線材の長手方向に相対的に移動するレーザ光照射部と、超電導線材で反射したレ 一ザ光を受光するレーザ光受光部と、レーザ光受光部における受光位置に基づい て超電導線材の変位に関する情報を出力するレーザ式変位計用出力部とを有する レーザ式変位計がさらに備えられている。

[0022] 上記検査装置において好ましくは、渦電流式変位計用コイルに交流を流す交流発 生部と、超電導線材に渦電流を発生させながら超電導線材の長手方向に相対的に 移動する渦電流式変位計用コイルと、渦電流の発生による渦電流式変位計用コイル の発振状態の変化に基づいて超電導線材の変位に関する情報を出力する渦電流 式変位計用出力部とを有する渦電流式変位計がさらに備えられている。

[0023] 上記検査装置において好ましくは、超電導線材に接触しながら超電導線材の長手 方向に相対的に移動し、かつ超電導線材の変位に連動するプローブと、プローブに 取り付けられた鉄心と、鉄心の移動によって誘導起電力を発生する接触式変位計用 コイルと、誘導起電力に基づ！ヽて超電導線材の変位に関する情報を出力する接触 式変位計用出力部とを有する接触式変位計がさらに備えられている。

[0024] 上記検査方法において好ましくは、超電導線材の長手方向に沿ってレーザ光を照 射する工程と、超電導線材で反射したレーザ光を受光する工程と、レーザ光を受光 した位置に基づいて超電導線材の変位に関する情報を出力する工程とがさらに備え られている。

[0025] 上記検査方法にお!、て好ましくは、交流を流した渦電流式変位計用コイルを用い て超電導線材の長手方向に沿って超電導線材に渦電流を発生させる工程と、渦電 流の発生による渦電流式変位計用コイルの発振状態の変化に基づいて超電導線材 の変位に関する情報を出力する工程とがさらに備えられている。

[0026] 上記検査方法において好ましくは、鉄心が取り付けられたプローブを超電導線材 に接触させながら超電導線材の長手方向に相対的に移動させ、プローブを超電導 線材に連動させる工程と、鉄心の移動によって接触式変位計用コイルに誘導起電力 を発生させ、誘導起電力に基づ 、て超電導線材の変位に関する情報を出力するェ 程とがさらに備えられている。

[0027] これにより、超電導線材の変位に関する情報が得られるので、特に膨れ、曲がり、 局所幅変動、変形などの欠陥を感度よく検査することができる。また、欠陥を数値的 に計測することができ、欠陥の有無のみならず欠陥のサイズや形状を測定することが できる。その結果、超電導線材の検査をより効果的に行なうことができる。

[0028] 上記検査装置において好ましくは、超電導線材の長手方向に並んで配置され、か つ超電導線材の幅方向の中心を測定する第 1〜第 3の重心評価計がさらに備えられ ている。

[0029] 上記検査方法において好ましくは、超電導線材の長手方向における第 1の位置に おける幅方向の中心を測定する工程と、超電導線材の長手方向における第 2の位置 における幅方向の中心を測定する工程と、超電導線材の長手方向における第 3の位 置における幅方向の中心を測定する工程とがさらに備えられている。

[0030] これにより、 3つの中心が幅方向における同じ位置に存在しているか否かを判別す ることにより、超電導線材の幅方向の緩やかな変形 (たわみ、うねり、波うちなど）を計 柳』することができる。

[0031] 本発明の他の局面における超電導線材の検査装置は、超電導線材の表面の法線 方向に光を照射する同軸照射部と、超電導線材の表面の法線方向と角度をなす方 向に光を照射する斜方照射部と、超電導線材からの反射光を主として受光する反射 光受光部と、超電導線材からの散乱光を主として受光する散乱光受光部と、反射光 受光部および散乱光受光部にて受光した光の光量を積算して出力する出力部とを 備えている。

[0032] 本発明の超電導線材の検査装置によれば、超電導線材における欠陥の部分で反 射した光と、超電導線材の欠陥のない部分で反射した光とは、欠陥の大小に関わら ず、互いに異なる方向に反射される。このため、欠陥の有無によって受光される光の 光量が変化するので、この光量の変化に基づいて欠陥の有無を検査することができ る。したがって、小さな欠陥についても検出することができるので、超電導線材の欠陥 を感度よく検査することができる。特に、受光部として反射光受光部と散乱光受光部 とを備えることにより、 1つの受光部のみを備える場合に比べて光量の変動を検知し やすくなる。その結果、欠陥の検出精度が良好になる。また、照射部として同軸照射 部と斜方照射部とを備えることにより、超電導線材の表面キズおよびピンホールの両 方を検出しやすくなる。

[0033] 本発明の一の局面および他の局面における検査装置において好ましくは、上記検 查装置が 2つ以上備えられている。これにより、超電導線材の表面をさまざまな方向 力も同時に検査することができるので、検査効率が向上する。特に、テープ状の超電 導線材を検査する場合には、 2つの検査装置を用いて上側の面と下側の面とを同時 に検査することができる。

発明の効果

[0034] 本発明の超電導線材の検査装置および検査方法によれば、超電導線材の欠陥を 感度よく検査することができる。

図面の簡単な説明

[0035] [図 1] (a)は超電導ケーブルの一例を示す断面図であり、（b)は（a)におけるケーブル コアの拡大図である。

[図 2]超電導線材に発生するピンホールなどの欠陥を模式的に示す図である。

[図 3]本発明の実施の形態 1における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 4]本発明の実施の形態 1における超電導線材の検査装置において、超電導線材 に欠陥がある場合の光の進行方向を模式的に示す図である。

[図 5]コンピュータにおいて行なわれる処理を処理順に示すステップ図である。

[図 6]超電導線材の表面の拡大図である。

[図 7]積算された光の X方向における輝度分布の一例を示す図である。

[図 8]本発明の実施の形態 2における超電導線材の製造装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 9]本発明の実施の形態 3の超電導線材の検査装置の構成を模式的に示す図で ある。 [図 10]本発明の実施の形態 3における超電導線材の検査装置において、超電導線 材に欠陥がある場合の光の進行方向を模式的に示す図である。

圆 11]本発明の実施の形態 4における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 12]超電導線材に発生する膨れなどの欠陥を模式的に示す図である。

圆 13]本発明の実施の形態 5における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 14]本発明の実施の形態 5において、超電導線材の表面が厚み方向に変位して V、る力否かによる受光位置の変化を示す図である。

圆 15]本発明の実施の形態 5における超電導線材の検査装置を用いて超電導線材 の端面の変位を計測する場合を説明するための図である。

圆 16]本発明の実施の形態 6における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 17] (a)超電導線材の表面が厚み方向に変位して 、な 、場合におけるコイルの発 振波形を模式的に示す図である。 (b)超電導線材の表面が厚み方向に変位して！/、る 場合におけるコイルの発振波形を模式的に示す図である。

圆 18]本発明の実施の形態 7における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す断面図である。

圆 19]図 18の接触式変位計の回路図である。

圆 20]本発明の実施の形態 8における超電導線材の検査装置の構成を模式的に示 す図である。

[図 21]本発明の実施の形態 8において、超電導線材にたわみが発生していない場合 の超電導線材の中心位置を示す図である。

[図 22]本発明の実施の形態 8において、超電導線材にたわみが発生している場合の 超電導線材の中心位置を示す上面図である。

圆 23]本発明の実施の形態 9における超電導線材の検査装置を概念的に示す図で ある。

[図 24]本発明の実施例 1にお 、て、超電導線材の長手方向における臨界電流値の 分布を示す図である。

[図 25]本発明の実施例 1において、 1回目の加圧窒素試験直後における超電導線材 の長手方向における臨界電流値の分布を示す図である。

[図 26]本発明の実施例 2において、超電導線材に発生した欠陥を拡大して示す写真 である。（a)は変色部分およびピンホールであり、（b)は表面キズである。

[図 27] (a)は、図 26 (a)に示す変色部分およびピンホールを検査装置 Aで撮影して 2 値化した場合の画像である。（b)は、図 26 (b)に示す表面キズを検査装置 Bで撮影し て 2値ィ匕した場合の画像である。

[図 28]本発明の実施例 3において接触式変位計で測定された、超電導線材の長手 方向における厚さ方向の変位を示す図である。

[図 29]本発明の実施例 4にお ヽてレーザ式変位計で測定された、超電導線材の長 手方向における幅方向の変位を示す図である。

[図 30]本発明の実施例 5にお 、て重心評価計で測定された、両側の 2つの重心評価 計より計算される中心位置と、中央の重心評価計により計算される中心位置との差の 超電導線材の長手方向における変化を示す図である。

符号の説明

1, la 青色 LED、 2, 2a 赤色 LED、 3, 3a カラーラインセンサ、 5, 5a, 45, 75 コンピュータ、 7, 7a ミラー、 10 光方式検査装置、 13 受光窓、 20, 40a, 40b 超電導線材、 20a 超電導線材表面、 20b 超電導線材裏面、 20c 超電導線材端 面、 21 酸ィ匕物超電導体フィラメント、 22 シース部、 23, 46, 55, 68 膨れ、 24 曲がり、 25 エッジ部、 27 表面キズ、 28 変色部分、 29 ピンホール、 30 超電導 ケーブル、 31 ケーブルコア、 32 フォーマ、 34 絶縁紙、 35 クラフト紙、 37 冷媒 流通路、 38 断熱管、 39 防食層、 41 レーザ式変位計、 42 センサヘッド、 43 半 導体レーザ、 44 PSD、 51 渦電流式変位計、 52, 64 プローブ、 52a コイル、 53 , 66 本体、 54 渦電流、 56, 57 発振波形、 58 磁場、 61 接触式変位計、 62a, 62b 2次コイル、 63 1次コイル、 65 鉄心、 67 筐体、 67a 中空部分、 71〜73 重心評価計、 74a 照射部、 74b 受光部、 76 たわみ、 81 送りリール、 82 卷取り リール、 A1〜A4 照射光、 B1〜B3 反射光、 CI, C2, C4 散乱光、 D, E, El, E 2, F1〜F3 レーザ光、 Gl 受光パターン、 H1〜H3 中心位置、 L 直線、 PI, P2 位置。

発明を実施するための最良の形態

[0037] 以下、本発明の実施の形態について、図に基づいて説明する。

(実施の形態 1)

図 1 (a)は超電導ケーブルの一例を示す断面図、（b)は（a)におけるケーブルコア の拡大図である。図 1 (a)、（b)を参照して、超電導ケーブル 30は、ケーブルコア 31と 、断熱管 38と、防食層 39とを備えている。断熱管 38および防食層 39の内側に形成 された冷媒流通路 37内に、単芯或いは複数芯撚り合わせたケーブルコア 31が挿入 されている。そして、冷媒流通路 37内のケーブルコア 31の外周に冷媒が流通される 。ケーブルコア 31は、内側力 順にフォーマ (複数の銅の撚り線） 32と、複数の超電 導線材 40aと、クラフト紙 35と、複数の超電導線材 40bと、絶縁紙 34とから構成され て 、る。外径がたとえば 20mmの複数の銅の撚り線よりなるフォーマ 32の外周には、 テープ状の超電導線材 40a、 40bの各々がスパイラル状に巻き付けられている。複 数の超電導線材 40a、 40bは、クラフト紙 35を挟んで互いに絶縁された積層構造とな つている。下層である複数の超電導線材 40aは、たとえば 13本の超電導線材が 200 mmピッチで配置されている。また、上層である複数の超電導線材 40bは、たとえば 1 4本の超電導線材が 200mmピッチで配置されている。超電導線材 40a、 40bの各々 の 1本あたりの断面は、たとえば縦 0. 21mm、横 4. 1mmの長方形の形状を有して いる。上層の超電導線材 40bの外側には、たとえばポリプロピレンラミネート紙 (PPL P (R) )よりなる絶縁紙 34で覆われて 、る。

[0038] 次に、超電導ケーブルを構成する超電導線材の構成について説明する。

図 2は、超電導線材に発生するピンホールなどの欠陥を模式的に示す図である。 図 2を参照して、たとえば超電導線材が多芯線の酸化物超電導線材につ!/、て説明 する。超電導線材 20は、図 1に示す超電導線材 40a、 40bに対応するものであり、た とえばテープ状の酸ィ匕物超電導線材である。超電導線材 20は、長手方向に伸びる 複数本の酸化物超電導体フィラメント 21と、それらを被覆するシース部 22とを有して いる。複数本の酸ィ匕物超電導体フィラメント 21の各々の材質は、たとえば Bi— Pb— Sr— Ca— Cu— O系の組成を有しており、（ビスマスと鉛）：ストロンチウム：カルシウム ：銅の原子比がほぼ 2 : 2 : 2 : 3の比率で近似して表される Bi2223相を含む材質より なっている。シース部 22の材質は、たとえば銀よりなっている。

[0039] ここで、超電導線材 20の表面には、表面キズ 27や、変色部分 28や、ピンホール 29 などの欠陥が発生することがある。これらの欠陥は、超電導線材の製造工程のうち伸 線工程、圧延工程、または焼結工程などに発生するものである。ここで、変色部分 28 とは、酸ィ匕物超電導体フィラメント 21の内容物がシース部 22に漏れ出して、シース部 22の厚みが局所的に薄くなり、外部から見ると変色して見える欠陥である。変色部分 28は、ピンホール 29の周囲に生じやす!/、欠陥である。

[0040] 次に、本実施の形態における超電導線材 20の検査装置について説明する。

図 3は、本発明の実施の形態 1における超電導線材の検査装置の構成を模式的に 示す図である。図 3を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査装置は、 照射部としての青色 LED (Light Emitting Diode) 1と、受光部としてのカラーライン センサ 3と、出力部としてのコンピュータ 5と、ミラー 7とを備えている。青色 LED1およ びカラーラインセンサ 3は、超電導線材 20の垂直真上における所定の位置に配置さ れている。カラーラインセンサ 3の受光窓 13は超電導線材 20の表面 20aの法線方向 を向いている。また、ミラー 7は、カラーラインセンサ 3と超電導線材 20との間に配置さ れている。コンピュータ 5は、カラーラインセンサ 3に電気的に接続されている。

[0041] 次に、本実施の形態における超電導線材 20の検査方法について説明する。

青色 LED1は、超電導線材 20の長手方向に沿ってミラー 7へ青色光を照射する。ミ ラー 7は、超電導線材 20の表面 20aの法線方向に青色 LED1からの光を反射する。 これによつて、青色 LED1は、超電導線材 20の表面 20aの法線方向に照射光 A1を 照射する同軸照射部となる。

[0042] 超電導線材 20に欠陥がない場合には、超電導線材 20に照射された照射光 A1は 、入射角に等しい反射角を持って同一方向に反射される。本実施の形態では、表面 20aの法線方向に反射光 B1が発生する。この反射光 B1は、ミラー 7を透過してカラ 一ラインセンサ 3によって受光される。

[0043] 一方、図 4を参照して、超電導線材 20に欠陥がある場合には、超電導線材 20に照 射された照射光 Alは、表面 20aからさまざまな方向に散乱される。この光が散乱光 C 1である。このように、超電導線材 20に欠陥がある場合には、散乱光 C1が発生し、力 ラーラインセンサ 3によって受光される光の光量が変化する。

[0044] ここで、本実施の形態において、カラーラインセンサ 3は反射光 B1を主に受光する 位置に配置されている。このため、超電導線材 20に欠陥がある場合には、カラーライ ンセンサ 3では散乱光 C1の一部のみが受光されるので、通常、受光される光量は減 少する。つまり、カラーラインセンサ 3は、反射光 B1を主として受光する反射光受光 部である。

[0045] カラーラインセンサ 3にて受光した光量のデータは、コンピュータ 5に送られ、積算し て出力される。そして、光量の積算データに基づいて超電導線材 20の欠陥の有無 が検査される。次に、コンピュータ 5において行なわれる上記処理の一例について具 体的に説明する。

[0046] 図 5は、コンピュータにおいて行なわれる処理を処理順に示すステップ図である。図 6は、超電導線材の表面の拡大図である。図 5および図 6を参照して、超電導線材 20 の表面 20aが、たとえば 10. 0 m程度の幅で幅方向（X方向）に区分され、 2048個 のラインに分けられる。そして、それぞれのラインで反射してカラーラインセンサ 3で受 光された光の光量が積算されて出力される (ステップ 1)。

[0047] 図 7は、積算された光の X方向における輝度分布を示す図である。図 5〜図 7を参 照して、続いて、積算された光の X方向における輝度分布に基づいてエッジ部 25が 検出される (ステップ S2)。すなわち、超電導線材 20がテープ状である場合、表面 20 aのエッジ部 25は曲面になっているので、カラーラインセンサ 3で受光される光の光 量が表面 20aの中央部とは著しく異なっている。このため、エッジ部 25における光量 の変化を欠陥と誤認しないために、エッジ部 25が検出される必要がある。具体的に は、積算された光の X方向における輝度分布にエッジ検出しきい値を設け、このエツ ジ検出しきい値を超えた領域がエッジ部であると判断され、不感帯とされる。図 7にお V、てエッジ検出しき 、値を超えて 、るのは、図 7中左右にある不感帯と示した部分と、 幅 Wで示した領域とである。したがって、ステップ S2では、これら 2つの領域がエッジ 部であると判断される。また、図 7中左右にある不感帯と示した部分と、幅 Wで示した 領域とを除いた残りの領域が仮の検査領域であると判断される。

[0048] 続いて、検査領域における欠陥を検出する (ステップ S3)。具体的には、積算され た光の X方向における輝度分布に欠陥しき!、値を設け、検査領域お 、て欠陥しき 、 値を超えた部分の幅を計測する。欠陥しき！、値を超えた部分が複数存在する場合に は個々の部分の幅を計測する。そして、欠陥しきい値を超えた部分の幅が一定幅以 上である場合には、それを欠陥であると判定する。図 7では、仮の検査領域には欠陥 しきい値を超える部分は存在しないので、ステップ S3においては欠陥が検出されな い。

[0049] 続、て、エッジ部付近における欠陥を検出する (ステップ S4)。すなわち、仮の検査 領域の幅と実際の超電導線材の幅とを比較し、仮の検査領域の幅が実際の超電導 線材の幅よりも一定値以上小さい場合には、エッジ部付近に欠陥があると判断される 。図 7では、仮の検査領域の幅が実際の超電導線材の幅よりも一定値以上小さいの で、幅 Wで示した領域は検査領域に存在する欠陥であると判断される。以上の方法 により、超電導線材 20の表面 20aに存在する欠陥の有無が検査される。

[0050] 本実施の形態の超電導線材の検査装置および検査方法によれば、超電導線材 20 における表面キズ 27や、変色部分 28や、ピンホール 29などの欠陥で反射した散乱 光 C1と、超電導線材 20の欠陥のない部分で反射した反射光 B1とは、欠陥の大小に 関わらず、互いに異なる方向に反射される。このため、欠陥の有無によってカラーラ インセンサ 3で受光される光の光量が変化するので、この光量の変化に基づ 、て欠 陥の有無を検査することができる。したがって、小さな欠陥についても検出することが できるので、超電導線材 20の欠陥を感度よく検査することができる。また、欠陥の有 無を目視によって検査する場合に比べて迅速に検査することができる。

[0051] 本実施の形態の検査装置にお!、て、カラーラインセンサ 3は、超電導線材 20から の反射光 B1を主として受光する反射光受光部である。

[0052] 本実施の形態の検査方法においては、超電導線材 20からの反射光 B1を主として 受光する。

[0053] 超電導線材 20からの反射光 B1は、欠陥の有無によってその光量が変化するので 、この光量の変化に基づ 、て欠陥の有無を感度よく検査することができる。 [0054] 本実施の形態の検査装置において、青色 LED1は、超電導線材 20の表面の法線 方向に光を照射する同軸照射部である。

[0055] 本実施の形態の検査方法においては、超電導線材 20の表面の法線方向に光を照 射する。

[0056] これにより、特に超電導線材 20の表面キズ 27を検出しやすくなる。

なお、本実施の形態ではコンピュータ処理の一例を示した力 本発明はこのような コンピュータ処理に限定されるものではなぐ少なくとも受光部にて受光した光の光量 が積算して出力されればよい。

[0057] また、本実施の形態では、照射部として青色 LEDを用いる場合について示した力 青色 LEDの代わりに赤色 LEDを用いてもよぐこれ以外の波長を持った光を照射す る照射部を用いてもよい。

[0058] さらに、青色 LED1およびカラーラインセンサ 3の位置関係は任意であり、反射光を 受光する位置に受光部が配置されていれば本実施の形態と同様の効果が得られる

。また、少なくとも超電導線材力 の光を受光する位置に受光部が配置されていれば よい。

[0059] (実施の形態 2)

図 8は、本発明の実施の形態 2における超電導線材の製造装置の構成を模式的に 示す図である。図 8を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査装置は、 照射部として青色 LEDの代わりに赤色 LED2を備えている。赤色 LED2は、超電導 線材 20の垂直真上における所定の位置に配置されている。

[0060] また、カラーラインセンサ 3の位置および受光窓 13の方向は、実施の形態 1の場合 と同様である。具体的には、カラーラインセンサ 3は、超電導線材 20の垂直真上にお ける所定の位置に配置されており、その受光窓 13は表面 20aの法線方向に向いて いる。

[0061] なお、これ以外の超電導線材の検査装置の構成は、実施の形態 1の検査装置の構 成とほぼ同様であるので、その説明は繰り返さない。

[0062] 次に、本実施の形態における超電導線材の検査方法について説明する。

赤色 LED2は、超電導線材 20の表面 20aの法線方向と角度をなす方向に照射光 A2を照射する。つまり、赤色 LED2は斜方照射部である。超電導線材 20に欠陥が ない場合には、赤色 LED2から超電導線材 20へ照射された照射光 A2は、入射角に 等しい反射角を持って反射される。本実施の形態では、反射光 B2が発生する。この とき、カラーラインセンサ 3では反射光 B2がわずかに受光される。

[0063] 一方、超電導線材 20に欠陥がある場合には、表面 20aからさまざまな方向に散乱 光 C2が発生する。そして、散乱光 C2の一部がカラーラインセンサ 3で受光される。こ のように、超電導線材 20に欠陥がある場合には、散乱光 C2が発生し、カラーライン センサ 3によって受光される光の光量が変化する。

[0064] ここで、本実施の形態にお!、て、カラーラインセンサ 3は散乱光 C2を主に受光する 位置 (反射光 B2を受光し難い位置）に配置されている。このため、超電導線材 20〖こ 欠陥がある場合には、カラーラインセンサ 3で受光される光量は通常増加する。つま り、カラーラインセンサ 3は、超電導線材 20からの散乱光 C2を主として受光する散乱 光受光部である。

[0065] カラーラインセンサ 3にて受光した光量のデータは、コンピュータ 5に送られ、光量 が積算して出力される。そして、光量の積算データに基づいて実施の形態 1と同様の 方法により、超電導線材 20の欠陥の有無が検査される。

[0066] 本実施の形態の検査装置にお!、て、カラーラインセンサ 3は、超電導線材 20から の散乱光 C2を主として受光する散乱光受光部である。

[0067] 本実施の形態の検査方法においては、超電導線材 20からの散乱光 C2を主として 受光する。

[0068] 超電導線材からの散乱光は、欠陥の有無によってその光量が変化するので、この 光量の変化に基づいて欠陥の有無を検査することができる。

[0069] なお、赤色 LED2およびカラーラインセンサ 3の位置関係は任意であり、少なくとも 散乱光を受光する位置に受光部が配置されていれば本実施の形態と同様の効果が 得られる。

[0070] (実施の形態 3)

図 9は、本発明の実施の形態 3の超電導線材の検査装置の構成を模式的に示す 図である。図 9を参照して、本実施の形態の超電導線材の検査装置は、同軸照射部 としての青色 LEDlと、斜方照射部としての赤色 LED2と、反射光受光部および散乱 光受光部としてのカラーラインセンサ 3と、出力部としてのコンピュータ 5と、ミラー 7と を備えている。青色 LED1、赤色 LED2、およびカラーラインセンサ 3は、超電導線材 20の垂直真上における所定の位置に配置されて 、る。カラーラインセンサ 3の受光 窓 13は超電導線材 20の表面 20aの法線方向を向いて!/、る。

[0071] なお、これ以外の超電導線材の検査装置の構成は、実施の形態 1の検査装置の構 成とほぼ同様であるので、その説明は繰り返さない。

[0072] 次に、本実施の形態における超電導線材の検査方法について説明する。

青色 LED1は、実施の形態 1と同様の方法によって、超電導線材 20の表面 20aの 法線方向に照射光 A1を照射する。赤色 LED2は、超電導線材 20の表面 20aの法 線方向と角度をなす方向に照射光 A2を照射する。

[0073] 超電導線材 20に欠陥がない場合には、超電導線材 20に照射された青色の照射 光 A1と赤色の照射光 A2との各々は、入射角に等しい反射角を持って同一方向に 反射される。本実施の形態では、表面 20aの法線方向に青色の反射光 B1が発生し 、表面 20aと角をなす方向に赤色の反射光 B2が発生する。このうち、青色の反射光 B1は、ミラー 7を透過してカラーラインセンサ 3によって受光される。また、カラーライ ンセンサ 3では赤色の反射光 B2がわずかに受光される。

[0074] 一方、図 10を参照して、超電導線材 20に欠陥がある場合には、超電導線材 20に 照射された照射光 Al、 A2の各々は、表面 20aからさまざまな方向に散乱される。こ の光が散乱光 Cl、 C2である。そして、散乱光 Cl、 C2の一部がカラーラインセンサ 3 で受光される。このように、超電導線材 20に欠陥がある場合には、散乱光 Cl、 C2が 発生し、カラーラインセンサ 3によって受光される青色光および赤色光の光量がそれ ぞれ変化する。

[0075] ここで、本実施の形態にお!、て、カラーラインセンサ 3は散乱光 C1に比べて反射光 B1を主に受光する位置に配置されている。このため、超電導線材 20に欠陥がある 場合には、カラーラインセンサ 3で受光される青色光は減少する。つまり、カラーライ ンセンサ 3は、反射光 B1を主として受光する反射光受光部である。

[0076] また、本実施の形態にお!、て、カラーラインセンサ 3は反射光 B2に比べて散乱光 C 2を主に受光する位置に配置されている。このため、超電導線材 20に欠陥がある場 合には、カラーラインセンサ 3で受光される赤色光は減少する。つまり、カラーライン センサ 3は、散乱光 C2を主として受光する散乱光受光部である。

[0077] カラーラインセンサ 3にて受光した光量のデータは、コンピュータ 5に送られ、実施 の形態 1の場合と同様の方法により積算して出力される。そして、光量の積算データ に基づ!/、て超電導線材 20の欠陥の有無が検査される。

[0078] 本実施の形態では、青色 LED1から発生する光の波長と、赤色 LED2から発生す る波長とが互いに異なるため、カラーラインセンサ 3において青色光および赤色光の 両方を受光しても、コンピュータ 5においてそれぞれの波長の光を分けて解析し、光 量を積算して別々に出力することができる。その結果、カラーラインセンサ 3は反射光 受光部および散乱光受光部の両方の役割を果たすことができる。もちろん、青色光 を受光するための反射光受光部と赤色光を受光するための散乱光受光部とを別々 に備えてもよい。

[0079] 本実施の形態の超電導線材の検査装置によれば、カラーラインセンサ 3において 反射光 B1および散乱光 C2を受光することにより、 1つの光のみを受光する場合に比 ベて光量の変動を検知しやすくなる。その結果、欠陥の検出精度が良好になる。また 、照射部として青色 LED1と赤色 LED2との両方を備えることにより、超電導線材の 表面キズおよびピンホールの両方を検出しやすくなる。

[0080] (実施の形態 4)

図 11は、本発明の実施の形態 4における超電導線材の検査装置の構成を模式的 に示す図である。図 11を参照して、本実施の形態の超電導線材の検査装置は、実 施の形態 3における検査装置と同様の構成を有する検査装置を 2つ備えている。 2つ の検査装置は、超電導線材 20の表面 20a側および裏面 20b側にそれぞれ配置され ている。

[0081] 超電導線材 20の表面 20a側の検査装置は、青色 LED1と、赤色 LED2と、カラー ラインセンサ 3と、コンピュータ 5と、ミラー 7とを備えている。青色 LED1から青色の照 射光 A1を超電導線材の表面 20aに照射し、主としてその反射光 B1をカラーラインセ ンサ 3で受光する。また、赤色 LED2から赤色の照射光 A2を超電導線材の表面 20a に照射し、主としてその散乱光 C2をカラーラインセンサ 3で受光する。

[0082] また、超電導線材 20の裏面 20b側の検査装置は、青色 LEDlaと、赤色 LED2aと 、カラーラインセンサ 3aと、コンピュータ 5aと、ミラー 7aとを備えている。青色 LEDla 力も青色の照射光 A3を超電導線材の表面 20aに照射し、主としてその反射光 B3を カラーラインセンサ 3で受光する。また、赤色 LED2から赤色の照射光 A4を超電導 線材の表面 20aに照射し、主としてその散乱光 C4をカラーラインセンサ 3で受光する

[0083] なお、本実施の形態の 2つの検査装置の構成およびこれらの検査装置の各々の検 查方法は、実施の形態 3における超電導線材の検査装置および検査方法とほぼ同 様である。よってその説明は繰り返さない。

[0084] 本実施の形態の超電導線材の検査装置は、テープ状の超電導線材 20を検査する 場合などに、表面 20aと裏面 20bとを同時に検査することができ、検査効率が向上す る。

[0085] なお、本実施の形態においては、検査装置を 2つ備える場合について示した力 本 発明は、検査装置を 3つ以上備えてもよい。検査装置を増やせば、たとえば丸線のよ うな超電導線材を検査する場合でも、超電導線材の表面を全周にわたつて同時に検 查することができる。

[0086] また、本実施の形態では、実施の形態 3の検査装置を 2つ備える場合にっ 、て示し たが、実施の形態 3の検査装置の代わりに、実施の形態 1の検査装置または実施の 形態 2の検査装置を 2つ備えてもょ 、。

[0087] (実施の形態 5)

実施の形態 1〜4に示す検査装置 (以下、光方式検査装置と記すこともある）は、図 2に示すピンホール 29などの欠陥の検出に特に適したものであった。しかし、超電導 線材 20には、ピンホールなどの欠陥の他、図 12に示すような膨れ 23や曲がり 24な どの欠陥や、局所幅変動、変形、たわみ、うねり、波うちなどの欠陥が発生することが ある。これらの欠陥は、超電導線材の製造工程のうち伸線工程、圧延工程、または焼 結工程などに発生するものである。特に膨れ 23は、超電導線材 20の原材料粉末に 付着している吸着物が焼結工程中に気化し、気化することによって吸着物の体積が 増加して発生するものである。そこで、以下の実施の形態 5〜8においては、欠陥のう ち特に膨れ、曲がり、局所幅変動、変形、たわみ、うねり、波うちなどの欠陥を感度よ く検査することのできる検査装置および検査方法について説明する。これらの欠陥は ピンホールなどの欠陥に比べて大きな変形を伴なうような欠陥である。

[0088] 図 13は、本発明の実施の形態 5における超電導線材の検査装置の構成を模式的 に示す図である。図 13を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査装置 は、実施の形態 1〜4のいずれかに示す光方式検査装置の他に、レーザ式変位計 4 1をさらに備えている。レーザ式変位計 41は、レーザ光照射部としての半導体レーザ 43と、レーザ光受光部としての光位置検出素子（PSD: Position Sensitive Device) 44と、レーザ式変位計用出力部としてのコンピュータ 45とを有している。半導体レー ザ 43および PSD44はセンサヘッド 42の先端に取り付けられており、センサヘッド 42 は超電導線材 20の表面 20aの上部に配置されている。半導体レーザ 43および PSD 44はセンサヘッド 42を介してコンピュータ 45と電気的に接続されている。

[0089] 次に、レーザ式変位計 41による超電導線材 20の検査方法について説明する。

半導体レーザ 43は、超電導線材 20にレーザ光 Dを照射しながら、超電導線材 20 の長手方向に相対的に移動される。図 13では半導体レーザ 43は固定されており、 超電導線材 20が図中右方向に移動されている。これにより、超電導線材 20の長手 方向に沿ってレーザ光 Dが照射される。レーザ光 Dは、超電導線材 20の表面 20aで 反射され、レーザ光 Eが PSD44で受光される。

[0090] ここで図 14を参照して、超電導線材 20の表面 20aが厚み方向に変位していない（ 欠陥のない）場合には、レーザ光 Dは位置 P1で反射し、レーザ光 E1が PSD44で受 光される。一方、膨れ 46などの欠陥が発生し超電導線材 20の表面 20aが厚み方向 に変位している場合には、レーザ光 Dは位置 P2で反射し、レーザ光 E2が PSD44で 受光される。つまり、 PSD44におけるレーザ光 Eの受光位置は超電導線材 20の表 面 20aの変位によって変化し、欠陥の有無、サイズ、および形状によって変化する。

[0091] PSD44はレーザ光 Eの受光位置のデータをコンピュータ 45に送信する。コンビュ ータ 45は、受光位置のデータに基づいて、三角測量法を用いて超電導線材 20の表 面 20aの位置（つまりレーザ光 Dの反射位置）を計算し、超電導線材 20の表面 20aの 変位に関する情報を出力する。その結果、超電導線材 20の表面 20aの欠陥が検出 される。

[0092] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置は、超電導線材 20の表面 20a にレーザ光 Dを照射しながら超電導線材 20の長手方向に相対的に移動する半導体 レーザ 43と、超電導線材 20で反射したレーザ光 Eを受光する PSD44と、 PSD44に おける受光位置に基づいて超電導線材 20の変位に関する情報を出力するコンビュ ータ 45とを有するレーザ式変位計 41をさらに備えている。

[0093] 本実施の形態における超電導線材 20の検査方法は、超電導線材 20の長手方向 に沿ってレーザ光 Dを照射する工程と、超電導線材 20の表面 20aで反射したレーザ 光 Eを受光する工程と、レーザ光 Eを受光した位置に基づ 、て超電導線材 20の変位 に関する情報を出力する工程とをさらに備えている。

[0094] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置および検査方法によれば、超電 導線材 20の表面 20aの変位に関する情報が得られるので、特に膨れ、曲がり、局所 幅変動、変形などの欠陥を感度よく検査することができる。また、欠陥を数値的に計 測することができ、欠陥の有無のみならず欠陥のサイズや形状を測定することができ る。その結果、超電導線材の検査をより効果的に行なうことができる。

[0095] なお、光方式検査装置およびレーザ式変位計を以下のように用いて超電導線材 2 0の検査を行なってもよい。たとえば光方式検査装置で欠陥の発生部分を検査し、そ の場所の情報をレーザ式変位計に伝達し、レーザ式変位計にぉ 、て欠陥のサイズ や形状を測定してもよい。また、たとえばレーザ式変位計で曲がりなどの大きな欠陥 の有無を検査し、光方式検査装置においてピンホールなどの小さな欠陥の有無を検 查してもよい。このように用途によって光方式検査装置およびレーザ式変位計の各々 の感度を調節すれば、コンピュータによる信号処理時間の短縮を図ることができ、検 查効率が向上する。

[0096] また、本実施の形態におけるコンピュータ 45としての機能はコンピュータ 5 (図 3)に よって果たされてもよい。この場合、半導体レーザ 43および PSD44はコンピュータ 5 と電気的に接続される。これにより、 1台のコンピュータによって検査を行なうことがで きる。 [0097] さらに、レーザ光 Dを超電導線材 20の表面 20aに照射する代わりに、図 15に示す ように超電導線材 20の端面 20cに照射してもよい。これにより、超電導線材 20の端 面 20cの変位を計測することができ、超電導線材 20の幅を検査することができる。

[0098] (実施の形態 6)

図 16は、本発明の実施の形態 6における超電導線材の検査装置の構成を模式的 に示す図である。図 16を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査装置 は、実施の形態 1〜4のいずれかに示す光方式検査装置の他に、渦電流式変位計 5 1をさらに備えている。渦電流式変位計 51は、交流発生部および渦電流式変位計用 出力部としての本体 53と、渦電流式変位計用コイルとしてのコイル 52aとを有してい る。プローブ 52は超電導線材 20に近接して表面 20aの上部に配置されており、コィ ル 52aはプローブ 52の先端に取り付けられている。コイル 52aはプローブ 52を介して 本体 53と電気的に接続されている。

[0099] 次に、渦電流式変位計 51による超電導線材 20の検査方法について説明する。

本体 53からコイル 52aに交流電圧が印加されると、コイル 52aには交流電流が流れ 、コイル 52aから発生する磁場 58は周期的に変動する。この磁場 58の変動により超 電導線材 20の表面 20aには渦電流 54が発生する。プローブ 52は超電導線材 20の 表面 20aに渦電流 54を発生させながら超電導線材 20の長手方向に相対的に移動 される。図 16ではプローブ 52は固定されており、超電導線材 20が図中右方向に移 動されている。これにより、超電導線材 20の長手方向に沿って超電導線材 20の表面 20aに渦電流 54が発生する。この渦電流 54の影響を受けて、コイル 52aの発振状態 は基準となる発振波形 (渦電流による影響のな 、状態での発振波形)から変化する。

[0100] ここで、超電導線材 20の表面 20aが厚み方向に変位して ヽな ヽ（欠陥のな!、）場合 には、コイル 52aから超電導線材 20の表面 20aまでの距離は大きぐ渦電流 54の影 響は小さいので、コイル 52aの発振状態の変化は図 17 (a)に示すように小さい。図 1 7 (a)においてコイルの発振波形 57は、基準となる発振波形 56からわずかに変化す る。具体的には、発振波形 57の振幅は発振波形 56の振幅よりもわずかに小さくなり 、発振波形 57の位相は発振波形 56の位相からわずかにずれる。一方、膨れ 55など の欠陥が発生し超電導線材 20の表面 20aが厚み方向に変位して 、る場合には、コ ィル 52aから超電導線材 20の表面 20aまでの距離は小さぐ渦電流 54の影響は大き くなるので、コイル 52aの発振状態の変化は図 17 (b)に示すように大きくなる。具体 的には、発振波形 57の振幅は発振波形 56の振幅に比べて非常に小さくなり、発振 波形 57の位相は発振波形 56の位相から大きくずれる。つまり、コイル 52aの発振状 態の変化の度合いは超電導線材 20の表面 20aの変位によって変化し、欠陥の有無 、サイズ、および形状によって変化する。

[0101] 本体 53は、渦電流 54の発生によるコイル 52aの発振状態の変化に基づいて、超電 導線材 20の表面 20aの位置を計算し、超電導線材 20の表面 20aの変位に関する情 報を出力する。その結果、超電導線材 20の表面 20aの欠陥が検出される。

[0102] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置は、コイル 52aに交流を流す本 体 53と、超電導線材 20に渦電流 54を発生させながら超電導線材 20の長手方向に 相対的に移動するコイル 52aと、渦電流 54の発生によるコイル 52aの発振状態の変 化に基づいて超電導線材 20の変位に関する情報を出力する本体 53とを有する渦 電流式変位計 51をさらに備えて 、る。

[0103] 本実施の形態における超電導線材 20の検査方法は、交流を流したコイル 52aを用 Vヽて超電導線材 20の長手方向に沿つて超電導線材 20に渦電流 54を発生させるェ 程と、渦電流 54の発生によるコイル 52aの発振状態の変化に基づ ヽて超電導線材 2 0の変位に関する情報を出力する工程とをさらに備えている。

[0104] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置および検査方法によれば、超電 導線材 20の表面 20aの変位に関する情報が得られるので、特に膨れ、曲がり、局所 幅変動、変形などの欠陥を感度よく検査することができる。また、欠陥を数値的に計 測することができ、欠陥の有無のみならず欠陥のサイズや形状を測定することができ る。その結果、超電導線材の検査をより効果的に行なうことができる。

[0105] また、超電導線材 20が幅方向（図 16中紙面に垂直な方向）に変位している場合に も渦電流 54の発生状態は変化し、コイル 52aの発振状態が変化する。したがって、 渦電流式変位計 51によれば、超電導線材 20の厚み方向の変位に加えて幅方向の 変位をも計測することができる。

[0106] なお、本実施の形態においては、コイル 52aに交流を流す交流発生部と、渦電流 5 4の発生によるコイル 52aの発振状態の変化に基づいて超電導線材 20の変位に関 する情報を出力する渦電流式変位計用出力部とがともに本体 53である場合につい て示したが、交流発生部および渦電流式変位計用出力部は別々の構成であっても よい。また、本実施の形態においては、コイル 52aの振幅の変化および位相の変化 の両方に基づいて超電導線材 20の表面 20aの位置が計算されている力 コイル 52a の振幅の変化または位相の変化の 、ずれか一方のみに基づ 、て超電導線材 20の 表面 20aの位置が計算されてもょ 、。

[0107] また、光方式検査装置および渦電流式変位計を以下のように用いて超電導線材 2 0の検査を行なってもよい。たとえば光方式検査装置で欠陥の発生部分を検査し、そ の場所の情報を渦電流式変位計に伝達し、渦電流式変位計にぉ 、て欠陥のサイズ や形状を測定してもよい。また、たとえば渦電流式変位計で曲がりなどの大きな欠陥 の有無を検査し、光方式検査装置においてピンホールなどの小さな欠陥の有無を検 查してもよい。このように用途によって光方式検査装置および渦電流式変位計の各 々の感度を調節すれば、コンピュータによる信号処理時間の短縮を図ることができ、 検査効率が向上する。

[0108] さらに、本実施の形態における渦電流式変位計用出力部としての機能はコンビュ ータ 5 (図 3)によって果たされてもよい。この場合、コイル 52aはコンピュータ 5と電気 的に接続される。これにより、 1台のコンピュータによって検査を行なうことができる。

[0109] (実施の形態 7)

図 18は、本発明の実施の形態 7における超電導線材の検査装置の構成を模式的 に示す断面図である。図 18を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査 装置は、実施の形態 1〜4のいずれかに示す光方式検査装置の他に、接触式変位 計 61をさらに備えている。接触式変位計 61は、プローブ 64と、鉄心 65と、 1次コイル 63と、接触式変位計用コイルとしての 2つの 2次コイル 62aおよび 62bと、接触式変 位計用出力部としての本体 66と、筐体 67とを有している。プローブ 64はその先端が 超電導線材 20の表面 20aに接触するように配置されており、プローブ 64の上部には 鉄心 65が取り付けられている。筐体 67は中空部分 67aのある円筒形状を有している 。プローブ 64の上部および鉄心 65は中空部分 67aの内部に配置されており、中空 部分 67aの内部において図中上下方向にスライド可能である。筐体 67には上から順 に 2次コイル 62a、 1次コイル 63、および 2次コイル 62bの各々が卷きつけられている 。 1次コイル 63および 2次コイル 62a, 62bの各々は本体 66と電気的に接続されてい る。

[0110] 図 19は図 18の接触式変位計の回路図である。図 19を参照して、 1次コイル 63が 一定周波数の交流電圧で励磁されると、鉄心 65により 2次コイル 62a, 62bの各々に 交流の誘起電圧が発生する。鉄心 65の上下方向の位置によって 2次コイル 62a, 62 bの各々に発生する誘起電圧は変化する。本体 66は 2つの誘起電圧の差 (交流電圧 )を検波して増幅し、直流電圧に変換する。つまり、接触式変位計 61は差動トランス の原理を利用している。

[0111] 次に、接触式変位計 61による超電導線材 20の検査方法について説明する。

図 18および図 19を参照して、プローブ 64は超電導線材 20の表面 20aに接触しな 力 Sら超電導線材 20の長手方向に相対的に移動される。図 18ではプローブ 64は固 定されており、超電導線材 20が図 18中右方向に移動されている。

[0112] ここで、超電導線材 20の表面 20aが厚み方向に変位していない（欠陥のない）場合 には、 2次コイル 62aと 2次コイル 62bとの中間部分に鉄心 65は位置しており、 2次コ ィル 62a, 62bには同じ大きさの誘起電圧が発生する。その結果、本体 66で得られる 直流電圧は 0Vとなる。一方、膨れ 68などの欠陥が発生し超電導線材 20の表面 20a が厚み方向に変位している場合には、プローブ 64および鉄心 65は表面 20aの変位 に連動して図 18および図 19中上下方向にスライドする。プローブ 64が上方向にスラ イドした場合、鉄心 65は 2次コイル 62aの方に移動し、 2次コイル 62aには 2次コイル 62bよりも大きな誘起電圧が発生する。その結果、本体 66で得られる直流電圧は正 の値となる。プローブ 64が下方向にスライドした場合、鉄心 65は 2次コイル 62bの方 に移動し、 2次コイル 62bには 2次コイル 62aよりも大きな誘起電圧が発生する。その 結果、本体 66で得られる直流電圧は負の値となる。プローブ 64の変位が大きいほど 本体 66で得られる直流電圧の大きさは大きくなる。

[0113] 本体 66は、直流電圧の正負および大きさに基づいて超電導線材 20の表面 20aの 変位に関する情報を出力する。その結果、超電導線材 20の表面 20aの欠陥が検出 される。

[0114] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置は、超電導線材 20に接触しなが ら超電導線材 20の長手方向に相対的に移動し、かつ超電導線材 20の変位に連動 するプローブ 64と、プローブ 64に取り付けられた鉄心 65と、鉄心 65の移動によって 誘導起電力を発生する 2次コイル 62a, 62bと、誘導起電力に基づいて超電導線材 2 0の変位に関する情報を出力する本体 66とを有する接触式変位計 61をさらに備えて いる。

[0115] 本実施の形態における超電導線材 20の検査方法は、鉄心 65が取り付けられたプ ローブ 64を超電導線材 20に接触させながら超電導線材 20の長手方向に相対的に 移動させ、プローブ 64を超電導線材 20に連動させる工程と、鉄心 65の移動によつ て 2次コイル 62a, 62bに誘導起電力を発生させ、誘導起電力に基づいて超電導線 材 20の変位に関する情報を出力する工程とをさらに備えている。

[0116] 本実施の形態における超電導線材 20の検査装置および検査方法によれば、超電 導線材 20の表面 20aの変位に関する情報が得られるので、特に膨れ、曲がり、局所 幅変動、変形などの欠陥を感度よく検査することができる。また、欠陥を数値的に計 測することができ、欠陥の有無のみならず欠陥のサイズや形状を測定することができ る。その結果、超電導線材の検査をより効果的に行なうことができる。

[0117] なお、本実施の形態においては、接触式変位計が図 19に示す回路を有している 場合について示したが、本発明の接触式変位計はこのような回路を有するものに限 られるものではなぐコイルに発生する誘導起電力に基づ!/、て超電導線材 20の変位 に関する情報を出力するものであればよい。

[0118] なお、光方式検査装置および接触式変位計を以下のように用いて超電導線材 20 の検査を行なってもよい。たとえば光方式検査装置で欠陥の発生部分を検査し、そ の場所の情報を接触式変位計に伝達し、接触式変位計にぉ 、て欠陥のサイズや形 状を測定してもよい。また、たとえば接触式変位計で曲がりなどの大きな欠陥の有無 を検査し、光方式検査装置においてピンホールなどの小さな欠陥の有無を検査して もよい。このように用途によって光方式検査装置および接触式変位計の各々の感度 を調節すれば、コンピュータによる信号処理時間の短縮を図ることができ、検査効率 が向上する。

[0119] また、本実施の形態における本体 66としての機能はコンピュータ 5 (図 3)によって 果たされてもよい。この場合、 1次コイル 63および 2次コイル 62a, 62bの各々はコン ピュータ 5と電気的に接続される。これにより、 1台のコンピュータによって検査を行な うことができる。

[0120] (実施の形態 8)

図 20は、本発明の実施の形態 8における超電導線材の検査装置の構成を模式的 に示す図である。図 20を参照して、本実施の形態における超電導線材の検査装置 は、実施の形態 1〜4のいずれかに示す光方式検査装置の他に、 3つの重心評価計 71〜73をさらに備えている。重心評価計 71〜73の各々は、超電導線材 20の長手 方向に沿ってこの順序で配置されており、レーザ光を照射するための照射部 74aと、 照射部 74aから照射されたレーザ光を受光するための受光部 74bとを有している。照 射部 74aの各々は超電導線材 20の表面 20aの上部に配置されており、受光部 74b の各々は超電導線材 20の裏面 20bの下部に配置されている。一対の照射部 74aと 受光部 74bとは同軸配置されている。また、重心評価計 71〜73は共通のコンビユー タ 75を有しており、重心評価計 71〜73の受光部 74bの各々はコンピュータ 75と電 気的に接続されている。

[0121] 次に、重心評価計 71〜73による超電導線材 20の検査方法について説明する。

図 21は超電導線材 20にたわみが発生して ヽな 、場合の超電導線材の中心位置 を示す図であり、図 22は超電導線材 20にたわみが発生している場合の超電導線材 の中心位置を示す図である。

[0122] 図 20および図 21を参照して、重心評価計 71の照射部 74aから、超電導線材 20の 表面 20aに対してレーザ光 F1が照射される。レーザ光 F1のスポット径は超電導線材 20の幅（図 21中縦方向の長さ）よりも大きくなつて 、る。レーザ光 F1のうち超電導線 材 20に照射された光は表面 20aで反射するので受光部 74bで受光されず、レーザ 光 F1のうち超電導線材 20に照射されな力つた光（図 21中 G1で示される部分の光） のみが受光部 74bで受光される。コンピュータ 75は、受光部 74bの受光パターン G1 に基づいて、レーザ光 F1の照射位置における超電導線材 20の幅および幅方向の 中心 (重心)位置 HIを測定し、出力する。

[0123] 重心評価計 72および 73の各々は、重心評価計 71と同様の原理で、レーザ光 F2 および F3の各々の照射位置における超電導線材 20の幅および幅方向の中心位置 H2、 H3を測定し、出力する。

[0124] ここで、レーザ光 F1の照射位置からレーザ光 F3の照射位置までの間において超 電導線材 20が幅方向に変位して 、な 、 (欠陥のな!、）場合には、レーザ光 F1〜F3 の各々の照射位置における中心位置 H1〜H3は、いずれも超電導線材 20の長手 方向に平行な直線 L上にある。一方図 22に示すように、レーザ光 F1の照射位置から レーザ光 F3の照射位置までの間においてたとえばたわみ 76などの欠陥が発生し、 超電導線材 20が幅方向に変位している場合には、中心位置 H1〜H3のうちいずれ カゝ（図では中心位置 H2)が直線 L上カゝら外れる。その結果、中心位置 H1〜H3に基 づいて超電導線材 20の表面 20aの欠陥が検出される。

[0125] 本実施の形態における検査装置は、超電導線材 20の長手方向に並んで配置され 、かつ超電導線材 20の幅方向の中心を測定する重心評価計 71〜73をさらに備え ている。

[0126] 本実施の形態における検査方法は、超電導線材 20の長手方向におけるレーザ光 F 1の照射位置における幅方向の中心位置 H 1を測定する工程と、超電導線材 20の 長手方向におけるレーザ光 F2の照射位置における幅方向の中心位置 H2を測定す る工程と、超電導線材 20の長手方向におけるレーザ光 F3の照射位置における幅方 向の中心位置 H3を測定する工程とをさらに備えている。

[0127] これにより、全ての中心位置 H1〜H3が直線 L上に存在しているカゝ否かを判別する ことにより、超電導線材の幅方向の長周期の変形 (たとえばたわみ、うねり、波うちな ど）を計測することができる。したがって、実施の形態 1〜4の光方式検査装置と組み 合わせることによりさまざまな種類の欠陥を検出することができ、検査工程の効率ィ匕 を図ることができる。

[0128] また、重心評価計 71〜73の各々によれば、受光部 74bの受光パターンによって、 レーザ光 F1〜F3の各々の照射位置における超電導線材 20の幅方向の変ィ匕も検出 することができる。 [0129] なお、本実施の形態においては、重心評価計 71〜73が受光部 74bの受光パター ンによって中心位置を測定する場合について示した力 重心評価計の原理はこのよ うなものに限定されるものではなぐ重心評価計としては超電導線材 20の幅方向の 中心位置を測定するものであればよ！、。

[0130] また、本実施の形態におけるコンピュータ 75としての機能はコンピュータ 5 (図 3)に よって果たされてもよい。この場合、受光部 74bの各々はコンピュータ 5と電気的に接 続される。これにより、 1台のコンピュータによって検査を行なうことができる。

[0131] また、実施の形態 1〜8では、検査対象物がテープ状の多芯線の酸ィ匕物超電導線 材である場合について説明したが、検査対象物は、 1本の酸化物超電導体フイラメン トがシース部により被覆された単芯線構造の酸ィ匕物超電導線材であってもよい。また 、検査対象物は、テープ状の超電導線材の他、圧延加工が施されていない丸線の 超電導線材であってもよ ヽ。

[0132] さらに、実施の形態 1〜8では検査対象物がビスマス系の酸ィ匕物超電導線材である 場合について示した力 ビスマス系の酸化物超電導線材の他、イットリウム系の酸ィ匕 物超電導線材であってもよぐ金属系の超電導線材であってもよい。本発明は、任意 形状の超電導線材の検査に広く適用することができる。

[0133] (実施の形態 9)

図 23は、本実施の形態における超電導線材の検査装置を概念的に示す図である 。図 23を参照して、本実施の形態の検査装置は、送りリール 81と、卷取りリール 82と 、実施の形態 1の光方式検査装置 10と、実施の形態 8の重心評価計 71〜73と、実 施の形態 5の 2つのレーザ式変位計 41と、実施の形態 6の渦電流式変位計 51とを備 えている。本実施の形態における超電導線材の検査装置において、超電導線材 20 は送りリール 81から卷取りリール 82へ送られ、その間に種々の検査 (インライン検査） がなされる。

[0134] 始めに超電導線材 20は、超電導線材 20の両側面に配置された渦電流式変位計 5 1によってその端面 20cの変位を測定され、たとえば曲がりなどの欠陥の有無が検査 される。次に超電導線材 20は、超電導線材 20の表面 20a側および裏面 20b側の各 々に配置されたレーザ式変位計 41によって厚み方向の変位が測定され、たとえば膨 れなどの欠陥の有無が検査される。レーザ式変位計 41の代わりに渦電流式変位計 5 1や実施の形態 7の接触式変位計 61が用いられてもよい。次に超電導線材 20は 3つ の重心評価計 71〜73によって長周期のたわみなどが検査される。また、幅方向の 変形の有無もあわせて検査される。次に超電導線材 20は、超電導線材 20の表面 20 a側および裏面 20b側の各々に配置された光方式検査装置 10によって、表面 20aお よび裏面 20bにおけるピンホールなどの欠陥の有無が検査される。その後、超電導 線材 20は卷取りリール 82に巻き取られる。

[0135] このように、実施の形態 1〜8における検査装置を適宜組み合わせることにより、超 電導線材 20に発生するさまざまな欠陥の有無を検査することができ、検査工程の効 率ィ匕を図ることができる。

[0136] 以下、本発明の実施例について説明する。

(実施例 1)

本実施例では、加圧窒素試験と、本発明の超電導線材の検査装置および検査方 法とを比較して、本発明の (光方式)検査装置および検査方法の効果を確認した。具 体的には、始めに以下の方法によって超電導線材を製造した。

[0137] Bi CO、 PbO、 SrCO、 CaCO、および CuOの原料粉末を、原子比が Bi： Pb : Sr

2 3 3 3

： Ca: Cu= l. 8 : 0. 3 : 1. 9 : 2. 0 : 3. 0となるように調整した。この原料粉末に対して 熱処理と粉砕とを繰り返し、 Bi2223相と非超電導相とにより構成される粉末を作製し た。次に、この粉末を銀パイプ内に充填し、銀パイプを伸線加工して単芯のクラッド 線を得た。次に、得られたクラッド線を 61本束ねて銀パイプに挿入し、この銀パイプ を伸線加工した。これにより、原料粉末がフィラメント状に充填された多芯線を得た。 次に、この多芯線を圧延加工し、銀比 1. 5、芯 61本、幅 4. 2mm、厚さ 0. 24mm, 長さ 400mのテープ状の多芯線を得た。次に、温度 840°Cの大気中において、テー プ状の多芯線を 50時間熱処理した。その後、多芯線を室温まで冷却し、 8%の圧下 率で再び圧延加工した。続いて、温度 835°Cの大気中において再び多芯線を 50時 間熱処理し、超電導線材を得た。

[0138] 次に、上記方法によって得られた超電導線材について、長手方向の臨界電流値の 分布を 4m間隔で測定した。臨界電流値は lcm当たり 1 Vの電圧を印加した場合 の値である。臨界電流値の測定の結果、図 24に示すように、線材の長手方向につい ての臨界電流値の分布はほぼ均一であった。

[0139] 続 、て、超電導線材の表面に存在する表面キズや、変色部分や、ピンホールなど の欠陥を目視にて検査した。その結果、超電導線材の表面には 100 m以上の直 径の欠陥が 17個存在した。

[0140] 続 、て、超電導線材に対して、従来の検査方法である加圧窒素試験を複数回繰り 返し、バルーニングの発生力ら欠陥の有無を検査した。加圧窒素試験の回数と、パ ルーニングの発生した箇所の数との関係を表 1に示す。また、 1回目の加圧窒素試験 直後において、長手方向の臨界電流値の分布を 4m間隔で測定した。この結果を図 25に示す。

[0141] [表 1]

[0142] 表 1および図 25を参照して、 1回目の加圧窒素試験の直後においては、線材の長 手方向位置が約 40m、約 280m、および約 320mの 3箇所において、バルーニング が発生している。つまり、 1回の加圧窒素試験では、 17個の欠陥のうち 3個の欠陥し か検出できな力つた。また、 10回の加圧窒素試験を行なっても、 17個の欠陥のうち 9 個の欠陥し力検出できな力つた。このことから、加圧窒素試験では、全ての欠陥を検 出することができなレ、ことが分かる。

[0143] 続いて、実施の形態 1に示す超電導線材の検査装置および検査方法を用いて、欠 陥の有無を検査した。その結果、 17個の欠陥の全てを検出することができた。以上 の結果から、本発明の超電導線材の検査装置および検査方法は、従来の加圧窒素 試験に比べて、小さな欠陥のある超電導線材を感度よく検査することができることが 分かる。

[0144] (実施例 2) 本実施例では、超電導線材の照射部が同軸照射部であることの効果と、斜方照射 部であることの効果とを調べた。具体的には、実施例 1と同様の方法により超電導線 材を製造した。得られた超電導線材には、図 26 (a)に示すような変色部分 28および ピンホール 29や、図 26 (b)に示すような表面キズ 27が発生していることが目視にて 確認された。続いて、この超電導線材について、以下の 3つの検査装置を用いて欠 陥を検査した。この結果を表 2に示す。

[0145] 検査装置 A:実施の形態 1の構成の検査装置（同軸照射部を備えた検査装置)。

検査装置 B：実施の形態 2の構成の検査装置 (斜方照射部を備えた検査装置)。

[0146] 検査装置 C :照射部としてドーム照明を用いた検査装置。なお、ドーム照明とは、 L EDに比べて光の指向性が弱い照明であり、 LEDに比べて広範囲に光を照射する 照明である。

[0147] [表 2]

1 ：感度よく検出できた場合、 2 :検出できた場合

[0148] 表 2を参照して、検査装置 A〜Cのいずれを用いた場合でも、欠陥を検出すること ができた。特に検査装置 Aでは表面変色およびピンホールを感度よく検出することが できた。検査装置 Aを用いた場合には、図 26 (a)の変色部分 28およびピンホール 2 9が、図 27 (a)に示すように明確に検出された。また、特に検査装置 Bでは表面キズ を感度よく検出することができた。検査装置 Bを用いた場合には、図 26 (b)の表面キ ズ 27が、図 27 (b)に示すように明確に検出された。

[0149] (実施例 3)

本実施例では、実施の形態 7に示す接触式変位計の効果を確認した。具体的には 、始めに以下の方法によって超電導線材を製造した。

[0150] Bi CO、 PbO、 SrCO、 CaCO、および CuOの原料粉末を、原子比が Bi： Pb : Sr

2 3 3 3

： Ca: Cu= l. 8 : 0. 3 : 1. 9 : 2. 0 : 3. 0となるように調整した。この原料粉末に対して 熱処理と粉砕とを繰り返し、 Bi2223相と非超電導相とにより構成される粉末を作製し た。次に、この粉末を銀パイプ内に充填し、銀パイプを伸線加工して単芯のクラッド 線を得た。次に、得られたクラッド線を 61本束ねて銀パイプに挿入し、この銀パイプ を伸線加工した。これにより、原料粉末がフィラメント状に充填された多芯線を得た。 次に、この多芯線を圧延加工し、銀比 2. 5、芯 61本、幅 4. Omm、厚さ 0. 26mm, 長さ 1300mのテープ状の多芯線を得た。次に、温度 840°Cの大気中において、テ ープ状の多芯線を 50時間熱処理した。その後、多芯線を室温まで冷却し、 10%の 圧下率で再び圧延加工した。その結果、幅 4. 2mm,厚さ 0. 24mmの多芯線を得た 。続いて、温度 835°Cの大気中において再び多芯線を 50時間熱処理し、超電導線 材を得た。

[0151] 続いて、実施の形態 1に示す光方式検査装置および検査方法を用いて、欠陥の有 無を検査した。その結果、ピンホールや表面キズなどの欠陥は検出されな力つた。次 に、実施の形態 7に示す接触式変位計およびこれを用いた検査方法を用いて、超電 導線材の厚さ方向の変位を測定した。変位の測定は超電導線材の長手方向に沿つ て 2mmごとに行なわれた。この結果を図 28に示す。

[0152] 図 28を参照して、線材厚みが 0. 25mmを超える部分が 7箇所検出された。変位測 定後にこれらの箇所を目視にて観察したところ、熱処理によって発生した膨れが確認 された。膨れは超電導電流を低下させる不良部である。

[0153] 以上の結果から、本発明の渦電流式変位計によれば、膨れなどの欠陥を精度よく 検出できることが分かる。

[0154] (実施例 4)

本実施例では、実施の形態 5に示すレーザ式変位計の効果を確認した。具体的に は、実施例 3で製造した超電導線材 20に対し、実施の形態 5に示すレーザ式変位計 およびこれを用いた検査方法を用いて、超電導線材の幅方向の変位を測定した。変 位の測定は超電導線材の長手方向に沿って 2mmごとに行なわれた。この結果を図 29に示す。

[0155] 図 29を参照して、線材の幅が 4. 25mmを超える部分力 箇所検出された。変位測 定後にこれらの箇所を目視にて観察したところ、局所的に幅が大きくなつていることが 確認された。

[0156] 以上の結果から、本発明のレーザ式変位計によれば、幅方向の変形などの欠陥を 精度よく検出できることが分力る。

[0157] (実施例 5)

本実施例では、実施の形態 8に示す重心評価計の効果を確認した。具体的には、 実施例 3で製造した超電導線材 20に対し、実施の形態 8に示す 3つの重心評価計 およびこれを用 Vヽた検査方法を用いて、超電導線材の幅方向の中心位置を測定し た。そしちえ、両側の 2つの重心評価計（図 20における重心評価計 71および 73)によ り計算される中心位置と、中央の重心評価計（図 20における重心評価計 72)により 計算される中心位置との差を出力した。この結果を図 30に示す。

[0158] 図 30を参照して、 28m付近の線材部位においてピークが検出された。検査後にこ の箇所を観察したところ、曲率半径 20000m以上の曲がりが確認された。

[0159] 以上の結果から、本発明の重心評価計によれば、長周期の線材の曲がりを精度よ く検出できることが分かる。

[0160] 以上に開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的 なものではないと考慮されるべきである。本発明の範囲は、以上の実施の形態および 実施例ではなぐ請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲 内でのすべての修正や変形を含むものと意図される。

産業上の利用可能性

[0161] 本発明は、任意形状の超電導線材の検査に広く適用することができ、特にテープ 状の酸化物超電導線材の検査に好適である。

Claims

請求の範囲

[1] 超電導線材 (20)に光を照射する照射部（1, 2)と、

前記超電導線材からの光を受光する受光部（3)と、

前記受光部にて受光した光の光量を積算して出力する出力部（5)とを備える、超 電導線材の検査装置（10)。

[2] 前記受光部（3)は、前記超電導線材 (20)からの反射光 (B1)を主として受光する 反射光受光部である、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[3] 前記受光部（3)は、前記超電導線材 (20)からの散乱光 (C2)を主として受光する 散乱光受光部である、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[4] 前記照射部（1)は、前記超電導線材 (20)の表面（20a)の法線方向に光を照射す る同軸照射部である、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[5] 前記照射部（3)は、前記超電導線材 (20)の表面（20a)の法線方向と角度をなす 方向に光を照射する斜方照射部である、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の 検査装置。

[6] 請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置を 2つ以上備える、超電導線材 の検査装置。

[7] 前記超電導線材 (20)にレーザ光 (D)を照射しながら前記超電導線材の長手方向 に相対的に移動するレーザ光照射部 (43)と、前記超電導線材で反射した前記レー ザ光 (E)を受光するレーザ光受光部 (44)と、前記レーザ光受光部における受光位 置に基づいて前記超電導線材の変位に関する情報を出力するレーザ式変位計用出 力部 (45)とを有するレーザ式変位計 (41)をさらに備える、請求の範囲第 1項に記載 の超電導線材の検査装置。

[8] 渦電流式変位計用コイル (52a)に交流を流す交流発生部（53)と、前記超電導線 材 (20)に渦電流（54)を発生させながら前記超電導線材の長手方向に相対的に移 動する前記渦電流式変位計用コイルと、前記渦電流の発生による前記渦電流式変 位計用コイルの発振状態の変化に基づいて前記超電導線材の変位に関する情報を 出力する渦電流式変位計用出力部 (53)とを有する渦電流式変位計をさらに備える 、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[9] 前記超電導線材 (20)に接触しながら前記超電導線材の長手方向に相対的に移 動し、かつ前記超電導線材の変位に連動するプローブ (64)と、前記プローブに取り 付けられた鉄心 (65)と、前記鉄心の移動によって誘導起電力を発生する接触式変 位計用コイル (62a、 62b)と、前記誘導起電力に基づいて前記超電導線材の変位に 関する情報を出力する接触式変位計用出力部 (66)とを有する接触式変位計をさら に備える、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[10] 前記超電導線材 (20)の長手方向に並んで配置され、かつ前記超電導線材の幅 方向の中心 (H1〜H3)を測定する第 1〜第 3の重心評価計 (71〜73)をさらに備え る、請求の範囲第 1項に記載の超電導線材の検査装置。

[11] 超電導線材 (20)の表面（20a)の法線方向に光を照射する同軸照射部（1)と、 前記超電導線材（20)の表面（20a)の法線方向と角度をなす方向に光を照射する 斜方照射部 (2)と、

前記超電導線材 (20)からの反射光 (B1)を主として受光する反射光受光部（3)と、 前記超電導線材 (20)からの散乱光 (C2)を主として受光する散乱光受光部（3)と 前記反射光受光部および前記散乱光受光部にて受光した光の光量を積算して出 力する出力部 (5a)とを備える、超電導線材の検査装置。

[12] 請求の範囲第 11項に記載の超電導線材の検査装置を 2つ以上備える、超電導線 材の検査装置。

[13] 超電導線材 (20)に光を照射する照射工程と、

前記超電導線材からの光を受光する受光工程と、

受光した光の光量を積算して出力する出力工程とを備える、超電導線材の検査方 法。

[14] 前記受光工程にお!、て、前記超電導線材 (20)からの反射光を主として受光する、 請求の範囲第 13項に記載の超伝導線材の検査方法。

[15] 前記受光工程にぉ 、て、前記超電導線材 (20)からの散乱光を主として受光する、 請求の範囲第 13項に記載の超伝導線材の検査方法。

[16] 前記照射工程において、前記超電導線材（20)の表面（20a)の法線方向に光を照 射する、請求の範囲第 13項に記載の超電導線材の検査方法。

[17] 前記照射工程において、前記超電導線材（20)の表面（20a)の法線方向と角度を なす方向に光を照射する、請求の範囲第 13項に記載の超電導線材の検査方法。

[18] 前記超電導線材 (20)の長手方向に沿ってレーザ光 (D)を照射する工程と、

前記超電導線材で反射した前記レーザ光 (E)を受光する工程と、

前記レーザ光を受光した位置に基づいて前記超電導線材の変位に関する情報を 出力する工程とをさらに備える、請求の範囲第 13項に記載の超電導線材の検査方 法。

[19] 交流を流した渦電流式変位計用コイル (52a)を用いて前記超電導線材 (20)の長 手方向に沿って前記超電導線材に渦電流（54)を発生させる工程と、

前記渦電流の発生による前記渦電流式変位計用コイルの発振状態の変化に基づ いて前記超電導線材の変位に関する情報を出力する工程とをさらに備える、請求の 範囲第 13項に記載の超電導線材の検査方法。

[20] 鉄心（65)が取り付けられたプローブ（64)を前記超電導線材 (20)に接触させなが ら前記超電導線材の長手方向に相対的に移動させ、前記プローブを前記超電導線 材に連動させる工程と、前記鉄心の移動によって接触式変位計用コイル (62a、 62b )に誘導起電力を発生させ、前記誘導起電力に基づいて前記超電導線材の変位に 関する情報を出力する工程とをさらに備える、請求の範囲第 13項に記載の超電導線 材の検査方法。

[21] 前記超電導線材 ( 20)の長手方向における第 1の位置における幅方向の中心 (H 1 )を測定する工程と、

前記超電導線材の長手方向における第 2の位置における幅方向の中心 (H2)を測 定する工程と、

前記超電導線材の長手方向における第 3の位置における幅方向の中心 (H3)を測 定する工程とをさらに備える、請求の範囲第 13項に記載の超電導線材の検査方法。