WO2006088150A1 - ガラス基板検査装置および検査方法 - Google Patents

ガラス基板検査装置および検査方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2006088150A1
WO2006088150A1 PCT/JP2006/302865 JP2006302865W WO2006088150A1 WO 2006088150 A1 WO2006088150 A1 WO 2006088150A1 JP 2006302865 W JP2006302865 W JP 2006302865W WO 2006088150 A1 WO2006088150 A1 WO 2006088150A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
glass substrate
hole
image
edge
camera
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2006/302865
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Shinichi Okamura
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central Glass Co Ltd filed Critical Central Glass Co Ltd
Publication of WO2006088150A1 publication Critical patent/WO2006088150A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination

Definitions

  • the present invention relates to a glass substrate inspection apparatus used for a flat panel display, and more particularly to an inspection apparatus and an inspection method for performing dimensional inspections for hole processing and notch processing of a glass substrate using a camera and an image processing apparatus.
  • a glass substrate used in a flat panel display such as a liquid crystal display or a plasma display has a shape in which a glass plate is cut into a rectangle and a corner of the glass plate called an orientation flat is cut out.
  • the through hole has a hole force at a position close to.
  • Patent Document 1 discloses a technique for optically inspecting a shape 'dimension. The purpose of this optical system is to recognize the shape, and it is difficult to detect defects.
  • Patent Document 2 discloses an apparatus for detecting the defect of the cut portion of the glass plate by detecting the light of the formed portion.
  • Patent Document 3 discloses an apparatus for detecting a defect of a glass substrate by performing binary processing on the result.
  • Patent Document 4 a moving light-transmitting sheet is imaged with a line camera, and a hole in the light-transmitting sheet is detected as a defect in the light-transmitting sheet. The method is disclosed.
  • Patent Document 1 JP-A-6-137815
  • Patent Document 2 JP-A-11-169343
  • Patent Document 3 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-98122
  • Patent Document 4 Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-304724
  • the illumination method and the image processing are different in the inspection of the shape 'dimension and the inspection of the defect, and the notch or the through hole of the glass substrate used for the flat panel display is different.
  • the shape inspection and the inspection of defects that occur at the edge of the through hole must be performed by separate devices, and the inspection of notches and through hole shapes and the inspection of defects that occur at the edge of the through hole are performed with one device. It was difficult.
  • the present invention inspects a notch and a hole shape determined by a design specification and a defect generated at an edge of a through hole naturally generated by processing of the through hole with a single inspection device.
  • the issue is to provide an inspection device.
  • a glass substrate inspection apparatus of the present invention is a glass substrate inspection apparatus used for a flat panel display, wherein the glass substrate is notched in a corner portion and processed in a through hole.
  • a stopping device that stops the glass substrate at a predetermined position in the middle of the conveying device that conveys the glass substrate, and one surface force of the stopped glass substrate
  • a straight line that is arranged perpendicular to the conveying direction of the glass substrate
  • An upper illuminator and an optical axis that is provided on the opposite side of the illuminator across the glass substrate and is movable in parallel to the glass substrate in a direction perpendicular to the conveyance direction of the glass substrate.
  • FIG. 1 is a plan view schematically showing a glass substrate.
  • FIG. 2 is a schematic view showing an inspection apparatus of the present invention.
  • FIG. 3 is a diagram schematically showing a binarized image of notches.
  • FIG. 4 is a diagram schematically showing a binarized image of a through hole.
  • FIG. 5 is a graph showing the size of the dark part numerically indicated at the edge part of the through hole.
  • the glass substrate inspection apparatus and inspection method of the present invention provide an apparatus for easily inspecting a glass substrate for a flat panel display, which has been subjected to notch processing and through-hole processing.
  • the glass substrate has a rectangular corner called an orientation flat so that the front and back sides and orientation of the glass substrate can be distinguished.
  • notches 4, 5, 6, and 7 are processed.
  • drilling force is provided to provide through holes 2 and 3 to fill the gas. These notches and through-holes are machined into a predetermined position and a predetermined size based on the design specifications of the glass substrate.
  • the glass substrate inspection apparatus of the present invention inspects the notch and the shape of the through hole of the glass substrate and the defect of the edge of the through hole, and a stop device for stopping the substrate being conveyed,
  • An image capturing device comprising a scattered light source that illuminates the glass substrate and a camera that images the glass substrate illuminated by the scattered light, and the camera is moved to a predetermined position to image the notch or the through-hole.
  • an image processing device for analyzing the captured camera image.
  • FIG. 2 shows an example of the inspection apparatus of the present invention.
  • the glass substrate 1 is moved by the transport roll 8 in the direction indicated by the arrow in the figure, and the inspection is performed by stopping the glass substrate 1 with a stop device (not shown).
  • the stop device stops the glass substrate 1 when the notch or the through hole comes to the position of the camera 9 in the transport direction.
  • the stop device may use an optical glass substrate edge detection device to automatically stop the transport roll 8 and stop the glass substrate based on a signal for detecting the edge of the glass substrate 1.
  • a physical stop object may be used so that the glass substrate stops by stopping the transport roll 8 when the glass comes into contact with the stop object.
  • the physical stop object should be able to be taken in and out after the inspection is completed so that it can be transported by the transport roll again.
  • the scattered light source 10 that illuminates the stopped glass substrate 1 with the scattered light 13, and the scattered light 13 is installed on the side that transmits the glass substrate 1, and is illuminated with the scattered light 13.
  • the image of the glass substrate 1 is captured using an image capturing device including a camera 9 for imaging the glass substrate 1.
  • an area camera as the camera 9 for imaging notches and through-holes in the glass substrate 1 stopped by the stopping device.
  • a telecentric lens so that the side surface of the through hole is not captured when imaging the through hole.
  • the glass substrate 1 stopped by the stopping device is illuminated from below by a linear illuminator 15, and the through hole and corner cutout of the glass substrate 1 are imaged by the camera 9 above the glass substrate 1. .
  • the illuminator is composed of a scattered light source 10 and a box cover 11, and it is desirable to use a straight fluorescent lamp as the scattered light source 10, but other light sources can be used as long as they can be illuminated with scattered light. Good. Further, in order to make the illumination of the scattered light 13 uniform, it is preferable to provide a diffusion plate 14 between the scattered light source 10 and the glass substrate 1.
  • the camera 9 is installed so that the optical axis of the camera 9 is perpendicular to the glass substrate 1.
  • the camera 9 can be moved parallel to the glass substrate in a direction perpendicular to the conveyance direction of the glass substrate by the conveyance roll 8 by a moving device (not shown).
  • a moving device not shown.
  • fluorescent lamp 11 use a spot illuminator that can move in conjunction with camera 9.
  • An image captured by the camera 9 shown in FIG. 2 is binarized into bright and dark by the image processing device 12, and the binarized image is used to form the shape of the notch or the through hole. Inspection and inspection of defects at the edge of the through hole are performed. As shown in FIG. 3, the cutout image 20 has corners cut out to form an oblique edge 22. Many glass substrates have a chamfer 21 processed, and the chamfer 21 is displayed as dark in the cutout image 20.
  • the shape inspection of the notch can be performed as follows.
  • the width of the chamfer 21 can be measured, and the chamfered shape inspection can be performed.
  • FIG. 4 is an image of the through hole 30.
  • the glass substrate 1 is stopped by a stop device in the glass substrate transport direction so that the through hole 30 is directly below the camera 9, and the camera 9 is moved. Obtained by imaging through-hole 30.
  • the glass substrate 1 is supported by a suction support device including a suction cup or a suction pad, and the suction support device is supported by a moving device including a servo motor or a pulse motor and a motor controller. It is preferable to provide a moving device that can move with high accuracy.
  • the glass substrate inspection apparatus of the present invention is configured such that the movement of the camera 9 can be moved in parallel to the glass substrate 1 in a direction perpendicular to the transport direction. Furthermore, it is preferable to provide a moving device that allows the camera 9 to move in parallel with the glass substrate 1 in the same direction as the conveyance direction of the glass substrate 1 and to move in the direction perpendicular to the glass substrate 1. .
  • the center of the through hole 30 and the optical axis of the camera 9 are obtained by determining the position of the through hole 30 in the image of the camera 9 by image processing, and based on the position of the through hole 30, the camera 9 and the Z or glass substrate It can be matched by one mobile device.
  • the vicinity of the edge of the through hole 30 appears as a dark portion 31 in the image. Defective edge of through hole 30
  • the camera is installed perpendicular to the glass substrate, and detection is possible regardless of which side of the glass substrate the defect is on.
  • the inspection of the shape of the through hole 30 and the inspection of defects can be performed as follows, for example.
  • the coordinates of the center P4 of the through hole 30 and the radius rl of the through hole 30 are also measured by the image data force, and the quality and position of the through hole 30 are inspected based on the difference from the design specification value. .
  • defects called cracks or chips may occur at the edge of the through hole 30 due to the processing of the through hole 30.
  • Such a defect appears in the image as a dark part 32 that is larger than the dark part 31 of the non-defective edge in the image.
  • An edge defect of the through hole 30 can be detected as follows.
  • a reference line is hypothesized in an appropriate direction parallel to the surface of the glass substrate from the center P4 of the through hole, and the reference line is rotated clockwise on the glass substrate surface.
  • the image power is also measured for the dark part width t near the edge.
  • the width t of the dark part of the defect is larger than the width t of the dark part of the non-defective edge.
  • a light shielding plate (not shown) is provided between the diffusion plate 14 and the glass substrate 1, and the width of illumination illuminated with the scattered light 13 on a straight line is It is preferable to set the field of view of camera 9 to 1.5 to 3 times, more preferably about 2 times.
  • the illumination width of the scattered light 13 is larger than 3 times the field of view of the camera 9, the brightness of the image of the defect becomes brighter, making it difficult to distinguish by binary values. There is a risk that the illumination will be reflected in the entire field of view of the camera 9, illumination unevenness may occur, and the inspection accuracy may soon decrease.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

　フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板検査装置であって、該ガラス基板はコーナー部の切り欠き加工と貫通孔の孔加工とがされており、該ガラス基板を搬送する搬送装置の途中に該ガラス基板を所定の位置に停止させる停止装置と、停止させられた該ガラス基板の一方の面から該ガラス基板の搬送方向に直角に配設される直線上の照明器と、該ガラス基板を挟んで該照明器と反対側に設けられる、該ガラス基板の搬送方向に対して直角方向に、ガラス基板に平行に移動可能な、光軸をガラス基板に垂直に向けられているカメラとからなる画像取り込み装置と、該画像取り込み装置によって取り込まれる該ガラス基板のコーナーの切り欠きと貫通孔との画像を処理する画像処理装置とで構成されていることを特徴とするガラス基板検査装置が提供される。

Description

明 細 書
ガラス基板検査装置および検査方法
技術分野
[0001] 本発明は、フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板検査装置に関し、特に ガラス基板の孔加工および切り欠き加工の寸法検査をカメラと画像処理装置を用い て行う検査装置および検査方法に関する。
発明の背景
[0002] 液晶表示器やプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイに用いられる ガラス基板は、ガラス板を矩形に切断し、さらに、オリフラと呼ばれるガラス板のコーナ 一部が切り欠かれた形状にされ、辺に近い位置に貫通孔の孔力卩ェが施されている。
[0003] このようなガラス基板において、切り欠きの大きさ、形、さらに貫通孔の位置 '大きさ が所望の通りになされていないと、表示器の組み立て時に不具合を生じ、また、貫通 孔のエッジにハマやカケと 、われる欠陥があると、ガラス基板が破損すると 、う不具 合を生じる。
[0004] このため、ガラス基板に施されている切り欠きと貫通孔の加工部に対して、切り欠き の大きさ、形、さらに貫通孔の位置 '大きさ、貫通孔エッジ付近の欠陥の有無を検査 する必要がある。
[0005] 形状'寸法の検査を光学的に行う技術が特許文献 1に開示されている。この光学系 は、形状を認識することを目的としており、欠陥を検出することが困難である。
[0006] ガラス基板の検査装置として、ガラス板の進行方向に対して斜め方向に配設した照 明器でガラス板を照明し、照明器に平行な視野を有するラインカメラでガラス板の照 明された部分の光を検出して、ガラス板の切り口の欠点を検出する装置が特許文献 2に開示されている。
[0007] また、ガラス板を移動と回転が可能なステージに固定し、様々な角度でガラス基板 をファイバー照明し、ガラス基板に垂直な方向と斜めの方向から CCDカメラで撮像し 、撮像された結果を 2値ィ匕処理して、ガラス基板の欠陥を検出する装置が特許文献 3 に開示されている。 [0008] 特許文献 2や 3に開示されている装置では、基板に存在する各種の欠陥を検出す ることができても、オリフラと呼ばれる切り欠きの形を検査するのは困難である。
[0009] さらに、光透過性シートを対象として、特許文献 4に、移動中の光透過性シートをラ インカメラで撮像し、光透過性シート中の欠陥として、光透過性シートの穴の検出方 法が開示されている。
[0010] この方法では、欠陥としての穴の位置や大きさをとらえることができても、加工されて いる貫通孔の位置や大きさの寸法精度や貫通孔のエッジの欠陥を検査することは困 難である。
特許文献 1 :特開平 6— 137815号公報
特許文献 2 :特開平 1一 169343号公報
特許文献 3：特開 2003— 98122号公報
特許文献 4：特開平 11― 304724号公報
発明の概要
[0011] 従来の検査装置では、形状'寸法の検査と欠陥の検出を目的とする検査では、照 明方法と画像処理が異なっており、フラットパネルディスプレイに用いるガラス基板の 切り欠きや貫通孔の形状の検査と貫通孔のエッジに生じる欠陥の検査を別々の装置 で行わねばならず、一つの装置で、切り欠きや貫通孔の形状の検査と貫通孔のエツ ジに生じる欠陥の検査を行うことが困難であった。
[0012] 本発明は、設計仕様書で決められている切り欠きと孔の形状と、貫通孔の加工で自 然発生的に生じる貫通孔のエッジに生じる欠陥とを、一つの検査装置で検査できる 検査装置の提供を課題とする。
[0013] 本発明のガラス基板検査装置は、フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基 板検査装置であって、該ガラス基板はコーナー部の切り欠き加工と貫通孔の孔加工 とがされており、該ガラス基板を搬送する搬送装置の途中に該ガラス基板を所定の 位置に停止させる停止装置と、停止させられた該ガラス基板の一方の面力 該ガラス 基板の搬送方向に直角に配設される直線上の照明器と、該ガラス基板を挟んで該照 明器と反対側に設けられる、該ガラス基板の搬送方向に対して直角方向に、ガラス 基板に平行に移動可能な、光軸をガラス基板に垂直に向けられているカメラとからな る画像取り込み装置と、該画像取り込み装置によって取り込まれる該ガラス基板のコ ーナ一の切り欠きと貫通孔との画像を処理する画像処理装置とで構成されることを特 徴とするガラス基板検査装置である。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]ガラス基板を模式的に示す平面図である。
[図 2]本発明の検査装置を示す概略図である。
[図 3]切り欠きの 2値化された画像を模式的に示す図である。
[図 4]貫通孔の 2値化された画像を模式的に示す図である。
[図 5]貫通孔のエッジ部の数値ィ匕された暗部の大きさを示すグラフである。
詳細な説明
[0015] 本発明のガラス基板検査装置および検査方法は、切り欠き加工と貫通孔の孔加工 とが施されている、フラットパネルディスプレイ用のガラス基板を、簡便に検査できる 装置を提供する。
[0016] フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板は、ほとんどが矩形であり、図 1 に示すように、ガラス基板の表裏、向きを判別できるようにするための、オリフラと呼ば れる、矩形の角に対して切り欠き 4、 5、 6、 7の加工が行われている。また、ガスを充 填するための貫通孔 2、 3を設ける穴空け力卩ェが行われている。これらの切り欠きや 貫通孔は、ガラス基板の設計仕様書に基づいて所定の位置に所定の大きさで加工 される。
[0017] 本発明のガラス基板検査装置は、前記ガラス基板の切り欠きと貫通孔の形状と貫 通孔のエッジの欠陥を検査するものであり、搬送中の基板を停止させる停止装置と、 該ガラス基板を照明する散乱光光源と散乱光で照明された該ガラス基板を撮像する カメラとでなる画像取り込み装置と、該カメラを切り欠きあるいは貫通孔を撮像するた めに所定の位置に移動するための移動装置と、撮像したカメラの画像を解析する画 像処理装置とからなる。
[0018] 図 2は、本発明の検査装置の一例を示すものである。ガラス基板 1は、搬送ロール 8 により図の矢印で示す方向に移動され、検査は、ガラス基板 1を図示しない停止装置 で停止させて行う。 [0019] 停止装置は、切り欠きや貫通孔が搬送方向のカメラ 9の位置に来たときに、ガラス 基板 1を停止させる。該停止装置は、光学的なガラス基板のエッジ検出装置を用い て、ガラス基板 1のエッジを検出する信号に基づき、 自動的に搬送ロール 8を止めて ガラス基板を停止するようにしてもよぐまた、物理的な停止物体を用いて、停止物体 にガラスが接触したときに搬送ロール 8を止めてガラス基板が停止するようにしてもよ い。物理的な停止物体は、検査が終了した後は再度搬送ロールでの搬送を可能に するために、出し入れが可能にしておく。
[0020] 図 2に示すように、停止したガラス基板 1を散乱光 13で照明する散乱光光源 10と、 散乱光 13がガラス基板 1を透過する側に設置され、散乱光 13で照明されるガラス基 板 1を撮像するためのカメラ 9とでなる画像取り込み装置を用いて、ガラス基板 1の画 像を取り込む。
[0021] 停止装置によって停止しているガラス基板 1の、切り欠きや貫通孔を撮像するため のカメラ 9には、エリアカメラを用いることが好ましい。さらに、貫通孔を撮像するときに 、貫通孔の側面が写らないようにするために、テレセントリックレンズを用いることが好 ましい。
[0022] 停止装置で停止されたガラス基板 1を下から直線上の照明器 15で照明し、ガラス 基板 1の上方カゝらガラス基板 1の貫通孔と角の切り欠きをカメラ 9で撮像する。
[0023] 照明器は、散乱光光源 10とボックスカバー 11とで構成され、散乱光光源 10として、 直線上の蛍光灯を用いることが望ましいが、散乱光で照明できれば他の光源を用い てもよい。さらに、散乱光 13の照明を均一化するために、散乱光光源 10とガラス基板 1との間に拡散板 14を設けることが好ましい。
[0024] カメラ 9は、ガラス基板 1に対してカメラ 9の光軸が垂直になるように設置されて 、る。
さらに、カメラ 9は図示しない移動装置により、ガラス基板の搬送ロール 8による搬送 方向に対して、直角の方向に、ガラス基板に対して平行に移動可能としている。蛍光 灯 11の代わりに、カメラ 9と連動して移動可能なスポット照明器を用いてもょ 、。
[0025] 図 2に示すカメラ 9で撮像された画像は、画像処理装置 12によって、明と暗の 2値 化処理され、 2値化処理した画像を用いて、切り欠きや貫通孔の形状の検査や貫通 孔エッジに生じる欠陥の検査が行われる。 [0026] 切り欠きの画像 20は、図 3に示すように、角が切り取られて斜めのエッジ 22となって いる。多くのガラス基板は面取り 21の加工がされていて、面取り 21の部分は、切り欠 きの画像 20では暗として表示される。
[0027] 切り欠きの画像から、例えば次のようにして、切り欠きの形状検査を行うことが出来 る。
[0028] 切り欠きのエッジライン 22と、切り欠き以外のエッジライン 23およびエッジライン 24と の交点 PI, P2の座標、および、エッジライン 23とエッジライン 24との延長線上の交 点 P3の座標を求めることで三角形 Pl、 P2、 P3が計測され、切り欠きの大きさと形が 求められ、設計仕様書の値と比較して、差異が許容以下力どうかで良否を判定する ことが可能となる。
[0029] さらに、本発明のガラス基板検査装置では、面取り 21の幅も計測でき、面取りの形 状検査が可能である。
[0030] 図 4は、貫通孔 30の画像で、ガラス基板 1を貫通孔 30がカメラ 9の真下になるように 、ガラス基板の搬送方向に停止装置で停止させるとともに、カメラ 9を移動させ、貫通 孔 30を撮像して得られる。
[0031] 貫通孔の検査を良好に行うために、貫通孔 30の中心 P4とカメラ 9の光軸を一致さ せることが望ましい。
[0032] このため、ガラス基板 1は、吸盤あるいは吸着パッド等でなる吸着支持装置を用い て支持し、該吸着支持装置をサーボモーターあるいはパルスモーターなどとモータ の制御器とからなる移動装置で高精度に移動できるような移動装置を設けることが好 ましい。
[0033] 本発明のガラス基板検査装置は、カメラ 9の移動が、搬送方向に対し直角方向で、 ガラス基板 1に平行に移動できるようにしている。さら〖こ、カメラ 9をガラス基板 1に平 行でガラス基板 1の搬送方向と同じ方向の移動や、ガラス基板 1に垂直な方向の移 動を可能にする移動装置を設けておくことが好ましい。
[0034] 貫通孔 30の中心とカメラ 9の光軸とは、カメラ 9の画像において貫通孔 30の位置を 画像処理によって求め、該貫通孔 30の位置に基づいてカメラ 9および Zあるいはガ ラス基板 1の移動装置により、一致させることができる。 [0035] 貫通孔 30のエッジ付近は、暗部 31として画像に現れる。貫通孔 30のエッジに欠陥
32も暗として画像に現れる。カメラはガラス基板に対して垂直に設置されており、欠 陥がガラス基板のどちらの面にあっても検出が可能である。
[0036] 貫通孔 30の形状の検査および欠陥の検査は、例えば次のようにして実施できる。
[0037] 貫通孔 30の中心 P4の座標および貫通孔 30の半径 rlを画像データ力も計測し、設 計仕様書の値との差異に基づいて貫通孔 30の位置と大きさの良否を検査する。
[0038] さらに、貫通孔 30のエッジには、貫通孔 30の加工によってハマや欠け等と呼ばれ る欠陥が生じることがある。この様な欠陥は、画像では良品のエッジの暗部 31よりも 大きな暗部 32として画像に現れる。
[0039] 貫通孔 30のエッジの欠陥は次のようにして検出することが出きる。
[0040] 貫通孔 30の画像において、貫通孔の中心 P4から、ガラス基板の面に平行に、適 当な方向に基準線を仮想し、該基準線を時計方向にガラス基板面上を回転させる。 回転角 Θに対して、エッジ付近の暗部の幅 t を画像力も測定し、例えば図 5のような
Θ
グラフを作成する。
[0041] 欠陥の暗部の幅 tは、良品のエッジの暗部の幅 tよりも大きくなり、図 5に示すグラフ
2 1
を用いて、エッジの加工の良否を判別することが可能となる。
[0042] なお、貫通孔 30の画像を取り込みにおいて、拡散板 14とガラス基板 1との間に、図 示しない遮光板を設けて、直線上に散乱光 13で照明される照明の幅を、カメラ 9の 視野の 1. 5〜3倍にすることが好ましぐより好ましくは 2倍程度とする。
[0043] 散乱光 13の照明の幅をカメラ 9の視野の 3倍より大きくすると、欠陥の画像の明るさ が明るくなつて、 2値ィ匕による判別が困難となり、 1. 5倍より小さくするとカメラ 9の視野 全体に照明が写らな力つたり、照明ムラが生じやすぐ検査精度が低下する恐れがあ る。

Claims

請求の範囲
[1] フラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板検査装置であって、該ガラス基板 はコーナー部の切り欠き加工と貫通孔の孔加工とがされており、該ガラス基板を搬送 する搬送装置の途中に該ガラス基板を所定の位置に停止させる停止装置と、停止さ せられた該ガラス基板の一方の面力ゝら該ガラス基板の搬送方向に直角に配設される 直線上の照明器と、該ガラス基板を挟んで該照明器と反対側に設けられる、該ガラス 基板の搬送方向に対して直角方向に、ガラス基板に平行に移動可能な、光軸をガラ ス基板に垂直に向けられているカメラとからなる画像取り込み装置と、該画像取り込 み装置によって取り込まれる該ガラス基板のコーナーの切り欠きと貫通孔との画像を 処理する画像処理装置とで構成されていることを特徴とするガラス基板検査装置。
[2] 切り欠きの 2値ィ匕処理された画像を用いて、切り欠きの大きさと形とを検査することを 特徴とする請求項 1に記載のガラス基板検査装置。
[3] 貫通孔の 2値ィ匕された画像を用いて、貫通孔の位置、大きさ、貫通孔のエッジの欠陥 を検査することを特徴とする請求項 1または請求項 2に記載のガラス基板検査装置。
[4] ガラス基板の停止位置に、ガラス基板を吸着支持する支持装置と該支持装置を搬送 方向および Zまたは搬送方向に対して直角方向に移動させる移動装置が設けられ ていることを特徴とする請求項 1乃至 3に記載のガラス基板検査装置。
[5] カメラが搬送方向および Zまたはガラス基板の垂直方向に移動するための移動装置 が設けられていることを特徴とする請求項 1乃至 4に記載のガラス基板検査装置。
[6] ガラス基板の移動装置および Zまたはカメラの移動装置により、カメラの光軸と貫通 孔の中心とを一致させて、該貫通孔の画像を取り込み、該画像を用いて貫通孔の検 查を行うことを特徴とする請求項 1乃至 5に記載のガラス基板検査装置を用いるガラ ス基板の検査方法。
[7] 貫通孔のエッジの欠陥の検査力 貫通孔の円形のエッジおよびエッジ周囲の暗部を 2値ィ匕処理によって「暗」とし、該貫通孔の円形のエッジに垂直な長さでエッジの暗部 を計測し、該計測される暗部の長さを用いて貫通孔の検査を行うことを特徴とする請 求項 1乃至 5に記載のガラス基板検査装置を用いるガラス基板の検査方法。
PCT/JP2006/302865 2005-02-17 2006-02-17 ガラス基板検査装置および検査方法 Ceased WO2006088150A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005040096A JP4747602B2 (ja) 2005-02-17 2005-02-17 ガラス基板検査装置および検査方法
JP2005-040096 2005-02-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006088150A1 true WO2006088150A1 (ja) 2006-08-24

Family

ID=36916547

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/302865 Ceased WO2006088150A1 (ja) 2005-02-17 2006-02-17 ガラス基板検査装置および検査方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4747602B2 (ja)
KR (1) KR100898208B1 (ja)
WO (1) WO2006088150A1 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102081047A (zh) * 2009-11-27 2011-06-01 法国圣-戈班玻璃公司 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统
CN103175839A (zh) * 2011-12-21 2013-06-26 北京兆维电子(集团)有限责任公司 胶印版材表面检测的处理方法及系统
WO2018128059A1 (ja) * 2017-01-06 2018-07-12 日本電気硝子株式会社 ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置
TWI902549B (zh) * 2023-12-28 2025-10-21 南韓商雅世電子科技有限公司 孔檢測系統及方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101530009B1 (ko) * 2008-12-19 2015-06-22 한미반도체 주식회사 웨이퍼 비전검사장치
KR102200691B1 (ko) 2014-06-02 2021-01-13 삼성디스플레이 주식회사 검사장치
CN106370667A (zh) * 2016-07-28 2017-02-01 广东技术师范学院 一种玉米籽粒品质视觉检测装置及方法
KR102358582B1 (ko) * 2017-08-23 2022-02-04 삼성전자 주식회사 휴대 단말의 커버 글래스의 광학적 특성을 확인하는 검사 장치 및 커버 글래의 광학적 특성의 확인 방법
JP6963725B2 (ja) * 2017-10-13 2021-11-10 日本電気硝子株式会社 ガラス板の検査方法及び検査装置並びにガラス板の製造方法
WO2019160711A1 (en) * 2018-02-13 2019-08-22 Corning Incorporated Apparatus and methods for processing a substrate
KR102580389B1 (ko) 2018-02-13 2023-09-19 코닝 인코포레이티드 유리 시트 검사 장치 및 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09101125A (ja) * 1995-10-07 1997-04-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 物品形状計測方法および装置
JP2000333047A (ja) * 1999-05-25 2000-11-30 Rohm Co Ltd 光学的撮像装置および光学的撮像方法
JP2002181714A (ja) * 2000-12-19 2002-06-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 薄板検査装置
JP2004279335A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Olympus Corp 基板検査装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09101125A (ja) * 1995-10-07 1997-04-15 Kawasaki Heavy Ind Ltd 物品形状計測方法および装置
JP2000333047A (ja) * 1999-05-25 2000-11-30 Rohm Co Ltd 光学的撮像装置および光学的撮像方法
JP2002181714A (ja) * 2000-12-19 2002-06-26 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 薄板検査装置
JP2004279335A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Olympus Corp 基板検査装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102081047A (zh) * 2009-11-27 2011-06-01 法国圣-戈班玻璃公司 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统
CN102081047B (zh) * 2009-11-27 2015-04-08 法国圣-戈班玻璃公司 用于对基板的缺陷进行区分的方法和系统
CN103175839A (zh) * 2011-12-21 2013-06-26 北京兆维电子(集团)有限责任公司 胶印版材表面检测的处理方法及系统
WO2018128059A1 (ja) * 2017-01-06 2018-07-12 日本電気硝子株式会社 ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置
JP2018112411A (ja) * 2017-01-06 2018-07-19 日本電気硝子株式会社 ガラス板の検査方法及びその製造方法並びにガラス板の検査装置
KR20190104324A (ko) * 2017-01-06 2019-09-09 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리판의 검사 방법 및 그 제조 방법 및 유리판의 검사 장치
KR102388575B1 (ko) 2017-01-06 2022-04-20 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 유리판의 검사 방법 및 그 제조 방법 및 유리판의 검사 장치
TWI902549B (zh) * 2023-12-28 2025-10-21 南韓商雅世電子科技有限公司 孔檢測系統及方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070085606A (ko) 2007-08-27
JP2006226801A (ja) 2006-08-31
JP4747602B2 (ja) 2011-08-17
KR100898208B1 (ko) 2009-05-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102003729B1 (ko) 검사 장치
TWI333544B (en) Substrate inspection apparatus
JP4747602B2 (ja) ガラス基板検査装置および検査方法
TWI502186B (zh) A bright spot detection device for filtering foreign matter noise and its method
JP2015105930A (ja) 透光性基板の微小欠陥検査方法および透光性基板の微小欠陥検査装置
JP2010048602A (ja) プリント基板検査装置及び検査方法
JP3875236B2 (ja) 脆性材料基板端面部の検査方法およびその装置
KR20170071978A (ko) 글래스 크랙 검사 시스템
CN116997927B (zh) 曲面基板气泡检测方法及检测系统
JPH10148619A (ja) 検査基体の面欠陥検査方法及び装置
JP2015094642A (ja) 探傷装置
CN113015901A (zh) 玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置
JP2004309287A (ja) 欠陥検出装置、および欠陥検出方法
JP2015141096A (ja) 検査装置、検査方法及びガラス基板の製造方法
JP3102850B2 (ja) 水晶ブランクの傷検査装置
CN110646432A (zh) 玻璃裂纹检查系统及方法
JP2009133643A (ja) 検査装置
TWM601821U (zh) 液晶玻璃基板之分割位置檢查裝置
KR100825968B1 (ko) 평판 디스플레이의 가장자리 검사 장치
CN113490844A (zh) 异物检查装置及异物检查方法
JP2006349599A (ja) 透明基板検査装置及び検査方法
JP2013137257A (ja) 基板検査装置および基板検査方法
KR20150091920A (ko) 기판의 에지 검사장치 및 이를 이용한 검사방법
JP7547722B2 (ja) シート検査装置
JP2006244869A (ja) プラズマディスプレイパネルの検査装置、プラズマディスプレイパネルの製造方法、デバイスの検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020077012375

Country of ref document: KR

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06714006

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1