WO2006075448A1 - 光ファイバ母材及びその製造方法 - Google Patents

光ファイバ母材及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2006075448A1
WO2006075448A1 PCT/JP2005/021232 JP2005021232W WO2006075448A1 WO 2006075448 A1 WO2006075448 A1 WO 2006075448A1 JP 2005021232 W JP2005021232 W JP 2005021232W WO 2006075448 A1 WO2006075448 A1 WO 2006075448A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical fiber
fiber preform
target
rod
dummy
Prior art date
Application number
PCT/JP2005/021232
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Jun Abe
Nobuyasu Mantoku
Fumio Saitoh
Original Assignee
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. filed Critical Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Priority to EP05807087A priority Critical patent/EP1847514A4/en
Priority to CN2005800490743A priority patent/CN101142146B/zh
Publication of WO2006075448A1 publication Critical patent/WO2006075448A1/ja
Priority to US11/826,218 priority patent/US20080176091A1/en

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C13/00—Fibre or filament compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01486—Means for supporting, rotating or translating the preforms being formed, e.g. lathes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00—Type of glass produced
    • C03B2201/06—Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12—Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
    • Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
    • Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates

Definitions

  • the present invention relates to an optical fiber preform and a method for manufacturing the same. More specifically, the present invention relates to an optical fiber preform formed by depositing glass fine particles on a quartz glass rod to form a porous preform and forming a transparent glass, and a method for producing the same.
  • a soot is produced by causing a relative reciprocating motion of a parner or a starting member along a rotating starting member, and depositing and depositing glass particles generated in the Parna flame on the starting member.
  • an external method in which this is dewatered and sintered in an electric furnace to form a transparent glass (OVD method) is widely used because it can mass-produce large-diameter optical fiber preforms.
  • a starting member for depositing soot a member in which a dummy rod (support member) is connected to both ends of a quartz glass rod (hereinafter referred to as a target) serving as a core is used.
  • the synthesized soot 1 is suspended from the gripping mechanism 2 via the dummy rod 3 and passed through the heating zone of the heater 4 using, for example, a device as shown in FIG. As a result, sintering and transparent vitrification are performed.
  • Reference numeral 5 denotes a target.
  • soot Since soot has a low bulk density, it shrinks greatly in the radial and axial directions during sintering and transparent vitrification. The ends of the soot are conical and shrink during the synthesis and subsequent sintering.
  • optical fiber preforms manufactured by various methods have been adjusted in refractive index distribution by adding various dopants.
  • germanium or fluorine can be used as a dopant.
  • the optical fiber preform used for the production of fluorine-doped fiber contains fluorine. Sintering and transparent vitrification are performed in a gas atmosphere, and the cladding layer is doped with fluorine. Fluorine doping must be performed uniformly in the cladding layer. If the soot has a high bulk density, it will be difficult to perform the doping uniformly.
  • the bulk density is preferably 0.5 g / cm 3 or less.
  • the soot contracts at the interface with the target, that is, an axial misalignment occurs, and the interface between the soot and the target immediately forms a spiral and streak along the axial direction. Bubbles (hereinafter, simply referred to as spiral bubbles) are likely to occur.
  • Patent Document 1 discloses: (a) a dummy rod 3 provided with a convex portion 6, (b) a dummy rod 3 provided with a concave portion 7, and (c) a diameter of the dummy rod 3 (D)
  • a dummy rod 3 provided with a convex portion 6
  • a dummy rod 3 provided with a concave portion 7
  • a diameter of the dummy rod 3 D
  • Patent Document 1 JP-A-6-48757
  • the concave / convex machining on the dummy rod 3 of (a) and (b) above adds a machining cost and increases the cost.
  • (C) The method of providing a diameter difference between the dummy rod 3 and the target 5 has a small effect of suppressing axial contraction if the diameter difference is small, and suppresses the generation of spiral bubbles generated at the interface with the target 5. The effect to do is small.
  • the diameter difference is large, defective products occur frequently when the soot density is low during deposition, but it is effective in suppressing the generation of spiral bubbles.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a fiber preform that suppresses the generation of spiral bubbles due to axial misalignment at the interface and a method for manufacturing the same. .
  • a dummy rod is connected to the end of a target formed by a quartz glass rod as an optical fiber preform by depositing glass particles.
  • a connecting step for forming a rod a processing step for processing a dummy rod to form a taper portion where the diameter of the dummy rod becomes thinner as the distance from the target is reduced, and a dummy after the processing step
  • an optical fiber preform manufacturing method including a deposition process in which glass fine particles are deposited so as to cover the large diameter side of the tapered portion at the outer peripheral portion of the attached glass rod.
  • the inclination angle of the tapered portion is preferably 2 to 50 °.
  • the glass fine particles contract in a state where they are anchored to the tapered portion, so that the occurrence of axial deviation is suppressed.
  • the taper angle of the taper portion exceeds ⁇ force 0 ° because cracks are likely to occur in the soot.
  • the taper angle ⁇ is less than 2 °, no significant effect can be obtained.
  • the length of the tapered portion is preferably 3 to 50 mm.
  • the said effect can be exhibited effectively, without causing the raise of manufacturing cost.
  • the length of the taper portion exceeds 50 mm, the amount of processing necessary to form an effective taper angle increases, resulting in a decrease in productivity.
  • the length of the tapered portion was shorter than 3 mm, no significant effect was exhibited.
  • the effective portion that becomes the target product becomes relatively short, which increases the cost.
  • the bulk density of the soot is 0.
  • the optical fiber preform can be a fluorine-doped optical fiber preform.
  • an optical fiber having a low refractive index and a high radiation resistance can be manufactured.
  • an optical fiber preform manufactured by the above manufacturing method.
  • an optical fiber can be manufactured with a high yield by using an inexpensive and high-quality optical fiber preform.
  • this optical fiber preform can dope the additive material uniformly, the productivity of optical fibers having excellent optical characteristics is improved.
  • the optical fiber preform can be a fluorine-doped optical fiber preform.
  • an optical fiber having a low refractive index and a high radiation resistance can be manufactured.
  • the above configuration can suppress the generation of spiral bubbles at the interface with the target, and can greatly contribute to the reduction of the manufacturing cost.
  • An excellent effect is obtained, such as obtaining an optical fiber preform.
  • FIG. 1 is a schematic explanatory view showing an outline of an apparatus for converting soot into transparent glass.
  • FIG. 2 is a schematic diagram illustrating the shape of a dummy rod or target according to the prior art.
  • FIG. 3 is a graph showing a preferred shape of the tapered portion.
  • FIG. 4 is a schematic view illustrating the shape of a tapered portion according to the present invention.
  • the present invention defines the shape of the end portion of the dummy rod connected to the target, thereby providing a tag. Specifically, the generation of spiral bubbles at the interface with one get is suppressed. Specifically, the diameter of the dummy rod on the chucking side when making transparent glass is made smaller than the target diameter, and the dummy rod and the target A tapered portion is formed at the connecting portion to the substrate, and glass fine particles are deposited on the target so as to cover the tapered portion, thereby forming a soot.
  • each target with a diameter of 40, 30, and 20 mm and a dummy rod with a diameter of 16 mm are prepared, one end of the target is tapered, and the length of the tapered portion is in the range of 1 to LOOmm.
  • the inclination angle (taper angle) was varied in the range of 1 to 85 °.
  • the processed target was welded to the dummy rod on the tapered portion side, and soot was deposited on the target so as to cover the tapered portion.
  • the misalignment at the interface was examined by the presence or absence of spiral bubbles. As a result, no axis deviation was observed in the area surrounded by the broken line shown in FIG.
  • the bulk density of the soot obtained was in the range of 0.21 to 0.25 g / cm 3 and varied among lots, but this was due to the difference in target diameter.
  • the taper angle ⁇ of the target 5 exceeds the taper angle ⁇ force of 0 °, and the effect is not obtained if the soot cracks immediately or less than 2 °. It was set to ⁇ 50 ° (see Figure 4).
  • soot deposition is not performed so as to cover the tapered portion! /, And the effect of preventing the shaft misalignment is reduced. Therefore, it is necessary to deposit soot so as to cover the entire tapered portion.
  • the length c of the tapered portion 10 exceeds 50 mm, it takes time for processing, and a desired effect cannot be obtained and an unnecessary portion becomes longer. Furthermore, when the target side is formed by processing, the effective portion that becomes the target product is relatively shortened and the cost is increased. For this reason, the length c of the tapered portion 10 is set to 3 to 50 mm.
  • the soot density is preferably low.
  • low-density soot is weak in soot baking to the target, and during sintering, shrinkage in the longitudinal direction becomes dominant and misalignment tends to occur.
  • the present invention enables uniform fluorine doping by setting the soot bulk density to 0.5 g / cm 3 or less, and the dummy rod connected to the target has a taper angle of 2 to 50 degrees.
  • the shrinkage in the longitudinal direction is suppressed to prevent axial misalignment and the generation of spiral bubbles is suppressed. Is.
  • a target with a diameter of 20 mm and a dummy rod with a diameter of 16 mm were prepared.
  • one end of the target was processed to form several types of tapered portions having different shape specifications.
  • the target was welded to the dummy rod on the taper portion side, and then the deposition process was performed to provide the optical fiber preforms of Examples 1 to 5 and Comparative Examples 1 and 2.
  • the soot deposition conditions on the target were the same, and the glass fine particles were deposited so as to cover the tapered portion. Next, it was made into a transparent glass in a fluorine mixed gas atmosphere.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Abstract

　ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材となる石英ガラスロッドにより形成されたターゲットの端部にダミーロッド３を接続してダミー付きロッドとする接続工程と、ダミー付きロッドを加工して透明ガラス化処理をするときにチャックする側のダミーロッドおよびターゲット５の接続部においてダミーロッド側の径がターゲット側の径よりも細くなるテーパー部１０を形成する加工工程と、加工工程後のダミー付きガラスロッドの外周部においてテーパー部１０の大径側を覆うようにガラス微粒子を堆積させてスートとする堆積工程とを含む。

Description

明 細 書
光ファイバ母材及びその製造方法
技術分野
[0001] 本発明は、光ファイバ母材及びその製造方法に関する。より詳細には、石英ガラス ロッド上にガラス微粒子を堆積させて多孔質母材を形成し、透明ガラス化してなる光 ファイバ母材及びその製造方法に関する。
[0002] なお、文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記特許出願 の明細書に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本件明細書の記載の 一部とする。
特願 2005— 006421号 出願曰 2005年 1月 13曰
背景技術
[0003] 従来、光ファイバ母材の製造には、様々な方法が提案されて!、る。それらの方法の 中でも、回転する出発部材上にこれに沿ってパーナもしくは出発部材を相対往復運 動させ、パーナ火炎中で生成したガラス微粒子を出発部材上に付着堆積させて、ス ートを製造し、これを電気炉内で脱水、焼結して透明ガラス化する外付け法 (OVD法 )は、大口径の光ファイバ母材を量産できることから汎用されている。なお、スートを堆 積させる出発部材には、コアとなる石英ガラスロッド (以下、ターゲットと称する）の両 端にダミーロッド (支持部材)を接続したものが使用されて 、る。
[0004] 合成されたスート 1は、例えば、図 1に示すような装置を用いて、把持機構部 2にダミ 一ロッド 3を介して吊り下げられ、ヒーター 4の加熱ゾーンを回転させながら通すことに より、焼結 ·透明ガラス化が行われる。なお、符号 5はターゲットである。
スートは、嵩密度が小さいため、焼結 ·透明ガラス化時において、その径方向及び 軸方向に大きく収縮する。スートの両端部は円錐形状をなし、その合成中及びその 後の焼結時に収縮する。
[0005] 従来、様々な方法で製造された光ファイバ母材は、各種ドープ剤を添加することで 屈折率分布の調整が行われている。例えば、ドープ剤としてゲルマニウムやフッ素が 挙げられる。フッ素ドープファイバの製造に用いられる光ファイバ母材は、フッ素含有 ガス雰囲気中で焼結 ·透明ガラス化が行われ、クラッド層にフッ素がドープされている 。フッ素ドープは、クラッド層中に均一に行う必要がある力 スートの嵩密度が高いと 均一に行うことが困難となる。
[0006] フッ素ドープを均一に行うには、嵩密度を 0. 5g/cm3以下とするのが好ましい。しか し嵩密度が小さいと、スートの焼結 ·透明ガラス化時に、収縮率が大きいことによって 円錐形状部に亀裂が入りやすくなる。さらに、嵩密度が小さいと、スートが収縮する際 にターゲットとの界面においてずれ、すなわち、軸ずれを生じやすぐスートとターゲ ットとの界面に軸方向に沿ってスパイラル状かつ筋状に連なった泡（以下、単にスパ イラル状泡と称する）が発生しやすくなる。
[0007] そこで特許文献 1は、図 2に示すように、（a)ダミーロッド 3に凸部 6を設ける、（b)ダミ 一ロッド 3に凹部 7を設ける、（c)ダミーロッド 3の径をターゲット径よりも小さい細径 8と する、あるいは (d)ターゲット 5の両端部を徐々に縮径させて縮径部 9を設けることに より、収縮時の摩擦抵抗を大きくすることで軸方向の収縮を抑制して 、る。
特許文献 1：特開平 6-48757号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] し力しながら、上記 (a)、（b)のダミーロッド 3への凹凸加工は、加工費用が新たに加 算されコスト高となる。（c)のダミーロッド 3とターゲット 5とに径差を設ける方法は、径差 が小さいと軸方向の収縮を抑制する効果が小さぐかつターゲット 5との界面に生じる スパイラル状泡の発生を抑制する効果も小さい。他方、径差が大きいと、堆積時にス ート密度が低い場合には不良品が多発するが、スパイラル状泡の発生を抑制するの には効果がある。また、（d)のターゲット 5の両端部を徐々に縮径させてテーパー状に 加工する方法は、ターゲット 5の有効長が短くなり、最終的に光ファイバとなるのはタ 一ゲットの略半分でしかない。従って、コスト的に問題がある。
[0009] 本発明は、上記問題に鑑みてなされた発明であり、界面での軸ずれによるスパイラ ル状泡の発生を抑制してなるファイバ母材及びその製造方法を提供することを目的 としている。
課題を解決するための手段 [0010] 上記目的を達成するべぐ本発明の第 1の形態として、ガラス微粒子を堆積させて 光ファイバ母材となる石英ガラスロッドにより形成されたターゲットの端部にダミーロッ ドを接続してダミー付きロッドとする接続工程と、ダミーロッドを加工して、ターゲットに 対する接続部において、ダミーロッドの径が前記ターゲットから離れるほど細くなるテ 一パー部を形成する加工工程と、加工工程後のダミー付きガラスロッドの外周部にお いてテーパー部の大径側を覆うようにガラス微粒子を堆積させてスートとする堆積ェ 程とを含む光ファイバ母材の製造方法が提供される。これにより、嵩密度が低いため に収縮率が大き 、スートに対して透明ガラス化処理を実施しても、クラックが生じにく くなる。また、ターゲットとの界面での軸ずれによるスパイラル状泡の発生が抑制され る。従って、高い光学特性を有する光ファイバ母材の製造歩留りを向上させることが できる。なお、これらの特徴および作用効果は、堆積工程を外付け法により行う場合 に特に有効である。
[0011] また、ひとつの実施形態によると、上記製造方法において、テーパー部の傾斜角度 は、 2〜50° とすることが好ましい。これにより、透明ガラス化処理においてガラス微 粒子がテーパー部に係留された状態で収縮するので、軸ずれの発生が抑止される。 なお、タテーパー部のテーパー角 Θ力 0° を超えるとスートに亀裂が入りやすくなる ので好ましくない。一方、テーパー角 Θが 2° 未満では有意な効果が得られな力つた
[0012] また、ひとつの実施形態によると、上記製造方法において、テーパー部の長さは、 3 〜50mmとすることが好ましい。これにより、製造コストの上昇を招くことなぐ有効に 前記の効果を発揮させることができる。なお、テーパー部の長さが 50mmを超えると、 有効なテーパー角を形成するために必要な加工量が大きくなるので生産性が低下 する。一方、テーパー部の長さが 3mmよりも短い場合は、有意な効果が表れなかつ た。また、ターゲット側を加工して形成した場合には、ターゲットの製品となる有効部 が相対的に短くなるのでコスト高になる。
[0013] また、ひとつの実施形態によると、上記製造方法において、スートの嵩密度は、 0.
5g/cm3以下とすることが好ましい。これにより、透明ガラス化処理の雰囲気を適宜選 択することにより、雰囲気に含まれる元素が均一にドープされた光ファイバ母材を製 造できる。
[0014] また、ひとつの実施形態によると、上記製造方法において、光ファイバ母材は、フッ 素ドープ光ファイバ母材とすることができる。これにより、屈折率の低いクラッドを具備 すると共に、耐放射線性の高い光ファイバを製造できる。
[0015] 更に、本発明の第 2の形態として、上記製造方法により製造された光ファイバ母材 が提供される。これにより、廉価で高品質な光ファイバ母材を用いて高い歩留りで光 ファイバを製造することができる。また、この光ファイバ母材は、添加物質を均一にド ープできるので、光学特性に優れた光ファイバの生産性が改善される。
[0016] また、ひとつの実施形態によると、上記製造方法において、光ファイバ母材は、フッ 素ドープ光ファイバ母材とすることができる。これにより、屈折率の低いクラッドを具備 すると共に、耐放射線性の高い光ファイバを製造できる。
発明の効果
[0017] このように、上記構成としたことにより、ターゲットとの界面におけるスパイラル状泡の 発生を抑制することができ、製造コストの低減に大きく寄与することができることにカロ えて、光学特性に優れた光ファイバ母材が得られる、等の優れた効果を奏する。
[0018] ただし、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではな V、。これらの特徴群のサブコンビネーションもまた発明となり得る。
図面の簡単な説明
[0019] [図 1]スートを透明ガラス化する装置の概略を示す概略説明図である。
[図 2]従来技術によるダミー付きロッド又はターゲットの形状を説明する概略図である
[図 3]テーパー部の好ましい形状を示すグラフである。
[図 4]本発明によるテーパー部の形状を説明する概略図である。
[0020] 以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明する。ただし、以下の実施形態は 請求の範隨こかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明され て 、る特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らな 、。 発明を実施するための最良の形態
[0021] 本発明は、ターゲットに接続するダミーロッドの端部の形状を規定することにより、タ 一ゲットとの界面におけるスパイラル状泡の発生を抑制するものであり、具体的には、 透明ガラス化時にチャックする側のダミーロッド径をターゲット径よりも細くし、かつ、該 ダミーロッドと該ターゲットとの接続部にテーパー部を形成し、該テーパー部を覆うよ うにターゲット上にガラス微粒子を堆積させ、スートを形成するものである。
[0022] 本発明においては、接続部のテーパー部の形状が重要であるため、様々な形状の テーパー部について、軸ずれとの関係を調査した。具体的には、直径 40、 30、 20m mの各ターゲットと、直径 16mmのダミーロッドを用意し、ターゲットの一端にテーパ 一加工を施し、テーパー部の長さを 1〜： LOOmmの範囲で、傾斜角度（テーパー角） を 1〜85° の範囲でいろいろ変化させた。
[0023] 加工したターゲットをそのテーパー部側でダミーロッドと溶着し、テーパー部を覆うよ うにターゲット上にスートを堆積させた。得られたスートを透明ガラス化した後、界面で の軸ずれをスパイラル状泡の有無で調べた。その結果、図 3に示した破線で囲われ た領域内では、軸ずれは認められなかった。なお、得られたスートの嵩密度は、 0. 2 1〜0. 25g/cm3の範囲で、ロット間でばらついていたが、これは、ターゲット径の相 違によるものである。
[0024] 以上の結果から、ターゲット 5のテーパー部 10のテーパー角 Θ力 0° を超えるとス ートに亀裂が入りやすぐ 2° 未満ではその効果が得られないため、テーパー角 Θは 2〜50° に設定した（図 4参照)。
[0025] また、スートの堆積は、テーパー部を覆うように行わな!/、と軸ずれ防止の効果が小さ くなるので、テーパー部全体を覆うようにスートを堆積する必要がある。
[0026] なお、テーパー部 10の長さ cが 50mmを超えると加工に手間がかかり、かつ所望の 効果が得られなくなるとともに不要な部分が長くなる。さらに、ターゲット側を加工して 形成した場合には、ターゲットの製品となる有効部が相対的に短くなり、コスト高にな る。このため、テーパー部 10の長さ cは 3〜50mmとした。
[0027] 焼結時、スートはその軸方向と径方向において同時に収縮を起こす力 ターゲット にスートが堆積されたときに、どの程度スートが焼き締められているか否かで、次の透 明ガラス化工程において、スート収縮が径方向と軸方向（長手方向）の何れが支配的 になるかが決まる。長手方向の収縮が支配的になると、スートはターゲットから乖離し て軸ずれを起こし、スートとターゲットとの界面にスパイラル状泡が発生する。
[0028] また、焼結時にフッ素雰囲気下で透明ガラス化を行い、ガラス中に均一にフッ素を ドープしようとすると、スート密度は低密度の方がよい。しかし、低密度スートは、ター ゲットへのスート焼き締めが弱いため、焼結時、長手方向への収縮が支配的となり、 軸ずれが起こりやすくなる。
[0029] 本発明は、スートの嵩密度を 0. 5g/cm3以下とすることにより、均一なフッ素ドープ を可能とし、かつターゲットに接続するダミーロッドに、テーパー角 2〜50度で長さ 3 〜50mmのテーパー部を設け、このテーパー部を覆うようにターゲット上にスートを堆 積させることにより、長手方向への収縮を抑制して軸ずれを防止し、スパイラル状泡 の発生を抑制するものである。
[0030] (実施例）
直径 20mmのターゲットと直径 16mmのダミーロッドを用意した。まず、加工工程と して、ターゲットの一端を加工して数種類の形状仕様の異なるテーパー部を形成した 。さらに、接続工程として、ターゲットをそのテーパー部側でダミーロッドと溶着した後 、堆積工程を実施して実施例 1〜5及び比較例 1、 2の光ファイバ母材の製造に供し た。
なお、以下の各実施例、比較例の堆積工程において、ターゲット上へのスートの堆 積条件は同一とし、ガラス微粒子がテーパー部を覆うように堆積させた。次いで、フッ 素混合ガス雰囲気中で透明ガラス化した。
[0031] 各実施例および比較例にお!、て得られた光ファイバ母材の評価は、界面状態、す なわち、透明ガラス化時における軸ずれの状態 (スパイラル状泡の有無等)で行った 。各実施例および比較例の仕様と評価結果を、下記の表 1に併せて示す。
[0032] [表 1] ターゲット径 ダミー径 テーパー長 亍一パ一角
(mm; ^mm) 調) (deg) 界面状態 実施例 1 20 16 5 21. 80 良好
2 20 16 10 1 1. 31 良好
3 20 16 20 5. 71 良好
4 20 16 30 3. 81 良好
5 20 16 50 2. 29 良好 比較例 1 20 16 1 63. 43 良好
(グラック多発）
2 20 16 100 1 . 15 軸ずれあり
[0033] 表 1に示す通り、実施例 1〜5の界面状態は良好であり、軸ずれによるスパイラル状 泡は認められな力つた。他方、比較例 1の場合は、スート堆積時にクラックが多発し、 スート割れトラブルが何度力発生した力 上手くスートが堆積できたものは焼結時に 軸ずれもなぐ界面状態は良好であった。また、比較例 2の場合、テーパー部の傾斜 角が小さぐ軸ずれを生じたケースもあった。
産業上の利用可能性
[0034] スート割れトラブルやスパイラル状泡の発生による不良率が減少するので、光フアイ バ母材の製造コストの低減に寄与する。

Claims

請求の範囲
[1] ガラス微粒子を堆積させて光ファイバ母材となる、石英ガラスロッドにより形成された ターゲットの端部にダミーロッドを接続してダミー付きロッドとする接続工程と、 前記ダミーロッドを加工して、前記ターゲットに対する接続部において、前記ダミー ロッドの径が前記ターゲットから離れるほど細くなるテーパー部を形成する加工工程 と、
前記加工工程後の前記ダミー付きガラスロッドの外周部において前記テーパー部 の大径側を覆うようにガラス微粒子を堆積させてスートとする堆積工程と
を含む光ファイバ母材の製造方法。
[2] 前記堆積工程が、外付け法により実施される請求項 1に記載の光ファイバの製造方 法。
[3] 前記テーパー部の傾斜角度力 2〜50° である請求項 1または請求項 2に記載の 光ファイバ母材の製造方法。
[4] 前記テーパー部の長さが、 3〜50mmである請求項 1から請求項 3までのいずれか
1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
[5] 前記スートの嵩密度力 0. 5g/cm3以下である請求項 1から請求項 4までのいずれ 力 1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
[6] 前記光ファイバ母材が、フッ素ドープ光ファイバ母材である請求項 1から請求項 5ま でのいずれか 1項に記載の光ファイバ母材の製造方法。
[7] 請求項 1から請求項 5までのいずれか 1項に記載の製造方法を用いて製造してなる ことを特徴とする光ファイバ母材。
[8] 前記光ファイバ母材が、フッ素ドープ光ファイバ母材である請求項 7に記載の光ファ ィバ母材。
PCT/JP2005/021232 2005-01-13 2005-11-18 光ファイバ母材及びその製造方法 WO2006075448A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05807087A EP1847514A4 (en) 2005-01-13 2005-11-18 LIGHT FIBER BASIC MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
CN2005800490743A CN101142146B (zh) 2005-01-13 2005-11-18 光纤母材及其制造方法
US11/826,218 US20080176091A1 (en) 2005-01-13 2007-07-13 Optical fiber base material and manufacturing method therefore

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005006421A JP2006193370A (ja) 2005-01-13 2005-01-13 光ファイバ母材及びその製造方法
JP2005-006421 2006-01-13

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
US11/826,218 Continuation US20080176091A1 (en) 2005-01-13 2007-07-13 Optical fiber base material and manufacturing method therefore

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006075448A1 true WO2006075448A1 (ja) 2006-07-20

Family

ID=36677481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2005/021232 WO2006075448A1 (ja) 2005-01-13 2005-11-18 光ファイバ母材及びその製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20080176091A1 (ja)
EP (1) EP1847514A4 (ja)
JP (1) JP2006193370A (ja)
KR (1) KR20070094656A (ja)
CN (1) CN101142146B (ja)
TW (1) TW200628416A (ja)
WO (1) WO2006075448A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5380018B2 (ja) * 2008-09-03 2014-01-08 株式会社フジクラ 光ファイバ母材の製造方法
CN113072290B (zh) * 2021-04-01 2022-05-06 长飞光纤光缆股份有限公司 一种纯石英玻璃中空圆柱体的制造方法
JP7250850B2 (ja) * 2021-07-01 2023-04-03 信越化学工業株式会社 光ファイバ用ガラス母材、及び光ファイバ用ガラス母材の製造方法
KR102419565B1 (ko) * 2021-12-23 2022-07-11 비씨엔씨 주식회사 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조기술
KR102419537B1 (ko) * 2021-12-23 2022-07-11 비씨엔씨 주식회사 사이드 버너를 이용한 실린더형 합성 쿼츠 제조방법
KR102419554B1 (ko) * 2021-12-23 2022-07-11 비씨엔씨 주식회사 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조를 위한 맨드릴 구성 및 제조방법
KR102419547B1 (ko) * 2021-12-23 2022-07-11 비씨엔씨 주식회사 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조를 위한 맨드릴 구성
KR102452282B1 (ko) * 2021-12-23 2022-10-06 비씨엔씨 주식회사 맨드릴 형상 변경을 통한 반도체용 실린더형 합성 쿼츠 제조방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08188436A (ja) * 1994-12-29 1996-07-23 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2001335339A (ja) * 2000-05-24 2001-12-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2001335338A (ja) * 2000-05-26 2001-12-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの製造方法
JP2003146687A (ja) * 2001-11-13 2003-05-21 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4586943A (en) * 1983-10-20 1986-05-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Method for the production of glass preform for optical fibers
JPS63159233A (ja) * 1986-12-23 1988-07-02 Hitachi Cable Ltd 光フアイバ母材製造用出発材
JP2004115301A (ja) * 2002-09-25 2004-04-15 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08188436A (ja) * 1994-12-29 1996-07-23 Fujikura Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2001335339A (ja) * 2000-05-24 2001-12-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ母材の製造方法
JP2001335338A (ja) * 2000-05-26 2001-12-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバの製造方法
JP2003146687A (ja) * 2001-11-13 2003-05-21 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバ母材の製造方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1847514A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
TW200628416A (en) 2006-08-16
EP1847514A1 (en) 2007-10-24
US20080176091A1 (en) 2008-07-24
CN101142146B (zh) 2011-04-13
KR20070094656A (ko) 2007-09-20
CN101142146A (zh) 2008-03-12
EP1847514A4 (en) 2011-07-06
JP2006193370A (ja) 2006-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2006075448A1 (ja) 光ファイバ母材及びその製造方法
JP6157620B2 (ja) Ｐｄｏクラッドガラス層を備える光学プリフォームの製造法
CN111615499A (zh) 光纤母材的制造方法、光纤母材以及光纤的制造方法、光纤
US7437893B2 (en) Method for producing optical glass
JP4348341B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
US20160289113A1 (en) Method for producing porous glass base material
JP4690979B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP5173660B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP7115095B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP4495070B2 (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JP6545925B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP3576873B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
KR100632155B1 (ko) 광섬유 모재의 제조방법
JP3923282B2 (ja) モードフィールド変換用光ファイバの製造方法
JP4037799B2 (ja) 光ファイバ母材及びその製造方法
JP4691008B2 (ja) 光ファイバの製造方法
JP3903689B2 (ja) 光ファイバの製造方法
JP5560313B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
EP3279155B1 (en) Method for manufacturing porous glass base material for optical fiber
JP4252871B2 (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP3064276B1 (ja) 光ファイバ用多孔質母材および光ファイバ用ガラスロッドの製造装置
JPH05116980A (ja) 光フアイバ用プリフオーム母材の製造方法
JP2004307281A (ja) フッ素添加石英ガラス物品の製造方法
JP2009007227A (ja) 透明ガラス体の製造方法
JP2001247329A (ja) 光ファイバ母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 5628/DELNP/2007

Country of ref document: IN

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2005807087

Country of ref document: EP

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020077018308

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 200580049074.3

Country of ref document: CN

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 2005807087

Country of ref document: EP