WO2005093438A1

WO2005093438A1 - ネットワークアナライザ、伝送トラッキング測定方法、ネットワーク解析方法、プログラムおよび記録媒体

Info

Publication number: WO2005093438A1
Application number: PCT/JP2005/005066
Authority: WO
Inventors: Yoshikazu Nakayama; Masato Haruta
Original assignee: Advantest Corporation
Priority date: 2004-03-26
Filing date: 2005-03-15
Publication date: 2005-10-06
Also published as: JP4462979B2; TW200537108A; US7519509B2; US20070285108A1; CN100504405C; KR20060129500A; JP2005274531A; TWI271526B; CN1938595A; DE112005000677T5; KR100815491B1

Abstract

　伝送トラッキングを測定するために、ネットワークアナライザのポートにおける２ポートを選んで直結する労力を軽減する。ネットワークアナライザ１には、４ポートを９ポート（主ポート群：３ポート、副ポート群：３ポート×２）に分岐するテストセットが接続され、送受信用ポート１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄと、テストセットの主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、テストセットの副ポート群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポート１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラッキング決定部７と、伝送トラッキング決定部７により決定された伝送トラッキングに基づき、他の伝送トラッキングを導き出す伝送トラッキング導出部８とを備える。

Description

明細書ネットワークアナライザ、伝送トラッキング測定方法、ネットワーク解析方法、プロラムおよび記録媒体技術分野

本発明は、被測定物の回路パラメ一夕を演算計測するネットワークアナライザに関する。

背景技術

従来より、被測定物（D U T ： Device Under Test) の回路パラメ一夕（例えば、 Sパラメ一夕）を測定することが行われている。従来技術にかかる被測定物（D U T ) の回路パラメ一夕の測定法を第 1 8図を参照して説明する。信号源 1 1 0から周波数 f 1の信号を DUT 2 0 0を介して受信部 1 2 0に送信する。この信号は受信部 1 2 0により受信される。受信部 1 2 0により受信された信号の周波数を f 2とする。受信部 1 2 0 により受信された信号を測定することにより DUT 2 0 0の Sパラメ —夕や周波数特性を取得することができる。このとき、信号源 1 1 0等の測定系と DUT 2 0 0との不整合などにより測定に測定系誤差が生ずる。この測定系誤差は、例えば E d ：ブリッジの方向性に起因する誤差、 E r ：周波数トラッキングに起因する誤差、 E s ：ソースマッチングに起因する誤差、である。周波数で l = f 2の場合の'信号源 1 1 0に関するシグナルフローグラフを第 1 9図に示す。 F INは、信号源 1 1 0から DUT 2 0 0等に入力する信号、 S 1 1 mは DUT 2 0 0等から反射されてきた信号から求められた DUT 2 0 0等の Sパラメ一夕、 S ϊ 1 aは測定系誤差の無い真の DUT 2 0 0等の Sパラメ一夕である。周波数で 1 = f 2の場合は、例えば特許文献 1 (特開平 1 1一 3 8 0 5 4号公報）に記載のようにして誤差を補正することができる。このような補正をキャリブレーションという。キャリブレーションについて概説する。信号源 1 1 0に校正キットを接続し、オープン（開放）、ショー.ト（短絡）、口一ド（標準負荷 Z0)の三種類の状態を実現する。このときの校正キットから反射された信号をプリッジにより取得して三種類の状態に対応した三種類の Sパラメ一夕（S 1 l m )を求める。三種類の Sパラメ一夕から三種類の変数 E d、 E r、 E sを求める。しかしながら、周波数 1が周波数 f 2と等しくない場合がある。例えば、 DUT 2 0 0がミキサ等の周波数変換機能を有するデバイスである場合である。この場合は、受信部 1 2 0による測定系誤差も無視できない。信号源 1 1 0と受信部 1 2 0とを直結した場合のシグナルフロ一グラフを第 2 0図に示す。 S 2 1 mは、受信部 1 2 0が受信した信号から求められた DUT 2 0 0等の Sパラメ一夕である。第 2 0図に示すように、 E t (伝送トラッキング）、 E Lという受信部 1 2 0による測定系誤差が生ずる。これについても、特許文献 1に記載のようなキヤリブレ一ションでは求めることができない。そこで、周波数 1が周波数： f 2と等しくない場合は、特許文献 2 (国際公開第 03Z087856号パンフレット）に記載のようにして誤差を補正する。まず、三種類の校正キット（オープン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷 Z0))を信号源に接続する。これは、特許文献 1に記載の方法と同様である C で、 E d、 E s、 E rを求めることができる。さらに、信号源 1 1 0と受信部 120とを直結し、そのときの測定結果により、伝送トラッキング E t、 ELを求めることができる（特許文献 2の第 8図、第 9図を参照）。

Λ なお、上記の例は、信号源 1 10および受信部 120を有するネットワークアナライザが 2ポートを有している場合に適合するものである。ネットワークアナライザが 4ポートを有している場合は、 4ポ一トから 2ポ一トを選んで直結することになり、 4 x'3/2 = 6通りの結合を全て行なう必要がある。一般的に、ネットワークアナライザが nポートを有している場合は、 nポートから 2ポートを選んで直結することになり、 n X (n— 1 ) 2通りの結合を全て行なう必要がある。しかしながら、上記のように、 nポートから 2ポートを選んで直結して、全ての 2ポートの組み合わせを実現するのは多大な労力を要する。そこで、本発明は、伝送トラッキングを測定するために、ネットヮークアナライザのポ一トにおける 2ポートを選んで直結する労力の軽減を課題とする。発明の開示

本発明の一態様によるネヅトワークアナライザは、ネヅトヮ一クァナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポ一トのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、被測定物側ポートは、ネットワークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセヅトに接続されるネヅトワークアナライザであって、ネッ 1、ワークァナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートと、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポ

—ト群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、主ポ一ト群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラッキング決定手段と、伝送トラツキング決定手段により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラツキングを、伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出手段とを備えるように構成される。上記のように構成された発明によれば、ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットヮ一クァナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、被測定物側ポ —トは、ネットワークアナライザ側ポ一トとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワークアナライザが提供される。送受信用ポートは、ネッ卜ワークアナライザ側ポー卜と 1対 1に接続し、信号を送受信するためのものである。伝送トラッキング決定手段は、主ポート群において実現可能な続関係の一つと、副ポート群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する。伝送トラッキング導出手段は、伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラツキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す。また、本発明は、伝送トラッキング導出手段が、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポート群において実現可能な接続関係の他の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを導き出すために、導出対象の伝送トラッキングの始点および終点の接続関係以外の接続関係を二つ用いるようにしてもよい。また、本発明は、主ポート群は、 2個のネットワークアナライザ側ポートに接続される 3個の被測定物側ポートを有し、副ポート群は、 1個のネットワークアナライザ側ポートに接続される 3個の被測定物側ポートを有し、副ポート群が 2個存在するようにしてもよい。また、本発明は、送受信用ポートにより送信される送信信号に関する送信信号パラメ一夕を、測定系誤差要因の生ずる前に測定する送信信号測定手段と、送受信用ポートにより受信された受信信号に関する受信信号パラメ一夕を測定する受信信号測定手段とを備えるようにしてもよい。また、本発明においては、受信信号 ( 送信信号が反射された反射信号を含むようにしてもよい。本発明の他の態様による伝送トラッキング測定方法は、ネットヮークアナライザ側ポ一トと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、襖数の被測定物側ポ一トのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットワークアナライザ側ポ一トに接続するポート接続手段とを有し、被測定物側ポートは、ネットワークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネヅトワークアナライザの伝送トラッキングを測定するための伝送トラッキング測定方法であって、ネットワークアナライザは、ネットワークアナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有し、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポ一ト群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて実現する接続関係実現工程と、接続関係実現工程において —つの組み合わせが実現した際に、ネットワークアナライザ側ポートに接続されている被測定物側ポートにおける 2ポートの組み合わせの結合を全て実現する被測定物側ポート結合工程と、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号を測定する信号測定ェ程と、信号測定工程の測定結果に基づき、被測定物側ポート結合工程により実現された結合についての伝送トラッキングを決定する伝送トラッキング決定工程と、伝送トラッキング決定工程により決定された伝送トラツキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラツキング決定工程により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出工程とを備えるように構成される。上記のように構成された発明によれば、ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットヮ一クァナライザ側ポートに接続するポ一ト接続手段とを有し、被測定物側ポ γ~トは、ネットワークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワークアナライザの伝送トラッキングを測定するための伝送トラッキング測定方法が提供される。 ' ネットワークアナライザは、ネットワークアナライザ側ポートと 1 対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポ一トを有している。接続関係実現工程は、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポ一ト群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせを、主ポ一ト群において実現可能な接続関係の全てについて実現する。被測定物側ポート結合工程は、接続関係実現工程において一つの組み合わせが実現した際に、ネットワークアナライザ側ポートに接続されている被測定物側ポートにおける 2ポートの組み合わせの結合を全て実現する。信号測定工程は、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号を測定する _ό 伝送トラツキング決定工程は、信号測定工程の測定結果に基づき、被測定物側ポート結合工程により実現された結合についての伝送トラッキングを決定する。伝送トラッキング導出工程は、伝送トラッキング決定工程により決定された伝送トラツキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラツキング決定工程により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す。また、本発明は、被測定物側ポート結合工程は、 4個のポートにおける 2個の組み合わせを全て結合可能な 4ポート校正器を使用して実現されるようにしてもよい。

、本発明のさらに他の態様によるネットワーク解析方法は、ネットヮークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットワークアナライザ側ポートに接続するポニト接続手段とを有し、被測定物側ポートは、ネットワークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワークアナライザであって、ネットヮークアナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有するネットワークアナライザによりネットワークを解析するネットワーク解析方法であって、伝送トラッキング決定手段が、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポート群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラヅキングを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラッキング決定工程と、伝送トラッキング導出手段が、伝送トラツキング決定手段により決定された伝送トラツキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出工程とを備えるように構成される。本発明のさらに態様によるプログラムは、ネヅトワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、被測定物側ポ一トは、ネットワークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接蔬されるネットワークアナライザであって、ネットワークアナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有するネットワークアナライザによりネットワークを解析するネットワーク解析処理をコンピュー夕に実行させるたあめプログラムであつて、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副ポート群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラッキング決定処理と、伝送トラッキング決定処理により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラッキング決定処理により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラツキング導出処理とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。本発明のさらに他の態様による記録媒体は、ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つのネットヮークアナライザ側ポ一トに接続するポート接続手段とを有し、被測定物側ポートは、ネットワークアナライザ側ポ一トとの接続関係が独立して設定可能な主ポ一ト群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネヅトワークアナライザであって、ネヅトワークアナライザ側ポー卜と 1対 1に接続し、信号を受信するための送受信用ポ一トを有するネットワークアナライザによりネットワークを解析するネットヮ一ク解析処理をコンピータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータによって読み取り可能な記録媒体であって、主ポート群において実現可能な接続関係の一つと、副.ポート群において実現可能な接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、送受信用ポー.トにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラッキング決定処理と、伝送トラッング決定処理により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラッキング決定処理により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出処理とをコンピュータに実行させるためのプ口グラムを記録したコンピュータによつて読み取り可能な記録媒体である。

図面の簡単な説明

第 1図は、本発明の実施形態にかかるネットワークアナライザ 1が使用される測定系の構成を示す図である。

第 2図は、本発明の実施の形態に係るネットワークアナライザ 1の構成を示したブロック図である。

第 3図は、 9ポートテストセット 1 0の構成を示す図である。

第 4図は、どのネットワークアナライザ側ポートが、どの D U T側ポートに接続しているかという接続関係の取り得る状態を示す図であ第 5図は、ネットワークアナライザ側ポートと、 DUT側ポートとの接続関係の例を示す図である。

第 6図は、 DUT 20の構成の一例を示す機能ブロック図である。第 7図は、測定系の校正を行なうための構成を示す図である。

第 8図は、 4ポート校正器 30の構成を示すブロック図である。第 9図は、サブ校正器 34 aの構成を示すプロック図である。

第 10図は、送受信用ポート l aと l bとが DUT 20により結合された状態を示すシグナルフローグラフである。

第 1,1図は、校正用ポート 32 aをサブ校正器 34 aに接続した状態を示すシグナルフロ一グラフである。 ― '

第 12図は、送受信用ポート 1 aと 1 bとを結合した状態を示すシグナルフ口一グラフである。

第 13図は、測定系において決定すべき E t (伝送トラッキング）を決定するために必要な接続関係の結合を示す図である。

第 14図は、 4ポート校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着の態様を示す図である（伝送トラッキング導出部 8が無いと仮定した場合）。

第 15図は、 4ポート校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着の態様を示す図である。

第 16図は、 E t (伝送トラッキング）の導出法の原理を説明するための図である。

第 17図は、本発明の実施形態の動作を示すフローチャートである。第 18図は、従来技術にかかる被測定物（DUT) の回路パラメ一夕の測定法を説明するための図である。第 1 9図は、周波数 1二 f 2の場合の信号源 1 10に関するシグナルフローグラフである。

第 20図は、信号源 1 1 0と受信部 120とを直結した場合のシグナルフ口一グラフである。

発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら説明する

ヽ

第 1図は、本発明の実施形態にかかるネヅトワークアナライザ 1が使用される測定系の構成を示す図である。測定系は、ネットワークァナライザ 1、 9ポートテストセット 10、 DUT 2 Oを備える。ネットワークアナライザ 1は、送受信用ポート 1 a、 l b、 l c、 I dを備える。 9ポートテストセット 10は、ネットワークアナライザ側ポート NP 1、 NP 2、 NP 3、 N P 4および D U T側ポート T Ρ 1、 ΤΡ 2、 ΤΡ 3、 ΤΡ4、 ΤΡ 5、 ΤΡ 6、 ΤΡ 7、 ΤΡ 8、 ΤΡ 9を備える。 DUT (Device Under Test：被測定物） 20は、ポート 20 a、 20 b、 20 c、 20 d、 20 e、 20 f、 20 ：、 2 0 h、 20 jを備える。送受信用ポート 1 aは、ネヅトワークアナライザ側ポート NP 1に接続されている。送受信用ポート 1 bは、ネットワークアナライザ側ポート NP 2に接続されている。送受信用ポート 1 cは、ネットヮ一クアナライザ側ポート NP 3に接続されている。送受信用ポート 1 d は、ネットワークアナライザ側ポート NP 4に接続されている。送受信用ポート l a、 l b、 l c、 1 dは、信号を送受信するためのポ一トである。

D U T側ポート T P 1はポート 20 aに接続される。 D U T側ポート T P 2はポート 20 bに接続される。 D U T側ポート T P 3はポ一ト 20 cに接続される。 DUT側ポ一ト TP 4はポ一ト 20 dに接続される。 D U T側ポ一ト T P 5はポ一ト 20 eに接続される。 D U T 側ポート T P 6はポ一ト 20 f に接続される。 D U T側ポート T P 7 まポ一ト 20 gに接続される。 D UT側ポート T P 8はポ一ト 20 h に接続される。 D U T側ポート T P 9はポート 20 jに接続される。第 2図は、本発明の実施の形態に係るネットヮ一 'クアナライザ 1の構成を示したブロック図である。ネットワークアナライザ 1は、送受信用ポート l a、 l b、 l c、 1 d、信号源 2、切替器 3、ブリッジ 4 a、 4b、 4 c、 4d、レシーバ（受信信号測定手段） 5 a、 5 b、 5 c、 5 d、 9ポートテストセット接続関係取得部 6、伝送トラツキング決定部 7、伝送トラッキング導出部 8を備える。ネットヮ一クァナライザ 1は、送受信用ポート 1 a、 1 b、 l c、 I dにより送受信された信号に基づき、 DUT 20の特性を測定するためのものである。信号源 2は、信号出力部 2 a、ブリッジ 2 b、レシーバ（R) 2 c (送信信号測定手段）を有する。信号出力部 2 aは、所定の周波数の信号を出力する。この信号は、送受信用ポート l a、 l b、 l c、 1 dのいずれかから送信される送信信号である。プリッジ 2 bは、信号出力部 2 aから出力された送信信号をレシ一ノ（R ) 2 cおよび切替器 3に供給する。ブリッジ 2 bが供給する信号は、ネットワークアナライザ 1によ測定系誤差要因の影響を受けていない信号といえる。レシーバ ( R ) 2 c (送信信号測定手段）は、ブリッジ 2 bから受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（R ) 2 cは、ネットワークアナライザ 1による測定系誤差要因の影響の生ずる前に、送信信号に関する Sパラメ一夕（送信信号パラメ一夕）を測定する。切替器 3は、信号源 2から与えられた送信信号、' ブリッジ 4 a、 4 b、 4 c、 4 dのうちのいすれか一つに与える。ブリッジ 4 aは、信号源 2から与えられた送信信号を、送受信用ポート 1 aに向けて出力する。さらに、プリヅジ 4 aは、送受信用ポ一ト 1 aが受信した受信信号を受け、レシーバ 5 aに向けて出力する。送受信用ポート l b、 l c、 1 dのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 aにより受信されたものが受信信号である。ただし、送受信用ポート 1 aから送信された送信信号が反射され、送受信用ポート 1 aにより受信されたもの（反射信号）もまた、受信信号である。なお、送受信用ポート 1 aと、送受信用ポート l b、 l c、 I dのいずれかとが D U T 2 0あるいは後述する 4ポ一ト校; Ε器 3 0により接続される。よって、送受信用ポート 1 b、 1 c _s I dのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 aにより受信される。また、送受信用ポート 1 aから送信された送信信号が、 D U T 2 0、 9 ポートテストセット 1 0あるいは後述する 4ポ一ト校正器 3 0により反射され、送受信用ポート 1 aにより ¼信される。ブリッジ 4 bは、信号源 2から与えられた送信信号を、送受信用ポ —ト 1 bに向けて出力する。さらに、プリヅジ 4 bは、送受信用ポート 1 bが受信した受信信号を受け、レシーバ 5 bに向けて出力する。受信用ポート l a、 l c、 1 dのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 bにより受信されたものが受信信号である。ただし、送受信用ポート 1 bから送信された送信信号が反射され、送受信用ポート 1 bにより受信されたもの（反射信号） 'もまた、受信信号である。なお、送受信用ポート 1 bと、送受信用ポート 1 a、 1 c _s I dのいずれかとが D U T 2 0あるいは後述する 4ポ一ト校正器 3 0により接続される。よって、送受信用ポート 1 a、 1 c、 I dのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 bにより受信される。また、送受信用ポート 1 bから送信された送信信号が、 D U T 2 0、 9 ポ一トテストセット 1 0あるいは後述する 4ポ一ト校正器 3 0により反射され、送受信用ポート 1 bにより受信される。ブリッジ 4 cは、信号源 2から与えられた送信信号を、送受信用ポ —ト 1 cに向けて出力する。さらに、ブリッジ 4 cは、送受信用ポ一ト 1 cが受信した受信信号を受け、レシーバ 5 cに向けて出力する。送受信用ポート l a、 l b、 1 dのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 cにより受信されたものが受信信号である。ただし、送受信用ポート 1 cから送信された送信信号が反射され、送受信用ポート 1 cにより受信されたもの（反射信号）もまた、受信信号である。なお、送受信用ポート l cと、送受信用ポート l a、 l b、 I dのいずれかとが DUT 2 0あるいは後述する 4ポート校正器 3 0により接続される。よって、送受信用ポート 1 a、 l b、 I dのいずれかか送信された送信信号が、送受信用ポート 1 cにより受信される。また、送受信用ポート 1 cから送信された送信信号が、 DUT 2 0、 9 ■ ポートテストセット 1 0あるいは後述する 4ポート校 ¾器 3 0により反射され、送受信用ポート 1 cにより受信される。 ' ブリッジ 4 dは、信号源 2から与えられた送信信号を、送受信用ポ —ト 1 dに向けて出力する。さらに、ブリッジ 4 dは、送受信用ポ一ト 1 dが受信した受信信号を受け、レシーバ 5 dに向けて出力する。送受信用ポ一ト 1 a、 1 b、 1 cのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 dにより受信されたものが受信信号である。ただし、送受信用ポート 1 dから送信された送信信号が反射され、送受信用ポート 1 dにより受信されたもの（反射信号）もまた、受信信号である。なお、送受信用ポート 1 dと、送受信用ポート l a、 l b、 l cのいずれかとが DUT 2 0あるいは後述する 4ポート校正器 3 0により接続される。よって、送受信用ポート 1 a、 l b、 l cのいずれかから送信された送信信号が、送受信用ポート 1 dにより受信される。また、送受信用ポート 1 dから送信された送信信号が、 DUT 20、 9 ポートテストセヅト 10あるいは後述する 4ポート校正器 30により反射され、送受信用ポ一ト 1 dにより受信される。レシーバ（受信信号測定手段） 5 aは、ブリッジ 4 aから受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ ( T a) 5 aは、送受信用ポート 1 aにより受信された受信信号に関する Sパラメ一夕 (受信信号パラメ一夕）を測定する。

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レシーバ（受信信号測定手段） 5 bは、ブリッジ 4 bから受けた信 • 号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（Tb) 5 bは、送受信用ポ一ト 1 bにより受信された受信信号に関する Sパラメ一夕 (受信信号パラメ一夕）を測定する。レシーバ（受信信号測定手段） 5 cは、ブリッジ 4 cから受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシ一バ（T c) 5 cは、送受信用ポ一ト 1 cにより受信された受信信号に関する Sパラメ一夕 (受信信号パラメ一夕）を測定する。レシーバ（受信信号測定手段） 5 dは、ブリッジ 4 dから受けた信号の Sパラメ一夕を測定する。よって、レシーバ（Td) 5 dは、送受信用ポ一ト 1 dにより受信された受信信号に関する Sパラメ一夕 (受信信号パラメ一夕）を測定する。 9ポートテストセット接続関係取得部 6は、どのネットワークアナライザ側ポートが、どの DUT側ポートに接続しているか（接続関係という）を取得して、伝送トラッキング決定部 7に与える。接続関係の取得は、例えば、利用者が与えるようにしてもよい。 9ポートテストセット接続関係取得部 6が 9ポートテストセヅト 1 0と接続されており、 9ポートテストセット 10の接関係が信号として、 9ポートテストセット接続関係取得部 6に与えられるようにすることも考えられる。伝送トラッキング決定部 7は、レシ一バ（R) 2 cおよびレシーバ a、 5 b、 5.c、 5 dから測定結果を受け、伝送トラッキングを決定する。いずれの接続関係についての伝送トラッキングかは、 9ポ一卜テストセット接続関係取得部 6から与えられた接続関係により判明する。 ' 伝送トラツキング導出部 8は、伝送トラツキング決定部 7により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、伝送トラツキング決定部 7により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す。第 3図は、 9ポートテストセット 10の構成を示す図である。 9ポ —トテストセット 10は、ポート接続部 12 a、 12 b、 12 c、ネットワークアナライザ側ポート NP 1、 NP 2、 NP 3、 NP 4および D U T側ポート ΤΡ 1、 ΤΡ 2、 ΤΡ 3、 ΤΡ 4、 ΤΡ 5、 ΤΡ 6、 ΤΡ 7、 ΤΡ 8、 Τ Ρ 9を備える。ポート接続部 12 aは、 DUT側ポート TP 1および TP 2のうちのいずれか一つを選択して、ネットワークアナライザ側ポート NP 1 に接続する。ポート接続部 12 aは、さらに、 0111¹側ポ一ト1? 2 および T P 3のうちのいずれか一つを選択して、ネットワークアナラィザ側ポート NP 2に接続する。ただし、 DUT側ポート TP 2に、ネヅトワークアナライザ側ポ一ト NP 1を接続する場合は、ネットヮ —クアナライザ側ポ一ト NP 2には D ύ T側ポート Τ Ρ 2を接続しない。 D U Τ側ポ一ト Τ Ρ 2に、ネットワークアナライザ側ポ一ト Ν Ρ 2を接続する場合は、ネヅトワークアナライザ側ポート ΝΡ 2には D UT側ポート Τ Ρ 1を接続しない。ポート接続部.12 bは、 DUT側ポート T P 4、 T P 5および T P 6のうちのいずれか一つを選択して、ネットワークアナライザ側ポ一ト NP 3に接続する。ポ一ト接続部 12 cは、 D U T側ポート T P 7、 T P 8および T P 9のうちのいずれか一つを選択して、ネットワークアナライザ側ポート NP 4に接続する。ここで、どのネットワークアナライザ側ポートが、どの DUT側ポ ―トに接続しているかという接続関係の取り得る状態を第 4図に示す。接続関係 Aにおいては、 DUT側ポート T P 1がネットワークアナライザ側ポート NP 1に接続されている。 D UT側ポート T P 2がネヅトワークアナライザ側ポート NP 2に接続されている。 DUT側ポート TP 4がネヅトワークアナライザ側ポート NP 3に接続されている。 DUT側ポ一ト TP 7がネヅトワークアナライザ側ポ一ト NP 4 に接続されている。このような接続関係を、 D U T側ポート T P 1について、 A 1という。 D U T側ポート T P 2について、 A 2という。 D U T側ポート T P 4について、 A3という。 D U T側ポート T P 7について、 A4という o 接続関係 Bにおいては、 D U T側ポ一ト T P 1がネットワークアナラィザ側ポート N P 1に接続されている。 D U T側ポ一ト T P 3がネットワークアナライザ側ポート NP 2に接続されている。 DUT側ポト TP 5がネヅトワークアナライザ側ポート NP 3に接続されている。 DUT側ポート TP 8がネットワークアナライザ側ポート NP 4 ■ に接続されている。このような接続関係を、 DUT側ポート TP 1について、 B 1という。 D U T側ポート T P 3について、 B 2という。 0111¹側ポ一ト丁 P 5について、 B 3という。 DU T側ポ一ト T P 7について、 B 8といラ。接続関係 Cにおいては、 D U T側ポ一ト T P 2がネットワークアナライザ側ポ一ト NP 1に接続されている。 D UT側ポート T P 3がネヅトワークアナライザ側ポート NP 2に接続されている。 DUT側ポ —ト T P 6がネヅトワークアナライザ側ポ一ト NP 3に接続されている。 D U T側ポート T P 9がネットワークアナライザ側ポート N P 4 に接続されている。このような接続関係を、 D UT側ポート T P 2について、 C 1という。 D U T側ポ一ト T P 3について、 C 2という。 011丁側ポ一ト 1 P 6について、 C 3という。 D U T側ポート T P 9について、 C 4という。第 5図に、ネヅトワークアナライザ i則ポートと、 DUT側ポートとの接続関係の例を示す。第 5図に示す例では、 DUT側ポート TP 2 がネットワークアナライザ側ポート NP 1に接続されている（C 1 )。 D U T側ポ一ト T P 3がネットワークアナライザ側ポ一ト N P 2に接続されている（ C 2 )。 DU T側ポート T P 4がネットワークアナライ、ザ側ポート NP.3に接続されている（ A 3 )。 D U T側ポート T P 7がネットワークアナライザ側ポート NP 4に接続されている（A4)。ここで、 D UT側ポート T P 1、 Τ Ρ 2および TP 3を主ポート群 14 a_s DU T側ポート T P 4、 T P 5および T P 6を副ポート群 1 4 b、 DUT側ポート TP 7、 Τ Ρ 8および Τ Ρ 9を副ポート群 1 4 cという。主ポート群 14 aにおける接続関係、副ポート群 14 bにおける接続関係および副ポート群 14 cにおける接続関係は、独立して定めることができる。第 5図に示す例では、主ポ一ト群 14 aにおける接続関係が Cだからといって、副ポート群 1 4 bにおける接続関係および副ポート群 14 cにおける接続関係を Cにする必要は無く、 Aであってもよい。第 6図は、 D U T 2 0の構成の一例を示す機能プロヅク図である。 DUT 2 0は、例えば、デュプレクサである。 DUT 2 0は、 GSM デュプレクサ（D PX) 2 2 a, D C Sデュプレクサ（D PX) 2 2 b、デュプレクサ（DPX) 2 2 cを備える。 G SMデュプレクサ（D PX) 22 aは、アンテナ用のポ一ト 20 a、送信用のポート 20 j、受信用のポ一ト 20 f に接続されている。 GSMデュプレクサ（DPX) 22 aは、アンテナ用のポート 20 a から信号を受け、受信用のポート 20 f に出力する。さらに、 GSM デュプレクサ（D PX) 22 aは、送信用のポ一ト 20 jから信号を受け、アンテナ用のポート 20 aから送信する。

DCSデュプレクサ（DPX) 22 bは、アンテナ用のポート 20 わ、送信用のポート 20 h、受信用のポート 20 eに接続されている。 DCSデュプレクサ（DPX) 22 bは、アンテナ用のポート 20 b から信号を受け、受信用のポート 20 eに出力する。さらに、 D CS デュプレクサ（DPX) 22 bは、送信用のポート 20 hから信号を受け、アンテナ用のポート 20 bから送信する。デュプレクサ（D PX) 22 cは、アンテナ用のポ一ト 20 c、送信用のポート 20 g、受信用のポート 20 dに接続されている。デュプレクサ（ D P X ) 22 cは、アンテナ用のポート 20 cから信号を受け、受信用のポ一ト 20 dに出力する。さらに、デュプレクサ（D PX) 22 cは、送信用のポート 20 gから信号を受け、アンテナ用のポート 20 cから送信する。第 1図に示した測定系においては、測定系誤差要因が生じる。測定系誤差要因には、 E d ：ブリッジの方向性に起因する誤差、 E r :周波数トラヅキングに起因する誤差、 E s ：ソースマッチングに起因する誤差、 E t ：伝送トラッキング、 ELがある。このような測定系誤差要因を測定し、 DUT 20の測定結果における誤差を除去する必要がある。すなわち、校正を行なう必要がある。第 7図は、測定系の校正を行なうための構成を示す図である。 9ポートテストセヅト 1 0には、 D U T 2 のかわりに 4ポート校正器 3 0が接続される。なお、 9ポートテストセット 1 0の接続関係は、 A 1、 A 2、 A 3および A 4であるとする。

4ポート校正器 3 0は、校正用ポート 32 a、 32 b、 3 2 c、 3 \2 dを備える。校正用ポート 32 aは、 9ポートテストセット 1 0を介して、送受信用ポ一ト 1 aに接続される。校正用ポート 3 2 bは、 • 9ポートテストセット 1 0を介して、送受信用ポート 1 bに接続される。校正用ポート 3 2 cは、 9ポ一トテストセット' 1 0を介して、送受信用ポート 1 cに接続される。校正用ポート 3 2 dは、 9ポートテストセット 1 0を介して、送受信用ポート 1 dに接続される。

9ポートテストセット 1 0の接続関係は、 A l、 A 2 s A 3および A 4なので、 DUT側ポート TP 1が校正用ポート 3 2 aに、 DUT 側ポート T P 2が校正用ポ一ト 3 2 bに、 D U T側ポート T P 4が校正用ポート 3 2 cに、 DUT側ポート T P 7が校正用ポート 3 2 に接続される。第 8図は、 4ポート校正器 3 0の構成を示すブロック図である。 4 ポート校正器 30は、スィッチ 3 3 a、 3 3 b、 3 3 c、 3 3 d、サブ校正器 34 a、 34 b、 34 c、 34 d、 2ポート結合器 3 6を備 X. Ό o スイッチ 3 3 aは、校正用ポート 3 2 aを、サブ校正器 3 4 aあるいは 2ポ一ト結合器 3 6に接続する。スイッチ 3 3 bは、校正用ポート 3 2 bを、サブ校正器 3 4 bあるいは 2ポート結合器 3 6に接続する。スイッチ 3 3 cは、校正用ポ一ト 3 2 cを、サブ校正器 3 4 cあるいは 2ポ一ト結合器 3 6に接続する。スィヅチ 3 3 dは、校正用ポート 3 2 dを、サブ校正器 3 4 dあるいは 2ポート結合器 3 6に接続する。へ第 9図は、サブ校正器 3 4 aの構成を示すプロック図である。サブ校正器 3 4 aは、校正用具 3 8 o p s 短絡校正用具 3 8 s、標準負荷 ■ 校正用具 3 8 L、校正用具接続部 3 7を有する。校正用具は、特開平 1 1— 3 8 0 5 4号公報に記載のようにオーブン（開放）、ショート（短絡）、ロード（標準負荷 Z0) の三種類の状態を実現する周知のものである。開放校正用具 3 8 o pは、送受信用ポート 1 aについて、開放の状態を実現する。短絡校正用具 3 8 sは、送受信用ポート 1 aについて、短絡の状態を実現する。標準負荷校正用具 3 8 Lは、送受信用ポート l aについて、標準負荷の状態を実現する。校正用具接続部 3 7は、送受信用ポート l aに、開放校正用具 3 8 o p、短絡校正用具 3 8 s、標準負荷校正用具 3 8 Lの内のいずれか一つを接続する。校正用具接続部 3 7は、一種のスィツチである。なお、サブ校正器 3 4 b、 3 4 c、 3 4 dは、サブ校正器 3 4 aと同じ構成である。ただし、サブ校正器 34 bは、送受信用ポート l b に接続される。サブ校正器 34 cは、送受信用ポート 1 cに接続される。サブ校正器 34 dは、送受信用ポート 1 dに接続される。 2ポ一ト結合器 3 6は、校正用ポ一ト 32 aおよびスイッチ 3 3 a を介して送受信用ポート 1 aと、校正用ポート 3 2 bおよびスィッチ 33 bを介して送受信用ポ一ト 1 bと、校正用ポート 3 2 cおよびスイッチ 3 3 cを介して送受信用ポート 1 cと、校正用ポ一ト 3 2 dお、よびスィツチ 33 dを介して送受信用ポート 1 dと接続されている。

2ポート結合器 3 6は、送受信用ポート 1 a、 l b、 l c、 I dにおける二個のポートの組み合わせを全て実現できる'。すなわち、送受信用ポート 1 aと 1 b、送受信用ポ一ト 1 aと 1 c、送受信用ポート 1 aと 1 d、送受信用ポ一ト 1 bと 1 c、送受信用ポート 1 bと 1 d、送受信用ポート 1 cと 1 dの 6種類の結合が可能である。 2ポート結合器 3 6は、これらの 6種類の結合から一つづつ選択して実現し、最終的には 6種類全てを実現する。第 1 0図は、送受信用ポート l aと l bとが DUT 2 0により結合された状態を示すシグナルフロ一グラフである。ただし、 S l l、 S 1 2、 S 2 1、 S 2 2は測定系誤差の無い真の DUT 2 0の Sパラメ一夕である。第 1 0図に示す状態では、送受信用ポート 1 aから送信信号が出力され、送受信用ポート 1 bにより受信される。また、送受信用ポ一ト 1 aから出力された送信信号が反射され、送受信用ポート 1 aにより受信される。測定系誤差要因は、 E d (ブリッジの方向性に起因する誤差）、 E r (周波数トラヅキングに起因する誤差）、 E s (ソースマッチングに起因する誤差）、 E t (伝送トラッキング）、 E Lがある。 4ポート校正器 30を使用して、これらの誤差要因を測定する。まず、スイッチ 3 3 aにより、校正用ポ一ト 3 2 aを、サブ校正器 34 aに接続する。このときの状態をシグナルフローグラフで表したものが第 1 1図である。ただし、 Xは、開放校正用具 3 8 o p、短絡校正用具 3 8 s.および標準負荷校正用具 38 Lの Sパラメ一夕である。 Rは、レシーバ (R) 2 cにより測定される、送信信号に関する Sパラメ一夕である。 T aは、レシーバ（T a) 5 aにより測定される、反射信号に関する Sパラメ一夕である。このとき、 T a/R = E d + E r · X/ ( 1— E s - X) という関係が成立する。

Xは三種類（開放校正用具 38 o p、短絡校正用具 38 sおよび標準負荷校正用具 3 8 Lの Sパラメ一夕）の値をとるため、 E d、 E r、 E sを求めることができる。次に、スイッチ 3 3 aにより、校正用ポート 3 2 aを、 2ポート結合器 3 6に接続する。さらに、スイッチ 3 3 bにより、校正用ポート 32 bを、 2ポート結合器.3 6に接続する。 2ポート結合器 3 6は、 . 校正用ポート 3 2 aと校正用ポ一ト 3 2 bとを結合することにより、送受信用ポート 1 aと 1 bとを結合する。このときの状態をシグナルフロ一グラフで表したものが第 1 2図である。ただし、 Tbは、レシーバ（T b) 5 bにより測定される、受信信号に関する Sパラメ一夕である。このとき、 T b/Rに基づき、 E tを求めることができる。また、 T a/Rに基づき、 E Lを求めることができる。このようにして、 E t (伝送トラッキング）などを測定できる。 E tを決定するためには、二個の送受信ポートを 2ポート結合器 3 6 により結合しなければならない。二個の送受信用ポートの結合は、二個の接続関係の結合として表すことができる。例えば、第 7図に示すような状態において、 2ポート結合器 3 6により、送受信用ポート 1 aと 1 bとを結合したとする。これは接続関係 A 1および A 2の結合いうことになる。第 1 3図に、測定系において決定すべき E t (伝送トラッキング）を決定するために必要な接続関係の結合を示す。第 1 3図において、 A 1、 A 2などという表記は、接続関係を示す。なお、 A 1 =B 1というのは、どちらも DUT側ポ一ト T P 1がネヅトワークアナライザ側ポート NP 1に接続されているから、同じ状態であるということを意味する。また、 B 2 = C 2というのは、どちらも DUT側ポート T P 3がネヅトワークアナライザ側ポート NP 2に接続されているから、同じ状態であるということを意味する。さらに、各接続関係を結ぶ直線は、 E t (伝送トラヅキング）を測定するために、結合すべき接続関係を意味する。例えば、接続関係 A 1および A 2は結合する必要がある。しかし、接続関係 A 4および B 3は結合する必要がない。第 1 3図を参照するとわかるように、主ポート群 1 4 aにおける接続関係の一つ A 1、 A 2と、副ポート群 1 4 b、 1 4 cにおける接続関係の全て A 3、 A 4、 B 3、 B 4、 C 3、 C 4、との結合が必要である。同様に、主ポート群 1 4 aにおける接続関係の一つ B 1、 B 2 と、副ポート群 14b、 14 cにおける接続関係の全て A 3、 A4、 B 3、 B 4、 C 3、 C 4s との結合が必要である。同様に、主ポート群 14 aにおける接続関係の一つ C 1、 C 2と、副ポート群 14 b、 14 cにおける接続関係の全て A 3、 A4、 B 3、 B 4、 C 3、 C4、との結合が必要である。ここで、第 13図に示すような結合関係を 4ポート校正器 30の 2 ポート結合器 36により全て実現しょうとした場合、 4ポート校正器、30の 9ポ一卜テストセット 10に対する脱着を 7回繰り返さなければならない。ただし、後述するように、本発明の実施形態におけるネヅトワークアナライザ 1が伝送トラッキング導出部 8を備えているため、実際には 3回でよい。 ' 第 14図は、 4ポート校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着の態様を示す図である（伝送トラッキング導出部 8が無いと仮定した場合）。なお、第 14図に示す脱着の順番は、必ずしも、これに限定されない。まず、第 14図（a) に示すように、 4ポート校正器 30を 9ポ一トテストセット 10に取りつけて、（ 1 ) 接続関係 A Is A 2、 A3、 A4を結合する。すなわち、接続関係 A 1と A2との結合、接続関係 A 1と A 3との結合、接続関係 A 1と A4との結合、接続関係 A 2と A3との結合、接続関係 A2と A4との結合、接続関係 A3と A4との結合を順々に実現していく。そして、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10から外し、また取りつけて、（2) 接続関係 B 1、 B 2、 B 3、 B 4を結合する。さらに、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10から外し、また取りつけて、（3) 接続関係 C 1、 C 2、 C 3、 C 4を結合する。さらに、第 14図（b) に示すように、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10から外し、また取りつけて、（4)接続関係〇 1、 C2、 A3、 A4を結合する。そして、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10から外し、また取りつけて、第 14図（c) に示すように、（ 5 )接続関係 A 1、 A 2、 C 3、 C 4を結合する。最後に、 ^ポ一ト校正器 30を 9ポートテストセット 10から外し、また取りつけて、第 14図（d) に示すように、（ 6 )接続関係 A Is A2_S B 3、 B 4を結合し、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10 から外し、また取りつけて、（7)接続関係 C 1、 C'2、 B 3、 B 4を結合する。ところが、本発明の実施形態におけるネットワークァチライザ 1が伝送トラッキング導出部 8を備えているため、第.1 5図に示すように、接続関係の結合は、（ 1)接続関係八 1、八2、八3、八4の結合、（2) 接続関係 B 1、 B 2、 B 3、 B 4の結合、（3 ) 接続関係 C 1、 C 2、 C 3、 C4の結合、の三種類ですむ。他の結合（点線で図示）にかかる E t (伝送トラッキング）は、（ 1)、（2)、 (3)の結合にかかる E t (伝送トラッキング）から導出することができる。第 16図は、 E t (伝送トラッキング）の導出法の原理を説明するための図である。ここで、説明の便宜上、第 1 6図（a) に示すように、ネットワークアナライザ 1を 2ポート結合器 36に直接に接続するものとする。送受信用ポート 1 aは 2ポート結合器 36のポート 1 と、送受信用ポート 1 bは 2ポート結合器 3 6のポート 2と、送受信用ポ一ト 1 cは 2ポート結合器 3 6のポート 3と、送受信用ポ一ト 1 dは 2ポート結合器 3 6のポート 4とが接続されているものとする。第 1 6図（a ) を参照して、ポート 1とポート 2とを接続することにより伝送トラッキング E t 12が測定できる。ただし、 E t ijは、ポート iに接続された送受信ポートから信号が送信され、この送信信号がポート jに接続された送受信ポートにより受信されるときの伝送トラッキングを意味する。さらに、ポート 1とポート 3とを接続することにより伝送トラッキング E t 13が測定できる。ポート 2とポート 3 とを接続することにより伝送トラッキング E t 23が測定できる。ポート 1とポート 4とを接続することにより伝送トラヅ'キング E t 14 が測定できる。ここで、 E t 24をポート 2とポート 4とを接続することなく導出できる。 E t 34も、ポート 3とポート 4とを接続することなく導出できる。これは、 E t ik/ E t jk= (kに関係なく一定）という定理に基づく。ただし、 i≠jであり、 k≠i、 k≠jであるものとする。例えば、 E t 24/ E t 14 =E t 23/ E t 13である。 E t 14、 E t 23、 E t 13は既に測定してあるため、 E t 24を導出できる。第 1 6図（b ) は、 E t 24の導出法を図示したものである。 E t 24 は、ポート 2からポート 4へ向かう矢印として表される。ポート 2からポート 4へ向かうためには、ポート 2からポート 3へ向かい（E t 23)、ポ一ト 3からポート 1へ向かい（E t 13の逆）、ポ一ト 1からポ —ト 4へ向かう（E t l4) ようにしてもよい。これは、 E t 24が、 E t 14、 E t23、 E t 13 から導出できることと合致する。すなわち、ポート 2からポート 4へ向かう矢印として表される E t 24を、ポ一ト 2からポート 4へ到達するような他の矢印三本（ポ一ト 2からポート 3へ向かう矢印、ポート 1からポート 3へ向かう矢印（逆方向）、ポート 1からポート 4へ向かう矢印）を用いて求めることができる。第 15図を参照して、例えば、接続関係 A 2と接続関係 B 3との結合についての E t (伝送トラッキング）は、第 1 6図を参照して説明、した方法を適用すれぱ、接続関係 A 2と接続関係 A 1との結合についての E t、接続関係 B 1 (二 A 1 ) と接続関係 B 2との結合についての E t、接続関係 B 2と接続関係 B 3との結合についての E tから導出できることがわかる。このように、 E tの始点および終点である接続関係 A 2および接続関係 B 3以外の二つの接続関係 A 1、 B 2を用いて、 E tを導出できることがわかる。また、接続関係 A 2と接続関係 C 3との結合についての E t (伝送トラヅキング）は、接続関係 A 2と接続関係 A 1との結合についての E t、接続関係 B 1 (= A 1) と接続関係 B 2との結合についての E t、接続関係 C 2 ( = B 2) と接続関係 C 3との結合についての E t から導出できることがわかる。このように、 E tの始点および終点である接続関係 A 2および接続関係 C 3以外の二つの接続関係 B 1、 C 2を用いて、 E tを導出できることがわかる。ネットワークアナライザ 1の伝送トラヅキング決定部 7は、（ 1 )、 (2)、（3) の結合にかかる E t (伝送トラッキング）を決定する。測定結果が、どの結合についての E tであるかは、 9ポートテストセット接続関係取得部 6から与えられた接続関係により判明する。伝送トラツキング導出部 8は、伝送トラツキング決定部 7により決定された（ 1)、（2)、（3) の結合にかる E tに基づき、上記のような導出法を使用して、決定されていない； E tを導出する。次に、本発明の実施形態の動作を第 17図のフローチヤ一トを参照して説明する。

、 ·

まず、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つを、 9ポートテストセット 10のポート接続部 12 a、 12 b、 12 cを操作することにより実現する（S 10)。主ポート群 14 a'における接続関係は、 A l、 A2と、 B l、 B 2と、 C l、 C 2との三種類がある。このうちの一つ、例えば、 A l、 A2を実現する。次に、副ポート群 14 b、 14 cにおける接続関係のうちの一つを、 9ポートテストセット 10のポート接続部 12 a、 1 2 b、 12 cを操作することにより実現する（S 12)。副ポート群 14b、 14 cにおける接続関係は、 A3、 A4と、 B 3、 B 4と、 C 3、 C 4との三種類がある。このうちの一つ、例えば、 A3、 A 4を実現する。そして、 4ポート校正器 30を 9ポートテストセット 10の DUT 側ポートに接続する（S 14)。 A 1、 A 2および A 3、 A 4が実現された場合、 D UT側ポート T P 1が校正用ポート 32 aに、 DUT側ポート T P 2が校正用ポート 32 bに、 D U T側ポート T P 4が校正用ポート 32 cに、 DUT側ポート TP 7が校正用ポート 32 dに接続される。すなわち、ネットワークアナライザ側ポート NP 1、 N P 2、 NP 3、 NP 4に接続されている D U T側ポートを校正用ポート 32 a, 32 b、 32 c、 32 dに接続する。そして、ネットワークアナライザ 1は、信号を送信する。そして、 R (送信信号パラメ一夕）、 T a、 Tb、 T c、 T d (受信信号パラメ —夕）を測定する（S 1 6)。 R、 Ta、 Tb、 T c、 Tdの測定の際の、 4ポート校正器 30の動作は、先に説明した通りである。校正用一ト 32 a、 .32 b、 32 c、 32 dに接続されている D U T側ポ —ト（ネットワークアナライザ側ポートにも接続されている）における 2ポートの組み合わせを一つづつ実現し、最終的には 6種類全てを実現することになる。 ' ここで、主ポート群 14 aにおける接続関係の全てを実現したか否かを判定する（ S 18 )。まだ、実現していないものがあれば（ S 1 8、 No)、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つの実現（S 1 0) に戻る。これにより、例えば、以下のような接続関係の結合について R、 Ta、 Tb、 T c、 T dが測定されることになる。まず、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つ、 A l、 A 2を実現し（S 10)、副ポート群 14 b、 14 cおける接続関係のうちの一つ、 A3、 A 4を実現する（S 12)。これにより、（ 1) 接続関係 A l、 A 2s A3、 A 4の結合（第 15図参照）、について、 R、 T a、 Tb、 T c、 Tdが測定される（ S 16 )。次に、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つ、 B l、 B 2を実現し（S 10)、副ポート群 14 b、 14 cおける接続関係のうちの一つ、 B 3、 B 4を実現する（S 12)。これにより、（2) 接続関係 B 1、 B 2、 B 3、 B4の結合（第 15図参照）、について、 R、 T a、 T b、 T c、 T dが測定される S 16 )。最後に、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つ、 C l、 C 2を実現し（ S 1 0 )、副ポ一ト群 14 b、 14 cおける接続関係のうちの一つ、 C 3、 C 4を実現する（ S 12 )。これにより、（ 3 ) 接続関係 C 1、 C 2、 C 3、 C 4の結合（第 15図参照）、について、 R、 Ta、 Tb、 T c、 T dが測定される（ S 16 )。ここまで行なえば、主ポート群 14 aにおける接続関係の全て（A 1、 A 2と、 B l、 B 2と、 C l、 C 2との三種類）を実現したことになる（ S 18、 Y e s )。主ポート群 14 aにおける接続関係の全てを実現したならば（S 1 8、 Ye s), 伝送トラッキング決定部 7が、 R、 T a、 Tb、 T c、 Tdの測定結果および 9ポートテストセット接続関係取得部 6により取得された接続関係に基づき、 E t (伝送トラッキング）を決定する ( S 20 )。伝送トラツキング導出部 8は、伝送トラツキング決定部 7により決定された（ 1)、（2)、（3) の結合にかかる E tに基づき、上記のような導出法を使用して、決定されていない E tを導出する（ S 22 )。本発明の実施形態によれば、主ポート群 14 aにおける接続関係のうちの一つ（例えば A 1、 A 2 ) と、副ポート群 14 b、 14。おける接続関係のうちの一つ（例えば A3、 A4) との組み合わせについて E t (伝送トラッキング）を、伝送トラッキング決定部 7が決定する。しかも、 E t (伝送トラッキング）の測定は、主ポート群 14 aにおいて実現可能な接続関係の全て（A l、 A 2と、 B l、 B 2と、 C 1、 C 2との三種類）について行なわれる。例えば、第 15図を参照、して、（ 1) A l、 A 2と、 A3、 A 4との組み合わせ、（2) B l、 82と、 83、 B 4との組み合わせ、（3) C l、 C 2と、 C 3、 C 4 との組み合わせ、について E t (伝送トラッキング）の測定が行なわれる。この測定された E t (伝送トラッキング）に基づき、伝送トラツキング導出部 8が測定されていない E tを導出する。例えば、接続関係 A 2と接続関係 B 3との結合についての E t (伝送トラッキング）は、 E tの始点および終点である接続関係 A 2および接続関係 B 3以外の二つの接続関係 A 1、 B 2を用いて導出する。このようにして、 E t (伝送トラッキング）を測定あるいは導出するため、 4ポート校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着の回数は 3回ですむ。伝送トラッキング導出部 8による E t (伝送トラヅキング）の導出が無ければ、 7回（第 14図参照）の脱着が必要であることと比較すれば、脱着の回数を少なくできる。

4ポート校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着は、ネットワークアナライザ 1の送受信ポート 1 a、 l b、 l c、 I dにおける 2ポートを選んで直結するために行なわれる。 4ポ一ト校正器 30の 9ポートテストセット 10に対する脱着の回数が少なくなつたため、ネヅ，トワークアナライザ 1の送受信ポート 1 a、 l b、 1 c、 1 dにおける 2ポートを選んで直結するための労力も軽減されることになる。また、上記の実施形態は、以下のようにして実現できる。 CPU、ードディスク、メディア（フロッピー（登録商標）ディスク、 CD —ROMなど）読み取り装置を備えたコンピュータのメディア読み取 ■ り装置に、上記の各部分（例えば 9ポートテストセット接続関係取得部 6、伝送トラッキング決定部 7、伝送トラッキング導出部 8) を実現するプログラムを記録したメディァを読み取らせて、ハードデイスクにインスト一ルする。このような方法でも、上記の実施形態を実現できる。

Claims

請求の範囲

1 . ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポ一トと、複数の前記被測定物¾]ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つの前記ネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、前記被測定物側ポートは、前記ネットヮ一クアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワーク、アナライザであって、

前記ネットワークアナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送

■ 受信するための送受信用ポートと、

前記主ポート群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副ポート群において実現可能な前記接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、前記主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、前記送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラツキング決定手段と、前記伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、前記伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出手段と、

を備えたネットワークアナライザ。

2 . 請求項 1に記載のネットワークアナライザであって、

前記伝送トラッキング導出手段は、前記主ポート群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副ポート群において実現可能な前記接続関係の他の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを導き出すために、導出対象の伝送トラッキングの始点および終点の接続関係以外の接続関係を二つ用いる、

ネットワークアナライザ。

3 . 請求項 1または 2に記載のネットワークアナライザであって、前記主ポート群は、 2個の前記ネットワークアナライザ側ポ一トに接続される 3個の前記被測定物側ポートを有し、

前記副ポート群は、 1個の前記ネットワークアナライザ側ポートに接続される 3個.の前記被測定物側ポートを有し、

前記副ポート群が 2個存在する、

ネヅトワークアナライザ。

4 . 請求項 1または 2に記載のネヅトワークアナライザであって、前記送受信用ポートにより送信される送信信号に関する送信信号パラメ一夕を、前記測定系誤差要因の生ずる前に測定する送信信号測定手段と、

前記送受信用ポートにより受信された受信信号に関する受信信号パラメ一夕を測定する受信信号測定手段と、

を備えたネットワークアナライザ。

5 . 請求項 4に記載のネットワークアナライザであって、

前記受信信号は、前記送信信号が反射された反射信号を含む、ネットワークアナライザ。

6 . ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の前記被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つの前記ネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、前記被測定物側ポートは、前記ネットヮークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワークアナライザの伝送トラッキングを測定するための伝送トラッキング測定方法であって、

前記ネットワークアナライザは、前記ネットワークアナライザ側ポ —トと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有、し、 ·

前記主ポート群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副

■ ポート群において実現可能な前記接続関係の一つとの組み合わせを、前記主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて実現する接続関係実現工程と、

前記接続関係実現工程において一つの組み合わせが実現した際に、前記ネットワークアナライザ側ポートに接続されている前記被測定物側ポートにおける 2ポ一トの組み合わせの結合を全て実現する被測定物側ポート結合工程と、

前記送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号を測定する信号測定工程と、

前記信号測定工程の測定結果に基づき、前記被測定物側ポート結合工程により実現された結合についての伝送トラッキングを決定する伝送トラッキング決定工程と、

前記伝送トラツキング決定工程により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、前記伝送トラッキング決定工程により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出ェ程と、を備えた伝送トラッキング測定方法。

7 . 請求項 6に記載の伝送トラッキング測定方法であって、

前記被測定物側ポート結合工程は、 4個のポー卜における 2個の組み合わせを全て結合可能な 4ポ一ト校正器を使用して実現される、伝送トラツキング測定方法。

8 . ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと.、複数の前記被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つの前記ネットワークアナライザ側ポートに接続する ■ ポート接続手段とを有し、前記被測定物側ポートは、前記ネットヮークアナライザ側ポー卜との接続関係が独立して設定可能な主ポート群および副ポート群を構成するテストセットに接続されるネットワークアナライザであって、前記ネットワークアナライザ側ポ一トと 1対 1 に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有するネットヮ —クアナライザによりネットワークを解析するネットヮ一ク解析方法であって、

伝送トラッキング決定手段が、前記主ポ一ト群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副ポート群において実現可能な前記接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、前記主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、前記送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラツキング決定工程と、

伝送トラツキング導出手段が、前記伝送トラツキング決定手段により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、前記伝送トラッキング決定手段により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出工程と、

を備えたネットワーク解析方法。

9 . ネットワークアナライザ側ポート、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の前記被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つの前記ネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、前記被測定物側ポートは、前記ネットヮークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポート群よび副ポート群を構成するテストセットに接続されるネヅトワークアナライザであって、前記ネットワークアナライザ側ポートと 1対 1

■ に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有するネットヮークアナライザによりネットワークを解析するネッ'トワーク解析処理をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、

前記主ポート群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副ポート群において実現可能な前記接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、前記主ポ一ト群において実現可能な接続関係の全てについて、前記送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラツキング決定処理と、前記伝送トラツキング決定処理により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、前記伝送トラツキング決定処理により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出処理と、

をコンピュ一夕に実行させるためのプログラム。

1 0 . ネットワークアナライザ側ポートと、被測定物に接続される被測定物側ポートと、複数の前記被測定物側ポートのうちのいずれか一つを選択して、一つの前記ネットワークアナライザ側ポートに接続するポート接続手段とを有し、前記被測定物側ポートは、前記ネットヮークアナライザ側ポートとの接続関係が独立して設定可能な主ポ一ト群および副ポート群を構成するテストットに接続されるネットヮークアナライザであって、前記ネットワークアナライザ側ポートと 1対 1に接続し、信号を送受信するための送受信用ポートを有するネットワークアナライザによりネットワークを解析するネットワーク解析処理をコンピュー夕に寒行させるためのプログラムを記録したコンピュ "夕によって読み取り可能な記録媒体であって、

前記主ポート群において実現可能な前記接続関係の一つと、前記副ポート群において実現可能な前記接続関係の一つとの組み合わせについて伝送トラッキングを、前記主ポート群において実現可能な接続関係の全てについて、前記送受信用ポートにより送信される前の信号および受信された信号に基づき決定する伝送トラツキング決定処理と、前記伝送トラッキング決定処理により決定された伝送トラッキング以外の伝送トラッキングを、前記伝送トラツキング決定処理により決定された伝送トラッキングに基づき導き出す伝送トラッキング導出処理と、

をコンビュ一夕に実行させるためのプログラムを記録したコンビュ一夕によって読み取り可能な記録媒体。