WO2005056674A1

WO2005056674A1 - 積層セラミック電子部品のスペーサ層用の誘電体ペースト

Info

Publication number: WO2005056674A1
Application number: PCT/JP2004/018628
Authority: WO
Inventors: Shigeki Satou; Takeshi Nomura
Original assignee: Tdk Corporation
Priority date: 2003-12-15
Filing date: 2004-12-14
Publication date: 2005-06-23
Also published as: CN1894334A; US20070149666A1; KR20060103918A; TWI250540B; JP2005171178A; TW200523959A; KR100766320B1

Abstract

　本発明は、積層セラミック電子部品のスペーサ層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなく、積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができる積層セラミック電子部品のスペーサ層用の誘電体ペーストを提供することを目的とする。　本発明にかかるスペーサ層用の誘電体ペーストは、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、α−ターピニルアセテート、Ｉ−ジヒドロカルビルアセテート、Ｉ−メントン、Ｉ−ペリリルアセテート、Ｉ−カルビルアセテートおよびｄ−ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

Description

明細書

積層セラミック電子部品のスぺーサ層用の誘電体ペースト

技術分野

[0001] 本発明は、積層セラミック電子部品のスぺーサ層用の誘電体ペーストに関するものであり、さらに詳細には、スぺーサ層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができる積層セラミック電子部品のスぺーサ層用の誘電体ペーストに関するものである。

^景技術

[0002] 近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。

[0003] 積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、プチラール樹脂などのバインダと、フタノレ酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルェチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製する。

[0004] 次いで、誘電体ペーストを、エタストルージョンコーターやグラビアコーターなどを用レ、て、ポリエチレンテレフタレート（PET)やポリプロピレン（PP)などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。

[0005] さらに、ニッケノレなどの導電体粉末とバインダを、ターピオネールなどの溶剤に溶解して、導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。

[0006] 電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シート力剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。

[0007] 最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。

[0008] 電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを 3 μ mあるいは 2 μ m以下にすることが要求され、 300以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されてレ、る。

[0009] し力、しながら、従来の積層セラミックコンデンサにおいては、セラミックグリーンシートの表面に、所定のパターンで、電極層が形成されるため、各セラミックグリーンシートの表面の電極層が形成された領域と、電極層が形成されていない領域との間に、段差が形成され、したがって、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層することが要求される場合には、多数の積層体ユニットに含まれたセラミックグリーンシート間を、所望のように、接着させることが困難になるとともに、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形を起こしたり、デラミネーションが発生するという問題があった。

[0010] かかる問題を解決するため、誘電体ペーストを、電極層のパターンと反対のパターンで、セラミックグリーンシートの表面に印刷し、スぺーサ層を、隣り合った電極層間に形成して、各セラミックグリーンシートの表面における段差を解消させる方法が提案されている。

[0011] このように、隣り合った電極層間のセラミックグリーンシートの表面に、印刷によって

、スぺーサ層を形成して、積層体ユニットを作製した場合には、各積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面における段差が解消され、それぞれが、セラミックダリーンシートと電極層を含む数多くの積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製する場合にも、所望のように、多数の積層体ユニットに含まれたセラミックグリーンシートを接着させることが可能になるとともに、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む数多くの積層体ユニットが積層されて、形成された積層体が変形を起こすことを防止することができるという利点がある。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0012] し力ながら、セラミックグリーンシート用のバインダとして、広く用いられているブチラール樹脂を用いたセラミックグリーンシート上に、スぺーサ層を形成するための誘電体ペーストの溶剤として、最も一般的に用いられているターピオネールを用いて、調製された誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合には、誘電体べ一スト中のターピオネールによって、セラミックグリーンシートのバインダが溶解されて、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシ一トとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生するという問題があった。さらに、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じると、その部分は、欠落しやすいため、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、スぺーサ層が欠落した部分にボイドが生じるという問題もあった。

[0013] 力、かる問題を解決するため、溶剤として、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤を用いることが提案されているが、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、誘電体ペーストに用いられるバインダ成分も溶解しないため、従来用いられているターピオネールなどの溶剤を、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤によって完全に置換することができず、したがって、誘電体ペースト中の溶剤が、依然として、セラミックダリーンシートのバインダであるプチラール樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを防止することが困難であり、また、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、ターピオネールに比して、粘度が低いため、誘電体ペーストの粘度制御が困難になるという問題もあった。

[0014] また、特開平 5-325633公報、特開平 7-21833号公報および特開平 7-21832 号公報などは、ターピオネールに代えて、ジヒドロタ一ピオネールなどの水素添加タ一ピオネールや、ジヒドロタ一ピオネールアセテートなどのテルペン系溶剤を提案しているが、ジヒドロタ一ピオネールなどの水素添加ターピオネールや、ジヒドロターピォネールアセテートなどのテルペン系溶剤は、依然として、セラミックグリーンシートのバインダであるプチラール樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールゃクラックが発生することを防止することが困難であるという問題があった。

[0015] したがって、本発明は、積層セラミック電子部品のスぺーサ層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができる積層セラミック電子部品のスぺーサ層用の誘電体ペーストを提供することを目的とするものである。

課題を解決するための手段

[0016] 本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、バインダとして、アクリル系樹脂を用い、溶剤として、リモネン、 α—ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I—ペリリノレアセテート、 I一カルビルァセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を用いて、スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製した場合には、所望のように、バインダを溶剤に溶解させることができ、プチラール系樹脂をバインダとして用いたセラミックグリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成しても、誘電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがなぐしたがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品にボイドが発生することを効果的に防止し得ることを見出した。

[0017] 本発明はかかる知見に基づくものであり、したがって、本発明の前記目的は、アタリル系榭脂をバインダとして含み、リモネン、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むことを特徴とするスぺーサ層用の誘電体ペーストによって達成される。

[0018] 本発明においては、スぺーサ層用の誘電体ペーストは、誘電体原料（セラミック粉末）と、溶剤中にアクリル系樹脂を溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。

[0019] 誘電体原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いること力 Sできる力好ましくは、後述するセラミックグリーンシートに含まれている誘電体原料の粉末と同一組成の誘電体原料の粉末が用いられる。誘電体原料は、通常、平均粒子径が約 0. l x mないし約 3. O z m程度の粉末として用いられる。

[0020] 本発明において、バインダとして、スぺーサ層用の誘電体ペーストに含まれるアタリル系樹脂の重量平均分子量は、 45万以上、 90万以下であることが好ましぐ重量平均分子量が 45万以上、 90万以下のアクリル系樹脂を、スぺーサ層用の誘電体べ一ストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する導電体ペーストおよびスぺーサ層用の誘電体ペーストを調製することができる。

[0021] 本発明において、バインダとして、スぺーサ層用の誘電体ペーストに含まれるアタリル系榭脂の酸価は 5mgK〇H/g以上、 25mgKOH/g以下であることが好ましく、酸価が 5mgKOH/g以上、 25mgKOH/g以下アクリル系樹脂を、スぺーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有するスぺーサ層用の誘電体ペーストを調製することができる。

[0022] スぺーサ層用の誘電体ペーストは、誘電体原料の粉末 100重量部に対して、好ましくは、約 2. 5重量部ないし約 15重量部、さらに好ましくは、約 2. 5重量部ないし約 6重量部のアクリル系樹脂を含み、好ましくは、約 70重量部ないし約 320重量部、さらに好ましくは、約 70重量部ないし約 200重量部、とくに好ましくは、約 70重量部ないし約 150重量部の溶剤を含んでいる。

[0023] スぺーサ層用の誘電体ペーストは、誘電体原料の粉末およびアクリル系樹脂以外に、任意成分として、可塑剤および剥離剤とを含んでいる。

[0024] スぺーサ層用の誘電体ペーストに含まれている可塑剤は、とくに限定されるものではなぐたとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げること力 Sできる。スぺーサ層用の誘電体ペーストに含まれる可塑剤は、後述するセラミックグリーンシートに含まれる可塑剤と同系であっても、同系でなくてもよい。スぺーサ層用の誘電体ペーストは、アクリル系樹脂 100重量部に対して、約 0重量部ないし約 200重量部、好ましくは、約 20重量部ないし約 200重量部、さらに好ましくは、約 50重量部ないし約 100重量部の可塑剤を含んでいる。

[0025] スぺーサ層用の誘電体ペーストに含まれる剥離剤は、とくに限定されるものではなぐたとえば、パラフィン、ワックス、シリコーン油などを挙げることができる。スぺーサ層用の誘電体ペーストは、アクリル系樹脂 100重量部に対して、約 0重量部ないし約 10 0重量部、好ましくは、約 2重量部ないし約 50重量部、より好ましくは、約 5重量部なレヽし約 20重量部の剥離剤を含んでレ、る。

[0026] また、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、電極層用の導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、スぺーサ層用の誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合には、電極層用の導電体ペースト中の溶剤およびスぺーサ層用の誘電体ペースト中の溶剤力 S、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ

、その一方で、セラミックグリーンシート中に、導電体ペーストおよび誘電体ペーストが染み込むという不具合があり、ショート不良の原因になるという問題があるため、電極層およびスぺーサ層を、別の支持シート上に形成し、乾燥後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着することが望ましいことが、本発明者らの研究によつて判明している力このように、電極層およびスぺーサ層を、別の支持シート上に形成する場合には、電極層およびスぺーサ層から、支持シートを剥離しやすくするため、支持シートの表面に、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成することが好ましい。このように、セラミックグリーンシートと同様な組成を有する剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が、プチラール樹脂をバインダとして含み、誘電体ペーストが、ターピオネールを溶剤として含んでいるときは、剥離層に含まれたバインダが、誘電体ペーストに含まれた溶剤によって、溶解され、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生するという問題があった。さらに、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じると、その部分は、欠落しやすいため、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、スぺーサ層が欠落した部分にボイドが生じるという問題があった。

[0027] し力、しながら、本発明によれば、スぺーサ層用の誘電体ペーストは、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルァセテート、 I—メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロ力ルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでおり、リモネン、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_ペリリノレアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、ノインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品に不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

発明の効果

[0028] 本発明によれば、積層セラミック電子部品のスぺーサ層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなぐ積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができる積層セラミック電子部品のスぺーサ層用の誘電体ぺ一ストを提供することが可能になる。

発明を実施するための最良の形態

[0029] 本発明の好ましい実施態様においては、まず、プチラール系樹脂をバインダとして含むセラミックグリーンシート用の誘電体ペーストが調製され、エタストルージョンコーターやワイヤーバーコ一ターなどを用いて、長尺状の支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。 [0030] セラミックグリーンシート形成用の誘電体ペーストは、通常、誘電体材料 (セラミック粉末)と、有機溶剤中にプチラール系樹脂を溶解させた有機ビヒクルを混練して、調製される。

[0031] プチラール系樹脂の重合度は、 1000以上であることが好ましぐプチラール系樹脂のブチラール化度は、 64モル％以上、 78モル％以下であることが好ましい。

[0032] 有機ビヒクルに用いられる有機溶剤は、とくに限定されるものではなぐテルビネオール、ブチルカルビトール、アセトン、トルエン、酢酸ェチルなどの有機溶剤が用いられる。

[0033] 誘電体材料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、これらを混合して、用いること力 Sできる。誘電体材料は、通常、平均粒子径が約 0. l x mないし約 3. O x m程度の粉末として用いられる。誘電体材料の粒径は、セラミックグリーンシートの厚さより小さいことが好ましい。

[0034] 誘電体ペースト中の各成分の含有量は、とくに限定されるものではなぐたとえば、誘電体材料 100重量部に対して、約 2. 5重量部ないし約 10重量部のプチラール系樹脂と、約 50重量部ないし約 320重量部の有機溶剤を含むように、誘電体ペーストを調製すること力 Sできる。

[0035] 誘電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、可塑剤、副成分化合物、ガラスフリット、絶縁体などから選択される添加物が含有されていてもよい。誘電体ペースト中に、これらの添加物を添加する場合には、総含有量を、約 10重量％以下にすることが望ましい。

[0036] 誘電体ペーストを塗布する支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフイルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、ァノレキド樹月旨などがコーティングされてレ、てもよレ、。

[0037] 次いで、塗膜が、たとえば、約 50°Cないし約 100°Cの温度で、約 1分ないし約 20分にわたつて、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。

[0038] 乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは 3 a m以下であることが好ましぐさらに好ましくは、 1. 5 x m以下である。 [0039] 次いで、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート上に、電極層用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、電極層が形成される。

[0040] 電極層は、乾燥後において、約 0. l x mないし約の厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約 0. l x mないし約 1. 5 x mである。

[0041] 電極層用の導電体ペーストは、各種導電性金属や合金からなる導電体材料、焼成後に、各種導電性金属や合金からなる導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、または、レジネートなどと、溶剤中にアクリル系樹脂を溶解させた有機ビヒクノレとを混練して、調製される。

[0042] 本実施態様にぉレ、て、導電体ペーストは、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群力選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

[0043] リモネン、 α—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I— ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系榭脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを効果的に防止することが可能になる。

[0044] 導電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の重量平均分子量は、 45万以上、 90万以下であることが好ましぐ重量平均分子量が 45万以上、 90万以下のアクリル系樹脂を、導電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する導電体ペーストを調製することができる。

[0045] また、導電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の酸価は 5mgK〇H/g以上、 25 mgKOHZg以下であることが好ましぐ酸価が 5mgKOHZg以上、 25mgK〇H/g 以下アクリル系樹脂を、導電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する導電体ペーストを調製することができる。

[0046] 導電体ペーストを製造する際に用いる導電体材料としては、 Ni、 Ni合金あるいはこれらの混合物が、好ましく用いられる。導電体材料の形状は、とくに限定されるものではなぐ球状でも、鱗片状でも、あるいは、これらの形状のものが混合されていてもよレ、。また、導電体材料の平均粒子径は、とくに限定されるものではないが、通常、約 0 . 1 μ mなレヽし糸勺 2 μ m、好ましく fま、糸勺 0. 2 μ mなレヽし約 1 μ mの導電十生材料力 S用レヽられる。

[0047] 導電体ペーストは、導電体材料 100重量部に対して、好ましくは、約 2. 5重量部なレ、し約 20重量部のバインダを含んでいる。

[0048] 溶剤の含有量は、導電体ペースト全体に対して、好ましくは、約 20重量％ないし約

55重量％である。

[0049] 接着性を改善するために、導電体ペーストが、可塑剤を含んでいることが好ましい。

導電体ペーストに含まれる可塑剤は、とくに限定されるものではなぐたとえば、フタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などを挙げることができる。導電体ペーストは、バインダ 100重量部に対して、好ましくは、約 10重量部ないし約 300重量部、さらに好ましくは、約 10重量部ないし約 200重量部の可塑剤を含んでいる。可塑剤の添加量が多すぎると、電極層の強度が著しく低下する傾向があり、好ましくない。

[0050] 導電体ペースト中には、必要に応じて、各種分散剤、副成分化合物などから選択される添加物が含有されてレ、てもよレ、。

[0051] 電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、アタリノレ系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むスぺーサ層用の誘電体ペーストが、セラミックグリーンシートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷されて、スぺーサ層が形成される。 [0052] このように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。

[0053] また、上述のように、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 1_ジヒドロカルビルァセテート、 I—メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックダリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合においても、誘電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することが可能になる。

[0054] 本実施態様においては、スぺーサ層用の誘電体ペーストは、異なるバインダおよび溶剤を用いる点を除き、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストと同様にして、調製される。

[0055] スぺーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の重量平均分子量は、 45万以上、 90万以下であることが好ましぐ重量平均分子量が 45万以上、 90万以下のアクリル系樹脂を、スぺーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する誘電体ペーストを調製することができる。

[0056] また、アクリル系樹脂の酸価は 5mgK〇HZg以上、 25mgK〇H/g以下であることが好ましぐ酸価が 5mgKOHZg以上、 25mgK〇H/g以下アクリル系樹脂を、スぺーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する誘電体ペーストを調製することができる。

[0057] 次いで、電極層およびスぺーサ層が乾燥されて、支持シート上に、セラミックダリー —トと、電極層およびスぺーサ層が積層された積層体ユニットが作製される。

[0058] 積層セラミックコンデンサを作製するにあたっては、積層体ユニットのセラミックダリーンシートから、支持シートが剥離され、所定のサイズに裁断されて、所定の数の積層体ユニットが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ュニット上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

[0059] こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

[0060] 次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0061] 本実施態様によれば、セラミックグリーンシート上に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層が形成されるから、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、したがって、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。

[0062] さらに、本実施態様によれば、バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、 α—ターピニルァセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I—ペリリノレアセテート、 I一力ルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、電極層のパターンと相補的なパターンで、印刷して、スぺーサ層を形成するように構成され、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I—ペリリノレアセテート、 I一カルビルァセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合においても、誘電体ペーストに含まれた溶剤によって、セラミックダリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スぺーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

[0063] また、本実施態様によれば、バインダとして、プチラール系樹脂を含むセラミックダリーンシート上に、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ—ターピニルァセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビノレアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、所定のパターンで、印刷して、電極層を形成するように構成され、リモネン、 _α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 1_ペリリノレアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルァセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを効果的に防止して、積層セラミック電子部品に、ショート不良が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0064] 本発明の別の好ましい実施態様においては、セラミックグリーンシートを形成するために用いた長尺状の支持シートとは別の第二の支持シートが用意され、長尺状の第二の支持シートの表面に、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子と、セラミックグリーンシートに含まれているダと同一のバインダを含む誘電体ペーストが、ワイヤーバーコ一ターなどを用いて、塗布され、乾燥されて、剥離層が形成される。

[0065] 第二の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコ一ティングされてレ、てもよレ、。

[0066] 剥離層の厚さは、電極層の厚さ以下であることが好ましぐ好ましくは、電極層の厚さの約 60%以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約 30%以下である。

[0067] 剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、上述したのと同様にして、調製された電極層用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、乾燥されて、電極層が形成される。

[0068] 電極層は、約 0. 1 μ mないし約 5 μ mの厚さに形成されることが好ましぐより好ましくは、糸勺 0. なレヽし糸勺 1. 5 x mである。

[0069] 本実施態様にぉレ、て、導電体ペーストは、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群力選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

[0070] リモネン、 α—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I— ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系榭脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層と電極層との界面に空隙が生じたり、あるいは、電極層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0071] 導電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の重量平均分子量は、 45万以上、 90万以下であることが好ましぐ重量平均分子量が 45万以上、 90万以下のアクリル系樹脂を、導電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する導電体ペーストを調製することができる。 [0072] また、導電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の酸価は 5mgK〇H/g以上、 25 mgK〇H/g以下であることが好ましぐ酸価が 5mgKOH/g以上、 25mgK〇H/g 以下アクリル系樹脂を、導電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する導電体ペーストを調製することができる。

[0073] 電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、アタリノレ系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 1_メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含み、上述したのと同様に、調製されたスぺーサ層用の誘電体ペーストが、第二の支持シートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷され、スぺーサ層が形成される。

[0074] このように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層のパターンと相補的なパターンで、スぺーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーシヨンの発生を効果的に防止することが可能になる。

[0075] また、上述のように、リモネン、 α—ターピエルアセテート、 Iージヒドロカルビルァセテート、 Iーメントン、 I ペリリルアセテート、 I カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0076] スぺーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の重量平均分子量は、 45万以上、 90万以下であることが好ましぐ重量平均分子量が 45万以上、 90万以下のアクリル系樹脂を、導電体ペーストのバインダとして用いることによつて、所望の粘度を有する誘電体ペーストを調製することができる。

[0077] また、誘電体ペーストに含まれるアクリル系樹脂の酸価は 5mgK〇H/g以上、 25 mgKOHZg以下であることが好ましぐ酸価が 5mgKOHZg以上、 25mgK〇H/g 以下アクリル系樹脂を、誘電体ペーストのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有する誘電体ペーストを調製することができる。

[0078] さらに、長尺状の第三の支持シートが用意され、接着剤溶液が、バーコ一ター、ェタストノレ一ジョンコーター、リバースコーター、ディップコーター、キスコーターなどによつて、第三の支持シートの表面に塗布され、乾燥されて、接着層が形成される。

[0079] 好ましくは、接着剤溶液は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体べ一ストに含まれるバインダと同系のバインダと、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子と実質的に同一の組成を有し、その粒径が、接着層の厚さ以下の誘電体材料の粒子と、可塑剤と、帯電防止剤と、剥離剤とを含んでいる。

[0080] 接着層は、約 0. 3 /i m以下の厚さに形成されることが好ましぐより好ましくは、約 0 • 02 /i mなレヽし約 0. 3 /i m、さらに好ましくは、約 0. 02 μ ΐηなレヽし約 0. 2 /i mの厚さを有するように形成される。

[0081] こうして、長尺状の第三の支持シート上に形成された接着層は、長尺状の第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層または支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に接着され、接着後、接着層から第三の支持シートが剥離されて、接着層が転写される。

[0082] 接着層が、電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合には、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層の表面に接着され、接着後に、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが接着層の表面に転写され、セラミックグリーンシートならびに電極層およびスぺーサ層を含む積層体ユニットが作成される。

[0083] こうして得られた積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、電極層およびスぺーサ層の表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。 [0084] 同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

[0085] 積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

[0086] その後、第二の支持シートが剥離層力剥離され、支持体上に、積層体ユニットが積層される。

[0087] 次いで、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層の表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層に、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットの剥離層から、第二の支持シートが剥離される。

[0088] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体プロックが作製される。

[0089] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層が、接着層の表面に接着され、接着後に、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が接着層の表面に転写され、セラミックグリーンシートならびに電極層およびスぺーサ層を含む積層体ユニットが作成される。

[0090] こうして得られた積層体ユニットの剥離層の表面に、セラミックグリーンシートの表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。

[0091] 同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

[0092] 積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

[0093] その後、支持シートがセラミックグリーンシートから剥離され、支持体上に、積層体ュニットが積層される。

[0094] 次いで、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミツクグリーンシートに、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットのセラミックから、支持シートが剥離される。

[0095] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体プロックが作製される。

[0096] こうして作製された所定の数の積層体ユニットを含む積層体ブロックは、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ブロック上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

[0097] こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

[0098] 次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0099] 本実施態様によれば、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、 _α -ターピニノレアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一ペリリルアセテート、 I一力ルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを用いて、スぺーサ層が形成され、リモネン、ひ—ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_ペリリルァセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、ノインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ュニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スぺーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

[0100] さらに、本実施態様によれば、第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層が乾燥した後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシートの表面に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成する場合のように、導電体ペーストや誘電体ペーストがセラミックグリーンシート中に染み込むことがなぐ所望のように、セラミックグリーンシート上に、電極層およびスぺーサ層を積層することが可能になる。

[0101] また、本実施態様によれば、アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、 α—タ一ピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一ペリリルアセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを用いて、電極層が形成され、リモネン、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I一ペリリルァセテート、 I一カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、ノくインダとして含まれるプチラール系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層にピンホールやクラックが発生することを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品に不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

[0102] 本発明の他の実施態様においては、接着層が、電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ュニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、長尺状の第二の支持シート上に、 2つの積層体ユニットが積層される。

[0103] 次いで、 2つの積層体ユニットの表面に位置するセラミックグリーンシート上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックダリーンシートから支持シートが剥離される。

[0104] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックダリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0105] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシ一トが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、長尺状の支持シート上に、 2つの積層体ユニットが積層される。

[0106] 次いで、 2つの積層体ユニットの表面に位置する剥離層上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離される。 [0107] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0108] こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0109] 本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニットを 1つずつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

[0110] 本発明のさらに他の実施態様においては、接着層が、電極層およびスぺーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層およびスぺーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ュニットが裁断されることなぐ接着層に、第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層が接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0111] 次いで、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックダリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0112] さらに、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シートシート上に形成された電極層およびスぺーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0113] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックダリーンシートの表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体プロックが作製される。

[0114] 一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなぐ接着層に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0115] 次いで、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シート上に形成された電極層およびスぺーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

[0116] さらに、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シートシート上に形成されたセラミックグリーンシート力接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

[0117] 同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ュニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

[0118] こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

[0119] 本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に形成された積層体ユニットの表面上に、接着層の転写、電極層およびスぺーサ層ならびに剥離層の転写、接着層の転写ならびにセラミックグリーンシートの転写を繰り返して、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニットを 1つずつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

実施例

[0120] 以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。

[0121] 実施例 1

セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製

1. 48重量部の（BaCa) SiOと、 1. 01重量部の Y Oと、 0. 72重量部の MgCO

2 3

と、 0. 13重量部のMn〇と、 0. 045重量部の V Oを混合して、添加物粉末を調製し

2 5

た。

[0122] こうして調製した添カ卩物粉末 100重量部に対して、 72. 3重量部のェチルアルコーノレと、 72· 3重量咅のプロピノレレーノレと、 25· 8重量咅のキシレンと、 0· 93重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、スラリー中の添加物を粉碎した。

[0123] スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、 11 · 65gのスラリーと、 450gの Zr〇ビー

2 ズ（直径 2mm)を、 250ccのポリエチレン容器内に充填し、周速 45m/分で、ポリエチレン容器を回転させて、 16時間にわたって、スラリー中の添加物を粉砕して、添カロ物スラリーを調製した。

[0124] 粉砕後の添加物のメディアン径は 0. 1 mであった。

[0125] 次いで、 15重量部のポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69モル %)を、 50。Cで、 42. 5重量部のエチルアルコールと 42. 5重量部のプロピルアルコールに溶解して、有機ビヒクルの 15%溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、 500ccのポリエチレン容器を用いて、 20時間にわたって、混合し、誘電体ペーストを調製した。混合にあたって、ポリエチレン容器内に、 330. lgのスラリーと、 900gの ZrOビーズ（直径 2mm)を充填し、周速 45m/分で、ポリエチレン容器を回転させた。

[0126] BaTiO粉末 (堺ィ匕学工業株式会社製:商品名「BT— 02」：粒径 0. 2 / m)

3

100重量部添加物スラリー 11. 65重量咅

ェチノレアノレコーノレ 35. 32重量咅 B

コール 35. 32重量咅

16. 32重量部

フタル酸ベンジルブチル（可塑剤） 2. 61重量部

7. 3重量部

ポリエチレングリコール系分散剤 2. 36重量咅 B

イミダゾリン系帯電助剤 0. 42重量部

有機ビヒクル 33. 74重量咅 B

43. 81重量部

2_ブトキシエチルアルコール 43. 81重量部

ポリエチレングリコール系分散剤としては、ポリエチレングリコールを脂肪酸で変性した分散剤（HLB = 5— 6)を用いた。

[0127] セラミックグリーンシートの形成

得られた誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、 50m/分の塗布速度で、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布して、塗膜を生成し、 80°Cに保持された乾燥炉中で、得られた塗膜を乾燥して、 1 / mの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

[0128] スぺーサ層用の誘電体ペーストの調製

3 2 3 3 と、 0. 13重量部の MnOと、 0. 045重量部の V Oを混合して、添加物粉末を調製し

2 5

た。

[0129] こうして調製した添カ卩物粉末 100重量部に対して、 150重量部のアセトンと、 104.

3重量部のリモネンと、 1. 5重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、ァシザヮ 'ファインテック株式会社製粉砕機「LMZ0. 6」（商品名）を用いて、スラリー中の添加物を粉砕した。

[0130] スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、 Zr〇ビーズ（直径 0. 1mm)を、ベッセル

2

内に、ベッセル容量に対して、 80%になるように充填し、周速 14m/分で、ローターを回転させ、スラリーを、全スラリーがベッセルに滞留する時間が 30分になるまで、ベッセルとスラリータンクとの間を循環させて、スラリー中の添加物を粉碎した。

[0131] 粉砕後の添加物のメディアン径は 0. 1 _β mであった。

[0132] 次いで、エバポレータを用いて、アセトンを蒸発させて、スラリーから除去し、添加物力 Sリモネンに分散された添加物ペーストを調製した。添加物ペースト中の不揮発成分濃度は 49. 3重量％であった。

[0133] 次レ、で、 8重量部の酸価 5mgK〇H/gのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（重量比 82 : 18、重量平均分子量 70万）を、 70°Cで、 92重量部のリモネンに溶解して、有機ビヒクルの 8%溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、ボールミルを用いて、 16時間わたって、分散した。分散条件は、ミル中の Zr〇 (

2 直径 2. Omm)の充填量を 30容積⁰ /₀、ミル中のスラリー量を 60容積⁰ /₀とし、ボールミルの周速は 45mZ分とした。

[0134] 添加物ペースト 8. 87重量部

BaTiO粉末 (堺ィ匕学工業株式会社製:商品名「BT— 02」：粒径 0. 2 / m)

3

95. 70重量咅

有機ビヒクル 104. 36重量部

ポリエチレングリコール系分散剤

フタル酸ジォクチル（可塑剤） 2. 61重量部

イミダゾリン系界面活性剤 0. 4重量部

アセトン 57. 20重量咅 B

次いで、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を用いて、こうして得られたスラリーから、アセトンを蒸発させて、混合物から除去し、誘電体ペーストを得た。

[0135] スぺーサ層の形成

こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、印刷し、 90°Cで、 5分間にわたって、乾燥させ、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層を形成した。

[0136] 次いで、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、スぺーサ層の表面を観察したところ、スぺーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。 [0137] 電極用の導電体ペーストの調製

2 5

た。

[0138] こうして調製した添カ卩物粉末 100重量部に対して、 150重量部のアセトンと、 104.

[0139] スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、 Zr〇ビーズ（直径 0. 1mm)を、ベッセル

2

内に、ベッセル容量に対して、 80%になるように充填し、周速 14m/分で、ローターを回転させ、スラリーを、全スラリーがベッセルに滞留する時間が 30分になるまで、ベッセルとスラリータンクとの間を循環させて、スラリー中の添加物を粉砕した。

[0140] 粉砕後の添加物のメディアン径は 0. 1 μ ΐηであった。

[0141] 次いで、エバポレータを用いて、アセトンを蒸発させて、スラリーから除去し、添加物力 Sリモネンに分散された添加物ペーストを調製した。添加物ペースト中の不揮発成分濃度は 49. 3重量％であった。

[0142] 次いで、 8重量部の酸価 5mgK〇H/gのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（重量比 82 : 18、重量平均分子量 70万）を、 70°Cで、 92重量部のリモネンに溶解して、有機ビヒクルの 8%溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、ボールミルを用いて、 16時間わたり、分散した。分散条件は、ミル中の Zr〇（直

2 径 2· 0mm)の充填量を 30容積⁰ /₀、ミル中のスラリー量を 60容積％とし、ボールミノレの周速は 45mZ分とした。

[0143] 川鉄工業株式会社製のニッケル粉末 (粒径 0. 2 z m) 100重量部

添加物ペースト 1. 77重量部

BaTiO粉末 (堺化学工業株式会社製:粒径 0. 05 u rn)

19. 14重量部

有機ビヒクル 56. 25重量部

ポリエチレングリコール系分散剤 1 フタル酸ジォクチル（可塑剤） 2. 25重量部

ジモネン 83. 96重量部

アセトン 56重量部

次いで、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を用いて、こうして得られたスラリーから、アセトンを蒸発させて、混合物から除去し、導電体ペーストを得た。導電体ペースト中の導電体材料濃度は 47重量％であった。

[0144] 電極層の形成および積層体ユニットの作製

こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層のパターンと相補的なパターンで、印刷し、 90°Cで、 5分間わたり、乾燥して、 l x mの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフイルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層およびスぺーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

[0145] さらに、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されな力た。

[0146] セラミックグリーンチップの作製

上述のように、調製した誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に塗布して、塗膜を形成し、塗膜を乾燥して、 10 μ ΐηの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

[0147] こうして作製した 10 μ mの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した 5枚のセラミックグリーンシートを積層して、 50 /i mの厚さを有するカバー層を形成し、さらに、積層体ユニットを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した 50枚の積層体ユニットを、カバー層上に積層した。

[0148] 次いで、 10 z mの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレ一トフイルムから剥離して、裁断し、裁断した 5枚のセラミックグリーンシートを、積層された積層体ユニット上に積層して、 50 x mの厚さを有する下部カバー層と、 l z mの厚さを有するセラミックグリーンシートと 1 μ mの厚さを有する電極層および 1 μ mの厚さを有するスぺーサ層を含む 50枚の積層体ユニットが積層された 100 μ mの厚さを有する有効層と、 50 _β mの厚さを有する上部カバー層とが積層された積層体を作製した。

[0149] さらに、こうして得られた積層体を、 70°Cの温度条件下で、 lOOMPaの圧力を加えて、プレス成形し、ダイシング加工機によって、所定のサイズに裁断し、セラミックダリーンチップを作製した。

[0150] 同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製した。

[0151] 積層セラミックコンデンササンプノレの作製

こうして作製されたセラミックグリーンチップを、空気中において、以下の条件で処理し、バインダを除去した。

[0152] 昇温速度： 50°C/時間

保持温度： 240°C

保持時間： 8時間

バインダを除去した後、セラミックグリーンチップを、露点 20°Cに制御された窒素ガスと水素ガスの混合ガスの雰囲気下において、以下の条件で処理し、焼成した。混合ガス中の窒素ガスおよび水素ガスの含有量は 95容積％および 5容積％とした。

[0153] 昇温速度： 300°C/時間

保持温度： 1200°C

保持時間： 2時間

冷却速度： 300°C/時間

さらに、焼成したセラミックグリーンチップに、露点 20°Cに制御された窒素ガスの雰囲気下において、以下の条件で、ァニール処理を施した。

[0154] 昇温速度： 300°C/時間

保持温度： 1000°C

保持時間： 3時間

冷却速度： 300°C/時間

こうしてァニール処理が施されたセラミックグリーンチップを、 2液硬化性エポキシ樹脂に、その側面が露出するように、坦め込み、 2液硬化性エポキシ樹脂を硬化させ、サンドペーパーを用いて、 1. 6mmだけ、研磨した。サンドペーパーとしては、 # 400 のサンドペーパー、 # 800のサンドペーパー、 # 1000のサンドペーパーおよび # 2

000のサンドペーパーを、この順に用いた。

[0155] 次いで、 1 μ mのダイヤモンドペーストを用いて、研磨された面を鏡面研磨処理し、光学顕微鏡によって、セラミックグリーンチップの研磨された面を、 400倍に拡大して

、ボイドの有無を観察した。

[0156] その結果、合計 50個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

[0157] こうして得られた各燒結体の端面を、サンドブラストによって研磨した後、 In— Ga合金を塗布して、端子電極を形成し、積層セラミックコンデンササンプルを作製した。

[0158] 同様にして、合計 50個の積層セラミックコンデンササンプノレを作製した。

[0159] ショート率の測定

こうして作製した 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプルのショート不良を検査した。

[0160] 得られた抵抗値が 100k Ω以下のものをショート不良とし、ショート不良が認められた積層セラミックコンデンササンプノレ数を求め、積層セラミックコンデンササンプノレの総数に対する割合 (％)を算出して、ショート率を測定した。

[0161] その結果、ショート率は 16%であった。

[0162] 実施例 2

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体べ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 α—ターピエルアセテートを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0163] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0164] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 14 %であった。

[0165] 実施例 3

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体ぺ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 Iージヒドロカルビルアセテートを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0166] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0167] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 18 %であった。

[0168] 実施例 4

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体べ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 Iーメントンを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0169] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0170] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 10 %であった。 [0171] 実施例 5

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体べ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 I ペリリルアセテートを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0172] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0173] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 16 %であった。

[0174] 実施例 6

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体べ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 I カルビルアセテートを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0175] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0176] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、

50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 8% であった。

[0177] 実施例 7

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体ぺ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、 d—ジヒドロカルビルアセテートを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、ひびや皺は観察されなかった。

[0178] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、ボイドの存在は観察されなかった。

[0179] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 10 %であった。

[0180] 比較例 1

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体べ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、ターピオネールとケロシンの混合溶剤 (混合比 (質量比）50 : 50)を用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミツクグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 40 0倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、電極層およびスぺーサ層の表面に、ひびと皺の発生が認められた。

[0181] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、 50個のセラミックグリーンチップのうち、 17個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

[0182] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 90 %であった。

[0183] 比較例 2

スぺーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤および電極層用の導電体ぺ一ストを調製する際の溶剤として、リモネンに代えて、ターピオネールを用いた点を除き、実施例 1と同様にして、セラミックグリーンシート上に、スぺーサ層および電極層を形成し、金属顕微鏡を用いて、 400倍に拡大して、電極層およびスぺーサ層の表面を観察したところ、電極層およびスぺーサ層の表面に、ひびと皺の発生が認められた

[0184] 次いで、実施例 1と同様にして、合計 50個のセラミックグリーンチップを作製して、焼成処理およびァニール処理を施したセラミックグリーンチップの側面を研磨し、光学顕微鏡で、研磨面を観察したところ、 50個のセラミックグリーンチップのうち、 23個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

[0185] さらに、実施例 1と同様にして、 50個の積層セラミックコンデンササンプルを作製し、 50個の積層セラミックコンデンササンプノレの抵抗値を、マルチメータによって、測定して、積層セラミックコンデンササンプノレのショート率を測定したところ、ショート率は 88 %であった。

[0186] 実施例 1ないし 7ならびに比較例 1および 2から、バインダとして、ポリビニルブチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50)を溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50) を溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合およびバインダとして、ポリビュルブチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体べ一ストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合には、スぺーサ層の表面および電極層の表面に、ひびや皺が発生し、焼成後のセラミックグリーンチップにボイドの発生が認められたのに対し、バインダとして、ポリビニルプチラール (重合度 1450、プチラールイ匕度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとァクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、リモネンを溶剤として含む誘電体べ一ストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、リモネンを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合、ノインダとして、ポリビュルブチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ひ—ターピニルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタタリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ひ—ターピニルァセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合、バインダとして、ポリビニルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iージヒドロ力ルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iージヒドロカルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合、バインダとして、ポリビエルプチラール (重合度 1450、プチラールイ匕度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iーメントンを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺ一サ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸プチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iーメントンを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラ一ルイ匕度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I ペリリルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I ペリリルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合、ノインダとして、ポリビュルプチラーノレ (重合度 1450、プチラール化度 69。/₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I一カルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I一カルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合ならびにバインダとして、ポリビュルブチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体べ一ストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 d—ジヒドロカルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スぺーサ層を形成し、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 d—ジヒドロカルビルアセテートを溶剤として含む導電体ペーストを印刷して、電極層を形成した場合には、スぺーサ層の表面および電極層の表面に、ひびや皺は認められず、焼成後のセラミックグリーンチップにボイドの発生は認められなかったこれは、比較例 1および 2において、スぺーサ層用の誘電体ペーストの溶剤として用いられたターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50)およびタ一ピオネールが、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたポリビュルプチラールを溶解するため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスぺーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製されたセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生し、あるいは、積層体ユニットを積層するプロセスで、ひびや皺が生じたスぺーサ層の部分が欠落して

、焼成後のセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生しやすかつたのに対し、実施例 1ないし 7において、スぺーサ層用の誘電体ペーストの溶剤として用いられたリモネン、 α—ターピニルアセテート、 Iージヒドロカルビルアセテート、 Iーメントン、 I ペリリノレアセテート、 I カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートは、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたポリビュルブチラールをほとんど溶解せず、したがって、スぺーサ層の表面にひびや皺が生じることが効果的に防止され、焼成後のセラミックグリーンチップに、ボイドが発生することが防止されたためと考えられる。

また、実施例 1ないし 7ならびに比較例 1および 2から、バインダとして、ポリビュルブチラール (重合度 1450、プチラールイ匕度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアタリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50： 50)を溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合ならびにバインダとして、ポリビエルプチラール (重合度 1450、ブチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ターピオネールを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、積層セラミックコンデンサのショート率が著しく高くなるのに対して、バインダとして、ポリビニルブチラール (重合度 1 450、プチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックダリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、リモネンを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合、バインダとして、ポリビュルプチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、ひ—ターピニルアセテートを溶剤として含む誘電体べ一ストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ュニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合、バインダとして、ポリビニルブチラール (重合度 1450、プチラールイ匕度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iージヒドロカルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合、バインダとして、ポリビュルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 7 0万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 Iーメントンを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ュニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合、バインダとして、ポリビニルブチラール（重合度 1450、ブチラール化度 69 %)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I ペリリルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合、バインダとして、ポリビエルプチラール (重合度 1450、プチラール化度 69%)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 I カルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合ならびにバインダとして、ポリビュルプチラーノレ (重合度 1450、プチラール化度 69。/₀)を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量 70万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをバインダとして含み、 d—ジヒドロカルビルアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストおよび導電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、 50 枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、積層セラミックコンデンサのショート率を大幅に低下させることが可能になることが判明した

[0189] これは、比較例 1および 2において、スぺーサ層用の誘電体ペーストおよび導電体ペーストの溶剤として用いられたターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比（質量比） 50 : 50)およびターピオネールが、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたポリビュルブチラールを溶解するため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生したのに対し、実施例 1ないし 7において、スぺーサ層用の誘電体ペーストおよび導電体ペーストの溶剤として用いられたリモネン、ひ一ターピニルアセテート、 I—ジヒドロカルビルアセテート、 I—メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートは、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたポリビュルプチラールをほとんど溶解せず、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することが防止されたためと考えられる。

[0190] 本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなぐ特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

Claims

請求の範囲

[1] アクリル系樹脂をバインダとして含み、リモネン、ひ一ターピニルアセテート、 Iージヒド口カルビルアセテート、 1_メントン、 1_ペリリルアセテート、 1_カルビルアセテートおよび d—ジヒドロカルビルアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含むことを特徴とするスぺーサ層用の誘電体ペースト。

[2] 前記アクリル系樹脂の重量平均分子量が 45万以上、 90万以下であることを特徴とする請求項 1に記載のスぺーサ層用の誘電体ペースト。

[3] 前記アクリル系樹脂の酸価が 5mgKOH/g以上、 25mgK〇H/g以下であることを特徴とする請求項 1に記載のスぺーサ層用の誘電体ペースト。

[4] 前記アクリル系樹脂の酸価が 5mgKOH/g以上、 25mgK〇H/g以下であることを特徴とする請求項 2に記載のスぺーサ層用の誘電体ペースト。