WO2005052671A1

WO2005052671A1 - 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置

Info

Publication number: WO2005052671A1
Application number: PCT/JP2004/017379
Authority: WO
Inventors: Nobuaki Asai; Mitsuyoshi Watanabe
Original assignee: Brother Kogyo Kabushiki Kaisha
Priority date: 2003-11-27
Filing date: 2004-11-24
Publication date: 2005-06-09
Also published as: US20060226226A1; ATE398296T1; EP1688777A1; EP1688777A4; DE602004014403D1; EP1688777B1; US7325736B2

Abstract

　光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を２次元的に走査する光スキャナにおいて、光の走査速度の高速化と光スキャナの小型化とを実現する。そのために、光スキャナ１００を、第１走査部１２０と第２走査部１２２とを含むものとする。第１走査部は、第１反射面１４０が形成された第１ミラー部１５０を有し、第１反射面に斜めに入射した光を第１ミラー部の第１揺動軸線まわりの揺動によって水平方向に走査するものとする。第２走査部は、光スキャナの非作動状態においては第１反射面に対して概して平行となるように第２反射面１４２が形成された第２ミラー部１８０を有し、第１反射面から第２反射面に斜めに入射した光を、第２ミラー部の、第１揺動軸線と交差する第２揺動軸線まわりの揺動により、垂直方向に走査するものとする。

Description

明細書

光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置

技術分野

[0001] 本発明は、光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を 2次元的に走査する光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置に関するものであり、特に、その光スキャナの構造の改良に関するものである。

背景技術

[0002] 光を走査する光スキャナとして、光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を 2次元的に走査する形式の光スキャナが既に知られている（例えば、日本国特開 2000— 111829号公報の図 7および図 8参照。；)。

[0003] この種の光スキャナは、例えば、画像形成の分野や画像読取りの分野において使用される。画像形成の分野においては、網膜上において光束を走査して画像を直接に表示する網膜走査型ディスプレイ装置、プロジェクタ、レーザプリンタ、レーザリソグラフィ等の用途に使用され、一方、画像読取りの分野においては、ファクシミリ、複写機、イメージスキャナ、バーコードリーダ等の用途に使用される。

[0004] この種の光スキャナにおいては、小型化および軽量ィ匕が強く要望される場合があり、前記特開 2000-111829号公報には、そのような要望を満たすための光スキャナがー従来例として記載されてヽる。

[0005] 具体的には、この従来例においては、水平走査部と垂直走査部とが、それらの順に、光の進行方向に沿って互いに直列に配置されている。それら水平走査部と垂直走査部とは、それぞれ、各反射面が形成された各ミラー部を、対応する揺動軸線まわりに揺動させ、それにより、各反射面に斜めに入射した光を走査するように構成されている。それら水平走査部のミラー部と垂直走査部のミラー部は、同一の基板に形成されており、その結果、それらミラー部の反射面力同一平面上に配置されている。発明の開示

[0006] 以上説明した従来例においては、光が水平走査部のミラー部の反射面に斜めに入射する。そのため、その入射によって反射面上に形成されるスポットが楕円状を成すことになる。そのスポットの長軸は、光の入射方向に対して平行であり、一方、同じスポットの短軸は、光の入射方向に対して直角である。

[0007] 上述の従来例においては、水平走査部のミラー部の揺動軸線が、光の入射方向に対して直角である。そのため、そのミラー部上にはスポットが、その揺動軸線に対して直角な方向（以下、「回転半径方向」ともいう。）に細長く延びるように形成されることとなる。

[0008] 一般に、ミラー部の形状は、そのミラー部に向力つて来る光を漏れなく受けるように設計される。また、ミラー部の、回転半径方向における寸法が長いほど、そのミラー部の慣性モーメントが大きくなり、その結果、そのミラー部の走査周波数を増加させることが困難となる。

[0009] また、一般に、光が走査される走査面上にお!、ては、水平方向に光を走査する水平走査と、水平走査線に対して交差する方向に光を走査する垂直走査とが行われる。その走査面上においては、 1回当たりの走査に際し、水平走査は複数回繰り返されるのに対し、垂直走査はそれより少ない数だけ行われる。そのため、一般には、水平走査部の方が垂直走査部より、ミラー部を高速で揺動させること、すなわち、光を高

V、走査周波数で走査することが要望される。

[0010] そのような要望が存在するにもかかわらず、上述の従来例においては、水平走査部のミラー部の揺動軸線が光の入射方向に対して直角に配置されて、るため、そのミラ一部に向力つて来る光を漏れなく受け取るためにそのミラー部がそれの回転半径方向に大型化してしまう傾向がある。そのため、この従来例においては、垂直走査部より走査周波数の増加が要望される水平走査部において、光を高い走査周波数で走查することが困難である。

[0011] 以上説明した事情を背景として、本発明は、光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を 2次元的に走査する光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置にお!、て、光の走査速度の高速化と光スキャナの小型化とを実現することが容易である光スキャナの構造を提供することを課題としてなされたものである。

[0012] 本発明によって下記の各態様が得られる。各態様は、項に区分し、各項には番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、本発明が採用し得る技術的特徴の一部およびそれの組合せの理解を容易にするためであり、本発明が採用し得る技術的特徴およびそれの組合せが以下の態様に限定されると解釈すべきではない。すなわち、下記の態様には記載されていないが本明細書には記載されている技術的特徴を本発明の技術的特徴として適宜抽出して採用することは妨げられな、と解釈すべきである。

[0013] さらに、各項を他の項の番号を引用する形式で記載することが必ずしも、各項に記載の技術的特徴を他の項に記載の技術的特徴から分離させて独立させることを妨げることを意味するわけではなぐ各項に記載の技術的特徴をその性質に応じて適宜独立させることが可能であると解釈すべきである。

[0014] (1) 光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を 2次元的に走査する光スキヤナであって、

第 1反射面が形成された第 1ミラー部を有し、前記第 1反射面に斜めに入射した光を前記第 1ミラー部の第 1揺動軸線まわりの揺動によって第 1方向に走査する第 1走查部と、

当該光スキャナの非作動状態においては前記第 1反射面に対して概して平行となるように第 2反射面が形成された第 2ミラー部を有し、前記第 1反射面から前記第 2反射面に斜めに入射した光を、前記第 2ミラー部の、前記第 1揺動軸線と交差する第 2 揺動軸線まわりの揺動により、前記第 1方向と交差する第 2方向に走査する第 2走査部と

を含み、

前記第 1揺動軸線は、当該光スキャナを前記第 1反射面および前記第 2反射面に対して直角な方向に見た場合に、前記第 1反射面に光が入射する方向に対して実質的に平行である光スキャナ。

[0015] この光スキャナにおいては、 2つの走査部が光の進行方向に沿って互いに直列に配置され、さらに、それら 2つの走査部の 2つの反射面が、当該光スキャナの非作動状態にお、ては概して互、に平行となるように配置されて、る。

[0016] したがって、この光スキャナによれば、例えば、 2つの反射面に対して直角な方向に関して小型化したり、それら 2つの反射面が互、に並ぶ方向に関して小型化することが容易になる。

[0017] さらに、この光スキャナにおいては、 2つの走査部のうち、光の進行方向に関して上流側に位置する第 1走査部につき、それのミラー部の揺動軸線が、当該光スキャナをその第 1走査部の反射面に対して直角な方向に見た場合に、その反射面に光が入射する方向に対して実質的に平行であるようにされて!、る。

[0018] したがって、この光スキャナによれば、その反射面に斜めに光が入射するためにその反射面上に形成されるスポットが細長く変形させられても、そのスポットの長軸が、その反射面の揺動軸線に対して直角にならずに済む。その結果、そのようなスポットに合わせてそのミラー部の形状を決定しても、ミラー部の、回転半径方向における寸法が、前述の従来例ほどには長くならずに済む。

[0019] したがって、本項に係る光スキャナによれば、ミラー部の慣性モーメントの低減ィ匕が容易となり、ひいては、ミラー部の走査周波数の増加が容易となる。よって、この光スキヤナによれば、走査周波数の増加と光スキャナの小型化とを両立させることが容易となる。

[0020] この光スキャナにおいては、当該光スキャナの非作動状態において、第 1反射面と第 2反射面とが互いに概して平行となるが、それら 2つの反射面の具体的なレイアウトとしては、例えば、それら 2つの反射面が実質的に同一の平面上に並んで配置されるレイアウトや、隙間を隔てて互いに実質的に平行に対向する 2平面上にそれぞれ、完全には正対しな、ようにして配置されるレイアウト等がある。

[0021] 本項における「第 1揺動軸線」および「第 2揺動軸線」は、いずれも、例えば、対応するミラー部に対して平行な軸線として設定したり、対応するミラー部を平行に通過する軸線として設定することが可能である。

[0022] (2) 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を摇動させる第 2駆動源を含む（1)項に記載の光スキャナ。

[0023] この光スキャナにおいては、 2つのミラー部がいずれも、圧電素子を用いた駆動源によって揺動させられる。したがって、この光スキャナによれば、前述の従来例のように、電磁気力または静電気力によってミラー部の揺動を行う場合に比較して、小型にしてミラー部を高速で揺動させることが容易となる。

[0024] (3) 前記第 1反射面に入射する光は、平行光または平行光束である（1)または（2) 項に記載の光スキャナ。

[0025] 前記（1)または（2)項に係る光スキャナにおいて、第 1反射面に入射する光（以下、単に「入射光」という。）を非平行光、すなわち、拡散光または収束光とした場合には、当該光スキャナ内において光の断面積が、入射光が平行光である場合より増加する傾向が生ずる。そのため、入射光を非平行光とした場合には、平行光である場合より、当該光スキャナ内において光を漏れなく受けることが理想的であるミラー部の面積が増加する傾向が生ずる。この傾向は、ミラー部の大型化、重量増加および慣性モーメント増加を招来する。

[0026] これに対し、本項に係る光スキャナにおいては、入射光が平行光または平行光束とされている。したがって、この光スキャナによれば、入射光が非平行光である場合とは異なり、ミラー部の小型化、重量低減および慣性モーメント低減が容易となり、ひいては、光の走査速度の増加も容易となる。

[0027] (4) 前記第 1走査部は、前記第 2走査部より高い走査周波数で前記光を走査する（ 1)な、し (3)項の!/、ずれかに記載の光スキャナ。

[0028] この光スキャナによれば、前記（1)項に係る光スキャナの、前述の特有のレイアウトに基づく技術的特徴を利用することにより、第 1走査部の走査周波数が、第 2走査部の走査周波数より増加させられる。

[0029] (5) 前記第 1走査部は、水平方向に前記光を走査する水平走査を行い、

前記第 2走査部は、水平走査線に対して交差する方向に前記光を走査する垂直走查を行う（4)項に記載の光スキャナ。

[0030] 前述のように、一般に、光が走査される走査面上にお!、ては、水平方向に光を走査する水平走査と、水平走査線に対して交差する方向に光を走査する垂直走査とが行われる。その走査面上においては、 1回当たりの走査に際し、水平走査は複数回繰り返されるのに対し、垂直走査はそれより少ない数だけ行われる。したがって、この種の走査に際しては、水平走査の方が垂直走査より、走査速度の高速化が要望される [0031] 本項に係る光スキャナにおいては、そのように走査速度の高速ィ匕が強く要望される水平走査が、前述のように、第 2走査部より高速の走査が容易な第 1走査部によって実現される。

[0032] (6) 前記第 1走査部と前記第 2走査部とは、前記第 1ミラー部と前記第 2ミラー部とのそれぞれの共振現象を利用して前記光を走査する（4)または（5)項に記載の光スキャナ。

[0033] この光スキャナによれば、前記 (4)または（5)項に係る光スキャナにおける「第 1走查部」および「第 2走査部」がいずれも、第 1ミラー部および第 2ミラー部のうち対応するものの共振現象を利用しないで光を走査する場合より、各走査部の走査周波数を増加させることや、実際の走査周波数を安定化させることが容易となる。

[0034] ただし、前記 (4)または（5)項に係る光スキャナは、「第 1走査部」および「第 2走査部」のいずれかのみが、対応するミラー部の共振現象を利用して光を走査する態様で実施することが可能である。

[0035] (7) 前記第 1走査部は、前記第 1ミラー部の共振現象を利用して前記光を走査する一方、前記第 2走査部は、前記第 2ミラー部の共振現象を利用しないで前記光を走查する請求項 4または 5に記載の光スキャナ。

[0036] この光スキャナによれば、前記 (4)または（5)項に係る光スキャナにおける「第 1走查部」が第 1ミラー部の共振現象を利用しないで光を走査する場合より、第 1走査部の走査周波数を増加させることや、実際の走査周波数を安定化させることが容易となる。

[0037] (8) 前記第 2反射面の、前記第 2揺動軸線の方向における寸法は、前記第 1反射面によって走査される光の振れ角を α、当該光スキャナを前記第 1反射面および前記第 2反射面に対して直角な方向に見た場合に第 1反射面の中心と第 2反射面の中心とが互いに隔たる距離を dとすると、 2'd'tan Z2)で表わされる寸法以上である（1)な、し (7)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0038] この光スキャナによれば、それの第 1走査部および第 2走査部のレイアウトに従い、第 2反射面の、第 2揺動軸線の方向における寸法を、第 1反射面によって走査される光の振れ角 αと、当該光スキャナを第 1反射面および第 2反射面に対して直角な方向に見た場合に第 1反射面の中心と第 2反射面の中心とが互いに隔たる距離 dとを参酌して設定することが可能となる。

[0039] (9) さらに、前記第 1走査部と前記第 2走査部とを収容するそれらに共通のハウジングを含み、そのハウジングは、光が外部力前記第 1反射面に入射するための入口側透過部と、光が前記第 2反射面から外部に出射するための出口側透過部とを含む

(1)な、し (8)項の!/、ずれかに記載の光スキャナ。

[0040] この光スキャナにおいては、第 1走査部および第 2走査部が、それらに共通のハウジングに収容され、さらに、第 1反射面への入射光のために入口側透過部が設けられる一方、第 2反射面力の出射光のために出口側透過部が設けられる。

[0041] したがって、この光スキャナによれば、ハウジングの遮蔽機能により、入口側透過部または出口側透過部を経由しない限り光が外部から第 1走査部および第 2走査部に予定外に進入せずに済み、その結果、当該光スキャナによる走査光の SZN比の外乱光による悪ィ匕を抑制することが容易となる。

[0042] 本項における「入口側透過部」および「出口側透過部」は、例えば、ハウジングに開口する穴として形成したり、その開口穴をガラス等、光透過体で充填することによって形成することが可能である。

[0043] (10) 前記入口側透過部は、前記出口側透過部より小さい（9)項に記載の光スキヤナ。

[0044] 前記（9)項に係る光スキャナにおいては、第 1反射面には、光路が位置的に変化しない光が入口側透過部を透過して入射する一方、第 2反射面からは、光路が位置的に変化する光が出口側透過部を透過して出射する。したがって、出口側透過部は、入口側透過部より広い領域において光を透過することが要請される。一方、いずれの透過部についても、不必要に広い領域において光を透過することは、当該光スキャナによる走査光の SZN比の悪ィ匕を招来する可能性がある。

[0045] このような知見に基づき、本項に係る光スキャナにおいては、入口側透過部が出口側透過部より小さ、ものとされて、る。

[0046] (11) 前記第 1反射面と前記第 2反射面とは、それらの順に、当該光スキャナ内における前記光の進行方向に沿って互いに直列に、かつ、同一平面上に配置されており当該光スキャナは、さらに、前記第 1反射面から出射した光を前記第 2反射面に向けて反射する第 3反射面を含む（1)な、し（10)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0047] この光スキャナによれば、前記（1)ないし（10)項のいずれかに係る光スキャナに従う第 1走査部および第 2走査部のレイアウトの一態様が提供される。

[0048] なお付言するに、前記（1)ないし（10)項のいずれかに係る光スキャナに従う第 1走查部および第 2走査部のレイアウトの別の態様としては、例えば、第 1反射面と第 2反射面とが、隙間を隔てて互いに対向する 2平面上にそれぞれ、第 1反射面から出射した光が別の反射面を経由することなく第 2反射面に入射するように配置されるレイァゥトが存在する。

[0049] (12) 前記第 1ミラー部と前記第 2ミラー部とは、同一の基板に形成されている（11) 項に記載の光スキャナ。

[0050] (13) 前記第 2ミラー部は、当該光スキャナを前記第 2揺動軸線の方向に見た場合に前記第 1走査部とオーバラップする部分を含む（11)または（12)項に記載の光スキヤナ。

[0051] この光スキャナによれば、第 2ミラー部が第 1走査部とオーバラップする部分を含まない場合より、第 1走査部と第 2走査部とを第 1揺動軸線の方向に詰めて配置することが容易となる。その結果、この光スキャナを、第 1揺動軸線の方向、すなわち、第 1ミラー部と第 2ミラー部とが並ぶ方向に関して小型化することが、第 2ミラー部が第 1走查部とオーバラップする部分を含まない場合より容易となる。

[0052] (14) 前記第 2走査部は、さらに、固定枠部と、その固定枠部に前記第 2ミラー部を前記第 2揺動軸線まわりに揺動可能に連結する連結部とを含み、前記第 2ミラー部は、当該光スキャナを前記第 1揺動軸線の方向に見た場合に前記連結部とオーバラップする部分を含む（ 1)ないし（ 13)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0053] この光スキャナによれば、第 2ミラー部が連結部とオーバラップする部分を含まない場合より、それら第 2ミラー部と連結部とを第 2ミラー部の揺動軸線の方向に詰めて配置することが容易となる。その結果、この光スキャナを、第 2ミラー部の揺動軸線の方向に関して小型化することが、第 2ミラー部が連結部とオーバラップする部分を含まない場合より容易となる。

[0054] (15) さらに、前記第 1ミラー部および前記第 2ミラー部を支持するミラー支持部を含み、そのミラー支持部は、そのミラー支持部が着脱可能に取り付けられるべき受部に取り付けられる取付部を有する（1)ないし（14)項のいずれかに記載の光スキャナ。

[0055] この光スキャナによれば、第 1ミラー部および第 2ミラー部を交換することが必要である場合に、受部をそのままにして、それら第 1ミラー部および第 2ミラー部を支持するミラー支持部を交換することができる。したがって、第 1ミラー部および第 2ミラー部の交換に際して、交換が必要ではないがそれら第 1ミラー部および第 2ミラー部と共に交換せざるを得ない光学部品の数を減少させることができる。

[0056] (16) 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を揺動させる第 2駆動源を含み、当該光スキャナは、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための電力端子を含む（15)項に記載の光スキャナ。

[0057] この光スキャナによれば、第 1駆動源および第 2駆動源とそれらに電力を供給する電源部とが、当該光スキャナに設けられた電力端子により、互いに分離可能とされる。したがって、第 1ミラー部および第 2ミラー部を電源部とは別体に構成することができるため、それら第 1ミラー部および第 2ミラー部を交換することが必要である場合に、ミラー支持部のみを交換するだけで、電源部は交換の必要がない。よって、この光スキャナによれば、交換の必要のない電源部が無駄に交換されずに済む。

[0058] (17) 前記ミラー支持部は、前記受部に差し込まれて取り付けられ、前記電力端子は、前記ミラー支持部のうち、前記受部に対する差込方向における先端部に設けられる（16)項に記載の光スキャナ。

[0059] この光スキャナによれば、当該光スキャナを受部に差し込むことにより、当該光スキャナに設けられている電力端子を電源部側の端子に接続してその電源部力電力を当該光スキャナ内の第 1駆動源および第 2駆動源に供給することが可能となる。

[0060] (18) さらに、前記第 1ミラー部および前記第 2ミラー部に対向する光透過性のカバ一部を含む（ 15)ないし（ 17)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0061] この光スキャナによれば、光透過性のカバー部により、第 1ミラー部および第 2ミラー部が清浄に保たれる。

[0062] (19) さらに、前記受部を含む（15)ないし（18)項のいずれかに記載の光スキャナ。

[0063] この光スキャナによれば、第 1ミラー部および第 2ミラー部を備えているミラー支持部が受部に着脱可能に支持されるため、それら第 1ミラー部および第 2ミラー部を交換することが必要である場合に、当該光スキャナ全体を交換するのではなぐミラー支持部のみを交換すれば足りる。

[0064] (20) 前記受部は、前記ミラー支持部が前記受部に差し込まれる差込溝を有し、前記ミラー支持部は、その差込溝に差し込まれて前記受部に支持される（19)項に記載の光スキャナ。

[0065] この光スキャナによれば、ミラー支持部を受部の差込溝に差し込むことにより、ミラ一支持部を受部に容易に着脱可能に取り付けることができる。

[0066] (21) 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を揺動させる第 2駆動源を含み、前記受部は、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための第 1電力端子を有し、前記ミラー支持部は、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための第 2電力端子を有し、それら第 1電力端子と第 2電力端子とは、前記ミラー支持部が前記受部に支持された状態において電気的に互ヽに接触する（ 19)または（20)項に記載の光スキャナ。

[0067] この光スキャナによれば、ミラー支持部が受部に支持された状態において、受部の第 1電力端子とミラー支持部の第 2電力端子とが互いに電気的に接触する。したがつて、その状態において、第 1ミラー部および第 2ミラー部を駆動するための電力をミラ一支持部の第 1駆動源および第 2駆動源に外部力供給することが可能となる。

[0068] (22) 前記差込溝は、前記ミラー支持部のうち、そのミラー支持部が前記受部に差し込まれる差込方向に直交する方向にぉ、て互いに対向する一対の側部にそれぞれ係合する一対の差込溝として前記受部に設けられて、る (20)または（21)項に記載の光スキャナ。

[0069] この光スキャナによれば、ミラー支持部のうちの一対の側部が受部の差込溝に係合するため、ミラー支持部はそれの一対の側部において差込溝に支持される。 [0070] (23) 前記受部は、前記ミラー支持部が前記受部に支持された状態において前記ミラー支持部を位置決めする位置決め部を有する（19)な、し (22)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0071] この光スキャナによれば、ミラー支持部が受部のうちの位置決め部によって適切な位置に位置決めされる。

[0072] (24) 光を走査する走査ミラーと、その走査ミラーによる光の走査が可能な状態で前記走査ミラーを支持するミラー支持部とを含むミラーユニットであって、

当該ミラーユニットを着脱可能に受けるべきミラーユニット受部に着脱可能に取り付けられる取付部を含むミラーユニット。

[0073] 光を走査する装置の一従来例が日本国特開平 6— 139387号公報に開示されている。この従来装置は、光を走査することにより、バーコードを光学的に読み取る装置である。この従来装置は、光をバーコード上において走査してそのバーコードを光学的に読み取る走査部と、その走査部によって読み取られたバーコードを解読するデコード部とを主体的に含んで、る。

[0074] 上述の従来装置においては、走査部とデコード部とが、互いに別体であって、互いに着脱自在に取り付けられるように構成されている。そのため、万一、それら走査部とデコード部とのいずれかのみが損傷した場合には、それら走査部とデコード部とのうち損傷したもののみを交換するだけで足り、装置全体を交換する必要がない。

[0075] しかし、この従来装置においては、走査部内に、電源部や、光源、反射ミラー等の多数の光学部品が収納されている。そのため、反射ミラーが損傷したためにその交換が必要であるが、電源部や光源等は損傷して、な、ためにその交換が必要ではないにもかかわらず、走査部全体を交換せざるを得ない場合には、結果として、損傷した反射ミラーと一緒に、損傷していない電源部や光源等の多数の光学部品も交換されることになる。そのため、この従来装置を使用する場合には、交換が必要ではない電源部や光源等の多数の光学部品が無駄に交換されてしまうという問題があった

[0076] 本項に係るミラーユニットは、その問題を解決するために、走査ミラーを交換することが必要である場合にその走査ミラーと共に交換せざるを得ない他の光学部品の数が少なくて済むようにすることを目的として提供されたものである。

[0077] 本項に係るミラーユニットは、光を走査する走査ミラーと、その走査ミラーによる光の走査が可能な状態で前記走査ミラーを支持するミラー支持部とを含むミラーユニットであって、当該ミラーユニットを着脱可能に受けるべきミラーユニット受部に着脱可能に取り付けられる取付部を含んで、る。

[0078] したがって、このミラーユニットによれば、ミラー支持部がミラーユニット受部から分離可能であるため、走査ミラーを交換することが必要である場合に、ミラーユニット受部をそのままにしてミラーユニットのみを交換することができる。よって、このミラーュ-ットによれば、走査ミラーの交換に際して、交換が必要ではないが走査ミラーと共に交換せざるを得ない光学部品の数を減少させることができる。

[0079] (25) さらに、前記走査ミラーを走査のために駆動する駆動部と、その駆動部に電力を供給するための電力被供給端子とを含む（24)項に記載のミラーユニット。

[0080] このミラーユニットによれば、駆動部とそれに電力を供給する電源部とが、当該ミラ一ユニットに設けられた電力被供給端子により、互いに分離可能とされる。したがって

、走査ミラーを電源部とは別体に構成することができるため、走査ミラーを交換することが必要である場合に、ミラーユニットのみを交換するだけで、電源部は交換の必要がない。よって、このミラーユニットによれば、交換の必要のない電源部が無駄に交換されずに済む。

[0081] (26) 前記電力被供給端子は、当該ミラーユニットのうち、そのミラーユニットが前記ミラーユニット受部に差し込まれるべき差込方向における先端部に設けられている（2

5)項に記載のミラーユニット。

[0082] このミラーユニットによれば、当該ミラーユニットをミラーユニット受部に差し込むことにより、当該ミラーユニットに設けられている電力被供給端子を電源部側の端子に接続してその電源部力も電力をミラーユニット内の駆動部に供給することが可能となる。

[0083] (27) さらに、前記走査ミラーに対向する光透過性のカバー部を含む（24)ないし（2

6)項の、ずれかに記載のミラーユニット。

[0084] このミラーユニットによれば、光透過性のカバー部により、走査ミラーが清浄に保たれる。 [0085] (28) (24)ないし（27)項のいずれかに記載のミラーユニットを前記ミラーユニット受部と共に含む光スキャナ。

[0086] この光スキャナによれば、走査ミラーを備えているミラーユニットがミラーユニット受部に着脱可能に支持されるため、走査ミラーを交換することが必要である場合に、当該光スキャナ全体を交換するのではなぐミラーユニットのみを交換すれば足りる。

[0087] (29) 前記ミラーユニット受部には差込溝が形成され、前記ミラーユニットは、その差込溝に差し込まれて前記ミラーユニット受部に支持される (28)項に記載の光スキヤナ。

[0088] この光スキャナによれば、ミラーユニットをミラーユニット受部の差込溝に差し込むことにより、ミラーユニットをミラーユニット受部に容易に着脱可能に取り付けることができる。

[0089] (30) 前記差込溝は、前記ミラーユニットのうち、その差込溝に前記ミラーユニットが差し込まれる差込方向に直交する方向にお!、て互いに対向する一対の側部に係合するように、前記ミラーユニット受部に一対設けられている（29)項に記載の光スキヤナ。

[0090] この光スキャナによれば、ミラーユニットのうちの一対の側部がミラーユニット受部の差込溝に係合するため、ミラーユニットはそれの一対の側部において差込溝に支持される。

[0091] (31) 前記ミラーユニットは、前記走査ミラーを走査のために駆動する駆動部と、その駆動部に電力を供給するための電力被供給端子とを含み、前記ミラーユニット受部は、前記駆動部に電力を供給するための電力供給端子を含み、その電力供給端子は、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に支持された状態において、前記電力被供給端子と電気的に接触する（28)な、し (30)項の、ずれかに記載の光スキヤナ。

[0092] この光スキャナにおいては、ミラーユニットがミラーユニット受部に支持された状態にぉ、て、ミラーユニット受部の電力供給端子とミラーユニットの電力被供給端子とが互いに電気的に接触する。したがって、その状態において、走査ミラーを駆動するための電力をミラーユニットの駆動部に外部力も供給することが可能となる。 [0093] (32) 前記ミラーユニット受部は、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に支持された状態で前記ミラーユニットを位置決めする位置決め部を含む（28)な、し (3

1)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0094] この光スキャナによれば、ミラーユニットがミラーユニット受部のうちの位置決め部によって適切な位置に位置決めされる。

[0095] (33) 前記位置決め部は、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に差し込まれるべき差込方向に直交する直交方向に前記ミラーユニットを押圧することにより、前記ミラーユニット受部に支持された前記ミラーユニットを前記直交方向において位置決めする第 1押圧部材を含む（32)項に記載の光スキャナ。

[0096] この光スキャナによれば、第 1押圧部材によってミラーユニットがそのミラーユニットの差込方向と直交する方向にぉ、て位置決めされる。

[0097] (34) 前記位置決め部は、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に差し込まれるべき差込方向に前記ミラーユニットを押圧することにより、前記ミラーユニット受部に支持された前記ミラーユニットを前記差込方向において位置決めする第 2押圧部材を含む（32)または（33)項に記載の光スキャナ。

[0098] この光スキャナによれば、第 2押圧部材によってミラーユニットがそのミラーユニットの差込方向にぉ、て位置決めされる。

[0099] (35) 前記位置決め部は、前記ミラーユニットを前記走査ミラーの反射面が向いている方向に押圧することにより、前記ミラーユニットを位置決めする第 3押圧部材を含む（32)な!、し (34)項の!/、ずれかに記載の光スキャナ。

[0100] この光スキャナによれば、第 3押圧部材によってミラーユニットが走査ミラーの反射面が向力つている方向（例えば、その反射面に対する法線方向）において位置決めされる。

[0101] (36) 前記位置決め部は、前記ミラーユニットを押圧によって位置決めする押圧部材を含み、その押圧部材は、前記ミラーユニット受部に支持された状態における前記ミラーユニットの振動を吸収する弾性部材によって形成される (32)項に記載の光スキヤナ。

[0102] この光スキャナによれば、ミラーユニットを押圧によって位置決めする押圧部材であつて弾性部材によって形成されるものによってミラーユニットの振動が吸収されるため、そのミラーユニットはより安定的に支持される。

[0103] (37) さらに、前記ミラーユニット受部に支持された状態における前記ミラーユニットを前記ミラーユニット受部に固定する固定部材を含む（28)な、し (36)項の、ずれかに記載の光スキャナ。

[0104] この光スキャナによれば、固定部材によってミラーユニットがミラーユニット受部に固定される。

[0105] (38) 前記固定部材は、前記ミラーユニットが前記ミラーユニット受部に差し込まれるべき差込方向に前記ミラーユニットを押圧することにより、前記ミラーユニット受部に支持された前記ミラーユニットを前記差込方向において位置決めする第 2押圧部材を兼用する（37)項に記載の光スキャナ。

[0106] この光スキャナによれば、第 2押圧部材を兼用する固定部材によってミラーユニットがそのミラーユニットの差込方向において位置決めされた状態で固定される。

[0107] (39) 光を画像情報に基づいて変調し、その被変調光を出力する被変調光出力部と、その被変調光を走査して画像を表示する光走査部とを含む画像表示装置であつて、

その光走査部は、（28)な、し (38)項の、ずれかに記載の光スキャナを有する画像表示装置。

[0108] この画像表示装置によれば、前記（28)ないし（38)項のいずれかに係る光スキャナを用いて画像表示装置を提供することができる。

[0109] (40) 光束の走査によって画像を形成する画像形成装置であって、

前記光束を出射する光源と、

(1)な、し (23)項の、ずれかに記載の光スキャナであって、前記光源から出射した光束を 2次元的に走査して前記画像を形成するものと

を含む画像形成装置。

[0110] この画像形成装置によれば、光源から出射した光束の走査周波数の増加と小型化との両立が容易である光スキャナを用いることによって画像を形成することが可能となる。 [0111] (41) 前記光スキャナから出射した光束は、リレー光学系を経由することなぐ前記画像が形成される画像形成面に入射する (40)項に記載の画像形成装置。

[0112] この画像形成装置によれば、光スキャナから出射した光束がリレー光学系を経由して画像形成面に入射する場合に比較し、当該画像形成装置の部品点数の削減または組付作業の簡単ィ匕を行うことが容易となる。

[0113] (42) 前記光スキャナから出射した光束は、眼の網膜に入射し、それにより、前記画像がその網膜上に投影される (40)または (41)項に記載の画像形成装置。

図面の簡単な説明

[0114] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態に従う網膜走査型ディスプレイ装置 10を示す斜視図である。

[図 2]図 2は、図 1に示す網膜走査型ディスプレイ装置 10を示す平面図である。

[図 3]図 3は、図 1に示す網膜走査型ディスプレイ装置 10を示す系統図である。

[図 4]図 4は、図 3における光スキャナ 100を示す縦断面図である。

[図 5]図 5は、図 4における振動体 124を示す平面図である。

[図 6]図 6は、図 5における水平走査部 120を示す斜視図である。

[図 7]図 7は、図 6における駆動源 160およびその周辺を示す縦断面図である。

[図 8]図 8は、図 4におけるカバー 126を示す平面図である。

[図 9]図 9は、図 4に示す光スキャナ 100を示す平面図であるとともその光スキャナ 10 0内において偏向されるレーザビームを示す光路図である。

[図 10]図 10は、本発明の第 2実施形態に従う光スキャナ 230を示す分解斜視図である。

[図 11]図 11は、図 10における振動体 234を示す平面図である。

[図 12]図 12は、本発明の第 3実施形態に従う網膜走査型ディスプレイ装置 290における光スキャナ 292を示す分解斜視図である。

[図 13]図 13は、図 12における X— X線断面図である。

[図 14]図 14は、本発明の第 4実施形態に従う光走査装置 410におけるミラーユニット 400を示す斜視図である。

[図 15]図 15は、図 14に示す光走査装置 410を構成するミラーユニット 400とミラーュニット受部 408とを示す分解斜視図である。

[図 16]図 16は、図 14に示す光走査装置 410を構成するミラーユニット 400とミラーュニット受部 408とを組付状態で示す斜視図である。

[図 17]図 17は、図 16におけるミラーユニット 400において基板 422上に走査ミラー 4 02、駆動部 404および複数個の端子 494なヽし 508が配置される様子を示す斜視図である。

[図 18]図 18は、図 17における連結部 484の弾性曲げがピエゾ素子 492によって反復的に発生させられる原理を説明するための縦断面図である。

[図 19]図 19は、図 15における A-A線断面図である。

[図 20]図 20は、図 19における B— B線断面図である。

[図 21]図 21は、図 19に示すミラーユニット 400とミラーユニット受部 408とにそれぞれ設けられる凸部 550および凹部 552を示す断面図である。

[図 22]図 22は、図 15における C—C線断面図である。

[図 23]図 23は、本発明の第 4実施形態に従う画像表示装置 570の内部を示す斜視図である。

発明を実施するための最良の形態

[0115] 以下、本発明のさらに具体的な実施の形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明する。

[0116] 図 1には、本発明の第 1実施形態に従うヘッドマウント式の網膜走査型ディスプレイ装置（以下、「RSD」という。） 10の外観が斜視図で示されている。この RSD10は、光束を観察者の眼の瞳孔を経て網膜上に投影し、その網膜上において光束を走査することにより、その網膜上に画像を直接に投影する。図 3には、符号 12で眼が示され、符号 14で瞳孔が示され、符号 15で網膜が示されている。本実施形態においては、網膜 15が前記（16)項における「画像形成面」の一例である。

[0117] 図 1に示すように、この RSD10は、観察者の頭部に装着されて使用される装着部 1 6と、その観察者によって携帯される光源ユニット 18とを物理的に互いに独立に備えている。それら装着部 16と光源ユニット 18とは、光伝送媒体としてのフレキシブルな光ファイバ 20によって互いに光学的に接続されている。光源ユニット 18は、例えば、ベルト等の固定具を利用して、観察者の腰や背中にお、て観察者に装着されて使用される。

[0118] 図 1に示すように、装着部 16は、眼鏡型であり、通常の眼鏡と同様にして、観察者の鼻と両耳とを利用して頭部に保持される。そのため、装着部 16は、観察者の両眼 1 2, 12の前方において鼻によって支持されるフレーム 30と、頭部の両側において両耳によってそれぞれ支持される左右のアーム 32, 32とを備えている。それらフレーム 30と各アーム 32とは、折り畳み可能に互いに連結されて、る。

[0119] RSD10は、両眼 12, 12の網膜 15上にそれぞれ画像を投影する形式である。そのため、装着部 16は、両眼 12, 12のそれぞれについて互いに独立した光学系を備えている。具体的には、各眼 12ごとに、光束を走査する走査ユニット 40と、その走査された光束を、対応する眼 12に入射させて網膜 15上に投影する投影具 42とを備えている。装着部 16は、走査ユニット 40において、光ファイバ 20に接続されている。すなわち、本実施形態においては、走査ユニット 40と光源ユニット 18とが光ファイバ 20によって互いに光学的に接続されて、るのである。

[0120] 図 2に示すように、投影具 42は、本実施形態においては、走査ユニット 40によって走査された光束を反射して網膜 15に入射させる反射式とされている。具体的には、この投影具 42は、通常の眼鏡における各レンズに類似の形状を有するハーフミラーを用いて構成されている。投影具 42においては、観察者に対向する表面が反射面 4 4とされており、図 3に示すように、走査ユニット 40から反射面 44に入射した光束がその反射面 44で反射して眼 12に入射する。

[0121] この反射面 44は、楕円の一部を水平軸線まわりに回転させて描かれる回転楕円面として形成されている。この反射面 44は、 2つの焦点を有しており、図 2に示すように、その一方の焦点には、走査ユニット 40から光束が出射すべき出射口 46が位置し、他方の焦点には、装着部 16が頭部に装着された状態で、眼 12が位置するように使用される。

[0122] 投影具 42は、上述の反射機能に加えて、投影具 42の前方から入射する光を透過して眼 12に入射させる透過機能も有している。したがって、観察者は、 RSD10から伝送される画像を、投影具 42を透過した眼前の実景に重ね合わせて視認することができる。ただし、投影具 42をノヽーフミラーを用いて構成することは本発明を実施するうえに不可欠なことではなぐ反射機能は有するが透過機能は有しない光学部品を用いて投影具 42を構成することが可能である。

[0123] 以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、走査ユニット 40および投影具 42が両眼 12, 12についてそれぞれ設けられており、そのため、光源ユニット 18 および光ファイバ 20も両眼 12, 12についてそれぞれ設けられている。ただし、光源ユニット 18については、両眼 12, 12に共通の 1個の光源ユニットとして物理的に構成することが可能である。

[0124] 図 3には、両眼 12, 12の一方について代表的に、光源ユニット 18と、光ファイバ 20 と、走査ユニット 40とが光路図で示されている。

[0125] 光源ユニット 18は、光源部 50と集束部 52と主制御回路 54とを含むように構成されている。光源部 50は、 RGB方式によって任意の色を再現するために、赤色のレーザビームを発生させるレーザ装置 60と、緑色のレーザビームを発生させるレーザ装置 6 2と、青色のレーザビームを発生させるレーザ装置 64とを備えている。それらレーザ装置 60, 62, 64から発生するレーザビームの強度は、網膜 15上に投影すべき画像を表す画像信号に基づき、各画素ごとに、主制御回路 54によって制御される。

[0126] これに対し、集束部 52は、それら 3つのレーザ装置 60, 62, 64から発生した 3つのレーザビームを集束させるために設けられており、例えば、各レーザ装置 60, 62, 6 4ごとに、発生したレーザビームをコリメートするためのコリメートレンズ 70, 72, 74と、ダイクロイツクミラー 80, 82, 84とを含むように構成される。この集束部 52によって集束されたレーザビームは、収束レンズ 90によって収束され、その収束されたレーザビームは、光ファイバ 20を通過して走査ユニット 40に入射する。

[0127] 図 3に示すように、走査ユニット 40は、光ファイバ 20から出射したレーザビームをコリメートするためのコリメートレンズ 98と、そのコリメートレンズ 98から出射したレーザビームを水平走査方向と垂直走査方向とに 2次元的に走査する光スキャナ 100とを備えている。本実施形態においては、コリメートレンズ 98により、レーザビームが平行光として光スキャナ 100に入射する。その光スキャナ 100から出射したレーザビームは、リレーレンズを経由することなぐ投影具 42の反射面 44に入射し、そこで反射して網膜 15上に到達する。リレーレンズは、前記（16)項における「リレー光学系」の一例である。

[0128] 図 3に示すように、光スキャナ 100には駆動回路 110が電気的に接続されている。

駆動回路 110は、主制御回路 54から、光ファイバ 20またはそれとは別の経路である電線を経て供給された駆動信号に基づき、光スキャナ 100を駆動する。光スキャナ 1 00は、水平走査部 120と垂直走査部 122とを備えており、それら水平走査部 120と垂直走査部 122とがそれぞれ駆動回路 100によって駆動される。

[0129] 図 4には、光スキャナ 100が縦断面図で示されている。光スキャナ 100は、振動体 1 24の表面がカバー 126によって覆われることによって構成されている。

[0130] 図 5には、振動体 124が平面図で示されている。この振動体 124は、厚さが 100 m程度であるシリコンゥエーハを基材として構成されてヽる。その基材にエッチングを施すことにより、第 1揺動部 130と第 2揺動部 132とが一体的に振動体 124に形成されている。それら第 1揺動部 130と第 2揺動部 132とは、互いに平面的に並ぶ姿勢で振動体 124に形成されている。すなわち、本実施形態においては、第 1揺動部 130と第 2揺動部 132とがプレーナ構造 (複数の構造物が平面的に配置される構造)で互 Vヽに一体化させられて!/、るのである。

[0131] 第 1揺動部 130は、光スキャナ 100に入射したレーザビームを水平方向に走査するために第 1揺動軸線 134まわりに揺動するように共振状態で振動させられる。これに対し、第 2揺動部 132は、第 1揺動部 130から出射したレーザビームを垂直方向に走查するために第 2揺動軸線 136まわりに揺動するように共振状態で振動させられる。

[0132] 図 5に示すように、第 1揺動部 130および第 2揺動部 132にはそれぞれ、第 1反射面 140および第 2反射面 142が、共に、光スキャナ 100の非作動状態においては振動体 124の面に対して平行な姿勢で平面的に並んで形成されている。第 1反射面 1 40は、光スキャナ 100内におけるレーザビームの進行方向の上流側に位置する一方、第 2反射面 142は、下流側に位置している。第 2反射面 142の中心は、第 1反射面 140の中心から距離 dだけ、第 2揺動軸線 136に対して直角な方向、すなわち、第 1揺動軸線 134に対して平行な方向に隔たっている。この光スキャナ 100においては、第 2反射面 142の中心が第 1揺動軸線 134上に設けられている。 [0133] 本実施形態においては、第 1揺動軸線 134が、光スキャナ 100に入射するレーザビームの方向に対して平行となるように第 1揺動部 130に対して設定されて、る。これに対し、第 2揺動軸線 136は、光スキャナ 100に入射するレーザビームの方向に対して直角となるように第 2揺動部 132に対して設定されている。その結果、それら第 1揺動軸線 134と第 2揺動軸線 136とは、互いに直角となる相対位置関係を有して、る。

[0134] 図 5に示すように、振動体 124は、振動する部分と振動しない部分とを含んでいる。

振動する部分は、第 1揺動部 130および第 2揺動部 132であり、振動しない部分は、それら第 1揺動部 130および第 2揺動部 132を包囲するように配置された固定枠部 1 46である。振動体 124は、その固定枠部 146においてカバー 126に装着される。

[0135] 図 6には、第 1揺動部 130が拡大されて斜視図で示され、さらに、その第 1揺動部 1 30に関連して固定枠部 146が部分的に示されている。図 6に示すように、第 1揺動部 130は、第 1反射面 140が形成された第 1ミラー部 150を備えている。その第 1ミラー部 150の両側から一対のはり部 152, 152が互いに逆向きに延びている。第 1揺動部 130は、第 1ミラー部 150がー対のはり部 152, 152を介して固定枠部 146に連結されることによって構成されている。それら一対のはり部 152, 152は、共に第 1揺動軸線 134上に位置し、かつ、第 1ミラー部 150を隔てて互いに対向させられている。

[0136] 各はり部 152においては、第 1ミラー部 150から 1本の第 1板ばね部 154が延び、さらに、その第 1板ばね部 154から固定枠部 146に向力つて 2本の第 2板ばね部 156, 156が互いに分岐して延びている。各はり部 152においては、 2本の第 2板ばね部 1 56, 156の片面にそれぞれ 2個の駆動源 160, 160が装着されている。

[0137] 図 7に示すように、各駆動源 160は、対応する第 2板ばね部 156に沿って延びている。各駆動源 160は、それに対して平行に延びる上部電極 162と下部電極 164とに圧電素子 166が挟まれてサンドイッチ状に構成されている。それら上部電極 162と下部電極 164とからそれぞれリード線 170が延び出し、固定枠部 146上の各端子 172 に接続されている。ただし、図 7には、リード線 170および端子 172が、上部電極 162 につ、てのみ代表的に示されて!/、る。

[0138] このように構成された各駆動源 160においては、圧電素子 166に電圧力その圧電素子 166の長手方向に対して直角な方向に印加されれば、圧電素子 166の長手方向に変位 (伸びまたは縮み）が発生し、その変位に伴い、対応する第 2板ばね部 156 に反り（屈曲）が発生する。

[0139] 本実施形態においては、第 1ミラー部 150に関して同じ側に位置する 2本の第 2板ばね部 156, 156にそれぞれ装着された一対の圧電素子 166, 166には、互いに逆位相で変位するように電圧が互いに逆位相でそれぞれ印加される。したがって、それら一対の圧電素子 166, 166により、第 1板ばね部 154を第 1揺動軸線 134まわりに同じ向きに回転させる向きのモーメントが第 1板ばね部 154に発生する。

[0140] 図 6に示すように、第 1揺動部 130には、全体として 4個の駆動源 160が用いられているが、それら駆動源 160のうち、第 1ミラー部 150を隔てて互いに正対する 2個の駆動源 160は、互いに同位相で駆動される。その結果、それら 4個の駆動源 160はいずれも、第 1ミラー部 150を第 1揺動軸線 134まわりに同じ向きに回転させる。

[0141] 以上、第 1揺動部 130の構成を説明したが、図 5に示すように、第 2揺動部 132の構成も基本的には第 1揺動部 130と共通する。すなわち、第 2揺動部 132においては、第 2反射面 142が形成された第 2ミラー部 180が、それの両側力も互いに逆向きに、かつ、共に第 2揺動軸線 136に沿って延びる一対のはり部 182, 182を介して固定枠部 146に連結されているのである。各はり部 182においては、第 2ミラー部 180から 1本の第 1板ばね部 184が固定枠部 146に向力つて延び、その第 1板ばね部 184から 2本の第 2板ばね部 186, 186が互いに分岐して延びて固定枠部 146に至っている。

[0142] 第 2揺動部 132についても、各はり部 182において、 2本の第 2板ばね部 186, 186 の片面にそれぞれ 2個の駆動源 190, 190が装着されている。図 5には、第 2揺動部 132が 4個の駆動源 190が装着されている状態で平面図で示されている。各駆動源 190は、図示しないが、駆動源 160と同様に、対応する第 2板ばね部 186に沿って延びる上部電極と下部電極とに圧電素子が挟まれてサンドイッチ状に構成されている。各駆動源 190は、第 1揺動部 130の第 1ミラー部 150を揺動させる原理と同じ原理に従い、第 2揺動部 132の第 2ミラー部 180を揺動させる。

[0143] 本実施形態においては、網膜 15上に投影すべき画像の 1フレーム力複数本の水平走査線と、それらと交差する複数本の垂直走査線であって水平走査線より少数であるものとによって構成される。ただし、それら走査線のすべてが可視化されるとは限らず、必要に応じて帰線消去処理が施される。そのため、水平走査においては、レーザビームを高速で、すなわち、高い周波数で走査することが必要であるのに対し、垂直走査においては、レーザビームを低速で、すなわち、低い周波数で走査することが必要である。一方、各第 1ミラー部 150, 180の、各揺動軸線 134, 136まわりの慣性モーメント（=mr²)が大きいほど、各第 1ミラー部 150, 180の走査周波数を低下させることが容易である。

[0144] したがって、本実施形態においては、図 5に示すように、垂直走査用の第 2揺動部 1 32の第 2ミラー部 180の方力水平走査用の第 1揺動部 130の第 1ミラー部 150より、揺動軸線 134, 136に対して直角な方向（回転半径方向）における寸法が大きくなるように設計されている。

[0145] 図 5に示すように、本実施形態においては、揺動軸線 134, 136の方向における寸法も、垂直走査用の第 2揺動部 132の第 2ミラー部 180の方が、水平走査用の第 1揺動部 130の第 1ミラー部 150より大きくなるように設計されている。第 2揺動部 132の、第 2揺動軸線 136の方向における寸法 Lの設定については、後に詳述する。

[0146] 図 4には、カバー 126が側面断面図で示されている。カノく一 126は、板部 200の周縁から縦壁部 202が延びるように構成されている。図 8には、カバー 126が平面図で示されている。カバー 126は、外部力もレーザビームが入射することを可能にするために入口側透過部 204を備えており、一方、レーザビームが外部に出射することを可能にするために出口側透過部 206を備えている。本実施形態においては、それら入口側透過部 204および出口側透過部 206がいずれも、内部が充填されていない中空穴として形成されている。入口側透過部 204は、カバー 126の一端側における板部 200に設けられ、一方、出口側透過部 206は、カバー 126の他端側における板部 200および縦壁部 202に設けられている。

[0147] 本実施形態においては、第 1揺動部 130には入口側透過部 204を経てレーザビームが斜めに、かつ、鋭角的に入射する一方、第 2揺動部 132からは出口側透過部 20 6を経てレーザビームが斜めに、かつ、鋭角的に出射する。

[0148] 図 4および図 8に示すように、板部 200の両面のうち第 1揺動部 130および第 2揺動部 132に対向する裏面に固定ミラー 210が装着されている。この固定ミラー 210は、定位置に固定状態で装着される。図 4に示すように、固定ミラー 210は、第 1ミラー部 150から第 2ミラー部 180に延びる経路の略中間位置に配置されている。固定ミラー 210は、それの第 3反射面 212により、第 1ミラー部 150から鋭角的に出射したレーザビームを第 2ミラー部 180に向かって鋭角的に反射する。

[0149] 図 9には、レーザビームが光スキャナ 100に入射してから出射するまでに迪る光路が平面図で示されている。平行光として入射したレーザビームは、第 1ミラー部 150によって水平方向（図 9においては上下方向）に走査される。そのように走査されたレーザビームは、固定ミラー 210で反射した後、第 2ミラー部 180に入射する。その入射したレーザビームは、第 2ミラー部 180により、垂直方向に（図 9の紙面に対して直角な平面内において）走査される。

[0150] 第 1ミラー部 150によるレーザビームの振れ角をひとし、第 1ミラー部 150の第 1反射面 140の中心と第 2ミラー部 180の第 2反射面 142の中心との距離を dとすれば、第 2 反射面 142の、第 2揺動軸線 136の方向における寸法 Lは、

2 - d-tan ( a /2)

なる値以上の値を有するように設定される。

[0151] 図 9に示すように、本実施形態においては、入口側透過部 204を透過すべきレーザビームの光路は、光スキャナ 100による走査中、位置的に変化しないのに対し、出口側透過部 206を透過すべきレーザビームの光路は、光スキャナ 100の走査中、扇状の図形を描くように位置的に変化する。

[0152] それら入口側透過部 204と出口側透過部 206との間における光路の違いに着目することにより、本実施形態においては、入口側透過部 204が出口側透過部 206より小さくされており、しかも、入口側透過部 204も出口側透過部 206も、製造ばらつき、温度変化等を考慮し、実用上必要なマージンは見込むがそれ以外のマージンは見込まない最小の大きさを有するように設計されている。その結果、外乱光や塵埃がそれら入口側透過部 204および出口側透過部 206を経て光スキャナ 100内に進入することが制限されている。

[0153] 以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、第 1揺動部 130と、カバ一 126のうちその第 1揺動部 130に関連する部分と、その第 1揺動部 130に関連する 4個の駆動源 160と、駆動回路 110のうちそれら駆動源 160を駆動するための部分とが互いに共同して水平走査部 120を構成している。さらに、第 2揺動部 132と、カバ一 126のうちその第 2揺動部 132に関連する部分と、その第 2揺動部 132に関連する 4個の駆動源 190と、駆動回路 110のうちそれら駆動源 190を駆動するための部分とが互、に共同して垂直走査部 122を構成して、る。

[0154] 前述のように、本実施形態においては、水平走査部 120および垂直走査部 122のうち、レーザビームの進行方向に関して上流側に位置する水平走査部 120にっき、それの第 1揺動軸線 134が、光スキャナ 100を水平走査部 120の第 1反射面 140に対して直角な方向に見た場合に、その第 1反射面 140にレーザビームが入射する方向に対して平行であるようにされている。第 1揺動軸線 134は、その入射方向に対して完全に平行であることは不可欠ではなぐ実質的に平行であれば足りる。

[0155] したがって、本実施形態によれば、第 1反射面 140に斜めにレーザビームが入射するためにその第 1反射面 140上に形成されるスポットが細長く変形させられても、そのスポットの長軸力その第 1反射面 140の第 1揺動軸線 134に対して直角にならずに済む。その結果、そのようなスポットに合わせて第 1ミラー部 150の形状を決定しても、第 1ミラー部 150の、回転半径方向における寸法力前述の従来例ほどには長くならずに済む。

[0156] したがって、本実施形態によれば、第 1ミラー部 150の慣性モーメントの低減ィ匕が容易となり、ひいては、第 1ミラー部 150の走査周波数の増加が容易となる。よって、本実施形態によれば、走査周波数の増加と小型化とを両立させることが容易となる。

[0157] 以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、水平走査部 120が前記（ 1)項における「第 1走査部」の一例を構成し、垂直走査部 122が同項における「第 2 走査部」の一例を構成し、レーザビームが同項における「光」の一例を構成して!/、るのである。

[0158] さらに、本実施形態においては、第 1揺動部 130を駆動する 4個の駆動源 160がそれぞれ前記 (2)項における「第 1駆動源」の一例を構成し、第 2揺動部 132を駆動する 4個の駆動源 190がそれぞれ同項における「第 2駆動源」の一例を構成し、カバー 126が前記（9)項における「ノヽウジング」の一例を構成して、るのである。

[0159] さらに、本実施形態においては、第 1反射面 140および第 2反射面 142が前記（11 )における「第 1反射面および第 2反射面」の一例を構成し、固定ミラー 210の第 3反射面 212が同項における「第 3反射面」の一例を構成しているのである。

[0160] さらに、本実施形態においては、光源ユニット 18が前記（15)項における「光源」の一例を構成し、走査ユニット 40が同項における「光スキャナ」の一例を構成し、レーザビームが同項における「光束」の一例を構成して、るのである。

[0161] なお付言するに、本実施形態においては、第 1ミラー部 150も第 2ミラー部 180も、共振現象を利用してレーザビームを走査するように設計されているが、第 1ミラー部 1 50は共振現象を利用するが、第 2ミラー部 180は共振現象を利用しないで、それぞれレーザビームを走査する態様で本発明を実施することが可能である。

[0162] 次に、本発明の第 2実施形態を説明する。ただし、本実施形態は、第 1実施形態と共通する要素が多ぐ異なる要素は光スキャナに関するもののみであるため、異なる要素についてのみ詳細に説明し、共通する要素については、同一の符号または名称を使用して引用することにより、詳細な説明を省略する。

[0163] 図 10には、本実施形態に従う光スキャナ 230が分解斜視図で示されている。この光スキャナ 230は、カバー 232と振動体 234とを含んで!/、る。

[0164] カバー 232は、第 1実施形態におけるカバー 126と共通の構成を有しており、板部 200と縦壁部 202とによって構成され、さらに、入口側透過部 204と出口側透過部 2 06とが形成されている。

[0165] これに対し、振動体 234は、水平走査部 236と垂直走査部 238とを備えて、る。

[0166] 水平走査部 236は、第 1実施形態における水平走査部 120と共通の構成を有しており、図 11に示すように、第 1揺動軸線 134まわりに揺動させられる第 1揺動部 130 を備えている。第 1揺動部 130は、第 1反射面 140が形成された第 1ミラー部 150を含んでいる。第 1揺動軸線 134は、光スキャナ 230に入射するレーザビームに対して平行に設定されている。

[0167] 第 1ミラー部 150は、一対のはり部 152, 152であって、それぞれ、 1本の第 1板ばね部 154と互いに並列する 2本の第 2板ばね部 156, 156とにより構成されるものを介して固定枠部 240に揺動可能に連結されて、る。この水平走査部 236の 4本の第 2板ばね部 156にそれぞれ 4個の駆動源 160が装着されている。水平走査部 236は、第 1実施形態における水平走査部 120と同じ原理に従ってレーザビームを水平方向に高速で走査する。

[0168] 本実施形態においては、水平走査部 236が、第 1揺動部 130と、固定枠部 240のうちその第 1揺動部 130を包囲する部分と、 4個の駆動源 160とによって構成されている。

[0169] これに対し、垂直走査部 238は、第 1実施形態における垂直走査部 122と基本的な構成に関しては共通する力特にミラー部の形状に関しては相違する。

[0170] 図 11に示すように、垂直走査部 238は、第 1揺動軸線 134に対して直角な第 2揺動軸線 136まわりに揺動させられる第 2揺動部 250を備えている。第 2揺動部 250は、第 2反射面 252が形成された第 2ミラー部 254を含んでいる。第 2ミラー部 254は、第 1実施形態における第 2ミラー部 180とは異なり、第 2揺動軸線 136に関して非対称な形状を有している。

[0171] 具体的には、第 2ミラー部 254には、第 2揺動軸線 136に関する両側のうち水平走查部 236に近い側において、切欠部 258が形成されている。この切欠部 258には、水平走査部 236の、第 1揺動軸線 134の方向における両端部のうち垂直走査部 238 に近い端部が部分的に進入している。その結果、第 2ミラー部 254は、それを第 2揺動軸線 136の方向において見た場合に水平走査部 236とオーバラップするオーバラップ部 260を、水平走査部 236を隔てて互いに対向する 2位置にそれぞれ備えている。

[0172] 一方、水平走査部 236も垂直走査部 238も、共振状態においてレーザビームを走查するように設計し、かつ、垂直走査部 238の走査周波数を水平走査部 236の走査周波数より低くするためには、一般に、第 2ミラー部 254の慣性モーメントを第 1ミラー部 150の慣性モーメントより増加させることが必要である。また、第 2ミラー部 254の慣性モーメントは、その第 2ミラー部 254の回転半径方向における寸法すなわち幅寸法が大きいほど大きい。

[0173] さらに、本実施形態においては、上述のように、第 2ミラー部 254が、第 2揺動軸線 1 36の方向において水平走査部 236とオーバラップさせられており、水平走査部 236 と垂直走査部 238とをそれらが並ぶ方向において詰めて配置することが容易となつている。すなわち、光スキャナ 230の長手寸法 (第 1揺動軸線 134に対して平行な長手方向における寸法）が、水平走査部 236の最大長さ寸法と垂直走査部 238の最大長さ寸法とを単純に足し算した値より短くて済むのである。

[0174] したがって、本実施形態によれば、光スキャナ 230の長手寸法を垂直走査部 238 の走査周波数および第 2ミラー部 254の幅寸法の割に短くすることが容易となる。光スキャナ 230をそれの長手方向に関して小型化することが容易となるのである。

[0175] 図 11に示すように、第 2ミラー部 254の、第 2揺動軸線 136の方向における両縁から一対のはり部 264, 264が互いに逆向きに延びている。それら一対のはり部 264, 264は、第 2ミラー部 254を固定枠部 240に、第 2揺動軸線 136まわりに揺動可能に連結している。

[0176] 各はり部 264は、第 2揺動軸線 136に沿って延びる第 1板ばね部 270と、その第 1 板ばね部 270に対してオフセットした位置においてそれと平行に延びる第 2板ばね部 272とを備えている。第 1板ばね部 270は、第 2ミラー部 254と固定枠部 240とを互いに連結する。一方、第 2板ばね部 272は、第 1板ばね部 270を、それの途中から半径方向外向きに延び出た延出部 274において、固定枠部 240に連結する。

[0177] 各はり部 264においては、第 2板ばね部 272に駆動源 280が装着されている。駆動源 280は、水平走査部 236における駆動源 160と共通する構成を有している。本実施形態においては、第 2揺動軸線 136に対してオフセットされた一対の第 2板ばね部 272, 272にそれぞれ装着された一対の駆動源 280, 280が互いに同位相で駆動される。それにより、第 2板ばね部 272が、延出部 274との連結位置において、第 2板ばね部 272の面に対して直角な方向に変位させられる。その変位は、延出部 274により、第 2揺動軸線 136まわりの回転モーメントに変換され、それにより、第 2ミラー部 2 54が第 2揺動軸線 136まわりに揺動させられる。

[0178] 前述のように、垂直走査部 238の走査周波数を水平走査部 236の走査周波数より低下させるためには、第 2ミラー部 254の慣性モーメントを増カロさせることが望ま、。そのためには、第 2ミラー部 254の回転半径方向における寸法 (横寸法)を長くすることが効果的であり、さらに、第 2ミラー部 254の第 2揺動軸線 136の方向における寸法 (縦寸法)を長くすることも効果的である。

[0179] 一方、第 2ミラー部 254の縦寸法が長いほど、光スキャナ 230の幅寸法 (横寸法)が長くなる傾向がある。

[0180] これに対し、本実施形態においては、図 11に示すように、第 2ミラー部 254が、第 2 揺動軸線 136に対して直角な方向において各はり部 264とオーバラップするオーバラップ部 284を有している。すなわち、光スキャナ 230の幅寸法力第 2ミラー部 254 の最大縦寸法と、一対のはり部 264の合計縦寸法とを単純に足し算した値より短くて済むのである。

[0181] したがって、本実施形態によれば、第 2ミラー部 254の縦寸法の割に光スキャナ 23 0の横寸法が短くて済み、光スキャナ 230をそれの横方向に関して小型化することが容易となる。

[0182] 以上の説明から明らかなように、本実施形態においては、オーバラップ部 260が前記（13)項における「第 1走査部とオーバラップする部分」の一例を構成し、はり部 26 4が前記（14)項における「連結部」の一例を構成し、オーバラップ部 284が同項における「連結部とオーバラップする部分」の一例を構成して、るのである。

[0183] 次に、本発明の第 3実施形態を説明する。ただし、本実施形態は、第 2実施形態と共通する要素が多ぐ異なる要素は光スキャナに関するもののみであるため、異なる要素についてのみ詳細に説明し、共通する要素については、同一の符号または名称を使用して引用することにより、詳細な説明を省略する。

[0184] 図 12には、本実施形態に従うヘッドマウント式の網膜走査型ディスプレイ装置（以下、「RSD」と略称する。） 290における光スキャナ 292が分解斜視図で示されている。 RSD290は、光スキャナ 292を除く部分の構成については、第 2実施形態に従う R SD10と共通する。

[0185] 図 12に示すように、本実施形態における光スキャナ 292は、第 2実施形態と同様に、カバー 232および振動体 234を含んでいる。この光スキャナ 292は、第 2実施形態とは異なり、さらに、受部 294を含んでいる。

[0186] 受部 294は、カバー 232と振動体 234とが組み合わせられた状態において、それらカバー 232と振動体 234との組合せ体 300に着脱可能に取り付けられる。図 12に示すように、受部 294は、扁平箱状を成して長さ方向に延びている。この受部 294は、（ a)その受部 294の長さ方向にぉ、て互いに対向する開口部 302および底部 304と、 (b)それら開口部 302と底部 304との間にお、て受部 294の長さ方向に延びる一対の佃 J咅 306, 306とを含んで! /、る。

[0187] 図 12に示すように、それら一対の側部 306, 306は、受部 294の幅方向において、隙間を隔てて互いに対向している。各側部 306, 306は、互いに対向する表面側において、各側部 306, 306に沿って延びる差込溝 308, 308を有している。各差込溝 308, 308ίま、対応するィ則咅 306, 306のうち、受咅 294の厚さ方向【こお!ヽて互!ヽ【こ対向する上板部 310, 310および下板部 312, 312と、受部 294の長さ方向に延びる端板部 314, 314とによって形成される。その端板部 314, 314は、上板部 310, 3 10および下板部 312, 312が、受部 294の幅方向中央部力も遠い端部同士において互いに連結されるように、受部 294の長さ方向に延びている。すなわち、受部 294 における一対の佃 J咅 306, 306に一対の差込溝 308, 308力 S、受咅 294の幅方向にお、て互いに対向する姿勢で形成されて!、るのである。

[0188] 図 12に示すように、受部 294には、それの上面において開口部 320が形成されている。カバー 232と振動体 234との組合せ体 300が受部 294内に差し込まれた状態において、カバー 232に設けられた入口側透過部 204と出口側透過部 206と力受部 294の開口部 320において露出させられる。

[0189] カバー 232と振動体 234との糸且合せ体 300を受部 294に装着することが必要である場合には、その組合せ体 300が受部 294にそれの開口部 302から差し込まれる。その組合せ体 300は、受部 294の一対の差込溝 308, 308に係合し、それら一対の差込溝 308, 308によって案内されつつ、受部 294の底部 304に接近する。この組合せ体 300は、それの差込方向における先端部 324, 326が受部 294の底部 304に当接する深さまで、受部 294内に差し込まれる。

[0190] 図 12に示すように、振動体 234は、扁平箱状を成して長さ方向に延びており、それの両端部のうち、組合せ体 300の差込方向における先端部 324には、複数個の第 2 電力端子 TA01— TA12が設けられている。それら第 2電力端子 TA01— TA12は、振動体 234に設けられた第 1ミラー部 150を駆動する駆動源 160の電極 162, 164 および第 2ミラー部 254を駆動する駆動源 280の電極 162, 164の総数と同数設けられている。それら第 2電力端子 TA01— TA12に対応し、受部 294の底部 304に、それら第 2電力端子 TA01— TA12と同数の第 1電力端子 TB01— TB12が設けられている。

[0191] 振動体 234が受部 294内に差し込まれて振動体 234の先端部 324が受部 294の底部 304に当接した状態においては、振動体 234の複数個の第 2電力端子 TAO 1 一 TA12と受部 294の複数個の第 1電力端子 TB01— TB12とがそれぞれ 1対 1で電気的に互いに接触するようになっている。これにより、図示しない外部の電源部から出力された電力が、各電極 162, 164ごとに、第 1電力端子 TB01— TB12および第 2電力端子 TA01— TA12をそれらの順に経て、振動体 234の各電極 162, 164に供給されることが可能になる。

[0192] 光スキャナ 292には、カバー 232と振動体 234との組合せ体 300が受部 294内に差し込まれて装着された状態にお！ヽて、その組合せ体 300を位置決めする位置決め構造が設けられている。この位置決め構造は、その組合せ体 300を受部 294の幅方向において位置決めする第 1位置決め部と、その組合せ体 300を受部 294の厚さ方向にお、て位置決めする第 2位置決め部と、その組合せ体 300を受部 294の長さ方向にお、て位置決めする第 3位置決め部とを含んで、る。

[0193] 図 13は、図 12における X— X線断面図である。上記第 1位置決め部は、組合せ体 3 00と受部 294との間にお!/、て、受部 294の幅方向にお!、て互いに対向する一対の差込溝 308, 308のうち一方に、その一方の差込溝 308が延びる方向すなわち受部 294の長さ方向に沿って設けられた第 1押圧部材 330を備えている。その第 1押圧部材 330は、弾性を有する材料によって形成され、組合せ体 300を受部 294に、一方の差込溝 308から他方の差込溝 308に向力方向、すなわち、受部 294の幅方向（図 13において「F1」を付して矢印で示す方向）に弹性的に押圧する。この押圧により、組合せ体 300が受部 294の幅方向にお!、て位置決めされる。

[0194] これに対し、前記第 2位置決め部は、組合せ体 300を受部 294に、その組合せ体 3 00の差込方向すなわち受部 294の長さ方向に弹性的に押圧することにより、糸且合せ体 300を、受部 294の長さ方向において位置決めする。この第 2位置決め部は、図 2 1に示す凸部 550と凹部 552とが互いに嵌合する構造と共通する構造を有する凹凸嵌合部（図示しない）を備えている。その凹凸嵌合部は、便宜上図 21を参照して説明するに、組合せ体 300と受部 294との一方に設けられた凸部 550と、他方に設けられた凹部 552とを備えている。この凹凸嵌合部においては、凸部 550が凹部 552内に弾性的に嵌り合う。

[0195] それら凸部 550と凹部 552とはそれぞれ、受部 294の長さ方向に対して傾斜した傾斜面（90度傾斜した面を含む。）を有している。それら凸部 550と凹部 552とが互いに嵌合する状態において、それぞれの傾斜面が受部 294の長さ方向に弾性的に押し付け合うことにより、組合せ体 300を受部 294にその受部 294の長さ方向に押圧する力が生起される。

[0196] 図 13に示すように、前述の第 3位置決め部は、組合せ体 300と受部 294との間において、受部 294の幅方向において互いに対向する一対の差込溝 308, 308に、それら一対の差込溝 308, 308が延びる方向すなわち受部 294の長さ方向に沿って設けられた第 2押圧部材 340, 340を備えている。それら第 2押圧部材 340, 340は、弹性を有する材料によって形成され、組合せ体 300を受部 294に、各側部 306, 306 にお、て受部 294の厚さ方向にぉ、て互いに対向する上板部 310, 310と下板部 3 12, 312のうちの一方である下板咅 312, 312力ら他方上板咅 310, 310に向力う方向、すなわち、受部 294の厚さ方向（図 13において「F3」を付して矢印で示す方向）に弹性的に押圧する。この押圧により、組合せ体 300が受部 294の厚さ方向において位置決めされる。

[0197] 次に、本発明の第 4実施形態を説明する。

[0198] 図 14ないし図 22には、本実施形態に従うミラーユニット 400が示されている。図 14 に示すように、このミラーユニット 400においては、走査ミラー 402と、その走査ミラー 402を、同図において αおよび j8を付して矢印で示す方向において揺動するように駆動する駆動部 404とがミラー支持部 406に設けられている。

[0199] ミラーユニット 400は、走査ミラー 402を前述のように揺動させることにより、その走查ミラー 402に入射する入射光 Nを、その揺動位置に応じた方向へ走査光 Hとして反射する光学機器である。図 15に示すように、このミラーユニット 400は、ミラーュ- ット受部 408に着脱可能に取り付けられるように構成されて、る。

[0200] 図 16には、ミラーユニット 400が、ミラーユニット受部 408に装着された装着状態（使用状態)で示されている。本実施形態においては、このミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に取り付けられることにより、光走査装置 410が構成される。この光走査装置 410は、走査ミラー 402の揺動を制御することにより、その走査ミラー 402からの走査光 Hで、画像形成面の一例であるスクリーンを走査する。それにより、そのスクリーン上に画像が表示される。

[0201] 次に、図 14に戻って、ミラーユニット 400のうちのミラー支持部 406の具体的な構成を説明する。

[0202] ミラー支持部 406は、筐体 420と、その筐体 420に設けられる基板 422とを備えている。基板 422上には、前述の走査ミラー 402と、駆動部 404とが設けられている。筐体 420は例えば、概して直方体を成し、かつ、それの一面において形成された凹部に基板設置部 424を有するように形成される。

[0203] その基板設置部 424には基板 422が設置される。その基板設置部 424の底面には、複数個の中継端子 430— 444が設けられている。基板設置部 424の上側開口を、図示しない光透過性の透明カバーで覆うことにより、基板設置部 424内の空間を密閉状態にして、埃，ちり等の異物が外部から侵入することを防止することが可能である。

[0204] 図 15に示すように、ミラーユニット 400は、ミラーユニット受部 408に対して着脱可能に取り付けられる力ミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に対して着脱可能に取り付けられる一態様として、ミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に対して抜き差し可能に取り付けられる態様が存在する。以下、この態様を例にとり、ミラーュニット 400を説明する。

[0205] この態様においては、ミラーユニット 400の筐体 420の、差込方向における両端部のうちの後端部（トレーリング端部ともいい、図 15においては上側の端部である。）には、その後端部の、厚さ方向における両面のうち走査ミラー 402と同じ側にある上面において、摘み部 450が設けられている。この摘み部 450は、作業者がミラーユニット 400を抜き差しする際にミラーユニット 400を把持し易くして作業性を向上させるために設けられている。

[0206] 図 15に示すように、筐体 420のうち、それの幅方向に隔たって一対の側部 306, 3 06は、ミラーユニット受部 408に差込可能な取付部 452, 454である。さらに、筐体 4 20の、差込方向における先端部には、ミラーユニット受部 408に対向する先端面において、複数個の電力被供給端子 456— 470が設けられている。これら電力被供給端子 456— 470は、図示しないが、配線等により、複数個の中継端子 430— 444 (図 14参照）に電気的に接続されている。

[0207] 次に、図 17および図 18を参照することにより、走査ミラー 402および駆動部 404を説明する。

[0208] 図 17には、基板 422上に設けられた走査ミラー 402と、その走査ミラー 402を駆動する駆動部 404との外観が斜視図で示されている。図 17に示すように、走査ミラー 4 02は板状を成し、その走査ミラー 402のうち同図において上側の面に反射面が形成されている。

[0209] この走査ミラー 402から、その走査ミラー 402の回転中心線を通過する一対の回転軸咅 480, 482力互!/、に逆向きに延び出して!/、る。各回転軸咅 480, 482ίま、走查ミラー 402から遠ざ力る途中において二股に分岐させられている。その結果、一方回転軸部 480には、上記回転中心線を隔てて互いに平行に延びる互いに 2本の連結部 484, 486力連結され、他方の回転軸部 482には、上記回転中心線を隔てて互いに平行に延びる互いに 2本の連結部 488, 490力 S連結されて、る。

[0210] 各連結部 484, 486, 488, 490には、連結部 484を代表的に示す図 18に示すように、同図において上側の面において、電界または電圧を変位または歪みに変換する素子の一例であるピエゾ素子 492が設けられている。

[0211] 図 18に示すように、各連結部 484, 486, 488, 490に装着された各駆動部 404は、ピエゾ素子 492と、そのピエゾ素子 492を上下から挟むようにそのピエゾ素子 492 の両面に設けられた下咅電極 493L (連結咅 486, 488, 490にそれぞれ対応する下部電極 493aL, 493bL, 493cL, 493dL)および上部電極 493U (連結部 48 4, 486, 488, 490にそれぞれ対応する上部電極 493aU, 493bU, 493cU, 493 dU)を備えている。本実施形態においては、ピエゾ素子 492が、ュ-モルフ型であり、下部電極 493aLを介して、弾性体である連結部 484の片面に貼り付けられている。

[0212] ここで、各駆動部 404の作動を、連結部 484に対応する下部電極 493aLと上部電極 493aUとで挟まれているピエゾ素子 492を例にとって説明する。下部電極 493aL と上部電極 493aUとの間に印加される電圧の向きが変化するのにつれて、ピエゾ素子 492および連結部 484は、図 18 (a)に示す中立状態から、図 18 (b)に示す上反り状態への遷移と、図 18 (a)に示す中立状態から、図 18 (c)に示す下反り状態への遷移とを交互に繰り返す。その結果、連結部 484が橈む方向が上下に反復的に変化する。

[0213] したがって、図 17に示す連結部 484において下部電極 493aLと上部電極 493aU とに挟まれているピエゾ素子 492と、連結部 488において下部電極 493cLと上部電極 493cUとに挟まれているピエゾ素子 492と、図 18 (2)に示すように、上に凸となるように撓ませ、一方、連結部 486において下部電極 493bLと上部電極 493bUとに挟まれて!/ヽるピエゾ素子 492と、連結咅490にお!/ヽて下咅電極 493dLと上咅電極 493 dUとに挟まれているピエゾ素子 492を、図 18 (3)に示すように、下に凸となるように橈ませると、回転軸部 480, 482は、図 17において矢印で示す向きに回転し、走査ミラー 402も同方向へ揺動する。

[0214] した力つて、下咅電極 493aL, 493bL, 493cL, 493dLと上咅電極 493aU, 493 bU, 493cU, 493dUとの間に印加する電圧を制御し、走査ミラー 402の揺動を制御すれば、入射光 Nを走査光 Hとして反射させて偏向することにより、光の走査という機能を果たすことができる。

[0215] 図 17に示すように、連結部 484に対応する下部電極 493aLと上部電極 493aUとにそれぞれ、下部電極用端子 494と上部電極用端子 502とが電気的に接続されている。同様に、連結部 486に対応する下部電極 493bLと上部電極 493bUとにそれぞれ、下部電極用端子 496と上部電極用端子 504とが電気的に接続されている。同様に、連結部 488に対応する下部電極 493cLと上部電極 493cUとにそれぞれ、下部電極用端子 498と上部電極用端子 506とが電気的に接続されている。同様に、連結部 490に対応する下部電極 493dLと上部電極 493dUとにそれぞれ、下部電極用端子 500と上部電極用端子 508とが電気的に接続されている。

[0216] 図 14に示すように、下部電極用端子 494、上部電極用端子 502、上部電極用端子 504および下部電極用端子 496はそれぞれ、ボンディングワイヤ Wにより、筐体 420 に設けられた複数個の中継端子 430, 432, 434, 436に電気的に接続されている。同様に、下部電極用端子 498、上部電極用端子 506、上部電極用端子 508および下部電極用端子 500はそれぞれ、ボンディングワイヤ Wにより、筐体 420に設けられた複数個の中継端子 438, 440, 442, 444に電気的に接続されている。

[0217] 図 15に示すように、ミラーユニット受部 408は、前記ミラーユニット 400を着脱可能に支持するが、前述のように、ミラーユニット 400を抜差し可能に受け止める構成を有するちのとすることがでさる。

[0218] 図 15および図 16を参照することにより、ミラーユニット 400を抜差し可能に受け止めるミラーユニット受部 408の具体的な構成を説明する。

[0219] 図 15に示すように、ミラーユニット受部 408は、ミラーユニット 400の先端を受け止める先端受止部 520と、その先端受止部 520に立設され、ミラーユニット 400を構成する一対の取付部 452, 454を受け止める一対の側部受止部 522, 524とを備えている。

[0220] それら一対の側部受止部 522, 524には、ミラーユニット 400の筐体 420に設けられた一対の取付部 452, 454が抜差し可能に差し込まれる一対の差込溝 526, 528 が形成されている。それら一対の差込溝 526, 528においては、差込方向先端側が先端受止部 520によって閉塞される一方、後端側は、一対の取付部 452, 454の挿入が行われるべき差込口 530, 532として開放されて、る。

[0221] 図 16に示すように、ミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に受け止められた状態にお、て、ミラーユニット 400の摘み部 450がミラーユニット受部 408から露出するように、ミラーユニット受部 408の側部受止部 522, 524の、差込方向における寸法すなわち長さ寸法が、ミラーユニット 400の長さ寸法より短く設計されて、る。

[0222] 図 15に示すように、ミラーユニット受部 408の先端受止部 520には複数個の電力供給端子 P1— P8が設けられている。それら電力供給端子 P1— P8は、図 16に示すように、ミラーユニット受部 408にミラーユニット 400が差し込まれた状態においてそのミラーユニット 400の複数個の電力被供給端子 456— 470にそれぞれ電気的に接触する。

[0223] 図示しない外部の電源部力も供給される電力は、複数個の電力供給端子 P1— P8 と、複数個の電力被供給端子 456— 470と、複数個の中継端子 430— 444と、下部電極用端子 494一 500および上部電極用端子 502— 508とを、それらの順に経て、下部電極 493aL, 493bL, 493cL, 493dLおよび上部電極 493aU, 493bU, 493 cU, 493dUに供給される。

[0224] 本実施形態においては、図 16に示すように、ミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に取り付けられた状態において、ミラーユニット 400を位置決めする位置決め構造が設けられている。

[0225] ここで、図 19ないし図 22を参照することにより、その位置決め構造を説明する。その位置決め構造は、第 1位置決め部と、第 2位置決め部と、第 3位置決め部とを含んでおり、まず、図 19を参照することにより、その第 1位置決め部を説明する。

[0226] 図 19は、図 15における A-A線断面図である。上記第 1位置決め部は、ミラーュ- ット受部 408における差込溝 526, 528のうちの一方である差込溝 526とミラーュ-ット 400との間に設けられた第 1押圧部材 540を備えている。その第 1押圧部材 540は、弾性を有する材料によって形成されている。この第 1押圧部材 540は、差込溝 526 の溝底 542の長さ方向全体に亘つて設けられて、る。

[0227] この第 1押圧部材 540は、差込溝 526, 528内に差し込まれた状態にあるミラーュニット 400を他方の差込溝 528へ向けて弹性的に押圧する。この第 1押圧部材 540 の弾性により、ミラーユニット 400は、筐体 420の両側面のうち第 1押圧部材 540が係合させられるものとは反対側の側面（以下、「反対側側面」という。）において、他方の差込溝 528の溝底 544に押し付けられる。その押付けにより、ミラーユニット 400は、そのミラーユニット 400の幅方向、すなわち、そのミラーユニット 400の差込方向に直交し、かつ、走査ミラー 402の反射面と平行な方向（図 19において「F1」を付して示す矢印の方向）において位置決めされる。

[0228] ミラーユニット 400の筐体 420の反対側側面と、その反対側側面が押し付けられる差込溝 528の溝底 544とはそれぞれ、互いに面接触するように平坦面状に形成されている。それにより、ミラーユニット 400の位置決めが一層高精度に達成される。

[0229] 図 19における B—B線断面図である図 20に示すように、差込溝 528の溝底 544と先端受止部 520とが所定角度 (例えば、 90度）を成すように形成されている。それにより、ミラーユニット 400の位置決めがさらに高精度に達成される。図 20において「INS」を付して示す矢印の向きは、ミラーユニット 400の差込方向を示している。

[0230] すなわち、上述の第 1位置決め部は、図 19に示す第 1押圧部材 540と、ミラーュ- ット 400の筐体 420の平坦面状の反対側側面と、差込溝 528の平坦面状の溝底 544 とによって構成されるのである。

[0231] 次に、図 21を参照することにより、前述の第 2位置決め部を説明する。この第 2位置決め部は、ミラーユニット 400を差込方向へ押圧してそのミラーユニット 400を位置決めする。図 21において「INS」を付して示す矢印の向きは、ミラーユニット 400の差込方向を示している。

[0232] この第 2位置決め部を構成するために、図 21に示すように、ミラーユニット 400に凸部 550が形成される一方、ミラーユニット受部 408には、その凸部 550が嵌合し得る形状を有する凹部 552が形成されている。ミラーユニット受部 408のうち凹部 552が形成されている部分は、ミラーユニット 400のうち凸部 550が形成されている部分より曲げ剛性が低く、局部的な弾性変形が生じ易!、。

[0233] それら凸部 550と凹部 552とはそれぞれ、ミラーユニット受部 408の長さ方向に対して傾斜した傾斜面（90度傾斜した面を含む。）を有している。それら凸部 550と凹部 5 52とが互いに嵌合する状態において、それぞれの傾斜面がミラーユニット受部 408 の長さ方向に弹性的に押し付け合うことにより、ミラーユニット 400をミラーユニット受部 408にそのミラーユニット受部 408の長さ方向に押圧する力が生起される。凸部 55 0は、第 2押圧部材としての凹部 552に弹性的に嵌り込む。

[0234] それら凸部 550および凹部 552は、ミラーユニット 400力差込溝 526, 528に差し込まれて、図 16に示すように、ミラーユニット 400の先端面がミラーユニット受部 408の先端受止部 520に当接する直前において、図 21に示すように、凸部 550が凹部 552 に嵌り込み始め、その当接状態において、凸部 550が凹部 552に圧力下に押し付けられるように、相対的位置関係が設定されている。 [0235] このように構成された第 2位置決め部を用いる本実施形態においては、ミラーュ-ット 400がミラーユニット受部 408の差込溝 526, 528に差し込まれた結果、凸部 550 が凹部 552内に嵌り込むと、それら凸部 550と凹部 552との間に発生する弾性力がミラーユニット 400に伝達される。その伝達された弾性力により、ミラーユニット 400が差込方向に押圧される。その結果、ミラーユニット 400の先端面がミラーユニット受部 40 8の先端受止部 520に面接触した状態において、ミラーユニット 400の差込方向における位置が固定される。

[0236] 以上、ミラーユニット 400を差込方向に弾性的に押圧して位置決めする凹凸嵌合式の第 2位置決め部の構成を、凸部 550がミラーユニット 400、凹部 552がミラーュ-ット受部 408にそれぞれ設けられる構成を例にとって説明した力凸部 550がミラーュニット受部 408、凹部 552がミラーユニット 400にそれぞれ設けられる構成を採用して本発明を実施することが可能である。

[0237] 次に、図 19を参照することにより、前述の第 3位置決め部を説明する。

[0238] 図 19に示すように、この第 3位置決め部は、差込溝 526, 528内に設けられた第 3 押圧部材 560を備えている。その第 3押圧部材 560は、ミラーユニット 400とミラーュニット受部 408との間に配置されている。この第 3押圧部材 560は、ミラーユニット 40 0の走査ミラー 402の反射方向に関してそのミラーユニット 400の背後に位置して、そのミラーユニット 400をミラーユニット受部 408に、走査ミラー 402の反射面の向いている方向（図 19において「F3」を付して示す矢印の方向）へ弹性的に押圧する。

[0239] その押圧により、ミラーユニット 400は、筐体 420の上面が差込溝 526, 528の溝壁 562, 564に押し付けられ、ミラーユニット 400の差込方向に直交し、力つ、走査ミラ一 402の反射面に直交する方向にぉ、て位置決めされる。ミラーユニット 400の筐体 420の取付咅 454の前面と、差込溝 526, 528の溝壁 562, 564と力 ^それぞれ、互いに面接触するように平坦面状に形成されれば、ミラーユニット 400の位置決めがー層高精度に達成される。

[0240] 図 19における C—C線断面図である図 22に示すように、ミラーユニット受部 408を、各差込溝 526, 528にっき、一対の溝壁 562, 562, 564, 564と、先端受止咅とが所定角度 (例えば、 90度）を成すように形成すれば、ミラーユット 400の位置決めがさらに高精度に達成される。図 20において「INS」を付して示す矢印の向きは、ミラーユニット 400の差込方向を示して!/、る。

[0241] すなわち、図 19に示す第 3押圧部材 560と、筐体 420の取付部 452, 454の前面と、差込溝 526, 528の溝壁 562, 564とによって前記第 3位置決め部が構成されているのである。

[0242] 次に、以上のように構成されたミラーユニット 400とミラーユニット受部 408との組付け手順を説明する。

[0243] 図 15に示すように、作業者は、まず、ミラーユニット 400をミラーユニット受部 408に近づけ、ミラーユニット 400の取付部 452, 454をミラーユニット受部 408の差込溝 52 6, 528に、差込口 530, 532力ら差し込む。作業者 ίま、次に、図 16に示すように、ミラーユニット 400をミラーユニット受部 408内に、ミラーユニット 400の先端面力ミラーュニット受部 408の先端受止部 520に当接するまで差し込む。その当接状態において、ミラーユニット 400が位置決めされる。

[0244] 具体的には、図 21に示すように、凸部 550が凹部 552に嵌り込むことにより、ミラーユニット 400が差込方向において位置決めされる。また、図 19に示す第 1押圧部材 5 40がミラーユニット 400を差込溝 528の溝底 544に押し付けることにより、ミラーュ- ット 400が幅方向（横方向とも、、、同図にお!、て「F1」を付して示す方向）にお!/ヽて位置決めされる。さらに、図 19に示す第 3押圧部材 560がミラーユニット 400を上方（厚さ方向とも、い、同図にお、て「F3」を付して示す方向）へ押圧してミラーユニット 4 00の上面を差込溝 526, 528の溝壁 562, 564に押し付け、それにより、ミラーュニット 400が厚さ方向にぉ、て位置決めされる。

[0245] 以上のようにしてミラーユニット 400の位置決めが終了すると、ミラーユニット 400の複数個の電力被供給端子 456— 470がそれぞれ、ミラーユニット受部 408の複数個の電力供給端子 P1— P8に電気的に接触し、その結果、図示しない外部の電源部から走査ミラー 402の駆動部 404への電力の供給が可能になる。

[0246] 図 14に示すように、走査ミラー 402は、図示しない光源からの入射光 Nを反射し、その反射光を走査光 Hとして出射する。駆動部 404が、外部の電源部から供給された電力により、走査ミラー 402を駆動して揺動させると、走査ミラー 402による走査光 Hの偏向、すなわち、走査が行われる。その走査光 Hで前述のスクリーンが走査されると、そのスクリーン上に画像が表示される。

[0247] 次に、ミラーユニット 400を構成する部品、例えば、走査ミラー 402、駆動部 404等が損傷したためにそのミラーユニット 400を交換することが必要となった場合を想定し、作業者による光走査装置 410の交換手順を説明する。

[0248] この場合には、図 16に示す装着状態において、作業者が、まず、ミラーユニット 40 0の摘み部 450を摘んでミラーユニット 400をミラーユニット受部 408から引き抜こうとする。作業者によってミラーユニット 400に作用する力がある程度大きくなると、図 21 に示す凹部 552が凸部 550から離れる向きに弾性変形し、凹部 552が凸部 550を乗り越えて凸部 550が凹部 552から外れる。その結果、ミラーユニット 400がミラーュ- ッ卜受咅408力ら引さ抜力れ、これにより、ミラーユニット 400力 Sミラーユニット受咅408 から分離される。

[0249] その後、作業者は、新たなミラーユニット 400をミラーユニット受部 408内に差し込んでそれらミラーユニット 400とミラーユニット受部 408とを互いに組み付ける。

[0250] 以上の説明から明らかなように、本実施形態に従う光走査装置 410においては、ミラーユニット 400がミラーユニット受部 408に対して着脱可能であるように構成されているため、例えば、走査ミラー 402やその走査ミラー 402の駆動部 404が損傷したためにそれらを交換することが必要である場合に、ミラーユニット 400のみを交換することが可能となり、交換が必要ではないミラーユニット受部 408が交換されてしまわずに済む。

[0251] ところで、光走査装置 410を、例えば、画像表示装置の構成部品として用いる場合には、光路上におけるミラーユニット 400の設置位置を適切に維持することが、適切な画像表示に不可欠である。一方、例えば、ミラーユニット 400が新たなミラーュ-ット 400に交換されると、その新たなミラーユニット 400の光路上の設置位置が正規な位置力も外れてしまう可能性がある。そのため、ミラーユニット 400の交換に伴い、新たなミラーユニット 400の設置位置の調整作業が改めて必要になる。

[0252] しかし、本実施形態にぉ、ては、ミラーユニット 400を交換することが必要である場合には、ミラーユニット受部 408は、当該画像表示装置に固定されたままで、その設置位置は変化しないため、そのようなミラーユニット受部 408に新たなミラーユニット 4 00を単に差し込むだけで、新たなミラーユニット 400の光路上における設置位置が正規であることが保証される。

[0253] よって、本実施形態によれば、ミラーユニット 400の交換に伴ってそのミラーユニット 400の設置位置の調整作業を行うことを完全に省略することが可能となるか、完全には省略しないにしても従来ほど慎重に行わずに済み、いずれにしても、作業者の負担が軽減される。

[0254] 次に、本発明の第 5実施形態を説明する。

[0255] 図 23には、本実施形態に従う画像表示装置 570であって第 4実施形態に従う光走查装置 410を用いて光の走査を行うものが斜視図で示されている。画像表示装置 57 0は、被変調光 Sを出力する被変調光出力部 572と、その出力された被変調光 Sを水平走査する水平走査部（主走査部の一例） 574と、その被変調光 Sを垂直走査する垂直走査部（副走査部の一例） 576と、コリメータレンズ 578と、反射ミラー 580と、リレ一光学系 582, 584とを含むように構成されている。

[0256] 水平走査部 574および垂直走査部 576はそれぞれ、第 4実施形態に従う光走査装置 410を用いて構成されている。具体的には、水平走査部 574においては、光走査装置 410の走査ミラー 402が被変調光 Sを水平走査するように揺動させられる。また、垂直走査部 576においては、光走査装置 410の走査ミラー 402が被変調光 Sを垂直走査するように揺動させられる。

[0257] 画像表示装置 570においては、被変調光出力部 572が、外部信号に基づいてレ一ザ光を変調することにより、被変調光 Sを出力する。その被変調光出力部 572から出力された被変調光 Sは、コリメータレンズ 578によって収束させられた後、反射ミラ一 580で反射して水平走査部 574に入射する。

[0258] 水平走査部 574に入射した被変調光 Sは、水平走査部 574において水平走査を受けてその水平走査部 574から出射する。その水平走査部 574において水平走査された被変調光 Sは、リレー光学系 582, 584を経て垂直走査部 576に入射する。その垂直走査部 576に入射した被変調光 Sは、その垂直走査部 576において垂直走查を受けてその垂直走査部 576から出射する。その出射した被変調光 Sで前述のスクリーン 590が走査され、それにより、そのスクリーン 590上に画像が表示される。

[0259] 本実施形態に従う画像表示装置 570を使用する場合には、光路上におけるミラーユニット受部 408の設置位置が正規である限り、ミラーユニット 400を交換することが必要であるために新たなミラーユニット 400をミラーユニット受部 408に装着するだけで、その新たなミラーユニット 400の光路上における設置位置が自動的に正規化される。

[0260] なお付言するに、画像表示装置 570は、空間に設置されたスクリーン 590に画像を投影して表示するプロジェクタ式であるが、被変調光 Sを観察者の網膜上に直接に投影してその網膜上において走査し、その網膜上に画像を表示する網膜走査式を採用することが可能である。この場合には、この画像表示装置 570は、第 1ないし第 3 実施形態と同様に、網膜走査型ディスプレイ装置として機能する。

[0261] さらに付言するに、図 23に示す画像表示装置 570は、第 4実施形態に従う光走査装置 410を、可視画像を形成するために用いる力不可視画像を形成するために用いたり、可視画像を読み取るために用いることが可能である。不可視画像を形成するために光走査装置 410を用いる画像表示装置 570の一例は、静電潜像を感光体に形成するために光走査装置 410を用いるレーザプリンタである。

[0262] 以上、本発明の実施の形態のうちのいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、前記 [発明の開示]の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 光が入射する反射面の揺動により、その入射した光を 2次元的に走査する光スキヤナであって、

を含み、

[2] 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を揺動させる第 2駆動源を含む請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[3] 前記第 1反射面に入射する光は、平行光である請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[4] 前記第 1走査部は、前記第 2走査部より高い走査周波数で前記光を走査する請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[5] 前記第 1走査部は、水平方向に前記光を走査する水平走査を行い、

前記第 2走査部は、水平走査線に対して交差する方向に前記光を走査する垂直走查を行う請求の範囲第 4項に記載の光スキャナ。

[6] 前記第 1走査部と前記第 2走査部とは、前記第 1ミラー部と前記第 2ミラー部とのそれぞれの共振現象を利用して前記光を走査する請求の範囲第 4項に記載の光スキャナ。

[7] 前記第 1走査部は、前記第 1ミラー部の共振現象を利用して前記光を走査する一方、前記第 2走査部は、前記第 2ミラー部の共振現象を利用しないで前記光を走査する請求の範囲第 4項に記載の光スキャナ。

[8] 前記第 2反射面の、前記第 2揺動軸線の方向における寸法は、前記第 1反射面によって走査される光の振れ角を α、当該光スキャナを前記第 1反射面および前記第 2 反射面に対して直角な方向に見た場合に第 1反射面の中心と第 2反射面の中心とが互いに隔たる距離を dとすると、 2' d'tan ( « Ζ2)で表わされる寸法以上である請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[9] さらに、前記第 1走査部と前記第 2走査部とを収容するそれらに共通のハウジングを含み、そのハウジングは、光が外部力前記第 1反射面に入射するための入口側透過部と、光が前記第 2反射面から外部に出射するための出口側透過部とを含む請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[10] 前記入口側透過部は、前記出口側透過部より小さい請求の範囲第 9項に記載の光スキャナ。

[11] 前記第 1反射面と前記第 2反射面とは、それらの順に、当該光スキャナ内における前記光の進行方向に沿って互いに直列に、かつ、同一平面上に配置されており、当該光スキャナは、さらに、前記第 1反射面から出射した光を前記第 2反射面に向けて反射する第 3反射面を含む請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[12] 前記第 1ミラー部と前記第 2ミラー部とは、同一の基板に形成されている請求の範囲第 11項に記載の光スキャナ。

[13] 前記第 2ミラー部は、当該光スキャナを前記第 2揺動軸線の方向に見た場合に前記第 1走査部とオーバラップする部分を含む請求の範囲第 11項に記載の光スキャナ

[14] 前記第 2走査部は、さらに、固定枠部と、その固定枠部に前記第 2ミラー部を前記第 2揺動軸線まわりに揺動可能に連結する連結部とを含み、前記第 2ミラー部は、当該光スキャナを前記第 1揺動軸線の方向に見た場合に前記連結部とオーバラップする部分を含む請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[15] さらに、前記第 1ミラー部および前記第 2ミラー部を支持するミラー支持部を含み、そのミラー支持部は、そのミラー支持部が着脱可能に取り付けられるべき受部に取り付けられる取付部を有する請求の範囲第 1項に記載の光スキャナ。

[16] 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を揺動させる第 2駆動源を含み、当該光スキャナは、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための電力端子を含む請求の範囲第 15項に記載の光スキャナ。

[17] 前記ミラー支持部は、前記受部に差し込まれて取り付けられ、前記電力端子は、前記ミラー支持部のうち、前記受部に対する差込方向における先端部に設けられる請求の範囲第 16項に記載の光スキャナ。

[18] さらに、前記第 1ミラー部および前記第 2ミラー部に対向する光透過性のカバー部を含む請求の範囲第 15項に記載の光スキャナ。

[19] さらに、前記受部を含む請求の範囲第 15項に記載の光スキャナ。

[20] 前記受部は、前記ミラー支持部が前記受部に差し込まれる差込溝を有し、前記ミラ一支持部は、その差込溝に差し込まれて前記受部に支持される請求の範囲第 19項に記載の光スキャナ。

[21] 前記第 1走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 1ミラー部を揺動させる第 1駆動源を含み、前記第 2走査部は、さらに、圧電素子によって前記第 2ミラー部を揺動させる第 2駆動源を含み、前記受部は、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための第 1電力端子を有し、前記ミラー支持部は、それら第 1駆動源および第 2駆動源に電力を供給するための第 2電力端子を有し、それら第 1電力端子と第 2 電力端子とは、前記ミラー支持部が前記受部に支持された状態において電気的に互いに接触する請求の範囲第 19項に記載の光スキャナ。

[22] 前記差込溝は、前記ミラー支持部のうち、そのミラー支持部が前記受部に差し込まれる差込方向に直交する方向にぉ、て互いに対向する一対の側部にそれぞれ係合する一対の差込溝として前記受部に設けられている請求の範囲第 20項に記載の光スキャナ。

[23] 前記受部は、前記ミラー支持部が前記受部に支持された状態において前記ミラー支持部を位置決めする位置決め部を有する請求の範囲第 19項に記載の光スキャナ

[24] 光束の走査によって画像を形成する画像形成装置であって、

前記光束を出射する光源と、

請求の範囲第 1項に記載の光スキャナであって、前記光源から出射した光束を 2次元的に走査して前記画像を形成するものと

を含む画像形成装置。

[25] 前記光スキャナから出射した光束は、リレー光学系を経由することなぐ前記画像が形成される画像形成面に入射する請求の範囲第 24項に記載の画像形成装置。

[26] 前記光スキャナから出射した光束は、眼の網膜に入射し、それにより、前記画像がその網膜上に投影される請求の範囲第 24項に記載の画像形成装置。