JPH09230248A - 小型走査共焦点顕微鏡 - Google Patents

小型走査共焦点顕微鏡

Info

Publication number
JPH09230248A
JPH09230248A JP8294997A JP29499796A JPH09230248A JP H09230248 A JPH09230248 A JP H09230248A JP 8294997 A JP8294997 A JP 8294997A JP 29499796 A JP29499796 A JP 29499796A JP H09230248 A JPH09230248 A JP H09230248A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mirror
scanning
light
lens
optical fiber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP8294997A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3032720B2 (ja
Inventor
L Dickensheetz David
エル ディッケンシーツ ディヴィッド
S Quino Gordon
エス キノ ゴードン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leland Stanford Junior University
Original Assignee
Leland Stanford Junior University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leland Stanford Junior University filed Critical Leland Stanford Junior University
Publication of JPH09230248A publication Critical patent/JPH09230248A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3032720B2 publication Critical patent/JP3032720B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0036—Scanning details, e.g. scanning stages
    • G02B21/0048—Scanning details, e.g. scanning stages scanning mirrors, e.g. rotating or galvanomirrors, MEMS mirrors
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0028—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders specially adapted for specific applications, e.g. for endoscopes, ophthalmoscopes, attachments to conventional microscopes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002—Scanning microscopes
    • G02B21/0024—Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052—Optical details of the image generation
    • G02B21/006—Optical details of the image generation focusing arrangements; selection of the plane to be imaged
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B2006/12083—Constructional arrangements
    • G02B2006/12104—Mirror; Reflectors or the like
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/241—Light guide terminations
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/351—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements
    • G02B6/3512—Optical coupling means having switching means involving stationary waveguides with moving interposed optical elements the optical element being reflective, e.g. mirror
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3568—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details characterised by the actuating force
    • G02B6/357—Electrostatic force
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/35—Optical coupling means having switching means
    • G02B6/3564—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details
    • G02B6/3584—Mechanical details of the actuation mechanism associated with the moving element or mounting mechanism details constructional details of an associated actuator having a MEMS construction, i.e. constructed using semiconductor technology such as etching

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 マイクロ機械加工されて静電気的に作動する
走査鏡とマイクロ機械加工されたバイナリレンズを使用
した小型走査光学顕微鏡を提供すること。 【解決手段】 点光源として機能し且つ反射光を集光す
る光ファイバを含む走査光学顕微鏡が、開示されてい
る。視野を走査するために光を走査させる走査機構と共
に、光ファイバからの光を像平面上で合焦させて像平面
から反射した光を集め、それを光ファイバ内に合焦させ
るレンズもまた、開示されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本出願は、１９９５年１１月
７日に出願された仮出願第６０／００６３０３号の優先
権を主張するものである。本発明は、一般には小型共焦
点顕微鏡に関し、特にマイクロ機械加工鏡を用いた走査
共焦点顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】生物
学、医学及び半導体処理工程でごく普通に用いられる標
準的な光学顕微鏡は、大型である。一般的には、組織標
本は、顕微鏡スライド上に取り付けられた後に、生体外
で観察される。このような顕微鏡は、大型すぎるので、
皮膚や人体の内部器官の生体内観察には適さない。従っ
て、皮膚の黒腫の観察、歯及び歯肉の観察、動脈、静脈
及び人体器官内の細胞の内視鏡検査に使用することがで
きる小型顕微鏡が望まれている。最終的に、かかる顕微
鏡を皮下注射針内に取り付けることができるならば、生
体内生検を行うために、或いは、静脈、動脈、人体の他
の血管内の血流やプラズマ、涙管内の流体、及び小血管
内の全体的な状態等の、人体の顕微鏡的特徴を観察する
ために、好適であろう。小型顕微鏡の生物学的用途につ
いて説明がなされているが、本発明の小型顕微鏡を、小
管を通過させる内視鏡観察や半導体その他の材料の処理
工程時における現局位置での観察に使用することができ
る。
【０００３】現在の趨勢は、カテーテル内に取り付けた
小型器具で臨床処置を行うこと、光ファイバ装置で血管
内の内部観察を行うこと、並びにレーザ及び光ファイバ
技術を用いて手術を行うことである。このような処置を
用いることにより、旧来の外科的方法を用いた場合よ
り、人体に対する損傷が遙かに減少する。内視鏡で現在
得られる最良の解像度は１０乃至２０μｍ程度であるの
で、顕微鏡レベルでの処置観察は、有益であろう。他の
例としては、生検の実施が極端な痛みを伴う子宮内の癌
細胞の観察である。この目的の体内撮像技術は、組織を
そのまま残し、現在の医療慣習を相当改善するものとな
っている。従来、幾つかの光ファイバ顕微鏡が提案され
てきたが、それらはいずれも大き過ぎたり緩慢過ぎたり
で、フレーム時間は、数秒程度であり、解像度は極めて
劣っていた1-6 。従って、これらの顕微鏡は、顕微鏡レ
ベルでの体内実時間撮像には適していなかった。
【０００４】本発明者らは、近年の論文で振動ファイバ
顕微鏡について報告した。約０．８ｍｍ平方の振動ガラ
ス棒の端部に、フォトリソグラフィック手段で製作した
フレネルレンズを取り付けた。棒の他方の端部に接着し
た光ファイバからレンズを照射し、レンズから約１ｍｍ
の距離に直径１．８μｍ程度のスポットを形成した。観
察対象から反射された光は、ファイバとレンズを通過し
て検出器に達する。検出器からの信号は、適当な処理を
行った後に、画像変換器を介してビデオ画像として表示
された。断面矩形の棒は、該棒と外側管との間に印加さ
れた静電界により、ｘ及びｙ方向に僅かに異なる機械的
共振周波数で、振動させた。従って、レンズからの合焦
スポットは、ラスタパターン（リサージュ模様）を形成
した。振動周波数は、８ｋＨｚ程度であり、単一フレー
ムの画像の形成には、約１／２０秒かかった。解像度
は、約２μｍであった。この顕微鏡は、固定された大構
造で振動棒を支持しなければならず、支持構造が大型化
して体内での使用に適さない、という欠点を有してい
た。
【０００５】本発明の目的は、マイクロ機械加工小型走
査光学顕微鏡を提供することである。本発明の別の目的
は、マイクロ機械加工されて静電気的に作動する走査鏡
を使用した小型走査光学顕微鏡を提供することである。
本発明の更に別の目的は、マイクロ機械加工されて静電
気的に作動する走査鏡とマイクロ機械加工されたバイナ
リレンズを使用した小型走査光学顕微鏡を提供すること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、単一モ
ード光ファイバ光源／検出器と合焦対物レンズとの間に
配設されて静電気的に作動する走査鏡を含む、走査光学
顕微鏡が提供される。本発明の上記及びその他の目的
は、添付図面に基づいて読まれる以下の説明から、より
完全に理解されよう。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明による小型走査共焦点顕微
鏡は、図１の斜視図、図２の分解図、及び図３乃至図５
の断面図に示されている。顕微鏡は、シリコン基板１
１、接着シリコン板１２、単一モード光ファイバ１３、
シリコンスペーサ１４、シリコンスペーサ１４に接着さ
れた石英ガラスレンズプレート１６を含む。接着シリコ
ン板１２は、単一モード光ファイバ１３と石英ガラスレ
ンズ板１６内に形成された小型対物レンズ１９との間に
配設される一対のマイクロ機械加工走査鏡１７、１８を
含む。シリコンスペーサ１４は、＜１１１＞面２２を有
する開口部２１を形成するようにエッチングされた＜１
００＞シリコンから成る。図３を参照すると、ファイバ
１３からの光ビーム２３は、先ず、エッチング＜１１１
＞面２２から第一の走査鏡１７上に反射され、次に、レ
ンズ板１６上の金属化鏡２４から第二の走査鏡１８上に
反射されて戻る。次いで、光ビームは、第二の走査鏡１
８から反射して、石英ガラスレンズ板１６内にエッチン
グされたオフアクシス・ゾーンプレート対物レンズ１９
を通過する。該レンズは、ファイバからの出力を標本面
上の点２６に像形成する。鏡が回転すると、この点は視
野全体に亘り走査される。標本から反射して戻った光
は、レンズ１９により再び像形成され、同じ経路に沿っ
てファイバに戻り、検出されて像形成するように処理さ
れる。ファイバは小さなピンホールのように振る舞うの
で、装置は、共焦点顕微鏡であり、共焦点走査光学顕微
鏡から期待される有効範囲と横方向解像度を有する。
【０００８】鏡走査器は、シリコンマイクロ機械加工技
術を用いて製造される。走査器及び空間光変調器に使用
されるマイクロ機械加工捩じれ鏡は、非常に多くの著者
8-14により報告がなされている。二枚の鏡の回転軸線
は、一方の鏡がｘ方向の光ビームを走査し、他方の鏡が
ｙ方向の光ビームを走査するように、直交している。や
がて説明されるように、鏡１７、１８は、静電気的に回
転駆動される。シリコン基板１１は、鏡１７、１８の下
側に離間した凹部２８、２９を形成すべくマスキングを
してエッチングされ、鏡１７、１８が回転し得るように
している。基板をマスキングし、導電領域を形成するよ
うに不純物が注入される。より詳細に言えば、凹部２８
の底部に二つの導電領域３１、３２が形成され、凹部２
９の底部に二つの導電領域３３、３４が形成される。こ
れらの領域は、イオン注入リード線４１、４２、及び４
３、４４を介して、イオン注入接触領域３６、３７、及
び３８、３９に接続される。表面には、接着熱酸化物層
４６が形成される。凹部２８、２９内の酸化物上には、
窒化シリコンキャップが形成され、後続の金属化工程時
の絶縁体を構成している。
【０００９】シリコン板１２は、板上の酸化物層及び基
板酸化物４６を介して、基板１１に接着される。板１２
上には、窒化シリコン層４７が形成されており、また、
適当なマスキング及びエッチングにより窓５１、５２及
び５３、５４が形成され、接触領域３６、３７及び３
８、３９を露出させている。鏡１７、１８は、窒化シリ
コン細片５７をヒンジとして残して、スロット５６をエ
ッチングすることにより画定される。エッチングにより
ヒンジの下側からシリコンを除去する一方、鏡面の下側
のシリコンは残して、硬質の鏡を構成する。鏡を画定し
た後、シリコン板１２の上に導電層を堆積し、鏡の表面
上に、反射面と、導電領域３１、３２及び３３、３４と
共働して鏡をヒンジの周りに回転させる静電力を付与す
るキャパシタの一方の板を構成する。鏡の作動は、鏡の
表面上の導電薄膜と個々の注入領域３１、３２及び３
３、３４との間に電圧を印加することにより、達成され
る。導電薄膜は、また、注入接触領域３６、３７、及び
３８、３９も覆っている。シリコン板１２の上側表面の
薄膜は、接触領域の薄膜とは接触しない。
【００１０】図６のオフアクシス・ゾーンプレート対物
レンズは、電子ビームリソグラフィックパターン転写及
び異方性リアクティブイオンエッチングを用いて、製造
される。レンズに対する光ビームの入射角及び射出角
は、特に、レンズから放出されたビームが二次収差を生
じることなく視野の全体に亘り十分に合焦するように、
設計される。レンズ格子の局部構造は、オンアクシス像
形成用に設計された同様のレンズに対するレンズ効率を
増加させるべく、それ自体最適化されている。顕微鏡に
より形成される像の質は、レンズの構造により左右され
る。伝統的な顕微鏡対物レンズは、像の収差を最小にす
るように組み合わされた多くのガラス要素から構成され
ている。本発明の場合、極めて単純な単一要素の対物レ
ンズの使用からくる利益がある。単一光波長のレーザ光
源を用いているため、より一般的な屈折型でなく回折型
レンズを用いることができる。回折型レンズが関連設計
パラメータの厳格な制御の下でリソグラフ的に製造し得
るので、これは、製造上の観点から著しい利点である。
しかしながら、単一の回折型レンズ要素で顕微鏡を実現
しようとした場合、収差の無い像形成は期待し得ないも
のとされている。
【００１１】軸方向に対称な格子レンズの収差は、良く
知られている。この用途では、高解像度、従って、対物
レンズ内の高開口数が望まれる。レンズ絞りを有する軸
方向対称格子レンズ内の開口数を制限する主収差（所謂
三次収差）は、非対称収差である。ジグザグの光路を顕
微鏡に使用した場合、軸方向には対称ではないがレンズ
法線から一定角度で入射する光ビームから像を形成する
ように設計されたレンズが必要となる。一般に、このよ
うなオフアクシスレンズは、線形非点収差と呼ばれる一
層重大な二次収差を受ける。しかしながら、対象ビーム
及び像ビームの入射角が適正に選定されるならば、二次
非点収差は消失し、像形成は、再び三次非対象収差の影
響を受ける、ことが見出された。角度の制約は、図７で
定義したα1、α2 、γ1 及びγ2 を用いて、以下の式
で表される。
【００１２】 sin （α1 ）／γ1 ＝ sin （α2 ）／γ2 このレンズの位相関数は、視野の中心点Ｐ1 及びＰ2 が
互いの完全な像となるものである。レンズ平面の法線に
対して入射及び射出ビームが形成する角度に対するこの
制約に基づいて顕微鏡が構成されている場合、オフアク
シスレンズの像形成収差は、より一般的な軸方向に対称
なレンズの収差と全く同様である。この関係から著しく
逸脱すると、計器の性能は極端に悪くなり、従って、上
述した構造的関係は、顕微鏡の動作に極めて重要であ
る。他方、オフアクシス像形成に有利な状況が存在する
場合、全体寸法を極めて小さく且つ構造を単純に維持し
つつ、ジグザグ光路を有する顕微鏡を実現することが可
能となる。
【００１３】図から、物体平面及び像平面が光ビームの
走行方向に対して垂直である、ことに最終的に留意され
たい。反射顕微鏡の場合、レンズが標本から反射された
光を集光しなければならないので、このことは重要であ
る。標本平面が入射ビームに対して傾斜している場合、
反射光は、その経路を再び辿ってレンズに戻ることがで
きない。図８には、単一モード光ファイバ照射／検出系
が示されている。波長６３２．８ナノメートルの３ｍｗ
ヘリウム−ネオンレーザ等の光源６１は、単一モード光
ファイバ６２の一方の端部に光を供給する。該ファイバ
は、点光源及び顕微鏡の共焦点動作の検出器として機能
するファイバ１３に光を伝送する可撓性導管として使用
される。単一レンズは、ファイバからの光を標本上で合
焦させ、後方散乱光を集光する。方向性結合器６３は、
標本からの反射光を光検出器６４上に誘導して出力信号
６６を得る。
【００１４】走査検出器の電子インタフェースは、原理
的には単純である。図９及び図１０を参照すると、各走
査鏡は、回転軸線の両側に一つづつ、対称的に配設され
た二つの電極３１、３２及び３３、３４により駆動され
る。電極と鏡平面との間に電圧を印加すると、電圧の大
きさの二乗に比例する吸引静電力が生じる。鏡を一方向
又は他方向に傾斜させると、一方の電極に電圧が同時に
印加され、鏡を当該電極の方に偏向させる。振動動作の
場合、電圧を常に正に維持するのに十分な直流バイアス
を有する正弦波駆動電圧６７が電極に印加される。反対
側の電極には、逆の位相を有する電圧６８が印加される
ので、一方の側が最大電圧となると、他方の側はゼロ電
圧となって、鏡に正味捩じり力が加わる。駆動信号の周
波数は、鏡をその自然共振又はオフ共振状態で振動させ
るように、調節してもよい。共振付近では、鏡の動作
は、駆動電圧波形に対して移相される。標本から反射さ
れた検出光から画像を形成するために、鏡の正確な位置
を知ることが必要である。この目的で、走査変換器６９
が用いられる。該走査変換器は、駆動信号とファイバか
らの検出光信号とを入力し、モニタ７１上での表示或い
はコンピュータ７２上での捕獲に適したラスタ走査画像
を出力する。
【００１５】制御方式としては、二種類が可能である。
最も簡単なものは、図９に示すオープンループ制御であ
る。ここでは、鏡の位置を予測するためには駆動電圧だ
けを監視すればよいという程度まで十分に鏡に対する運
動応答が既知である、と仮定されている。次に、走査変
換器は、ビームの計算された位置に対する検出光信号の
強度を写像する。他方の方式は、図１０のクローズドル
ープ制御である。ここでは、鏡の位置は、独立に監視さ
れ、この情報は、鏡の動作を駆動電圧波形に応じて係止
しようとするフィードバック方式において使用される。
鏡の位置を監視する最も簡単な方法の一つは、鏡板と駆
動電極との間の静電容量を測定することである。この静
電容量は、鏡の角位置と共に変動するので、静電容量の
変動を監視することにより、鏡の位置の直接測定値が得
られる。閉ループ制御の場合、制御ループは、鏡の動作
を駆動電圧に正確に従わせることができるので、走査変
換器は、ｘ及びｙ駆動信号を使用して、鏡の運動につい
ての特定の知識を要することなく、ビームの適正位置に
対する強度を直接写像することができる。
【００１６】顕微鏡は、長さ６ｍｍ、幅２．５ｍｍ、高
さ１ｍｍとして構成された。走査鏡１７は、３００μｍ
×３６０μｍ、走査鏡１８は、５００μｍ×６００μｍ
であった。単一モード光ファイバ１３は、直径１２５μ
ｍであった。顕微鏡は、ラスタ走査像とリサージュ走査
像が得られるように作動させた。第一の例では、顕微鏡
は、４μｍの中心上の幅２μｍのクロム線、及び５μｍ
の線を備えたガラス基板を走査するために使用された。
鏡１７は、約２０Ｖのピーク間正弦波電圧を用いて、
２．７１ｋＨｚの周波数で走査された。鏡１８は、約２
５Ｖのピーク間正弦波電圧を用いて、５Ｈｚの周波数で
駆動された。視野は、３０×２４μｍであった。その結
果生じたラスタ走査像は、図１１に示されており、これ
は、５Ｈｚのフレーム速度で２７１線／フレームを有す
る。２μｍ線は符号７６で示されており、５μｍ線は符
号７７で示されている。
【００１７】第二の例では、顕微鏡は、４μｍの中心上
の幅２μｍのクロム線、及び１０μｍの中心上の５μｍ
線を有するガラス基板を走査するために、使用された。
鏡１７は、約３０Ｖのピーク間正弦波電圧により、４．
３ｋＨｚの周波数で走査された。鏡１８は、約２５Ｖの
ピーク間正弦波電圧により、１．０７ｋＨｚの周波数で
駆動された。視野は、約８０μｍ×６０μｍであった。
その結果生じたリサージュ走査像を、図１２に示す。フ
レーム速度は、２６８線／フレームで８Ｈｚであった。
２μｍ及び５μｍ線は、それぞれ、符号７８及び７９で
示す。もう一つの例では、顕微鏡は、Ｕ字形トレンチを
有する食刻シリコンテスト構造を走査するために、使用
された。鏡１７は、３０Ｖのピーク間正弦波電圧により
４．３ｋＨｚの周波数で走査され、８０μｍ×６０μｍ
の視野が付与された。図１３には、その結果生じたリサ
ージュ走査像が示されている。トレンチは、符号８１で
示す。フレーム速度は、２６８線／フレームで８Ｈｚで
あった。
【００１８】第四の例では、顕微鏡は、ガラススライド
上の赤血球を走査するために使用された。鏡１７は、３
０Ｖのピーク間正弦波駆動電圧により１．０７ｋＨｚの
周波数で走査された。鏡１８は、１５Ｖのピーク間正弦
波駆動電圧により１．０７ｋＨｚの周波数で駆動され
た。視野は、４０μｍ×６０μｍであった。その結果得
られたリサージュ走査像を図１４に示す。赤血球は、符
号８２で示されている。フレーム速度は、２６８線／フ
レームで８Ｈｚであった。以上、本発明の特定の実施形
態を説明してきたが、本発明から逸脱することなく変形
を行うことが可能である。例えば、鏡を単一支柱上に片
持ち支持又は支持してもよい。オフアクシス格子レンズ
を反射型レンズとすることもできる。マイクロ機械加工
顕微鏡は、一層小型化して、皮下注射針内に取り付け可
能な走査顕微鏡を構成することができる。かくして、マ
イクロ機械加工走査鏡及び部品を利用した小型走査共焦
点顕微鏡が提供された。
【００１９】〔参考文献〕 １．Ｌ．ジニウナス、Ｒ．ジャスカイティス及びＳ．
Ｊ．シャターリン共著「走査光ファイバ顕微鏡」電子通
信、第２７巻、７２４−７２６頁（１９９１年） ２．Ｔ．ダブス及びＭ．グラス共著「光ファイバ共焦点
顕微鏡−ＦＯＣＯＮ」、応用光学、第３１巻、３０３０
−３０３５頁（１９９３年） ３．Ｌ．ジニウナス、Ｒ．ジャスカイティス及びＳ．
Ｊ．シャターリン共著「光切開機能を有する内視鏡」、
応用光学、第３２巻、２８８８−２８９０頁（１９９３
年） ４．Ｒ．ジャスカイティス及びＴ．ウイルソン共著「直
視型光ファイバ共焦点顕微鏡」、光通信、第１９巻、１
９０６−１９０８（１９９４年） ５．Ｐ．Ｍ．デラニ、Ｍ．Ｒ．ハリス及びＲ．Ｇ．キン
グ「蛍光撮像に適した光ファイバレーザ走査共焦点顕微
鏡」応用光学、第３３巻、５７３−５７７頁（１９９４
年） ６．Ａ．Ｆ．グルニトロ及びＤ．アジス共著「光ファイ
バ撮像束を用いた共焦点顕微鏡」光学通信、第１８巻
（１９９３年） ７．Ｄ．ディケンシート及びＧ．Ｓ．キノ共著「走査光
ファイバ共焦点顕微鏡」ＳＰＩＥ紀要、２１８４号、３
９−４７頁（１９９４年） ８．Ｋ．Ｅ．ペターソン著「シリコン捩じり走査鏡」、
ＩＢＭ研究部紀要、第２４巻、６３１−６３７号（１９
８０年） ９．Ｍ．Ｇ．アレン、Ｍ．シーデル及びＲ．Ｌ．スミス
共著「一体位置検知機能を有する可動マイクロ機械加工
シリコン板」センサとアクチュエータ、Ａ２１−Ａ２３
巻、２１１−２１４頁（１９９０年） １０．Ｖ．Ｐ．ジャクリン、Ｃ．リンダ、Ｎ．Ｆ．デル
ーイ、Ｊ．Ｍ．モレ、Ｒ．ビュレミーエ共著「光変調器
アレイ用行アドレス指定可能捩じれ顕微鏡」センサとア
クチュエータ、第４１−４２巻、３２４−３２９頁（１
９９０年） １１．Ｍ．フィッシャ、Ｈ．グラフ、Ｗ．フォン・マン
チ共著「静電気的に偏向可能なポリシリコン捩じれ
鏡」、センサとアクチュエータ、Ａ４４、８３−８９
（１９９４年） １２．Ｋ．Ｅ．マトソン著「表面マイクロ機械加工走査
鏡」、超小型電子工学技術、第１９巻、１９９−２０４
頁（１９９２年） １３．Ｌ．Ｊ．ホーンベック著「空間光変調及び方
法」、米国特許第５０６１０４９号公報、１９９１年１
０月２９日出願 １４．Ｌ．Ｊ．ホーンベック著「空間光変調器」米国特
許第４９５６６１９号、１９９０年、９月１１日
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による小型共焦点走査顕微鏡の斜視図。
【図２】図１の顕微鏡の各部を示す分解組立図。
【図３】図１の線３−３に沿った断面図。
【図４】図１の線４−４に沿った断面図。
【図５】図１の線５−５に沿った断面図。
【図６】図１及び図２に概略が示されたゾーンプレート
線を示した図。
【図７】オフアクシスゾーンプレートレンズの構造に採
用された角度を示した図。
【図８】光ファイバ照射／検出構造を示した図。
【図９】走査鏡及び信号処理回路に関連したオープンル
ープ電子駆動回路を示した図。
【図１０】走査鏡及び信号処理回路に関連したクローズ
ドループ電子駆動回路を示した図。
【図１１】本発明による顕微鏡を用いて撮られたガラス
基板上のクロム線の像を示した図。
【図１２】本発明による顕微鏡を用いて撮られたガラス
基板上のクロム線のもう一つの像を示した図。
【図１３】本発明による顕微鏡を用いて撮られたシリコ
ンテスト構造の像を示した図。
【図１４】本発明による顕微鏡を用いて撮られた赤血球
の像を示した図。
【符号の説明】
１１…シリコン基板 １２…接着シリコン板 １３…単一モード光ファイバ １４…シリコンスペーサ １６…石英ガラスレンズプレート １７、１８…マイクロ機械加工走査鏡 １９…対物レンズ ２３…光ビーム ２８、２９…凹部 ３１、３２、３３、３４…導電領域 ３６、３７、３８、３９…イオン注入領域 ４１、４２、４３、４４…リード線 ５６…スロット ５７…窒化シリコン細片
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ゴードン エス キノ アメリカ合衆国 カリフォルニア州 94305 スタンフォード シードロ ウェ イ 867

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 点光源として機能する一方の端部を有す
    る単一モード光ファイバと、該ファイバの前記一方の端
    部からの光を焦点面上の点上に合焦させると共に該点か
    ら反射される光を集光して光ファイバの端部上に前記光
    を合焦させるレンズと、を含む型の走査光学顕微鏡であ
    って、 ファイバからの光を受光して第一の方向に沿って光を走
    査させる第一のマイクロ機械加工走査鏡と、 第一の鏡からの光を受光して該光を直交方向に走査さ
    せ、それにより、前記第一及び第二の方向に焦点面上の
    点を走査する第二のマイクロ機械加工走査鏡と、を含
    む、 ことを特徴とする走査光学顕微鏡。
  2. 【請求項２】 鏡が共面である、 ことを特徴とする請求項１に記載の走査光学顕微鏡。
  3. 【請求項３】 光ファイバからの光を受光してそれを第
    一の鏡上に案内する傾斜反射鏡と、前記第一の鏡からの
    光を受光してそれを第二の鏡上に反射させ、該第二の鏡
    から光が合焦レンズに案内されるように配設された反射
    鏡と、を含む、 ことを特徴とする請求項１に記載の走査光学顕微鏡。
  4. 【請求項４】 走査光学顕微鏡であって、 第一及び第二の凹部を含むシリコン基板と、 前記第一の凹部内に設けられる第一の対のイオン注入導
    電領域と、 前記第二の凹部内に設けられる第二の対のイオン注入導
    電領域と、 第一の軸線を中心に回転するように前記第一の凹部上に
    ヒンジを介して支持された第一のマイクロ機械加工走査
    鏡と、 第二の直交軸を中心に回転するように前記第二の凹部上
    にヒンジを介して支持された第二のマイクロ機械加工走
    査鏡と、 互いに静電気的に駆動されることにより前記鏡を回転さ
    せる離間したプレートを前記凹部内の導電領域と共に形
    成すべく前記第一及び第二の走査鏡の表面上に支持され
    た導電反射薄膜と、 点光源として機能する光ファイバであって、前記第一の
    走査鏡が該光ファイバからの光を第一の方向に走査させ
    る一方、前記第二の走査鏡が光を直交方向に走査させ
    る、光ファイバと、 前記鏡により走査された光を受光してそれを像平面上の
    走査点で合焦させ、更に該平面から反射された光を受光
    してそれを光ファイバに戻すように案内するレンズと、 を備えた、 ことを特徴とする走査光学顕微鏡。
  5. 【請求項５】 光ファイバからの光を受光してそれを第
    一の鏡上に案内する傾斜反射鏡と、前記第一の鏡からの
    光を受光してそれを第二の鏡上に反射させ、該第二の鏡
    から光が合焦レンズに案内されるように配設された反射
    鏡と、を含む、 ことを特徴とする請求項４に記載の走査光学顕微鏡。
  6. 【請求項６】 前記レンズが、オフアクシスバイナリレ
    ンズである、 ことを特徴とする請求項４に記載の走査光学顕微鏡。
  7. 【請求項７】 点光源として機能する一方の端部を有す
    る単一モード光ファイバと、該ファイバの前記一方の端
    部からの光を焦点面上の点上に合焦させると共に該点か
    ら反射される光を集光して光ファイバの端部上に前記光
    を合焦させるレンズと、を含む型の走査光顕微鏡であっ
    て、 離間した窒化シリコンヒンジを介して回転するように支
    持され、第一の方向に沿って光を走査させる第一のマイ
    クロ機械加工走査鏡と、 離間した窒化シリコンヒンジを介して回転するように支
    持され、第一の鏡からの光を受光して該光を直交方向に
    走査させ、それにより、前記第一及び第二の方向に焦点
    面上の点を走査する、 ことを特徴とする走査光学顕微鏡。
  8. 【請求項８】 前記鏡が、共面である、 ことを特徴とする請求項７に記載の走査光学顕微鏡。
  9. 【請求項９】 光ファイバからの光を受光してそれを第
    一の鏡上に案内する傾斜反射鏡と、前記第一の鏡からの
    光を受光してそれを第二の鏡上に反射させ、該第二の鏡
    から光が合焦レンズに案内されるように配設された反射
    鏡と、を含む、 ことを特徴とする請求項７に記載の走査光学顕微鏡。
  10. 【請求項１０】 前記レンズが、オフアクシスバイナリ
    レンズである、 ことを特徴とする請求項７に記載の走査光学顕微鏡。
  11. 【請求項１１】 走査光顕微鏡であって、 第一及び第二の凹部を含むシリコン基板と、 前記第一の凹部内に設けられる第一の対のイオン注入導
    電領域と、 前記第二の凹部内に設けられる第二の対のイオン注入導
    電領域と、 離間した窒化シリコンヒンジを介して第一の軸線を中心
    に回転するように前記第一の凹部上に支持された第一の
    マイクロ機械加工走査鏡と、 離間した窒化シリコンヒンジを介して第二の直交軸を中
    心に回転するように前記第二の凹部上に支持された第二
    のマイクロ機械加工走査鏡と、 互いに静電気的に駆動されることにより前記鏡を回転さ
    せる離間したプレートを前記凹部内の導電領域と共に形
    成すべく前記第一及び第二の走査鏡の表面上に支持され
    た導電反射薄膜と、 点光源として機能する光ファイバであって、前記第一の
    走査鏡が該光ファイバからの光を第一の方向に走査させ
    る一方、前記第二の走査鏡が光を直交方向に走査させ
    る、光ファイバと、 前記鏡により走査された光を受光してそれを像平面上の
    走査点で合焦させ、更に該平面から反射された光を受光
    してそれを光ファイバに戻すように案内する合焦レンズ
    と、 を備えた、 ことを特徴とする走査光学顕微鏡。
  12. 【請求項１２】 光ファイバからの光を受光してそれを
    第一の鏡上に案内する傾斜反射鏡と、前記第一の鏡から
    の光を受光してそれを第二の鏡上に反射させ、該第二の
    鏡から光が合焦レンズに案内されるように配設された反
    射鏡と、を含む、 ことを特徴とする請求項１１に記載の走査光学顕微鏡。
  13. 【請求項１３】 前記レンズが、オフアクシスバイナリ
    レンズである、 ことを特徴とする請求項１１に記載の走査光学顕微鏡。
JP8294997A 1995-11-07 1996-11-07 小型走査共焦点顕微鏡 Expired - Fee Related JP3032720B2 (ja)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US630395P 1995-11-07 1995-11-07
US08/575,687 US5742419A (en) 1995-11-07 1995-12-19 Miniature scanning confocal microscope
US08/575687 1995-12-19
US60/006303 1995-12-19

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25852199A Division JP3330906B2 (ja) 1995-11-07 1999-09-13 小型走査共焦点顕微鏡

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH09230248A true JPH09230248A (ja) 1997-09-05
JP3032720B2 JP3032720B2 (ja) 2000-04-17

Family

ID=26675452

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8294997A Expired - Fee Related JP3032720B2 (ja) 1995-11-07 1996-11-07 小型走査共焦点顕微鏡
JP25852199A Expired - Lifetime JP3330906B2 (ja) 1995-11-07 1999-09-13 小型走査共焦点顕微鏡

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25852199A Expired - Lifetime JP3330906B2 (ja) 1995-11-07 1999-09-13 小型走査共焦点顕微鏡

Country Status (2)

Country Link
US (1) US5742419A (ja)
JP (2) JP3032720B2 (ja)

Cited By (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6327493B1 (en) 1997-08-28 2001-12-04 Olympus Optical Co., Ltd. Light scanning devices of a water-tight structure to be inserted into a body cavity to obtain optical information on inside of a biological tissue
US6433910B2 (en) 2000-04-28 2002-08-13 Olympus Optical Co., Ltd. Confocal optical system
US6483626B2 (en) 1999-03-05 2002-11-19 Olympus Optical Co., Ltd. Direct-view-type confocal point optical system
WO2005052671A1 (ja) * 2003-11-27 2005-06-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置
US7129473B2 (en) 2003-05-16 2006-10-31 Olympus Corporation Optical image pickup apparatus for imaging living body tissue
JP2007503623A (ja) * 2003-03-03 2007-02-22 モンタナ ステート ユニバーシティー−ボーズマン 小型共焦点光学装置、システムおよび方法
US7338439B2 (en) 2003-09-05 2008-03-04 Pentax Corporation Condensing optical system, confocal optical system, and scanning confocal endoscope
JP2010107519A (ja) * 2001-11-29 2010-05-13 General Hospital Corp 多重スペクトルコード化を用いる共焦点顕微鏡法並びに分光法コード化共焦点顕微鏡法のためのシステム及び装置
EP2267507A3 (en) * 1998-02-26 2011-08-17 The General Hospital Corporation Confocal microscopy with multi-spectral encoding
JP2013517846A (ja) * 2010-01-25 2013-05-20 アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド シリコン製の光学ベンチを備えた、医用画像用のｏｃｔプローブ
US8838213B2 (en) 2006-10-19 2014-09-16 The General Hospital Corporation Apparatus and method for obtaining and providing imaging information associated with at least one portion of a sample, and effecting such portion(s)
US8896838B2 (en) 2010-03-05 2014-11-25 The General Hospital Corporation Systems, methods and computer-accessible medium which provide microscopic images of at least one anatomical structure at a particular resolution
US8922781B2 (en) 2004-11-29 2014-12-30 The General Hospital Corporation Arrangements, devices, endoscopes, catheters and methods for performing optical imaging by simultaneously illuminating and detecting multiple points on a sample
US8928889B2 (en) 2005-09-29 2015-01-06 The General Hospital Corporation Arrangements and methods for providing multimodality microscopic imaging of one or more biological structures
US8937724B2 (en) 2008-12-10 2015-01-20 The General Hospital Corporation Systems and methods for extending imaging depth range of optical coherence tomography through optical sub-sampling
US8965487B2 (en) 2004-08-24 2015-02-24 The General Hospital Corporation Process, system and software arrangement for measuring a mechanical strain and elastic properties of a sample
US9060689B2 (en) 2005-06-01 2015-06-23 The General Hospital Corporation Apparatus, method and system for performing phase-resolved optical frequency domain imaging
US9069130B2 (en) 2010-05-03 2015-06-30 The General Hospital Corporation Apparatus, method and system for generating optical radiation from biological gain media
US9087368B2 (en) 2006-01-19 2015-07-21 The General Hospital Corporation Methods and systems for optical imaging or epithelial luminal organs by beam scanning thereof
US9178330B2 (en) 2009-02-04 2015-11-03 The General Hospital Corporation Apparatus and method for utilization of a high-speed optical wavelength tuning source
US9176319B2 (en) 2007-03-23 2015-11-03 The General Hospital Corporation Methods, arrangements and apparatus for utilizing a wavelength-swept laser using angular scanning and dispersion procedures
US9186067B2 (en) 2006-02-01 2015-11-17 The General Hospital Corporation Apparatus for applying a plurality of electro-magnetic radiations to a sample
US9226665B2 (en) 2003-01-24 2016-01-05 The General Hospital Corporation Speckle reduction in optical coherence tomography by path length encoded angular compounding
US9282931B2 (en) 2000-10-30 2016-03-15 The General Hospital Corporation Methods for tissue analysis
US9326682B2 (en) 2005-04-28 2016-05-03 The General Hospital Corporation Systems, processes and software arrangements for evaluating information associated with an anatomical structure by an optical coherence ranging technique
US9330092B2 (en) 2011-07-19 2016-05-03 The General Hospital Corporation Systems, methods, apparatus and computer-accessible-medium for providing polarization-mode dispersion compensation in optical coherence tomography
US9341783B2 (en) 2011-10-18 2016-05-17 The General Hospital Corporation Apparatus and methods for producing and/or providing recirculating optical delay(s)
US9364143B2 (en) 2006-05-10 2016-06-14 The General Hospital Corporation Process, arrangements and systems for providing frequency domain imaging of a sample
US9415550B2 (en) 2012-08-22 2016-08-16 The General Hospital Corporation System, method, and computer-accessible medium for fabrication miniature endoscope using soft lithography
US9441948B2 (en) 2005-08-09 2016-09-13 The General Hospital Corporation Apparatus, methods and storage medium for performing polarization-based quadrature demodulation in optical coherence tomography
US9510758B2 (en) 2010-10-27 2016-12-06 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for measuring blood pressure within at least one vessel
US9516997B2 (en) 2006-01-19 2016-12-13 The General Hospital Corporation Spectrally-encoded endoscopy techniques, apparatus and methods
US9557154B2 (en) 2010-05-25 2017-01-31 The General Hospital Corporation Systems, devices, methods, apparatus and computer-accessible media for providing optical imaging of structures and compositions
US9615748B2 (en) 2009-01-20 2017-04-11 The General Hospital Corporation Endoscopic biopsy apparatus, system and method
US9629528B2 (en) 2012-03-30 2017-04-25 The General Hospital Corporation Imaging system, method and distal attachment for multidirectional field of view endoscopy
USRE46412E1 (en) 2006-02-24 2017-05-23 The General Hospital Corporation Methods and systems for performing angle-resolved Fourier-domain optical coherence tomography
US9664615B2 (en) 2004-07-02 2017-05-30 The General Hospital Corporation Imaging system and related techniques
US9733460B2 (en) 2014-01-08 2017-08-15 The General Hospital Corporation Method and apparatus for microscopic imaging
US9763623B2 (en) 2004-08-24 2017-09-19 The General Hospital Corporation Method and apparatus for imaging of vessel segments
US9784681B2 (en) 2013-05-13 2017-10-10 The General Hospital Corporation System and method for efficient detection of the phase and amplitude of a periodic modulation associated with self-interfering fluorescence
US9795301B2 (en) 2010-05-25 2017-10-24 The General Hospital Corporation Apparatus, systems, methods and computer-accessible medium for spectral analysis of optical coherence tomography images
US9968261B2 (en) 2013-01-28 2018-05-15 The General Hospital Corporation Apparatus and method for providing diffuse spectroscopy co-registered with optical frequency domain imaging
US10058250B2 (en) 2013-07-26 2018-08-28 The General Hospital Corporation System, apparatus and method for utilizing optical dispersion for fourier-domain optical coherence tomography
US10117576B2 (en) 2013-07-19 2018-11-06 The General Hospital Corporation System, method and computer accessible medium for determining eye motion by imaging retina and providing feedback for acquisition of signals from the retina
US10228556B2 (en) 2014-04-04 2019-03-12 The General Hospital Corporation Apparatus and method for controlling propagation and/or transmission of electromagnetic radiation in flexible waveguide(s)
US10285568B2 (en) 2010-06-03 2019-05-14 The General Hospital Corporation Apparatus and method for devices for imaging structures in or at one or more luminal organs
US10426548B2 (en) 2006-02-01 2019-10-01 The General Hosppital Corporation Methods and systems for providing electromagnetic radiation to at least one portion of a sample using conformal laser therapy procedures
US10478072B2 (en) 2013-03-15 2019-11-19 The General Hospital Corporation Methods and system for characterizing an object
US10534129B2 (en) 2007-03-30 2020-01-14 The General Hospital Corporation System and method providing intracoronary laser speckle imaging for the detection of vulnerable plaque
US10736494B2 (en) 2014-01-31 2020-08-11 The General Hospital Corporation System and method for facilitating manual and/or automatic volumetric imaging with real-time tension or force feedback using a tethered imaging device
US10835110B2 (en) 2008-07-14 2020-11-17 The General Hospital Corporation Apparatus and method for facilitating at least partial overlap of dispersed ration on at least one sample
US10893806B2 (en) 2013-01-29 2021-01-19 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for providing information regarding the aortic valve
US10912462B2 (en) 2014-07-25 2021-02-09 The General Hospital Corporation Apparatus, devices and methods for in vivo imaging and diagnosis
US11179028B2 (en) 2013-02-01 2021-11-23 The General Hospital Corporation Objective lens arrangement for confocal endomicroscopy
US11452433B2 (en) 2013-07-19 2022-09-27 The General Hospital Corporation Imaging apparatus and method which utilizes multidirectional field of view endoscopy
US11490797B2 (en) 2012-05-21 2022-11-08 The General Hospital Corporation Apparatus, device and method for capsule microscopy
US11490826B2 (en) 2009-07-14 2022-11-08 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for measuring flow and pressure within a vessel

Families Citing this family (127)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6044056A (en) 1996-07-30 2000-03-28 Seagate Technology, Inc. Flying optical head with dynamic mirror
US6226233B1 (en) 1996-07-30 2001-05-01 Seagate Technology, Inc. Magneto-optical system utilizing MSR media
US6061323A (en) * 1996-07-30 2000-05-09 Seagate Technology, Inc. Data storage system having an improved surface micro-machined mirror
US6081499A (en) * 1997-05-05 2000-06-27 Seagate Technology, Inc. Magneto-optical data storage system having an optical-processing flying head
US6850475B1 (en) 1996-07-30 2005-02-01 Seagate Technology, Llc Single frequency laser source for optical data storage system
US6058094A (en) * 1996-07-30 2000-05-02 Seagate Technology Inc. Flying magneto-optical head with a steerable mirror
US6178150B1 (en) 1996-07-30 2001-01-23 Seagate Technology Inc. Offset optics for use with optical heads
US6034938A (en) * 1996-07-30 2000-03-07 Seagate Technology, Inc. Data storage system having an optical processing flying head
US5940549A (en) * 1996-07-30 1999-08-17 Seagate Technology, Incorporated Optical system and method using optical fibers for storage and retrieval of information
US6076256A (en) * 1997-04-18 2000-06-20 Seagate Technology, Inc. Method for manufacturing magneto-optical data storage system
US5889641A (en) * 1997-05-05 1999-03-30 Seagate Technology, Inc. Magneto-resistive magneto-optical head
US6075639A (en) * 1997-10-22 2000-06-13 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Micromachined scanning torsion mirror and method
EP1207415B1 (en) * 1997-10-29 2006-08-30 MacAulay, Calum, E. Apparatus and methods relating to spatially light modulated microscopy
US6388809B1 (en) 1997-10-29 2002-05-14 Digital Optical Imaging Corporation Methods and apparatus for improved depth resolution use of out-of-focus information in microscopy
JPH11144401A (ja) 1997-11-13 1999-05-28 Teac Corp 記録媒体記録再生装置
DE19757197A1 (de) * 1997-12-22 1999-06-24 Bosch Gmbh Robert Herstellungsverfahren für mikromechanische Vorrichtung
RU2148378C1 (ru) * 1998-03-06 2000-05-10 Геликонов Валентин Михайлович Устройство для оптической когерентной томографии, оптоволоконное сканирующее устройство и способ диагностики биоткани in vivo
US6574015B1 (en) 1998-05-19 2003-06-03 Seagate Technology Llc Optical depolarizer
US6172789B1 (en) * 1999-01-14 2001-01-09 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Light scanning device and confocal optical device using the same
US5995688A (en) * 1998-06-01 1999-11-30 Lucent Technologies, Inc. Micro-opto-electromechanical devices and method therefor
US6046966A (en) * 1998-06-10 2000-04-04 Seagate Technology, Inc. Magneto-optical data storage system
US6200882B1 (en) 1998-06-10 2001-03-13 Seagate Technology, Inc. Method for processing a plurality of micro-machined mirror assemblies
US6151167A (en) * 1998-08-05 2000-11-21 Microvision, Inc. Scanned display with dual signal fiber transmission
US6140979A (en) * 1998-08-05 2000-10-31 Microvision, Inc. Scanned display with pinch, timing, and distortion correction
US7098871B1 (en) * 1998-08-05 2006-08-29 Microvision, Inc. Optical scanning system with correction
US6583772B1 (en) * 1998-08-05 2003-06-24 Microvision, Inc. Linked scanner imaging system and method
US6002507A (en) * 1998-12-01 1999-12-14 Xerox Corpoation Method and apparatus for an integrated laser beam scanner
US6057952A (en) * 1999-01-14 2000-05-02 Olympus Optical Co., Ltd. Light scanning device and confocal optical device using the same
JP2000329690A (ja) 1999-05-20 2000-11-30 Olympus Optical Co Ltd 走査型共焦点光学装置
US6246504B1 (en) * 1999-06-30 2001-06-12 The Regents Of The University Of Caifornia Apparatus and method for optical raster-scanning in a micromechanical system
US6515781B2 (en) 1999-08-05 2003-02-04 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6433907B1 (en) * 1999-08-05 2002-08-13 Microvision, Inc. Scanned display with plurality of scanning assemblies
US7262765B2 (en) * 1999-08-05 2007-08-28 Microvision, Inc. Apparatuses and methods for utilizing non-ideal light sources
US6362912B1 (en) 1999-08-05 2002-03-26 Microvision, Inc. Scanned imaging apparatus with switched feeds
US6445362B1 (en) 1999-08-05 2002-09-03 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
US6795221B1 (en) 1999-08-05 2004-09-21 Microvision, Inc. Scanned display with switched feeds and distortion correction
US6661393B2 (en) 1999-08-05 2003-12-09 Microvision, Inc. Scanned display with variation compensation
JP2001174744A (ja) 1999-10-06 2001-06-29 Olympus Optical Co Ltd 光走査プローブ装置
US6545260B1 (en) 1999-11-19 2003-04-08 Olympus Optical Co., Ltd. Light scanning optical device which acquires a high resolution two-dimensional image without employing a charge-coupled device
US6663560B2 (en) * 1999-12-17 2003-12-16 Digital Optical Imaging Corporation Methods and apparatus for imaging using a light guide bundle and a spatial light modulator
AU2001251742A1 (en) 2000-04-03 2001-10-15 Pocketscope. Com Llc Lenses and uses, including microscopes
US20040224421A1 (en) * 2000-06-15 2004-11-11 Deweerd Herman Bi-directional scanning method
US6530882B1 (en) * 2000-06-30 2003-03-11 Inner Vision Imaging, L.L.C. Endoscope having microscopic and macroscopic magnification
US6450949B1 (en) 2000-06-30 2002-09-17 Inner Vision Imaging, Inc. Endoscope
US6423956B1 (en) * 2000-07-28 2002-07-23 Optical Biopsy Technologies Fiber-coupled, high-speed, integrated, angled-dual-axis confocal scanning microscopes employing vertical cross-section scanning
US6441356B1 (en) 2000-07-28 2002-08-27 Optical Biopsy Technologies Fiber-coupled, high-speed, angled-dual-axis optical coherence scanning microscopes
US6532093B2 (en) 2000-12-06 2003-03-11 Xerox Corporation Integrated micro-opto-electro-mechanical laser scanner
JP2002217510A (ja) * 2001-01-15 2002-08-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 基板の接続構造とその製造方法
US6580858B2 (en) * 2001-04-30 2003-06-17 Xerox Corporation Micro-opto-electro-mechanical system (MOEMS)
DE10126286A1 (de) * 2001-05-30 2002-12-19 Leica Microsystems Verfahren und Vorrichtung zum Punktweisen scannen einer Probe
US7023402B2 (en) * 2001-09-21 2006-04-04 Microvision, Inc. Scanned display with pinch, timing, and distortion correction
AU2003206601A1 (en) * 2002-03-15 2003-09-29 Colibrys S. A. Fabrication process for optical mems device for fiber alignment and variable optical attenuation
US20040004753A1 (en) * 2002-06-19 2004-01-08 Pan Shaoher X. Architecture of a reflective spatial light modulator
US7034984B2 (en) * 2002-06-19 2006-04-25 Miradia Inc. Fabrication of a high fill ratio reflective spatial light modulator with hidden hinge
US6992810B2 (en) * 2002-06-19 2006-01-31 Miradia Inc. High fill ratio reflective spatial light modulator with hidden hinge
US7206110B2 (en) * 2002-06-19 2007-04-17 Miradia Inc. Memory cell dual protection
US20040069742A1 (en) * 2002-06-19 2004-04-15 Pan Shaoher X. Fabrication of a reflective spatial light modulator
US20030234994A1 (en) * 2002-06-19 2003-12-25 Pan Shaoher X. Reflective spatial light modulator
US7337115B2 (en) * 2002-07-03 2008-02-26 Verizon Corporate Services Group Inc. Systems and methods for providing acoustic classification
US7023622B2 (en) * 2002-08-06 2006-04-04 Dmetrix, Inc. Miniature microscope objective lens
US7113651B2 (en) * 2002-11-20 2006-09-26 Dmetrix, Inc. Multi-spectral miniature microscope array
US7283247B2 (en) 2002-09-25 2007-10-16 Olympus Corporation Optical probe system
US7252634B2 (en) * 2002-11-05 2007-08-07 Pentax Corporation Confocal probe having scanning mirrors mounted to a transparent substrate in an optical path of the probe
US20040097791A1 (en) * 2002-11-13 2004-05-20 Olympus Corporation Endoscope
FR2849218B1 (fr) * 2002-12-20 2005-03-04 Mauna Kea Technologies Tete optique confocale, notamment miniature, a balayage integre et systeme d'imagerie confocale mettant en oeuvre ladite tete
JP2004222870A (ja) * 2003-01-21 2004-08-12 Pentax Corp 内視鏡用プローブ
US7023563B2 (en) * 2003-02-14 2006-04-04 Chian Chiu Li Interferometric optical imaging and storage devices
US7154083B2 (en) * 2003-02-24 2006-12-26 Pentax Corporation Confocal probe
US7401984B2 (en) * 2003-05-16 2008-07-22 Hoya Corporation Optical connector
JP3934578B2 (ja) * 2003-06-09 2007-06-20 ペンタックス株式会社 走査ミラー、ビーム走査型プローブ
US7982765B2 (en) * 2003-06-20 2011-07-19 Microvision, Inc. Apparatus, system, and method for capturing an image with a scanned beam of light
US7448995B2 (en) * 2003-06-23 2008-11-11 Microvision, Inc. Scanning endoscope
US20050038322A1 (en) * 2003-08-11 2005-02-17 Scimed Life Systems Imaging endoscope
US7026695B2 (en) * 2003-11-19 2006-04-11 Miradia Inc. Method and apparatus to reduce parasitic forces in electro-mechanical systems
FR2864438B1 (fr) 2003-12-31 2006-11-17 Mauna Kea Technologies Tete optique miniature a balayage integre pour la realisation d'une image confocale homogene, et systeme d'imagerie confocale utilisant ladite tete
US20050255666A1 (en) * 2004-05-11 2005-11-17 Miradia Inc. Method and structure for aligning mechanical based device to integrated circuits
US7449284B2 (en) 2004-05-11 2008-11-11 Miradia Inc. Method and structure for fabricating mechanical mirror structures using backside alignment techniques
US7042619B1 (en) * 2004-06-18 2006-05-09 Miradia Inc. Mirror structure with single crystal silicon cross-member
US7068417B2 (en) * 2004-07-28 2006-06-27 Miradia Inc. Method and apparatus for a reflective spatial light modulator with a flexible pedestal
US7407105B2 (en) * 2004-08-30 2008-08-05 Intermec Ip Corp. Apparatus for diagonal progressive scanning video and method of improving aiming visibility, reducing tilt dependence and improving read range
US7385175B2 (en) * 2004-09-18 2008-06-10 Chian Chiu Li Bi-directional optical transmission system and method
IL165212A (en) * 2004-11-15 2012-05-31 Elbit Systems Electro Optics Elop Ltd Device for scanning light
US8207004B2 (en) 2005-01-03 2012-06-26 Miradia Inc. Method and structure for forming a gyroscope and accelerometer
US7172921B2 (en) * 2005-01-03 2007-02-06 Miradia Inc. Method and structure for forming an integrated spatial light modulator
US7142349B2 (en) * 2005-01-07 2006-11-28 Miradia Inc. Method and structure for reducing parasitic influences of deflection devices on spatial light modulators
US7199918B2 (en) * 2005-01-07 2007-04-03 Miradia Inc. Electrical contact method and structure for deflection devices formed in an array configuration
EP1717631B1 (de) * 2005-04-25 2013-02-27 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrooptische Anordnung
US7202989B2 (en) 2005-06-01 2007-04-10 Miradia Inc. Method and device for fabricating a release structure to facilitate bonding of mirror devices onto a substrate
US7298539B2 (en) * 2005-06-01 2007-11-20 Miradia Inc. Co-planar surface and torsion device mirror structure and method of manufacture for optical displays
US7184195B2 (en) 2005-06-15 2007-02-27 Miradia Inc. Method and structure reducing parasitic influences of deflection devices in an integrated spatial light modulator
US7190508B2 (en) * 2005-06-15 2007-03-13 Miradia Inc. Method and structure of patterning landing pad structures for spatial light modulators
KR100647329B1 (ko) * 2005-07-09 2006-11-23 삼성전자주식회사 광스캐너 패키지
US7239436B2 (en) * 2005-08-17 2007-07-03 Texas Instruments Incorporated Method for aligning consecutive scan lines on bi-directional scans of a resonant mirror
US7502158B2 (en) 2005-10-13 2009-03-10 Miradia Inc. Method and structure for high fill factor spatial light modulator with integrated spacer layer
KR100738090B1 (ko) * 2005-12-30 2007-07-12 삼성전자주식회사 마이크로 미러의 동작 주파수의 측정이 가능한 마이크로광스캐너
CN101384941B (zh) * 2006-02-10 2010-08-25 松下电器产业株式会社 扫描单元以及图像显示装置
US9079762B2 (en) 2006-09-22 2015-07-14 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Micro-electromechanical device
US7561317B2 (en) * 2006-11-03 2009-07-14 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Resonant Fourier scanning
US7713265B2 (en) 2006-12-22 2010-05-11 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Apparatus and method for medically treating a tattoo
US8273015B2 (en) 2007-01-09 2012-09-25 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Methods for imaging the anatomy with an anatomically secured scanner assembly
US8801606B2 (en) 2007-01-09 2014-08-12 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Method of in vivo monitoring using an imaging system including scanned beam imaging unit
US7589316B2 (en) 2007-01-18 2009-09-15 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Scanning beam imaging with adjustable detector sensitivity or gain
US8216214B2 (en) 2007-03-12 2012-07-10 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Power modulation of a scanning beam for imaging, therapy, and/or diagnosis
US7995045B2 (en) 2007-04-13 2011-08-09 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Combined SBI and conventional image processor
US8626271B2 (en) 2007-04-13 2014-01-07 Ethicon Endo-Surgery, Inc. System and method using fluorescence to examine within a patient's anatomy
US8160678B2 (en) 2007-06-18 2012-04-17 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Methods and devices for repairing damaged or diseased tissue using a scanning beam assembly
US7982776B2 (en) * 2007-07-13 2011-07-19 Ethicon Endo-Surgery, Inc. SBI motion artifact removal apparatus and method
US9125552B2 (en) 2007-07-31 2015-09-08 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Optical scanning module and means for attaching the module to medical instruments for introducing the module into the anatomy
US7983739B2 (en) 2007-08-27 2011-07-19 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Position tracking and control for a scanning assembly
US7925333B2 (en) 2007-08-28 2011-04-12 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Medical device including scanned beam unit with operational control features
US8050520B2 (en) 2008-03-27 2011-11-01 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Method for creating a pixel image from sampled data of a scanned beam imager
US8332014B2 (en) 2008-04-25 2012-12-11 Ethicon Endo-Surgery, Inc. Scanned beam device and method using same which measures the reflectance of patient tissue
US9651417B2 (en) 2012-02-15 2017-05-16 Apple Inc. Scanning depth engine
CN104221058B (zh) 2012-03-22 2017-03-08 苹果公司 装有万向接头的扫描镜阵列
WO2014016794A1 (en) 2012-07-26 2014-01-30 Primesense Ltd. Dual-axis scanning mirror
US9482863B2 (en) 2012-10-23 2016-11-01 Apple Inc. Production of micro-mechanical devices
US9448394B2 (en) 2013-03-14 2016-09-20 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Arrayed dual axis confocal microscopes
US9784838B1 (en) 2014-11-26 2017-10-10 Apple Inc. Compact scanner with gimbaled optics
US9835853B1 (en) 2014-11-26 2017-12-05 Apple Inc. MEMS scanner with mirrors of different sizes
US9798135B2 (en) 2015-02-16 2017-10-24 Apple Inc. Hybrid MEMS scanning module
US9703096B2 (en) 2015-09-30 2017-07-11 Apple Inc. Asymmetric MEMS mirror assembly
US9897801B2 (en) 2015-09-30 2018-02-20 Apple Inc. Multi-hinge mirror assembly
US11300774B2 (en) 2016-02-11 2022-04-12 Montana State University Microscope lens with integrated wide-field camera and beam scanning device
US10488652B2 (en) 2016-09-21 2019-11-26 Apple Inc. Prism-based scanner
DE102017121014A1 (de) * 2017-09-12 2019-03-14 Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh Laserscanner mit MEMS-Spiegel mit diffraktiver Optik
CN107991769B (zh) * 2018-01-12 2020-07-10 凝辉(天津)科技有限责任公司 二维扫描器件
CN114208006A (zh) 2019-08-18 2022-03-18 苹果公司 具有电磁致动的力平衡微镜

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5061049A (en) * 1984-08-31 1991-10-29 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator and method
US4956619A (en) * 1988-02-19 1990-09-11 Texas Instruments Incorporated Spatial light modulator

Cited By (73)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6327493B1 (en) 1997-08-28 2001-12-04 Olympus Optical Co., Ltd. Light scanning devices of a water-tight structure to be inserted into a body cavity to obtain optical information on inside of a biological tissue
EP2267507A3 (en) * 1998-02-26 2011-08-17 The General Hospital Corporation Confocal microscopy with multi-spectral encoding
US6483626B2 (en) 1999-03-05 2002-11-19 Olympus Optical Co., Ltd. Direct-view-type confocal point optical system
US6433910B2 (en) 2000-04-28 2002-08-13 Olympus Optical Co., Ltd. Confocal optical system
US9282931B2 (en) 2000-10-30 2016-03-15 The General Hospital Corporation Methods for tissue analysis
JP2010107519A (ja) * 2001-11-29 2010-05-13 General Hospital Corp 多重スペクトルコード化を用いる共焦点顕微鏡法並びに分光法コード化共焦点顕微鏡法のためのシステム及び装置
JP2015157073A (ja) * 2001-11-29 2015-09-03 ザ ジェネラル ホスピタル コーポレイション 多重スペクトルコード化を用いる共焦点顕微鏡法並びに分光法コード化共焦点顕微鏡法のためのシステム及び装置
JP2013056165A (ja) * 2001-11-29 2013-03-28 General Hospital Corp 多重スペクトルコード化を用いる共焦点顕微鏡法並びに分光法コード化共焦点顕微鏡法のためのシステム及び装置
US9226665B2 (en) 2003-01-24 2016-01-05 The General Hospital Corporation Speckle reduction in optical coherence tomography by path length encoded angular compounding
JP2007503623A (ja) * 2003-03-03 2007-02-22 モンタナ ステート ユニバーシティー−ボーズマン 小型共焦点光学装置、システムおよび方法
US7427747B2 (en) 2003-05-16 2008-09-23 Olympus Corporation Optical image pickup apparatus for imaging living body tissue
US7129473B2 (en) 2003-05-16 2006-10-31 Olympus Corporation Optical image pickup apparatus for imaging living body tissue
US7338439B2 (en) 2003-09-05 2008-03-04 Pentax Corporation Condensing optical system, confocal optical system, and scanning confocal endoscope
US7325736B2 (en) 2003-11-27 2008-02-05 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Optical scanner and image forming apparatus having the same
WO2005052671A1 (ja) * 2003-11-27 2005-06-09 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置
US9664615B2 (en) 2004-07-02 2017-05-30 The General Hospital Corporation Imaging system and related techniques
US9763623B2 (en) 2004-08-24 2017-09-19 The General Hospital Corporation Method and apparatus for imaging of vessel segments
US8965487B2 (en) 2004-08-24 2015-02-24 The General Hospital Corporation Process, system and software arrangement for measuring a mechanical strain and elastic properties of a sample
US8922781B2 (en) 2004-11-29 2014-12-30 The General Hospital Corporation Arrangements, devices, endoscopes, catheters and methods for performing optical imaging by simultaneously illuminating and detecting multiple points on a sample
US9326682B2 (en) 2005-04-28 2016-05-03 The General Hospital Corporation Systems, processes and software arrangements for evaluating information associated with an anatomical structure by an optical coherence ranging technique
US9060689B2 (en) 2005-06-01 2015-06-23 The General Hospital Corporation Apparatus, method and system for performing phase-resolved optical frequency domain imaging
US9441948B2 (en) 2005-08-09 2016-09-13 The General Hospital Corporation Apparatus, methods and storage medium for performing polarization-based quadrature demodulation in optical coherence tomography
US9513276B2 (en) 2005-09-29 2016-12-06 The General Hospital Corporation Method and apparatus for optical imaging via spectral encoding
US9304121B2 (en) 2005-09-29 2016-04-05 The General Hospital Corporation Method and apparatus for optical imaging via spectral encoding
US8928889B2 (en) 2005-09-29 2015-01-06 The General Hospital Corporation Arrangements and methods for providing multimodality microscopic imaging of one or more biological structures
US9646377B2 (en) 2006-01-19 2017-05-09 The General Hospital Corporation Methods and systems for optical imaging or epithelial luminal organs by beam scanning thereof
US9087368B2 (en) 2006-01-19 2015-07-21 The General Hospital Corporation Methods and systems for optical imaging or epithelial luminal organs by beam scanning thereof
US9516997B2 (en) 2006-01-19 2016-12-13 The General Hospital Corporation Spectrally-encoded endoscopy techniques, apparatus and methods
US10987000B2 (en) 2006-01-19 2021-04-27 The General Hospital Corporation Methods and systems for optical imaging or epithelial luminal organs by beam scanning thereof
US10426548B2 (en) 2006-02-01 2019-10-01 The General Hosppital Corporation Methods and systems for providing electromagnetic radiation to at least one portion of a sample using conformal laser therapy procedures
US9186067B2 (en) 2006-02-01 2015-11-17 The General Hospital Corporation Apparatus for applying a plurality of electro-magnetic radiations to a sample
US9186066B2 (en) 2006-02-01 2015-11-17 The General Hospital Corporation Apparatus for applying a plurality of electro-magnetic radiations to a sample
USRE46412E1 (en) 2006-02-24 2017-05-23 The General Hospital Corporation Methods and systems for performing angle-resolved Fourier-domain optical coherence tomography
US10413175B2 (en) 2006-05-10 2019-09-17 The General Hospital Corporation Process, arrangements and systems for providing frequency domain imaging of a sample
US9364143B2 (en) 2006-05-10 2016-06-14 The General Hospital Corporation Process, arrangements and systems for providing frequency domain imaging of a sample
US9968245B2 (en) 2006-10-19 2018-05-15 The General Hospital Corporation Apparatus and method for obtaining and providing imaging information associated with at least one portion of a sample, and effecting such portion(s)
US8838213B2 (en) 2006-10-19 2014-09-16 The General Hospital Corporation Apparatus and method for obtaining and providing imaging information associated with at least one portion of a sample, and effecting such portion(s)
US9176319B2 (en) 2007-03-23 2015-11-03 The General Hospital Corporation Methods, arrangements and apparatus for utilizing a wavelength-swept laser using angular scanning and dispersion procedures
US10534129B2 (en) 2007-03-30 2020-01-14 The General Hospital Corporation System and method providing intracoronary laser speckle imaging for the detection of vulnerable plaque
US10835110B2 (en) 2008-07-14 2020-11-17 The General Hospital Corporation Apparatus and method for facilitating at least partial overlap of dispersed ration on at least one sample
US8937724B2 (en) 2008-12-10 2015-01-20 The General Hospital Corporation Systems and methods for extending imaging depth range of optical coherence tomography through optical sub-sampling
US9615748B2 (en) 2009-01-20 2017-04-11 The General Hospital Corporation Endoscopic biopsy apparatus, system and method
US9178330B2 (en) 2009-02-04 2015-11-03 The General Hospital Corporation Apparatus and method for utilization of a high-speed optical wavelength tuning source
US11490826B2 (en) 2009-07-14 2022-11-08 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for measuring flow and pressure within a vessel
JP2013517846A (ja) * 2010-01-25 2013-05-20 アクサン・テクノロジーズ・インコーポレーテッド シリコン製の光学ベンチを備えた、医用画像用のｏｃｔプローブ
US10463254B2 (en) 2010-03-05 2019-11-05 The General Hospital Corporation Light tunnel and lens which provide extended focal depth of at least one anatomical structure at a particular resolution
US8896838B2 (en) 2010-03-05 2014-11-25 The General Hospital Corporation Systems, methods and computer-accessible medium which provide microscopic images of at least one anatomical structure at a particular resolution
US9642531B2 (en) 2010-03-05 2017-05-09 The General Hospital Corporation Systems, methods and computer-accessible medium which provide microscopic images of at least one anatomical structure at a particular resolution
US9408539B2 (en) 2010-03-05 2016-08-09 The General Hospital Corporation Systems, methods and computer-accessible medium which provide microscopic images of at least one anatomical structure at a particular resolution
US9069130B2 (en) 2010-05-03 2015-06-30 The General Hospital Corporation Apparatus, method and system for generating optical radiation from biological gain media
US9951269B2 (en) 2010-05-03 2018-04-24 The General Hospital Corporation Apparatus, method and system for generating optical radiation from biological gain media
US10939825B2 (en) 2010-05-25 2021-03-09 The General Hospital Corporation Systems, devices, methods, apparatus and computer-accessible media for providing optical imaging of structures and compositions
US9557154B2 (en) 2010-05-25 2017-01-31 The General Hospital Corporation Systems, devices, methods, apparatus and computer-accessible media for providing optical imaging of structures and compositions
US9795301B2 (en) 2010-05-25 2017-10-24 The General Hospital Corporation Apparatus, systems, methods and computer-accessible medium for spectral analysis of optical coherence tomography images
US10285568B2 (en) 2010-06-03 2019-05-14 The General Hospital Corporation Apparatus and method for devices for imaging structures in or at one or more luminal organs
US9510758B2 (en) 2010-10-27 2016-12-06 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for measuring blood pressure within at least one vessel
US9330092B2 (en) 2011-07-19 2016-05-03 The General Hospital Corporation Systems, methods, apparatus and computer-accessible-medium for providing polarization-mode dispersion compensation in optical coherence tomography
US9341783B2 (en) 2011-10-18 2016-05-17 The General Hospital Corporation Apparatus and methods for producing and/or providing recirculating optical delay(s)
US9629528B2 (en) 2012-03-30 2017-04-25 The General Hospital Corporation Imaging system, method and distal attachment for multidirectional field of view endoscopy
US11490797B2 (en) 2012-05-21 2022-11-08 The General Hospital Corporation Apparatus, device and method for capsule microscopy
US9415550B2 (en) 2012-08-22 2016-08-16 The General Hospital Corporation System, method, and computer-accessible medium for fabrication miniature endoscope using soft lithography
US9968261B2 (en) 2013-01-28 2018-05-15 The General Hospital Corporation Apparatus and method for providing diffuse spectroscopy co-registered with optical frequency domain imaging
US10893806B2 (en) 2013-01-29 2021-01-19 The General Hospital Corporation Apparatus, systems and methods for providing information regarding the aortic valve
US11179028B2 (en) 2013-02-01 2021-11-23 The General Hospital Corporation Objective lens arrangement for confocal endomicroscopy
US10478072B2 (en) 2013-03-15 2019-11-19 The General Hospital Corporation Methods and system for characterizing an object
US9784681B2 (en) 2013-05-13 2017-10-10 The General Hospital Corporation System and method for efficient detection of the phase and amplitude of a periodic modulation associated with self-interfering fluorescence
US10117576B2 (en) 2013-07-19 2018-11-06 The General Hospital Corporation System, method and computer accessible medium for determining eye motion by imaging retina and providing feedback for acquisition of signals from the retina
US11452433B2 (en) 2013-07-19 2022-09-27 The General Hospital Corporation Imaging apparatus and method which utilizes multidirectional field of view endoscopy
US10058250B2 (en) 2013-07-26 2018-08-28 The General Hospital Corporation System, apparatus and method for utilizing optical dispersion for fourier-domain optical coherence tomography
US9733460B2 (en) 2014-01-08 2017-08-15 The General Hospital Corporation Method and apparatus for microscopic imaging
US10736494B2 (en) 2014-01-31 2020-08-11 The General Hospital Corporation System and method for facilitating manual and/or automatic volumetric imaging with real-time tension or force feedback using a tethered imaging device
US10228556B2 (en) 2014-04-04 2019-03-12 The General Hospital Corporation Apparatus and method for controlling propagation and/or transmission of electromagnetic radiation in flexible waveguide(s)
US10912462B2 (en) 2014-07-25 2021-02-09 The General Hospital Corporation Apparatus, devices and methods for in vivo imaging and diagnosis

Also Published As

Publication number Publication date
JP3032720B2 (ja) 2000-04-17
JP2000075210A (ja) 2000-03-14
JP3330906B2 (ja) 2002-10-07
US5742419A (en) 1998-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3330906B2 (ja) 小型走査共焦点顕微鏡
US5907425A (en) Miniature scanning confocal microscope
US6749346B1 (en) Miniature scanning confocal microscope
US8700134B2 (en) Cantilever-based MEMS optical scanning apparatus, system and method
US8396535B2 (en) Integrated optical scanning image acquisition and display
US7612330B2 (en) Optical scanning probe, optical scanning probe device and method for controlling the optical scanning probe
US8294968B2 (en) Optical scanning element, driving method for same, and optical scanning probe employing optical scanning element
US6294775B1 (en) Miniature image acquistion system using a scanning resonant waveguide
US20070035855A1 (en) Miniature confocal optical device, system, and method
WO2005085945A2 (en) Polymer based electro-optic scanner for image acquisition and display
Piyawattanametha et al. MEMS-based dual-axes confocal microendoscopy
Murakami A miniature confocal optical scanning microscope for endoscopes
US8767279B2 (en) Handheld imaging probe
Murakami et al. A miniature confocal optical microscope with MEMS gimbal scanner
JPH11183807A (ja) 小型走査共焦点顕微鏡
JP2004065965A (ja) 光走査プローブ装置
JP6978592B2 (ja) 広領域の共焦点及び多光子顕微鏡で用いる動的フォーカス・ズームシステム
JP2004024888A (ja) 光走査プローブ装置
JP2001149304A (ja) 光走査プローブ装置
JP2005006855A (ja) 光走査プローブ装置
Dickensheets et al. Micromachined confocal optical microscope
JP2001149305A (ja) 光走査プローブ装置
JP2002272674A (ja) 光走査プローブ装置
Kumar et al. CMOS-compatible 2-axis self-aligned vertical comb-driven micromirror for large field-of-view microendoscopes
Piyawattanametha et al. Three-dimensional in vivo real time imaging by a miniature dual-axes confocal microscope based on a two-dimensional MEMS scanner

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19990614

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000125

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090210

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100210

Year of fee payment: 10

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees