JP2001125037A - プレーナ型ガルバノミラー - Google Patents
プレーナ型ガルバノミラーInfo
- Publication number
- JP2001125037A JP2001125037A JP30890099A JP30890099A JP2001125037A JP 2001125037 A JP2001125037 A JP 2001125037A JP 30890099 A JP30890099 A JP 30890099A JP 30890099 A JP30890099 A JP 30890099A JP 2001125037 A JP2001125037 A JP 2001125037A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- movable plate
- substrate
- planar
- base plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シリコン基板のみの交換を可能にする。
【解決手段】 半導体基板に、平板状の可動板と該可動
板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支
するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面
周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設
し、該平面コイルで囲まれる上面中央部にミラーを設
け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と、
前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置
された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対
をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベ
ース基板に植設したピンと前記半導体基板に形成された
パターン部とが電気的に接続されて成るプレーナ型ガル
バノミラーにおいて、前記台座基板には半導体基板を位
置決め搭載するための座繰り部が設けられ、前記ピンに
はバネ状部材を設け、該バネ状部材の先端部で半導体基
板に形成されたパターン部を押圧して固定すると共に電
気的接続をするプレーナ型ガルバノミラーとする。
板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支
するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面
周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設
し、該平面コイルで囲まれる上面中央部にミラーを設
け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と、
前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置
された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対
をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベ
ース基板に植設したピンと前記半導体基板に形成された
パターン部とが電気的に接続されて成るプレーナ型ガル
バノミラーにおいて、前記台座基板には半導体基板を位
置決め搭載するための座繰り部が設けられ、前記ピンに
はバネ状部材を設け、該バネ状部材の先端部で半導体基
板に形成されたパターン部を押圧して固定すると共に電
気的接続をするプレーナ型ガルバノミラーとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばレーザー光
のスキャニングシステム等に利用するプレーナ型ガルバ
ノミラーに関する。
のスキャニングシステム等に利用するプレーナ型ガルバ
ノミラーに関する。
【０００２】
【従来の技術】プレーナ型ガルバノミラーは、レーザー
光を偏向操作するレーザースキャナ等に利用されるもの
で、その原理は、磁界中に配置した可動コイルに電流を
流すと電流と磁束とに関連して電磁力が発生して電流に
比例した回転力が生じる。この回転力と可動コイル保持
部材のバネ力とが平衡する角度まで可動コイルが回転
し、この可動コイルを介して指針を振らせて電流の有無
や大小を検出するというガルバノメータを利用したもの
で、可動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部
材）に、前記指針の代わりにミラー（反射鏡）を設けて
構成される。小型のガルバノミラーとしては、半導体を
使用したものが提案されている。
光を偏向操作するレーザースキャナ等に利用されるもの
で、その原理は、磁界中に配置した可動コイルに電流を
流すと電流と磁束とに関連して電磁力が発生して電流に
比例した回転力が生じる。この回転力と可動コイル保持
部材のバネ力とが平衡する角度まで可動コイルが回転
し、この可動コイルを介して指針を振らせて電流の有無
や大小を検出するというガルバノメータを利用したもの
で、可動コイルと一体に回転する軸（可動コイル保持部
材）に、前記指針の代わりにミラー（反射鏡）を設けて
構成される。小型のガルバノミラーとしては、半導体を
使用したものが提案されている。
【０００３】図１は従来のプレーナ型ガルバノミラーの
構成を示す正面断面図（ａ）、上面図（ｂ）、及び側面
断面図（ｃ）である。シリコン基板１に一体形成された
可動板２の上面の中央部にはミラー３が形成されてお
り、周縁部には平面コイル４が形成されている。可動板
２はシリコン基板１に中抜き状態で形成され、シリコン
基板１より一体に形成されたトーションバー５、６によ
り保持されている。シリコン基板１はベース基板７の上
面に固定された台座８の上面に固定されている。上面図
（ｂ）においてシリコン基板１の上下には永久磁石９、
１０が配置され、ベース基板７の周縁部にはヨーク１１
が載置されている。
構成を示す正面断面図（ａ）、上面図（ｂ）、及び側面
断面図（ｃ）である。シリコン基板１に一体形成された
可動板２の上面の中央部にはミラー３が形成されてお
り、周縁部には平面コイル４が形成されている。可動板
２はシリコン基板１に中抜き状態で形成され、シリコン
基板１より一体に形成されたトーションバー５、６によ
り保持されている。シリコン基板１はベース基板７の上
面に固定された台座８の上面に固定されている。上面図
（ｂ）においてシリコン基板１の上下には永久磁石９、
１０が配置され、ベース基板７の周縁部にはヨーク１１
が載置されている。
【０００４】可動板２に形成された平面コイル４に通電
すると、可動板はトーションバー５、６を回転中心とし
て回転する。（ｃ）の側面断面図に示すように、可動板
２は上下に約２０度回転可能である。ベース基板７を貫
通して２本のピン１２が植設されており、ピン１２の上
面とシリコン基板１に形成されたパターン１ａとをワイ
ヤーボンディングにより接続している。
すると、可動板はトーションバー５、６を回転中心とし
て回転する。（ｃ）の側面断面図に示すように、可動板
２は上下に約２０度回転可能である。ベース基板７を貫
通して２本のピン１２が植設されており、ピン１２の上
面とシリコン基板１に形成されたパターン１ａとをワイ
ヤーボンディングにより接続している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】シリコン基板のパター
ンとピンの電気的接続をワイヤーボンディングで行う場
合、シリコン基板を接着剤等で台座にダイボンディング
装置を使用して固定し、さらにワイヤーボンディング装
置を使用して行う必要がある。これによりシリコン基板
に一体に形成されたトーションバーの折れ等の不良が発
生した場合、シリコン基板のみの交換は不可能なためプ
レーナ型ガルバノミラーは不良となってしまう。従って
永久磁石、ヨーク、基板類は正常に機能していても全て
不良扱いとなる。
ンとピンの電気的接続をワイヤーボンディングで行う場
合、シリコン基板を接着剤等で台座にダイボンディング
装置を使用して固定し、さらにワイヤーボンディング装
置を使用して行う必要がある。これによりシリコン基板
に一体に形成されたトーションバーの折れ等の不良が発
生した場合、シリコン基板のみの交換は不可能なためプ
レーナ型ガルバノミラーは不良となってしまう。従って
永久磁石、ヨーク、基板類は正常に機能していても全て
不良扱いとなる。
【０００６】また、ダイボンディング装置やシリコン基
板の電気的接続を取るために高額なワイヤーボンディン
グ装置を用いなければならず、さらに接着剤を使用する
ためキュア等も必要で、時間的にも費用的にも好ましく
ない。仕様の異なるプレーナ型ガルバノミラーを使用す
る場合もシリコン基板のみ交換して利用するというわけ
にはいかない。
板の電気的接続を取るために高額なワイヤーボンディン
グ装置を用いなければならず、さらに接着剤を使用する
ためキュア等も必要で、時間的にも費用的にも好ましく
ない。仕様の異なるプレーナ型ガルバノミラーを使用す
る場合もシリコン基板のみ交換して利用するというわけ
にはいかない。
【０００７】
【課題を解決するための手段】半導体基板に、平板状の
可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に
揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前
記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面
コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に
ミラーを設け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台
座基板と、前記半導体基板のトーションバーの軸方向と
平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させ
るための対をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定
し、前記ベース基板に植設したピンと前記半導体基板に
形成されたパターン部とが電気的に接続されて成るプレ
ーナ型ガルバノミラーにおいて、前記台座基板には半導
体基板を位置決め搭載するための座繰り部が設けられ、
前記ピンにはバネ状部材を設け、該バネ状部材の先端部
で半導体基板に形成されたパターン部を押圧して固定す
ると共に電気的接続を成すプレーナ型ガルバノミラーと
する。
可動板と該可動板を半導体基板に対して基板上下方向に
揺動可能に軸支するトーションバーとを一体形成し、前
記可動板の上面周縁部に通電により磁界を発生する平面
コイルを敷設し、該平面コイルで囲まれる上面中央部に
ミラーを設け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台
座基板と、前記半導体基板のトーションバーの軸方向と
平行に配置された可動板の平面コイルに磁界を作用させ
るための対をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定
し、前記ベース基板に植設したピンと前記半導体基板に
形成されたパターン部とが電気的に接続されて成るプレ
ーナ型ガルバノミラーにおいて、前記台座基板には半導
体基板を位置決め搭載するための座繰り部が設けられ、
前記ピンにはバネ状部材を設け、該バネ状部材の先端部
で半導体基板に形成されたパターン部を押圧して固定す
ると共に電気的接続を成すプレーナ型ガルバノミラーと
する。
【０００８】
【発明の実施の形態】図２は本発明のプレーナ型ガルバ
ノミラーの構成を示す上面図、図３は正面断面図であ
る。シリコン基板１３に一体形成された可動板１４の上
面の中央部にはミラー１５が形成されており、周縁部に
は平面コイル１６が形成されている。可動板１４はシリ
コン基板１３に中抜き状態で形成され、シリコン基板１
３より一体に形成されたトーションバー１７、１８によ
り保持されている。シリコン基板１３はベース基板１９
の上面に固定された台座２０の上面に搭載されている。
台座２０の上面にはシリコン基板１３の外周形状に合わ
せた座繰り２０ａが設けられており、シリコン基板１３
を搭載する際、その位置決めとなるものである。図２の
上面図においてシリコン基板１３の上下には永久磁石２
１、２２が配置され、ベース基板１９の周縁部にはヨー
ク２３が載置されている。
ノミラーの構成を示す上面図、図３は正面断面図であ
る。シリコン基板１３に一体形成された可動板１４の上
面の中央部にはミラー１５が形成されており、周縁部に
は平面コイル１６が形成されている。可動板１４はシリ
コン基板１３に中抜き状態で形成され、シリコン基板１
３より一体に形成されたトーションバー１７、１８によ
り保持されている。シリコン基板１３はベース基板１９
の上面に固定された台座２０の上面に搭載されている。
台座２０の上面にはシリコン基板１３の外周形状に合わ
せた座繰り２０ａが設けられており、シリコン基板１３
を搭載する際、その位置決めとなるものである。図２の
上面図においてシリコン基板１３の上下には永久磁石２
１、２２が配置され、ベース基板１９の周縁部にはヨー
ク２３が載置されている。
【０００９】ベース基板１９には２本のピン２４が貫通
して植設されており、ピン２４とシリコン基板１３に形
成されたパターン１３ａとを板バネ部材２５により接続
している。可動板１４に形成された平面コイル１６に通
電すると、可動板１４はトーションバー１７、１８を回
転中心として回転する。可動板１４の回転動作は従来例
と同様上下に約２０度回転可能である。
して植設されており、ピン２４とシリコン基板１３に形
成されたパターン１３ａとを板バネ部材２５により接続
している。可動板１４に形成された平面コイル１６に通
電すると、可動板１４はトーションバー１７、１８を回
転中心として回転する。可動板１４の回転動作は従来例
と同様上下に約２０度回転可能である。
【００１０】図４は本発明の板バネ部材を示す図で、
（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。板バネ部材２
５は嵌合部２５ａを有しており、ベース基板１９に植設
されたピン２４に圧入される。２５ｂはシリコン基板１
３に設けられたパターン１３ａとの接点部であり、該板
バネ部材２５とシリコン基板１３に設けられたパターン
１３ａが接触することにより電気的に接続される。又、
板バネ部材２５の押圧力によりシリコン基板１３と台座
２０とが固定される。このとき、シリコン基板１３と台
座２０の固定に接着剤を用いる必要はない。又、板バネ
部材２５は図２において矢印方向に回転可能なため、シ
リコン基板１３の取り外しが可能となるものである。
（ａ）は斜視図、（ｂ）は側面図である。板バネ部材２
５は嵌合部２５ａを有しており、ベース基板１９に植設
されたピン２４に圧入される。２５ｂはシリコン基板１
３に設けられたパターン１３ａとの接点部であり、該板
バネ部材２５とシリコン基板１３に設けられたパターン
１３ａが接触することにより電気的に接続される。又、
板バネ部材２５の押圧力によりシリコン基板１３と台座
２０とが固定される。このとき、シリコン基板１３と台
座２０の固定に接着剤を用いる必要はない。又、板バネ
部材２５は図２において矢印方向に回転可能なため、シ
リコン基板１３の取り外しが可能となるものである。
【００１１】
【発明の効果】シリコン基板に不良があった場合、シリ
コン基板は接着材等により固定されていないので、板バ
ネを接点からずらすことで容易に交換可能になる。ま
た、異なる仕様のプレーナ型ガルバノミラーがシリコン
基板の交換のみで実現可能となる。
コン基板は接着材等により固定されていないので、板バ
ネを接点からずらすことで容易に交換可能になる。ま
た、異なる仕様のプレーナ型ガルバノミラーがシリコン
基板の交換のみで実現可能となる。
【００１２】シリコン基板の交換が短時間、低コストで
できる。
できる。
【００１３】シリコン基板実装時にワイヤーボンディン
グによる特殊高額な装置あるいは設備を使用しないため
コスト的に有利であり、安価なプレーナ型ガルバノミラ
ーを提供できる。
グによる特殊高額な装置あるいは設備を使用しないため
コスト的に有利であり、安価なプレーナ型ガルバノミラ
ーを提供できる。
【００１４】シリコン基板の交換が可能になったので、
永久磁石、ヨーク、基板のリサイクルが可能となり、廃
棄物の減少になる。また、永久磁石、ヨーク、基板は、
再使用するため保守費用が安くなる。
永久磁石、ヨーク、基板のリサイクルが可能となり、廃
棄物の減少になる。また、永久磁石、ヨーク、基板は、
再使用するため保守費用が安くなる。
【図１】従来のプレーナ型ガルバノミラーの構成を示す
図で、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は
側面断面図。
図で、（ａ）は正面断面図、（ｂ）は上面図、（ｃ）は
側面断面図。
【図２】本発明のプレーナ型ガルバノミラーの構成を示
す上面図。
す上面図。
【図３】正面断面図。
【図４】本発明の板バネ部材を示す図で、（ａ）は斜視
図、（ｂ）は側面図。
図、（ｂ）は側面図。
１ シリコン基板 ２ 可動板 ３ ミラー ４ 平面コイル ５ トーションバー ６ トーションバー ７ ベース基板 ８ 台座 ９ 永久磁石 １０ 永久磁石 １１ ヨーク １２ ピン １３ シリコン基板 １３ａ パターン １４ 可動板 １５ ミラー １６ 平面コイル １７ トーションバー １８ トーションバー １９ ベース基板 ２０ 台座 ２０ａ 座繰り ２１ 永久磁石 ２２ 永久磁石 ２３ ヨーク ２４ ピン ２５ 板バネ部材 ２５ａ 嵌合部 ２５ｂ 接点部
Claims (1)
- 【請求項１】 半導体基板に、平板状の可動板と該可動
板を半導体基板に対して基板上下方向に揺動可能に軸支
するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面
周縁部に通電により磁界を発生する平面コイルを敷設
し、該平面コイルで囲まれる上面中央部にミラーを設
け、該半導体基板を台座基板に搭載し、該台座基板と、
前記半導体基板のトーションバーの軸方向と平行に配置
された可動板の平面コイルに磁界を作用させるための対
をなす永久磁石とヨークをベース基板に固定し、前記ベ
ース基板に植設したピンと前記半導体基板に形成された
パターン部とが電気的に接続されて成るプレーナ型ガル
バノミラーにおいて、 前記台座基板には半導体基板を位置決め搭載するための
座繰り部が設けられ、前記ピンにはバネ状部材を設け、
該バネ状部材の先端部で半導体基板に形成されたパター
ン部を押圧して固定すると共に電気的接続をしたことを
特徴とするプレーナ型ガルバノミラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30890099A JP2001125037A (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プレーナ型ガルバノミラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30890099A JP2001125037A (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プレーナ型ガルバノミラー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001125037A true JP2001125037A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17986630
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30890099A Pending JP2001125037A (ja) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | プレーナ型ガルバノミラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001125037A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005052671A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
| US7454735B2 (en) | 2002-12-17 | 2008-11-18 | International Business Machines Corporation | ASIC clock floor planning method and structure |
| JP2016172598A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 株式会社日立物流 | 廃棄物運搬用折り畳みコンテナ |
-
1999
- 1999-10-29 JP JP30890099A patent/JP2001125037A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7454735B2 (en) | 2002-12-17 | 2008-11-18 | International Business Machines Corporation | ASIC clock floor planning method and structure |
| WO2005052671A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
| US7325736B2 (en) | 2003-11-27 | 2008-02-05 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanner and image forming apparatus having the same |
| JP2016172598A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 株式会社日立物流 | 廃棄物運搬用折り畳みコンテナ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040319 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040602 |