WO2004105080A1 - スパッタイオンポンプ、その製造方法、およびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置 - Google Patents

Abstract

スパッタイオンポンプは、金属で形成されたポンプ容器（５１）を備え、このポンプ容器内には、互いに対向して配置され陰極（５２）および陽極（５３）と、陰極とポンプ容器内面との間に位置した永久磁石（５７）と、が設けられている。ポンプ容器内に陽極、陰極および磁性材を配置した後、ポンプ容器の外側から磁性材に着磁し永久磁石としている。

Description

ス ノ ッ タィ ォンポンプ、 その製造刀 、 ね よびスパッ タイ ォ ンポンプを備えた画像表示装置

技術分野

この発明は 、 スノヽ⁰ッ タイ オンポンプ、 スパシタィオンポン プの製造方法 、 およぴスパッタイオンポンプを備えた画像表 示装置に関す 細 1

背景技術 書

近年、 陰極線管 （以下、 C R T と称する） に代わる次世代 の軽量、 薄型の表示装置と して様々 な平面型表示装置が開発 されている。 このよ う な平面型表示装置にはヽ 液晶の配向を 利用 して光の強弱を制御する液晶ディ ス プ レィ (以下、 L C

D と称する） 、 プラズマ放電の紫外線によ り 蛍光体を発光さ せるプラズマディ スプレ イ ノヽ°ネル (以下、 P D P と称する ) 電界放出型電子放出素子の電子ビームによ り 蛍光体を発光さ せる フィ ―ル ドエミ ッショ ンディ スプレイ （以下、 F E D と 称する） 、 表面伝導型電子放出素子の電子ビ ムによ り 蛍光 体を発光させる表面伝導電子放出ディ スプ レィ (以下、 s E

D と称する） な どがある ο

例えば F E Dや S Ε Dではヽ 般に 、 所定の隙間を置いて 対向配置された m面基板および背面基板 ^有し、 れらの基 板は真空の外囲 を構成している o 刖面基板には蛍光面が形 成されて 、 背面基板には、 蛍光面を励起する電子源と して複 数の電子放出素子が設けられている この よ う な F E Dや S

E Dでは 、 表示 置の厚さ を数 m 度にまで薄 < する こ と がでさヽ 現在のテ レビゃコ ンピュータ の了 ィ スプレィ と して 使用 されている C R Τ と比較して、 軽 化ヽ 薄型化を達成す る こ とができ る と と もに、 省電力化を 成する こ とができ る。

上記 示装置において、 電子放出素子を安定して動作させ るためには 、 外囲器内を 1 0 4 〜 1 0 5 P a 程度の極め て高い真空度に維持する必要がある また 、 P D P において も 度真空に してから放電ガスを充填する必要がある 。 そこ で、 真 外囲器内にゲッタ を配置して高 を維持する表 示装置が開示されている。 また、 例 ば 、 特開平 5 1 2 1

0 1 2号公報には、 真空外囲器にスパクタィォンポンプ （以 降 s I P と称する） を接続し長期間に渡つて高 空度を維持 する表示 置が提案されている

上記 S I Ρは 、 内部が真 に維持されている と と あに表示 装置に接 されたポンプ容 a

と、 ポンプ容 の外側に設けら れた永久磁石と を備えている 。 ポンプ容 内には 極と陽 極と が対向 して設け られてレ、る。 陽極はチタ ン板等によ り 形 成されヽ 陰極の両側に設け られている 永久磁石は陰極と直 交する磁界を発生する

磁石によ り磁界を印加した状態で陽極と 極と の間に 3 〜

5 k Vの高電圧を印加する と 、 電子がガス分子に射突 し放出 ガスを電離させる。 この電離によ り発生したガスブラスィォ ンがチタ ン板からなる陰極に射突し そのェネルギによ り チ タ ンをスノヽ⁰ッタ させる。 れによ り 陽極面に活性なチタン 膜が形成される 。 そ して、 放出ガス中の中性分子や励起され た分子がチタ ン膜に入射して吸着排 される のよ う な S I Pの排ス 作によ り 、 表示装置の真空外囲器內を 1 0 — 5

P a 以下の高真空度に維持する とができ る

S I P では 、 子がガス分子に射突する確率を増やすため、 ホンプ容器の外部に設置された永久磁石によつて磁界を形成 しヽ 電子の 自 由ェ程軌道を長く する方法がと られてレヽる。 磁 界の強さ は 、 ポンプの排気速度に影響し、 磁界が強いほど排 気 度が大き く なる こ こ で、 じ特性の永久磁石を使用す る場合、 磁石の開 距離が短いほど電極内での磁界は強く な

I Ρにおいてヽ ポンプ容器が金属で形成されている

¾σ 口 、 ホンプ容器自体を陰極と 同電位にき;

Pス定でき ヽ ポンプ容 器の内面に陰極を設置する と ができ る しかし 、 ポンプ容 器の壁厚分だけ 、 陰極と永久磁石との間に隙間がでさ 、 その 分、 永久磁石の開口距離が長く なつて排 効率の低下を招く 。 また、 永久磁石と して 、 c字形状の磁石を用いた場合 、 開口 部は磁気的にシ ―ル Κされて ■i りず、 開 P部から漏洩磁界が 発生する そのためヽ 上 60 S I Pは、 漏洩磁界を嫌 Ό 置と の組合せに不向 となる 。 更に 、 永久磁石が大型と な ヽ ポン プ取 り 付け時の作業性 、 安定性な どに難がめる と と あに 、 表 示装置全体の小型化の妨げとなる

本発明は 、 以上の点に鑑みなされた ので 、 その目的は、 小型で排 効率の高いスパ グタィ ォンポンプ 、 その製造方法、 およぴスパッタィォンポンプを備えた画像表示装置を提供す る こ と にある。

発明の開示 上記目 的を達成するため、 こ の発明の態様に係るスパッタ イオンポンプは、 ポンプ容器と 、 上記ポンプ容器内に互いに 対向 して配置された陰極および陽極と、 上記ポンプ容器内に 配設され、 上記陰極と ポンプ容器内面との間に位置した永久 磁石と、 を備えたこ と を特徴と している。

また 、 ~~の発明の他の態 に係るスパッタィォンポンプの 製造方法は 、 ポンプ容器とヽ 上記ポンプ容器内に互いに対向 して配置され陰極およぴ陽極と 、 上 己ポンプ容 内に配設さ れ、 上記陰極と ポンプ容 内面と の間に位置した永久磁石と、 を備えたスノ ッタイ才ンポンプの製造方法においてヽ 上記ホ ンプ容器内に上記陽極、 陰極ねよび磁性材を配置した後、 上 記ボンプ容器の外側から上記磁性材に着磁し永久磁石とする こ と を特徴と している。

この発明の他の態様に係る {¾像表示装置は、 蛍光面を有し た BU面基板と、 この前面基板と対向配置されている と と もに 上記蛍光面を励起する複数の電子放出源が け られた背面基 板と、 を有し内部が真 に維持された真空外囲器と、 上

空外囲器に - 接続され、 の真空外囲器内部を排気するス ノ ッ タイオンポンプと、 を備えヽ

上記ス パッタイオンポンプは 、 _t tfし； Λ 外囲器に接続され たポンプ容器と \ 上 rtCポンプ容器内に互いに対向 して配置さ れた陰極およぴ陽極と 、 上 Sdポンプ容器内に配設され 、 上 陰極とポンプ容器内面との間に位置した永久磁石と、 を備え て ヽる こ と を特徴と してい 0

上記のよ う に構成された S I P によれば 、 永久磁石をポン プ容器内に設ける こ と によ り 、 陰極に隣接して配置する こ と ができる。 これによ り 、 永久磁石の開 口距離を短く して排気 速度を大き く でき、 排気効率を最大にする こ とが可能と なる。 また、 永久磁石をポンプ容器の外部に設ける必要がなく 、 ポ ンブの小型化、 組立作業性の向上を図る こ と ができる。 更に、 ポンプ容器の少な < と も一部を磁性材料で形成する こ と によ り 、 ポンプ容器にぶつて磁気的な閉回路を形成し 、 漏洩磁界 をシール ドする こ と が可能となる。

またヽ 上記 S I P を備えた画像表示装置によれば、 S I P によ り真空外囲器内を高い真空度に維持する こ と ができ、 長 期間に渡つて安定した表示品 11Lを維持する こ とが可能と なる。 図面の簡単な説明

図 1 はヽ この発明の第 1 の実施形態に係る F E Dを示す斜 視図。

図 2 は 、 図 1 の線 II一 IIに沿つた上記 F E Dの断面図。

図 3 は 、 上記 F E Dにおける S I P を示す断面図。

図 4 は 、 上記 S I P における閉磁路を概略的に示す断面図。 図 5 はヽ 上記 S I P の形成ェ程を示す断面図。

図 6 は 、 上記 S I P の形成ェ程を示す平面図。

図 7 は 、 この発明の第 2 の実施形態に係る F E Dを示す断 面図。

図 8 はヽ _t 5し 2 の実施形態おける S I P を示す断面図。 図 9 は 、 上記 s I P における閉磁路を概略的に示す断面図。 図 1 0 は 、 pQ S I Pの形成工程を示す断面図

図 1 1 はヽ J gし S I P の形成工程を示す平面図 明を実施するための最良の形態

以下図面を参照 しながら 、 ゝ ~ の発明の実施の形態に係る s

I P を備えた画像表示装置を F E Dに適用 した実施の形態に ついて詳細に説明する。

図 1 およぴ図 2 に示すよ う に 、 F E Dは 、 それぞれ矩形状 のガラス板からなる刖 m ¾板 1 1 、 よぴ背面基板 1 2 を備 ヽ これらの基板は 1 〜 2 m mの隙間を置いて対向配置され ている。 背面基板 1 2 は前面基板 1 1 よ り も大きな寸法に形 成されている。 刖 面基板 1 1 および背面基板 1 2 は 、 矩形枠 状の側壁 1 8 を介して周縁部同士が接合され 、 内部が真空状 態に維持された扁平な矩形状の真 外囲 1 0 を構成 してい る

真空外囲器 1 0 の内部には、 目』面 板 1 1 よび背 基板

1 2 に加わる大気圧何重を支えるため 、 複数の板状の支持部 材 1 4が設けられている 。 支持部材 1 4 は 真 外囲器 1 0 の一辺と平行な方向にそれぞれ延在している と と もに 、 上目し 一辺と直交する方向に つて所定の間隔を置いて配置されて いる。 支持部材 1 4 は板状に限らずヽ 柱状の のを用いても よい。

前面基板 1 1 の内面には、 蛍光面と して機能する蛍光体ス ク リ ー ン 1 6 が形成されている。 この蛍光体スク リ一ン 1 6 は 、 赤、 緑、 青の蛍光体層、 および れらの蛍光体層間に位

、ヾ

置 した光吸収層を並 て構成されている 蛍光体層は 、 真空 外囲器 1 0 の上記一辺と平行な方向に延在している と と もに

>- の一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置レ、て配置さ れている。 蛍光体ス ク リ ン 1 6 上には、 た と えばァル へ ゥムからなるメ タルバック層 1 7およびゲクタ 膜 1 5 が順 に重ねて形成されている

背面基板 1 2 の内面上には、 蛍光体スク リ ン 1 6 の蛍光 体層を励起する電子放出源と して、 それぞれ m子ビ一ムを放 出する多数の電子放出素子 2 2 が設け られている これらの 電子放出素子 2 2 は、 画素に対 j心 して複数列ねよぴ複数行に 配列されている 。 詳細に述ベる と、 背面基板 1 2 の内面上に は、 導電性カ ソー ド層 2 4 が形成され 、 ^ν ^の導電性力 ソ一 ド 層上には多数のキヤ ビティ 2 5 を有した二酸化シ V ン膜 2

6 が形成されている。 二酸化シリ コン膜 2 6 上には 、 モ リ ブ デンゃニオブ等力 らなるゲー ト電極 2 8 が形成されてい 。 背面基板 1 2 の内面上において各キャ ビティ 2 5 内にはモ リ ブデンな どからなる コ ーン状の電子放出素子 2 2 が設け られ ている。 背面基板 1 2 の内面には、 子放出素子 2 2 に電位 を供給する多数本の配線 2 3 がマ ト ジ ック ス状に sr け られ、 その端部は真空外囲器 1 0 の周縁部に引出されている o

上記のよ う に構成された F E Dに いてヽ 映像信号は 、 単 純マ ト リ ッ ク ス方式に形成された電子放出泰子 2 2 とゲ一 ト 電極 2 8 に入力される。 電子放出素子を基準と した場合 、 最 も輝度の高い状態の時、 例えば、 + 1 0 0 Vのゲ一卜電圧が 印力 Bされる。 また、 蛍光体ス ク リ ーン 1 6 にはヽ 例 ば 、 +

1 0 k Vが印加 る 。 れによ り ヽ 電子放出素子 2 2 から 電子ビームが放出される 放出される ¾,卞ビ一ムの大さ さは、 ゲー ト電極 2 8 の電圧によつて変調され、 この 子ビ一ム力 S 蛍光体ス ク リ ーン 1 6 の蛍光体層を励起して発光させる こ と によ り 画像を表示す O o

このよ う に蛍光体ス ク リ ーン 1 6 には高電圧が印加される ため、 前面基板 1 1 、 背面基板 1 2、 側壁 1 8 、 および支持 部材 1 4用の板ガラス には、 高歪点ガラスが使用 されている。 背面基板 1 2 と側壁 1 8 と の間は、 フ リ ッ トガラス等の低融 点ガラス 1 9 によつて封着されて！/ヽる ₀ 面基板 1 1 と側壁

1 8 と の間は、 導電性を有する低融点封着材と して 、 例えば、 イ ンジウム （ I n ) を含んだ封 1 によって封 されて 着層 ²

いる。

真空外囲器 1 0 において、 背 ¾基板 1 2 の通端部には排気口

4 0 が形成され、 この排気口には、 真 を排気す る S I P 5 0 が接 されている 。 S I P 5 0 は、 磁性材と し ての金属、 例えば F e / N i 合金等で形成されたポンプ容 器 5 1 を有している 。 ポンプ容器 5 1 は、 フ リ ッ ト ガラ ス 4

2 によって真空外囲器 1 0 の背面基板 1 2 に接着され 、 排気 口 4 0 を介 して真 外囲器内部に連通 して ヽる と と もに内部 が真空に維持されている。 なお 、 ポンプ容器 5 1 は 、 全体が 磁性材によ り形成されている場合に限らず、 後述する よ う に、 閉磁路を形成可能であれば、 一部のみを磁性材で形成 した構 成と しても よい。

図 2 ない し図 4 に示すよ う に 、 ポンプ容器 5 1 内には、 そ の中央部に円筒状の陽極 5 3 が設けられ、 この陽極の両開口 側にはそれぞれ板状の陰極 5 2 が配置され所定の隙間を置い て陽極と対向 している。 各陰極 5 2 は、 例えば、 チタ ン、 タ ンタル等によ り 形成されている。 ポンプ容器 5 1 の内面と各 陰極 5 2 との間には、 板状の永久磁石 5 7 が設け られている。 永久磁石 5 7 は、 陰極 5 2 の略全面に接触した状態で、 陰極 およびポンプ容器内面に固定されている。 陰極 5 2 は永久磁 石 5 7 を介してポンプ容器 5 1,に固定されている。 陰極 5 2 には電源 6 0 から相対的に負の電圧が印加される。

ポンプ容器 5 1 の下端部には絶縁碍子 5 5 が取付け られ この絶 碍子 5 5 によ り 電極 5 6 が支持されている 電極 5

6 はポンプ容器 5 1 内に引き込まれ、 陽極 5 3 に接 されて いる。 陽極 5 3 にはヽ 電極 5 6 を介して電源 6 0 から相対的 に正の 圧が印加される

上記のよ う に構成された S I P によれば、 動作時 、 永久磁 石 5 7 によ り 陰極 5 2 と直交する方向の磁界を印加した状態 で、 電源 6 0 から陰極 5 2 と陽極 5 3 との間に 3 〜 5 k Vの 高電圧を印加する。 する と、 ポンプ容器 5 1 内において、 電 子がガス分子に射突し放出ガスを 離させる。 この電離によ り発生したガスブラスイオンが例えばチタ ン板力 らなる陰極

5 2 に射突し、 そのェネルギによ り チタ ンをスノ ッタ させる。 これによ り 、 陽極 5 3 の表面に活性なチタ ン膜が形成される。 そ してヽ 放出ガス中の中性分子や励起された分子がチタ ン膜 に入射して吸着 し排 される · - のよ う な S I P 5 0 の排気 動作によつて真空外囲器 1 0 内の放出ガスを排気 しヽ 真空外 囲器内を 1 0 — ⁵ P a 以下の m 空度に維持する。

図 4 に示すよ う にヽ 磁性材で形成されたポンプ容 5 1 、 陰極 5 2 、 および永久磁石 5 7 によ り 閉磁路 7 1 が形成され、 永久磁石の発生磁界は外部に漏洩する こ と なく 閉磁路を通る。 上記構成の S I P 5 0 は以下の製造方法によって製造され る。 図 5 および図 6 に示すよ う に 、 まず、 ポンプ容器 5 1 内 に陽極 5 3 、 陰極 5 2 、 および各陰極に固定された板状の磁 性材 5 4 をそれぞれ配置する と と もに 、 絶縁碍子 5 5 および 電極 5 6 をポンプ容器に取付ける いて 、 ポンプ容器 5 1 を真空外囲器 1 0 に接 IJC レ、 ポノプ容器内を真空に維持する。 その後ヽ ポンプ容器 5 1 の外方に一対の着磁コイル 6 1 を配 それぞれ磁性材 5 4 に隣接対向させる。 この状態で、 着磁コィル 6 1 によ り 、 ポンプ容器 5 1 の外部から各磁性材

5 4 に着磁する れによ り 、 磁性材 5 4 は、 陰極 5 2 と直 交する方向の磁場 6 2 を発生する永久磁石 5 7 と なる 。 以上 の工程によ り ヽ F E Dの真空外囲 に された S I P 5 0 が形成される

上記のよ ラ に構成された S I P によれば 、 永久磁石 5 7 は ポンプ容器 5 1 内に設け られ、 ュ-極 5 2 に隣接して配置され ている。 そのため 、 永久磁石をポンプ容 5 1 の外側に設け た場合と比較してヽ 永久磁石 5 7 の開 口距離を短く する こ と ができ る。 従つてヽ S I P 5 0 の排 速度を大き く でき、 排 気効率を最大にする こ とが可能と なる。 また、 永久磁石 5 7 をポンプ容 ,口 5 1 の外部に設ける必要がな く 、 ポンプの小型 化、 組立作業性の向上を図る こ と ができ る

ポンプ容 5 1 の少なく と あ一部は磁性材料で形成されて いる こ と から のポンプ容器ヽ 永久磁石ヽ ねよび陰極によ て磁気的閉回路を形成し 、 漏洩磁界をシ一ル ドする こ とが でき る。 そのため、 漏洩磁気を嫌 5装置と組み合せて S I P を使用する 口 、 大きな効果を発揮する o

上述した S I Pの製造方法によれば 、 予めポンプ容器 5 1 內に設け られた磁性材をボンプ容器の外側から着磁して永久 磁石とする こ と によ り 、 小型の S I P を容易に形成する こ と が可能と なる。

また 、 上記 F E Dによれば、 S I P 5 0 によ り 空外囲器

1 0 内を高い真空度に維持する こ とができ N 長期間に渡って 安定しに 不品位を維持する こ と が可能と なる。

次に 、 この発明の第 2の実施形態に係る F E Dについて説 明する 。 第 1 の実施形態と 同一の部分には |BJ ―の参照符号を 付してその詳細な説明を省略する 0

図 7 ないし図 9 に示すよ う に、 真空外囲 ¾ 1 0 の背 基板

1 2 には、 真空外囲器内部の放出ガスを排 する S I Ρ 5 0 が設け られている。 S I P 5 0 は 、 非金属 、 例えばガラ スで 形成されたポンプ容器 5 1 を有 している 0 本実施形 におい て、 ポンプ容器 5 1 は、 ガラスからなる背面基板 1 2 にフ リ ッ ト ガラ ス 4 0 で接着され 、 その内部は真空外囲 1 0 の內 部に連通 し真空に維持されている o

ポンプ容器 5 1 内には、 —対の陰極 5 2 ねよぴ陽極 5 3 が 配置されている 。 陰極 5 2 は、 チタ ン 、 タ ンタル等からなる 金属板をほぼ断面 U字形状と なる よ う に折り 曲げて形成され、 所定の間隔を置いて互いに対向 している o れらの陰極 5 2 は、 非貫通端子 7 5 、 貫通端子 7 6 によ り それぞれポンプ容 器 5 1 に固定されている。 陽極 5 3 は ―対の陰極 5 2 間に配 置され、 陰極 5 2 と所定の隙間を置いて対向 している 陽極

5 3 は、 電極 5 6 によ り ポンプ容器 5 1 に支持されてレ、る。 真空外囲器 1 0 の外部に設け られた電源 6 0 から貫 端子 7

6 、 電極 5 6 を介して 、 陰極 5 2 には相対的に負の電圧が印 加され、 陽極 5 3 には相対的に正の電圧が印加される

ポンプ容器 5 1 内には一対の永久磁石 5 7 が設けられ 、 ポ ンプ容器 5 1 の内面と各陰極 5 2 との間にそれぞれ配置され ている。 永久磁石 5 7 は、 陰極 5 2 の略全面に接触した状態 で陰極に固定されている。 ホンプ容器 5 1 の外側には 、 閉ル ープ状の磁性体、 例 ば、 環状の磁性体 6 6 が装着され 、 永 久磁石 5 7 と対向 している。 の磁性体 6 6 は、 陰極 5 2お よび永久磁石 5 7 と と もに閉磁路 7 1 を形成している

上記のよ う に構成された S I P によれば、 動作時 、 永久磁 石 5 7 によ り 陰極 5 2 と直交する方向の磁界を印加した状態 で、 電源 6 0 から陰極 5 2 と陽極 5 3 との間に 3 〜 5 k Vの 高電圧を印加する。 する と、 ポンプ容器 5 1 内においてヽ ¾J 子がガス分子に射突し放出ガスを電離させる。 この電離によ り発生したガスブラスイオンが例えばチタ ン板からなる陰極

5 2 に射突し、 その工ネルギに よ ってチタ ンをスパク タ させ る。 これによ り 、 陽極 5 3 の表面に活性なチタ ン膜が形成さ れる。 そ して、 放出ガス中の中性分子や励起された分子がチ タン膜に入射して吸着 される。 このよ う な S I P 5 0 の排気動作によって真空外囲 1 0 内の放出ガス を排 し、 真空外囲器内を 1 0 一 5 P a 以下の高真空度に維持する。

図 9 に示すよ う に 、 磁性体 6 6 、 陰極 5 2、 および永久磁 石 5 7 によ り 閉磁路 7 1 が形成され、 永久磁石の発生磁界は 外部に漏洩する こ と なく 閉磁路を通る。

上記構成の S I P 5 0 は以下の製造方法によつて製造され る。 図 1 0 および図 1 1 に示すよ う に、 まず、 内部に陽極 5

3 、 陰極 5 2 、 および各陰極 5 2 に固定された磁性材 5 4が 配置されたポンプ容器 5 1 を、 フ リ ッ トガラス 4 0 によ り 背 面基板 1 2 に接着する。

続いて、 背面基板 1 2 、 前面基板 1 1 および側壁 1 8 によ り 内部が真空の真空外囲 1 0 を形成し、 同時に 、 ポンプ容 器 5 1 内を真空とする。 その後、 ポンプ容器 5 1 の外方に一 対の着磁コィル 6 1 を配置し、 それぞれ磁性材 5 4 に隣接対 向させる。 ·>- の状態で、 着磁コ イ ル 6 1 によ り 、 ポンプ容器

5 1 の外側から各磁性材 5 4 に電界を印加して着磁する。 こ れによ り 、 磁性材 5 4 はヽ 陰極 5 2 と直交する方向の磁場 6

5 を発生する永久磁石 5 7 と なる。 その後、 ボンプ容器 5 1 の外側に環状の磁性体 6 6 を装着する。 以上のェ程によ り 、

F E Dの真空外囲器に接 された S I P 5 0 が形成される。

上記構成の S I P 5 0 によれば、 永久磁石 5 7 はポンプ容 器 5 1 内に BXけ られ、 陰極 5 2 に隣接して配置されている。 そのため、 永久磁石をポンプ容器 5 1 の外側に設けた場合と 比較して、 永久磁石 5 7 の開口距離を短く する こ とができ る。 従って、 s I P 5 0 の排 速度を大き く でき、 排気効率を最 大にする こ とが可能と なる 。 永久磁石 5 7 をポンプ容器 5 1 の外部に設ける必要がな < 、 ポ ンプの小型化、 組立作業性の 向上を図る とができ る ポンプ容器 5 1 の外側に閉ループ状の磁性体を設け、 永久 磁石 5 7および陰極 5 2 と共同 して閉磁路 7 1 を形成する こ と によ り 、 漏洩磁界をシール ドする こ とができ る。 そのため 漏洩磁 を嫌う装置と組み合せて S I P 5 0 を使用する場合 大きな効果を発揮する。

上述した S I Pの製造方法によれば、 予めポンプ容器 5 1 内に設け られた磁性材をポンプ容 口

の外側から着磁して永久 磁石とする こ と によ り 、 小型の S I P を容易に形成する こ と が可能となる。

更に 上記 F E Dによれば、 S I P 5 0 によ り 真空外囲器

1 0 内を高い真空度に維持する こ とができ 長期間に渡って 安定した 3中¾小ロロロ位を維持する こ と が可能と なる。 この際、 S

I P 5 0 のポンプ容器 5 1 を真空外囲器 1 0 の一部によ って 形成する こ と によ り 、 例えば、 ポンプ容器を背面基板と一体 的に成形する こ と によ り 、 組立性の向上および装置全体の小 型化を図る こ とができ る。

なお、 本発明は、 上述した実施の形態に限定される も ので はな く 、 実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々 に変 形する こ とが可能である。 また、 上記実施の形態には種々の 段階の発明が含まれてお り 、 開示される複数の構成要件にお ける適宜な組み合わせによ り種々 の発明が抽出され得る。 例 えば、 実施の形態に示される全構成要件から幾つかの構成要 件が削除されても、 発明が解決しょ う とする課題の欄で述べ た課題が解決でき、 発明の効果の欄で述べられている効果が 得られる場合には、 この構成要件が削除された構成が発明と して抽出され得る

上述した実施の形態において、 ボンプ容 は 電極取り 出 し部を備えた S I P専用の容器で構成したが れに限らず、 例えば 金属で形成された真空外囲器の一部を磁性材で形成 し、 S I P のポンプ容 ^と しても よい の場合に いても、 上述した実施の形態と 同様の作用効果が得られる た 、 上 述した実施の形態では 、 閉磁路を形成する磁性体を設けたが、 こ の磁性体を省略した場合でも 、 排気効率の高い S I Ρ を得 る こ とがでさ る。 S I P の各構成要素の形状 材質等は上述 した実施の形態に限らず、 必要に応じて種々選択可能でめ 。 電子放出 子と して電界放出型の電子放出 子を用いたが、 これに限らず n型の冷陰極素子あるいは表面 導型の電 子放出素子等の他の電子放出素子を用いてあ よい

業 _Πの利用可能性

上 よ に構 R

6 の 成された S I P によれば ポンプ容 内で 陰極に隣接 して永久磁石を設ける こ と によ り 小型で排気効 率が高 < 磁界シ ル ド特性の向上したスパクタィォンポン プ、 その製造方法 よびスパ ッタイ ォンポンプを備え 、 長 期間に渡つて安定した 3¾不 0口位を維持する とが可能な画像 表示装置を提供する とがでさ る。

Claims

求 の 範 囲

1 ポンプ容器とヽ

上記ポンプ容器内に互いに対向 して配置された陰極 よぴ 陽極と 、

上記ポンプ容器内に配設され、 上記陰極と ポンプ容器内面 との間に位置した永久磁石と、 を備えたス パ ッタィォンポン プ。

2 - 上 §L永久磁 ¾は 、 上記陰極に接触または固定され ている S 求項 1 に記載のスパッタイオンポンプ。

3 • -t 5しポンプ容 は金属で形成されてい 求項 1 又は 2 に記載のスパッタィオンポンプ。

4 • 上 ポンプ容 の少なく と も一部は磁性材で形成 されている請求項 3 に記載のス ノヽ。 ッタイオンポンプ。

5 • 上記ポンプ容 は非金属で形成されている 求項

1 又は 2 !">- pd %のスパ タイオンポンプ。

q:口

6 • 上記ポンプ容 はガラスによ り形成されてレ、る實目 求項 5 に記載のスパッタィオンポンプ。

7 - 上記ポンプ容 の外側に上記永久磁石と対向 して 設け られ 、 閉磁路を形成した閉ループ状の磁性体を備えてレ、

•0 冑求項 5 に記载のスパクタイオンポンプ。

8 • ポンプ容器とヽ 上記ポンプ容器内に互いに対向 し て配置され陰極 よび陽極と、 上記ポンプ容器内に配 B れ 上記陰極と ボンプ容器内 と の間に位置した永久磁石と 、 を 備えたスパッタィォンポンプの製造方法において

上記ポンプ容器内に上記陽極、 陰極および磁性材を配置し た後、 上記ポンプ容器の外側から上記磁性材に 磁し水久磁 石とする スパッタィォンポンプの製造方法。

9 • 上 ポンプ容器内を真空に排気した状態で、 上記 磁性材に着磁する on求項 Sに記載のスパッタィォンポンプの 製造方法

1 0 • 蛍光面を有した食 U面基板と 、 この刖面基板と対向 配置されている と と もに上記蛍光 ¾を励起する複数の電子放 出源が設け られた背面基板と、 を有し内部が真空に維持され た真空外囲器と、

上記真空外囲器に接 され、 こ の真空外囲 an内部を排気す るスパクタイオンポンプと、 を備え、

上 スパッタイォンポンプは、 上記真空外囲 に接続され て ヽる と と もに内部が真空のポンプ容器と、 上記ポンプ容器 内に互いに対向 して配 された陰極および陽極と 、 上 ホノ プ容器内に配設され 、 上記陰極と ポンプ容器 面との間に位 置 した永久磁石と を備えている画像表示装置

1 1 • 上記永久磁石 ίま、 上 5己陰極に接触または固定され て ヽる 求項 1 0 に記載の画像表示装 id.

1 2 ' _fc ヽンプ容器は金属で形成されてレ、る請求 1 1 又は 1 2 に記載の画像表示装 。

1 3 • 上記 ミンプ容器の少な < と も一部は磁性材で形成 されている請求項 1 2 に記載の画像表示装置

1 4 • 上記ポンプ容器は非金属で形成されている請求項

1 1 又は 1 2 に記载の画像表示装 id

1 5 上 BGポンプ容器はガラスによ り 形成されている請 求項 1 4 に記載の画像表示装置。

1 6 • 上 ポンプ容器の外側に上記永久磁石と対向 して 設け られ 、 閉磁路を形成した閉ル プ状の磁性体を備えてい る請求項 1 4 に記載の画像表示装置 o

1 7 • 上 dポンプ容器は 、 上記背面基板の一部を成形し て形成されている と を特徴とする 5 求項 1 1 又は 1 2 に記 載の画 f象表示装置