JP2006012531A - 平面型表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】真空外囲器内を効率良く高真空度に維持することができるとともに、生産性の向上した平面型表示装置を提供する。
【解決手段】 平面型表示装置の真空外囲器10は、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板11、12を備えている。真空外囲器の内部にはスパッタイオンポンプセル34と、を備え、スパッタイオンポンプセルは、平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極36a、36bおよびこれら陰極間に配設された陽極38を有している。
【選択図】 図3
【解決手段】 平面型表示装置の真空外囲器10は、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板11、12を備えている。真空外囲器の内部にはスパッタイオンポンプセル34と、を備え、スパッタイオンポンプセルは、平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極36a、36bおよびこれら陰極間に配設された陽極38を有している。
【選択図】 図3
Description
この発明は、対向配置された2枚の基板を有する真空外囲器を備えた平面型表示装置に関する。
近年、陰極線管(以下、CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の画像表示装置として様々な平面型の画像表示装置が開発されている。このような画像表示装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などがある。
例えば、FEDやSEDは、2mm程度の間隔をおいて対向配置された第1基板および第2基板を備え、これらの基板は矩形状の枠体を介して周辺部を互いに接合することにより真空外囲器を構成している。第1基板の内面には3色の蛍光体層が形成され、第2基板の内面には、蛍光体を励起する電子放出源として、多数の電子放出素子が配列されている。第2基板側の電位はほぼアース電位であり、蛍光面にはアノード電圧が印加される。そして、第1基板と第2基板の間に印加した強電界により電子放出素子から放出された電子ビームを蛍光体スクリーンに加速衝突させて発光させることにより画像を表示している。(例えば、特許文献1)。
このようなFEDやSEDの外囲器は、高い真空特性が求められる。一般に、高い真空度を維持するため、外囲器内部にゲッタ材を配置するか、あるいは、外囲器内にゲッタ膜を形成し排気能力を付与している。
特開2002−319346号
しかしながら、化学吸着によるゲッタでは希ガスに対して排気能力が無く、外囲器内を長期間に渡って高い真空度に維持することが困難となる。このような問題を補うため、外囲器の角部外面にスパッタイオンポンプを設け、このスパッタイオンポンプにより真空外気内部を排気することが考えられる。通常、スパッタイオンポンプは、ポンプ本体を備え、このポンプ本体内には、陽極および一対の陰極が配置されている。ポンプ本体を真空外囲器の外面上に取り付け、ポンプ本体内部と真空外囲器内部とを連通している。
しかしながら、上記スパッタイオンポンプはゲッタに比べて構成が複雑であるとともに、真空外囲器の外面にポンプ本体を設ける必要があり生産性が低下するという問題がある。
この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、真空外囲器内を効率良く高真空度に維持することができるとともに、生産性の向上した平面型表示装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、この発明の態様に係る平面型表示装置は、それぞれ画像表示領域およびこの画像表示領域の外側に位置した非表示領域を有し、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板を備えた真空外囲器と、前記真空外囲器内で前記非表示領域に対向して設けられた複数のスパッタイオンポンプセルと、を備え、前記スパッタイオンポンプセルは、前記真空外囲器の周辺部に沿って並んで配置されている。
この発明の他の態様に係る平面型表示装置は、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板を備えた真空外囲器と、前記真空外囲器の内部に設けられたスパッタイオンポンプセルと、を備え、前記スパッタイオンポンプセルは、前記平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極およびこれら陰極間に配設された陽極を有している。
この発明によれば、真空外囲器内を効率良く高真空度に維持することができるとともに、生産性の向上した平面型表示装置を提供することができる。
以下図面を参照しながら、この発明を、平面型表示装置としてSEDに適用した第1の実施形態について詳細に説明する。
図1ないし図3に示すように、SEDは、平面基板として、それぞれ矩形状のガラス板からなる第1基板11および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対向配置されている。第1基板11および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された扁平な真空外囲器10を構成している。
図1ないし図3に示すように、SEDは、平面基板として、それぞれ矩形状のガラス板からなる第1基板11および第2基板12を備え、これらの基板は約1.0〜2.0mmの隙間をおいて対向配置されている。第1基板11および第2基板12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁13を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された扁平な真空外囲器10を構成している。
接合部材として機能する側壁13は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材により、第1基板11の周縁部および第2基板12の周縁部に封着され、これらの基板同士を接合している。真空外囲器10の内部には、第1基板11および第2基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、図示しない複数の支持部材が設けられている。
第1基板11の内面には蛍光面として機能する蛍光体スクリーン15が形成されている。蛍光体スクリーン15は、赤、青、緑に発光する蛍光体層、および遮光層を並べて構成されている。蛍光体スクリーン15上には、アルミニウム等からなるメタルバック16および図示しないゲッタ膜が順に形成されている。第1基板11において、蛍光体スクリーン15が形成された領域は矩形状の画像表示領域20を形成し、その周囲の領域は非表示領域21を形成している。
第1基板11の内面において、非表示領域21には例えば銀ペーストが塗布されアース電位領域26が形成されている。アース電位領域26は、第1基板11の内面に形成された高抵抗膜28を介して蛍光体スクリーン15に接続されている。
第2基板12の内面には、蛍光体スクリーン15の蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子18が設けられている。これらの電子放出素子18は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。第2基板12において、電子放出素子18が設けられている領域は矩形状の画像表示領域22を形成し、その周囲の領域は非表示領域24を形成している。
第2基板11の内面において、非表示領域24には例えば銀ペーストが塗布されアース電位領域30が形成されている。このアース電位領域30および上述した第1基板11のアース電位領域26は共にアース電位に設定されている。
上記SEDにおいて、画像を表示する場合、蛍光体スクリーン15およびメタルバック16にアノード電圧が印加され、電子放出素子18から放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体スクリーン15へ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン15の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。
真空外囲器10内の非表示領域21、24には、スパッタイオンポンプ32を構成した複数、例えば、6個のスパッタイオンポンプセル34が作り込まれている。図3に示すように、各スパッタイオンポンプセル34は、一対の陰極36a、36bおよび陰極間に配置された陽極38を有している。陰極36a、36bは、例えば、厚さ0.2mmのチタン板でそれぞれ形成されている。陰極36aは第1基板11の内面と平行に延び、アース電位領域26に接触して設けられている。これにより陰極36aはアース電位に規定されている。陰極36bは第2基板12の内面と平行に延び、陰極36aと対向して位置している。陰極36bはアース電位領域30に接触して設けられ、アース電位に規定されている。
陽極38は厚さ1mmのSUS板にΦ4の透孔40を開けて形成されている。陽極38は一対の陰極36a、36b間に配置され、これらの陰極に対して隙間を置いて対向している。これにより、一対の陰極36a、36bおよび陽極38は、第1および第2基板11、12の表面と垂直な方向に沿って、陰極、陽極、陰極の順で並んで配置されている。陽極38には、外部から1〜3kVを印加することで所望の排気能力を発揮する。
本実施形態において、6個のスパッタイオンポンプセル34は、共通の陰極および共通の陽極を用いて構成されている。図4および図5に示すように、陰極36a、36bはそれぞれ細長い矩形板状に形成され、6個分の陰極をそれぞれ構成している。また、陽極38は細長い矩形板状に形成され、6個の透孔40が板の長手方向に並んで形成されている。陽極38の長手方向一端には、タブ42が突設されている。
一対の陰極36a、36bは間に陽極38を挟んで平行に対向配置されている。陰極36aと陽極38とは、複数の板状のスペーサ44aを介して無機接着剤により接着されている。陰極36bと陽極38とは、複数の板状のスペーサ44bを介して無機接着剤により接着されている。スペーサ44aは、各透孔40の両側に配置されている。同様に、スペーサ44bは、各透孔40の両側に配置されている。スペーサ44a、44bは、アルミナ等の絶縁物で形成されている。これにより、6個のスパッタイオンポンプセル34は、1つのセルアッセンブリとして構成されている。
図4および図5において、スペーサ44a、44bは模式的に陽極38の透孔40近傍に位置するように示されているが、実際にはスパッタリングされるチタンによるショートを防ぐため、透孔40から1〜5mm程度の距離を置いて設けられている。セルアッセンブリは、真空外囲器10を構成する第1基板11および第2基板12のいずれかに接着され、タブ42を介して陽極電位規定できるように組立てられている。
スパッタイオンポンプ32は、第1および第2基板11、12の表面と垂直な方向に沿って陰極36a、36bおよび陽極38に磁界48を印加する磁界印加部46を備えている。磁界印加部46は、陰極36aと対向して第1基板11の外面側に設けられた磁石50a、陰極36bと対向して第2基板12の外面側に設けられた磁石50b、およびこれらの磁石を磁気的に接続した磁性体52を備えている。
上記構成のスパッタイオンポンプ32によれば、磁界48を印加した状態で、陽極38に高電圧を印加すると、真空外囲器10中の分子が電離し、電子が陽極38方向に引き寄せられる。電子は、直交する磁界48により陽極38に向かおうとしても螺旋運動をしてしまい、陽極38の透孔40内部に滞在した状態となる。この滞在した電子は、透孔40の他の分子、例えば、稀ガスに衝突し、稀ガス分子を電離させる。電離した稀ガスイオンは陰極36a、36bに引き寄せられる。この際、稀ガスイオンは、磁界48と方向があまり変わらず、かつ、重量が重いことから、透孔40内に滞在することなく陰極36a、36bに衝突し陰極内部に埋め込まれる。チタンなどのゲッタ材で構成された陰極36a、36bは、稀ガスイオンの衝突によりスパッタリングされ、対向する陰極や陽極に飛散して稀ガスの埋め込みを促進するとともに化学吸着による排気能力を発揮する。このような作用によりスパッタイオンポンプ32は稀ガス排気能力を発揮する。
以上のように構成されたSEDによれば、スパッタイオンポンプセル34を真空外囲器10内部に埋め込んで配置することにより、真空外囲器から外方に突出するポンプ室を無くすことができる。これにより、真空外囲器内を効率良く高真空度に維持することができるとともに、SEDの生産性を向上することができる。また、装置全体を一層薄型化することが可能となる。
スパッタイオンポンプ32を構成した複数のスパッタイオンポンプセル34は、真空外囲器10内で非表示領域に対向して設けられ、真空外囲器の周辺部に沿って並んで配置されている。そのため、スパッタイオンポンプ31の排気能力を最大限に発揮することができる。また、このような配置にすると、スパッタイオンポンプセル34は、主な脱ガス源である画像表示領域20、22に対して最大の開口面積を確保することができ、薄い外囲器10内部に作り込んだ場合でもスパッタイオンポンプ32の排気能力劣化を補うことができる。
更に、真空外囲器10のアース電位領域26、30に積層するように陽極38および陰極36a、36bを挟んで配置することにより、薄い外囲器10を挟んで磁石50a、50bを配置することが可能となる。従って、磁界48を強力にすることができ、同時に、陰極36a、36bの電位供給を簡易化することができる。
なお、上述した実施形態では、複数のスパッタイオンポンプセルを1つのアッセンブリとして構成し組立性の向上、構成の簡素化を図っているが、ぞれぞれ独立したセルとして構成してもよい。また、基本的なスパッタイオンポンプを示したが、陰極に凸凹やポストを配置したり、あるいは、陰極の外側にコレクタ電極を配置した構成としてもよい。
次に、この発明の第2の実施形態に係るSEDについて説明する。図6に示すように、本実施形態によれば、真空外囲器10の画像表示領域20、24を取り囲むように非表示領域21、24の全周に渡って複数のスパッタイオンポンプセル34が並んで配置されている。各スパッタイオンポンプセル34の構成は前述した第1の実施形態と同一である。また、スパッタイオンポンプ32は、磁石および磁性体を有した磁界印加部を備えている。第2の実施形態において、他の構成は前述した第1の実施形態と同一であり、同一の部部には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。
第2の実施形態においても、第1の実施形態と同様の作用効果を得ることができる。更に、第2の実施形態によれば、画像表示領域20、22から放出されるガスがスパッタイオンポンプ31に最も効率よく排気することがきできる。
本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
スパッタイオンポンプの磁界印加部は、一対の陰極に対向した一対の磁石を備えている構成に限定されない。例えば、図7に示す第3の実施形態のように、磁界印加部46は、少なくとも一方の陰極、例えば、陰極36bと対向した1つの磁石50のみを備えた構成としてもよい。この場合、表示面側に位置した第1基板11周縁部において、装置の額縁部分を薄く形成することが可能となる。
図8に示す第4の実施形態のように、スパッタイオンポンプセル34の陰極36a、36bは、基板11、12の非表示領域21、24に予め成膜したTi等の薄膜によって構成してもよい。この場合、スパッタイオンポンプ32のアセンブリから陰極部品を削除することができ、製造コストを削減することができる。
また、この発明は、上述したSEDに限らず、電子源として電界放出型、カーボンナノチューブ等の他の電子源を用いた平面型表示装置等の他の平面型表示装置にも適用可能である。
また、この発明は、上述したSEDに限らず、電子源として電界放出型、カーボンナノチューブ等の他の電子源を用いた平面型表示装置等の他の平面型表示装置にも適用可能である。
10…真空外囲器、 11…第1基板、 12…第2基板、 13…側壁、
15…蛍光体スクリーン、 18…電子放出素子、 20、22…画像表示領域、
21、24…非表示領域、 26、30…アース電位領域、
32…スパッタイオンポンプ、 34…スパッタイオンポンプセル、
36a、36b…陰極、 38…陽極、 46…磁界印加部
15…蛍光体スクリーン、 18…電子放出素子、 20、22…画像表示領域、
21、24…非表示領域、 26、30…アース電位領域、
32…スパッタイオンポンプ、 34…スパッタイオンポンプセル、
36a、36b…陰極、 38…陽極、 46…磁界印加部
Claims (10)
- それぞれ画像表示領域およびこの画像表示領域の外側に位置した非表示領域を有し、隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板を備えた真空外囲器と、
前記真空外囲器内で前記非表示領域に対向して設けられた複数のスパッタイオンポンプセルと、を備え、前記スパッタイオンポンプセルは、前記真空外囲器の周辺部に沿って並んで配置されている平面型表示装置。 - 前記スパッタイオンポンプセルは、前記平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極およびこれら陰極間に配設された陽極を有し、前記複数のスパッタイオンポンプセルの各陰極は、共通の電極板により形成され、前記陽極は、前記スパッタイオンポンプセルの数に対応した数の透孔が形成された共通の電極板により形成されている請求項1に記載の平面型表示装置。
- 隙間を置いて対向配置されているとともに周縁部同士が接合された2枚の平面基板を備えた真空外囲器と、
前記真空外囲器の内部に設けられたスパッタイオンポンプセルと、を備え、
前記スパッタイオンポンプセルは、前記平面基板の表面と垂直な方向に沿って順に配設された一対の陰極およびこれら陰極間に配設された陽極を有している平面型表示装置。 - 前記スパッタイオンポンプセルは、前記平面基板の表面と垂直な方向に沿って前記陰極および陽極に磁界を印加する磁界印加部を備えている請求項3に記載の平面型表示装置。
- 前記磁界印加部は、前記少なくとも一方の陰極と対向して前記平面基板の外面側に設けられた磁石と、前記磁石と他方の陰極とを磁気的に接続した磁性体と、を備えている請求項4に記載の平面型表示装置。
- 前記2枚の平面基板は、画像表示領域、この画像表示領域の外側に位置した非表示領域、および前記非表示領域で平面基板の内面に形成されたアース電位領域をそれぞれ有し、前記スパッタイオンポンプセルは前記アース電位領域に配置されている請求項3記載の平面型表示装置。
- 前記スパッタイオンポンプセルの少なくとも一方の陰極は、前記平面基板のアース電位領域に接触して設けられ、このアース電位領域から電位供給を受けている請求項6に記載の平面型表示装置。
- 前記スパッタイオンポンプセルの2つの陰極は、前記2枚の平面基板のアース電位領域にそれぞれ接触して設けられている請求項6に記載の平面型表示装置。
- 前記一対の陰極は、前記2枚の平面基板の内面にそれぞれ成膜された薄膜により構成されている請求項3に記載の平面型表示装置。
- 前記一方の平面基板の内面上に設けられた蛍光体層と、他方の平面基板の内面上に設けられ前記蛍光体層に電子を放出する複数の電子放出素子と、を備えている請求項1ないし9のいずれか1項に記載の平面型表示装置。
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