WO2006006470A1 - 画像表示装置 - Google Patents

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WO2006006470A1
WO2006006470A1 PCT/JP2005/012496 JP2005012496W WO2006006470A1 WO 2006006470 A1 WO2006006470 A1 WO 2006006470A1 JP 2005012496 W JP2005012496 W JP 2005012496W WO 2006006470 A1 WO2006006470 A1 WO 2006006470A1
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grid unit
grid
display device
image display
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PCT/JP2005/012496
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French (fr)
Inventor
Nobuyuki Aoyama
Sachiko Hirahara
Satoshi Ishikawa
Satoko Oyaizu
Kentaro Shimayama
Ken Takahashi
Original Assignee
Kabushiki Kaisha Toshiba
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02Main electrodes
    • H01J1/30Cold cathodes, e.g. field-emissive cathode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/123Flat display tubes
    • H01J31/125Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection
    • H01J31/127Flat display tubes provided with control means permitting the electron beam to reach selected parts of the screen, e.g. digital selection using large area or array sources, i.e. essentially a source for each pixel group
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/06Screens for shielding; Masks interposed in the electron stream
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/864Spacers between faceplate and backplate of flat panel cathode ray tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen

Definitions

  • the present invention relates to an image display device including substrates disposed opposite to each other and spacers disposed between the substrates.
  • CTRs cathode ray tubes
  • SED surface conduction electron-emitting device
  • FED field emission device
  • This SED includes a first substrate and a second substrate arranged to face each other at a predetermined interval, and these substrates are joined together with peripheral portions through rectangular side walls to form a vacuum envelope. Is configured.
  • a phosphor layer of three colors is formed on the inner surface of the first substrate, and on the inner surface of the second substrate, a large number of electron emitting elements corresponding to each pixel are arranged as an electron emission source for exciting the phosphor. Yes.
  • a plurality of spacers are arranged between the two substrates. For example, according to the apparatus disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No.
  • a support substrate is provided between the first substrate and the second substrate, and a plurality of spacers are erected on the support substrate. It has been done.
  • the support substrate is formed with a plurality of electron beam passage holes through which electron beams emitted by the electron-emitting device force pass.
  • an anode voltage is applied to the phosphor layer, and the electron-emitting device force is accelerated by the anode voltage to collide with the phosphor layer.
  • the phosphor emits light and displays an image.
  • the anode voltage is preferably a high voltage.
  • the gap is set to a relatively small value of about 1 to 2 mm from the viewpoints of resolution, support member characteristics, and manufacturability.
  • the present invention has been made in view of the above points, and an object of the present invention is to provide an image display device that suppresses the occurrence of discharge and has improved reliability and display quality.
  • an image display device includes a first substrate on which a phosphor screen is formed, a first substrate and a counter substrate with a gap therebetween, and the phosphor.
  • a second substrate provided with a plurality of electron emission sources for exciting the surface, and a plurality of spacers provided between the first and second substrates for supporting an atmospheric pressure load acting on the first and second substrates.
  • a grid unit provided between the spacer and the second substrate, each of the grid units having a plurality of electron beam passage holes facing the electron emission source, (2) A plate-like grid that is arranged opposite to the substrate and to which a predetermined voltage is applied, a first insulating layer that covers an outer surface of the grid, and a space between the first insulating layer and the second substrate. A conductive layer provided and connected to a ground potential; Overlaid is formed, and a, a second insulating layer disposed between the conductive layer and the second substrate.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an SED according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view of the SED broken along the line II II in FIG.
  • FIG. 3 is an enlarged sectional view showing the SED.
  • FIG. 4 is a plan view showing the grid unit of the SED.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view showing an SED according to a second embodiment of the present invention.
  • the present invention is suitable for SED as a flat-type image display device.
  • the first embodiment used will be described in detail.
  • the SED includes a first substrate 11 and a second substrate 12 each made of a rectangular glass plate, and these substrates have a gap of about 1.0 to 2. Omm. Opposed.
  • the first substrate 11 and the second substrate 12 constitute a flat vacuum envelope 10 whose peripheral portions are joined to each other through a rectangular frame-shaped side wall 13 made of glass and the inside is maintained in a vacuum. .
  • a phosphor screen 16 that functions as a phosphor screen is formed on the inner surface of the first substrate 11.
  • the phosphor screen 16 is configured by arranging phosphor layers R, G, B, and a light shielding layer 15 that emit red, blue, and green, and these phosphor layers are formed in stripes, dots, or rectangles. ing.
  • a metal back 17 and a getter film 19, which also have aluminum isotropic force, are formed in this order.
  • a number of surface-conduction electron-emitting devices that emit electron beams as electron-emitting sources that excite the phosphor layers R, G, and B of the phosphor screen 16 are provided. Is provided.
  • the electron-emitting devices 18 are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows corresponding to each pixel. Each electron-emitting device 18 includes an electron emitting portion (not shown) and a pair of device electrodes for applying a voltage to the electron emitting portion.
  • a large number of wirings 21 for driving the electron-emitting devices 18 are provided in a matrix shape, and the end portions thereof are drawn out of the vacuum envelope 10.
  • the side wall 13 functioning as a bonding member is sealed to the peripheral edge of the first substrate 11 and the peripheral edge of the second substrate 12 by a sealing material 20 such as low melting glass or low melting metal, for example.
  • a sealing material 20 such as low melting glass or low melting metal, for example.
  • the SED includes the spacer structure 22 disposed between the first substrate 11 and the second substrate 12, and the spacer structure and the second substrate.
  • a grid unit 40 is provided between them.
  • the spacer structure 22 includes a support substrate 24 that is a rectangular metal plate force, and a number of columnar spacers 30 that stand integrally on one surface of the support substrate. is doing.
  • the support substrate 24 is formed in a rectangular shape having a size almost equal to that of the phosphor screen 16.
  • the support substrate 24 is a first surface 24a facing the inner surface of the first substrate 11 and
  • the second substrate 12 has a second surface 24b opposite to the inner surface of the second substrate 12, and is disposed in parallel with these substrates.
  • a large number of electron beam passage holes 26 are formed in the support substrate 24 by etching or the like.
  • the electron beam passage apertures 26 are respectively arranged to face the electron emission elements 18 and transmit the electron beams emitted from the electron emission elements.
  • the support substrate 24 is formed to have a thickness of 0.1 to 0.25 mm using, for example, an iron-nickel metal plate, and the electron beam passage hole 26 is, for example, 0.15 to 0.25 mm X O. It is formed in a 15 to 0.25 mm rectangular shape.
  • a high resistance film 32 is formed on the surface of the support substrate 24 by applying and baking an insulating material mainly composed of glass, ceramic or the like as an insulating layer.
  • the first and second surfaces 24a and 24b of the support substrate 24 and the inner wall surfaces of the electron beam passage holes 26 have a thickness of about 10 ⁇ m made of Li-based alkali borosilicate glass. It is covered with a high resistance film 32.
  • the support substrate 24 is provided with the first surface 24 a in surface contact with the inner surface of the first substrate 11 via the getter film 19, the metal back 17, and the phosphor screen 16.
  • the electron beam passage holes 26 provided in the support substrate 24 have a predetermined pitch along the X direction.
  • the Y direction is arranged at a pitch larger than the X direction.
  • the phosphor layers R, G, B of the phosphor screen 16 formed on the first substrate 11 and the electron-emitting devices 18 on the second substrate 12 have electron beam passage holes in the X direction and the Y direction, respectively. They are arranged at the same pitch as 26, and each face the electron beam passage hole. Thus, each electron-emitting device 18 is opposed to the corresponding phosphor layer through the electron beam passage hole 26.
  • Spacers 30 are erected on the second surface 24 b of the support substrate 24 and are positioned between the electron beam passage holes 26 aligned in the Y direction.
  • the extended end of the spacer 30 is in contact with the grid unit 40 described later.
  • Each of the spacers 30 is formed in a tapered shape having a diameter that decreases from the support substrate 24 side toward the extending end.
  • the cross section of the spacer 30 along the direction parallel to the grid surface is formed in an approximately elliptical shape.
  • the spacer structure 22 configured as described above is disposed between the first substrate 11 and the second substrate 12.
  • the support substrate 24 is in surface contact with the first substrate 11,
  • the extended end of the spacer 30 abuts against the second substrate 12 via the grid unit 40, thereby supporting the atmospheric pressure load acting on these substrates and maintaining the predetermined distance between the substrates. .
  • the grid unit 40 is provided between the spacer 30 and the second substrate 12.
  • the grid unit 40 includes a grid 42 formed in a rectangular plate shape having a size almost equal to that of the phosphor screen 16.
  • the grid 42 has both surfaces facing the inner surface of the first substrate 11 and the inner surface of the second substrate 12, and is arranged in parallel with these substrates.
  • a number of electron beam passage holes 44 are formed in the grid 42 by etching or the like.
  • the electron beam passage holes 44 are arranged at a predetermined pitch along the X direction, and the Y direction is arranged at a pitch larger than the pitch in the X direction.
  • the electron beam passage holes 44 are respectively arranged to face the electron emitting elements 18 and transmit the electron beams emitted from the electron emitting elements.
  • the grid 42 is formed of, for example, an iron-nickel metal plate with a thickness of 0.1 to 0.25 mm, and the electron beam passage hole 44 is formed in a rectangular shape.
  • the surface of the grid 42 including the inner surface of the electron beam passage hole 44 is covered with a first insulating layer 46 having a thickness of about 10 / zm.
  • the first insulating layer 46 is formed by applying and baking an insulating material mainly composed of glass, ceramic or the like, for example, Li-based Al-force borosilicate glass.
  • a conductive layer 48 having a metal force such as aluminum, copper, silver or the like is formed so as to overlap the first insulating layer 46.
  • the conductive layer 48 is formed on the entire surface of the grid 42 except for the electron beam passage hole 44.
  • the conductive layers 48 are each formed in a stripe-shaped conductive layer extending in the X direction, and are located between electron beam passage holes arranged in the Y direction.
  • a second insulating layer 50 is formed on the surface of the grid 42 on the second substrate 12 side so as to overlap the conductive layer 48.
  • the second insulating layer 50 is formed by applying and baking an insulating material mainly composed of glass, ceramic or the like, for example, Li-based alkali borosilicate glass.
  • another conductive layer 52 made of a metal such as aluminum, copper, or silver is formed so as to overlap the first insulating layer 46.
  • the conductive layer 52 is formed on one entire surface of the grid 42 except for the electron beam passage hole 44.
  • the electric layers 52 are each formed in a stripe-like conductive layer extending in the X direction, and are located between electron beam passage holes arranged in the Y direction.
  • the conductive layer 52 and the conductive layer 48 are formed by screen printing, vapor deposition, sputtering, CVD, or the like.
  • a third insulating layer 54 is formed on the surface of the grid 42 on the first substrate 11 side so as to overlap the conductive layer 52.
  • the third insulating layer 54 is formed by applying and baking an insulating material mainly composed of glass, ceramic, etc., for example, Li-based alkali borosilicate glass.
  • the grid unit 40 configured as described above is provided on the second substrate with the second insulating layer 50 in contact with the inner surface of the second substrate 12.
  • the electron beam passage holes 44 of the grid unit 40 face the corresponding electron-emitting devices 18.
  • the grid dot 40 is disposed on the wiring 21 formed on the second substrate.
  • a slight gap for example, a gap of about 20 / zm is formed between the insulating layer 50 and the inner surface of the second substrate 12. This gap is formed to be 50% or less with respect to the hole diameter of the electron beam passage hole 44.
  • the wiring 21 functions as a gap defining member that defines a gap between the grid unit 40 and the second substrate 12.
  • the plurality of spacers 30 constituting the spacer structure 22 are in contact with the third insulating layer 54 of the grid unit 40 between the electron beam passage holes 44. As a result, the grid 40 is sandwiched between the spacer 30 and the second substrate 12.
  • the SED includes a voltage supply unit that applies a voltage to the grid unit 40 and the metal back 17 of the first substrate 11.
  • the voltage supply unit includes a first power source 60a that applies a high voltage of, for example, about 8 kV to the metal back 17, and a second power source 60b that applies, for example, a voltage of about lkV to the grid 42 and the conductive layer 52 of the grid unit 40. ,have.
  • the conductive layer 48 located between the grid 42 and the second substrate 12 and the second substrate 12 are connected to the ground potential.
  • the electron beam emitted from the electron-emitting device 18 is accelerated by the anode voltage applied to the phosphor screen 16 and the metal back 17 and collides with the phosphor screen 16.
  • the phosphor layer of the phosphor screen 16 is excited to emit light and display an image.
  • the grid 42 to which a voltage is applied functions as an extraction electrode for extracting an electron beam from the electron-emitting device 18.
  • Voltage The applied conductive layer 52 on the first substrate 11 side has a function of converging the electron beam passing through the electron beam passage hole 44 toward the phosphor layer.
  • the grid unit 40 having the grid 42 and the conductive layer 48 is provided on the inner surface of the second substrate 12, and a predetermined voltage is applied to the grid 42.
  • the conductive layer 48 located between the grid and the second substrate is connected to the ground potential. Therefore, the electric field generated on the inner surface of the second substrate 12 by the grid unit 40 can be reduced to almost zero, that is, 0 VZm, and the occurrence of discharge (creeping discharge) can be suppressed. As a result, SEDs with improved reliability and display quality can be provided.
  • the grid 42 is provided in the vicinity of the electron-emitting device 18, and also functions as an extraction electrode. Therefore, the electron beam can be emitted efficiently. Further, the grid unit 40 has another conductive layer 52 provided on the first substrate 11 side, and by applying a voltage to this conductive layer, the convergence of the electron beam with respect to the phosphor layer is improved. It becomes possible. From the above, SED with further improved display quality can be obtained.
  • the grid unit 40 includes a grid 42, a first insulating layer 46, a conductive layer 48, and a second insulating layer 50, and is provided on the first substrate 1 side.
  • the conductive layer and the third insulating layer are omitted.
  • the grid 42 is provided on the second substrate 12 with the first insulating layer 46, the conductive layer 48 and the second insulating layer 50 interposed therebetween.
  • the grid 42 is connected to the second power source 60b, and the conductive layer 48 is connected to the ground potential.
  • each spacer 30 is in contact with the first insulating layer 46 of the grid unit 40 between the adjacent electron beam passage holes 44, and the other end is connected through the getter film 19, the metal back 17, and the light shielding layer 15. 1 is in contact with the inner surface of the substrate 11.
  • the spacer 30 supports the atmospheric pressure load acting on the first substrate 11 and the second substrate 12, and maintains the interval between the substrates at a predetermined value.
  • the grid unit 40 having the grid 42 and the conductive layer 48 is provided on the inner surface of the second substrate 12, and a predetermined voltage is applied to the grid 42.
  • the conductive layer 48 located between the first substrate and the second substrate is connected to the ground potential. For this reason, the electric field generated on the inner surface of the second substrate 12 by the grid unit 40 can be reduced, and the occurrence of discharge can be suppressed.
  • the grid 42 is provided in the vicinity of the electron-emitting device 18 and also functions as an extraction electrode. As a result, SEDs with improved reliability and display quality can be provided.
  • the present invention is not limited to the above-described embodiments as they are, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the spirit of the invention in the implementation stage.
  • Various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the above embodiments. For example, some components such as all the components shown in the embodiment may be deleted. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.
  • the gap defining member that defines the gap between the second substrate and the grid unit is configured by the wiring on the second substrate. You may comprise.
  • the diameter and height of the spacer, the dimensions of other components, the material, the voltage applied to the grid, and the like can be selected as appropriate without being limited to the above-described embodiment.
  • the present invention is not limited to the use of a surface conduction electron-emitting device as an electron source, but can also be applied to an image display device using another electron source such as a field emission type or a carbon nanotube. Sex

Landscapes

  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)

Description

画像表示装置
技術分野
[0001] この発明は、対向配置された基板と、基板間に配設されたスぺーサとを備えた画像 表示装置に関する。
背景技術
[0002] 近年、陰極線管(以下、 CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置と して様々な平面型の画像表示装置が注目されている。例えば、平面表示装置として 機能するフィールド'ェミッション 'デバイス(以下、 FEDと称する)の一種として、表面 伝導型電子放出装置(以下、 SEDと称する)の開発が進められている。
[0003] この SEDは、所定の間隔をおいて対向配置された第 1基板および第 2基板を備え 、これらの基板は矩形状の側壁を介して周辺部を互いに接合することにより真空外囲 器を構成している。第 1基板の内面には 3色の蛍光体層が形成され、第 2基板の内面 には、蛍光体を励起する電子放出源として、各画素に対応する多数の電子放出素 子が配列されている。第 1基板および第 2基板間に作用する大気圧荷重を支持し基 板間の隙間を維持するため、両基板間には、複数のスぺーサが配置されている。例 えば、特開 2002— 082850号公報に開示された装置によれば、第 1基板と第 2基板 との間には支持基板が設けられ、複数のスぺーサはこの支持基板上に立設されてい る。支持基板には、それぞれ電子放出素子力 放出された電子ビームが通過する複 数の電子ビーム通過孔が形成されて 、る。
[0004] 上記 SEDにお ヽて、画像を表示する場合、蛍光体層にアノード電圧が印加され、 電子放出素子力 放出された電子ビームをアノード電圧により加速して蛍光体層へ 衝突させることにより、蛍光体が発光して画像を表示する。実用的な表示特性を得る ためには、通常の陰極線管と同様の蛍光体を用い、アノード電圧を数 kV以上望まし くは 5kV以上に設定することが必要となる。
[0005] 上記構成の SEDにおいて、表示画像の輝度はアノード電圧に依存するため、この アノード電圧は高電圧であることが望ましい。しカゝしながら、第 1基板と第 2基板との間 の隙間は、解像度や支持部材の特性、製造性などの観点から、 l〜2mm程度と比較 的小さく設定される。高電圧を印加した場合、第 1基板と第 2基板との小さい隙間に 強電界が形成されることを避けられず、両基板間の放電 (絶縁破壊)が起き易くなる。 放電が起こると、電子放出素子や蛍光面、第 1基板上の配線の破壊あるいは劣化が 引き起こされる可能性がある。このような不良発生につながる放電は製品として望まし くない。
発明の開示
[0006] この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、放電の発生を抑制し、 信頼性および表示品位の向上した画像表示装置を提供することにある。
[0007] 前記目的を達成するため、この発明の態様に係る画像表示装置は、蛍光面が形成 された第 1基板と、前記第 1基板と隙間を置いて対向配置されているとともに前記蛍 光面を励起する複数の電子放出源が設けられた第 2基板と、前記第 1および第 2基 板の間に設けられ前記第 1および第 2基板に作用する大気圧荷重を支持する複数の スぺーサと、前記スぺーサと第 2基板との間に設けられたグリッドユニットと、を備え、 前記グリッドユニットは、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通 過孔を有し、前記第 2基板と対向配置されているとともに、所定の電圧が印加される 板状のグリッドと、前記グリッドの外面を覆った第 1絶縁層と、前記第 1絶縁層と第 2基 板との間に設けられ、接地電位に接続された導電層と、前記導電層に重ねて形成さ れ、前記導電層と第 2基板との間に位置した第 2絶縁層と、を有している。
図面の簡単な説明
[0008] [図 1]図 1は、この発明の第 1の実施形態に係る SEDを示す斜視図。
[図 2]図 2は、図 1の線 II IIに沿って破断した前記 SEDの斜視図。
[図 3]図 3は、前記 SEDを拡大して示す断面図。
[図 4]図 4は、前記 SEDのグリッドユニットを示す平面図。
[図 5]図 5は、この発明の第 2の実施形態に係る SEDを示す断面図。
発明を実施するための最良の形態
[0009] 以下図面を参照しながら、この発明を、平面型の画像表示装置としての SEDに適 用した第 1の実施形態について詳細に説明する。
図 1ないし図 3に示すように、 SEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる第 1基板 11および第 2基板 12を備え、これらの基板は約 1. 0〜2. Ommの隙間をおいて対向 配置されている。第 1基板 11および第 2基板 12は、ガラスからなる矩形枠状の側壁 1 3を介して周縁部同士が接合され、内部が真空に維持された扁平な真空外囲器 10 を構成している。
[0010] 第 1基板 11の内面には蛍光面として機能する蛍光体スクリーン 16が形成されてい る。蛍光体スクリーン 16は、赤、青、緑に発光する蛍光体層 R、 G、 B、および遮光層 15を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状、ドット状あるいは矩形状に形 成されている。蛍光体スクリーン 16上には、アルミニウム等力もなるメタルバック 17お よびゲッタ膜 19が順に形成されている。
[0011] 第 2基板 12の内面には、蛍光体スクリーン 16の蛍光体層 R、 G、 Bを励起する電子 放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子 1 8が設けられている。電子放出素子 18は、画素毎に対応して複数列および複数行に 配列されている。各電子放出素子 18は、図示しない電子放出部、この電子放出部に 電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。第 2基板 12の内面上には、 電子放出素子 18を駆動する多数本の配線 21がマトリック状に設けられ、その端部は 真空外囲器 10の外部に引出されている。
[0012] 接合部材として機能する側壁 13は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着 材 20により、第 1基板 11の周縁部および第 2基板 12の周縁部に封着され、これらの 基板同士を接合している。
[0013] 図 2および図 3に示すように、 SEDは、第 1基板 11および第 2基板 12の間に配設さ れたスぺーサ構体 22、およびスぺーサ構体と第 2基板との間に配設されたグリッドュ ニット 40を備えている。本実施形態において、スぺーサ構体 22は、矩形状の金属板 力 なる支持基板 24と、支持基板の一方の表面に一体的に立設された多数の柱状 のスぺーサ 30と、を有している。
[0014] 詳細に述べると、支持基板 24は蛍光体スクリーン 16とほぼ等しい大きさの矩形状 に形成されている。支持基板 24は第 1基板 11の内面と対向した第 1表面 24aおよび 第 2基板 12の内面と対向した第 2表面 24bを有し、これらの基板と平行に配置されて いる。支持基板 24には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔 26が形成され ている。電子ビーム通過孔 26は、それぞれ電子放出素子 18と対向して配列され、電 子放出素子から放出された電子ビームを透過する。
[0015] 支持基板 24は、例えば鉄—ニッケル系の金属板により厚さ 0. 1〜0. 25mmに形 成され、電子ビーム通過孔 26は、例えば、 0. 15〜0. 25mm X O. 15〜0. 25mm の矩形状に形成されている。支持基板 24の表面には、絶縁層として、ガラス、セラミ ック等を主成分とした絶縁性物質を塗布、焼成した高抵抗膜 32が形成されて 、る。 本実施形態によれば、支持基板 24の第 1および第 2表面 24a、 24bおよび各電子ビ ーム通過孔 26の内壁面は、 Li系のアルカリホウ珪酸ガラスからなる厚さ約 10 μ mの 高抵抗膜 32により被覆されている。支持基板 24は、第 1表面 24aが、ゲッタ膜 19、メ タルバック 17、蛍光体スクリーン 16を介して、第 1基板 11の内面に面接触した状態 で設けられている。
[0016] 第 1基板 11および第 2基板 12の長手方向を X、幅方向を Yとした場合、支持基板 2 4に設けられた電子ビーム通過孔 26は、 X方向に沿って所定のピッチで配列され、ま た、 Y方向については、 X方向のピッチよりも大きなピッチで配列されている。第 1基 板 11に形成された蛍光体スクリーン 16の蛍光体層 R、 G、 B、および第 2基板 12上の 電子放出素子 18は、 X方向および Y方向につ 、てそれぞれ電子ビーム通過孔 26と 同一のピッチで配列され、それぞれ電子ビーム通過孔と対向している。これにより、 各電子放出素子 18は、電子ビーム通過孔 26を通して、対応する蛍光体層と対向し ている。
[0017] 支持基板 24の第 2表面 24b上にはスぺーサ 30がー体的に立設され、それぞれ Y 方向に並んだ電子ビーム通過孔 26間に位置している。スぺーサ 30の延出端は、後 述するグリッドユニット 40に当接している。スぺーサ 30の各々は、支持基板 24側から 延出端に向力つて径が小さくなつた先細テーパ状に形成されている。グリッド表面と 平行な方向に沿ったスぺーサ 30の断面は、ほぼ楕円形に形成されている。
[0018] 上記のように構成されたスぺーサ構体 22は第 1基板 11および第 2基板 12間に配 設されている。そして、スぺーサ構体 22は、支持基板 24が第 1基板 11に面接触し、 スぺーサ 30の延出端がグリッドユニット 40を介して第 2基板 12に当接することにより、 これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持してい る。
[0019] 図 2ないし図 4に示すように、グリッドユニット 40は、スぺーサ 30と第 2基板 12との間 に設けられている。グリッドユニット 40は、蛍光体スクリーン 16とほぼ等しい大きさの 矩形板状に形成されたグリッド 42を備えている。グリッド 42は第 1基板 11の内面およ び第 2基板 12の内面と対向した両表面を有し、これらの基板と平行に配置されてい る。グリッド 42には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔 44が形成されてい る。電子ビーム通過孔 44は、 X方向に沿って所定のピッチで配列され、また、 Y方向 については、 X方向のピッチよりも大きなピッチで配列されている。電子ビーム通過孔 44は、それぞれ電子放出素子 18と対向して配列され、電子放出素子から放出され た電子ビームを透過する。
[0020] グリッド 42は、例えば鉄—ニッケル系の金属板により厚さ 0. 1〜0. 25mmに形成さ れ、電子ビーム通過孔 44は矩形状に形成されている。電子ビーム通過孔 44の内面 を含むグリッド 42の表面は、厚さ約 10 /z mの第 1絶縁層 46により被覆されている。第 1絶縁層 46は、ガラス、セラミック等を主成分とした絶縁性物質、例えば Li系のアル力 リホウ珪酸ガラスを塗布、焼成して形成されている。
[0021] グリッド 42の第 2基板 12側の表面には、アルミ、銅、銀等の金属力もなる導電層 48 が第 1絶縁層 46に重ねて形成されている。導電層 48は、電子ビーム通過孔 44を除 いて、グリッド 42表面全体に形成されている。本実施形態において、導電層 48は、そ れぞれ X方向に延びたストライプ状の導電層に形成され、 Y方向に並んだ電子ビー ム通過孔間に位置している。
[0022] グリッド 42の第 2基板 12側の表面には、導電層 48に重ねて第 2絶縁層 50が形成さ れている。第 2絶縁層 50は、ガラス、セラミック等を主成分とした絶縁性物質、例えば Li系のアルカリホウ珪酸ガラスを塗布、焼成して形成されて 、る
グリッド 42の第 1基板 11側の表面には、アルミ、銅、銀等の金属からなる他の導電 層 52が第 1絶縁層 46に重ねて形成されている。導電層 52は、電子ビーム通過孔 44 を除いてグリッド 42の一方の表面全体に形成されている。本実施形態において、導 電層 52は、それぞれ X方向に延びたストライプ状の導電層に形成され、 Y方向に並 んだ電子ビーム通過孔間に位置している。導電層 52および導電層 48はスクリーン印 刷、蒸着、スパッタ、 CVD等により形成する。
[0023] グリッド 42の第 1基板 11側の表面には、導電層 52に重ねて第 3絶縁層 54が形成さ れている。第 3絶縁層 54は、ガラス、セラミック等を主成分とした絶縁性物質、例えば Li系のアルカリホウ珪酸ガラスを塗布、焼成して形成されて 、る
このように構成されたグリッドユニット 40は、第 2絶縁層 50が第 2基板 12の内面に当 接した状態で第 2基板上に設けられて 、る。グリッドユニット 40の電子ビーム通過孔 4 4はそれぞれ対応する電子放出素子 18と対向している。本実施形態において、グリツ ドュ-ット 40は第 2基板上に形成されて!ヽる配線 21上に重ねて配設されて!/ヽる。これ により、絶縁層 50と第 2基板 12内面との間には僅かな隙間、例えば、約 20 /z mの隙 間が形成されている。この隙間は、電子ビーム通過孔 44の孔径に対して、 50%以下 に形成されている。また、配線 21は、グリッドユニット 40と第 2基板 12との間に隙間を 規定した隙間規定部材として機能して 、る。
[0024] スぺーサ構体 22を構成した複数のスぺーサ 30は、それぞれ電子ビーム通過孔 44 の間でグリッドユニット 40の第 3絶縁層 54に当接している。これにより、グリッドュ-ッ ト 40は、スぺーサ 30と第 2基板 12との間に挟持されている。
[0025] SEDは、グリッドユニット 40および第 1基板 11のメタルバック 17に電圧を印加する 電圧供給部を備えている。この電圧供給部は、メタルバック 17に例えば 8kV程度の 高電圧を印加する第 1電源 60aと、グリッドユニット 40のグリッド 42および導電層 52に 例えば、 lkV程度の電圧を印加する第 2電源 60bと、を有している。グリッド 42と第 2 基板 12との間に位置した導電層 48、および第 2基板 12は接地電位に接続されてい る。
[0026] 上記構成の SEDにおいて画像を表示する場合、電子放出素子 18から放出された 電子ビームを蛍光体スクリーン 16およびメタルバック 17に印加されたアノード電圧に より加速して蛍光体スクリーン 16へ衝突させる。これにより、蛍光体スクリーン 16の蛍 光体層が励起されて発光し、画像を表示する。この際、電圧が印加されたグリッド 42 は、電子放出素子 18から電子ビームを引き出す引出し電極として機能する。電圧が 印加された第 1基板 11側の導電層 52は、電子ビーム通過孔 44を通過する電子ビー ムを蛍光体層に向けて収束する機能を有して 、る。
[0027] 以上のように構成された SEDによれば、第 2基板 12の内面上にグリッド 42および導 電層 48を有したグリッドユニット 40を設け、グリッド 42に所定の電圧を印加するととも に、このグリッドと第 2基板との間に位置した導電層 48を接地電位に接続している。そ のため、グリッドユニット 40により第 2基板 12内面に生じる電界をほぼゼロ、つまり、 0 VZmに低減し、放電 (沿面放電)の発生を抑制することができる。これにより、信頼 性および表示品位の向上した SEDを提供することができる。
[0028] グリッド 42は電子放出素子 18の近傍に設けられ、引出し電極としても機能する。そ のため、電子ビームを効率良く放出することができる。また、グリッドユニット 40は、第 1基板 11側に設けられた他の導電層 52を有し、この導電層に電圧を印加すること〖こ より、蛍光体層に対する電子ビームの収束性を向上することが可能となる。以上のこ とから、一層表示品位の向上した SEDが得られる。
[0029] 次に、この発明の第 2の実施形態について説明する。図 5に示すように、第 2の実施 形態によれば、グリッドユニット 40は、グリッド 42、第 1絶縁層 46、導電層 48、および 第 2絶縁層 50を有し、第 1基板 1側の導電層および第 3絶縁層は省略されている。グ リツド 42は、第 1絶縁層 46、導電層 48および第 2絶縁層 50挟んで第 2基板 12上に 設けられている。グリッド 42は第 2電源 60bに接続され、導電層 48は接地電位に接 続されている。
[0030] グリッドユニット 40と第 1基板 11との間には、前述したスぺーサ構体に代えて、複数 のスぺーサ 30が設けられて 、る。これらのスぺーサ 30は柱状ある!/、は板状に形成さ れている。各スぺーサ 30の一端は、隣接する電子ビーム通過孔 44間でグリッドュニ ット 40の第 1絶縁層 46に当接し、他端はゲッタ膜 19、メタルバック 17、遮光層 15を 介して第 1基板 11の内面に当接している。これにより、スぺーサ 30は、第 1基板 11お よび第 2基板 12に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持し ている。
第 2の実施形態において、他の構成は前述した第 1の実施形態と同一であり、同一 の部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明を省略する。 以上のように構成された SEDによれば、第 2基板 12の内面上にグリッド 42および導 電層 48を有したグリッドユニット 40を設け、グリッド 42に所定の電圧を印加するととも に、このグリッドと第 2基板との間に位置した導電層 48を接地電位に接続している。そ のため、グリッドユニット 40により第 2基板 12内面に生じる電界を低減し、放電の発生 を抑制することができる。グリッド 42は電子放出素子 18の近傍に設けられ、引出し電 極としても機能する。これにより、信頼性および表示品位の向上した SEDを提供する ことができる。
[0031] なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなぐ実施段階ではそ の要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体ィ匕できる。また、上記実施形態 に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成で きる。例えば、実施形態に示される全構成要素カゝら幾つかの構成要素を削除しても よい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。
[0032] 上述した実施形態において、第 2基板とグリッドユニットとの隙間を規定した隙間規 定部材は、第 2基板上の配線により構成されたが、これに限らず、独立した複数のス ぺーサによって構成してもよい。
[0033] スぺーサの径や高さ、その他の構成要素の寸法、材質、グリッドに印加する電圧等 は上述した実施形態に限定されることなぐ必要に応じて適宜選択可能である。この 発明は、電子源として表面伝導型電子放出素子を用いたものに限らず、電界放出型 、カーボンナノチューブ等の他の電子源を用いた画像表示装置にも適用可能である 産業上の利用可能性
[0034] この発明によれば、グリッドユニットにより第 2基板表面の電界を低減して放電の発 生を抑制し、信頼性および表示品位の向上した画像表示装置を提供することができ る。

Claims

請求の範囲
[1] 蛍光面が形成された第 1基板と、
前記第 1基板と隙間を置いて対向配置されているとともに前記蛍光面を励起する複 数の電子放出源が設けられた第 2基板と、
前記第 1および第 2基板の間に設けられ前記第 1および第 2基板に作用する大気 圧荷重を支持する複数のスぺーサと、
前記スぺーサと第 2基板との間に設けられたグリッドユニットと、を備え、 前記グリッドユニットは、それぞれ前記電子放出源に対向した複数の電子ビーム通 過孔を有し、前記第 2基板と対向配置されているとともに、所定の電圧が印加される 板状のグリッドと、
前記グリッドの外面を覆った第 1絶縁層と、
前記第 1絶縁層と第 2基板との間に設けられ、接地電位に接続された導電層と、 前記導電層に重ねて形成され、前記導電層と第 2基板との間に位置した第 2絶縁 層と、
を有している画像表示装置。
[2] 前記グリッドユニットは、前記第 2絶縁層が前記第 2基板に当接して設けられている 請求項 1に記載の画像表示装置。
[3] 前記グリッドユニットは前記第 2基板と隙間を置いて対向し、前記グリッドユニットと 第 2基板との間に隙間規定部材が設けられて 、る請求項 1に記載の画像表示装置。
[4] 前記グリッドユニットと前記第 2基板との隙間は、前記電子ビーム通過孔の孔径の 5
0%以下に形成されている請求項 3に記載の画像表示装置。
[5] 前記グリッドユニットは、前記第 1絶縁層に重ねて形成され前記第 1基板と対向して いるとともに所定の電圧が印加される他の導電層と、前記他の導電層に重ねて形成 された第 3絶縁層と、を有して 、る請求項 1な 、し 4の 、ずれか 1項に記載の画像表 示装置。
[6] 前記第 1基板とグリッドユニットとの間に配設されたスぺーサ構体を備え、
前記スぺーサ構体は、前記第 1基板に対向しているとともにそれぞれ前記電子放 出源に対向した複数の電子ビーム通過孔を有した板状の支持基板と、前記支持基 板の表面上に立設された前記複数のスぺーサと、を有して!/、る請求項 1な 、し 4の ヽ ずれか 1項に記載の画像表示装置。
[7] 前記支持基板は、前記第 1基板に当接した第 1表面と、前記グリッドユニットと隙間 を置いて対向した第 2表面と、を有し、前記スぺーサは、前記第 2表面上に立設され ているとともに前記グリッドユニットに当接した先端部を有している請求項 6に記載の 画像表示装置。
[8] 前記スぺーサは、柱状のスぺーサである請求項 1な 、し 4 、ずれ力 1項に記載の画 像表示装置。
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