JP2006066211A - スパッタイオンポンプおよび画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】薄型のスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供する。
【解決手段】SIP50は、ポンプ容器51と、第1磁性体54と、第1陰極55aと、第2陰極55bと、第2磁性体56と、陽極59と、永久磁石60と、を備えている。
永久磁石60は、陽極59の径方向外側でその陽極に対向して設けられているとともに、第1陰極55aの周縁と対向し磁極を有した端部Nと、第2陰極55bの周縁と対向し磁極を有した他の端部Sと、を備えている。永久磁石60は、第1磁性体54および第2磁性体56とともに閉磁路を形成している。
【選択図】 図3
【解決手段】SIP50は、ポンプ容器51と、第1磁性体54と、第1陰極55aと、第2陰極55bと、第2磁性体56と、陽極59と、永久磁石60と、を備えている。
永久磁石60は、陽極59の径方向外側でその陽極に対向して設けられているとともに、第1陰極55aの周縁と対向し磁極を有した端部Nと、第2陰極55bの周縁と対向し磁極を有した他の端部Sと、を備えている。永久磁石60は、第1磁性体54および第2磁性体56とともに閉磁路を形成している。
【選択図】 図3
Description
この発明は、スパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置に関する。
近年、陰極線管(以下、CRTと称する)に代わる次世代の軽量、薄型の表示装置として様々な平面型表示装置が開発されている。このような平面型表示装置には、液晶の配向を利用して光の強弱を制御する液晶ディスプレイ(以下、LCDと称する)、プラズマ放電の紫外線により蛍光体を発光させるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)、電界放出型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させるフィールドエミッションディスプレイ(以下、FEDと称する)、表面伝導型電子放出素子の電子ビームにより蛍光体を発光させる表面伝導電子放出ディスプレイ(以下、SEDと称する)などがある。
例えばFEDやSEDでは、一般に、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有し、これらの基板は真空の外囲器を構成している。前面基板には蛍光面が形成されているとともに、背面基板には、蛍光面を励起する電子源として複数の電子放出素子が設けられている。このようなFEDやSEDでは、表示装置の厚さを数mm程度にまで薄くすることができ、現在のテレビやコンピュータのディスプレイとして使用されているCRTと比較して、軽量化、薄型化を達成することができるとともに、省電力化を達成することができる。
上記のような表示装置において、電子放出素子を安定して動作させるためには、外囲器内を10−7〜10−8Torr程度の極めて高い真空度に維持する必要がある。また、PDPにおいても一度真空にしてから放電ガスを充填する必要がある。そこで、真空外囲器内にゲッターを配置して高真空を維持する表示装置、更には、真空外囲器にスパッタイオンポンプ(以下、SIPと称する)を接続し長期間に渡って高真空度を維持する表示装置が提案されている(例えば、特許文献1)。
SIPの一例を挙げると、内部が真空に維持されているとともに表示装置に接続されたポンプ容器と、ポンプ容器の厚さ方向に設けられた永久磁石とを備えている。ポンプ容器内には、ポンプ容器の厚さ方向に設けられた一対の陰極と、陰極間に配置された陽極とが設けられている。陰極はチタン板等により形成されている。永久磁石は陰極と直交する磁界を発生する。
磁石により磁界を印加した状態で陽極と陰極との間に3〜5kVの高電圧を印加すると、電子がガス分子に射突し放出ガスを電離させる。この電離により発生したガスプラスイオンがチタン板からなる陰極に射突し、そのエネルギによりチタンをスパッタさせる。これにより、陽極面に活性なチタン膜が形成される。そして、放出ガス中の中性分子や励起された分子がチタン膜に入射して吸着排気される。このようなSIPの排気動作により、表示装置の真空外囲器内を10−8以下の高真空度に維持することができる。
このように、SIPでは電子がガス分子に射突する確率を増やすため、ポンプ容器の外部に設置された永久磁石によって磁界を形成し、電子の自由工程軌道を長くする方法がとられている。磁界の強さは、ポンプの排気速度に影響し、磁界が強いほど排気速度が大きくなる。ここで、同じ特性の永久磁石を使用する場合、磁石の開口距離が短いほど電極内での磁界は強くなる。
特開平5−121012号公報
上記したように、永久磁石がポンプ容器の厚さ方向に形成されている場合、SIPは厚くなってしまう。そのため、上記SIPの薄型化に難があるとともに、表示装置全体の薄型化(小型化)の妨げとなる。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、薄型のスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供することにある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、薄型のスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係るスパッタイオンポンプは、一端が閉塞され他端に開口を有するポンプ容器と、前記ポンプ容器内に設けられた筒状の陽極と、前記ポンプ容器内に設けられ、前記陽極の軸方向の両端側に配設され、前記陽極を挟んで対向配置された第1陰極および第2陰極と、前記陽極と反対側で前記第1陰極に対向して設けられた第1磁性体と、前記陽極と反対側で前記第2陰極に対向して設けられた第2磁性体と、前記陽極の径方向外側で前記陽極に対向して設けられているとともに、前記第1陰極の周縁と対向し磁極を有した一端部と、前記第2陰極の周縁と対向し磁極を有した他端部と、を具備し、前記第1磁性体および第2磁性体とともに閉磁路を形成した永久磁石と、を備えている。
また、本発明の他の態様に係る画像表示装置は、蛍光面を有した前面基板と、この前面基板に対向配置されているとともに前記蛍光面を励起する複数の電子放出素子が設けられた背面基板と、を有し、内部が真空に維持された真空外囲器と、前記真空外囲器に取付けられ接続され、この真空外囲器内部を排気するスパッタイオンポンプと、を備え、前記スパッタイオンポンプは、一端が閉塞され他端に開口を有するポンプ容器と、前記ポンプ容器内に設けられた筒状の陽極と、前記ポンプ容器内に設けられ、前記陽極の軸方向の両端側に配設され、前記陽極を挟んで対向配置された第1陰極および第2陰極と、前記陽極と反対側で前記第1陰極に対向して設けられた第1磁性体と、前記陽極と反対側で前記第2陰極に対向して設けられた第2磁性体と、前記陽極の径方向外側で前記陽極に対向して設けられているとともに、前記第1陰極の周縁と対向し磁極を有した一端部と、前記第2陰極の周縁と対向し磁極を有した他端部と、を具備し、前記第1磁性体および第2磁性体とともに閉磁路を形成した永久磁石と、を備えている。
この発明によれば、薄型のスパッタイオンポンプおよびスパッタイオンポンプを備えた画像表示装置を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明の実施の形態に係るSIPを備えたFEDについて詳細に説明する。
図1および図2に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は1〜2mmの隙間を置いて対向配置されている。背面基板12は前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁18を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
図1および図2に示すように、FEDは、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板11、および背面基板12を備え、これらの基板は1〜2mmの隙間を置いて対向配置されている。背面基板12は前面基板11よりも大きな寸法に形成されている。そして、前面基板11および背面基板12は、矩形枠状の側壁18を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態に維持された扁平な矩形状の真空外囲器10を構成している。
真空外囲器10の内部には、前面基板11および背面基板12に加わる大気圧荷重を支えるため、複数の板状の支持部材14が設けられている。これらの支持部材14は、真空外囲器10の一辺と平行な方向にそれぞれ延在しているとともに、上記一辺と直交する方向に沿って所定の間隔を置いて配置されている。なお、支持部材14は板状に限らず、柱状のものを用いてもよい。
前面基板11の内面には、蛍光面として機能する蛍光体スクリーン16が形成されている。この蛍光体スクリーン16は、赤、緑、青の蛍光体層、およびこれらの蛍光体層間に位置した光吸収層を並べて構成されている。蛍光体スクリーン16上にはメタルバック層17が形成されている。
背面基板12の内面上には、蛍光体スクリーン16の蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の電子放出素子22が設けられている。背面基板12の内面上には、導電性カソード層24が形成され、この導電性カソード層上には多数のキャビティ25を有した二酸化シリコン膜26が形成されている。二酸化シリコン膜26上にはゲート電極28が形成されている。各キャビティ25内にはコーン状の電子放出素子22が設けられている。また、背面基板12の内面には、多数本の配線23がマトリクス状に設けられ、その端部は真空外囲器10の周縁部に引出されている。
背面基板12と側壁18との間は、低融点ガラス19によって封着されている。前面基板11と側壁18との間は封着層21によって封着されている。
背面基板12と側壁18との間は、低融点ガラス19によって封着されている。前面基板11と側壁18との間は封着層21によって封着されている。
図2および図3に示すように、真空外囲器10の背面基板12には、真空外囲器内部の放出ガスを排気するSIP50が設けられている。SIP50は、非磁性材料、例えばガラスにより形成されたポンプ容器51を有している。ポンプ容器51は一端が閉塞され他端に開口を有した円筒状に形成されている。ポンプ容器51は、ガラスからなる背面基板12に、図示しない封着材で接着されている。封着材としては、フリットガラスや封着金属等の材料が用いられる。ポンプ容器51の内部は真空外囲器10の内部に連通し真空に維持されている。
ポンプ容器51内には、第1磁性体54、第1陰極55a、第2陰極55b、第2磁性体56、陽極59、および永久磁石60が設けられている。第1磁性体54は、ポンプ容器51の一端側に設けられている。第1陰極55aは第1磁性体54に接触した状態で固定されている。第1陰極55aは第1磁性体54に重なっているとともにこの第1磁性体よりもポンプ容器51の他端側に設けられている。このため、第1磁性体54は陽極59と反対側で第1陰極55aに対向して設けられている。
第2陰極55bはポンプ容器51の他端側に設けられ、第1陰極55aと間隔を置いて対向配置されている。第2磁性体56は第2陰極55bに接触した状態で固定されているとともに背面基板12に接合されている。第2磁性体56は第2陰極55bに重なっているとともにこの第2陰極55bよりもポンプ容器51の他端側に設けられている。このため、第2磁性体56は陽極59と反対側で第2陰極55bに対向して設けられている。通気孔62は、第2陰極55bおよび第2磁性体56の一部を貫通して構成されている。
陽極59はステンレス等の金属により円筒状に形成され、第1陰極55aおよび第2陰極55bの間に設けられている。陽極59は、軸方向両端を第1陰極55aおよび第2陰極55bにそれぞれ対向して配設されている。このため、第1陰極55aおよび第2陰極55bは、陽極59の軸方向の両端側に配設され、その陽極を挟んで対向配置されている。陽極59はポンプ容器51と同軸的に設けられている。
永久磁石60は円筒状に形成され、陽極59の径方向外側で、その陽極に対向して設けられているとともに第1陰極55aおよび第2陰極55bの外側に設けられている。永久磁石60は陽極59およびポンプ容器51と同軸的に設けられている。永久磁石60は、第1陰極55aの周縁と対向し磁極を有した端部Nと、第2陰極55bの周縁と対向し磁極を有した他の端部Sと、を有している。この実施の形態において、端部N側の磁極はN極であり、端部S側の磁極はS極である。
永久磁石60の磁極はそれぞれ第1磁性体54および第2磁性体56と接合されている。永久磁石60は、第1磁性体54、第1陰極55a、第2陰極55b、および第2磁性体56とともに閉磁路70を形成している。
図示しないが、陽極59の側面に給電端子57aが接続され、第2陰極55bに端子57bが接続されている。
真空外囲器10の外部に設けられた電源58から給電端子57aおよび端子57bを介して、陽極59には相対的に正の電圧が印加され、第2陰極55bには相対的に負の電圧が印加される。
上記のように構成されたSIPによれば、動作時、第1陰極55aおよび第2陰極55bと直交する方向に磁界を印加した状態で、電源58から第2陰極55bと陽極59との間に3〜5kVの高電圧を印加する。すると、ポンプ容器51内において、電子がガス分子に射突し放出ガスを電離させる。この電離により発生したガスプラスイオンが例えばチタン板からなる第1陰極55aに射突し、そのエネルギによってチタンをスパッタさせる。これにより、陽極59の表面に活性なチタン膜が形成される。そして、放出ガス中の中性分子や励起された分子がチタン膜に入射して吸着し排気される。このようなSIP50の排気動作によって真空外囲器10内の放出ガスを排気し、真空外囲器内を10−8以下の高真空度に維持する。
図3に示すように、第1磁性体54、第1陰極55a、第2陰極55b、第2磁性体56、および永久磁石60により閉磁路70が形成され、永久磁石60の発生磁界は閉磁路を通る。このため、永久磁石60の発生磁界の外部への漏洩を抑制することができる。なお、永久磁石60の発生磁界は陽極59内を通る。
上記のように構成された、SIP50によれば、永久磁石60は、陽極59の外面と対向しているとともに第1陰極55a、第2陰極55b、および陽極の外側に設けられている。このため、永久磁石を第1陰極55aや第2陰極55bに重ねる等、永久磁石をポンプ容器51の厚さ方向d1に形成した場合と比べ、ポンプ容器51を薄く形成することができる。薄型のSIP50が得られるため、薄型のFEDを得ることが可能になる。
永久磁石60はポンプ容器51内に設けられているため、永久磁石をポンプ容器の外側に設けた場合と比較して、永久磁石と、第1陰極55aおよび第2陰極55bとの距離を短くすることができる。従って、SIP50の排気速度を大きくでき、排気効率を向上させることが可能となる。永久磁石60をポンプ容器51の外側に設ける必要が無いため、幅方向d2においてもSIP50の小型化が可能となる。
上述した実施の形態においては、図3に示すように、ポンプ容器51は、第1磁性体54および永久磁石60と間隔を置いて設けられているが、これら第1磁性体および永久磁石と隣接して設けられても良い。また、永久磁石60は、第1陰極55aおよび第2陰極55bの周縁に隣接して設けられても良い。すなわち、端部Nは第1陰極55aの周縁に隣接して設けられ、端部Sは第2陰極55bの周縁に隣接して設けられても良い。上記したように永久磁石60が設けられても、陽極59内を通る永久磁石の発生磁界に悪影響を及ぼすことは無い。このため、厚さ方向d1および幅方向d2において、ポンプ容器51の一層の小型化が可能になる。
第1磁性体54、第1陰極55a、第2陰極55b、第2磁性体56、および永久磁石60によって磁気的に閉回路を形成し、漏洩磁界をシールドすることができる。そのため、漏洩磁界を嫌う装置と組み合せてSIP50を使用する場合、大きな効果を発揮する。SIP50により真空外囲器10内を高い真空度に維持することができ、長期間に渡って安定した表示品位を維持することが可能になる。
次に、この発明の他の実施の形態に係るSIPを備えたFEDについて説明する。この実施の形態において、FEDを構成するSIP50以外は上述したFEDと同様に構成されているため、以下、SIPについて詳細に説明する。また、この実施の形態において、他の構成は上述した実施の形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。
図4に示すように、円筒状のポンプ容器51内には、第1陰極55a、第2陰極55b、第2磁性体56、および陽極59が設けられている。第1磁性体54は、第1陰極55aと対向したポンプ容器51の外面側、より詳しくは、ポンプ容器の外面上に設けられている。
永久磁石60は円筒状に形成され、陽極59の外面と対向し、ポンプ容器51外、より詳しくは、ポンプ容器の外面を囲むように設けられている。第2磁性体56と同一平面上であり、ポンプ容器51の外側の背面基板12上には、第3磁性体61が設けられている。この実施の形態において、第3磁性体61は環状に形成されている。第3磁性体61は、第1磁性体54、第1陰極55a、第2陰極55b、第2磁性体56、および永久磁石60とともに閉磁路70を形成している。永久磁石60の一方の磁極は第1磁性体54の周縁部と接合され、他方の磁極は第3磁性体61と接合されている。
上記のように構成されたSIP50によれば、永久磁石60は、陽極59の外面と対向しているとともにポンプ容器51の外側に設けられている。このため、永久磁石をポンプ容器51の厚さ方向d1に形成した場合と比べ、ポンプ容器51を薄く形成することができる。薄型のSIP50が得られるため、薄型のFEDを得ることが可能になる。また、SIP50により真空外囲器10内を高い真空度に維持することができ、長期間に渡って安定した表示品位を維持することが可能になる。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、ポンプ容器51および永久磁石60は円筒状に限らず、軸方向に直交した断面が三角形や四角形等の筒状であっても良い。永久磁石60は筒状に限らす、軸方向に分断して形成されても良い。
SIP50は、予め磁界を発生させる永久磁石60で構成したが、これに限らず、磁性体を配設した後、この磁性体を着磁して永久磁石を構成しても良い。SIP50の各構成要素の形状、材質等は上述した実施の形態に限らず、必要に応じて種々選択可能である。電子放出素子22は、電界放出型の電子放出素子に限らず、pn型の冷陰極素子あるいは表面伝導型の電子放出素子等の他の画像表示装置を用いても良い。
この発明は、FEDに限定されることなく、SED等の他の画像表示装置にも適用することができる。
この発明は、FEDに限定されることなく、SED等の他の画像表示装置にも適用することができる。
10…真空外囲器、11…前面基板、12…背面基板、16…蛍光体スクリーン、22…電子放出素子、50…SIP、51…ポンプ容器、54…第1磁性体、55a…第1陰極、55b…第2陰極、56…第2磁性体、57a…給電端子、57b…端子、59…陽極、60…永久磁石、61…第3磁性体、62…通気孔、70…閉磁路、N,S…端部。
Claims (8)
- 一端が閉塞され他端に開口を有するポンプ容器と、
前記ポンプ容器内に設けられた筒状の陽極と、
前記ポンプ容器内に設けられ、前記陽極の軸方向の両端側に配設され、前記陽極を挟んで対向配置された第1陰極および第2陰極と、
前記陽極と反対側で前記第1陰極に対向して設けられた第1磁性体と、
前記陽極と反対側で前記第2陰極に対向して設けられた第2磁性体と、
前記陽極の径方向外側で前記陽極に対向して設けられているとともに、前記第1陰極の周縁と対向し磁極を有した一端部と、前記第2陰極の周縁と対向し磁極を有した他端部と、を具備し、前記第1磁性体および第2磁性体とともに閉磁路を形成した永久磁石と、
を備えたスパッタイオンポンプ。 - 前記第1磁性体、第2磁性体、および永久磁石は前記ポンプ容器内に設けられ、前記第1磁性体および第2磁性体はその周縁部が前記永久磁石の磁極とそれぞれ接合され、
前記第1陰極は前記第1磁性体に接触して固定され、前記第2陰極は前記第2磁性体に接触して固定されている請求項1に記載のスパッタイオンポンプ。 - 前記一端部は前記第1陰極に隣接して設けられ、前記他端部は前記第2陰極に隣接して設けられている請求項2に記載のスパッタイオンポンプ。
- 前記第1陰極、第2陰極、および第2磁性体は前記ポンプ容器内に設けられ、かつ、前記第1磁性体および永久磁石は前記ポンプ容器外に設けられているとともに前記第1磁性体の周縁部は前記永久磁石の一方の磁極と接合され、
前記第1陰極は前記ポンプ容器の内面上に形成され、前記第2陰極は前記第2磁性体上に形成されている請求項1に記載のスパッタイオンポンプ。 - 前記第2磁性体と同一平面上に設けられているとともに前記永久磁石の他方の磁極と接合された第3磁性体を更に備え、
前記第3磁性体は前記閉磁路を形成している請求項4に記載のスパッタイオンポンプ。 - 前記ポンプ容器および永久磁石は筒状に形成され、
前記ポンプ容器、永久磁石、および陽極は同軸的に設けられている請求項1に記載のスパッタイオンポンプ。 - 前記第2磁性体および第2陰極を貫通して通気孔が構成されている請求項1に記載のスパッタイオンポンプ。
- 蛍光面を有した前面基板と、この前面基板に対向配置されているとともに前記蛍光面を励起する複数の電子放出素子が設けられた背面基板と、を有し、内部が真空に維持された真空外囲器と、
前記真空外囲器に取付けられ接続され、この真空外囲器内部を排気する請求項1ないし7のいずれか1項に記載のスパッタイオンポンプと、
を備えた画像表示装置。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN110491764A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-22 | 北京卫星环境工程研究所 | 溅射离子泵的磁轭组件 |
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2004
- 2004-08-26 JP JP2004247056A patent/JP2006066211A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN110491764A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-22 | 北京卫星环境工程研究所 | 溅射离子泵的磁轭组件 |
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