WO2004090604A3 - Mikroskopanordnung - Google Patents

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Martin Kuehner
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Peter Westphal
Martin Kuehner
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf eine Mikroskopanordnung, umfassend eine Beleuchtungsquelle (1), optische Baugruppen zur Erzeugung eines Beleuchtungsstrahlengangs, ein Objektiv (21), durch das der Beleuchtungsstrahlengang auf eine Probe (20) gerichtet ist, die sich in der Objektebene des Objektivs (21) oder in deren Nähe befindet, sowie optische Baugruppen zur Erzeugung eines auf die Empfangsfläche einer Kamera (22) gerichteten Abbildungsstrahlengangs. Erfindungsgemäss ist bei einer solchen Mikroskopanordnung eine Homogenisierungseinrichtung (5) zur Vergleichmässigung der Intensität des Beleuchtungslichts vorhanden, das auf den zu untersuchenden Probenabschnitt trifft. Mit der Homogenisierungseinrichtung (5) wird vorteilhaft erreicht, dass die Objektebene der Mikroskopanordnung und damit der sich in der Objektebene oder in deren Nähe befindende Teilabschnitt einer Probe (20) homogen ausgeleuchtet wird und dadurch eine verbesserte Qualität der Abbildung dieses Probenabschnitts erzielt wird, was eine höhere Messgenauigkeit und im Ergebnis dessen eine höhere Reproduzierbarkeit zur Folge hat.
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