JP5424826B2 - 測定装置 - Google Patents
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Description
光源1を反射鏡2の焦点に配置する代わりに、該焦点から離れた位置に光源1を配置し、光源1から射出される光を光ファイバーなどの導光光学系によって該焦点の位置まで導光してもよい。このような構成は、部品配置の自由度を向上させる点、又は、光源1からの排熱が測定に与える提供を低減する点で優れている。
Claims (10)
- 試料を照明して該試料からの反射光を検出する測定装置であって、
光源と、
第1端に入射した光を複数回にわたって反射させて第2端から射出させる柱状反射面を有する柱状反射部材と、
前記光源から放射された光を前記第1端に向けて反射する反射鏡と、
検出部とを備え、
前記第2端から射出した光で試料を照明し、該試料で反射されて前記柱状反射部材で反射されずに前記柱状反射部材を通り抜けた光を前記検出部によって検出し、
前記柱状反射部材の軸に直交する断面における前記反射鏡の反射面の形状は、前記軸に向かって凹型の形状であり、かつ、前記光源から発散した光を前記第1端に収束させるように反射する形状である、
ことを特徴とする測定装置。 - 前記光源は、前記軸の延長線上の点から光を放射する、ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記検出部は、前記光源が光を放射する点と前記第1端との間に配置された折り曲げミラーと、集光レンズと、分析器とを含み、
前記第2端から射出した光で照明された試料で反射され前記柱状反射部材を通り抜けた光は、前記折り曲げミラーで反射され前記集光レンズによって集光されて前記分析器によって検出される、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。 - 前記断面における前記反射鏡の反射面の形状が円弧形状である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記断面における前記反射鏡の反射面の形状が前記軸を中心とする円弧形状である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記軸に直交する断面における前記反射鏡の反射面の形状がリング状である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の測定装置。 - 第2の光源と、
前記第2の光源から放射された光を前記第1端に向けて反射する第2の反射鏡とを更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の測定装置。 - 前記光源から放射された光を前記第1端に向けて反射する第2の反射鏡を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の測定装置。
- 前記軸に直交する断面における前記第2の反射鏡の反射面の形状が前記軸に向かって凹型である、
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の測定装置。 - 前記柱状反射面は、曲面を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の測定装置。
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