WO2004020550A1 - 蛍光体および真空紫外線励起発光素子 - Google Patents

蛍光体および真空紫外線励起発光素子 Download PDF

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Takashi Takeda
Keiji Ono
Susumu Miyazaki
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Sumitomo Chemical Company, Limited
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Definitions

  • the present invention relates to a phosphor and a VUV-excited light emitting device including the phosphor. More specifically, the present invention relates to a phosphor which is excited by vacuum ultraviolet rays and exhibits high luminance, and a vacuum ultraviolet ray excited light emitting device including the phosphor. Background art
  • An object of the present invention is to provide a phosphor which exhibits high luminance and is suitable for a vacuum ultraviolet ray excited light emitting device.
  • the present inventors have conducted research in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found a phosphor which is excited by vacuum ultraviolet light and exhibits high luminance, and has completed the present invention.
  • the present invention relates to at least one metal element MY, La, Gd and Lu selected from the group consisting of Ca, Sr and Ba, and at least one metal element M 2 , Si and G selected from the group consisting of Lu.
  • e a metal oxide containing at least one metal element M 3 selected from the group consisting of e and oxygen, and C e, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Tb, Dy, Ho, and E r as activators.
  • a phosphor containing at least one metal element L n 1 selected from the group consisting of: Tm, Yb, and Mn Things.
  • the present invention provides a vacuum ultraviolet ray excited light emitting device including the above phosphor.
  • the phosphor of the present invention is excited by vacuum ultraviolet rays and shows high brightness, and is particularly suitably used for vacuum ultraviolet ray excited light emitting devices such as PDPs and rare gas lamps.
  • ADVANTAGE OF THE INVENTION According to the fluorescent substance of this invention, the high-intensity vacuum ultraviolet ray excitation light emitting element is provided. DESCRIPTION OF THE EMBODIMENTS OF THE INVENTION
  • the phosphor of the present invention comprises at least one metal element selected from the group consisting of Ca, Sr and Ba, and at least one metal element selected from the group consisting of M 1 Y, La, Gd and Lu.
  • At least one metal element M 3 selected from the group consisting of M 2 , Si, and Ge, and a metal oxide containing oxygen, and Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Tb, dy, including Ho, E r, Tm, at least one metal element Ln 1 selected from the group consisting of Yb and Mn.
  • M 1 is a divalent metal
  • M 2 is a trivalent metal
  • M 3 is a tetravalent metal.
  • the phosphor of the present invention preferably contains a metal oxide represented by the formula (I).
  • the phosphor of the present invention has different emission colors depending on the metal element contained as an activator and its valence. For example, when the activator is trivalent Tb, the phosphor usually emits green light. At this time, a part of M 2 of the metal oxide is replaced by trivalent Tb.
  • Ln 2 is at least one selected from the group consisting of Sm, Eu, Yb and Mn, a is a numerical value in the range of 0 to 0.5, and b is a numerical value in the range of 0 to 0.5. The sum of a and b is greater than 0.
  • Tsu 1 desirability I phosphor of the present invention wherein M 1 3 M 2 2 M 3 2 0 1.
  • Ln 1 and Ln 2 as activators
  • the method for producing the phosphor of the present invention is not particularly limited, and is, for example, a mixture of a metal compound and a metal oxide containing MM 2 , M 3 and oxygen (O) by firing. , have good long as the method of firing the mixture to form a phosphor comprising an L n 1.
  • Phosphor of the present invention a compound containing M 1 (calcium compound, strontium compound, a barium compound), a compound containing M 2 (yttrium compound, a lanthanum compound, a gadolinium compound, a ruthenium compound), a compound containing M 3 (Keimoto compounds, germanium compounds) and compounds containing Ln 1 (cerium, Puraseo gym, neodymium, promethium, samarium, europium, Tenorebiumu, Soo Puroshiumu, holmium, erbium, thulium, compounds containing ytterbium or manga. down the), phosphor After weighing and mixing to obtain a desired yarn, the mixture is fired.
  • the present invention is one of the preferred phosphors of the formula Ca 2 (YQ. 95 EU .. 05) 2 phosphor represented by S i 2 0 9, for example, calcium carbonate (Ca C_ ⁇ 3), oxide i Ttoriumu (Y 2 0 3), europium oxide (Eu 2 ⁇ 3), oxidation Kei containing the (S I_ ⁇ 2), C a C_ ⁇ 3: Y 2 0 3: E u 2 O 3: S i 0
  • the monole ratio of 2 is set to 1: 0.475: 0.025: 1 (the molar ratio of Ca: Y: Eu: Si is 1: 0.95: 0.05: 1).
  • the raw materials used for producing the phosphor of the present invention that is, calcium compounds, strontium compounds, barium compounds, yttrium compounds, lanthanum compounds, gadolinium compounds, ruthenium compounds, silicon compounds, and germanium compounds are Includes hydroxides, carbonates, nitrates, halides or oxalates that decompose in high-temperature air to form oxides and are high-purity (99% by weight or more). At this time, the raw material may contain a high-purity (99% by weight or more) oxide.
  • the mixing of the raw materials is usually performed using an industrially used ball mill, V-type mixer or a stirrer.
  • a compound that decomposes in a high-temperature atmosphere to form an oxide such as hydroxide, carbonate, nitrate, halide, or oxalate
  • a mixture containing this compound is used before firing. It is calcined. Calcination decomposes some of the compounds in the mixture or removes water from the mixture. The calcination is performed in a temperature range of about 600 to about 900C.
  • the atmosphere during the calcination is not particularly limited, and may be any of an oxidizing atmosphere, a reducing atmosphere, and an inert atmosphere such as nitrogen or argon.
  • the resulting mixture or calcined mixture is fired.
  • the calcination is usually performed under the conditions of about 1000 ° C. to about 170 ° C. for about 1 hour to about 100 hours.
  • the preferred atmosphere for firing depends on the activator used.
  • the calcination atmosphere is preferably an oxidizing atmosphere such as argon containing oxygen, air or oxygen.
  • a reducing atmosphere such as nitrogen containing 0.1 to 10% by volume of hydrogen and argon containing 0.1 to 10% by volume of hydrogen is preferable.
  • the calcination is performed using the oxidizing atmosphere (including oxygen).
  • calcination is preferably performed in the above-described reducing atmosphere (nitrogen containing 0.1 to 10% by volume of hydrogen, hydrogen, or the like). . it is preferably carried out at 1 to 1, such as 0 vol 0/0 contains argon).
  • the firing may be performed in the presence of an appropriate amount of flux from the viewpoint of accelerating the reaction. Furthermore, baking may be performed twice or more. By repeating baking two or more times, phosphor particles having higher crystallinity may be obtained.
  • the obtained calcined product is pulverized, crushed, washed or classified as necessary. Pulverization and pulverization are performed using, for example, a ball mill, a jet mill, or the like. Since the phosphor of the present invention obtained by the above-described method exhibits high brightness when excited by vacuum ultraviolet rays, it can be applied to vacuum ultraviolet ray excited light emitting elements of PDPs and rare gas lamps.
  • the VUV-excited light emitting device contains a phosphor, and usually includes the above phosphor, a substrate, and an electrode, and more specifically, a back substrate, an address electrode, a partition, a protective layer, a dielectric layer, and a transparent layer. Includes electrodes, bus electrodes and surface glass substrates.
  • a PDP to which the phosphor of the present invention is applied is manufactured by a known method as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-195428.
  • a phosphor paste is prepared by mixing each of the phosphors for the VUV-excited light emitting device for emitting blue, green, and red light with a binder composed of a polymer such as a cellulose compound and polyvinyl alcohol and an organic solvent. .
  • This paste is applied to the surface of the stripe-shaped substrate provided with address electrodes and the partition surface by partitioning the inner surface of the rear substrate by a method such as screen printing, and then at 300 to 600 ° C.
  • each phosphor layer is formed.
  • a surface glass substrate provided with a transparent electrode and a bus electrode in a direction orthogonal to the phosphor layer and provided with a dielectric layer and a protective layer on the inner surface is overlaid and bonded.
  • a rare gas such as low-pressure xenon (Xe) or neon (Ne)

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Abstract

真空紫外線によって励起され、高輝度を示す蛍光体およびその蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子。蛍光体は、Ｃａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる少なくとも１つの金属元素Ｍ１、Ｙ、Ｌａ、ＧｄおよびＬｕからなる群より選ばれる少なくとも１つの金属元素Ｍ２、ＳｉおよびＧｅからなる群より選ばれる少なくとも１つの金属元素Ｍ３、および酸素を含む金属酸化物と、付活剤としてＣｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、ＹｂおよびＭｎからなる群より選ばれる少なくとも１つの金属元素Ｌｎ１とを含む。

Description

明 細 書 蛍光体および真空紫外線励起発光素子 技術分野
本発明は、 蛍光体およびその蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子に関する。 詳細には、 本発明は、 真空紫外線によって励起され、 高輝度を示す蛍光体および その蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子に関する。 背景技術
蛍光体は、 プラズマディスプレイパネル （以下 「PDP」 という。 ） や希ガス ランプなどの真空紫外線励起発光素子に用いられている。 真空紫外線によって励 起され、 発光する蛍光体はすでに知られている。 例えば、 青色蛍光体として B a Mg A 110O17 ： Eu、 緑色蛍光体として Z n2 S i 04 ： Mn、 赤色蛍光体とし て （Y, G d) B03 ： Euのような蛍光体が実用化されている。 発明の開示
本発明の目的は、 高輝度を示す、 真空紫外線励起発光素子に好適な蛍光体を提 供することにある。
本発明者らは、 かかる状況下、 上記の課題を解決するため、 研究した結果、 真 空紫外線によって励起され、 高輝度を示す蛍光体を見出し、 本発明を完成するに 至った。
すなわち本発明は、 Ca、 S rおよび B aからなる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 M Y、 L a、 Gdおよび Luからなる群より選ばれる少なく とも 1つの金属元素 M2、 S iおよび G eからなる群より選ばれる少なくとも 1 つの金属元素 M3、 および酸素を含む金属酸化物と、 付活剤として C e、 P r、 Nd、 Pm、 Sm、 Eu、 Tb、 Dy、 Ho、 E r、 Tm、 Ybおよび Mnから なる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 L n 1とを含む蛍光体を提供する ものである。
さらには、 本発明は、 上の蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子を提供するも のである。 本発明の蛍光体は、 真空紫外線によって励起され、 高輝度を示すものであり、 特に P D Pや希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子用に好適に使用される 。 本発明の蛍光体によれば、 高輝度の真空紫外線励起発光素子が提供される。 発明の実施形態の説明
本発明の蛍光体は、 C a、 S rおよび B aからなる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 M1 Y、 L a、 G dおよび L uからなる群より選ばれる少なく とも 1つの金属元素 M2、 S iおよび Geからなる群より選ばれる少なくとも 1 つの金属元素 M3、 および酸素を含む金属酸化物と、 付活剤として C e、 P r、 Nd、 Pm、 Sm、 Eu、 Tb、 Dy、 Ho、 E r、 Tm、 Ybおよび Mnから なる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 Ln1とを含む。 ここで、 M1は 2価金属であり、 M2は 3価金属であり、 M3は 4価金属である。
本発明の蛍光体は、 好ましくは、 式（I)で表される金属酸化物を含む。
1^2 0―) /2 (I)
(mは 0. 5以上 1. 5以下の範囲の数値であり、 nは 0. 5以上 2. 5以下の 範囲の数値である。 ）
本発明の蛍光体は、 付活剤として含まれる金属元素とその価数によって、 異な る発光色をもつ。 例えば、 付活剤が 3価の Tbのとき、 蛍光体は、 通常、 緑色を 発光する。 このとき、 金属酸化物の M2の一部が 3価の Tbにより置換されてい る。
付活剤が 2価の Euのとき、 蛍光体は、 通常、 青色を発光する。 このとき、 金 属酸化物の M1の一部が 2価の E uにより置換されている。 付活剤が 3価の E u のとき、 蛍光体は、 通常、 赤色を発光する。 このとき、 金属酸化物の M2の一部 が 3価の Euにより置換されている。 本発明の好ましい蛍光体の 1つは、 式^11 2 ^12 2^13 209 (式（I)において m = 1ぉょび1 = 1の場合） で表される金属酸化物と、 付活剤として Ln1および L n2を含み、 式（II)
Figure imgf000004_0001
(Ln2は Sm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群より選ばれる少なくとも 1つ であり、 aは 0以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 bは 0以上 0. 5以下の範 囲の数値であり、 aと bの合計は 0より大きレヽ。 )
で表される。 これらの中でも、 aと bの合計が 0. 0 3以上0. 3以下の範囲の 数値であることを満足するものがさらに好ましい。
本発明の好ましぃ蛍光体の他の1っは、 式M1 3M2 2 M3 201。 （式（I)におい て m=2Z3および n = 2Z3の場合） で表される金属酸化物と、 付活剤として L n 1および Ln2を含み、 式（III)
(M1ト c Ln2 c ) 3 (M2ト d L n1 ) 2M3 2O10 (III)
(Ln2は Sm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群より選ばれる少なくとも 1つ であり、 cは 0以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 dは 0以上 0. 5以下の範 囲の数値であり、 aと bの合計は 0より大きレ、。 )
で表される。 これらの中でも、 cと dの合計が 0. 0 3以上 0. 3以下の範囲の 数値であることを満足するものがさらに好ましい。 .
本発明の好ましい蛍光体の他の 1つは、 式 M1 3M2 2M3 6018 (式（I)において 111= 2//3ぉょび1 =2の場合） で表される金属酸化物と、 付活剤として Ln 1 および Ln 2を含み、 式（IV)
(M1い e Ln2 e ) 3 (M2い f L n1 f ) 2M3 6O18 (IV)
(Ln iSm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群より選ばれる少なくとも 1つ であり、 eは 0以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 f は 0以上 0. 5以下の範 囲の数値であり、 eと f の合計は 0より大きレ、。 ）
で表される。 これらの中でも、 eと fの合計が 0. 03以上 0. 3以下の範囲の 数値があることを満足するものがさらに好ましい。 以下に本発明の蛍光体の製造方法を説明する。
本発明の蛍光体の製造方法は、 特に限定されるものではなく、 例えば、 金属化 合物の混合物であって、 焼成により、 M M2、 M3および酸素 （O) を含む金 属酸化物と、 L n 1とを含む蛍光体を形成する混合物を焼成する方法であればよ い。 本発明の蛍光体は、 M1を含む化合物 （カルシウム化合物、 ストロンチウム 化合物、 バリウム化合物） 、 M2を含む化合物 （イットリウム化合物、 ランタン 化合物、 ガドリニウム化合物、 ルテニウム化合物） 、 M3を含む化合物 （ケィ素 化合物、 ゲルマニウム化合物） および Ln1を含む化合物 （セリウム、 プラセォ ジム、 ネオジム、 プロメチウム、 サマリウム、 ユーロピウム、 テノレビゥム、 ジス プロシゥム、 ホルミウム、 エルビウム、 ツリウム、 イッテルビウムまたはマンガ. ンを含む化合物） を、 蛍光体の所望糸且成となるように秤量し、 混合した後、 この 混合物を焼成する方法などである。
本発明において、 好ましい蛍光体の 1つである、 式 Ca2 (YQ.95 E U。.05) 2 S i 209で表される蛍光体は、 例えば、 炭酸カルシウム （Ca C〇3) 、 酸化ィ ットリゥム （Y203) 、 酸化ユーロピウム （Eu2〇3) 、 酸化ケィ素 （S i〇2 ) を、 C a C〇3 ： Y203 ： E u2 O3 ： S i 02のモノレ比が 1 : 0. 475 : 0. 025 : 1 (C a ： Y： E u ： S iのモル比は 1 : 0. 95 : 0. 05 : 1であ る。 ） になるように秤量して混合した後、 この混合物を大気中、 約 1600°Cで 焼成する方法で調製される。 本発明の蛍光体を製造するために使用される原料、 すなわちカルシウム化合物 、 ス トロンチウム化合物、 バリ ウム化合物、 イッ トリ ウム化合物、 ランタン化合 物、 ガドリニウム化合物、 ルテニウム化合物、 ケィ素化合物、 ゲルマニウム化合 物は、 高温大気中で分解して酸化物を形成し、 かつ高純度 （純度 99重量％以上 ) である、 水酸化物、 炭酸塩、 硝酸塩、 ハロゲン化物またはシユウ酸塩などを含 む。 また、 このとき原料は、 高純度 （純度 99重量％以上） の酸化物を含むもの でもよい。 原料の混合は、 通常、 工業的に用いられているボールミル、 V型混合機または 攪拌装置等を使用して行われる。 原料として水酸化物、 炭酸塩、 硝酸塩、 ハロゲン化物、 シユウ酸塩のような高 温大気中で分解して酸化物を形成する化合物を使用する場合、 この化合物を含む 混合物は、 焼成前に、 仮焼される。 仮焼により、 混合物中の前記化合物の一部が 分解され、 または混合物から水分が除去される。 仮焼は、 約6 0 0で〜約9 0 0 °Cの温度範囲で行われる。 仮焼のときの雰囲気は特に限定されず、 酸化性雰囲気 、 還元性雰囲気、 窒素やアルゴンのような不活性雰囲気のいずれであってもよい
得られた混合物または仮焼された混合物は、 焼成される。 焼成は、 通常、 約 1 0 0 0 °C〜約 1 7 0 0 °C、 約 1時間〜約 1 0 0時間の条件で行われる。 焼成にお ける好適な雰囲気は、 使用される付活剤により異なる。 例えば、 付活剤がプラセ オジム、 ネオジム、 プロメチウム、 ジスプロシウム、 ホルミウム、 エルビウムま たはツリウムである場合、 焼成雰囲気として、 酸素を含むアルゴン、 空気または 酸素のような酸化性雰囲気が好ましい。 付活剤がセリゥムまたはテルビウムであ る場合、 水素を 0 . 1〜 1 0体積％含む窒素、 水素を 0 . 1〜 1 0体積％含むァ ルゴンのような還元性雰囲気が好ましい。 付活剤がユーロピウム、 イツテルビゥ ム、 サマリウム、 マンガンのような、 様々な価数をもつ金属元素である場合、 金 属元素の価数を高くするには、 焼成は前記酸化性雰囲気 （酸素を含むアルゴン、 空気または酸素など） で行われることが好ましく、 一方、 金属元素の価数を低く するには、 焼成は前記還元性雰囲気 （水素を 0 . 1〜1 0体積％含む窒素、 水素 を 0 . 1〜1 0体積0 /0含むアルゴンなど） で行われることが好ましい。
焼成は、 反応を促進させる観点から、 適量のフラックス存在下で行われてもよ い。 さらに、 焼成は 2回以上われてもよく、 2回以上焼成が繰り返されることに より、 より高い結晶性を有する蛍光体の粒子が得られることがある。 得られた焼成物は、 必要に応じて、 粉砕、 解砕、 洗浄または分級される。 粉砕 および解砕は、 例えば、 ボールミル、 ジェットミルなどを使用して行われる。 上で示した方法で得られる、 本発明の蛍光体は、 真空紫外線により励起によつ て高い輝度を示すので、 P D Pおよび希ガスランプの真空紫外線励起発光素子に 適用され得る。 この真空紫外線励起発光素子は蛍光体を含むものであり、 通常、 上の蛍光体、 基板および電極を含み、 より具体的には、 背面基板、 アドレス電極 、 隔壁、 保護層、 誘電体層、 透明電極、 バス電極および表面ガラス基板を含む。 本発明の蛍光体を応用した P D Pは、 特開平 10-195428号公報に開示されてい るような公知の方法で製造される。 青色、 緑色、 赤色発光用のそれぞれの真空紫 外線励起発光素子用蛍光体が、 セルロース系化合物、 ポリビニルアルコールのよ うな高分子および有機溶媒からなるバインダーと混合されて、 蛍光体ペーストが 調製される。 このペーストは、 スクリーン印刷のような方法によって、 背面基板 の内面の隔壁で仕切られァドレス電極を備えたストライプ状の基板表面と隔壁面 に塗布された後、 3 0 0〜6 0 0 °Cで熱処理されると、 それぞれの蛍光体層が形 成される。 これは、 蛍光体層と直交する方向の透明電極およびバス電極を備え、 内面に誘電体層と保護層を設けた表面ガラス基板を重ねられ、 接着される。 内部 が排気され、 低圧のキセノン （X e ) やネオン （N e ) のような希ガスが封入さ れ、 放電空間が形成されると、 P D Pが得られる。 実施例
次に、 本発明を実施例により詳しく説明するが、 本発明はこれらの実施例によ り制限されるものではない。 参照例
炭酸カルシウム （和光純薬工業 （株） 製、 C a C〇3 ) 、 酸化ユーロピウム （ 信越化学工業 （株） 製、 E u 2 03 ) 、 炭酸マグネシウム （協和化学工業 （株） 製 、 MgC03) 、 酸化ケィ素 （和光純薬工業 （株） 製、 S i 02) の各原料を C a C03 ： Mg C03 ： E u 203 ： S i O2のモル比が 0. 97 : 1 : 0. 01 5 : 2になるように秤量し、 混合した後、 2体積％の水素 （H2) を含むアルゴン （ A r) 雰囲気中で 1400°Cの温度で 2時間焼成して、 式 （C a0.97 Eu0.03) Mg S i2Oeで表される蛍光体を得た。
6. 7 P a (5 X 10 2T 0 r r ) 以下の真空槽内で、 上の蛍光体にエキシマ 146 nmランプ （ゥシォ電機社製、 H001 2型） を用いて紫外線を照射した ところ、 青色の発光を示した。 このときの輝度を 100とする。 実施例 1
炭酸カルシウム （和光純薬工業 （株） 製、 C a C〇3) 、 酸化イットリウム （ 信越化学工業 （株） 製、 Y2O3) 、 酸化ユーロピウム （信越化学工業 （株） 製、 Eu2Os) 、 酸化ケィ素 （和光純薬工業 （株） 製、 S i〇2) 各原料を Ca C03 ： Y203 ： Eu203 ： S i O2のモル比が 0. 95 : 0. 5 : 0. 025 : 1に なるように配合、 混合した後、 2体 ％の水素 （H2) を含むアルゴン （Ar) 雰囲気中で 1400°Cの温度で 2時間保持して焼成して、 式 （C a。 95EuQ.。5 ) 2Y2 S i2〇9 (式 （II) において M1が C a、 M2が Υ、 Μ3が S i、 Ln2がE u、 a = 0. 05、 b = 0の場合である。 ） により表される蛍光体を得た。
6. 7 P a (5 X 10 2To r r) 以下の真空槽内で、 得られた蛍光体にェキ シマ 146 nmランプ （ゥシォ電機社製、 HO 012型） を用いて紫外線を照射 したところ、 青色の発光を示した。 このときの輝度は 108であった。 実施例 2
炭酸カルシウム （和光純薬工業 （株） 製、 Ca C03) 、 酸化イットリウム （ 信越化学工業 （株） 製、 Y203) 、 酸化ユーロピウム （信越化学工業 （株） 製、 Eu2O3) 、 酸化ケィ素 （和光純薬工業 （株） 製、 S i 02) 各原料を Ca CO3 ： Y203 ： Eu203 ： S i 02のモル比が 1 : 0. 475 : 0. 025 : 1にな るように配合、 混合した後、 大気中で 1600 °Cの温度で 2時間焼成して、 式 C a2 (Y0.95 E u0.05) 2 S i 209 (式 （II) において M1が Ca、 M2が Y、 M3 が S i、 Ln1が Eu、 a = 0、 b = 0. 05の場合である。 ） により表される 蛍光体を得た。
6. 7 P a (5 X 10— 2To r r) 以下の真空槽内で、 得られた蛍光体にェキ シマ 146 nmランプ （ゥシォ電機社製、 H 001 2型） を用いて紫外線を照射 したところ、 赤色の発光を示した。 このときの輝度は 125であった。 実施例 3
炭酸カルシウム （和光純薬工業 （株） 製、 Ca CO3) 、 酸化イットリウム （ 信越化学工業 （株） 製、 Y2O3) 、 酸化セリウム （信越化学工業 （株） 製、 C e 02) 、 酸化ケィ素 （和光純薬工業 （株） 製、 S i 02) 各原料を Ca C03 ： Y2 03 ： C e 02 ： S i 02のモル比が 1 : 0. 475 : 0. 05 : 1になるように 配合、 混合した後、 還元雰囲気中で 1400°Cの温度で 2時間保持して焼成して 、 式 C a2 (Y0.95 C e0.05) 2 S i 209 (式 （II) において M1が Ca、 M2が Y 、 M3が S i、 Ln^ C e、 a = 0、 b = 0. 05の場合である。 ） により表さ れる蛍光体を得た。
6. 7 P a (5 X 10— 2To r r) 以下の真空槽内で、 得られた蛍光体にェキ シマ 146 nmランプ （ゥシォ電機社製、 H001 2型） を用いて紫外線を照射 したところ、 青色の発光を示した。 このときの輝度は 107であった。

Claims

請 求 の 範 囲
1. C a、 S rおよび B aからなる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 M \ Y、 L a、 G dおよび L uからなる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元 素 M2、 S iおよび G eからなる群より選ばれる少なくとも 1つの金属元素 M3 、 および酸素を含む金属酸化物と、 付活剤として C e、 P r、 Nd、 Pm、 Sm 、 Eu、 T b、 Dy、 Ho、 E r、 Tm、 Y bおよび Mnからなる群より選ばれ る少なくとも 1つの金属元素 L n 1とを含む蛍光体。
2. 金属酸化物が、 式 Μ'Μ^Μ^Ο (2+3m+4n) /2で表される請求項 1記載の蛍光体 。 ここで、 mは 0. 5以上 1. 5以下の範囲の数値であり、 nは 0. 5以上 2.
5以下の範囲の数 である。
3. 蛍光体が、 式 （M — a L n2 a) 2 (M2 l→ Ln ) 2M3 2 O9で表される請求 項 2記載の蛍光体。 ここで、 Ln2は Sm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群よ り選ばれる少なくとも 1つを表す。 ここで、 aは 0以上 0. 5以下の範囲の数値 であり、 bは 0以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 aと bの合計は 0より大き レ、。
4. 蛍光体が、 式 （M^-c
Figure imgf000010_0001
3 (M2,_d Ln' 2 M3 2 。で表される請求 項 2記載の蛍光体。 ここで、 Ln2は Sm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群よ り選ばれる少なくとも 1つを表す。 ここで、 cは 0以上 0. 5以下の範囲の数値 であり、 dは 0以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 cと dの合計は 0より大き レ、。
5. 蛍光体が、 式 （M1卜 e Ln2 e) 3 (M2い f Ln ) 2 Μ3 6 8で表される請求 項 2記載の蛍光体。 ここで、 Ln2は Sm、 Eu、 Y bおよび Mnからなる群よ り選ばれる少なくとも 1つを表す。 ここで、 eは 0以上 0. 5以下の範囲の数値 であり、 f は 0. 以上 0. 5以下の範囲の数値であり、 eと f の合計は 0より大 きい。
6. 請求項 1〜 5記載の蛍光体を含む真空紫外線励起発光素子。
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