WO2003092038A1 - Ecran d'affichage a excitation par faisceau electronique, substrat en verre utilise dans ledit ecran d'affichage - Google Patents

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WO2003092038A1
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display panel
electron beam
glass
pair
glass substrates
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PCT/JP2003/005215
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Inventor
Masahiro Morishita
Toshiaki Mizuno
Kazunori Hatakeyama
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co., Ltd.
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
    • H01J29/861—Vessels or containers characterised by the form or the structure thereof
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2329/00—Electron emission display panels, e.g. field emission display panels
    • H01J2329/86—Vessels
    • H01J2329/8625—Spacing members

Definitions

  • the present invention relates to an electron beam excitation display panel and a glass substrate used for the display panel.
  • a so-called flat type display As a so-called flat type display that replaces the large and heavy brown tube, a so-called flat type display is a self-luminous type flat type electron beam excitation display. An image is formed by irradiating a phosphor with an electron beam emitted from an electron beam source to generate fluorescence (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 7-230776).
  • a flat-type electron beam excitation display panel includes a glass substrate on which an image forming member is provided on the inner surface to form a front plate, and a glass substrate on which an electron-emitting device group is mounted to form a rear plate. Is provided.
  • the image forming member has a phosphor that emits light when irradiated with an electron beam from the electron emission element.
  • the front plate and the back plate are airtightly joined to each other via a support frame to form a vacuum container that forms an airtight and air-tight structure with the support frame.
  • the electron beam source, phosphor, and other materials used to form an image by applying an electron beam to a phosphor in a vacuum container are built in.
  • a hole is formed in the glass substrate for the front panel to evacuate the inside of the vacuum vessel to a vacuum atmosphere of about 1.33 X 10 " 3 Pa (about 10 ⁇ 5 torr) or less.
  • the inside of the vacuum vessel is in a vacuum atmosphere as described above, as the display screen of the display panel becomes larger, the front plate and the rear plate are deformed or come into contact with each other due to a difference in air pressure between the inside and the outside of the vacuum vessel.
  • a plurality of glass spacers are provided between the front and rear plates as an atmospheric pressure support member. Purchased.
  • the conventional electron beam excitation display panel has a problem that the inside of the panel cannot be efficiently evacuated depending on the position of the hole for evacuating.
  • An object of the present invention is to provide an electron beam excitation display panel capable of efficiently evacuating the inside of the panel, and a glass substrate used for the display panel. Disclosure of the invention
  • a first aspect of the present invention is to provide a pair of glass substrates, a support member for hermetically joining the pair of glass substrates, and a parallel member between the pair of glass substrates. And a pair of glass substrates, the support member, and the glass spacer cooperate to form a confidential vacuum container, and the adjacent glass spacers are provided. At least one or more holes for vacuuming the inside of the electron beam excitation display panel are formed in at least one peripheral portion of the pair of glass substrates. Provide an electron beam excitation display panel.
  • a hole for evacuating the inside of the pair of glass substrates is provided around the glass substrate between the adjacent glass spacers, so that the air between the adjacent glass spacers can be quickly released. Can be exhausted.
  • the number of holes is more than one. This allows the vacuum in the panel The pull can be done quickly.
  • the number of holes is five or more.
  • both of the pair of glass substrates have the holes.
  • one of the pair of glass substrates has the hole.
  • one of the pair of gas substrates forms a front plate of the panel.
  • one of the pair of glass substrates forms a back plate of the panel.
  • the size of the hole is 5 to 30 mm in diameter.
  • the size of the holes is between 5 and 20 mm in diameter.
  • a second aspect of the present invention provides a pair of glass substrates used for an electron beam excited display panel of the first aspect.
  • a hole for evacuating the inside of the pair of glass substrates is provided around the glass substrate between the adjacent glass spacers, so that the adjacent glass spacers are provided. The air in between can be quickly exhausted.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a configuration of an electron beam excitation display panel according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II of FIG.
  • FIG. 3 is an explanatory view of the arrangement of the evacuation holes in the front plate 1 of the electron beam excitation display panel of FIG. BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a configuration of an electron beam excitation display panel according to an embodiment of the present invention.
  • a flat electron beam excitation display and a panel are a glass substrate 15 on which an image forming member 5 is provided on an inner surface to form a front plate 1, and a rear plate on which an electron emission element group described later is mounted. 2 and a glass substrate 21 are provided.
  • the image forming member 5 has a phosphor that emits light when irradiated with an electron beam from the electron-emitting device.
  • Glass substrate 1 5, 2 1, for example, Ri consists Sodara Lee arm glass, the linear expansion coefficient of the glass is 8 8 X 1 0- 7 ⁇ 9 2 X 1 0- 7 ⁇ ⁇ 1.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
  • a vacuum container having a pressure structure is formed.
  • a plurality of glass spacers 4 as atmospheric pressure support members are inserted between the front plate 1 and the rear plate 2.
  • the back plate 2 is composed of a glass substrate 21 and a plurality of NiO having a thickness of lOO nm (1000 angstrom) arranged in a matrix on the glass substrate 21. includes a device portion 2 3, and a plurality of wiring portions 2 4 consisting of a g thick 2 lambda Iotaita formed on the glass base plate 2 1 so as to supply power to these elements 2 3.
  • An electron-emitting device 25 is formed in each of the device sections 23.
  • the wiring pattern of the wiring part 24 is a pattern of parallel lines, and a plurality of electron-emitting devices 25 along these wiring parts 24 are simultaneously supplied with power through a pair of adjacent wiring parts 24. Furthermore, although not shown, the 1 0 m above the glass substrate 2 1, via the S i 0 2 insulating layer 5 0 / m diameter electron passing holes of Is disposed.
  • each of the glass spacers 4 is fixed to the back plate 2 via an adhesive 8, but instead the upper end is fixed to the front plate 1 via an adhesive 8, or The end may be fixed to each of the front plate 1 and the rear plate 2 via the adhesive 8.
  • the aspect ratio (height / maximum width ratio) of the cross-sectional shape of the glass spacer 4 is usually 4 to 50.
  • the glass spacer 4 preferably has a maximum thickness, ie, a maximum width of 0.03 to 0.30 mm. Since the display panel cannot emit light at the part where the glass spacer 4 comes into contact with the front panel 1 or the rear panel 2, it is preferable that the thickness be thin, but if it is less than 0.03 mm, it is too thin. This is because the absolute strength of the glass spacer 4 is insufficient and handling becomes difficult.
  • the glass spacer 4 is arranged in the wiring part 24 in order to increase the aperture ratio of the device blade panel. However, the width of the wiring portion 24 is generally at most 0.30 mm, and it is not advisable that the thickness of the glass spacer 4 exceeds the width of the wiring portion 24.
  • the height of the glass spacer 4 is generally 0.6 to 5.0 mm, preferably 1 to 5 mm.
  • a flat electron beam excitation display panel generally uses an accelerating voltage of 50,000 to 600,000 volts in order to increase the efficiency of phosphor utilization. If the distance between the front plate 1 and the rear plate 2 determined by the height of the glass base plate 4 is less than 1 mm, it is difficult to secure the insulation between them. This is not desirable because the electron beam emitted from the (electron-emitting device 25) spreads too much and emits light to the adjacent pixel (phosphor).
  • the length of the glass panel 4 depends on the size of the display panel and its manufacture. It is determined depending on the method and is generally between 30 and 2000 mm.
  • the display panel was assembled by attaching glass spacers 4 on the back plate 2 on which the electron-emitting devices 25 were mounted at predetermined pitches via sealing frit (adhesive 8).
  • the front plate 1 is bonded to the support frame 3 and the glass spacer 4 using a sealing frit, and is subjected to a heat treatment by firing at about 400 to 500 ° C. Done.
  • FIG. 3 is an explanatory view of the arrangement of vacuum holes in the front panel 1 of the electron beam excitation display panel of FIG.
  • the front plate 1 has two vacuum holes 50 around the front plate 1 between the adjacent glass spacers 4 and at one end of the glass spacer 4. Since the evacuation holes 50 are provided around the front plate 1 between the adjacent glass spacers 4, the air between the adjacent glass spacers 4 can be quickly exhausted, Since the number of the evacuation holes 50 is two, the evacuation in the panel can be performed more quickly than in the case of one.
  • the evacuation hole 50 is provided at one end of the glass spacer 4, but may be provided at both one end and the other end of the glass spacer 4. .
  • two holes for evacuation 50 are provided on front plate 1.
  • holes for evacuation 50 may be provided on rear plate 2, and And back plate 2.
  • the number of evacuation holes 50 is preferably five or more. The larger the number of evacuation holes 50, the quicker the evacuation in the panel.
  • Hole for evacuation The spacing should be less than 400 mm, preferably less than 200 mm.
  • the size of the evacuation hole 50 is preferably 5 to 30 mm in diameter, and more preferably 5 to 20 mm. If the diameter is less than 5 mm, the exhaust efficiency inside the panel is poor, and if it exceeds 3 Omm, the possibility of breakage of the glass substrate when drilling holes increases, and the glass substrates 15 and 2 Cracks and cracks occur when sealing 1 (front panel 1 and rear panel 2).
  • the holes for evacuating the inside of the pair of glass substrates are provided around the glass substrates between the adjacent glass spacers.
  • the air between the adjacent glass sensors can be quickly exhausted.
  • the number of holes is plural, it is possible to quickly evacuate the panel.

Landscapes

  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Description

明 細 書 電子線励起デイ スプレイパネル及び、 該ディ スプレイノ ネルに 用いられるガラス基板 技術分野
本発明は、 電子線励起ディ スプレイパネル及ぴ、 該ディ スプレイパネ ルに用いられるガラス基板に関する。 背景技術
大き く て重いブラ ウ ン管に代わる薄型で軽い、 いわゆる フ ラ ッ ト型デ イ スプレイ と しては、 自発光式のフラ ッ ト型電子線励起ディ スプレイが あ り 、 このディ スプレイ は、 電子線源よ り放出される電子ビーム を蛍光 体に照射して蛍光を発生させるこ と によ り画像を形成する （例えば、 特 開平 7 — 2 3 0 7 7 6号公報） 。
一般に、 フ ラ ッ ト型電子線励起デイ ス プレイパネルは、 内面に画像形 成部材が設けられ前面板を形成するガラス基板と、 電子放出素子群を搭 載し背面板を形成するガラス基板と を備える。 画像形成部材は、 電子放 出素子からの電子ビームが照射されて発光する蛍光体を有する。 前面板 と背面板とは、 支持枠を介して互いに気密的に接合されて支持枠と共に 気密の耐大気圧構造をなす真空容器を形成する。
このよ う なフラ ッ ト型電子線励起ディ スプレイノ、'ネルにあっては、 真 空容器内に、 電子ビームを蛍光体にあてて画像を形成するための電子線 源、 蛍光体、 その他の構成部品が作り込まれ、 例えば前面板用ガラス基 板に、 真空容器内を約 1 . 3 3 X 1 0 "3 P a (約 1 0 ·5 t o r r ) 以下 の真空雰囲気に真空引きする穴が 1 つ設けられている。 また、 真空容器内は上記のよ う に真空雰囲気であるので、 ディ ス プレ ィパネルの表示画面が大き く なる に従って、 真空容器内部と外部の気圧 差によ り前面板と背面板が変形又は接触する場合があ り 、 この変形又は 接触を防止して前面板と背面板との間隔を一定に保っために、 前面板と 背面板間には大気圧支持部材と して複数のガラススぺーサが揷入される。
しか しながら、 従来の電子線励起ディ スプレイパネルでは、 真空引 き するための穴の位置によ っては、 パネル内部の真空引き を効率よ く 行う こ とができ ないという 問題があった。
本発明の目的は、 パネル内部の真空引 き を効率よ く 行う こ とができ る 電子線励起ディ スプレイパネル及ぴ、 該ディ スプレイパネルに用いられ る ガラス基板を提供する こ とにある。 発明の開示
上述の目的を達成するために、 本発明の第 1 のアスペク ト は、 一対の ガラス基板と、 該一対のガラス基板同士を気密に接合する支持部材と、 該一対のガラス基板間に平行に介装された複数のガラススぺ一サと を備 え、 前記一対のガラス基板、 前記支持部材、 及び前記ガラススぺ一サは 協働して機密の真空容器を構成し、 前記隣接するガラススぺ一サ間にお いて前記一対のガラス基板の少な く と も一方の周辺部に、 前記電子線励 起ディ スプレイパネルの内部を真空引 きするための少な く と も 1 つ以上 の穴が形成される電子線励起ディ スプレイパネルを提供する。
この構成によれば、 一対のガラス基板の内部を真空引 きするための穴 が隣接するガラススぺ一サ間においてガラス基板の周囲に設けられてい るので、 隣接するガラススぺーサ間の空気を速やかに排気する こ とがで き る。
好ま し く は、 前記穴の数が複数である。 これによ り、 パネル内の真空 引 き を迅速に行う こ とができ る。
よ り好ま し く は、 前記穴の数は 5つ以上である。
また、 よ り 好ま し く は、 前記一対のガラス基板の双方が前記穴を有す る。
又は、 前記一対のガラス基板の一方が前記穴を有する。
よ り 好ま し く は、 前記一対のガ ス基板の一方は前記パネルの前面板 を形成する。
又は、前記一対のガラス基板の一方は前記パネルの背面板を形成する。 また、 好ま し く は、 前記穴のサイズは直径 5 〜 3 0 m mである。
よ り 好ま し く は、 前記穴のサイズは直径 5 〜 2 0 m mである。
上述の目的を達成するために、 本発明の第 2 のアスペク ト は、 第 1 の アスペク トの電子線励起ディ スプレイノ ネルに用いられる一対のガラス 基板を提供する。
第 2 のァスぺク ト によれば、 一対のガラス基板の内部を真空引 きする ための穴が隣接するガラススぺーサ間においてガラス基板の周囲に設け られているので、 隣接するガラススぺーサ間の空気を速やかに排気する こ とができ る。
本発明の上述の及びその他の目的、 特徴並びに利点は、 添付の図面に 基づく 下記の詳細な説明によ り一層明らかになるであろ う。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の実施の形態に係る電子線励起ディ ス プレイパネルの 構成を示す分解斜視図である。
図 2 は、 図 1 の線 II一 IIに沿う 断面図である。
図 3 は、 図 1 の電子線励起ディ スプレイパネルの前面板 1 の真空引き 用穴の配置の説明図である。 発明を実施するための最良の形態
以下、 本発明の実施の形態を図面を参照して、 詳細に説明する。
図 1 は、 本発明の実施の形態に係る電子線励起ディ ス プレイパネルの 構成を示す分解斜視図である。
図 1 において、 フラ ッ ト型電子線励起ディ スプレイノ、'ネルは、 内面に 画像形成部材 5が設けられ前面板 1 を形成するガラス基板 1 5 と、 後述 する電子放出素子群を搭載し背面板 2 を形成する ガラス基板 2 1 と を備 える。 画像形成部材 5は、 該電子放出素子から電子ビームが照射されて 発光する蛍光体を有する。 ガラス基板 1 5 , 2 1 は、 例えばソーダラ イ ム ガラスから成 り 、 このガラスの線膨張係数は 8 8 X 1 0—7〜 9 2 X 1 0—7 Κ·1である。
前面板 1 と背面板 2 と は、 図 1 の線 II一 II に沿う 断面図である図 2 に 示すよ う に支持枠 3 を介して気密的に接合されて支持枠 3 と共に気密の 耐大気圧構造をなす真空容器を形成する。 また、 前面板 1 と背面板 2 と の間には、 大気圧支持部材と しての複数のガラススぺーサ 4が揷入され る。
背面板 2 は、 ガラス基板 2 1 と、 ガラス基板 2 1上にマ ト リ ッ ク ス状 に配列された厚さ l O O n m ( 1 0 0 0オングス ト ローム） の N i から 成る複数個の素子部 2 3 と、 これらの素子部 2 3 に給電すべく ガラス基 板 2 1上に形成された厚さ 2 Λ ιηの A gから成る複数の配線部 2 4 と を 備える。 素子部 2 3の各々 には、 電子放出素子 2 5が形成されている。 配線部 2 4の配線パター ンは平行線のパター ンであ り 、 隣り合う 一対の 配線部 2 4 を通して、 これらの配線部 2 4 に沿う 複数の電子放出素子 2 5は、 同時に給電される。 更に、 図示されていないが、 ガラス基板 2 1 の 1 0 m上方には、 S i 02 絶縁層を介して 5 0 / m径の電子通過孔 を有する変調電極が配置されている。
ガラススぺ一サ 4 の各々は、 下端が接着剤 8 を介して背面板 2 に固定 されるが、 これに代えて、 上端が接着剤 8 を介して前面板 1 に固定され るか、 又は上下端が接着剤 8 を介して前面板 1 及び背面板 2 の夫々 に固 定されても よい。
ガラススぺ一サ 4 の断面形状のァスぺク ト比 （aspect ratio ) (高さ / 最大幅比） は通常は 4 〜 5 0 である。
ガラ ススぺーサ 4 は、 最大厚さ厚さ、 即ち最大幅が 0 . 0 3 〜 0 . 3 0 m mであるのがよい。 ガラススぺ一サ 4が前面板 1 又は背面板 2 と接 触する部分はディ スプレイパネルが発光表示でき ないので、 厚さは薄い ほう が好ま しいが、 0 . 0 3 m m未満では薄すぎて、 ガラススぺーサ 4 の絶対強度が不足して取り扱いが困難と なるからであ り 、 また、 デイ ス ブレイパネルの開口率を上げるためにガラススぺーサ 4 を配線部 2 4 に 配置する こ と になるが、 その配線部 2 4 の幅は一般的に最大 0 . 3 0 m mであ り 、 ガラススぺーサ 4 の厚さが配線部 2 4 の幅を超えるのは得策 ではないからである。
ガラススぺ一サ 4 は、 高さが一般的に 0 . 6 〜 5 . 0 m mであ り 、 好 ま し く は 1 〜 5 m mであるのがよい。 フラ ッ ト型電子線励起ディ ス プレ ィパネルでは、 蛍光体の利用効率を高めるために、 一般的に 5 0 0 0 〜 6 0 0 0 ボル ト の髙加速電圧 （accelerating voltage) を用いるので、 ガ ラススべ一サ一 4 の高さによ って決ま る前面板 1 と背面板 2 と の間隔が 1 m m未満では双方の絶縁性を確保するのが難し く 、 5 m mを超える と 電子線源 （電子放出素子 2 5 ) から放出された電子ビームが広がり すぎ て隣接する画素 （蛍光体） まで発光して しま う ので好ま し く ないからで ある。
ガラススぺ一サ 4 の長さは、 ディ スプレイパネルの大き さやその製造 方法に依存して決定され、 一般的に 3 0 〜 2 0 0 0 m mである。
また、 ディ スプレイパネルの組立ては、 電子放出素子 2 5 を搭載した 背面板 2 の上にガラススぺーサ 4 を封着用フ リ ッ ト （接着剤 8 ) を介し て所定のピッチで並べて接着した上で、 支持枠 3 ゃガラススぺーサ 4 に 前面板 1 を封着用フ リ ッ ト を用いて接着し、 約 4 0 0 〜 5 0 0 °Cで焼成 によ る熱処理を施すこ とによ り行われる。
以下、 図 1 の電子線励起ディ ス プレイ パネルに設けられる、 例えば約 1 . 3 3 X 1 0 -3 P a (約 1 0 -5 t o r r. ) 以下の真空雰囲気に該パネ ル内部を真空引 きするための穴の配置について説明する。
図 3 は、 図 1 の電子線励起ディ スプレイパネルの前面板 1 の真空引 き 用穴の配置の説明図である。
図 3 において、 前面板 1 は、 隣接するガラススぺーサ 4 間で、 且つガ ラススぺーサ 4 の一端側において前面板 1 の周囲に 2 つの真空引 き用穴 5 0 を有する。 真空引 き用穴 5 0 が、 隣接するガラススぺーサ 4 間にお いて前面板 1 の周囲に設けられているので、 隣接するガラススぺーサ 4 間の空気を速やかに排気する こ とができ、 真空引 き用穴 5 0 の数が 2 つ であるので、 1 つの場合に比べて、 パネル内の真空引き を迅速に行う こ とができ る。
本実施の形態では、 真空引 き用穴 5 0 は、 ガラススぺーサ 4 の一端側 に設けられているが、 ガラススぺ一サ 4 の一端側及び他端側の双方に設 けられても よい。
本実施の形態では、 真空引 き用穴 5 0 は前面板 1 に 2 つ設けられてい るが、 本真空引 き用穴 5 0 は、 背面板 2 に設けられても よ く 、 前面板 1 及び背面板 2 の双方に設けられても よい。 真空引 き用穴 5 0 の数は、 好 ま し く は 5 つ以上であるのが好ま しい。 真空引き用穴 5 0の数が多い方 がパネル内の真空引き を迅速に行う こ とができ る。 真空引き用穴 5 0 の 間隔は、 4 0 0 m m以下、 好ま し く は 2 0 0 m m以下であるのがよい。 真空引き用穴 5 0 のサイズは、 直径で 5 〜 3 0 m m、 好ま し く は 5 〜 2 0 m mであるのがよい。 直径が 5 m m未満のと きは、 パネル内の排気 効率が悪 く 、 3 O m mを超える と穴穿けの際にガラス基板が破損する可 能性が高 く なる と共に、 ガラス基板 1 5 , 2 1 (前面板 1 ， 背面板 2 ) の封着時に割れやク ラ ッ クが発生する。 産業上の利用可能性
以上詳細に説明 したよ う に、 本発明のパネルによれば、 一対のガラス 基板の内部を真空引きするための穴が隣接するガラススぺーサ間におい てガラス基板の周囲に設けられているので、 隣接するガラススぺ一サ間 の空気を速やかに排気するこ とができ る。
本発明のパネルの好ま しい形態によれば、 穴の数が複数であるので、 パネル内の真空引 き を迅速に行う こ とができ る。

Claims

請 求 の 範 囲 1 . 下記を備える電子線励起ディ ス プレイパネル ：
一対のガラス基板 ；
該一対のガラス基板同士を気密に接合する支持部材 ；
該一対のガラス基板間に平行に介装された複数のガラススぺ一サ ； 及 び
前記一対のガラス基板、 前記支持部材、 及び前記ガラススぺ一サは協 働して機密の真空容器を構成する ：
前記隣接するガラススぺ一サ間において前記一対のガラス基板の少な く と も一方の周辺部に、 前記電子線励起ディ ス プレイ パネルの内部を真 空引 きするための少な く と も 1 つ以上の穴が形成される。
2 . 前記穴の数が複数である請求の範囲第 1 項記載の電子線励起ディ ス プレ イ ノ、'ネル。
3 . 前記穴の数は 5つ以上である請求の範囲第 2項記載の電子線励起 ディ ス プレ イ ノ、'ネル。
4 . 前記一対のガラス基板の双方が前記穴を有する請求の範囲第 2 項 記載の電子線励起ディ ス プレイパネル。
5 . 前記一対のガラス基板の一方が前記穴を有する請求の範囲第 2項 記載の電子線励起ディ ス プレイパネル。
6 . 前記一対のガラス基板の一方は前記パネルの前面板を形成する請 求の範囲第 5項記載の電子線励起ディ スプレイパネル。
7 . 前記一対のガラス基板の一方は前記パネルの背面板から成る請求 の範囲第 5項記載の電子線励起ディ ス プレイパネル。
8 . 前記穴のサイズは直径 5 〜 3 0 m mである請求の範囲第 1 項記載 の電子線励起ディ ス プレイパネル。
9. 前記穴のサイズは直径 5〜 2 0 mmである請求の範囲第 8項記載 の電子線励起ディ ス プレイ パネル。
1 0. 請求の範囲第 1項乃至第 9項のいずれか 1項に記載の電子線励 己ディ ス プレイノ、'ネルに用い られる一対のガラス基板。
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JP3222357B2 (ja) * 1994-06-09 2001-10-29 キヤノン株式会社 画像形成装置及びその製造方法

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