JPH07122189A - 電界放出型フラットディスプレイ装置の製法 - Google Patents
電界放出型フラットディスプレイ装置の製法Info
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- JPH07122189A JPH07122189A JP26388293A JP26388293A JPH07122189A JP H07122189 A JPH07122189 A JP H07122189A JP 26388293 A JP26388293 A JP 26388293A JP 26388293 A JP26388293 A JP 26388293A JP H07122189 A JPH07122189 A JP H07122189A
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2201/00—Electrodes common to discharge tubes
- H01J2201/30—Cold cathodes
- H01J2201/304—Field emission cathodes
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- H01J2329/86—Vessels
- H01J2329/8625—Spacing members
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空排気中等に偏平管が破損する虞がなく、
且つ、第１及び第２のパネル間の間隔の不均一による画
質劣化の生じない電界放出型フラットディスプレイ装置
を得ることのできる製法を提案する。 【構成】 第１及び第２のパネル１、２が所要の間隔を
保持して対向され、その第１及び第２のパネル１、２間
に気密偏平空間が形成された偏平管４内に、電界放出型
ディスプレイ機構が配されて成る電界放出型フラットデ
ィスプレイ装置の製法において、第１及び第２のパネル
１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁性無機物の
リング状スペーサ１３を介在させ、そのリング状スペー
サ１３と第１及び第２のパネル１、２との間を接着媒体
を用いずに、陽極接合（又は超音波振動の付与）によっ
て、互いに直接接合して気密的に封止する。
且つ、第１及び第２のパネル間の間隔の不均一による画
質劣化の生じない電界放出型フラットディスプレイ装置
を得ることのできる製法を提案する。 【構成】 第１及び第２のパネル１、２が所要の間隔を
保持して対向され、その第１及び第２のパネル１、２間
に気密偏平空間が形成された偏平管４内に、電界放出型
ディスプレイ機構が配されて成る電界放出型フラットデ
ィスプレイ装置の製法において、第１及び第２のパネル
１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁性無機物の
リング状スペーサ１３を介在させ、そのリング状スペー
サ１３と第１及び第２のパネル１、２との間を接着媒体
を用いずに、陽極接合（又は超音波振動の付与）によっ
て、互いに直接接合して気密的に封止する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電界放出型カソードよ
りの電子ビームを蛍光面に照射して表示を行うようにし
た電界放出型フラットディスプレイ装置の製法の改良に
関する。
りの電子ビームを蛍光面に照射して表示を行うようにし
た電界放出型フラットディスプレイ装置の製法の改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】低電圧励起で比較的解像度の高いディス
プレイ装置として、電界放出型マイクロチップカソード
を用いた電界放出型フラットディスプレイ装置（ＦＥ
Ｄ）がある。このディスプレイ装置は、螢光面に対向し
て微細加工によって作製した微細な円錐状のカソード、
即ち、所謂マイクロチップカソードを配置し、これに電
界を与えて電子を放出させ、その電子を螢光面に照射し
て発光させて画像表示を行うようにしたものである。
プレイ装置として、電界放出型マイクロチップカソード
を用いた電界放出型フラットディスプレイ装置（ＦＥ
Ｄ）がある。このディスプレイ装置は、螢光面に対向し
て微細加工によって作製した微細な円錐状のカソード、
即ち、所謂マイクロチップカソードを配置し、これに電
界を与えて電子を放出させ、その電子を螢光面に照射し
て発光させて画像表示を行うようにしたものである。
【０００３】以下に、図７、図８及び図９を参照して、
この電界放出型フラットディスプレイ装置の構造及びそ
の製法を説明する。図７に示す如く、このディスプレイ
装置は、第１のガラスパネル（背面ガラスパネル）１及
び透明な第２のガラスパネル（前面ガラスパネル）２が
所要の小間隔を以て対向配置され、これらパネル１、２
の周辺部間がフリットシール３によって気密的に封止さ
れて、電界放出型ディスプレイ機構が収納される薄型の
偏平管（偏平容器）４が構成される。この偏平管４内の
気密空間の高さは、例えば、０．３ｍｍである。
この電界放出型フラットディスプレイ装置の構造及びそ
の製法を説明する。図７に示す如く、このディスプレイ
装置は、第１のガラスパネル（背面ガラスパネル）１及
び透明な第２のガラスパネル（前面ガラスパネル）２が
所要の小間隔を以て対向配置され、これらパネル１、２
の周辺部間がフリットシール３によって気密的に封止さ
れて、電界放出型ディスプレイ機構が収納される薄型の
偏平管（偏平容器）４が構成される。この偏平管４内の
気密空間の高さは、例えば、０．３ｍｍである。
【０００４】次に、図８及び図９を参照して、偏平管４
内に収納される電界放出型ディスプレイ機構について説
明する。図８に示す如く、第１のガラスパネル１上に、
一方向（ｘ方向）に延在するストライプ状の複数のカソ
ード電極（Ｃｒ等から成る）５が、平行に配列される如
く被着形成され、その上に絶縁層（ＳｉＯ2 等から成
る）６を介して、カソード電極５の延在方向と直交する
方向（ｙ方向）に延在するストライプ状の複数のゲート
電極（Ｍｏ、Ｗ等から成る）７が、平行に配列される如
く被着形成される。
内に収納される電界放出型ディスプレイ機構について説
明する。図８に示す如く、第１のガラスパネル１上に、
一方向（ｘ方向）に延在するストライプ状の複数のカソ
ード電極（Ｃｒ等から成る）５が、平行に配列される如
く被着形成され、その上に絶縁層（ＳｉＯ2 等から成
る）６を介して、カソード電極５の延在方向と直交する
方向（ｙ方向）に延在するストライプ状の複数のゲート
電極（Ｍｏ、Ｗ等から成る）７が、平行に配列される如
く被着形成される。
【０００５】図９に示す如く、各カソード電極５と、ゲ
ート電極７との交差部に、ゲート電極７及び絶縁層６を
貫通する複数の微細透孔８が穿設され、各透孔８内のカ
ソード電極５上にそれぞれ円錐状のマイクロチップカソ
ード９が被着形成される。
ート電極７との交差部に、ゲート電極７及び絶縁層６を
貫通する複数の微細透孔８が穿設され、各透孔８内のカ
ソード電極５上にそれぞれ円錐状のマイクロチップカソ
ード９が被着形成される。
【０００６】各カソード電極５及び各ゲート電極７並び
に絶縁層６は、それぞれスパッタリング、真空蒸着等に
よる成膜と、フォトリソグラフィによるパターン化と、
透孔８の穿設によって、第１のガラスパネル１上に形成
される。そして、第１のガラスパネル１を回転させなが
ら、これら各カソード電極５及び各ゲート電極７並びに
絶縁層６に対し、その上方から斜めに蒸着、スパッタリ
ング等を行って、各透孔８内に略円錐状の、例えば、Ｗ
から成る電界放出型マイクロチップカソード９を被着形
成する。
に絶縁層６は、それぞれスパッタリング、真空蒸着等に
よる成膜と、フォトリソグラフィによるパターン化と、
透孔８の穿設によって、第１のガラスパネル１上に形成
される。そして、第１のガラスパネル１を回転させなが
ら、これら各カソード電極５及び各ゲート電極７並びに
絶縁層６に対し、その上方から斜めに蒸着、スパッタリ
ング等を行って、各透孔８内に略円錐状の、例えば、Ｗ
から成る電界放出型マイクロチップカソード９を被着形
成する。
【０００７】第２のガラスパネル２上には、透明電極
（図示せず）が被着形成され、その上に赤、緑及び青の
ストライプ状の蛍光面１１が被着形成される。赤、緑及
び青の蛍光面１１が、カソード電極５及びゲート電極７
の交差部に対向して被着形成される。赤、緑及び青の蛍
光面１１の中間にはブラックマトリックス１０が塗布さ
れている。尚、蛍光面１１はストライプ状の赤、緑及び
青の蛍光面でも良いし、又、白黒蛍光面でも良い。
（図示せず）が被着形成され、その上に赤、緑及び青の
ストライプ状の蛍光面１１が被着形成される。赤、緑及
び青の蛍光面１１が、カソード電極５及びゲート電極７
の交差部に対向して被着形成される。赤、緑及び青の蛍
光面１１の中間にはブラックマトリックス１０が塗布さ
れている。尚、蛍光面１１はストライプ状の赤、緑及び
青の蛍光面でも良いし、又、白黒蛍光面でも良い。
【０００８】かかる電界放出型フラットディスプレイ装
置において、ゲート電極７にカソード電極５に対して所
要の正の電圧を印加し、マイクロチップカソード９に所
要の電界、例えば、１０6 〜１０8 Ｖ／ｃｍ程度の電界
強度を与えることにより、マイクロチップカソード９の
先端から電子が放出され、この電子は透明電極に印加さ
れた所定の螢光面電位によって与えられる運動エネルギ
ーで、赤、緑及び青螢光面１１を励起して発光表示を行
わせる。
置において、ゲート電極７にカソード電極５に対して所
要の正の電圧を印加し、マイクロチップカソード９に所
要の電界、例えば、１０6 〜１０8 Ｖ／ｃｍ程度の電界
強度を与えることにより、マイクロチップカソード９の
先端から電子が放出され、この電子は透明電極に印加さ
れた所定の螢光面電位によって与えられる運動エネルギ
ーで、赤、緑及び青螢光面１１を励起して発光表示を行
わせる。
【０００９】しかして、偏平管４内を排気して高真空に
した後、その排気通路を封止する作業が行われる。この
排気及び封止は、通常の陰極線管におけるのと同様であ
って、図７に示すように、偏平管４と連通するチップ管
４ａを第１のガラスパネル１に沿うように、又は、第１
のガラスパネル１に直角に植立されるように設ける。そ
して、このチップ管４ａを通じて偏平管４内を高真空に
排気し、しかる後、このチップ管４ａの一部を局所的に
加熱溶融して封止する。
した後、その排気通路を封止する作業が行われる。この
排気及び封止は、通常の陰極線管におけるのと同様であ
って、図７に示すように、偏平管４と連通するチップ管
４ａを第１のガラスパネル１に沿うように、又は、第１
のガラスパネル１に直角に植立されるように設ける。そ
して、このチップ管４ａを通じて偏平管４内を高真空に
排気し、しかる後、このチップ管４ａの一部を局所的に
加熱溶融して封止する。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の電界放出
型フラットディスプレイ装置では、図７に示す如く、第
１及び第２のガラスパネル１、２の各周辺部間をフリッ
トシール３で封止して、偏平管４を構成しているが、そ
の際ガラスフリットの塗布厚を一定にすることが困難で
あり、これはディスプレイ装置が大型に成る程一層困難
に成る。このガラスフリットの塗布厚が一定でないと、
偏平管４内を高真空に排気する際、偏平管４がそのフリ
ートシール３の所で割れる虞がある。又、ガラスフリッ
トの厚さが０．５ｍｍを越える部分では、耐久性が極度
に低下する。又、ガラスフリットの塗布厚の均一化が困
難であるため、第１及び第２のガラスパネル１、２間の
間隔が均一に成らない虞があり、その場合には螢光面１
１上の電子ビームのスポット径が不均一と成って、画質
劣化を招来する。更に、ガラスフリットからの有機物
（バインダ）が偏平管４内に放出されて、その内部が汚
染される虞がある。
型フラットディスプレイ装置では、図７に示す如く、第
１及び第２のガラスパネル１、２の各周辺部間をフリッ
トシール３で封止して、偏平管４を構成しているが、そ
の際ガラスフリットの塗布厚を一定にすることが困難で
あり、これはディスプレイ装置が大型に成る程一層困難
に成る。このガラスフリットの塗布厚が一定でないと、
偏平管４内を高真空に排気する際、偏平管４がそのフリ
ートシール３の所で割れる虞がある。又、ガラスフリッ
トの厚さが０．５ｍｍを越える部分では、耐久性が極度
に低下する。又、ガラスフリットの塗布厚の均一化が困
難であるため、第１及び第２のガラスパネル１、２間の
間隔が均一に成らない虞があり、その場合には螢光面１
１上の電子ビームのスポット径が不均一と成って、画質
劣化を招来する。更に、ガラスフリットからの有機物
（バインダ）が偏平管４内に放出されて、その内部が汚
染される虞がある。
【００１１】かかる点に鑑み、本発明は、真空排気中等
に偏平管が破損する虞がなく、且つ、第１及び第２のパ
ネル間の間隔の不均一による画質劣化の生じない電界放
出型フラットディスプレイ装置を得ることのできる製法
を提案しようとするものである。
に偏平管が破損する虞がなく、且つ、第１及び第２のパ
ネル間の間隔の不均一による画質劣化の生じない電界放
出型フラットディスプレイ装置を得ることのできる製法
を提案しようとするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、第１及び第２
のパネル１、２が所要の間隔を保持して対向され、その
第１及び第２のパネル１、２間に気密偏平空間が形成さ
れた偏平管４内に、電界放出型ディスプレイ機構が配さ
れて成る電界放出型フラットディスプレイ装置の製法に
おいて、第１及び第２のパネル１、２間の偏平空間を形
成する周辺部に絶縁性無機物のリング状スペーサ１３を
介在させ、そのリング状スペーサ１３と第１及び第２の
パネル１、２との間を接着媒体を用いずに互いに直接接
合して気密的に封止する。
のパネル１、２が所要の間隔を保持して対向され、その
第１及び第２のパネル１、２間に気密偏平空間が形成さ
れた偏平管４内に、電界放出型ディスプレイ機構が配さ
れて成る電界放出型フラットディスプレイ装置の製法に
おいて、第１及び第２のパネル１、２間の偏平空間を形
成する周辺部に絶縁性無機物のリング状スペーサ１３を
介在させ、そのリング状スペーサ１３と第１及び第２の
パネル１、２との間を接着媒体を用いずに互いに直接接
合して気密的に封止する。
【００１３】
【作用】かかる本発明によれば、第１及び第２のパネル
１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁性無機物の
リング状スペーサ１３を介在させ、そのリング状スペー
サ１３と第１及び第２のパネル１、２との間を接着媒体
を用いずに互いに直接接合して気密的に封止するので、
真空排気中等に偏平管が破損する虞がなく、且つ、第１
及び第２のパネル間の間隔の不均一による画質劣化が生
じない。
１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁性無機物の
リング状スペーサ１３を介在させ、そのリング状スペー
サ１３と第１及び第２のパネル１、２との間を接着媒体
を用いずに互いに直接接合して気密的に封止するので、
真空排気中等に偏平管が破損する虞がなく、且つ、第１
及び第２のパネル間の間隔の不均一による画質劣化が生
じない。
【００１４】
【実施例】以下に、図面を参照して、本発明の実施例を
詳細に説明する。尚、この実施例の電界放出型フラット
ディスプレイ装置の偏平管４内に収納されている電界放
出型ディスプレイ機構は、上述した従来例と同様である
ので、その重複説明は省略する。
詳細に説明する。尚、この実施例の電界放出型フラット
ディスプレイ装置の偏平管４内に収納されている電界放
出型ディスプレイ機構は、上述した従来例と同様である
ので、その重複説明は省略する。
【００１５】図１の実施例（１）では、第１及び第２の
ガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶
縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラス
スペーサ１３を介在させるたものを、例えば、真空度が
１０-7Torrの真空容器中に収納し、リング状ガラススペ
ーサ１３に対応する第１及び第２のパネル１、２上に電
極（電極板）を配すると共に、その各電極上にそれぞれ
加熱ヒータを配する。又、ガラススペーサ１３に電極を
設ける。
ガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶
縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラス
スペーサ１３を介在させるたものを、例えば、真空度が
１０-7Torrの真空容器中に収納し、リング状ガラススペ
ーサ１３に対応する第１及び第２のパネル１、２上に電
極（電極板）を配すると共に、その各電極上にそれぞれ
加熱ヒータを配する。又、ガラススペーサ１３に電極を
設ける。
【００１６】そして、両加熱ヒータで第１及び第２のパ
ネル１，２側を例えば、３００°Ｃ程度に加熱し、第１
及び第２のパネル１，２側の電極が正、ガラススペーサ
１３側の電極が負と成るようにこれら電極間に例えば、
５００Ｖの直流電圧を印加して、第１及び第２のパネル
１，２及びリング状スペーサ１３間を陽極接合する。
ネル１，２側を例えば、３００°Ｃ程度に加熱し、第１
及び第２のパネル１，２側の電極が正、ガラススペーサ
１３側の電極が負と成るようにこれら電極間に例えば、
５００Ｖの直流電圧を印加して、第１及び第２のパネル
１，２及びリング状スペーサ１３間を陽極接合する。
【００１７】尚、陽極接合の技術は、特公昭５３−２８
７４７号公報、特開平２−１４１４４２号公報、特開平
３−２９３５３２号公報等に開示されている。
７４７号公報、特開平２−１４１４４２号公報、特開平
３−２９３５３２号公報等に開示されている。
【００１８】又、第１のパネル１上には、赤、緑及び青
の螢光面１１の中間の適当な場所に、絶縁性ガラスペー
スト等の重ね塗り印刷によって、ガラススペーサ１３と
同じ高さ又はこれより僅かに低い絶縁性を有する複数の
柱１２を被着形成して、第１及び第２のパネル１、２の
中間部のスペーサとする。
の螢光面１１の中間の適当な場所に、絶縁性ガラスペー
スト等の重ね塗り印刷によって、ガラススペーサ１３と
同じ高さ又はこれより僅かに低い絶縁性を有する複数の
柱１２を被着形成して、第１及び第２のパネル１、２の
中間部のスペーサとする。
【００１９】更に、陽極接合の代わりに、第１及び第２
のガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に
絶縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラ
ススペーサ１３を介在させるたものを、例えば、真空度
が１０-7Torrの真空容器中に収納し、リング状ガラスス
ペーサ１３の介在された第１及び第２のパネル１、２間
の偏平空間を形成する周辺部に、超音波発生器によって
超音波振動を与えて、第１及び第２のガラスパネル１、
２とガラススペーサ１３との間を、接着媒体を用いずに
直接接合する。尚、この超音波振動の付与は、通常気圧
（略１気圧）下で行っても良いが、真空中だと、ガラス
の表面が活性状態に成るので、通常気圧下で行う場合に
比べて接合し易く成る。
のガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に
絶縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラ
ススペーサ１３を介在させるたものを、例えば、真空度
が１０-7Torrの真空容器中に収納し、リング状ガラスス
ペーサ１３の介在された第１及び第２のパネル１、２間
の偏平空間を形成する周辺部に、超音波発生器によって
超音波振動を与えて、第１及び第２のガラスパネル１、
２とガラススペーサ１３との間を、接着媒体を用いずに
直接接合する。尚、この超音波振動の付与は、通常気圧
（略１気圧）下で行っても良いが、真空中だと、ガラス
の表面が活性状態に成るので、通常気圧下で行う場合に
比べて接合し易く成る。
【００２０】図２の実施例（２）では、第１及び第２の
ガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶
縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラス
スペーサ１３との間の接着媒体を用いない直接接合と同
時に、ゲッター装置（ゲッター容器）１４のパイレック
スガラス、セラミックス等から成るゲッター基板１５と
第１のガラススペーサ１との間の接着媒体を用いない直
接結合を行う。
ガラスパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶
縁性無機物としてのリング状スペーサ、ここではガラス
スペーサ１３との間の接着媒体を用いない直接接合と同
時に、ゲッター装置（ゲッター容器）１４のパイレック
スガラス、セラミックス等から成るゲッター基板１５と
第１のガラススペーサ１との間の接着媒体を用いない直
接結合を行う。
【００２１】このゲッター装置１４のゲッター基板１５
の形状は、図３（Ａ）、（Ｂ）に例示するような円板、
矩形板等その形状の如何を問わない。そして、このゲッ
ター基板１５上には、図５（Ａ）、（Ｂ）に示す如く複
数の同心円状、ジグザグ状又はのその他の形状の金属パ
ターン（加熱手段）１６を被着形成し、図４に示す如
く、その上に、金属パターン１６同じパターンのゲッタ
ー材１７を被着形成する。尚、このゲッター装置１４を
第１のガラスパネル１に接合する前に、金属パターン１
６に通電し｛図５（Ｂ）の場合｝、又は、高周波加熱
｛図５（Ａ）及び（Ｂ）の場合｝して、ゲッター材１７
をゲッター時より低い温度で加熱して、ゲッター剤１７
に含まれているガスを放出させておく。
の形状は、図３（Ａ）、（Ｂ）に例示するような円板、
矩形板等その形状の如何を問わない。そして、このゲッ
ター基板１５上には、図５（Ａ）、（Ｂ）に示す如く複
数の同心円状、ジグザグ状又はのその他の形状の金属パ
ターン（加熱手段）１６を被着形成し、図４に示す如
く、その上に、金属パターン１６同じパターンのゲッタ
ー材１７を被着形成する。尚、このゲッター装置１４を
第１のガラスパネル１に接合する前に、金属パターン１
６に通電し｛図５（Ｂ）の場合｝、又は、高周波加熱
｛図５（Ａ）及び（Ｂ）の場合｝して、ゲッター材１７
をゲッター時より低い温度で加熱して、ゲッター剤１７
に含まれているガスを放出させておく。
【００２２】次に、図６のゲッター装置の取付け装置の
一例を説明する。尚、以下の動作は上述と同様の真空中
又は非真空中で行う。第１のガラスパネル１に予め穿設
した透孔１ａに対し、金属より成るＯリングを介してパ
イプ１９の一端を第１のガラスパネル１に押しつけるよ
うに配する。そして、棒１８の一端に台２１を設け、そ
の上に上述のゲッター装置１４を載置する。ゲッター装
置１４の下面に電極（電極板）を配し、その電極の下に
３００℃の加熱ヒータを配すると共に、第２のパネル２
の上面に電極を設ける。そして、ゲッター装置１４側の
電極が正、第２のパネル２側の電極が負となるようにこ
れら電極間に５００Ｖの直流電圧を印加すると共に、パ
イプ１９の他端を真空ポンプ（図示せず）に連結して高
真空に排気しながら、台２１上のゲッター装置１４を、
透孔１ａを閉塞する如く第１のガラスパネル１の下面に
押しつけて、ゲッター装置１４のゲッター基板１５を第
１のガラスパネル１上に、接着媒体を用いずに直接接
合、即ち、陽極接合する。
一例を説明する。尚、以下の動作は上述と同様の真空中
又は非真空中で行う。第１のガラスパネル１に予め穿設
した透孔１ａに対し、金属より成るＯリングを介してパ
イプ１９の一端を第１のガラスパネル１に押しつけるよ
うに配する。そして、棒１８の一端に台２１を設け、そ
の上に上述のゲッター装置１４を載置する。ゲッター装
置１４の下面に電極（電極板）を配し、その電極の下に
３００℃の加熱ヒータを配すると共に、第２のパネル２
の上面に電極を設ける。そして、ゲッター装置１４側の
電極が正、第２のパネル２側の電極が負となるようにこ
れら電極間に５００Ｖの直流電圧を印加すると共に、パ
イプ１９の他端を真空ポンプ（図示せず）に連結して高
真空に排気しながら、台２１上のゲッター装置１４を、
透孔１ａを閉塞する如く第１のガラスパネル１の下面に
押しつけて、ゲッター装置１４のゲッター基板１５を第
１のガラスパネル１上に、接着媒体を用いずに直接接
合、即ち、陽極接合する。
【００２３】尚、この場合も、真空中又は非真空中での
超音波振動の付与による、接着媒体を用いない直接接合
も可能である。
超音波振動の付与による、接着媒体を用いない直接接合
も可能である。
【００２４】その後、ゲッター装置１４の金属パターン
１６を、上述と同様に通電又は高周波加熱によって加熱
して、ゲッター処理を行うが、その温度はガス放出時よ
り高温である。
１６を、上述と同様に通電又は高周波加熱によって加熱
して、ゲッター処理を行うが、その温度はガス放出時よ
り高温である。
【００２５】このように、偏平管４内を、第１のパネル
１に穿設した透孔１ａから排気しながら、その透孔１ａ
を閉塞する如く、その第１のパネル１にゲッター装置
を、接着媒体を用いることなく直接接続するので、邪魔
なチップ管が不要と成り、又、チップ管の封着時のよう
なガス発生がないので、偏平管４内の雰囲気を汚す虞は
なく成る。
１に穿設した透孔１ａから排気しながら、その透孔１ａ
を閉塞する如く、その第１のパネル１にゲッター装置
を、接着媒体を用いることなく直接接続するので、邪魔
なチップ管が不要と成り、又、チップ管の封着時のよう
なガス発生がないので、偏平管４内の雰囲気を汚す虞は
なく成る。
【００２６】
【発明の効果】かかる本発明製法によれば、第１及び第
２のパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁
性無機物のリング状スペーサ１３を介在させ、そのリン
グ状スペーサ１３と第１及び第２のパネル１、２との間
を接着媒体を用いずに互いに直接接合して気密的に封止
するので、真空排気中等に偏平管が破損する虞がなく、
且つ、第１及び第２のパネル間の間隔の不均一による画
質劣化の生じない電界放出型フラットディスプレイ装置
を得ることができる。
２のパネル１、２間の偏平空間を形成する周辺部に絶縁
性無機物のリング状スペーサ１３を介在させ、そのリン
グ状スペーサ１３と第１及び第２のパネル１、２との間
を接着媒体を用いずに互いに直接接合して気密的に封止
するので、真空排気中等に偏平管が破損する虞がなく、
且つ、第１及び第２のパネル間の間隔の不均一による画
質劣化の生じない電界放出型フラットディスプレイ装置
を得ることができる。
【図１】本発明の実施例（１）を示すディスプレイ装置
の断面図
の断面図
【図２】本発明の実施例（２）を示すディスプレイ装置
の断面図
の断面図
【図３】ゲッター基板を示す略線図
【図４】ゲッター装置を示す断面図
【図５】ゲッター装置の金属パターンを示す略線図
【図６】ゲッター装置の取付け装置の使用状態を示す断
面図
面図
【図７】ディスプレイ装置の従来例を示す斜視図
【図８】ディスプレイ装置の従来例の分解斜視図
【図９】ディスプレイ装置の従来例の一部の斜視図
１ 第１のガラスパネル ２ 第２のガラスパネル ４ 偏平管 １２ 柱 １３ リング状スペーサ １４ ゲッター装置 １５ ゲッター基板 １６ 金属パターン １７ ゲッター材
Claims (3)
- 【請求項１】 第１及び第２のパネルが所要の間隔を保
持して対向され、該第１及び第２のパネル間に気密偏平
空間が形成された偏平管内に、電界放出型ディスプレイ
機構が配されて成る電界放出型フラットディスプレイ装
置の製法において、 上記第１及び第２のパネル間の上記偏平空間を形成する
周辺部に絶縁性無機物のリング状スペーサを介在させ、
該リング状スペーサと上記第１及び第２のパネルとの間
を接着媒体を用いずに互いに直接接合して気密的に封止
することを特徴とする電界放出型フラットディスプレイ
装置の製法。 - 【請求項２】 上記リング状スペーサと上記第１及び第
２のパネルとの間の直接接合は、陽極接合によることを
特徴とする請求項１記載の電界放出型フラットディスプ
レイ装置の製法。 - 【請求項３】 上記リング状スペーサと上記第１及び第
２のパネルとの間の直接接合は、超音波振動の印加によ
ることを特徴とする請求項１記載の電界放出型フラット
ディスプレイ装置の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26388293A JPH07122189A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 電界放出型フラットディスプレイ装置の製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26388293A JPH07122189A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 電界放出型フラットディスプレイ装置の製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122189A true JPH07122189A (ja) | 1995-05-12 |
Family
ID=17395561
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26388293A Pending JPH07122189A (ja) | 1993-10-21 | 1993-10-21 | 電界放出型フラットディスプレイ装置の製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07122189A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09199065A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-07-31 | Canon Inc | 画像形成装置およびその製造方法 |
-
1993
- 1993-10-21 JP JP26388293A patent/JPH07122189A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09199065A (ja) * | 1996-01-18 | 1997-07-31 | Canon Inc | 画像形成装置およびその製造方法 |
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