JP2002033046A

JP2002033046A - 画像表示装置およびその製造方法

Info

Publication number: JP2002033046A
Application number: JP2000216281A
Authority: JP
Inventors: Takashi Enomoto; 貴志榎本
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2000-07-17
Filing date: 2000-07-17
Publication date: 2002-01-31

Abstract

(57)【要約】【課題】真空雰囲気で容易に封着を行うことが可能な画
像表示装置、およびその製造方法を提供することにあ
る。【解決手段】画像表示装置の真空外囲器は、対向配置さ
れた背面基板および前面基板１１と、これらの基板間に
設けられた側壁１８と、を有している。前面基板１１の
内面には蛍光体スクリーンが形成され、背面基板上には
電子放出素子が設けられている。前面基板と側壁との
間、および背面基板と側壁との間には、多数のプリフォ
ームガラス３０が隙間なく並んで敷設され、真空雰囲気
中でプリフォームガラスを加熱溶融することにより、前
面基板、背面基板、および側壁が互いに封着されてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、対向配置された
基板と、一方の基板の内面に配設された多数の電子放出
素子と、を有した画像表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、高品位放送用あるいはこれに伴う
高解像度の画像表示装置が望まれており、そのスクリー
ン表示性能については一段と厳しい性能が要望されてい
る。これら要望を達成するためにはスクリーン面の平坦
化、高解像度化が必須であり、同時に軽量、薄型化も図
らねばならない。

【０００３】上記のような要望を満たす画像表示装置と
して、例えば、フィールドエミッションディスプレイ
（以下ＦＥＤと称する）等の平面表示装置が注目されて
いる。このＦＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置され
た前面基板および背面基板を有し、これらの基板は、矩
形枠状の側壁を介して周縁部同士を互いに接合すること
により真空外囲器を構成している。前面基板の内面には
蛍光体スクリーンが形成され、背面基板の内面には、蛍
光体を励起して発光させる電子放出源として多数の電子
放出素子が設けられている。

【０００４】また、背面基板と前面基板に加わる大気圧
荷重を支えるために、これら基板の間には複数の支持部
材が配設されている。背面基板の端部には、真空外囲器
を封着した後に内部を排気するための排気管が設けられ
ている。

【０００５】このようなＦＥＤでは、電子放出素子の大
きさがマイクロメートルオーダーであり、前面基板と背
面基板との間隔をミリメートルオーダーにすることがで
きる。このため、現在のテレビやコンピュータのディス
プレイとして使用されている陰極線管（ＣＲＴ）などと
比較して、高解像度化、軽量化、薄型化を達成すること
ができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような平面表示装置では、真空外囲器を薄型に形成する
ことが可能であるにも拘わらず、真空外囲器から突出し
た排気管の長さは、背面基板、側壁、透明基板によって
規定される厚さ以上の長さとなってしまう。この排気管
は、真空外囲器が完成した後には特に用途がなく不要な
ものであり、排気管の長さ分だけ平面表示装置全体が厚
くなってしまう。

【０００７】また、上述した平面表示装置では、真空外
囲器内部の真空度を例えば１０^−７〜１０^−８Ｔｏｒｒ
に保つ必要がある。従来の排気工程では、真空外囲器を
３００℃程度まで加熱するベーキング処理により、外囲
器内部の表面吸着ガスを放出させるようにしていた。

【０００８】しかし、このような排気方法では表面吸着
ガスを十分に放出させることはできない。そのため、例
えば特開平９−８２２４５号公報には、前面基板の蛍光
体スクリーン上に形成されたメタルバック上を、Ｔｉ，
Ｚｒもしくはそれらの合金からなるゲッタ材で被覆する
構成、メタルバック自身を上記のようなゲッタ材で形成
する構成、あるいは、画像表示領域内で、電子放出素子
以外の部分に、上記のようなゲッタ材を配置した構成の
平板表示装置が記載されている。

【０００９】しかしながら、特開平９−８２２４５号公
報に開示された画像表示装置では、ゲッタ材を通常のパ
ネル工程で形成しているため、ゲッタ材の表面は当然酸
化することになる。ゲッタ材は、特に表面の活性度合い
が重要であるため、表面酸化したゲッタ材では満足なガ
ス吸着効果を得ることができない。

【００１０】そこで、本発明者等は先に出願した特願平
１１−１２２２２０号において、背面基板、側壁、前面
基板を真空装置内に投入し、真空雰囲気中でこれらのべ
一キング、電子線照射を行って表面吸着ガスを放出させ
た後、ゲッタ膜を形成し、そのまま真空雰囲気中でフリ
ットガラスやインジウムなどを用いて側壁と背面基板お
よび前面基板とを封着する方法を提案している。

【００１１】この方法によれば、電子線洗浄によって表
面吸着ガスを十分に放出させることができ、ゲッタ膜も
酸化されず十分なガス吸着効果を得ることができる。ま
た、排気管が不要であるため、画像表示装置のスペース
が無駄に消費されることがなくなる。

【００１２】一方、真空中でフリットガラスを使用して
封着を行った場合、フリットガラスから多数の気泡が発
生し、真空外囲器の気密性、封着強度などが悪化し、信
頼性が低下するという問題があった。また、インジウム
を使用して封着する場合、ベーキング温度においてイン
ジウムの粘性が低くなり流動するため、取り扱いが困難
であるという問題があった。

【００１３】この問題に対して、プリフォームガラスを
使用して真空中で封着する方法がすでに公知であり、特
開平５−２９９０５７にはフリットガラスの粉末を所定
の形状にプレス成形して偏平リング形にプリフォーム
し、これを用いて小型の冷陰極蛍光ランプのガラス素材
同士を真空または不活性ガス雰囲気で封着することが記
載されている。

【００１４】しかしながら、上述した平面表示装置の場
合、小さなサイズでもノート型パーソナルコンピュータ
に用いられる１０インチ程度、大きなサイズだとテレビ
用として５０インチ以上にもなるため、フリットガラス
の粉末をプリフォームすることが非常に困難であるとい
う問題がある。

【００１５】例えば、５０インチサイズでアスペクト比
１６：９の画像表示装置の場合、プリフォームガラスの
サイズは約１１００×６２０ｍｍになる。このサイズの
プリフォームガラスを成形することは難しく、プレス成
形の時に破断が発生しやすい。また、使用するプリフォ
ームガラスの厚さは約０．１ｍｍ程度であることから、
工程中でのハンドリングや側壁に対する位置出しも非常
に困難となる。プリフォームガラスが側壁に対してずれ
たり、あるいは破断したまま封着すると、基板に割れが
発生しやすく、歩留まりが低下する。

【００１６】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、真空雰囲気で容易に封着を行うことが
可能な画像表示装置、およびその製造方法を提供するこ
とにある。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明に係る画像表示装置は、対向配置された背
面基板および前面基板と、上記背面基板および前面基板
の間に設けられた側壁と、を有した真空外囲器と、上記
前面基板の内面に形成された蛍光体スクリーンと、上記
背面基板上に設けられ、上記蛍光体スクリーンに電子ビ
ームを放出し蛍光体スクリーンを発光させる電子放出源
と、を備え、上記前面基板と側壁との間、および上記背
面基板と側壁との間の少なくとも一方は、上記側壁に沿
って並んで敷設された複数のプリフォームガラスによっ
て封着されていることを特徴としている。

【００１８】また、この発明に係る画像表示装置によれ
ば、上記複数のプリフォームガラスは２層に重ねて敷設
され、１層目に並んで敷設されたプリフォームガラス間
の境界部と、２層目に並んで敷設されたプリフォームガ
ラス間の境界部とは、プリフォームガラスの並び方向に
互いにずれて位置していることを特徴としている。

【００１９】一方、この発明に係る画像表示装置の製造
方法は、背面基板および前面基板と、上記背面基板およ
び前面基板の間に設けられた側壁と、を有した真空外囲
器と、上記前面基板の内面に形成された蛍光体スクリー
ンと、上記背面基板上に設けられ、上記蛍光体スクリー
ンに電子ビームを放出し蛍光体スクリーンを発光させる
電子放出源と、を備えた画像表示装置の製造方法におい
て、上記背面基板と側壁との間の封着面、および上記前
面基板と側壁との間の封着面の少なくとも一方に、板状
に成形された複数のプリフォームガラスを並列して敷設
する工程と、上記背面基板、前面基板、側壁およびプリ
フォームガラスを真空雰囲気中で加熱し、上記プリフォ
ームガラスを溶融させて封着する工程と、を備えたこと
を特徴としている。

【００２０】また、この発明に係る製造方法によれば、
上記複数のプリフォームガラスを２層に重ねて敷設する
とともに、１層目に並んで敷設されたプリフォームガラ
ス間の境界部と、２層目に並んで敷設されたプリフォー
ムガラス間の境界部とが、プリフォームガラスの並び方
向に互いにずれて位置するように敷設することを特徴と
している。

【００２１】以上のように構成された画像表示装置およ
びその製造方法によれば、複数のプリフォームガラスを
用いて前面基板と側壁、および背面基板と側壁との少な
くとも一方を封着することにより、封着時の発泡を抑え
ることができ、気密性および封着強度の高い画像表示装
置を得ることが可能となる。同時に、複数のプリフォー
ムガラスを用いることにより、製造工程中におけるプリ
フォームガラスの位置決めや取扱いが容易であり、大型
の画像表示装置であっても問題なく封着することが可能
となる。

【００２２】また、真空雰囲気中で前面基板、背面基
板、および側壁の封着を行なうことにより、ベーキング
および電子線洗浄の併用によって基板の表面吸着ガスを
十分に放出させることができ、ゲッタ膜も酸化されず十
分なガス吸着効果を得ることができる。

【００２３】

【実施の形態】以下、図面を参照しながら、この発明の
画像表示装置をＦＥＤに適用した実施の形態について詳
細に説明する。図１ないし図３に示すように、このＦＥ
Ｄは、それぞれ矩形状のガラスからなる前面基板１１、
および背面基板１２を備え、これらの基板は約１．５〜
３．０ｍｍの隙間を置いて対向配置されている。そし
て、前面基板１１および背面基板１２は、矩形枠状の側
壁１８を介して周縁部同士が接合され、内部が真空状態
に維持された偏平な矩形状の真空外囲器１０を構成して
いる。

【００２４】真空外囲器１０の内部には、背面基板１１
および前面基板１２に加わる大気圧荷重を支えるため、
複数の板状の支持部材１４が設けられ、これらの支持部
材は、真空外囲器の短辺と平行な方向に延在していると
ともに、長辺と平行な方向に沿って所定の間隔を置いて
配置されている。なお、支持部材１４の形状については
特にこれに限定されるものではない。

【００２５】図４に示すように、前面基板１１の内面上
には蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光
体スクリーン１６は、赤、青、緑のストライプ状の蛍光
体層、およびこれらの蛍光体層間に位置した非発光部と
してのストライプ状の黒色光吸収層２０を並べて構成さ
れている。蛍光体層は、真空外囲器の短辺と平行な方向
に延在しているとともに、長辺と平行な方向に沿って所
定の間隔を置いて配置されている。なお、蛍光体スクリ
ーン１６上には、図示しないアルミニウム層が蒸着され
ている。

【００２６】背面基板１２の内面上には、蛍光体層を励
起する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出す
る多数の電子放出素子２２が設けられている。これらの
電子放出素子２２は、各画素毎に対応して複数列および
複数行に配列されている。詳細に述べると、背面基板１
２の内面上には、導電性カソード層２４が形成され、こ
の導電性カソード層上には多数のキャビティ２５を有し
た二酸化シリコン膜２６が形成されている。二酸化シリ
コン膜２６上には、モリブデン、ニオブ等からなるゲー
ト電極２８が形成されている。そして、背面基板１２の
内面上において各キャビティ２５内に、モリブデン等か
らなるコーン状の電子放出素子２２が設けられている。

【００２７】上記のように構成されたＦＥＤにおいて、
映像信号は、単純マトリックス方式に形成された電子放
出素子２２とゲート電極２８に入力される。電子放出素
子２２を基準とした場合、最も輝度の高い状態の時、＋
１００Ｖのゲート電圧が印加される。また、蛍光体スク
リーン１６には＋１０ｋＶが印加される。そして、電子
放出素子２２から放出される電子ビームの大きさは、ゲ
ート電極２８の電圧によって変調され、この電子ビーム
が蛍光体スクリーン１６の蛍光体層を励起して発光させ
ることにより画像を表示する。

【００２８】このように蛍光体スクリーン１６には高電
圧が印加されるため、前面基板１１、背面基板１２、側
壁１８、および支持部材１４用の板ガラスには、高歪点
ガラスが使用されている。また、前面基板１１と側壁１
８との間、および背面基板１２と側壁１８との間は、後
述する多数のプリフォームガラス３０を用いて封着され
ている。

【００２９】次に、上記のように構成されたＦＥＤの製
造方法について詳細に説明する。まず、前面基板１１と
なる板ガラスに蛍光体スクリーンを塗布する。これは、
前面基板１１と同じ大きさの板ガラスを準備し、この板
ガラスにプロッターマシンで蛍光体層のストライプパタ
ーンを形成する。この蛍光体ストライプパターンを形成
された板ガラスと前面基板用の板ガラスとを位置決め治
具に載せて露光台にセットすることにより、露光、現像
して蛍光体スクリーンを生成する。

【００３０】続いて、背面基板用の板ガラスに電子放出
素子を形成する。この場合、板ガラス上にマトリックス
状の導電性カソード層を形成し、この導電性カソード層
上に、例えば熱酸化法、ＣＶＤ法、あるいはスパッタリ
ング法により二酸化シリコン膜の絶縁膜を形成する。

【００３１】その後、この絶縁膜上に、例えばスパッタ
リング法や電子ビーム蒸着法によりモリブデンやニオブ
などのゲート電極形成用の金属膜を形成する。次に、こ
の金属膜上に、形成すべきゲート電極に対応した形状の
レジストパターンをリソグラフィーにより形成する。こ
のレジストパターンをマスクとして金属膜をウェットエ
ッチング法またはドライエッチング法によりエッチング
し、ゲート電極２８を形成する。

【００３２】次に、レジストパターン及びゲート電極を
マスクとして絶縁膜をウェットエッチングまたはドライ
エッチング法によりエッチングして、キャビティ２５を
形成する。そして、レジストパターンを除去した後、背
面基板表面に対して所定角度傾斜した方向から電子ビー
ム蒸着を行うことにより、ゲート電極２８上に、例えば
アルミニウムやニッケルからなる剥離層を形成する。こ
の後、背面基板表面に対して垂直な方向から、カソード
形成用の材料として、例えばモリブデンを電子ビーム蒸
着法により蒸着する。これによって、各キャビティ２５
の内部に電子放出素子２２を形成する。続いて、剥離層
をその上に形成された金属膜とともにリフトオフ法によ
り除去する。

【００３３】次に、封着に用いる小型のプリフォームガ
ラス３０を多数用意する。このプリフォームガラス３０
は、低融点のフリットガラスにビークルを混ぜてペース
ト状とし、これを図５に示す平板形状にプレス成形した
のち仮焼成することによって作られている。例えば、５
０インチのＦＥＤを想定した場合、長さ４０ｍｍ、幅５
ｍｍ、厚さ０．３ｍｍのプリフォームガラス３０を用意
する。

【００３４】そして、図６に示すように、これらのプリ
フォームガラス３０を、前面基板１１の内面周縁部、す
なわち、側壁１８と封着面に並列に敷設する。５０イン
チのＦＥＤの場合、約８０個のプリフォームガラス３０
を並べて敷設する。この場合、プリフォームガラス３０
は、封着後の真空外囲器の気密性や封着強度を確保でき
るように隙間無く密に並べられる。

【００３５】続いて、並べたプリフォームガラス３０上
に側壁１８を位置決めして載置した後、この側壁上に、
同じく約８０個のプリフォームガラス３０を隙間なく密
に並べて配置する。なお、前面基板１２上には、予め、
複数の支持部材１４を所定間隔離して配置しておく。

【００３６】その後、これら前面基板、側壁、支持部材
およびプリフォームガラスを有した組立体と、背面基板
１２と、を所定の間隔を置いた状態で治具等により保持
し、真空装置内に投入する。上述した一連の工程には、
例えば図７に示すような真空処理装置１００を用いる。

【００３７】この真空処理装置１００は、順に並んで設
けられたロード室１０１、ベーキング、電子線洗浄室１
０２、冷却室１０３、ゲッタ膜の蒸着室１０４、組立室
１０５、冷却室１０６、およびアンロード室１０７を有
している。これら各室は真空処理が可能な処理室として
構成され、ＦＥＤの製造時には全室が真空排気されてい
る。隣合う処理室間はゲートバルブ等により接続されて
いる。

【００３８】上述した前面基板、側壁、支持部材、プリ
フォームガラスの組立体および背面基板は、ロード室１
０１に投入され、ロード室１０１内を真空雰囲気とした
後、ベーキング、電子線洗浄室１０２へ送られる。べ一
キング、電子線洗浄室１０２では、上記組立体および背
面基板を３００℃の温度に加熱し、各部材の表面吸着ガ
スを放出させる。この温度はプリフォームガラス３０の
転移点以下であるため、プリフォームガラスはまだ変形
を生じない。

【００３９】また、加熱と同時に、べーキング、電子線
洗浄室１０２に取り付けられた図示しない電子線発生装
置から、前面基板１１の蛍光体スクリーン面、および背
面基板１２の電子放出素子面に電子線を照射する。この
電子線は、電子線発生装置外部に装着された偏向装置に
よって偏向走査されるため、蛍光体スクリーン面、およ
び電子放出素子面の全面を電子線洗浄することが可能と
なる。

【００４０】加熱、電子線洗浄後、上記組立体および背
面基板は冷却室１０３に送られ、例えば約１００℃の温
度の温度まで冷却される。続いて、上記組立体および背
面基板はゲッタ膜の蒸着室１０４へと送られ、ここで蛍
光体スクリーンの外側にゲッタ膜としてＢａ膜が蒸着形
成される。このＢａ膜は、表面が酸素や炭素などで汚染
されることを防止することができるので、活性状態を維
持することができる。

【００４１】次に、上記組立体および背面基板は組立室
１０５に送られ、ここで５００℃まで加熱されプリフォ
ームガラス３０が溶融されるとともに、前面基板と背面
基板とが側壁を挟んで加圧される。これにより、前面基
板と側壁、および背面基板と側壁とが封着され、真空外
囲器が形成される。このようにして形成された真空外囲
器は、冷却室１０６で常温まで冷却された後、アンロー
ド室１０７から取り出される。以上の工程により、ＦＥ
Ｄが完成する。

【００４２】以上のように構成されたＦＥＤおよびその
製造方法によれば、真空雰囲気中で前面基板１１、背面
基板１２および側壁１８の封着を行なうことにより、ベ
ーキングおよび電子線洗浄の併用によって基板の表面吸
着ガスを十分に放出させることができ、ゲッタ膜も酸化
されず十分なガス吸着効果を得ることができる。

【００４３】また、プリフォームガラス３０を使用する
ことにより封着時の発泡を抑えることができ、気密性お
よび封着強度の高いＦＥＤを得ることが可能となる。同
時に、小型の平板形状のプリフォームガラス３０を用い
ることにより、製造工程中におけるプリフォームガラス
の位置決めや取扱いが容易であり、５０インチ以上の大
型の表示装置であっても問題なく封着することができ
る。

【００４４】なお、一般に、上述した封着温度では真空
装置内の温度のばらつきが大きく、特に、大型のＦＥＤ
を製造する場合、前面基板や背面基板に反りが発生する
可能性がある。そこで、真空装置の組立室１０５内に、
上記組立体の側壁１８に沿って位置するハロゲンヒータ
ーなどの局所加熱式ヒーターを設けておき、組立室１０
５での全体加熱温度を、例えば４００℃程度に抑え、局
所加熱によって側壁の温度を５００℃まで上昇させるこ
とによリ、反りの発生を防止することが可能である。

【００４５】また、ＦＥＤの側壁１８を一本の棒ガラス
を折り曲げて成形する場合、コーナ部は直角ではなく有
限の曲率半径を持つ。このような場合、図８および図９
に示すように、前述した平板形状のプリフォームガラス
３０の他に、四半円形状のプリフォームガラス３１をプ
レス成形により形成しておき、このプリフォームガラス
３１を封着部のコーナ部に並列配置すればよい。その後
の製造工程は上述した実施の形態と同一であり、その詳
細な説明は省略する。

【００４６】また、上述した実施の形態では、封着部に
プリフォームガラス３０、３１を１層だけ並列に配置し
たが、より信頼性および封着強度を高めるため、図１０
に示すように、プリフォームガラスを２層に重ねて配置
してもよい。この場合、１層目の配列におけるプリフォ
ームガラス３０、３１間の境界位置３４と、２層目の配
列におけるプリフォームガラス３０、３１の境界位置３
６とが互い違いとなるように配置することで、境界部に
おける隙間を１層目と２層目とで相互に埋めることがで
きる。

【００４７】この場合、各層のプリフォームガラスの配
列において多少の空隙があった場合でも基板と側壁とを
確実に封着することができる。そのため、前面基板、側
壁、背面基板に対してプリフォームガラスを位置出しす
る工程が容易となる。また、プリフォームガラスの厚さ
は自由に変更でき、例えば、２層にする場合、各プリフ
ォームガラスの厚さは、例えば、０．１ないし０．２ｍ
ｍに形成される。そのため、プリフォームガラスを２層
に敷設する場合でも、プリフォームガラスの使用が２倍
になることはない。

【００４８】その他、この発明は上述した実施の形態に
限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能
である。例えば、上述した実施の形態では、マイクロチ
ップ型の電子放出素子について説明したが、これに限ら
ず、ｐｎ型の冷陰極素子あるいは表面伝導型の電子放出
素子等の他の電子放出素子を用いてもよい。また、この
発明は、プラズマ表示パネル（ＰＤＰ）、エレクトロル
ミネッセンス（ＥＬ）等の他の画像表示装置にも適用可
能である。

【００４９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
並んで敷設された複数のプリフォームガラスを用いて基
板と側壁とを封止することにより、封着時における発泡
を抑制し信頼性および封着強度の向上を図ることができ
るとともに、製造工程中におけるプリフォームガラスの
位置出しおよび取扱いが容易であり真空雰囲気中で容易
に封着可能な画像表示装置、およびその製造方法を得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態に係るＦＥＤを示
す斜視図。

【図２】上記ＦＥＤの前面基板を取り外した状態を示す
斜視図。

【図３】図１の線Ａ−Ａに沿った断面図。

【図４】上記ＦＥＤの蛍光体スクリーンを示す平面図。

【図５】上記ＦＥＤの真空外囲器を構成するガラス基板
および側壁を封着するためのプリフォームガラスを示す
斜視図。

【図６】基板の封着部に上記プリフォームガラスを配置
した状態を示す斜視図。

【図７】上記ＦＥＤの製造に用いる真空処理装置を概略
的に示す図。

【図８】この発明の第２の実施の形態に係るＦＥＤの真
空外囲器を構成するガラス基板および側壁を封着するた
めのプリフォームガラスを示す斜視図。

【図９】基板の封着部に上記プリフォームガラスを配置
した状態を示す斜視図。

【図１０】上記プリフォームガラスの２層重ねて配置し
た実施の形態を示す斜視図。

【符号の説明】

１０…真空外囲器１１…前面基板１２…背面基板１４…支持部材１６…蛍光体スクリーン１８…側壁２２…電子放出素子３０、３１…プリフォームガラス１００…真空処理装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】対向配置された背面基板および前面基板
と、上記背面基板および前面基板の間に設けられた側壁
と、を有した真空外囲器と、上記前面基板の内面に形成された蛍光体スクリーンと、上記背面基板上に設けられ、上記蛍光体スクリーンに電
子ビームを放出し蛍光体スクリーンを発光させる電子放
出源と、を備え、上記前面基板と側壁との間、および上記背面基板と側壁
との間の少なくとも一方は、上記側壁に沿って並んで敷
設された複数のプリフォームガラスによって封着されて
いることを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】上記複数のプリフォームガラスは２層に重
ねて敷設され、１層目に並んで敷設されたプリフォーム
ガラス間の境界部と、２層目に並んで敷設されたプリフ
ォームガラス間の境界部とは、プリフォームガラスの並
び方向に互いにずれて位置していることを特徴とする請
求項１に記載の画像表示装置。
【請求項３】上記側壁はほぼ枠状に形成され、上記前面
基板の内面周縁部および背面基板の内面周縁部に封着さ
れ、上記複数のプリフォームガラスは、上記側壁に沿っ
て隙間なく並んで敷設されていることを特徴とする請求
項１又は２に記載の画像表示装置。
【請求項４】対向配置された背面基板および前面基板
と、上記背面基板および前面基板の間に設けられた側壁
と、を有した真空外囲器と、上記前面基板の内面に形成
された蛍光体スクリーンと、上記背面基板上に設けら
れ、上記蛍光体スクリーンに電子ビームを放出し蛍光体
スクリーンを発光させる電子放出源と、を備えた画像表
示装置の製造方法において、上記背面基板と側壁との間の封着面、および上記前面基
板と側壁との間の封着面の少なくとも一方に、板状に成
形された複数のプリフォームガラスを並列して敷設する
工程と、上記背面基板、前面基板、側壁およびプリフォームガラ
スを真空雰囲気中で加熱し、上記プリフォームガラスを
溶融させて封着する工程とを備えたことを特徴とする画
像表示装置の製造方法。
【請求項５】上記複数のプリフォームガラスを２層に重
ねて敷設するとともに、１層目に並んで敷設されたプリ
フォームガラス間の境界部と、２層目に並んで敷設され
たプリフォームガラス間の境界部とが、プリフォームガ
ラスの並び方向に互いにずれて位置するように敷設する
ことを特徴とする請求項４に記載の画像表示装置。
【請求項６】上記複数のプリフォームガラスを、上記封
着面に沿って隙間なく並んで敷設することを特徴とする
請求項４又は５に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項７】上記真空雰囲気中において上記封着面を局
所的に加熱することを特徴とする請求項４ないし６のい
ずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
【請求項８】上記真空雰囲気中で、上記前面基板、背面
基板、および側板を上記プリフォームガラスの転移点以
下の温度でベーキングするとともに電子線洗浄して表面
吸着ガスを放出させた後、上記封着工程を行うことを特
徴とする請求項４ないし７のいずれか１項に記載の画像
表示装置の製造方法。