WO2001056339A1 - Carte de circuits imprimes flexible et son procede de production - Google Patents

Description

明 細 書 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板及びそ の 製造方法 技術分野

本発明 は 、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板及びそ の 製造方法 関 す る 。 背景技術

従来 よ り 、 様 々 な 分野で フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板が使用 さ れてお り 、 そ の形状 も種 々 雑多で あ る 。

例 え ば、 液晶パ ネ ル駆動用 の典型的な フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 は、 第 6 図 の よ う な T 字形状 の も の で あ る 。 こ こ で 、 そ の B B 側 の端子 は、 一括 し て I C に信号 を送る こ と がで き る よ う に 比較的広 い配線 ピ ッ チで形成 さ れてお り 、 一方 、 A A側 の 端子 は 、 駆動用 の 小型半導体モ ジ ュ ー ル に接続でき る よ う に 比 較的狭 い配線 ピ ッ チで形成 さ れて い る 。

と こ ろ で 、 第 6 図 の T 字形状 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を作製す る 場合、 導電層 上 に絶縁層 が形成 さ れた フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー 卜 の単位面積 当 た り 複数 の T 字形 状 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を作 り 込み、 それ を個 々 の 配線 板 に カ ッ テ ィ ン グす る こ と が行 われて い る 。 具体的 に は、 第 7 図 に示す よ う に 、 縦 2 5 0 m m横 2 0 0 m m のサイ ズの フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 7 1 に 、 第 6 図 の T 字形状 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 （サイ ズ ： a = 1 6 0 m m / b = 1 7 m m / c = 3 0 m m / d = 2 0 m m / e = 2 5 m m Z f = 1 1 5 m m ) の 6 枚分 を 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 技術等 を 利用 す る ア デ ィ テ ィ ブ法 あ る い はサブ ト ラ ク テ ィ ブ法 に よ り 作 り 込 んで レ る 。

し か し な が ら 、 第 7 図 の よ う に フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シ 一 ト 7 1 に T 字形状 の フ レ キ シ ブルプ リ ン ト 配線板 7 2 を作 り 込ん だ場合 、 フ レ キ シ ブルプ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 7 1 の 約 5 8 % が廃棄 さ れてお り 、 製造 コ ス ト の低減 の 障害 と な っ て い た 。 こ の 問題 は、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板の外形 の 凹凸 の 高 さ （深 さ ） や複雑 さ が増す に つ れ大 き な 問題 と な つ て い る 。

本発明 は、 以上 の従来の技術 の 問題点 を解決 し ょ う と す る も の で あ り 、 所定 の大 き さ の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シ 一 ト カゝ ら で き る だ け多 く の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を 取 得で き る よ う な構造 を 当 該 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 に 付 与す る こ と を 目 的 と す る 。 発明 の 開示

本発明者 ら は、 （ 1 ) フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー 卜 に フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を作 り 込む際 に 、 フ レ キ シ ブ ル プ リ ン ト 配線板 を 少な く と も 2 つ のパー ッ に分 けて作 り 込 む こ と に よ り 積層 シー ト の廃棄量 の減少化が可能で あ る こ と 、 ( 2 ) 二つ の パ ー ツ を接続 し て一つ の フ レ キ シ ブル プ リ ン 卜 配 線板 を作 り 上 げる 際 に 、 一方 の パ ー ツ の表面側 と 他方 の パ一ッ の裏面側 と を接続す る 場合、 バ ン プ接続す る こ と が接続信頼性 の た め に好 ま し い こ と 、 （ 3 ) ノ ン プ と し て 、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト の絶縁層 に フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を 利 用 し て化学エ ッ チ ン グ に よ り 孔 を形成 し た後 に 、 電解 メ ツ キ法 に よ り 孔へ の 金属 プ ラ グ を充填 し 、 更 に金属バ ン プ に成長 さ せ た も の を使用 す る と 、 孔 の形成時 の位置合わせ精度 を過度 に 高 く す る 必要がな く 、 金属バ ン プ を低 コ ス ト で導入で き る こ と を 見出 し 、 本発明 を完成 さ せ る に至 っ た 。

即 ち 、 本発明 は、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ の 金属ノ ン プ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一 ッ の接続 パ ッ ド と が接続 さ れて な る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板で あ つ て 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ が、 導電層 と そ れ に隣接す る 絶縁層 と か ら な り 、 絶縁層 に は導電層 に達す る 孔 が設 け ら れてお り 、 そ の孔内 に は電解 メ ツ キ法 に よ り 金属 ブ ラ グが形成 さ れて お り 、 こ の金属 プ ラ グ の先端が絶縁層 よ り 突 出 し た金属 バ ン プ を構成 し て い る こ と を 特徴 と す る フ レ キ シ ブ ル プ リ ン ト 配線板 を 提供す る 。

ま た 、 本発明 は、 こ の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板の製造方 法 に お い て ：

( a ) 導電層 に隣接 し て絶縁層 が形成 さ れて な る フ レ キ シ ブ ル ブ リ ン ト 配線用 積層 シ一 ト に 、 そ の単位面積 当 た り 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と がで き る だ け多 く の取得で き る よ う に 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ及び Z又 は第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ を作 り 込 り 込む工程 、

こ こ で 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン 卜 配線パー ツ の金属 バ ン プは、 導電層 に 隣接す る 絶縁層 に 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を 利 用 し て化学エ ッ チ ン グ に よ り 導電層 に至 る孔 を形成 し 、 次 い で導 電層 を 力 ソ ー ド と す る 電解 メ ツ キ法 に よ り 絶縁層 の孔内 に 金 属 プ ラ グ を 形成 し つ つ 、 更 に連続的 に そ の金属 プ ラ グ を 電解 メ ツ キ法 に よ り 成長 さ せて 、 そ の先端 を絶縁層 の表面か ら 突 出 さ せ る こ と に よ り 作成 さ れて い る ；

( b ) フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 力ゝ ら 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ を カ ツ テ ィ ン グ し て取得す る 工程 ；

( c ) 取得 し た第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ と 第

2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と を 、 第 1 の フ レ キ シ ブ ル ブ リ ン ト 配線パー ツ の金属ノ ' ン プ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ の接続パ ッ ド と の導通 を確保 し つ つ接着す る 工程

を含んでな る こ と を 特徴 と す る 製造方法 を 提供す る 。 図 面 の簡単な説明

第 1 図 は、 本発明 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の一例 の平 面 図 （ 同 図 （ a ) ) と X — X 断面 図 で あ る （ 同 図 （ b ) )。

第 2 図 は 、 本発明 で使用 す る 第 1 及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ッ が作 り 込 ま れた フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線 用 積層 シ一 卜 の平面 図 で あ る 。

第 3 図 は 、 本発明 で使用 す る 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配 線パー ツ の金属バ ン プ面側表面 図 で あ る 。

第 4 図 は 、 本発明 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の製造工程 図 で あ る 。

第 5 図 は 、 本発明 の フ レ キ シ ブルプ リ ン ト 配線板 の製造工程 図 で あ る 。

第 6 図 は、 従来 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の平面 図 で あ る 。

第 7 図 は 、 従来 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板が作 り 込 ま れ た フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー 卜 の平面 図 で あ る 。 発明 を 実施す る た め の最 良 の形態

以下 、 本発明 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の 一例 を 、 図面 を参照 し つ つ 詳細 に説明す る 。

第 1 図 （平面 図 （ 同 図 （ a ) )、 X — X 断面 図 （ 同 図 （ b ) ) の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 1 0 は、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一 ッ 2 と が 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 の金属 バ ン プ 1 a と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線ノ\°ー ッ 2 の接続 パ ッ ド 2 a と が電気的 に接続す る よ う に 、 接着層 3 で接着 さ れ て い る 構造 を有す る 。 こ の よ う に 、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線 板 1 0 を 、 少な く と も 二つ のパー ツ （ 1 , 2 ) か ら 接合 し た構 造 と す る こ と に よ り 、 フ レ キ シ ブルプ リ ン ト 配線用 積層 シ ー ト に フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を作 り 込む際 に積層 シー ト の 廃棄量 の減少化が可能 と な る 。

例 え ば、 第 6 図 の T 字形状 の フ レキ シ ブル プ リ ン ト 配線板 (サイ ズ ： a = l 6 0 m m / b = 1 7 m m / c = 3 O m m / d = 2 0 m m / e = 2 5 m m / f = 1 1 5 m m ) を 、 第 1 図 に示 す第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 (サイ ズ ： c ' = 3 5 m m / e = 2 5 m m ) と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線 パー ツ 2 (サイ ズ ： a = 1 6 0 m m / b = 1 7 m m ) と に 分 け 第 2 図 に示す よ う に縦 2 0 0 m m横 2 5 0 m mのサイ ズの フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 1 0 0 に作 り 込む と 、 そ れぞれ 1 0 枚ずつ作 り 込む こ と がで き 、 廃棄率 を第 7 図 の場合 ( 5 8 . 4 % ) に 比べて 2 8 . 1 % と 著 し く 低 く す る こ と がで き る 。

ま た 、 本発明 に お け る 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ッ 1 の金属バ ン プ 1 a は 、 第 1 図 に示す よ う に 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 の導電層 4 に 隣接す る 絶縁層 5 に 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を 利用 し て化学エ ッ チ ン グ に よ り 形成 さ れた孔 A内 に 、 電解 メ ツ キ法 に よ り 形成 さ れた金属 プ ラ グ 6 の先端が絶縁層 5 よ り 突 出 し た部分で あ る 。 こ の よ う な 、 金属 ノ ン プ 1 a は 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 表面 に 、 低 コ ス ト で簡便 に 形成で き る も の で あ る 。

一方 、 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 2 は 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 の金属 バ ン プ 1 a と 接続 す る 部分 に通常 の 接続パ ッ ド 2 a が形成 さ れて い る 以外 は 、 公 知 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 と 同様 の 層構成 、 例 え ば、 導 電層 4 と それ に 隣接す る 絶縁層 5 と か ら 構成 さ れて も よ い 。

導電層 4 と し て は 、 銅箔が一般的で あ る が、 他 の 金属 、 金 、 銀 、 ア ル ミ ニ ウ ム 、 は ん だ 、 ニ ッ ケル等やそれ ら の 合金等 か ら 形成 し て も よ い 。

導電層 4 の 厚 み は配線基板 の使用 目 的 に応 じ て適宜決定す る こ と がで き る 。 ま た 、 導電層 4 は必要 に応 じ てパ タ ー ン化 し て も よ レ 。

本発明 に お い て は 、 絶縁層 5 と し て は、 一般的 な フ レ キ シ ブ ル ブ リ ン ト 配線板 の絶縁層 と 同様 の構成 と す る こ と がで き 、 好 ま し く は絶縁特性、 耐熱性、 耐湿性及び耐電圧特性 に優れた ポ リ イ ミ ド 層 を好 ま し く 使用 で き る 。 特 に好 ま し く は 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸 を イ ミ ド 化 し た ポ リ イ ミ ド 層 を使用 す る こ と がで き る 。 こ れは 、 イ ミ ド 化前 に お い て 、 化学エ ッ チ ン グ に よ り 孔 を 正確 且 つ簡便 に 形成 し やす い か ら で あ る 。

ま た 、 絶縁層 5 の厚み は フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の使用 目 的 に応 じ て適宜決定す る こ と がで き る 。

接着層 3 と し て は 、 一般的な フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 を 作製す る 際 に用 い ら れ る 接着剤か ら な る 接着層 を 使用す る こ と がで き る 。 例 え ば、 公知 の異方性導電 フ ィ ルム 、 熱可塑性ポ リ イ ミ ド 、 エポキ シ樹脂等 を例示す る こ と がで き る 。 中 で も 、 絶縁層 5 と の親和性 、 絶縁特性、 耐熱性 、 耐湿性及び耐電圧待 性 に優れた絶縁性 の 熱可塑性ボ リ イ ミ ド 層 を好 ま し く 使用 で さ る 。

孔 A 内 に充填 さ れ る 金属 プ ラ グ 6 並びに絶縁層 5 よ り 突 出 し たそ の先端 の金属 バ ン プ 1 a と し て は、 前述 し た よ う に電解 メ ッ キ法 に よ り 形成 さ れた金属物質で あ り 、 好 ま し く は電解銅 メ ツ キ プ ラ グ （電解銅 メ ツ キバ ン プ） を利用 す る こ と がで き る 金属 プ ラ グ 6 の径ゃ高 さ 、 金属バ ン プ 1 a の径ゃ高 さ は、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の使用 目 的 に応 じ て適宜決定す る こ と がで き る 。 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 の金属 バ ン プ 1 a の表面 に は 、 導通信頼性 の 向上 の た め に 、 必要 に応 じ て金 な ど の貴金属 メ ツ キ層 を適宜形成 し て も よ い 。

な お 、 金属 バ ン プ 1 a を第 3 図 に示す よ う に 、 チ ド リ 配列 さ せ る こ と が好 ま し い 。 こ れ に よ り 、 配線 ピ ッ チ を よ り 狭 め る こ と がで き 、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板、 並び にそれ を 使用 す る 電子機器 の 小型化 · 軽量化が可能 と な る 。 こ の場合、 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一 ッ の接続パ ッ ド も 相応 し て チ ド リ 配列 さ せ る こ と が好 ま し い 。

次 に 本発明 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の製造方法 に つ い て 、 接着層 3 と し て熱可塑性ポ リ イ ミ ド 膜 を使用 し た場合 を 例 に と り 、 図 面 を参照 し な が ら 工程毎 に説明す る 。

工程 " ）

先ず、 導電層 と それ に 隣接 し て絶縁層 が形成 さ れてな る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 1 0 0 に 、 そ の単位面積 当 た り 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ッ 2 と がで き る だ け多 く 取得 で き る よ う に 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン 卜 配線パ ー ツ 2 を作 り 込む （第 4 図 ( a ) )。 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線ノ° — ッ 2 は 、 別 々 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト 1 0 0 に作 り 込んで も よ く 、 一つ の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シ一 ト 1 0 0 に両者 を作 り 込 んで も よ い 。

こ こ で 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 は 、 次 に よ う に作製す る 。

なお 、 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 2 は、 公知 の 技術 を利用 し て作製す る こ と がで き る 。

工程 （ a a )

導電層 4 に 隣接す る 絶縁層 5 に 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を利用 し て化学エ ッ チ ン グ に よ り 導電層 4 に至 る 孔 A を 形成す る 。 よ り 具体的 に は 、 導電層 4 上 に 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸 を 塗布 し 、 乾燥 し て絶縁層 前駆体層 7 を形成す る （第 4 図 （ b ) )。 そ し てそ の 上 に感光性 レ ジ ス ト を 塗布 し乾燥 し て感光性 レ ジ ス ト 層 8 を 形成 し 、 更 に そ の 上 に 保護 フ ィ ルム 9 を積層す る （第 4 図 （ c ) ) そ し て 、 開孔すべ き 孔 に応 じ た フ ォ ト マ ス ク を 介 し て露光 し 、 現像 し て感光性 レ ジ ス ト 層 8 を パ タ ー ニ ン グ し 、 パ 夕 一 ニ ン グ し た感光性 レ ジ ス ト 層 8 を エ ッ チ ン グマ ス ク と し て絶縁層前 駆体層 7 を 化学エ ッ チ ン グす る 。 エ ッ チ ン グ終 了後 に常法 に従 つ てイ ミ ド 化 し 、 感光性 レ ジス ト 層 8 と 保護 フ ィ ルム 9 と を 除 去す る こ と に よ り 孔 A を有す る 絶縁層 5 を 形成す る （第 4 図 ( d ) )。

化学エ ッ チ ン グ条件 は、 絶縁層前駆体層 7 の 材質 、 開 孔すべ き 孔 A のサイ ズ等 に応 じ て適宜決定す る こ と がで き る 。

工程 （ a b )

次 に 、 導電層 4 を カ ソ ー ド と す る 電解 メ ツ キ法 に よ り 絶縁層 5 の孔 A 内 に金属 プ ラ グ 6 を形成 し つ つ 、 更 に連続的 に そ の 金 属 プ ラ グ 6 を 電解 メ ツ キ法 に よ り 成長 さ せて 、 そ の先端 を絶縁 層 5 の表面か ら 突 出 し た金属バ ン プ 1 a と す る （第 5 図 （ e ) ) こ の場合 、 導体層 4 の 外側面 4 a を マ ス キ ン グテー プで被覆 し て お く こ と が好 ま し い （図 示せず）。

なお 、 電解 メ ツ キ条件 と し て は、 メ ツ キ金属 の種類や孔径 、 形成すべ き プ ラ グサイ ズ等 に応 じ て適宜決定す る こ と がで き る 。

ま た 、 こ の マ ス キ ン グテー プは 、 接着層 3 を形成す る 際 に 以 下 の メ ツ キ工程 （ a c ) に先だ っ て除去 し て も よ く 、 図示 し な い が最終工程 ま でそ の状態 に保持 し て も よ い 。.

工程 （ a c )

次 に 、 金属バ ン プ 1 a が形成 さ れた絶縁層 5 の表面上 に 、 必 要 に応 じ て金属 バ ン プ 1 a が埋没す る よ う に接着層 3 を 形成 す る （第 5 図 （ f ) )。

接着層 3 の形成 は 、 例 え ば、 熱可塑性 ポ リ イ ミ ド 溶液 を 、 ナ ィ フ コ ー タ ーで塗布 し 乾燥す る こ と に よ り 行 う こ と がで き る 。

工程 （ a d )

次 に 、 接着層 3 の表面 を 、 金属バ ン プ 1 a が所定 の高 さ に な る よ う に化学エ ッ チバ ッ ク す る 。 こ れ に よ り 、 表面 に接着層 3 が設 け ら れた第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一ッ が得 ら れ る （第 5 図 （ g ) )。

接着層 3 の化学エ ッ チバ ッ ク 条件 は、 接着 層 3 の 材質 、 金属 バ ン プ 1 a の 材質 、 必要な エ ッ チバ ッ ク 量等 に応 じ て適宜決定 す る こ と がで き る 。 例 え ば、 接着層 3 が熱可塑性 ポ リ イ ミ ド 層 で あ る 場合 に は 、 エ ツ チ ヤ ン ト と し て ア ル力 リ 水溶液 を使用 す る こ と がで き る 。

工程 （ b )

次 に 、 フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト か ら 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 1 及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 2 を カ ツ テ ィ ン グ し 、 個 々 のノ\° ー ッ に 分割 す る （第 5 図 （ h ) ) 。

工程 " ）

得 ら れた第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 1 と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 2 と を 、 金属バ ン プ 1 a と 接続パ ッ ド 2 a と の 導通 を と り な が ら 接着層 3 で接着す る 。 こ れ に よ り 、 異方性導電接着 フ ィ ルム ゃ導電ペー ス ト を使用 す る こ と な く 、 第 5 図 （ i ) の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板が得 ら れ る 。

なお 、 第 5 図 （ e ) の状態 の第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配 線パー ツ 1 と第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ 2 と を 、 別 途用 意 し た異方性導電接着 フ ィ ルムゃ導電ペー ス 卜 を用 い て接着す る と 、 第 1 図 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板が得 ら れ る 。

こ の よ う に し て得 ら れ る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 は、 種 々 の電子機器 に好 ま し く 適用 す る こ と がで き る 。 実施例

以下 、 本発明 を 実施例 に よ り 具体的 に説明す る 。

実施例 1

厚 さ 1 8 m の銅 箔 の 片面 に 、 ピ ロ メ リ ッ ト 酸二無水物 1 . 0 1 モ ル と 4 , 4 ' — ジ ア ミ ノ ジ フ エ 二ルエー テル 1 . 0 モル と を 、 溶媒で あ る N — メ チル ー 2 一 ピ ロ リ ド ン に溶解 し て得 ら れた ポ リ ア ミ ッ ク 酸溶液 を乾燥厚で 1 0 m厚 と な る よ う に 塗布 し 、 乾燥 し た。

こ の ポ リ ア ミ ッ ク 酸層 上 に 、 感光性 レ ジ ス ト （ N R — 4 1 (ナ イ ロ ン ー オ リ ゴエス テル系 レ ジ ス ト ）、 ソ ニー ケ ミ カ ル社製） を乾燥厚で 8 m と な る よ う に塗布 し 乾燥 さ せ、 更 にそ の 上 に 厚 さ 1 2 / m の保護 フ ィ ルム （ポ リ エ ス テル フ ィ ルム 、 東 レ 社 製） を 積層 し た 。

保護 フ ィ ルム 側か ら 、 ネ ガ フ ィ ルム を フ ォ ト マ ス ク と し て波 長 3 6 5 n m の光で照射す る こ と に よ り 感光性 レ ジ ス ト を 露 光 し 、 現像す る こ と に よ り 感光性 レ ジス ト を 単位面積 （ 2 0 0 X 2 5 0 m m ) 当 た り それぞれ 1 0 枚ずつ の第 1 の フ レ キ シ ブ ル プ リ ン ト 配線パー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ 一 ッ に パ 夕 一 ニ ン グ し た。

パ タ ー ニ ン グ さ れた感光性 レ ジ ス ト を エ ッ チ ン グマ ス ク と し て 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸層 を ア ルカ リ 溶液で化学エ ッ チ ン グ （ェ ツ チ ン グ温度 2 5 °C 、 エ ッ チ ン グ時間 1 5 秒間） し 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と な る ポ リ ア ミ ッ ク 酸 層 に孔 を 形成 し た 。 孔 の底部 は銅箔 が露出 し てお り 、 底部 の径 は 5 0 x m で あ り 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸層表面 の孔 の径 は 8 0 / mで あ つ に 。

次 に 、 孔が形成 さ れた ポ リ ア ミ ッ ク 酸層 を イ ミ ド 化 し て絶縁 層 と し た （イ ミ ド 化加熱温度 3 5 0 °C , イ ミ ド 化加熱時間 1 0 分間 ）。

次 に 、 銅箔 の外表面 を マ ス キ ン グテー プで被覆 し た後 、 銅箔 を 力 ソ ー ド と し て電解銅 メ ツ キ （硫酸銅 メ ツ キ浴 、 メ ツ キ浴温 度 3 0 °C 、 メ ツ キ電流密度 1 5 A d m 2、 メ ツ キ時間 3 0 分間 ） を行 っ た。 そ の結果、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配 線パー ツ の絶縁層表面 よ り 2 0 m の高 さ ま で突 出 し た銅 バ ン プを 形成で き た。

次 に 、 銅バ ン プ側 の絶縁層 の 全面 に 、 乾燥厚で 2 0 m と な る 熱可塑性ポ リ イ ミ ド 層 （接着 層 ） が形成で き る よ う に 、 3 , 4 ， 3 '， 4 ' ー ビ フ エ ニルテ ト ラ カ ルボ ン酸二無水物 1 . 0 1 モル と 1 , 3 — ビ ス （ 3 — ア ミ ノ フ エ ノ キ シ） ベ ンゼ ン 1 . 0 モリレ と を 、 溶媒で あ る N — メ チル ー 2 — ピ ロ リ ド ン に 溶解 し て得 ら れた ポ リ ア ミ ッ ク 酸溶液 を ナイ フ コ ー 夕 一 を用 い て 塗 布 し 、 乾燥 し た 。

次 に 、 接着層 の表面 を 、 銅バ ン プの露出高 さ が 1 0 m と な る よ う に ア ル力 リ 水溶液 を用 い て化学エ ツ チノ' ッ ク （エ ッ チバ ッ ク 温度 2 5 °C 、 エ ッ チバ ッ ク 時間 1 5 秒間 ） し た後 に 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸 を イ ミ ド 化 し て 、 熱可塑性ボ リ イ ミ ド 層 を 完成 さ せ、 こ れ に よ り 、 第 2 図 に示す よ う な第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ 一 ッ と を作製 し た 。

得 ら れた第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と を それぞれ型抜 き し た 。 そ し て 、 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ の接続パ ッ ド に 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ の金属 バ ン プ を 重ね 合わせ 、 熱圧着 に よ り 接合 し た （接合温度 2 6 0 ： 、 接合時 間 1 0 秒間 ） し た と こ ろ 、 接着強度 と 導通信頼性 の高 い接合 が可能で あ っ た 。 産業上 の利用 可能性

本発明 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 は、 所定 の大 き さ の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト を 無駄な く 利用 し て製 造で き る の で低 コ ス ト で製造で き 、 し か も 良好 な導通信頼性 を す ο 。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ の 金属ノ ン プ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一 ッ の接続パ ッ ド と が接続 さ れて な る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板で あ っ て 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ が、 導電層 と それ に 隣接す る 絶縁層 と か ら な り 、 絶縁層 に は導電層 に達す る 孔が設 け ら れ て お り 、 そ の孔 内 に は電解 メ ツ キ法 に よ り 金属 プ ラ グが形成 さ れて お り 、 こ の 金属 プ ラ グ の先端が絶縁層 よ り 突 出 し た 金属 バ ン プを 構成 し て い る こ と を 特徴 と す る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板。

2 . 絶縁層 がポ リ イ ミ ド 層 で あ り 、 金属 プ ラ グが電解銅 メ ツ キ プ ラ グで あ る 請求 の範囲第 1 項記載 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板。

3 . 絶縁層 が 、 ポ リ ア ミ ッ ク 酸 を イ ミ ド 化 し た も の で あ る 請求 の 範 囲第 2 項記載 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板。

4 . 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ の 金属ノ ン プ と 、 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ の接続パ ッ ド と が、 チ ド リ 配列 さ れて い る 請求 の 範囲第 1 項〜第 3 項の い ずれ か に記載 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板。

5 . 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と が、 異方性導電 フ ィ ルム 、 熱 可塑性ポ リ イ ミ ド 、 又 はエポキ シ樹脂で接着 さ れて い る 請求 の 範囲第 1 項〜第 4 項 の い ずれか に記載 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板。

6 . 請求項 1 記載 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線板 の 製造 方法 に お い て ：

( a ) 導電層 と それ に 隣接 し て絶縁層 が形成 さ れて な る フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー 卜 に 、 そ の単位面積 当 た り 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ 及び Z又 は第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ一ッ がで き る だ け多 く 取得で き る よ う に 、 第 1 の フ レ キ シ ブルプ リ ン ト 配線パー ツ 及び Z又 は第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ を作 り 込む工程 、

こ こ で、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ の金属 バ ン プは、 導電層 に 隣接す る 絶縁層 に 、 フ ォ ト リ ソ グ ラ フ 法 を 利用 し て化学エ ッ チ ン グ に よ り 導電層 に至 る 孔 を形成 し 、 次 い で導 電層 を 力 ソ ー ド と す る 電解 メ ツ キ法 に よ り 絶縁層 の孔内 に 金 属 プ ラ グ を 形成 し つ つ 、 更 に連続的 にそ の金属 プ ラ グ を 電解 メ ツ キ法 に よ り 成長 さ せて 、 そ の 先端 を絶縁層 の表面か ら 突 出 さ せ る こ と に よ り 作成 さ れて い る ；

( b ) フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線用 積層 シー ト か ら 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ及び第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ を カ ツ テ ィ ン グ し て取得す る 工程 ；

( c ) 取得 し た第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ と 第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ と を 、 第 1 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パ ー ツ の 金属 バ ン プ と第 2 の フ レ キ シ ブル プ リ ン ト 配線パー ツ の接続パ ッ ド と の 導通 を確保 し つ つ 接着 す る 工程

を含 んでな る こ と を 特徴 と す る 製造方法。