WO1999064797A1 - Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration - Google Patents

Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration Download PDF

Info

Publication number
WO1999064797A1
WO1999064797A1 PCT/JP1999/003094 JP9903094W WO9964797A1 WO 1999064797 A1 WO1999064797 A1 WO 1999064797A1 JP 9903094 W JP9903094 W JP 9903094W WO 9964797 A1 WO9964797 A1 WO 9964797A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
temperature
gas
pulse tube
tube refrigerator
cryopump
Prior art date
Application number
PCT/JP1999/003094
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Atsushi Miyamoto
Yasuhiro Kakimi
Shingo Kunitani
Daisuke Ito
Original Assignee
Daido Hoxan Inc.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daido Hoxan Inc. filed Critical Daido Hoxan Inc.
Priority to EP99925288A priority Critical patent/EP1014014A4/en
Priority to KR1020007001349A priority patent/KR100561769B1/ko
Priority to US09/485,491 priority patent/US6293109B1/en
Publication of WO1999064797A1 publication Critical patent/WO1999064797A1/ja

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
    • F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
    • F25B9/145—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle pulse-tube cycle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
    • F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used 
    • F25B2309/1417—Pulse-tube cycles without any valves in gas supply and return lines
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
    • F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
    • F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
    • F25B9/002—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the refrigerant
    • F25B9/006—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the refrigerant the refrigerant containing more than one component

Definitions

  • the present invention relates to a highly reliable pulse tube refrigerator capable of maintaining a cooling temperature in a pulse tube refrigerator without using an additional mechanism such as a heater, and a cryopump using the same.
  • a cryopump achieves high vacuum by adsorbing gas molecules on an adsorption panel attached to the cold head (cold end) of a refrigerator.
  • this cryo-pump it is necessary to keep the cooling temperature of the adsorption panel in a certain range while adsorbing gas molecules on the adsorption panel.
  • Fig. 1 shows the schematic structure of a cryo-pump dedicated to moisture.
  • 1 is a GM refrigerator
  • 2 is a cold head
  • 3 is a suction panel attached to the cold head
  • 4 is a space that is evacuated in use
  • 5 is a mounting flange.
  • the cryopump is cooled by a GM refrigerating machine that uses helium gas (single gas) as the working gas. Power that is mainly used.
  • helium gas single gas
  • the temperature of the adsorption panel 3 becomes 110 K or less. It drops too much (sometimes down to 30-40 K), defeating the purpose of freezing and removing only the original water and freezing other gas components.
  • a heater and a thermometer are attached to the cold head 2 as a temperature holding function, and the temperature of the adsorption panel 3 is maintained by adjusting the temperature of the heater every day.
  • Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-73542 discloses a heat exchanger as a temperature control means of the adsorption panel 3, a connecting portion connecting the heat exchanger to the adsorption panel 3, and a helium gas in the heat exchanger.
  • a transportation means for transporting a cooling medium such as the above, and a means for adjusting the flow rate of the cooling medium.
  • this also complicates the mechanism and increases the price.
  • the present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide a pulse tube refrigerator capable of maintaining a cooling temperature without using a heater or the like and a cryo pump using the same. And Disclosure of the invention
  • a pulse tube refrigerator in which a gas whose liquefaction temperature is within the operating temperature range of a pulse tube refrigerator is used as a working gas.
  • the pump is the second gist.
  • the pulse tube refrigerator of the present invention uses, as the working gas, a gas whose liquefaction temperature is within the operating temperature range of the pulse tube refrigerator. For this reason, the working gas does not drop below the operating temperature range of the pulse tube refrigerator, which is the liquefaction temperature, during the operation of the pulse tube refrigerator, and is maintained at a substantially constant power and within the operating temperature range.
  • the working gas is cooled to its liquefaction temperature, the temperature of the cold head hardly changes even if there is an external heat load. However, if the amount of heat infiltration further increases due to the heat load from the outside, the temperature of the cold head suddenly rises. Therefore, even if the heat load from the outside, the temperature of the cold head almost changes.
  • This temperature range can be adjusted by using a mixture of plural kinds of gases as the working gas. More specifically, when a pulse tube refrigerator using a gas other than helium with a high liquefaction temperature (such as nitrogen gas) as a working gas is operated, the low-temperature side of the pulse tube refrigerator becomes Liquefies the working gas. However, in the pulse tube refrigerator, the working gas is compressed and expanded and the working gas moves (low temperature side, high temperature side), so that the liquefied working gas touches the part above the boiling point or the boiling point due to expansion during decompression. Goes down. Therefore, the liquefied working gas evaporates again without solidifying.
  • a gas other than helium with a high liquefaction temperature such as nitrogen gas
  • the working gas repeatedly liquefies and evaporates during one cycle, so that the working gas does not block the flow path, operates as a pulse tube refrigerator, and the temperature of the cold head of the pulse tube refrigerator is increased.
  • the heat load on the cold head increases (or decreases)
  • the amount of liquefaction in one cycle decreases (or increases), but the temperature of the cold head remains close to the liquefaction temperature of the working gas. is there.
  • the cooling temperature can be automatically maintained without adjusting the temperature using a heater or the like as in the conventional example.
  • cryopump of the present invention uses the above-described pulse tube refrigerator, it has the above-described excellent effects.
  • the working gas used in the present invention various simple gases such as nitrogen gas and argon are used. Also, a mixed gas or air in which helium gas or the like is mixed with these simple gases is used.
  • the type of single gas and the mixed gas whose mixing ratio is adjusted are selected based on the liquefaction temperature falling within this operating temperature range. Can be.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view of a cryopump according to the present invention
  • FIG. 2 is a diagram showing a relationship between a heat load on a cold head and a temperature of a cold head.
  • cryopump of the present invention in the cryopump shown in FIG. 1, a pulse tube refrigerator using nitrogen gas (single gas) as a working gas is used instead of the GM refrigerator 1.
  • the cold head 2 does not have a heater and thermometer, and does not have a temperature controller. Therefore, there is no heater wiring.
  • Other parts are the same as in the embodiment shown in FIG.
  • Example 1 Since no heater or the like is used, the consumption of electric energy can be reduced, the frequency of failures is reduced, and the price of the device is reduced. Furthermore, since there is no heater wiring, there is no danger of vacuum leakage. Example 1
  • a pulse tube refrigerator was operated by charging nitrogen gas as an operating gas at an absolute pressure of 18.Okgf / cm 2 , and a heater mounted on a cold head was used.
  • the temperature change of the cold head when the heat load was applied by one (it was attached for the experiment to apply the heat load) was examined.
  • the results are shown in Fig. 2 (measurement results are indicated by black circles).
  • Fig. 2 the effect of maintaining the temperature by liquefaction of the working gas was observed, and the cooling temperature was maintained in the range of 112 to 115 K between 0 and 60 W. I understand.
  • the liquefaction temperature of nitrogen at 16. kg f / cm 2 is 112 K.
  • the pulse tube refrigerator of the present invention is a cryopump dedicated to moisture (for example, HELIX
  • cryopump of the present invention is used for various vacuum bowing devices such as a vacuum device for manufacturing semiconductors and a vacuum device for manufacturing magneto-optical recording media.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

明 細 書
/、。ルス管冷凍機およびそれを用いたクライオポンプ 技術分野
本発明は、 パルス管冷凍機における冷却温度の保持をヒータ一等の付加的な機 構を用いることなく行いうる、 信頼性の高いパルス管冷凍機およびそれを用いた クライオポンプに関する。 背景技術
一般に、 クライオポンプは、 冷凍機のコールドへッ ド （冷端部） に取り付けた 吸着パネルに気体分子を吸着して高真空を実現するものである。 このクライオポ ンプでは、 吸着パネルに気体分子を吸着させている間は吸着パネルの冷却温度を ある一定領域に保持しておく必要がある。
例えば、 水分専用のクライオポンプでは、 B及着パネル 3 (第 1図参照） の冷却 温度を約 1 1 0 Kの領域に保持する必要がある。 第 1図に水分専用のクライオポ ンプの概略構造を示す。 図において、 1は G M冷凍機で、 2はコールドヘッ ドで 、 3はコールドヘッ ド 2に取り付けた吸着パネルで、 4は使用状態で真空となる 空間で、 5は取付けフランジである。
現在、 クライオポンプの冷却には、 ヘリウムガス （単体ガス） を作動ガスとし た G M冷凍機力主として用いられている力 これを通常に運転すると、 吸着パネ ル 3の温度が 1 1 0 K以下に下がり過ぎてしまい （3 0〜4 0 Kにまで下がるこ ともある） 、 本来の水分のみを氷結除去する目的から外れ、 他のガス成分をも氷 結してしまうことになる。 このため、 水分専用のクライオポンプでは、 温度保持 機能としてヒーターと温度計 （ともに図示せず） をコールドへッ ド 2に装着し、 ヒ一夕一を温度調節することにより吸着パネル 3の温度保持を行うようにしてい し力、しな力くら、 このものでは、 ヒ一夕一の配線が真空空間 4から大気中に出て いるため、 シ一ルの施工力く複雑であり、 リークの危険性力高い。 また、 熱負荷量 の変化に追従するため （例えば、 吸着パネル 3に水分が付着しすぎたり、 真空度 が低下したりして、 吸着ノ、°ネル 3の温度が上昇すると、 ヒ一夕一を温度調節する 必要があるため） 温度コントローラが必要になり、 機構が複雑になるうえ、 価格 が上昇する。
また、 特開平 6— 7 3 5 4 2号公報には、 吸着パネル 3の温度制御手段として 、 熱交換器、 この熱交換器を吸着パネル 3に連結する連結部、 上記熱交換器にへ リウムガス等の冷却媒体を輸送する輸送手段、 および上記冷却媒体の流量調節手 段等を設けたものが開示されている。 しかしながら、 このものでも、 機構が複雑 になり、 価格も上昇する。
本発明は、 このような事情に鑑みなされたもので、 ヒ一ター等を使用すること なく冷却温度の保持を行うことのできるパルス管冷凍機およびそれを用いたクラ ィォポンプを提供することを目的としている。 発明の開示
本発明は、 作動ガスとして、 その液化温度がパルス管冷凍機の使用温度領域内 にあるガスが用いられているパルス管冷凍機を第 1の要旨とし、 このパルス管冷 凍機を用いたクライオポンプを第 2の要旨とする。
すなわち、 本発明のパルス管冷凍機は、 作動ガスとして、 その液化温度がパル ス管冷凍機の使用温度領域内にあるガスを用いている。 このため、 パルス管冷凍 機の運転中に作動ガスが、 その液化温度であるパルス管冷凍機の使用温度領域よ り低下しなくなり、 力、つ、 その使用温度領域内で略一定に保たれるようになる。 そして、 作動ガスがその液化温度まで冷却されると、 外部からの熱負荷があって もコ一ルドへッドの温度が殆ど変化しなくなる。 ただし、 外部からの熱負荷によ り熱侵入量がさらに増えると、 コールドへッ ドの温度は急に上がり出すため、 外 部からの熱負荷によってもコールドへッ ドの温度力殆ど変ィ匕しない温度領域を作 動ガスの設定温度とする必要がある。 また、 この温度領域は、 作動ガスとして、 複数種類のガスを混合したものを使用することによりある禾 調節できる。 より詳しく説明すると、 液化温度が高いヘリウム以外のガス (窒素ガス等） を 作動ガスとして用いたパルス管冷凍機を運転すると、 パルス管冷凍機内の低温側 で作動ガスが液化する。 しかしながら、 パルス管冷凍機内では作動ガスの圧縮 · 膨脹や作動ガスの移動 （低温側 高温側） があることから、 液化した作動ガスが 沸点以上の部分にふれたり、 減圧時の膨脹のために沸点が下がったりする。 した がって、 液化した作動ガスは固化することなく再び気化する。 このように、 作動 ガスは 1サイクル中に液化と気化を繰り返すため、 作動ガスが流路を閉塞するこ とはなく、 パルス管冷凍機として動作し、 パルス管冷凍機のコールドへッ ドの温 度は作動ガスの液化温度 （=沸点） 付近の温度に保持される。 また、 コールドへ ッ ドへの熱負荷が増加 （もしくは減少） した場合には、 1サイクルでの液化の量 が減る （もしくは増える） ものの、 コールドヘッ ドの温度は作動ガスの液化温度 付近のままである。 たとえ熱侵入量が増えても、 作動ガスが液化している間はコ 一ルドへッ ドの温度は作動ガスの液化温度付近のままである （第 2図参照） 。 上述したように、 本発明のパルス管冷凍機では、 従来例のようにヒーター等を 使って温度調節をすることなく、 自動的に冷却温度の保持が柠えるため、 ヒ一夕
—等の電気エネルギーを使う必要がなく、 エネルギー消費を低減することができ る。 し力、も、 ヒータ一の制御機構がなくなり、 装置が単純化するため、 故障頻度 が減り、 力、つ、 装置価格が安価になる。 さらに、 真空空間への配線がなくなるた め、 シールの施工がなくなり、 また、 真空リークの危険性もなくなる。 また、 本 発明のクライオポンプは、 上記のパルス管冷凍機を用いてるため、 上述したよう な、 優れた効果を奏する。
本発明に用いる作動ガスとしては、 窒素ガス， アルゴン等の各種の単体ガスが 用いられる。 また、 これらの単体ガスにヘリウムガス等を混合した混合ガスや空 気も用いられる。 そして、 パルス管冷凍機の使用温度領域が判明している場合に 、 この使用温度領域内に納まる液化温度をもとにして、 単体ガスの種類や、 混合 比を調整した混合ガスを選択することができる。 図面の簡単な説明
第 1図は、 本発明に係るクライオポンプの断面図であり、 第 2図は、 コールド へッ ドへの熱負荷とコ一ルドへッ ドの温度との関係を示す図である。 発明を実施するための最良の形態
つぎに、 本発明のクライオポンプの一実施の形態を説明する。 この実施の形態 では、 第 1図のクライオポンプにおいて、 GM冷凍機 1に代えて、 窒素ガス （単 体ガス） を作動ガスとしたパルス管冷凍機を用いている。 また、 コールドヘッ ド 2にヒーターと温度計を装着していないし、 温度コントローラも設けていない。 したがって、 ヒータ一の配線もない。 それ以外の部分は第 1図に示す実施の形態 と同様である。
この実施の形態では、 ヒーター等を使用していないため、 電気エネルギーの消 費を低減することができるうえ、 故障頻度が減り、 装置価格が安価になる。 しか も、 ヒーターの配線がなくなるため、 真空リークの危険性がなくなる。 実施例 1
上記実施の形態と同様のクライオポンプにおいて、 作動ガ として窒素ガスを 絶対圧力 1 8. O k g f /cm2 で充塡してパルス管冷凍機を運転し、 コールド へッ ドに取り付けたヒ一夕一 （熱負荷をかけるために、 実験用に取り付けたもの である） によって熱負荷をかけたときの、 コールドへッ ドの温度変化を調べた。 その結果を第 2図に示す （計測結果を黒丸で示している） 。 第 2図から明らかな ように、 作動ガスの液化による温度保持効果がみられ、 熱負荷が 0〜60Wまで の間で 1 1 2〜1 15 Kの範囲で冷却温度を保持していることが判る。 なお、 1 6. kg f /cm2 のときの窒素の液化温度は 1 1 2 Kである。 実施例 2
上記実施の形態と同様のクライオポンプにおいて、 作動ガスとして窒素ガスを 1 4. 4 k g cm2 の分圧、 ヘリウムガスを 3. 6 kg f /cm2 の分圧で 混合したものを充塡して、 実施例 1と同じパルス管冷凍機を運転し、 コールドへ ッ ドに取り付けたヒーター （熱負荷をかけるために、 実験用に取り付けたもので ある） によって熱負荷をかけたときの、 コールドへッ ドの温度変化を調べた。 そ の結果を第 2図に示す （計測結果を白丸で示している） 。 第 2図から明らかなよ うに、 作動ガスの液化による温度保持効果がみられ、 熱負荷が 0〜60Wまでの 間で 9 9〜 1 1 0 Kの範囲で冷却温度を保持していることが判る。 この実施例 2 では、 窒素とヘリウムとの 2成分気液平衡となり、 実施例 1と比べ、 到達温度の 低下がみられた。 なお、 1 4. 7 k g f /cm2 のときの窒素の液化温度は 1 1 0 Kである。 産業上の利用可能性
本発明のパルス管冷凍機は、 水分専用のクライオポンプ （例えば、 HEL I X
TECHNOL〇GY¾ii^ Wa t e r p ump s 〔商品名〕 が含まれる） や 各種クライオポンプだけでなく、 コールドトラップ等に使用される。 また、 本発 明のクライオポンプは、 半導体製造用真空装置， 光磁気記録媒体製造用真空装置 等の各種真空弓 Iき装置等に使用される。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . 作動ガスとして、 その液化温度がパルス管冷凍機の使用温度領域内にあるガ スが用いられていることを特徴とするパルス管冷凍機。
2 . 作動ガスが単体ガスもしくは混合ガスである請求の範囲第 1項のパルス管冷 凍機。
3 . 作動ガスが窒素ガスである請求の範囲第 1項または第 2項記載のパルス管冷 凍機。
4 . 請求の範囲第 1項記載のパルス管冷凍機を用いたクライオポンプ。
5 . パルス管冷凍機に用いる作動ガスが窒素ガスもしくは窒素ガスを含んだ混合 ガスである請求の範囲第 4項記載 c
PCT/JP1999/003094 1998-06-12 1999-06-09 Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration WO1999064797A1 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP99925288A EP1014014A4 (en) 1998-06-12 1999-06-09 SWING TUBE CHILLER AND CRYOPUMP USING THE REFRIGERATOR
KR1020007001349A KR100561769B1 (ko) 1998-06-12 1999-06-09 펄스관 냉동기 및 이를 이용한 크라이오펌프
US09/485,491 US6293109B1 (en) 1998-06-12 1999-06-09 Pulse pipe refrigerating machine and cryopump using the refrigerating machine

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10/165596 1998-06-12
JP16559698A JP3623659B2 (ja) 1998-06-12 1998-06-12 クライオポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1999064797A1 true WO1999064797A1 (fr) 1999-12-16

Family

ID=15815362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1999/003094 WO1999064797A1 (fr) 1998-06-12 1999-06-09 Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6293109B1 (ja)
EP (1) EP1014014A4 (ja)
JP (1) JP3623659B2 (ja)
KR (1) KR100561769B1 (ja)
CN (1) CN1218150C (ja)
MY (1) MY120815A (ja)
TW (1) TW477888B (ja)
WO (1) WO1999064797A1 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7201004B2 (en) * 2002-01-08 2007-04-10 Shi-Apd Cryogenics, Inc. Panels for pulse tube cryopump
US7165406B2 (en) * 2002-01-08 2007-01-23 Shi-Apd Cryogenics, Inc. Integral pulse tube refrigerator and cryopump
WO2003060390A1 (en) * 2002-01-08 2003-07-24 Shi-Apd Cryogenics, Inc. Cryopump with two-stage pulse tube refrigerator
CN100579619C (zh) * 2005-02-08 2010-01-13 住友重机械工业株式会社 改进的低温泵
CN100572987C (zh) * 2005-04-14 2009-12-23 中国科学院理化技术研究所 一种热声驱动脉冲管制冷机
JP5632241B2 (ja) * 2010-09-13 2014-11-26 住友重機械工業株式会社 クライオポンプ及び極低温冷凍機
JP5669658B2 (ja) * 2011-04-11 2015-02-12 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、圧縮機、及びクライオポンプの再生方法
US9186601B2 (en) 2012-04-20 2015-11-17 Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America Inc. Cryopump drain and vent
CN103383322A (zh) * 2013-07-11 2013-11-06 安徽万瑞冷电科技有限公司 一种带低温泵的表面分析系统
JP2015098844A (ja) * 2013-11-20 2015-05-28 住友重機械工業株式会社 クライオポンプシステム、及びクライオポンプシステムの運転方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03286967A (ja) * 1990-03-31 1991-12-17 Ekuteii Kk パルス管冷凍機
JPH0854151A (ja) * 1994-08-10 1996-02-27 Toshiba Corp パルスチューブ冷凍機
JPH11182958A (ja) * 1997-12-17 1999-07-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd パルス管冷凍機

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3892273A (en) * 1973-07-09 1975-07-01 Perkin Elmer Corp Heat pipe lobar wicking arrangement
JPH0781754B2 (ja) * 1990-06-28 1995-09-06 新技術事業団 冷凍機
JP2902159B2 (ja) * 1991-06-26 1999-06-07 アイシン精機株式会社 パルス管式冷凍機
JPH0626459A (ja) * 1992-07-09 1994-02-01 Hitachi Ltd 極低温冷却装置およびその冷却方法
US5295791A (en) * 1993-01-19 1994-03-22 Meise William H Tapered fluid compressor & refrigeration apparatus
JPH07180938A (ja) * 1993-12-24 1995-07-18 Toshiba Corp パルスチューブ冷蔵庫
JPH08128744A (ja) * 1994-10-31 1996-05-21 Aisin Seiki Co Ltd 複動型パルス管冷凍機
FR2739574B1 (fr) * 1995-10-04 1997-11-14 Cit Alcatel Groupe de pompage secondaire
JPH1054356A (ja) * 1996-08-14 1998-02-24 Ebara Corp 析出物除去用トラップ

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03286967A (ja) * 1990-03-31 1991-12-17 Ekuteii Kk パルス管冷凍機
JPH0854151A (ja) * 1994-08-10 1996-02-27 Toshiba Corp パルスチューブ冷凍機
JPH11182958A (ja) * 1997-12-17 1999-07-06 Mitsubishi Heavy Ind Ltd パルス管冷凍機

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1014014A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
EP1014014A4 (en) 2007-08-15
US6293109B1 (en) 2001-09-25
JPH11351688A (ja) 1999-12-24
KR20010022750A (ko) 2001-03-26
CN1272914A (zh) 2000-11-08
TW477888B (en) 2002-03-01
JP3623659B2 (ja) 2005-02-23
EP1014014A1 (en) 2000-06-28
CN1218150C (zh) 2005-09-07
MY120815A (en) 2005-11-30
KR100561769B1 (ko) 2006-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5447033A (en) Multi-stage cold accumulation type refrigerator and cooling device including the same
KR100239605B1 (ko) 저온 펌프
CA2561527C (en) Cryocooler operation using temperature trending monitoring
JP4731806B2 (ja) 冷凍サイクル装置およびその制御方法
WO1999064797A1 (fr) Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration
WO2004055452A1 (ja) 冷凍機の取付方法及び装置
US5144810A (en) Multi-stage cold accumulation type refrigerator and cooling device including the same
CN1240469C (zh) 产生喷雾剂的系统及使用该系统的冷却装置
JP2000121192A5 (ja)
US20090188260A1 (en) Cryogenic container with built-in refrigerator
US5144805A (en) Multi-stage cold accumulation type refrigerator and cooling device including the same
JP2001515176A (ja) 選択的に凝縮および解凍を行うクライオポンプ
JPH02298765A (ja) 多段式蓄冷型冷凍機及びそれを組み込んだ冷却装置
JP3669911B2 (ja) 液化ガス収容装置
JP2795031B2 (ja) 真空クライオポンプ
JPH08135570A (ja) クライオポンプ及びコールドトラップ
JP2004027866A (ja) クライオポンプ装置及びクライオポンプ装置の運転方法
JPH079000Y2 (ja) 極低温冷凍装置
WO2010097888A1 (ja) 二段式冷凍機の運転制御方法、二段式冷凍機を有するクライオポンプの運転制御方法、二段式冷凍機、クライオポンプ及び真空基板処理装置
US6550256B1 (en) Alternative backing up pump for turbomolecular pumps
JPH0355829Y2 (ja)
Zhang et al. Design improvement in vacuum cooling system
JPH0933130A (ja) 蓄冷器式冷凍機
JPS6248974A (ja) クライオポンプ
JPH11108476A (ja) 極低温冷却装置

Legal Events

Date Code Title Description
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 99800910.5

Country of ref document: CN

AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): CN KR US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1020007001349

Country of ref document: KR

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 09485491

Country of ref document: US

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1999925288

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1999925288

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1020007001349

Country of ref document: KR

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1020007001349

Country of ref document: KR