WO2004055452A1

WO2004055452A1 - 冷凍機の取付方法及び装置

Info

Publication number: WO2004055452A1
Application number: PCT/JP2002/013149
Authority: WO
Inventors: Shunji Yamada
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries, Ltd.
Priority date: 2002-12-16
Filing date: 2002-12-16
Publication date: 2004-07-01
Also published as: DE10297837B4; DE10297837T5; US7266954B2; JP4040626B2; JPWO2004055452A1; US20060048522A1

Description

明細書

冷凍機の取付方法及び装置

技術分野

本発明は、冷凍機の冷却ステージを、該冷却ステージにより凝縮される冷媒ガスを収容する冷却装置の冷媒容器に着脱可能に取付けるための冷凍機の取付方法及び装置に係り、特に、高温超導電体を使用した電力機器を冷却するための、複数台の冷凍機が組み込まれた冷却装置に用いるのに好適な、運転されている冷却装置を停止することなく、即ち、他の正常な冷凍機を停止することなく、冷却対象物の冷却は続行したまま、故障した冷凍機のみを交換可能な冷凍機の取付方法及び装置に関する

背景技術

高温超導電体を使用した、発電機、モー夕、変圧機等の電力機器は、約 3 0 Kまで冷却して運転される。これらの電力機器を冷却するには大きな冷凍能力が必要で、複数台（ 5台位）のギフオードマクマホン（G M ) 冷凍機やパルスチューブ冷凍機（必要な場合を除いて、以下、単に冷凍機と総称する ) が組み込まれた冷却装置が使用される。

電力機器を長期に Bり安定に運転するには、これらを冷やす冷却装置も長期に安定に運転できることが必要である。そのため、冷却装置に組み込まれた冷凍機が劣化又は故障して冷却能力が低下したときは、冷凍機を交換できることが望ましい。

図 1に従来の冷却装置の概要を示す。この冷却装置では、冷却対象物 (例えば高温超電導体を使用した電力機器、例えば発電機のロー夕） 1 0の冷却温度がネオンの液化温度の 3 0 K近辺の場合、冷媒ガスとして用いるネオンガスを一旦液化して液化ネオン容器 1 2に蓄え、これで配管 2 0により冷却対象物 1 0を循環しているヘリウムガスを冷却する間接冷却方式となっている。.配管 2 0を循環するヘリゥムガスは、室温にあるヘリゥムガス循環ポンプ 2 2により送り出され、第 1の熱交換器 2 4を通って戻ってくるヘリウムガスと熱交換して冷やされる。次に第 2 熱交換器 2 6に入り、液化ネオン容器 1 2内の液化ネオンで更に冷却され、 '約 3 0 Kまで冷却される。そして、冷却対象物 1 0を冷却する第 3 の熱交換器 2 8を通て、再び第 1の熱交換器 2 に入-り、室温まで昇温して、循環ポンプ 2 2へ戻る。

真空断熱容器である冷却装置のクライオス夕ット ' 3 0には、大きな冷凍能力を得るために複数台（図では 2台）設けられた冷凍機 4 0、 4 2 のシリンダ 4 4が丁度入る寸法に作られた冷凍機取付スリーブ 3 2が設けられている。なお、図では 2'台の冷凍機が取付けられているが、 1台又は 3台以上でもよい。

冷凍機 4 0、 4 2きクライオス夕ヅト 3 0に取付 &るための冷凍機取付フランジ 4 6には、ネオンガスが外部に漏れたり、空気が内部に混入しないようにシール〇リング 4 8が取付けられている。なお、図では冷凍機のフランジ 4 6に 0リングを設けているが、クライオス夕ヅト 3 0 側に設けてもよい。又、シールできれば 0リングでなくとも良い。

前記液化ネオン容器 1 2から出た複数（図では 2本）の配管 1 4は、その上部にある前記冷凍機取付スリーブ 3 2に接続されている。該配管 1 4の内径は、ネオンガスが循環するのに支障のない寸法とされる。

前記液化ネオン容器 1 2にはネオンガスを封入しているので、冷凍機を運転すると、その低温側冷却ステージ（ 2段冷却ステージ。以下、単に冷却ステージと称する） 5 0の温度はネオンの凝縮温度（液化温度）まで下がり、ネオンガスは凝縮し滴下して下部の容器 1 2に溜まる。なお、 3 0 Kという低温の部分は高度に断熱しなければならず、通常、真空断熱容器（図ではクライオス夕ット 3 0 ) 内に設置されている。なお、図では真空排気装置は省略している。図において、 5 2は、冷^機の圧縮機である。

さて、何らかの理由で、 1台の冷凍機が劣化又は故障したときを考える。従来の冷却装置では、冷却装置の運転を停止して、全体を昇温することなく、性能が劣化又は故障した冷凍機を交換することはできなかつた。 .何故ならば、冷却装置を運転した状態のまま（他の正常な冷凍機の運転を続行し、ネオンガスも回収せず）、該当する冷凍機を交換するために、その冷凍機を取り外すと、ネオンガスを封入した容器 1 2は開放状態となってネオンガスが失われ（漏れ出し）、容器 1 2内部に空気や水分が混入して温度が上昇し、冷却を続行することができないからである。従って、該当する冷凍機を取り外す場合は、冷却装置全体を停止し、ネオンガスを回収し（図 1ではネオンガス回収装置は省略）、室温まで上昇してから、冷凍機を取り外す必要があった。

なお、日本特許第 3 2 6 5 1 3 9号ゃ特開平 9 - 1 1 3 0 4 8号公報には、予冷を早くするための熱スィッチを、冷凍機シリンダの高温側冷却ステージと低温側冷却ステージの間や、冷却対象物と低温部をカバーする熱シールド又は冷凍機の間に設けることが記載されているが、冷凍機は 1台だけであり、複数台の冷凍機.の中の一部のみを取外すことは全く考えられていなかった。発明の開示

本発明は、前記従来の問題点を解消するべくなされたもので、冷却装置に組み込まれた冷凍機の 1台が劣化又は故障して、冷却能力が低下したときに、運転されている冷却装置を停止することなく（他の正常な冷凍機を停止することなく）、冷却対象物の冷却は続行したまま、故障した冷凍機のみを交換できるようにすることを課題としている。

本発明は、冷凍機の取付に際して、冷凍機の冷却ステージと、該冷却ステージにより凝縮される冷媒ガスを収容する冷却装置の冷媒容器の間に熱伝導部材を揷入し、該熱伝導部材に保持された低融点金属により、前記冷却ステージと冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板を熱的に接触させるようにして、前記課題を解決したものである。

又、前記熱伝導部材を、前記冷却ステージと冷媒容器間を仕切る仕切り部材としたものである。

又、前記熱伝導部材を、前記冷却ステージとヒートパイプの間に挿入したものである。 ' 又、前記熱伝導部材を、前記冷却ステージと熱シールド板の間に挿入したものである。

又、前記低融点金属の温度を、冷凍機交換時に、該低融点金属が溶ける一定の温度に制御するようにした.ものである。

又、前記低融点金属を、インジウム、低融点はんだ又はウッドメタルとしたものである。

又、前記冷凍機を、 G M冷凍機又パルスチューブ冷凍機としたものである。

本発明は、又、冷凍機の冷却ステージを、該冷却ステージにより凝縮される冷媒ガスを収容する冷却装置の冷媒容器に着脱可能に取り付けるための冷凍機の取付装置であって、前記冷却ステージと冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板の間に挿入される熱伝導部材と、該熱伝導部材に保持された、前記冷却ステージと冷媒容器を熱的に接触させるための低融点金属とを備えることにより、前記課題を解決したものである。又、前記熱伝導部材の冷媒容器又は熱シールド板側に凝縮フィンを設けたものである。

又、前記冷却ステージ、低融点金属及び熱伝導部材を収容する冷凍機取付スリーブと前記冷媒容器又は熱シールド板を接続する、配管壁と冷媒ガスの熱伝導による熱が許容できる長さの配管を設けたものである。更に、前記仕切り部材を加熱するヒ一夕と、前記熱伝導部材の温度を検出する温度センサとを備えたものである。

又、前記ヒータと温度センサを着脱自在としたものである。

更に、前記低融点金属の温度を、冷凍機交換時に、該低融点金属が溶ける一定の温度に制御する手段を備えたものである。

本発明は、又、前記の装置により取り付けられた冷凍機を備えたことを特徴とする電力機器を提供するものである。図面の簡単な説明

図 1は、従来の冷却装置の概略構成を示す断面図。

図 2は、本発明に係る冷却装置の第 1実施形態の概略構成を示す断面図、

図 3は、同じく第 2実施形態の概略構成を示す断面図、

図 4は、同じく第 3実施形態の概略構成を示す断面図、

図 5は、同じく第 4実施形態の概略構成を示す断面図、

図 6は、同じく第 5実施形態の概略構成を示す断面図、

図 7は、同じく第 6実施形態の概略構成を示す断面図である。発明を実施するための最良の形態

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。

本発明の第 1実施形態は、図 1と同様の冷却装置において、図 2に示す如く、真空断熱容器であるクライオス夕ット 3 0に、複数の冷凍機シリンダ 4 4が丁度入る寸法に作られた冷凍機取付スリーブ（以下、単にスリーブと称する） 3 2が設けられている。液化したネオンを溜める容器 1 2から出た複数の配管 1 は、その上部にあるスリーブ 3 2に接続されている。該スリーブ 3 2は、ステンレス鋼等の熱伝導率の小さい材料で作られ、スリーブ 3 2の下方中間部に、熱伝導率の大きい材料（例えば銅又は銅合金）で作られた熱伝達部材としての仕切り部材 6 0を配置している。この仕切り部材 6 0の下面には、凝縮フィン 6 O F が備えられている.なお、この凝縮フイン 6 O Fは省略することもできる。前記仕切り部材 6 0の位置は、前記スリ一ブ 3 2に冷凍機 4 0 , 4 2 を取り付けたとき、冷凍機先端の冷却ステージ 5 0が、丁度仕切り部材 6 0に接するか、僅かに隙間（ 5 m m未満 1 m m以下が望ましい）ができるように配置する。なお、図では明示的に隙間を大きくし、後出低融点金属 6 2が溜まるように窪み 6 0 Uが設けられている。この仕切り部材 6 0は、スリーブ 3 2に、蠟付け又は溶接、接着、ねじ止めにより、しっかり取り付けられ、気密になっている。

前記仕切り部材 6 0は、更に、電気ヒー夕 6 4と温度センサ 6 6を内 §している。

前記仕切り部材 6 0の上部には、低融点金属 (例えばィンジゥム、又は、低融点はんだ、ウッドメタル、水銀等）を適量（冷凍機先端の冷却ステージ 5 0と仕切り部材 6 0が、低融点金属 6 2により良好な熱接続が図れる量）入れておく。仕切り部材 6 0の上面と冷凍機の冷却ステージ 5 0の表面は、良好な熱接続が図れるよう、予め低融点金属 6 2でめつきを施しておくことが望ましい。

冷却装置組立時には、前記電気ヒー夕 6 4に通電して仕切り部材 6 0 を加熱し、低融点金属 6 2を溶かして冷凍機 4 0、 4 2を取付けると、仕切り部材 6 0と冷凍機 4 0、 4 2は良好な熱接続を得ることができるここで、温度センサ 6 6は、電気ヒー夕 6 4に通電して仕切り部材 5 0を加熱するとき、過熱しないように温度を測定するのに用いる。なお、温度調節計を使用して、低融点金属 5 2が溶ける一定の温度に制御する方が望ましい。

冷凍機 4 0 , 4 2を取り付けたとき、冷凍機取付フランジ 4 6から空気が混入しないように 0リング 4 8等でシールされていれば、冷凍機シリンダ 4 4の外側とスリーブ 3 2の内側の間にできる空間は、真空排気したり、ヘリウムガスやネオンガス等で置換する必要はない。勿論、真空排気したり、ガス置換してもよい。

各スリーブ 3 2の下端は、冷却に使用するネオンガスが循環するのに支障のない大きさの配管 1 4で、下部の液化ネオン容器 1 2に連結されている。配管 1 4は、冷凍機 4 0、 4 2を取り外すときに、仕切り部材 6 0を低融点金属 6 2が溶ける温度まで加熱しても、下部の液化ネオン容器 1 2に対して過大な熱が伝わらないように、上下方向に対して、適当な長さ（配管壁とガスの熱伝導による熱が許容できる値以下となるような長さ）を持っている。

前記容器 1 2にはネオンガス（冷却対象物 1 0との冷却温度が 3 0 K 近辺の場合）が封入されている。冷凍機の冷却ステージ 5 0は、仕切り部材 6 0に対して、低融点金属 6 2によって、熱的にしっかり接続（例えば約 1 0 0 Wの伝熱量に対して 1 K以下の小さな熱抵抗）されている。

冷凍機を運転し、仕切り部材 6 0の温度がネオンガスを凝縮する温度に達すると、仕切り部材 6 0の下面（凝縮フィン 6 0 F ) では、ネオンガスが液化して滴下を始める。液化し滴下した液化ネオンは、電力機器を冷却するヘリゥムガスと熱交換して蒸発し、再び仕切り部材 6 0の下面へ戻り、凝縮するという循環を繰り返す。

複数取付けられた各冷凍機 4 0、 4 2で、このネオンガスの循環による伝熱（冷却）が行なわれる。

図 1と同じ構成には、同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

ここで、何らかの理由で、 1台の冷凍機が劣化又は故障したときを考える。故障した冷凍機の運転を止めると、冷凍機の冷凍能力は無くなるので、そこでネオンガスの凝縮は止まる。そして、電気ヒー夕 6 4に通電して仕切り部材 6 0を加熱し、低融点金属 6 2を溶かす。温度センサ 6 6は、電気ヒー夕 6 4に通電して仕切り部材 6 0を加熱するとき、過熱しないように温度を測定するのに使用する。温度調整計を使用して、低融点金属 6 2が溶ける一定の温度に制御するのが望ましい。

仕切り部材 6 0の温度が低融点金属 6 2の溶ける温度まで上昇しても、冷凍機を取り付けたスリ,一プ 3 2 と液化ネオン容器 1 2を連結する配管 1 4の長さは、配管壁とガスの熱伝導による熱が許容できる値以下となるように作られているので、このような状態でも、液化ネオン容器 1 2への伝熱量は小さな許容できる値となっている。

このとき、劣化又は故障している冷凍機の冷却ステージ 5 0は、低融点金属 6 2が溶ける温度まで昇温しているので、冷凍機はそのまま取り外すことができる。勿論、仕切り部材 6 0より上側は室温以上となっているので、霜が付いたりする不具合が起こることはない。

取り外したところには、正常な冷凍機を取付け、直ぐに運転を再開することができる。又、他の正常な状態にある冷凍機は運転したままで、ネオンガスを液化し続けており、冷却対象物 1 0は連続して低温に冷却されている状態を保っている。

, 第 1実施形態では、比較的大きな冷却能力を持った冷凍機を使用して、 3 0 Kという比較的高い温度であるため、熱シ一ルド板を省略しているが、必要な場合には、図 3に示す第 2実施形態のように、熱シールド板 7 0の冷却にも同様の構造を使うことができる。

このとき、冷凍機を取付けるスリーブ 3 2に、更に冷凍機高温側ステ —ジ（ 1段ステージと称する） 5 4で窒素ガス（又はアルゴンガス）を凝縮できるように、熱伝導板 7 2を設け、これに窒素ガスが凝縮循環する配管 7 4を取付けている。

前記熱伝導板 7 2は、冷凍機 1段ステージ 5 4と、低融点金属 6 2を使用して熱的に接続する。該熱伝導板 7 2の配管 7 4内には、窒素ガスの凝縮を促進する凝縮フィン 7 2 F が設けられている。なお、この凝縮クイン 7 2 Fは省略することもできる。

• 前記窒素ガス凝縮循環配管 7 4は、熱伝導率の小さい材料（例えばステンレス鋼等）で作られている。この配管 7 4の内径は、窒素ガスの循環に支障の無い寸法に作られている。この配管 7 4の下部には、熱シ一ルド板 7 0を冷却する液化窒素容器（窒素の循環には支障なければパイプでも良い） 7 6を設ける。この液化窒素容器 7 6は、熱伝導率の大きな材料（銅又は銅合金が望ましい）で作られている。この液化窒素容器 7 6は、前記熱シールド板 7 0に、熱抵抗が十分小さい方法（例えば蠟付け、はんだ付け、璋着、ねじ止め等）で取付ける。

前記液化窒素容器 7 6には、窒素ガスを充填しておく。図には示してないが、必要であれば窒素ガスの供給（又は回収）装置を設けることがで„きる。

図において、 7 8は、冷凍機の 1段冷却ステージ 5 4用の電気ヒ一夕、 § 0は同じく温度センサである。 '

他の構成は第 1実施形態と同じであるので、同じ符号を付して、詳細な説明は省略する。

この第 2実施形態においては、熱伝導板 7 2によって凝縮された窒素により、熱シ一ルド板 7 0が冷却される。

この第 2実施形態によれば、ネオンガスだけでなく、熱シールド板 7 0も本発明の方法により冷却することができる。

なお、第 1、第 2実施形態のいずれも、ネオンガス及び窒素ガスの容器 1 2、 7 6が複数（ 2台）の冷凍機 4 0、 4 2に連結されていたが、各冷凍機で独立したものとしてもよい。このとき、各凝縮と蒸発を繰り返す部分は、いわゆるヒートパイプと呼ばれる構造となる。

次に、各冷凍機の伝熱にヒートパイプを使用する本発明の第 3実施形態を図 4を参照して説明する。

本実施形態では、各ヒートパイプ 8 2の下端を 1つの熱伝導部材 8 4 に接続し、これと配管 2 0内を循環するヘリウムガスが熱交換するようになっている。

図において、 8 6はネオンガス補給回収タンクである。こ'のネオンガス補給回収夕ンク 8 6は、通常は適当なガス量を保持できるタンクでよいが、ヒートパイプ 8 2内部のネオンガス量が不足する場合には、外部にネオンガス供給（又は回収）装置（図示省略）を取付けてもよい。なお、図ではヒートパイプ 8 2の上下の直径を太くしているが、許容できれば、パイプは一定の直径のままでもよい。冷凍機を取り換えるとき、上部の仕切り部材 6 0の温度は低融点金属 6 2が溶解する温度まで昇温している。このため、ヒートパイプ壁及び内部にあるガスには温度勾配があり、パイプが太ければ、その分、低温部への熱負荷が増える。冷凍機を運転して内部のガスを凝縮しているときは、ヒートパイプ上下に温度差はないので、ヒートパイプによる損失は発生しない。

又、図ではヒートパイプ上下の内部に短い伝熱フィン（凝縮 Xは蒸発の熱伝達率は非常に大きいので、長いフィンは無意味となる） 8 2 F を設けているが、伝熱量の大きさによっては、フィンが無くてもよい。

ヒ一トパイプ下部に設けた熱伝導部材 8 4は、銅又は銅合金あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金が適している。

又、図では、ヒートパイプ 8 2は真っ直ぐ下へ延ばして、大きな熱伝導部材 8 4に取付けているが、ヒートパイプ 8 2を斜めに配置して、比較的小さな熱伝導部材 8 4に取付けるようにしてもよい。図に示す間接冷却の場合は、このようにすると、熱伝導部材内部にできる温度勾配を小さくできる。又、大きな冷却対象物を直接冷やす場合は、逆にヒートパイプの下端を分散するように配置すれば、冷却対象物を一様に冷却することができる。

次に、図 5を参照して、電気ヒ一夕 6 4と温度センサ 6 6を冷凍機 4 0 , 4 2の取付け又は取り外しの作業時に後から取付けるようにした本発明の第 4実施形態を詳細に説明する。

第 1実施形態と同様の冷却装置において、図の右側の冷凍機 4 2は、取付け（又は取り外し）のため運転を停止している。そして、低融点金属 6 2を溶解するために、電気ヒ一夕 6 4と温度センサ 6 6をパイプ 9 2、 9 4内を通して、仕切り部材 6 0に、上部より挿入して取り付ける様子を示している。

左側の冷凍機 4 0は運転されており、ネオンを凝縮液化している。 . このとき、電気ヒ一夕と温度センサは取り外し、パイプ 9 2、 9 4の上部は空気を混入しないように蓋 9 6を取付けている。

又、前記説明では、間接冷却方式の場合を述べたが、図 6に示す第 5 実施形態のように、液化ネオン容器 1 2内に冷却対象物 1 0を挿入し、液化したネオンガスで冷却対象物 1 0を直接冷却してもよい。

この場合は、外部にあるヘリウム循環ポンプや、熱交換器等は不要となる。 '

なお、前記説明においては、いずれも、冷凍機として G M冷凍機が用いられていたが、冷凍機の種類は基本的に限定されず、図 7に示す第 6 実施形態のように、冷却にパルスチューブ冷凍機 1 0 0、 1 0 2を用いてもよい。

このパルスチューブ冷凍機は、通常複数の円柱（蓄冷材を充填するパイブ 1 0 4と膨張管 1 0 6 ) で構成されているため、冷凍機取付スリ一ブ 3 2は G M冷凍機の場合に比べて大きくなる。

なお、前記説明では、冷却温度が 3 0 Kであるためネオンガスを使用したが、冷却対象温度によりアルゴンガス（ 9 0〜 1 4 0 K ) 、窒素ガス（ 7 0〜 1 2 0 K ) 、水素ガス ( 1 4〜 3 0 K ) 、ヘリゥムガス ( 5 K ) を用いることができる。

又、前記説明では、本発明が高温超電導体を使用した電力機器の冷却に適用されていたが、冷却対象は、これに限定されず、クライオポンプ、超伝導マグネット、物性測定装置等にも、同様に適用可能である。産業上の利用可能性

従来の方法では、冷凍機を取り替える場合、冷却装置を停止し、冷媒ガスを回収して、装置全体を室温に戻した後でないと、冷凍機を取り替えることができなかった。このため、これらの作業の間、及び、再度規定の温度に冷却できるまでの間、冷却対象物（例えば電力機器）の運転はできない。これに対して、本発明によれば、冷却対象物の冷却は中断することなく継続したままで、不具合の起こつた対象の冷凍機を交換することができる。又、仕切り部材と冷凍機の冷却ステージ間の熱抵抗は

、薄い低融点金属の抵抗分であるため、小さなものとなり、大きな伝熱量（冷却能力）であるにも拘らず、非常に小さな温度差しか生じない。特に、仕切り部材に電気ヒー夕と温度センサを取付けた場合は、、このヒータにより、低融点金属が溶ける温度まで加熱すれば、作業に係わる範囲は全て室温又はこれより少し高い温度になっており、霜の付着防止等の煩わしい作業をすることなく、冷凍機の取付け、取り外しを簡単に行なうことができる。仕切り部材の加熱に温度調節計を使用して、低融点金属が溶ける一定の温度に制御すると、この作業は更に簡単なものになる。

Claims

請求の範囲

1 . 冷凍機の冷却ステージと、該冷却ステージにより凝縮される冷媒ガスを収容する冷却装 gの冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板の間に熱伝導部材を揷入し、

該熱伝導部材に保持された低融点金属により、前記冷却ステージと冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板を熱的に接触させることを特徴とする冷凍機の取付方法。' -

2 . 前記熱伝導部材が、前記冷却ステージと冷媒容器間を仕切る仕切り部材であることを特徴とする請求項 1に記載の冷凍機の取付方法。

3 . 前記熱伝導部材が、前記冷却ステージとヒートパイプの間に挿入されていることを特徴とする請求項 1に記載の冷凍機の取付方法。

4 . 前記熱伝導部材が、前記冷却ステージと熱シールド板の間に挿入されているこ'とを特徴とする請求,項 1に記載の冷凍機の取付方法。

5 . 前記低融点金属の温度を、冷凍機交換時に、該低融点金属が溶ける一定の温度に制御することを特徴とする請求項 1乃至 4のいずれかに記載の冷凍機の取付方法。

6 . 前記低融点金属が、インジウム、低融点はんだ又はウッドメタルであることを特徴とする請求項 1に記載の冷凍機の取付方法。

7 . 前記冷凍機が、 G M冷凍機又はパルスチューブ冷凍機であることを特徴とする請求項 1に記載の冷凍機の取付方法。

8 . 冷凍機の冷却ステージを、該冷却ステージにより凝縮される冷媒ガスを収容する冷却装置の冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板に着脱可能に取り付けるための冷凍機の取付装置であって、

前記冷却ステージと冷媒容器、ヒートパイプ又は熱シールド板の間に挿入される熱伝導部材と、

該熱伝導部材に保持された、前記冷却ステージと冷媒容器を熱的に接触させるための低融点金属と、を備えたことに特徴とする冷凍機の取付装置。

9 . 前記熱伝導部材の冷媒容器又は熱シールド板側に凝縮フィンが設けられていることを特徴とする請求項 8に記載の冷凍機の取 fザ装置。

1 0 . 前記冷却ステージ、低融点金属及び熱伝導部材を収容する冷凍機取付スリーブと前記冷媒容器又は熱シールド板を接続する、配管壁と冷媒ガスの熱伝導による熱が許容できる長さの配管を有することを特徴とする請求項 8に記載の冷凍機の取付装置。

1 1 . 前記熱伝導部材を加熱するヒ一夕と、

前記熱伝導部材の温度を検出する温度センサと、

を更に備えたことを特徴とする請求項 8に記載の冷凍機の取付装置。

1 2 . 前記ヒ一夕と温度センサが着脱自在とされていることを特徴とする請求項 1 1に記載の冷凍機の取付装置。 .

1 3 . 前記低融点金属の温度を、冷凍機交換時に、該低融点金属が溶ける一定の温度に制御する手段を備えたことを特徴とする請求項 8に記載の冷凍機の取付装置。

1 4 . 請求項 8乃至 1 3のいずれかに記載の装置により取り付けられた冷凍機を備えたことを特徴とする電力機器。