JP2000283578A - 液化ガス貯蔵装置、再液化装置、及び液化窒素の再液化方法 - Google Patents
液化ガス貯蔵装置、再液化装置、及び液化窒素の再液化方法Info
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- F25D19/006—Thermal coupling structure or interface
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡易な構造で取り扱いの便利な再液化装置及
びそれを用いた液化ガス貯蔵装置を提供する。 【解決手段】 液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽に液
化ガスの注入口が設けられている。注入口の開口部の周
囲に、物理的な支持力を有する支持面が画定されてい
る。冷却装置が、支持面に整合する被支持面を有する。
被支持面を支持面に整合させることにより冷却装置が物
理的に支持される。再液化室が冷却装置の低温発生部に
熱的に結合している。冷却装置を支持面によって支持し
たとき、内管が注入口の内部まで導入される。内管は、
再液化室に接続されている。
びそれを用いた液化ガス貯蔵装置を提供する。 【解決手段】 液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽に液
化ガスの注入口が設けられている。注入口の開口部の周
囲に、物理的な支持力を有する支持面が画定されてい
る。冷却装置が、支持面に整合する被支持面を有する。
被支持面を支持面に整合させることにより冷却装置が物
理的に支持される。再液化室が冷却装置の低温発生部に
熱的に結合している。冷却装置を支持面によって支持し
たとき、内管が注入口の内部まで導入される。内管は、
再液化室に接続されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液化ガス貯蔵装置
及び再液化装置に関し、特に液化状態から気化した蒸気
を再液化して貯蔵槽に戻す再液化装置を有する液化ガス
貯蔵装置及び再液化装置に関する。
及び再液化装置に関し、特に液化状態から気化した蒸気
を再液化して貯蔵槽に戻す再液化装置を有する液化ガス
貯蔵装置及び再液化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＮＭＲや電子顕微鏡等の精密理化学機器
において、低温環境を確保するために液化ガスが用いら
れる。ここで、液化ガスとは、常温で気体状態のガスを
冷却することによって液化した液体状態のものを意味す
る。低温環境を維持するために、蒸発によって減少した
液化ガスに相当する量の液化ガスを補充する必要があ
る。
において、低温環境を確保するために液化ガスが用いら
れる。ここで、液化ガスとは、常温で気体状態のガスを
冷却することによって液化した液体状態のものを意味す
る。低温環境を維持するために、蒸発によって減少した
液化ガスに相当する量の液化ガスを補充する必要があ
る。
【０００３】液化ガスの補充作業を不要にするために、
蒸発した液化ガスを再液化する技術が、特開平８−３２
７１７１号公報及び特開平１０−２４６５４７号公報に
開示されている。これら公報に開示された再液化装置で
は、液化ガス貯蔵槽と極低温冷凍機の低温発生部とを、
可撓性を有する断熱管で接続する。蒸発した液化ガスが
断熱管を通って低温発生部まで到達すると、ここで再度
液化される。再液化した液化ガスは、断熱管を通って液
化ガス貯蔵槽に戻る。断熱管が可撓性を有するため、極
低温冷凍機の発生する振動が液化ガス貯蔵槽まで伝わる
ことを防止することができる。
蒸発した液化ガスを再液化する技術が、特開平８−３２
７１７１号公報及び特開平１０−２４６５４７号公報に
開示されている。これら公報に開示された再液化装置で
は、液化ガス貯蔵槽と極低温冷凍機の低温発生部とを、
可撓性を有する断熱管で接続する。蒸発した液化ガスが
断熱管を通って低温発生部まで到達すると、ここで再度
液化される。再液化した液化ガスは、断熱管を通って液
化ガス貯蔵槽に戻る。断熱管が可撓性を有するため、極
低温冷凍機の発生する振動が液化ガス貯蔵槽まで伝わる
ことを防止することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例の再液化装
置においては、冷凍機を液化ガス蓄積槽以外の支持手段
で支持する必要がある。また、断熱管が長くなるため、
熱が侵入しやすく再液化効率が低下する。
置においては、冷凍機を液化ガス蓄積槽以外の支持手段
で支持する必要がある。また、断熱管が長くなるため、
熱が侵入しやすく再液化効率が低下する。
【０００５】本発明の目的は、簡易な構造で取り扱いの
便利な再液化装置及びそれを用いた液化ガス貯蔵装置を
提供することである。
便利な再液化装置及びそれを用いた液化ガス貯蔵装置を
提供することである。
【０００６】本発明の他の目的は、フラッディング現象
の発生の抑制することが可能な再液化方法を提供するこ
とである。
の発生の抑制することが可能な再液化方法を提供するこ
とである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の一観点による
と、液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽と、前記液化ガ
ス貯蔵槽に設けられ、該液化ガス貯蔵槽内に液化ガスを
注入するための注入口と、前記注入口の開口部の周囲に
画定され、物理的な支持力を有する支持面と、前記支持
面に整合する被支持面を有し、該被支持面を前記支持面
に整合させることにより物理的に支持される冷却装置
と、前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化
室と、前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持
面によって支持したとき、前記注入口の内部まで導入さ
れる内管とを有する液化ガス貯蔵装置が提供される。
と、液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽と、前記液化ガ
ス貯蔵槽に設けられ、該液化ガス貯蔵槽内に液化ガスを
注入するための注入口と、前記注入口の開口部の周囲に
画定され、物理的な支持力を有する支持面と、前記支持
面に整合する被支持面を有し、該被支持面を前記支持面
に整合させることにより物理的に支持される冷却装置
と、前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化
室と、前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持
面によって支持したとき、前記注入口の内部まで導入さ
れる内管とを有する液化ガス貯蔵装置が提供される。
【０００８】本発明の他の観点によると、液化ガスの注
入口の設けられた液化ガス貯蔵槽の該注入口の周囲の面
に整合する被支持面を有し、該被支持面を該注入口の周
囲の面に整合させることにより物理的に支持される冷却
装置と、前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再
液化室と、前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記
被支持面によって支持したとき、前記注入口の内部まで
導入される内管とを有する液化ガス再液化装置が提供さ
れる。
入口の設けられた液化ガス貯蔵槽の該注入口の周囲の面
に整合する被支持面を有し、該被支持面を該注入口の周
囲の面に整合させることにより物理的に支持される冷却
装置と、前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再
液化室と、前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記
被支持面によって支持したとき、前記注入口の内部まで
導入される内管とを有する液化ガス再液化装置が提供さ
れる。
【０００９】再液化装置を液化ガス貯蔵槽に直接支持す
るため、装置の小型化を図ることが可能になる。
るため、装置の小型化を図ることが可能になる。
【００１０】本発明の他の観点によると、液化ガスを貯
蔵する液化ガス貯蔵槽と、前記液化ガス貯蔵槽に設けら
れ、該液化ガス貯蔵槽内に液化ガスを注入するための注
入口と、低温発生部を有する冷却装置と、前記冷却装置
を、その低温発生部が前記液化ガス貯蔵槽の外部に配置
されるように支持する支持手段と、前記冷却装置の低温
発生部に熱的に結合した再液化室と、前記支持手段によ
り前記冷却装置を支持したとき、前記再液化室と前記液
化ガス貯蔵槽内の空間とを連通させる第１の内管と、前
記再液化室に連通し、前記支持手段により前記冷却装置
を支持したとき、前記注入口を通して前記液化ガス貯蔵
槽の内部まで挿入され、その挿入部分の長さが前記第１
の内管のそれよりも長い第２の内管とを有する液化ガス
貯蔵装置が提供される。
蔵する液化ガス貯蔵槽と、前記液化ガス貯蔵槽に設けら
れ、該液化ガス貯蔵槽内に液化ガスを注入するための注
入口と、低温発生部を有する冷却装置と、前記冷却装置
を、その低温発生部が前記液化ガス貯蔵槽の外部に配置
されるように支持する支持手段と、前記冷却装置の低温
発生部に熱的に結合した再液化室と、前記支持手段によ
り前記冷却装置を支持したとき、前記再液化室と前記液
化ガス貯蔵槽内の空間とを連通させる第１の内管と、前
記再液化室に連通し、前記支持手段により前記冷却装置
を支持したとき、前記注入口を通して前記液化ガス貯蔵
槽の内部まで挿入され、その挿入部分の長さが前記第１
の内管のそれよりも長い第２の内管とを有する液化ガス
貯蔵装置が提供される。
【００１１】本発明の他の観点によると、低温発生部を
有する冷却装置と、前記冷却装置を、液化ガスの注入口
の設けられた液化ガス貯蔵槽に支持する支持手段と、前
記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室と、
前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持手段に
よって支持したとき、前記注入口の内部まで導入される
第１の内管と、前記再液化室に連通し、前記支持手段に
より前記冷却装置を支持したとき、前記注入口を通して
前記液化ガス貯蔵槽の内部まで挿入され、その挿入部分
の長さが前記第１の内管のそれよりも長い第２の内管と
を有する液化ガス再液化装置が提供される。
有する冷却装置と、前記冷却装置を、液化ガスの注入口
の設けられた液化ガス貯蔵槽に支持する支持手段と、前
記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室と、
前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持手段に
よって支持したとき、前記注入口の内部まで導入される
第１の内管と、前記再液化室に連通し、前記支持手段に
より前記冷却装置を支持したとき、前記注入口を通して
前記液化ガス貯蔵槽の内部まで挿入され、その挿入部分
の長さが前記第１の内管のそれよりも長い第２の内管と
を有する液化ガス再液化装置が提供される。
【００１２】液化ガス貯蔵槽内で蒸発した蒸気が、第１
の内管を通って再液化室まで輸送される。この蒸気が再
液化室内で再液化される。液化された液化ガスが、第２
の内管を通って液化ガス貯蔵槽内に戻される。蒸気の輸
送路と液化ガスの輸送路とが分離されているため、いわ
ゆるフラッディング現象の発生を防止することができ
る。
の内管を通って再液化室まで輸送される。この蒸気が再
液化室内で再液化される。液化された液化ガスが、第２
の内管を通って液化ガス貯蔵槽内に戻される。蒸気の輸
送路と液化ガスの輸送路とが分離されているため、いわ
ゆるフラッディング現象の発生を防止することができ
る。
【００１３】本発明の他の観点によると、液化窒素を貯
蔵する貯蔵槽内に、冷却された再液化室に連通する輸送
管を挿入することにより、前記貯蔵槽内で蒸発し、前記
輸送管内を上昇し、前記再液化室まで到達した窒素ガス
を液化して、前記輸送管を通して前記貯蔵槽内に戻す液
化窒素の再液化方法であって、前記貯蔵槽内の液化窒素
の単位時間あたりの大気圧下飽和蒸気圧換算での蒸発量
ｖ［ｃｍ3／ｈ］を予測する工程と、前記輸送管とし
て、その気体の通路の断面積をＳ[ｃｍ2]としたとき、
蔵する貯蔵槽内に、冷却された再液化室に連通する輸送
管を挿入することにより、前記貯蔵槽内で蒸発し、前記
輸送管内を上昇し、前記再液化室まで到達した窒素ガス
を液化して、前記輸送管を通して前記貯蔵槽内に戻す液
化窒素の再液化方法であって、前記貯蔵槽内の液化窒素
の単位時間あたりの大気圧下飽和蒸気圧換算での蒸発量
ｖ［ｃｍ3／ｈ］を予測する工程と、前記輸送管とし
て、その気体の通路の断面積をＳ[ｃｍ2]としたとき、
【００１４】
【数２】Ｓ≧ｖ／４３２０００ を満たす管を用いて液化窒素の再液化を行う工程とを有
する液化窒素の再液化方法が提供される。
する液化窒素の再液化方法が提供される。
【００１５】この条件を満たす輸送管を用いることによ
り、フラッディング現象の発生を抑制することができ
る。
り、フラッディング現象の発生を抑制することができ
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の第１の実施例に
よる液化ガス貯蔵装置の断面図を示す。真空容器１内
に、低温環境で作動する理化学機器５及び液化ガス貯蔵
槽２が配置されている。液化ガス貯蔵槽２は、理化学機
器５の周囲を取り囲んでいる。液化ガス貯蔵槽２内に、
液化窒素３が充填されている。真空容器１に、機器搬出
入のための開口部６が形成されている。開口部６は蓋７
で気密に塞がれている。
よる液化ガス貯蔵装置の断面図を示す。真空容器１内
に、低温環境で作動する理化学機器５及び液化ガス貯蔵
槽２が配置されている。液化ガス貯蔵槽２は、理化学機
器５の周囲を取り囲んでいる。液化ガス貯蔵槽２内に、
液化窒素３が充填されている。真空容器１に、機器搬出
入のための開口部６が形成されている。開口部６は蓋７
で気密に塞がれている。
【００１７】液化ガス貯蔵槽２に、液化ガスを注入する
ための注入口１０及び測定機器挿入用の開口部１１が設
けられている。開口部１１に、液面計１２、圧力計１
３、及び圧力調整弁１４が取り付けられている。なお、
液化ガスの蒸発量を人為的に制御するために、液化ガス
貯蔵槽２内に電気ヒータ４が配置されている。
ための注入口１０及び測定機器挿入用の開口部１１が設
けられている。開口部１１に、液面計１２、圧力計１
３、及び圧力調整弁１４が取り付けられている。なお、
液化ガスの蒸発量を人為的に制御するために、液化ガス
貯蔵槽２内に電気ヒータ４が配置されている。
【００１８】注入口１０に、再液化装置２０が取り付け
られている。再液化装置２０の詳細な構成は、後に図２
を参照して説明する。再液化装置２０は、パルスチュー
ブ冷凍機２１を含んで構成される。ガス圧縮機２２が連
結管２３を介してパルスチューブ冷凍機２１への冷媒ガ
スの供給と回収を周期的に繰り返す。パルスチューブ冷
凍機２１のパルスチューブの高温端に、オリフィス２４
を介してリザーバタンク２５が接続されている。これに
より、冷凍能力の向上を図ることが可能になる。
られている。再液化装置２０の詳細な構成は、後に図２
を参照して説明する。再液化装置２０は、パルスチュー
ブ冷凍機２１を含んで構成される。ガス圧縮機２２が連
結管２３を介してパルスチューブ冷凍機２１への冷媒ガ
スの供給と回収を周期的に繰り返す。パルスチューブ冷
凍機２１のパルスチューブの高温端に、オリフィス２４
を介してリザーバタンク２５が接続されている。これに
より、冷凍能力の向上を図ることが可能になる。
【００１９】連結管２３は、可撓性を有する。このた
め、ガス圧縮機２２で発生した振動が、パルスチューブ
冷凍機２１まで伝達されることを防止できる。パルスチ
ューブ冷凍２１には、ピストン等の可動部分がないた
め、再液化装置２０自体が発生する振動は少ない。
め、ガス圧縮機２２で発生した振動が、パルスチューブ
冷凍機２１まで伝達されることを防止できる。パルスチ
ューブ冷凍２１には、ピストン等の可動部分がないた
め、再液化装置２０自体が発生する振動は少ない。
【００２０】図２は、第１の実施例による再液化装置の
断面図を示す。パルスチューブ冷凍機２１の低温端が、
真空容器３５の開口部からその内部に挿入されている。
パルスチューブ冷凍機２１の高温端は、真空容器３５の
外に配置されている。蓋３６が真空容器３５の開口部を
塞ぎ、真空容器３５内の気密性が保たれている。
断面図を示す。パルスチューブ冷凍機２１の低温端が、
真空容器３５の開口部からその内部に挿入されている。
パルスチューブ冷凍機２１の高温端は、真空容器３５の
外に配置されている。蓋３６が真空容器３５の開口部を
塞ぎ、真空容器３５内の気密性が保たれている。
【００２１】真空容器３５は、支柱３３及び留め具３１
により真空容器１に支持されている。真空容器１の注入
口１０の周囲に、物理的支持力を有する支持面１６が画
定されている。留め具３１に、支持面１６と整合する形
状を有する被支持面３０が画定されている。被支持面３
０を支持面１６に整合させることにより、留め具３１が
真空容器１に安定して支持される。支持面１６及び被支
持面３０は、例えば共通のある軸に関して回転対称な形
状を有する。このような回転対称の形状とすることによ
り、両者の相対位置を安定して固定しやすくなる。
により真空容器１に支持されている。真空容器１の注入
口１０の周囲に、物理的支持力を有する支持面１６が画
定されている。留め具３１に、支持面１６と整合する形
状を有する被支持面３０が画定されている。被支持面３
０を支持面１６に整合させることにより、留め具３１が
真空容器１に安定して支持される。支持面１６及び被支
持面３０は、例えば共通のある軸に関して回転対称な形
状を有する。このような回転対称の形状とすることによ
り、両者の相対位置を安定して固定しやすくなる。
【００２２】支持面１６と被支持面３０との間に、柔軟
性を有する膜３２が挿入されている。膜３２を挿入する
ことにより、留め具３１の据わりを安定化させるととも
に、振動の伝達を抑制することができる。膜３２は、例
えばゴムや発泡材等で形成される。
性を有する膜３２が挿入されている。膜３２を挿入する
ことにより、留め具３１の据わりを安定化させるととも
に、振動の伝達を抑制することができる。膜３２は、例
えばゴムや発泡材等で形成される。
【００２３】パルスチューブ冷凍機２１の低温端に銅製
のコールドヘッド３８が取り付けられている。コールド
ヘッド３８と銅製の再液化室容器３９とにより、再液化
室４０が画定される。コールドヘッド３８の、再液化室
４０の内面を画定する部分に、フィンもしくは溝が形成
されている。これにより、熱伝達効率が高められる。
のコールドヘッド３８が取り付けられている。コールド
ヘッド３８と銅製の再液化室容器３９とにより、再液化
室４０が画定される。コールドヘッド３８の、再液化室
４０の内面を画定する部分に、フィンもしくは溝が形成
されている。これにより、熱伝達効率が高められる。
【００２４】内管４２が、真空ベローズ４３を介して再
液化室容器３９に接続され、内管４２内の空間が、再液
化室４０に連通している。外管４５が、真空ベローズ４
６を介して真空容器３５に接続されている。内管４２及
び外管４５は、共にステンレスで形成される。外管４５
は、内管４２の一部を包むように配置され、真空ベロー
ズ４６は、真空ベローズ４３を包むように配置されてい
る。内管４２の外周面と外管４５の内周面との間に間隙
４７が画定される。間隙４７は、真空ベローズ４６と真
空ベローズ４３との間の空間を経由して真空容器３５内
の空間に連通している。外管４５の先端は、内管４２の
外周面に溶接されている。これにより、真空容器３５及
び間隙４７内の空間の気密性が維持される。真空ベロー
ズ４３及び４６は、パルスチューブ冷凍機２１の振動が
内管４２及び外管４５に伝達されることを抑制する。
液化室容器３９に接続され、内管４２内の空間が、再液
化室４０に連通している。外管４５が、真空ベローズ４
６を介して真空容器３５に接続されている。内管４２及
び外管４５は、共にステンレスで形成される。外管４５
は、内管４２の一部を包むように配置され、真空ベロー
ズ４６は、真空ベローズ４３を包むように配置されてい
る。内管４２の外周面と外管４５の内周面との間に間隙
４７が画定される。間隙４７は、真空ベローズ４６と真
空ベローズ４３との間の空間を経由して真空容器３５内
の空間に連通している。外管４５の先端は、内管４２の
外周面に溶接されている。これにより、真空容器３５及
び間隙４７内の空間の気密性が維持される。真空ベロー
ズ４３及び４６は、パルスチューブ冷凍機２１の振動が
内管４２及び外管４５に伝達されることを抑制する。
【００２５】注入口１０は、液化ガス貯蔵槽２内の空間
と外部の空間とを連通させる細長い円筒状の空間を画定
する。外管４５及び内管４２の一部が、真空容器１の注
入口１０内に挿入されている。注入口１０の開口部先端
と、外管４５の外周面に形成された段差部との間にＯリ
ング５０が装填され、液化ガス貯蔵槽２内の空間の気密
性が保たれている。さらに、注入口１０の先端近傍の外
周面から、注入口１０の外側に位置する外管４５の外周
面までを、円筒状のもれ防止用ゴム５１が被覆する。ゴ
ムバンド５２でもれ防止用ゴム５１を締め付けることに
より、もれ防止用ゴム５１が、注入口１０の先端の外周
面及び外管４５の外周面に密着する。
と外部の空間とを連通させる細長い円筒状の空間を画定
する。外管４５及び内管４２の一部が、真空容器１の注
入口１０内に挿入されている。注入口１０の開口部先端
と、外管４５の外周面に形成された段差部との間にＯリ
ング５０が装填され、液化ガス貯蔵槽２内の空間の気密
性が保たれている。さらに、注入口１０の先端近傍の外
周面から、注入口１０の外側に位置する外管４５の外周
面までを、円筒状のもれ防止用ゴム５１が被覆する。ゴ
ムバンド５２でもれ防止用ゴム５１を締め付けることに
より、もれ防止用ゴム５１が、注入口１０の先端の外周
面及び外管４５の外周面に密着する。
【００２６】パルスチューブ冷凍機２１を運転すること
により、コールドヘッド３８が絶対温度７４Ｋ程度まで
冷却される。蒸発した窒素ガスが、内管４２内を通り再
液化室４０まで輸送される。再液化室４０内の窒素ガス
は再度液化され、内管４２内を経由して液化ガス貯蔵槽
２内に戻される。
により、コールドヘッド３８が絶対温度７４Ｋ程度まで
冷却される。蒸発した窒素ガスが、内管４２内を通り再
液化室４０まで輸送される。再液化室４０内の窒素ガス
は再度液化され、内管４２内を経由して液化ガス貯蔵槽
２内に戻される。
【００２７】第１の実施例による再液化装置では、内管
４２のうち注入口１０の外側の部分及び真空ベローズ４
３の周囲が真空に保たれている。さらに、真空引きされ
ている間隙４７が注入口１０の内部まで挿入されてい
る。このため、外部から内管４２内への熱侵入を低減す
ることができる。
４２のうち注入口１０の外側の部分及び真空ベローズ４
３の周囲が真空に保たれている。さらに、真空引きされ
ている間隙４７が注入口１０の内部まで挿入されてい
る。このため、外部から内管４２内への熱侵入を低減す
ることができる。
【００２８】また、第１の実施例では、再液化装置２０
が、真空容器１に設けられた支持面１６により支持され
ている。大掛かりな支持機構が不要であるため、液化ガ
ス貯蔵装置の小型化を図ることが可能になる。
が、真空容器１に設けられた支持面１６により支持され
ている。大掛かりな支持機構が不要であるため、液化ガ
ス貯蔵装置の小型化を図ることが可能になる。
【００２９】第１の実施例による再液化装置２０の内管
４２及び外管４５は、ほぼ鉛直になるように配置するこ
とが好ましい。鉛直配置とすることにより、再液化され
た液化ガスを効率的に液化ガス貯蔵槽内に戻すことがで
きる。なお、内管４２の軸方向と鉛直方向とのなす角度
が２０°以下であれば、内管４２の軸方向を鉛直にした
場合と同等の効果が得られるであろう。
４２及び外管４５は、ほぼ鉛直になるように配置するこ
とが好ましい。鉛直配置とすることにより、再液化され
た液化ガスを効率的に液化ガス貯蔵槽内に戻すことがで
きる。なお、内管４２の軸方向と鉛直方向とのなす角度
が２０°以下であれば、内管４２の軸方向を鉛直にした
場合と同等の効果が得られるであろう。
【００３０】第１の実施例では、気化した窒素ガスが内
管４２内を上昇するとともに、再液化した液化窒素が内
管４２内を下降する。窒素ガスの上昇流の流速が速くな
ると、内管４２内を下降しようとする液化窒素が巻き上
げられ、液化ガス貯蔵槽まで到達できなくなる。この現
象は、フラッディング（ｆｌｏｏｄｉｎｇ）現象と呼ば
れる。フラッディング現象が発生すると、再液化装置が
正常に機能しなくなる。
管４２内を上昇するとともに、再液化した液化窒素が内
管４２内を下降する。窒素ガスの上昇流の流速が速くな
ると、内管４２内を下降しようとする液化窒素が巻き上
げられ、液化ガス貯蔵槽まで到達できなくなる。この現
象は、フラッディング（ｆｌｏｏｄｉｎｇ）現象と呼ば
れる。フラッディング現象が発生すると、再液化装置が
正常に機能しなくなる。
【００３１】内管４２の内径を細くしすぎるとフラッデ
ィング現象が生じ易くなる。次に、内管４２の太さの好
適な範囲について説明する。
ィング現象が生じ易くなる。次に、内管４２の太さの好
適な範囲について説明する。
【００３２】図３は、内管４２の内径を変えた時の、内
管４２内の窒素ガスの流速及び液化窒素の最大再液化速
度を示す。横軸は内管の内径を単位ｍｍで表し、右縦軸
は窒素ガスの流速を単位ｍ／ｓで表し、左縦軸は最大再
液化速度を単位ｃｍ3／時で表す。図中の白四角が大気
圧下飽和窒素蒸気の流速を示し、黒丸が最大再液化速度
を示す。
管４２内の窒素ガスの流速及び液化窒素の最大再液化速
度を示す。横軸は内管の内径を単位ｍｍで表し、右縦軸
は窒素ガスの流速を単位ｍ／ｓで表し、左縦軸は最大再
液化速度を単位ｃｍ3／時で表す。図中の白四角が大気
圧下飽和窒素蒸気の流速を示し、黒丸が最大再液化速度
を示す。
【００３３】以下、図３に示すデータの測定方法につい
て説明する。まず、内管４２として内径１２ｍｍのもの
を使用した。液化ガス貯蔵槽２の内部を大気に開放し、
液面計１２によって液化ガス貯蔵槽２からの固有蒸発量
Ｑ１を測定する。固有蒸発量Ｑ１は、外部雰囲気からの
熱侵入及び理化学機器５からの発熱により、液化ガス貯
蔵槽２から定常的に蒸発する液化ガスの量である。
て説明する。まず、内管４２として内径１２ｍｍのもの
を使用した。液化ガス貯蔵槽２の内部を大気に開放し、
液面計１２によって液化ガス貯蔵槽２からの固有蒸発量
Ｑ１を測定する。固有蒸発量Ｑ１は、外部雰囲気からの
熱侵入及び理化学機器５からの発熱により、液化ガス貯
蔵槽２から定常的に蒸発する液化ガスの量である。
【００３４】冷凍機２１の運転を開始する。再液化室４
０内の温度が７７Ｋ以下になると、蒸発した窒素ガスの
再液化が始まる。このため、再液化室４０内の温度は７
７Ｋよりもやや低い温度で一定になる。液化ガス貯蔵槽
２を密閉し、内部の圧力を圧力計１３で測定する。再液
化が進むと、液化ガス貯蔵槽２内の圧力が低下する。こ
の圧力が大気圧にほぼ等しくなるように電気ヒータ４に
供給する電力を調節する。
０内の温度が７７Ｋ以下になると、蒸発した窒素ガスの
再液化が始まる。このため、再液化室４０内の温度は７
７Ｋよりもやや低い温度で一定になる。液化ガス貯蔵槽
２を密閉し、内部の圧力を圧力計１３で測定する。再液
化が進むと、液化ガス貯蔵槽２内の圧力が低下する。こ
の圧力が大気圧にほぼ等しくなるように電気ヒータ４に
供給する電力を調節する。
【００３５】液化ガス貯蔵槽２内の圧力が安定し、かつ
大気圧にほぼ等しい状態の時の電気ヒータ４への供給電
力を記録する。大気圧下の液化窒素の蒸発潜熱は１９
８．６４Ｊ／ｇである。電気ヒータ４への供給電力と蒸
発潜熱とから、電気ヒータ４によって強制的に蒸発させ
た液化窒素の量Ｑ２を求める。例えば、供給電力が１０
Ｗである場合、強制蒸発量Ｑ２は、１８１．２３ｇ／ｈ
である。大気圧下の飽和液化窒素の密度は０．８０８６
１ｇ／ｃｍ3であるから、強制蒸発量Ｑ２の基準となる
単位を質量から容積に換算すると、強制蒸発量Ｑ２は２
２４．１３ｃｍ3／ｈになる。
大気圧にほぼ等しい状態の時の電気ヒータ４への供給電
力を記録する。大気圧下の液化窒素の蒸発潜熱は１９
８．６４Ｊ／ｇである。電気ヒータ４への供給電力と蒸
発潜熱とから、電気ヒータ４によって強制的に蒸発させ
た液化窒素の量Ｑ２を求める。例えば、供給電力が１０
Ｗである場合、強制蒸発量Ｑ２は、１８１．２３ｇ／ｈ
である。大気圧下の飽和液化窒素の密度は０．８０８６
１ｇ／ｃｍ3であるから、強制蒸発量Ｑ２の基準となる
単位を質量から容積に換算すると、強制蒸発量Ｑ２は２
２４．１３ｃｍ3／ｈになる。
【００３６】図３に示す最大再液化速度は、Ｑ１＋Ｑ２
で与えられる。内管４２の内径を９ｍｍ、７ｍｍ、及び
５ｍｍとして同様の測定を行う。これらの場合の最大再
液化速度は、図３に示すように約３００ｃｍ3／ｈであ
った。内管４２の内径が５ｍｍ以上の範囲では、内径を
太くしても再液化速度は大きくならない。これは、冷凍
機２１の冷凍能力によって律速されているためと考えら
れる。冷凍機２１の冷凍能力がより高い場合には、内管
４２の内径を５ｍｍ以上にすると、最大再液化速度は３
００ｃｍ3／ｈよりも大きくなると考えられる。
で与えられる。内管４２の内径を９ｍｍ、７ｍｍ、及び
５ｍｍとして同様の測定を行う。これらの場合の最大再
液化速度は、図３に示すように約３００ｃｍ3／ｈであ
った。内管４２の内径が５ｍｍ以上の範囲では、内径を
太くしても再液化速度は大きくならない。これは、冷凍
機２１の冷凍能力によって律速されているためと考えら
れる。冷凍機２１の冷凍能力がより高い場合には、内管
４２の内径を５ｍｍ以上にすると、最大再液化速度は３
００ｃｍ3／ｈよりも大きくなると考えられる。
【００３７】フラッディング現象が発生すると、再液化
室４０の温度が徐々に低下するとともに、液化ガス貯蔵
槽２内の圧力が上昇する。この圧力の上昇を圧力計１３
で検出することにより、フラッディング現象発生の有無
を判断することができる。
室４０の温度が徐々に低下するとともに、液化ガス貯蔵
槽２内の圧力が上昇する。この圧力の上昇を圧力計１３
で検出することにより、フラッディング現象発生の有無
を判断することができる。
【００３８】内管４２の内径を５ｍｍ以上にしている場
合には、フラッディング現象は発生しなかった。内管４
２の内径を３．８ｍｍにすると、フラッディング現象の
発生が観測された。この場合の最大再液化速度は、冷凍
機２１の能力によって制限されるのではなく、内管４２
の内径によって制限される。次に、内管４２の内径を
３．８ｍｍ、２．７ｍｍ、及び２ｍｍとした場合の、最
大再液化速度の測定方法を説明する。
合には、フラッディング現象は発生しなかった。内管４
２の内径を３．８ｍｍにすると、フラッディング現象の
発生が観測された。この場合の最大再液化速度は、冷凍
機２１の能力によって制限されるのではなく、内管４２
の内径によって制限される。次に、内管４２の内径を
３．８ｍｍ、２．７ｍｍ、及び２ｍｍとした場合の、最
大再液化速度の測定方法を説明する。
【００３９】まず、冷凍機２１の動作圧力を変化させる
ことによって冷凍能力を徐々に低下させる。冷凍能力を
下げ過ぎると、液化ガス貯蔵槽２内の圧力が徐々に上昇
する。冷凍能力が高く、かつ電気ヒータ４の発熱量が一
定値を超えると、フラッディング現象が発生してしま
う。電気ヒータ４に供給する電力と冷凍機２１の冷凍能
力を微調整しながら、フラッディング現象が発生する直
前の冷凍能力と電気ヒータ４に供給する電力を見つけ出
す。
ことによって冷凍能力を徐々に低下させる。冷凍能力を
下げ過ぎると、液化ガス貯蔵槽２内の圧力が徐々に上昇
する。冷凍能力が高く、かつ電気ヒータ４の発熱量が一
定値を超えると、フラッディング現象が発生してしま
う。電気ヒータ４に供給する電力と冷凍機２１の冷凍能
力を微調整しながら、フラッディング現象が発生する直
前の冷凍能力と電気ヒータ４に供給する電力を見つけ出
す。
【００４０】電気ヒータ４に供給する電力から強制蒸発
量Ｑ２が求まる。この場合も、蒸発量Ｑ１＋Ｑ２が、最
大再液化速度に相当する。
量Ｑ２が求まる。この場合も、蒸発量Ｑ１＋Ｑ２が、最
大再液化速度に相当する。
【００４１】次に、内管４２内の窒素ガスの流速の求め
方について説明する。大気圧下では、窒素の飽和液密度
は０．８０８６１ｇ／ｃｍ3であり、飽和蒸気密度は
０．００４６１２ｇ／ｃｍ3である。再液化室４０内で
再液化された窒素ガスは、すべて内管４２内を上昇する
窒素ガスにより補給される。このため、内管４２内を上
昇する窒素ガスの質量流量は、内管４２内を下降する液
化窒素の質量流量に等しい。この質量流量は、再液化速
度に飽和液密度を乗じることにより求まる。
方について説明する。大気圧下では、窒素の飽和液密度
は０．８０８６１ｇ／ｃｍ3であり、飽和蒸気密度は
０．００４６１２ｇ／ｃｍ3である。再液化室４０内で
再液化された窒素ガスは、すべて内管４２内を上昇する
窒素ガスにより補給される。このため、内管４２内を上
昇する窒素ガスの質量流量は、内管４２内を下降する液
化窒素の質量流量に等しい。この質量流量は、再液化速
度に飽和液密度を乗じることにより求まる。
【００４２】求まった質量流量を飽和蒸気密度で除する
ことにより、窒素ガスの体積流量が求まる。体積流量を
内管４２の流路の断面積で除することにより、窒素ガス
の流速が求まる。ここまでの計算で求まった流速の単位
はｃｍ／ｈである。この流速の単位をｍ／ｓに換算した
ものが図３の右縦軸に示す流速に相当する。
ことにより、窒素ガスの体積流量が求まる。体積流量を
内管４２の流路の断面積で除することにより、窒素ガス
の流速が求まる。ここまでの計算で求まった流速の単位
はｃｍ／ｈである。この流速の単位をｍ／ｓに換算した
ものが図３の右縦軸に示す流速に相当する。
【００４３】図３に示すように、最大再液化速度が冷凍
機２１の能力によって律速されている場合は、内管４２
の内径が大きくなるに従って窒素ガスの流速が低下す
る。最大再液化速度が、内管４２の内径によって律速さ
れている場合には、窒素ガスの流速は約１．２ｍ／ｓと
なる。これは、内管４２の内径の大きさにかかわらず、
窒素ガスの流速が１．２ｍ／ｓを超えるとフラッディン
グ現象が発生することを意味する。
機２１の能力によって律速されている場合は、内管４２
の内径が大きくなるに従って窒素ガスの流速が低下す
る。最大再液化速度が、内管４２の内径によって律速さ
れている場合には、窒素ガスの流速は約１．２ｍ／ｓと
なる。これは、内管４２の内径の大きさにかかわらず、
窒素ガスの流速が１．２ｍ／ｓを超えるとフラッディン
グ現象が発生することを意味する。
【００４４】このことから、内管４２の内径を下記の方
法で決定すればよいことがわかる。まず、液化ガス貯蔵
槽内の液化ガスの単位時間あたりの大気圧下飽和蒸気換
算での蒸発量ｖ［ｃｍ3／ｈ］を予測する。蒸発したガ
スが内管４２内を上昇する時の流速が１．２ｍ／ｓ以下
になるように内管４２の通路の断面積を決定する。すな
わち、通路の断面積をＳ[ｃｍ2]としたとき、
法で決定すればよいことがわかる。まず、液化ガス貯蔵
槽内の液化ガスの単位時間あたりの大気圧下飽和蒸気換
算での蒸発量ｖ［ｃｍ3／ｈ］を予測する。蒸発したガ
スが内管４２内を上昇する時の流速が１．２ｍ／ｓ以下
になるように内管４２の通路の断面積を決定する。すな
わち、通路の断面積をＳ[ｃｍ2]としたとき、
【００４５】
【数３】ｖ／Ｓ≦１．２[ｍ／ｓ]×１００[ｃｍ／ｍ]×
３６００[ｓ／ｈ] Ｓ≧ｖ／４３２０００ を満たすようにすればよい。このように設計することに
より、フラッディング現象を起こすことなく、予測され
ている蒸発量に相当する窒素ガスを再液化することがで
きる。なお、予測蒸発量ｖとして、実際に予測される蒸
発量に所定の安全係数、例えば１．２を乗じたものを用
いてもよい。
３６００[ｓ／ｈ] Ｓ≧ｖ／４３２０００ を満たすようにすればよい。このように設計することに
より、フラッディング現象を起こすことなく、予測され
ている蒸発量に相当する窒素ガスを再液化することがで
きる。なお、予測蒸発量ｖとして、実際に予測される蒸
発量に所定の安全係数、例えば１．２を乗じたものを用
いてもよい。
【００４６】次に、図４を参照して本発明の第２の実施
例について説明する。ここでは、図２に示す第１の実施
例による再液化装置との相違点についてのみ説明する。
例について説明する。ここでは、図２に示す第１の実施
例による再液化装置との相違点についてのみ説明する。
【００４７】第１の実施例では、コールドヘッド３８と
再液化室容器３９とにより再液化室４０が画定されてい
たが、第２の実施例では、再液化室容器３９ａのみによ
り再液化室４０が画定されている。再液化室容器３９ａ
がコールドヘッド３８に熱的に結合している。このよう
な構成とすることにより、冷凍機２１を再液化室４０か
ら容易に取り外すことが可能になる。
再液化室容器３９とにより再液化室４０が画定されてい
たが、第２の実施例では、再液化室容器３９ａのみによ
り再液化室４０が画定されている。再液化室容器３９ａ
がコールドヘッド３８に熱的に結合している。このよう
な構成とすることにより、冷凍機２１を再液化室４０か
ら容易に取り外すことが可能になる。
【００４８】再液化室４０に、第１の内管４２ａと第２
の内管４２ｂとが接続されている。第１の実施例の場合
には真空ベローズを介して内管４２と再液化室４０とが
接続されていたが、第２の実施例では、真空ベローズを
介することなく両者が直接接続される。第１の内管４２
ａ及び第２の内管４２ｂの一部は、ともに外管４５で包
まれている。
の内管４２ｂとが接続されている。第１の実施例の場合
には真空ベローズを介して内管４２と再液化室４０とが
接続されていたが、第２の実施例では、真空ベローズを
介することなく両者が直接接続される。第１の内管４２
ａ及び第２の内管４２ｂの一部は、ともに外管４５で包
まれている。
【００４９】図４において、第１の内管４２ａ、第２の
内管４２ｂ、及び外管４５の一部が傾斜しているのは、
図１に示す真空容器１の注入口１０の近傍に、再液化装
置２０を設置するのに十分なスペースが確保されていな
い場合を考慮したためである。なお、再液化された液化
ガスを効率的に液化ガス貯蔵槽２内に戻すために、傾斜
部分の軸方向と鉛直方向とのなす角度を２０°以下とす
ることが好ましい。
内管４２ｂ、及び外管４５の一部が傾斜しているのは、
図１に示す真空容器１の注入口１０の近傍に、再液化装
置２０を設置するのに十分なスペースが確保されていな
い場合を考慮したためである。なお、再液化された液化
ガスを効率的に液化ガス貯蔵槽２内に戻すために、傾斜
部分の軸方向と鉛直方向とのなす角度を２０°以下とす
ることが好ましい。
【００５０】第２の内管４２ｂは、第１の内管４２ａよ
りも深い位置まで挿入されている。液化ガス貯蔵槽２内
に液化ガスを貯蔵する際には、第２の内管４２ｂの先端
が液化ガスの液面下まで達し、第１の内管４２ａの先端
が液面まで達しないようにされる。このため、蒸発した
液化ガスは、第１の内管４２ａを通って再液化室４０内
に輸送される。
りも深い位置まで挿入されている。液化ガス貯蔵槽２内
に液化ガスを貯蔵する際には、第２の内管４２ｂの先端
が液化ガスの液面下まで達し、第１の内管４２ａの先端
が液面まで達しないようにされる。このため、蒸発した
液化ガスは、第１の内管４２ａを通って再液化室４０内
に輸送される。
【００５１】第１の内管４２ａの、再液化室４０側の先
端は、再液化室４０の底面からやや突出している。この
ため、再液化室４０内で再液化された液化ガスは、第１
の内管４２ａ内には流れ込まず、第２の内管４２ｂ内に
流れ込む。このように、液化ガスの蒸気輸送用の第１の
内管４２ａを、液化ガス輸送用の第２の内管４２ｂから
分離させている。このため、フラッディング現象の発生
を防止することができる。
端は、再液化室４０の底面からやや突出している。この
ため、再液化室４０内で再液化された液化ガスは、第１
の内管４２ａ内には流れ込まず、第２の内管４２ｂ内に
流れ込む。このように、液化ガスの蒸気輸送用の第１の
内管４２ａを、液化ガス輸送用の第２の内管４２ｂから
分離させている。このため、フラッディング現象の発生
を防止することができる。
【００５２】以上実施例に沿って本発明を説明したが、
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
本発明はこれらに制限されるものではない。例えば、種
々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に
自明であろう。
【００５３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
小型かつ取り扱いに便利な再液化装置が提供される。ま
た、フラッディング現象を起こさせないための設計指針
が与えられる。
小型かつ取り扱いに便利な再液化装置が提供される。ま
た、フラッディング現象を起こさせないための設計指針
が与えられる。
【図１】本発明の第１の実施例による液化ガス貯蔵装置
の概略断面図である。
の概略断面図である。
【図２】第１の実施例による再液化装置の断面図であ
る。
る。
【図３】第１の実施例による再液化装置を用いて液化窒
素の再液化を行う場合の、最大再液化速度及び窒素ガス
の流速を、内管の内径の関数として示すグラフである。
素の再液化を行う場合の、最大再液化速度及び窒素ガス
の流速を、内管の内径の関数として示すグラフである。
【図４】第２の実施例による再液化装置の断面図であ
る。
る。
１ 真空容器 ２ 液化ガス貯蔵槽 ３ 液化窒素 ４ 電気ヒータ ５ 理化学機器 ６ 開口部 ７ 蓋 １０ 注入口 １１ 開口部 １２ 液面計 １３ 圧力計 １４ 圧力調整弁 １６ 支持面 ２０ 再液化装置 ２１ パルスチューブ冷凍機 ２２ ガス圧縮機 ２３ 連結管 ２４ オリフィス ２５ リザーバタンク ３０ 被支持面 ３１ 留め具 ３２ 膜 ３３ 支柱 ３５ 真空容器 ３６ 蓋 ３８ コールドヘッド ３９ 再液化室形成部材 ４０ 再液化室 ４２ 内管 ４３、４６ 真空ベローズ ４５ 外管 ４７ 間隙 ５０ Ｏリング ５１ もれ防止用ゴム ５２ ゴムバンド
Claims (9)
- 【請求項１】 液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽と、 前記液化ガス貯蔵槽に設けられ、該液化ガス貯蔵槽内に
液化ガスを注入するための注入口と、 前記注入口の開口部の周囲に画定され、物理的な支持力
を有する支持面と、 前記支持面に整合する被支持面を有し、該被支持面を前
記支持面に整合させることにより物理的に支持される冷
却装置と、 前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室
と、 前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持面によ
って支持したとき、前記注入口の内部まで導入される内
管とを有する液化ガス貯蔵装置。 - 【請求項２】 さらに、 前記冷却装置の低温発生部を収容する真空容器と、 前記真空容器に接続された外管であって、該外管が前記
内管の一部を包み、前記内管の外周面と前記外管の内周
面との間に、前記真空容器内の空間に連通した間隙を画
定し、前記冷却装置を前記支持面によって支持したと
き、前記間隙部の一部が前記注入口の内部まで導入され
る前記外管とを有する請求項１に記載の液化ガス貯蔵装
置。 - 【請求項３】 液化ガスを貯蔵する液化ガス貯蔵槽と、 前記液化ガス貯蔵槽に設けられ、該液化ガス貯蔵槽内に
液化ガスを注入するための注入口と、 低温発生部を有する冷却装置と、 前記冷却装置を、その低温発生部が前記液化ガス貯蔵槽
の外部に配置されるように支持する支持手段と、 前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室
と、 前記支持手段により前記冷却装置を支持したとき、前記
再液化室と前記液化ガス貯蔵槽内の空間とを連通させる
第１の内管と、 前記再液化室に連通し、前記支持手段により前記冷却装
置を支持したとき、前記注入口を通して前記液化ガス貯
蔵槽の内部まで挿入され、その挿入部分の長さが前記第
１の内管のそれよりも長い第２の内管とを有する液化ガ
ス貯蔵装置。 - 【請求項４】 さらに、 前記冷却装置の低温発生部を収容する真空容器と、 前記真空容器に接続された外管であって、該外管が前記
第２の内管の一部を包み、前記第２の内管の外周面と前
記外管の内周面との間に、前記真空容器内の空間に連通
した間隙を画定し、前記冷却装置を前記支持手段によっ
て支持したとき、前記間隙部の一部が前記注入口の内部
まで導入される前記外管とを有する請求項３に記載の液
化ガス貯蔵装置。 - 【請求項５】 液化ガスの注入口の設けられた液化ガス
貯蔵槽の該注入口の周囲の面に整合する被支持面を有
し、該被支持面を該注入口の周囲の面に整合させること
により物理的に支持される冷却装置と、 前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室
と、 前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記被支持面に
よって支持したとき、前記注入口の内部まで導入される
内管とを有する液化ガス再液化装置。 - 【請求項６】 さらに、前記冷却装置の低温発生部を収
容する真空容器と、 前記真空容器に接続された外管であって、該外管が前記
内管の一部を包み、前記内管の外周面と前記外管の内周
面との間に、前記真空容器内の空間に連通した間隙を画
定し、前記冷却装置を前記被支持面によって支持したと
き、前記間隙部の一部が前記注入口の内部まで導入され
る前記外管とを有する請求項５に記載の液化ガス再液化
装置。 - 【請求項７】 低温発生部を有する冷却装置と、 前記冷却装置を、液化ガスの注入口の設けられた液化ガ
ス貯蔵槽に支持する支持手段と、 前記冷却装置の低温発生部に熱的に結合した再液化室
と、 前記再液化室に連通し、前記冷却装置を前記支持手段に
よって支持したとき、前記注入口の内部まで導入される
第１の内管と、 前記再液化室に連通し、前記支持手段により前記冷却装
置を支持したとき、前記注入口を通して前記液化ガス貯
蔵槽の内部まで挿入され、その挿入部分の長さが前記第
１の内管のそれよりも長い第２の内管とを有する液化ガ
ス再液化装置。 - 【請求項８】 さらに、前記冷却装置の低温発生部を収
容する真空容器と、 前記真空容器に接続された外管であって、該外管が前記
第２の内管の一部を包み、前記第２の内管の外周面と前
記外管の内周面との間に、前記真空容器内の空間に連通
した間隙を画定し、前記冷却装置を前記支持手段によっ
て支持したとき、前記間隙部の一部が前記注入口の内部
まで導入される前記外管とを有する請求項７に記載の液
化ガス再液化装置。 - 【請求項９】 液化窒素を貯蔵する貯蔵槽内に、冷却さ
れた再液化室に連通する輸送管を挿入することにより、
前記貯蔵槽内で蒸発し、前記輸送管内を上昇し、前記再
液化室まで到達した窒素ガスを液化して、前記輸送管を
通して前記貯蔵槽内に戻す液化窒素の再液化方法であっ
て、 前記貯蔵槽内の液化窒素の単位時間あたりの大気圧下飽
和蒸気圧換算での蒸発量ｖ［ｃｍ3／ｈ］を予測する工
程と、 前記輸送管として、その気体の通路の断面積をＳ[ｃ
ｍ2]としたとき、 【数１】Ｓ≧ｖ／４３２０００ を満たす管を用いて液化窒素の再液化を行う工程とを有
する液化窒素の再液化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08942199A JP3416559B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 液化ガス貯蔵装置、再液化装置、及び液化窒素の再液化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08942199A JP3416559B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 液化ガス貯蔵装置、再液化装置、及び液化窒素の再液化方法 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283578A true JP2000283578A (ja) | 2000-10-13 |
| JP3416559B2 JP3416559B2 (ja) | 2003-06-16 |
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| JP08942199A Expired - Fee Related JP3416559B2 (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 液化ガス貯蔵装置、再液化装置、及び液化窒素の再液化方法 |
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-
1999
- 1999-03-30 JP JP08942199A patent/JP3416559B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| EP1628089A2 (de) | 2004-07-30 | 2006-02-22 | Bruker BioSpin AG | Vorrichtung zur Kühlung einer Kryostatanordnung |
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| CN109668924B (zh) * | 2019-01-22 | 2024-05-10 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 淹没式气体液化深冷实验装置及其实验方法 |
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