JPH03286967A - パルス管冷凍機 - Google Patents

パルス管冷凍機

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JPH03286967A
JPH03286967A JP8591390A JP8591390A JPH03286967A JP H03286967 A JPH03286967 A JP H03286967A JP 8591390 A JP8591390 A JP 8591390A JP 8591390 A JP8591390 A JP 8591390A JP H03286967 A JPH03286967 A JP H03286967A
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heat
fluid
radiator
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JP8591390A
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Yoshihiro Ishizaki
嘉宏 石崎
Yoichi Matsubara
洋一 松原
Takayuki Matsui
隆行 松井
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Aisin Seiki Co Ltd
ECTI KK
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、パルス管冷凍機に関し、赤外線センサー等の
各種センサーの冷却装置、タライオボンブ及びその他の
極低温利用の装置の冷凍発生部として利用される。
(従来の技術) パルス管冷凍機は、蓄冷型閉サイクル冷凍機の一種であ
り、他の同種の冷凍機(例えば、スターリングサイクル
冷凍機、ギフオード・マクマフオン冷凍機等)に比し、
冷凍発生部にピストン等の可動部分が無く、構成が簡素
化できると共に耐久性を向上でき、更に製作コストが安
いという特長を備えている。従来のパルス管冷凍機とし
ては、第7図に示すように薄肉の金属バイブからなるパ
ルス管1の一端をコールドヘッド2.蓄冷器3゜吐出弁
5及び第1放熱器5を介して圧縮機6の吐出側に連通さ
れると共に、吸入弁7を介して圧縮I6の吸入側に連通
され、また、パルス管1の他端を第2放熱器8に連通さ
れた密閉空間で構成されるものが知られている。このパ
ルス管冷凍機は、一般にベーシック・パルス管冷凍機と
呼ばれるもので、次のように作用する。圧縮機6により
圧縮されたおよそ300に、20気圧の作動ガス(空気
、窒素、アルゴン、水素、ヘリウム等)が第1放熱器5
で圧縮熱を除去され、吐出弁4が開弁すると蓄冷器3で
冷やされてコールドヘッド2を通してパルス管1内に導
入される。パルス管1内に導入された作動ガスは、パル
ス管l内の作動ガスを断熱圧縮して320に程度になり
、圧縮熱を第2放熱器8で除去され常温近くになる。次
に吐出弁4が閉弁して吸入弁7が開弁すると、第2放熱
器8.パルス管1内の作動ガスは吸入弁7から圧縮11
6までの配管内の8気圧程度の作動ガスを断熱圧縮する
仕事をして低温になり、コールドヘッド2を冷却し蓄冷
器3で暖められ圧縮機6に戻り、1サイクルが終了する
。これを連続的に繰り返すことにより、第2放熱器8で
の放熱量にほぼ見合う冷凍温度がコールドヘッド2で得
られる。
(発明が解決しようとする諜B) ところが、上記した従来のベーシック・パルス管冷凍機
の冷凍性能は、低く、せいぜい130に程までの冷凍温
度しかコールドヘッドにて得られず、他の同種の冷凍機
(例えば、スターリングサイクル冷凍機、ギフオード・
マクマフオン冷凍機等)に並ぶ性能を得ることができな
いという問題がある。
そこで、他の同種の冷凍機に並ぶ性能が得られるように
、第8図に示すようなパルス管冷凍機が従来提案されて
いる。このパルス管冷凍機は、般にオリフィス・パルス
管冷凍機と呼ばれるものテ、パルス管11の一端をコー
ルドヘット12蓄冷器13及び第1放熱器14を介して
圧縮機15の吐出側に連通されると共に、パルス管11
の他端を第2放熱器16.導管19.可変オリフィス1
7及びバッファタンク18に連通された密閉空間で1威
されている。このオリフィス・パルス管冷凍機は、次の
ように作用する。圧縮機15が圧縮行程にある時には、
作動ガスは第1放熱器14により外部からの冷媒によっ
て圧縮熱を除去された後、蓄冷器13.コールドヘッド
エ2及びパルス管11内に順次導入され、パルス管11
内で断熱圧縮されて生じる圧縮熱を第2放熱器16によ
って除去される。圧縮熱を除去された作動ガスは導管1
9及び可変オリフィス17を介してバッファタンク18
に導入される。次いで、圧縮機15が膨張行程に入ると
、バッファタンク18内の作動ガスは可変オリフィス1
7を通り、パルス管11内で断熱膨張して温度が低下し
、コールドヘッド12に良熱伝導体20で接続された被
冷却体21を冷却し、同時に蓄冷器上3及び第1放熱器
14を介して圧縮機15に戻る。この冷凍機によれば、
可変オリフィス17の開度を適宜張設することにより、
上記したベーシック・パルス管冷凍機より更に100に
程低い冷凍温度をコールドヘッドにて得られるようにし
ている。
しかしながら、上記した従来のパルス管冷凍機において
は、前者によれば吐出弁及び吸入弁の交互の開閉により
運転されるため高圧の作動ガスが間欠的にパルス管内に
吹き込まれ、流体振動が発生し、これが被冷却体を冷や
すコールドヘッドで機械振動となり、悪影響を及ぼすと
いう問題があった。また、後者のパルス管冷凍機におい
ては、前者に比し低い冷凍温度を得ることができるもの
の、赤外線センサー等の被冷却体をコールドヘッドの外
表面に機械的に接触させて冷却しているため、ノイズを
センサーとして使用できるまで低減することが不可能で
あるという実用上の不具合があった。
そこで本発明は、当該パルス管冷凍機において蓄冷器よ
りパルス的にパルス管内に出入りする作動ガスの振動に
影響を受けることなく、被冷却体を冷却することを、そ
の技術的課題とする。
〔発明の構成] (課題を解決するための手段) 上記した技術的課題を解決するために講じた手段ハ、パ
ルス管の一端をコールドヘッド、蓄冷器及び第1放熱器
を介して圧縮器に連通ずると共に、前記パルス管の他端
を第2放熱器及び流量調整機構を介してバッファタンク
に連通したパルス管冷凍機において、前記蓄冷器を被冷
却体を冷却する他の流体回路内の流体と熱交換する熱交
換式蓄冷器で構成すると共に前記流体回路の流体を前記
コールドヘッドと熱交換させるようにしたこと、である
上記したパルス管冷凍機においては、前記熱交換式蓄冷
器を、パルス管の同心円上に隣設されてその一端が前記
第1放熱器に連通されると共にその他端が前記コールド
ヘッドを介して前記パルス管の一端に連通される環状流
路と、該環状流路内に配設される蓄冷材と、前記環状流
路の同心円上に隣設されて前記蓄冷材と前記流体回路の
流体とを熱交換する熱交換器により構成しても良い。
或いは、前記熱交換式蓄冷器を、その一端が前記コール
ドヘッドを介して前記パルス管の一端に連通されると共
にその他端が前記第1放熱器に連通される第1流路と、
該第1流路内に配設される蓄冷材と、該第1流路の同心
円上に隣設されて前記蓄冷材と前記流体回路の流体とを
熱交換する熱交換器により構成しても良い。
(作用) 上記した手段によれば、熱交換式蓄冷器を用いることに
より、コールドヘッドで発生した冷凍量は、他の流体回
路の流体を常温から通過させ温度降下させて間接的に回
収させられ、低温になった他の流体回路の流体により被
冷却体は無振動で冷却される。
(実施例) 以下、本発明に従ったパルス管冷凍機の一実施例を図面
に基づき説明する。
第1図において、30は薄肉の金属バイブからなるパル
ス管11で、該パルス管30の一端には、第2放熱器3
1.導管32及び流量調整弁33を介してバッファタン
ク34に連通されている。
パルス管30の外周部には同心円上に第1環状流路35
が形成されており、該第1環状流路35には金網等の蓄
冷材36が積層して詰められており、これによりパルス
管30の外周に環状の蓄冷器37が隣設されている。パ
ルス管30の他端側には、第1環状流路35の外周壁に
固定されるコールドヘッド38が設けられており、これ
によりパルス管30の他端はコールドヘッド38を介し
て蓄冷器37の一端に連通されている。
蓄冷器37の他端には、第2放熱器31の外周に隣設さ
れる第1放熱器39が連通されており、第1放熱器39
には導管40を介して圧縮機50の圧縮室50aに連通
されている。尚、圧縮機50は、導管40の開口するシ
リンダ50bと該シリンダ50bに気密的に摺動可能に
嵌挿されるピストン50cと、該ピストン50cを駆動
するクランク機構51により構成されている。
圧縮室50aからバッファタンク34に至る空間には、
作動ガス(空気、窒素、アルゴン、水素、ヘリウム等)
が密封されており、上述した第8図に示すパルス管冷凍
機と同様な原理でコールドヘッド38を冷却する。つま
り、ピストン50cが上死点へ移動することにより圧縮
された圧縮室50a内の作動ガスは、第1放熱器39で
圧縮熱を除去され、蓄冷器37で更に冷やされコールド
ヘッド38の一側面に形成されるフィン間の流路38a
にて流れを矢印で示すように反転されてパルス管30内
に入る。パルス管30の内部30aで加速された作動ガ
スはパルス管30内に残留する作動ガスを圧縮して圧縮
熱を第2放熱器31で除去され、導管31及び流量調整
弁32を介してバッファタンク34内に入り、半サイク
ルを終わる。ピストン50cが下死点に向かうと、バッ
ファタンク34内の作動ガスは、流量調整弁33゜導管
31及び第2放熱器31を経てパルス管30の内部にて
断熱膨張されて温度降下し、コールドヘッド38の流路
38aを通り、コールドヘッド38を冷却すると同時に
、蓄冷器37.第1放熱器39及び配管40を経て圧縮
室50aに戻り、lサイクルが終わる。これを連続的に
繰り返すことにより、所定の冷凍温度が得られるが、圧
縮機50の回転を高くすればするほど冷凍温度を低くす
ることができる。ところが、この冷凍温度で被冷却体を
コールドヘッド38にて直接機械的に接触せしめて冷却
させたのでは、機械振動により実用上の不具合が招かれ
る。
それが本実施例においては、第2図〜第5図に示すよう
に、パルス管冷凍機で発生した冷凍温度をコールドヘッ
ド38の一側面側のA点で約55に、 B点で300に
となる温度勾配を持つ蓄冷器37から、回収するために
、多数の小穴の設けられた金属板60と比較的に熱伝導
度の悪い接合材61とを交互に積層した構造の環状の冷
熱回収用の熱交換器62を蓄冷器37の外周に隣設して
いる。熱交換器62は、第1図に示すように、圧縮機6
3.配管64,65.精製器67、配管口68、低温配
管69及び被冷却体冷却用の熱交換器70等からなる流
体回路に介装されており、これにより、蓄冷器37から
冷熱を回収し更に配管口68に至る際に第4図及び第5
図に示すようにコールドヘッド38bの他側面に形成さ
れた熱交換用のフィン38bによりコールドヘッド38
より冷熱を回収して、熱交換器70にて被冷却体を機械
振動を与えることなく冷却できる。尚、この流体回路を
空気や安価な窒素等による間サイクル(大気放出など)
にする場合は、第1図において、熱交換器70により温
度上昇した流体を配管71より弁72を開にして外部へ
放出し、不足する流体量を弁73を閉じ、弁74を開き
、除湿、精製などのフィルター75を通して圧縮機63
に供給する。
以上説明した本実施例によれば、流体回路の流体に空気
を使用して開サイクルで80に程度の冷却が可能であり
、他のヘリウム、水素、ネオン等を使用し、閉サイクル
で60に以下の冷凍温度を生成して、冷凍機よりも離れ
た位置の被冷却体を無振動で冷却することができる。
第6図は、本発明の変形実施例を示し、この実施例にお
いては、蓄冷器137をパルス管130の外周部に隣設
せずに、パルス管130の他端に配管180及びコール
ドヘッド138を介して連通させている。蓄冷器137
の外周には、上述した実施例と同様に熱交換器162が
隣設されている。
本実施例においては、図示しない圧縮機により生しせし
められる圧力変動により、図示しない圧縮室、第1放熱
器139.蓄冷器137.コールドヘッド138.配管
180.パルス管130第2放熱器I31.導管工32
.流量調整弁工33及びバッファタンク134内の作動
ガスの圧力が変動し、上述した実施例と同様に冷凍温度
が得られる。この冷凍温度は、熱交換器162の両端口
181,182に上述した実施例の流体回路を接続して
やれば、回収することができ、被冷却体を無振動で冷却
できる。尚、本実施例においては、パルス管130を熱
交換器162や蓄冷器137とは独立に設置しであるの
で、パルス管を1本、または、複数本、更に直管に限ら
ず、螺旋状も可能である。
尚、上述した実施例においては、熱交換器を積層板型に
て説明したが、蓄冷器にただ管を巻き付けても本発明は
実施可能である。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明によれば、蓄冷器よりパル
ス的にパルス管内に出入りする作動ガスの振動に影響を
受けることなく、被冷却体を無振動で冷却することがで
きる。また、本発明によれば、被冷却体が液体であって
も冷却することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従ったパルス管冷凍機の一実施例を示
す構成国、第2図は第1図における本発明の熱交換式蓄
冷器の縦断面図、第3図は第1図における本発明の熱交
換式蓄冷器の横断面図、第4図は第1図におけるコール
ドヘッドの拡大図、第5図はコールドヘッドの平面図、
第6図は本発明の変形実施例を示す構成図、第7図及び
第8図は従来のパルス管冷凍機の構成図である。 30・・・パルス管、31・・・第2放熱器、33・・
・流量調整弁(流量調整機構)、34・・・バッファタ
ンク、35・・・環状流路、36・・・蓄冷材、37・
・・蓄冷器(熱交換式蓄冷器)、38・・・コールドヘ
ッド、39・・・第1放熱器、50・・・圧縮機、62
・・・熱交換器。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)パルス管の一端をコールドヘッド、蓄冷器及び第
    1放熱器を介して圧縮機に連通すると共に、前記パルス
    管の他端を第2放熱器及び流量調整機構を介してバッフ
    ァタンクに連通したパルス管冷凍機において、前記蓄冷
    器を被冷却体を冷却する他の流体回路内の流体と熱交換
    する熱交換式蓄冷器で構成すると共に前記流体回路の流
    体を前記コールドヘッドと熱交換させるようにしたこと
    を特徴とするパルス管冷凍機。
  2. (2)前記熱交換式蓄冷器を、パルス管の同心円上に隣
    設されてその一端が前記第1放熱器に連通されると共に
    その他端が前記コールドヘッドを介して前記パルス管の
    一端に連通される環状流路と、該環状流路内に配設され
    る蓄冷材と、前記環状流路の同心円上に隣設されて前記
    蓄冷材と前記流体回路の流体とを熱交換する熱交換器に
    より構成したことを特徴とする請求項(1)に記載のパ
    ルス管冷凍機。
  3. (3)前記熱交換式蓄冷器を、その一端が前記コールド
    ヘッドを介して前記パルス管の一端に連通されると共に
    その他端が前記第1放熱器に連通される第1流路と、該
    第1流路内に配設される蓄冷材と、該第1流路の同心円
    上に隣設されて前記蓄冷材と前記流体回路の流体とを熱
    交換する熱交換器により構成したことを特徴とする請求
    項(1)に記載のパルス管冷凍機。
JP8591390A 1990-03-31 1990-03-31 パルス管冷凍機 Pending JPH03286967A (ja)

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5505232A (en) * 1993-10-20 1996-04-09 Cryofuel Systems, Inc. Integrated refueling system for vehicles
WO1999064797A1 (fr) * 1998-06-12 1999-12-16 Daido Hoxan Inc. Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration
JP2008202888A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Sumitomo Heavy Ind Ltd 冷却機の作動ガス精製システム、冷却機、冷却機の作動ガス精製方法、冷却機の作動ガス置換方法、および冷却機製造方法
EP1418388A3 (en) * 2002-11-07 2009-01-14 Oxford Magnet Technology Limited A pulse tube refrigerator
JP2013072597A (ja) * 2011-09-28 2013-04-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 極低温冷凍機
CN103758988A (zh) * 2013-12-31 2014-04-30 黄山科能汽车散热器有限公司 油冷器泄压装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5505232A (en) * 1993-10-20 1996-04-09 Cryofuel Systems, Inc. Integrated refueling system for vehicles
WO1999064797A1 (fr) * 1998-06-12 1999-12-16 Daido Hoxan Inc. Machine de refrigeration de conduit a impulsions et pompe cryogenique utilisant cette machine de refrigeration
EP1014014A1 (en) * 1998-06-12 2000-06-28 Daido Hoxan Inc. Pulse pipe refrigerating machine and cryopump using the refrigerating machine
US6293109B1 (en) * 1998-06-12 2001-09-25 Daido Hoxan Inc. Pulse pipe refrigerating machine and cryopump using the refrigerating machine
KR100561769B1 (ko) * 1998-06-12 2006-03-16 에어 워터 가부시키가이샤 펄스관 냉동기 및 이를 이용한 크라이오펌프
EP1014014A4 (en) * 1998-06-12 2007-08-15 Air Water Inc SWING TUBE CHILLER AND CRYOPUMP USING THE REFRIGERATOR
EP1418388A3 (en) * 2002-11-07 2009-01-14 Oxford Magnet Technology Limited A pulse tube refrigerator
JP2008202888A (ja) * 2007-02-21 2008-09-04 Sumitomo Heavy Ind Ltd 冷却機の作動ガス精製システム、冷却機、冷却機の作動ガス精製方法、冷却機の作動ガス置換方法、および冷却機製造方法
JP2013072597A (ja) * 2011-09-28 2013-04-22 Sumitomo Heavy Ind Ltd 極低温冷凍機
CN103758988A (zh) * 2013-12-31 2014-04-30 黄山科能汽车散热器有限公司 油冷器泄压装置

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