WO1998018146A1

WO1998018146A1 - Panneau d'affichage a decharge de gaz, son procede de fabrication et dispositif d'affichage le mettant en application

Info

Publication number: WO1998018146A1
Application number: PCT/JP1997/003782
Authority: WO
Inventors: Michifumi Kawai; Ryohei Sato; Masahito Ijuin; Tomohiko Murase; Takao Terabayashi; Nobuyuki Ushifusa; Yoshihiro Kato; Shigeaki Suzuki; Seiichi Tsuchida; Yutaka Naito; Seiichi Yasumoto; Osami Kaneto
Original assignee: Hitachi, Ltd.
Priority date: 1996-10-21
Filing date: 1997-10-20
Publication date: 1998-04-30
Also published as: DE69714374D1; JPH10188793A; TW353759B; EP0837486A2; US6199404B1; EP0837486A3; DE69714374T2; EP0837486B1

Description

明細書ガス放電型表示パネル、ガス放電型表示パネルの製造方法およびガス放電型表示パネルを用いた表示装置技術分野

本発明は、ガス放電型表示パネルおよびその製造方法に関する。さらに、本発明は、ガス放電型表示パネルを用いた表示装置にも関する。より詳細には、本発明は、ガス放電型表示パネルの背面基板のァドレス電極を互いに隔離するための隔壁リブの形成に関する。

一般に、ガス放電型表示パネルは、前面基板と、これとの間に放電空間を画定するように設けられた背面基板とを備えている。背面基板は、ガラス板と、このガラス板の上に互いに平行に形成された複数のァドレス電極と、前面基板と背面基板とのギャップを組持すると同時に、赤、緑、青の三色の発光領域を分離するためにアドレス電極間に形成された隔壁リブと、隔壁リブで囲まれたセル内および隔壁リブの側面に塗布された蛍光体とを備えている。

隔壁リブは、概ね、積み上げ方式または彫り込み方式で形成される。

前者の場合、ガラス板上の所定の部位にマスクスクリーンを用いてガラスべ一ストを複数回繰返して印刷して、所定の寸法の隔壁リブを得るものである。後者の場合、ガラス板全面に所定寸法のガラスペーストの層を形成し、隔壁リブに対応する部位以外のガラスペーストをサンドプラスト法により削り取り、所定の寸法の隔壁リブを得るものである。

これらの方法では、隔壁リブの形成に長い時間がかかり、またガラスペーストの利用効率が低い。

上述の方式以外の隔壁リブを形成する手段として、 JP- A-8-273538 に開示された転写法がある。これによれば、隔壁リブの列と相補的形状を備えた平板状のスタンパ一が用意される。ガラス板全面に薄くガラスペーストを塗布した後、スタンパーを押し当てて、型をガラスべ一ストに転写する。ガラスペーストを硬化させた後、スタンパーが剝がされる。 ' 転写法においては、剛体であるガラス板から容易にスタンパ一を剝がすため、スタンパ一は可撓である。スタンパーは、ガラス板の端から順に剝がされる。ス夕ンパ一が剛体の場合、剛体のガラス板と面接触している剛体のスタンパ一をガラス板から一気に剝がすには大きな引離し力が必要となる。その結果、大きなストレスがスタンパーに発生し、破損を招くかも知れない。

可撓スタンパ一は、高分子材製のフィルムベースに高分子材製の型を形成して作られている。一般的に、高分子材料は、力や熱により大きく変形する。よって、ガラス板全面に薄く塗布したガラスペース卜にスタンパ一を押し当てる際に、押圧力によりスタンパーは弾性変形する。よって、隔壁リブの成形精度は高くない _c また、ガラスべ一ストを硬化させるための熱等によりスタンパーが塑性変形すると、必要な隔壁リブの成形精度が得られなくなるので、スタンパーは頻繁に新しいものと交換されなければならない。

このように、可撓スタンパーは、隔壁リブの成形精度およびスタンパー自身の寿命に問題があり、表示パネルの大量生産には不向きである。また、表示パネルの製造コストは高くなる。

さらに、格子状の隔壁リブの形成に際して、スタンパーをガラス板から容易に剝がすためには、隔壁リブには大きな勾配を付ける必要がある。し力、し、大きな勾配を設けることは隔壁リブ間の間隔を狭くすることを困難にする。その結果、高解像度の表示パネルを得ることができない。

発明の開示

よって、本発明は上述の問題点を解決した表示、°ネルの製造方法を提供することを目的とする。

この目的を達成するため、本発明によれば、電極が形成された基板にガラスべ —ストを塗布する工程と、隔壁リブに対応する溝が形成されたローラを回転させ、基板に塗布されたガラスペーストに隔壁リブブランクを形成する工程と、該隔壁リブブランクを焼結して隔壁リブを得る焼結工程とを有することを特徴とするガス放電型表示、。ネルの製造方法が提供される。

以下、添付の図面を参照して、本発明をその実施例について詳細に説明する。図面の簡単な説明図 1 は、本発明に関わるガス放電型表示パネルの破断断面図で、図 2 の卜 I 線に沿って見た断面図、

図 2 および図 3 は、それぞれ図 1 の Π- Π および Π Ι- I I I 線に沿って見た断面図、

図 4-図 7 は、背面基板の製造作業を示す斜視図、

図 8-図 11は、背面基板の別の製造作業を示す斜視図、

図 12および図 13は、それぞれ背面基板の製造装置を示す断面図、

図 14- 図 17は、背面基板のさらに別の製造作業を示す斜視図、

図 18- 図 19は、それぞれ背面基板の別の製造装置を示す図、

図 20- 図 23は、背面基板のまた別の製造作業を示す斜視図、

図 24は、別の形態のグリーンシートを示す斜視図、

図 25は、別の形態の成形ローラ一を示す斜視図、

図 26は、ローラ一の溝と隔壁リブブランクとの係合関係を示す部分破断断面図、図 27は、別の形態の背面基板を示す部分破断斜視図、

図 28- 図 29は、図 27の背面基板を形成するためのローラ一をそれぞれ示す正面図、

図 30は、本発明の表示パネルを用いた表示装置の回路図。

発明を実施するための最良の形態

本発明に関わるガス放電型表示パネルは、図 1-図 3 に示されるように、前面基板 10と背面基板 20と有し、両者間に放電空間 30が介在している。

前面基板 10は、ガラス板 100 と、ガラス板 100上に互いに平行に形成された表示電極 110 と、それぞれが各表示電極上に表示電極と平行に形成されたバス電極 120 とを有している。これらの電極は誘電体層 130で覆われており、誘電体層 13 0 は保護膜 140で保護されている。

背面基板 20は、ガラス板 200 と、このガラス板 200上に互い平行に形成されたァドレス電極 210 と、それぞれが隣接する 2 つのァドレス電極 210 間に形成され、両者を隔離するためのストライプ状に配設された隔壁リブ 220 とを有している。隔壁リブ 220 間、すなわち各セルには、蛍光体 40が、より詳細には赤の蛍光体 41 と、緑の蛍光体 42と、青の蛍光体 43とが順番に繰返して塗布されている。なお、図 1 では明瞭にするため、蛍光体は取除いて描かれている。隔壁リブ 220 は、保護膜 230で保護されている。隔壁リブ 220 の基端部がアドレス電極 210 を覆わないことが好適である。し力、し、図 2および図 3 に示されるように、隔壁リブ 220 の基端部同士が、ガラス板 200 とアドレス電極 210 とを覆うようにつながっていてもよい。

前面基板 10と背面基板 20は、表示電極 110 の長手方向とアドレス電極 210 の長手方向とが直交するように、放電空間 30を介して対向している配設されている。隣接する一対の表示電極 110、 110 間に交流電圧を印加し、アドレス電極 210 と表示電極 110 との間に電圧を印加することによりアドレス放電を発生させ、隔壁間の所望のセルに主放電を発生させる。この主放電で発生する紫外線により所望の色の蛍光体が発光する。

第 1実施例

図 4-図 7 を参照して、背面基板 20の製造作業を説明する。

まず、ガラス板 200上に、真空蒸着、またはスパッタ蒸着とフォトリソグラフィ法、あるいは印刷法によりァドレス電極 210 を形成する（図 4 ) 。なお、理解を容易にするため、図中のアドレス電極 210 の数や、ガラス扳 200 とアドレス電極 210 との寸法比等は改変されている。

印刷法またはロールコート法等で、均一の厚さにガラスペースト 50の層を、ガラス板 200 とアドレス電極 210 の上に形成する（図 5 ) 。ガラスペースト 50の層厚さは、出来上りの隔壁リブ 220 の総体積量（あるいはそれより少し多い量）を隔壁リブの設置面積量で除した値とほぼ等しくなつている。

つぎに、成形ローラ一 60が用意される。ローラ一 60には、隔壁リブ 220 の断面形状と相補する断面形状を有する溝 61が軸線方向に複数本形成されている。なお、溝 61の相補断面形状は、出来上り後の隔壁リブの収縮を考慮して決められなければならない。ローラ一 60は、 200 °C〜300 °Cに加熱されている。

ローラ一 60をガラスペース卜 50に押しつけた状態で、矢印方向 R に回転させ、ローラ一 60の周速度と同じ速度でアドレス電極 210 に沿って矢印方向 T にローラ一 60を並進させる（図 6 ) 。ローラ一 60の移動に伴って、ローラ一 60の周面に押されてローラ一 60の移動方向前面に盛上がったガラスペースト溜り 50aが形成される。ローラー 60の溝 61はガラスペースト溜り 50a のガラスペースト 50により充塡され、隔壁リブブランク（blanks)221 が形成される。ガラスペースト溜り 50a は、もっぱらローラ一 60の移動方向前方に形成され、ローラー 60の軸線方向に拡がることはほとんどない。

ローラ一の回転運動と並進運動との組合わせの代りに、ローラーの回転運動とガラス板 200 の並進運動との組合わせを採用することもできる。すなわち、ローラー 60をガラスペースト 50に押しつけた状態で、矢印方向 R に回転させ、ローラ —60の周速度と同じ速度でアドレス電極 210 に沿って方向 T と反対方向の矢印方向にガラス板 200 を並進させてもよい。

隔壁リブブランク 221 力く 500 °C〜550 °Cで焼結されることにより、出来上りの隔壁リブ 220 が得られる。さらに、隔壁リブ 220 、 220 で囲まれる表示セル 223 および隔壁リブ 220 の側面に蛍光体 40が塗布された後、ガラス板 200 とともに焼成され、背面基板 20が得られる（図 7 ) 。

ガラスペースト 50は、一般に、ガラス粉末（例えば、ほう珪酸鉛ガラス粉といくつかの無機物との混合体）と、有機溶剤と、有機結合材とを含んでいる。有機溶剤としては、 150 °C以下で蒸発消失するものが好ましく、例えばターピネオ一ルがある。図 6 に示された工程において、 200 °C〜300 °Cにまで加熱された口一ラー 60がガラスペースト 50上を移動することにより、有機溶剤は蒸発消失し、よつて、ガラスペースト 50はある程度硬化する。これにより、ローラ一 60は容易にガラスペースト 50から分離し、ローラ一 60の溝 61内にガラスペースト 50が詰ることはない。ローラー 60の熱によりガラスペースト 50をある程度まで硬化させるまでの工程が、背面基板 20の製造において最も長いものであり、これがいわゆる製造タクトである。

また、有機結合材としては、 500 °C、より好適には約 450 °Cまでに完全に分解焼失するものが好ましく、例えば（セルロース系樹脂）である。一般的に利用されるガラス板（ソ一グライムガラス、あるいはそれを強化したもの）の耐熱温度は 570 °C〜650 °Cであるので、図 7 に示された工程において、ガラスペーストはガラス板の耐熱温度（570 °C〜650 °C) より低い 500 °C〜550 °Cで焼結される。よって、ガラスペース卜の焼結温度（500 °C〜550 °C) より低い温度で、有機結合材が完全に分解焼失するので、隔壁リブブランク（ガラスペースト）にクラック等が発生することがない。

図 6 に示された工程において、口一ラー 60のガラスペースト 50への押しつけ力を変える、すなわち、ローラ一 60の周表面とガラス板 200 との間のギャップ 60a を変えることにより、アドレス電極 210 を覆うガラス層の厚さを制御することができる。ギャップ 60a を設けることにより、ガラス板 500 の反りや歪みを吸収することができる。アドレス電極 210 を覆うガラス層の厚さは、アドレス電極 210 と表示電極 110 との間の放電特性に影響を与える一つのファクタ一である。アドレス電極 210 を覆うガラス層をなくすように、すなわちアドレス電極 210 を露出させるように、ギャップ 60a を小さくするのが理想である。

図 6 の工程に関連して前述したローラ一加熱温度および有機溶剤の蒸発温度に関する条件に加えて、ローラ一 60は以下の条件を満足させるような速度で回転する。すなわち、ローラ一 60が当接している間に、ローラ一 60が当接しているガラスペースト 50の部分の表面の有機溶剤がローラ一 60の熱により蒸発消失して、当該表面がある程度硬化し、ローラ一 60が容易にガラスペースト 50から分離し、口 —ラー 60の溝 61内にガラスペース卜が詰ることがない。

口一ラーの外径を大きくすることにより、ガラスペーストとの接触弧の長さは長くなる。よって、より速い回転速度で同様のガラスべ一ストの硬化をえることができるので、生産性を上げることができる。

ローラー 60の溝 61の断面形状寸法は、隔壁リブの形状、すなわち表示パネルの仕様により異なるが、一般的には、溝底が溝開口より狭い台形断面が好適である。ガラスペースト 50に大量に含まれている硬質粒子による磨耗、成形時にかかる力による変形、および加熱による変形を防ぐため、ローラ一 60は硬質材料で作られることが望ましい。例えば、焼き入れ鋼または高強度鋼で作られ、表面に硬質クロムメツキ等の表面処理を施されたローラ一、または超硬合金 (Tungs ten Carb i de)で作られたローラ一等である。

この例においては、ローラ一はガラスペース卜と実質的には線接触しているので、ローラ一をガラス板から離す際にガラス板およびローラーにかかる応力は小さい。また、ローラ一を剛体とすることができるので、高い転写精度を維持したまま、繰返してローラ一を使用することができる。また、ローラ一によりガラスペーストに直接リブを成形するので、積み上げ法や彫り込み法に比べて、夕クト時間は短くなる。

第 2実施例

図 8-図 11を参照して、背面基板 20の別の製造作業を説明する。この例では、ガラスペ一ストは熱により物理的に硬化されるのではなく、紫外線により化学的に硬化される。

まず、波長 350nm〜450nmの紫外線がある程度透過するガラス板 201 が用意される。ガラス板 201 の材料としては、例えば、通常用いられるソ一ダライムガラスでも問題はない。

第 1実施例と同様に、ガラス板 201 上に、真空蒸着、またはスパッタ蒸着とフォトリソグラフィ法、あるいは印刷法によりアドレス電極 210 を形成する（図 8)_c 第 1実施例と同様に、均一の厚さにガラスペースト 51の層を、ガラス板 201 とアドレス電極 210 の上に形成する（図 9 ) 。ガラスペースト 51は、ガラス粉末と、有機溶剤と、紫外線硬化型有機結合材とを含む。

つぎに、隔壁リブ 220 の断面形状と相補する断面形状を有する溝 61が形成されている成形ローラ一 60が用意される。この例にあっては、ローラ一 60を加熱する必要はない。ローラ一 60をガラスペースト 51に押しつけた状態で、回転させながら、並進させる。ローラ一 60とガラスペースト 51との接触部分に向けて、ガラス板 201 の裏面から、および/ またはローラ一 60の背後から、メタルハラィドランプあるいは高圧水銀ランプ等から紫外線 UVが照射され、ガラスペースト 51中の紫外線硬化型有機結合材はある程度硬化される（図 10) 。これにより、隔壁リブブランク 221 が形成される。

ローラー 60の回転速度および並進速度は、ローラ一 60が当接している間に、口ーラ一 60が当接しているガラスペースト 51の部分の紫外線硬化型有機結合材がぁる程度硬化して、口一ラー 60が容易にガラスペースト 51から分離し、口一ラー 60 の溝 61内にガラスペーストが詰ることがないように、設定されている。

隔壁リブブランク 221 が形成された後、さらに紫外線が照射され紫外線硬化型有機結合材が完全に硬化される。その後、ガラス板 201 は 500 °C〜550 °Cまで加熱され、有機溶剤および有機結合材は分解焼失され、ガラス粉末が焼結される。これにより、出来上りの隔壁リブ 220 が得られる。

隔壁リブ 220、 220 で囲まれる表示セル 222 および隔壁リブ 220 の側面に蛍光体 40が塗布された後、ガラス板 201 は焼成され、背面基板 20が得られる（図 11) 。前述の例の場合と同様の理由により、紫外線硬化型有機結合材および有機溶剤は、 500 °C以下、より好適には 450 °C以下で完全に分解焼失することが好ましい。つぎに、前述の工程を連続的に行うことのできる製造装置について、図 12および図 13を参照して説明する。

図 12において、公知のガラスペースト層形成ステージ ST1 と隔壁リブ成形ステ —ジ ST2 とが両者間に所定の間隔を置いて配設されている。アドレス電極が形成されているガラス板 200 は、ガラスペースト層形成ステージ ST1 を通り、隔壁リブ成形ステージ ST2 に向って、矢印 T'の方向に移動される。

ガラスペースト層形成ステージ ST1 には、口一ラー 62、 63が備えられている。ローラー 62とロッド 64との間に形成されたペースト槽 65には、必要量のガラスべ —スト 50が収容されている。ガラスペース卜 50は、回転するローラ一 62、 63の外周面に沿ってガラス板 200 の上に流れ落ちる。ローラー 62、 63の回転数およびガラス板 200 の移動速度は、所定の厚さのガラスペースト 50の層がガラス板 200上に連続的に形成されるように、設定されている。ガラスペースト層形成ステージ ST1 では、ローラ一 62、 63を用いた、いわゆるロールコート方式によるガラスべ一スト層形成の代りに、幅広ノズルからガラスペーストをガラス板に層状に形成する、いわゆるカーテンコート方式を採用してもよい。ガラスペーストを硬化させることなく、ガラス板上に均一に連続して層状に形成できるどんな方式も採用することができる。

隔壁リブ成形ステージ ST2 に進んだガラスペースト 50は、回転するローラ一 60 により、前述のように、隔壁リブブランク 221 に成形される。ローラ一 60は、図示せぬ加熱装置により 200 °C-300°C程度に加熱されている。ガラスペースト成型時の反力によるローラ一 60のたわみを防止するためバックアップローラ一 66が口一ラー 60に当接して回転自在に設けられている。

隔壁リブ成形ステージ ST2 を通過したガラス板 200 は、下流で高温で焼結される。さらに、蛍光体塗布ステージ（図示せず）において、蛍光体が表示セルに塗布され、背面基板 20が形成される。

図 13に示された別の製造装置は、図 12の装置と同様に、ガラスペースト層形成ステージ ST1 と隔壁リブ成形ステージ ST3 とが両者間に所定の間隔を置いて配設されている。アドレス電極 210 が形成されているガラス板 201 は、ガラスペースト層形成ステージ ST1 を通り、隔壁リブ成形ステージ ST3 に向って、矢印 T'の方向に移動される。

ガラスべ一スト層形成ステージ ST1 の構成および作用は、ガラスペーストの性質を除いて、図 12のそれらと同様であるので、説明を省略する。

隔壁リブ成形ステージ ST3 に進んだガラスペースト 51は、回転するローラ一 60 により、前述のように、隔壁リブブランク 222 に成形される。ローラ一 60と当接するガラスペースト 51の部分に、ガラス板 201 を透して、または直接に紫外線 UV が紫外線発生装置から照射される。隔壁リブブランクはある程度硬化される。隔壁リブ成形ステージ ST3 を通過したガラス板 201 に対して、さらに、紫外線が照射され、隔壁リブブランクは完全に硬化される。

さらに、ガラス板 201 は高温で焼結される。最後に、蛍光体塗布ステージ（図示せず）において、蛍光体が表示セルに塗布され、背面基板 20が形成される。これにより、長尺な（大型の）背面基板を高速に生産することができる。

第 3実施例

図 14- 図 17を参照して、背面基板 20のさらに別の製造作業を説明する。この例では、ガラスべ一ストの代りに、グリーンシートが用いられている。

第 1実施例と同様に、ガラス板 200 上にァドレス電極 210 が形成される (図 14) 。

ガラス粉末および熱可塑性有機結合材を含み、出来上り隔壁リブの高さとほぼ等しい厚さを有するグリーンシート 53が、ガラス板 200 の上に置かれる（図 15) _c グリーンシート 53は、当該熱可塑性有機結合材の可塑化温度以上に加熱された状態になっている。

溝 61が形成されているローラ一60がグリーンシート 53の一端部分に押しっけた状態で、矢印方向に回転される。ローラ一 60の周速度同じ速度でガラス板 200 が矢印方向に動かされる。これにより、隔壁リブブランク 221 が形成される。口一ラーの押圧により、グリーンシートは長さ方向に延される。グリーンシートの未変形部分に前方上方方向の張力 F をかけることにより、延びによるたるみを取除くことができるとともに、グリーンシートとガラス板との間に接着剤 54または溶剤を塗布しながら、溝形状をグリーンシートに転写することができる。これにより、精密な転写と、グリーンシートのガラス板への強固な貼付けを行うことができる（図 16) 。なお、ガラス板 200 およびローラー 60を予め加熱しておくことにより、グリーンシートの延性を損うことがないので、その取扱いは容易となる。隔壁リブブランク 221 力 500 °C〜550 °Cで焼結され、出来上りの隔壁リブ 220 となる。隔壁リブ 220 で囲まれる表示セル 222 および隔壁リブ 220 の側面に蛍光体 40が塗布された後、ガラス板 200 は焼成され、背面基板 20が得られる（図 17) 。前述と同様な理由により、グリーンシートの熱可塑性有機結合材としては、可塑化温度がほぼ 50°C- 100°Cで、 500 °C、より好適には 450 °Cで分解焼失するものが好ましい。例えば、ポリィソブテンである。

つぎに、前述の工程を連続的に行うことのできる製造装置について、図 18を参照して説明する。

製造装置は、溝付成形ローラ一 60と、ローラ一 60と協働するカウンターローラ —67とが両者間に所定のギヤップを介して互いに対向して配設されている。口一ラー 60は、図示しない加熱装置により 50°C程度まで加熱されている。加熱装置 71 を通って加熱された、了ドレス電極 210 が形成されているガラス板 200 がローラ一 60、 67間のギャップに向って送られる。

リール 81に巻付けられた、キヤリアフィルム 55で裏打ちされたグリーンシート 53が、テンションローラ一82を介してガラス板 200上に供給される。途中で、キャリアフィルム 55はグリーンシ一ト 53から剝がされ、ローラ一83を介してリ一ル 84に卷取られる。グリーンシート 53は、加熱装置 72を通って加熱された後、ガラス板 200 上に供給される。グリーンシ一卜 53のガラス板 200 との接合面には、ギャップへの導入直前に接着剤 54が塗布される。

グリーンシート 53が貼付されたガラス板 200 は、回転する口一ラー 60、 67によりギャップを通過する。その際に、グリーンシート 53にローラ一 60の溝形状が転写され、隔壁リブブランク 221 が形成される。グリーンシート 53が所定の長さ供給されると、切断装置（図示せず）により、グリーンシート 53は切断される。転写中の延びによるグリーンシ一卜のたるみは、リ一ル 81からのグリーンシ一ト 53 の供給速度をローラ一 20の周速度より小さくすることにより、グリーンシ一ト 53 に張力が発生し、吸収される。

隔壁リブブランク 221 が形成されたガラス板 200 は、焼結処理ステージに運ばれ、焼結される。背面基板 20が得られる。

粘着性のあるグリーンシ一ト 56用の製造装置について、図 19を参照して説明する。

グリーンシート 56は、ガラス粉末と、熱可塑性有機結合材と、粘着性を増大させるための可塑材とを含み、出来上り隔壁リブの高さとほぼ等しい厚さを有する。グリーンシート 56は、その両面が保護フィルム 57、 58でそれぞれカバーされた状態で、リール 81に巻付けられている。

リール 81からのグリーンシ一ト 56の一方の面の保護フィルム 57が剝がされ、口 —ラー 83を介してリール 84に巻き取られる。グリーンシ一卜 56が粘着防止剤槽 91 を通過する際に、グリーンシート 56の露出面に、槽 91に収容された粘着防止剤が塗布される。

グリーンシ一ト 56は、他方の面の保護フィルム 58がローラ一 85を介してリ一ル 86に巻き取られた後、加熱装置 72に送られる。加熱装置 72により加熱された後、グリーンシート 56は、粘着面をガラス板 200 に向け、かつ粘着防止剤が塗布された面を成形口一ラー 60に向けて、ガラス板 200 上に供給される。その後、図 18の装置に関連して説明した作業と同様の作業が行われる。

第 4実施例

図 20- 図 23を参照して、背面基板 20のまた別の製造作業を説明する。この例では、グリーンシートに隔壁リブを形成後、グリーンシートをガラス板に固着させる。

ガラス粉末および熱可塑性有機結合材を含み、出来上り隔壁リブの高さより若干薄いグリーンシ一卜が用意される（図 20) 。

熱可塑性有機結合材の可塑化温度以上に加熱されたグリーンシートに、カウンターローラ一 67と（可塑化温度以上に加熱された）溝付成形ローラ一 60とで、順次圧延 (rol l ing) により隔壁リブブランク 221 が形成される（図 21) 。

圧延加工においては、成形ローラ一 60とカウンタ一ローラ一 67とにより、押退けられた材料のほとんどは、シートを長手方向に延すことに専ら寄与し、次いでシートの厚み方向に寄与するが、幅方向の増加にはほとんど寄与しない。よって、前述のように、出来上り隔壁リブの高さより若干薄、グリーンシートが用いられるべきである。

隔壁リブブランク 221 が形成されたシートは、所定の寸法で、隔壁ピース 59に切断される。隔壁ピース 59の平坦面には、有機結合材を溶解するような有機溶剤または接着剤 59a の層が塗布される。隔壁ピース 59が、ァドレス電極 210 が形成されているガラス板 200 の所定の位置に固着される（図 22) 。

隔壁ピース 59を焼結することにより、出来上り隔壁リブ 220 が得られる。隔壁リブで囲まれる表示セル 222 および隔壁リブ 220 の側面に蛍光体 40が塗布された後、ガラス板 200 が焼成され、背面基板 20が得られる（図 23) 。

図 22の工程で、隔壁ピース 59の代りに、図 24に示された隔壁ピース 59，を用いることができる。隔壁ピース 59' には、アドレス電極 210 を部分的に露出させるための孔列 223 が形成されている。これにより、放電効率が向上し、発光効率が向上する。隔壁ピース 59' の孔 223 は、隔壁リブの基端部同士を橋渡しするようにつながっている隔壁ピース 59，の部分、すなわち、表示セルの底部に形成されている。

孔自身の寸法は、表示パネルの大きさを考慮すれば、非常に小さいことがわかる。よって、孔列 223 の形成に関しては、炭酸ガスレーザとガルバノミラーとを組合わせた手段、または金属マスクとエキシマレ一ザとを組合わせた手段等がある。炭酸ガスレーザからのレーザビームが絞られ、ガルバノミラーを用いて、間欠的に隔壁ピース 59' に向けて掃引され、孔列が得られる。代替として、対応する孔列が形成されてたメタルマスクが隔壁ピース 59' の平坦面に装着され、コリメータにより平行ビームにされたェキシマレ一ザからのレーザビームがメタルマスクに向けて照射され、孔列が形成される。

また、グリーンシートの伸びを考慮して、ウェブの所定の位置にプレス打抜き等により、予めグリーンシートに孔列を形成しておいてもよい。

以上の例では、成形ローラ一として、隔壁リブ 220 の断面形状と相補する断面形状を有する周方向溝が軸線方向に複数本形成されているもの 68が用いられているが、これに限るものではない。図 25に示されような、隔壁リブ 220 の断面形状と相補する断面形状を有する軸線方向溝が周方向に等間隔で複数本形成されているものを用いてもよい。その場合、隔壁リブ 220 間の間隔を考慮して、軸線方向溝が周方向に等間隔で設けることができるように、ローラ一の外径は決められている。また、成形ローラ一の回転に際して、隔壁リブブランク 221 と成形ローラ一の稜線とが干渉することを防ぐため、溝の横断面形状は、台形となっている (図 26) 。

第 5実施例

ストライプ状に配設された隔壁リブを用いた背面基板の代りに、図 27に示されるように、格子状に縦隔壁リブ 223 と横隔壁リブ 224 とが配設された背面基板の製造作業について、説明する。縦隔壁リブ 223 と横隔壁リブ 224 により、互いに隔離された表示セル 225が画定される。格子状隔壁リブ配置は、広い蛍光体塗布領域を提供するとともに、表示セル間の誤放電やクロストークを防止する。これにより、高いコントラストが得られる。

この種の背面基板の製造作業は、成形ローラ一を除いて、前述までのものと同一である。よって、成形口一ラー 600 についてのみ以下に説明する。

ローラ一 600 は、図 28に示されるように、複数本の周方向溝 601 と複数本の軸線方向溝 602 とが設けられており、各表示セル 225 に対応する切頭四角錐 603がこれらの溝により画定されている。切頭四角錐の側面は、傾斜しているので、口一ラー 600の回転にともなう隔壁リブブランクとの干渉が防止される。

成形口一ラーとして、図 29に示されるようなローラ一 605 を用いることもできる。ローラー 605 は、複数本の周方向溝 601 とそれぞれが複数の箇所で遮断されている複数本の軸線方向溝 606 とが設けられている。口一ラー 605 により形成された表示セルは、互いに完全には隔離されてはおらず部分的に接続されている。しかし、前述と同様の効果が得られる。

成形ローラ一は、スタンパーに比して、たとえ隔離リブ間の間隔、すなわち溝の幅を狭めて、容易にガラスペーストから剥がすことができる。よって、単位面積当り、より多くの表示セルを得ることができ、解像度は向上する。

前述の方法は、前面基板の隔壁リブの形成に適用することもできる。

つぎに、図 1 に示された表示パネル 2000を用いた表示装置について、図 30を参照して説明する。

パルスジヱネレ一タ 2300からのパルス電圧が、ァドレスドライバ 2100およびスキャンドライバ 2200を介して、コントロール回路 2500により選択された表示セルに対応する電極に、供給され、主放電が生じる。これにより、所望の表示セルの発光が行われる。ァドレスドライバ 2100およびスキャンドライバ 2200もコントロ —ル回路 2500により制御される。コントロール回路 2500からスキャンドライバ 22 00への制御信号は、レベルシフタ 2400を介して送られる。オートパワーコント口ール回路 2600は、高圧電源電流を検出して、規定値を越えた場合は維持放電パルスの数を減少させる信号をコントロール回路 2500に送る。 DC/DC コンバータ 2700 は、外部から供給される電圧を回路用の電圧に変換する。

産業上の利用可能性

本発明は、軽量で大画面の表示装置、例えば大画面 TVまたはコンピュータモニターの製造に利用可能である。

Claims

請求の範囲

1 . 電極が形成された基板にガラスべ一ストを塗布する工程と、

該基板に塗布されたガラスペーストに隔壁リブブランクを形成するため、隔壁リブに対応する溝が形成されたローラを回転させる工程と、

該隔壁リブブランクを焼結して隔壁リブを得る焼結工程とを有することを特徴とするガス放電型表示、。ネルの製造方法。

2 . 前記ガラスペーストが有機溶剤を含み、かつ有機溶剤を気化させ前記ガラスぺ一ストに前記隔壁リブブランクを形成するため前記ローラを加熱する工程をさらに有することを特徴とする請求項 1 に記載の製造方法。

3 . 前記ガラスペーストが紫外線硬化型の有機結合材を含み、かつ該ガラスペ —ス卜に前記隔壁リブブランクを形成するため紫外線を照射する工程をさらに有する請求項 1 に記載の製造方法。

4 . 前記紫外線は、前記ローラが前記ガラスペーストと接触する領域に向けて照射されることを特徴とする請求項 3 に記載の製造方法。

5 . グリーンシートに隔壁リブブランクを成形するため、隔壁リブと対応する溝が形成されたローラを回転させる工程と、

隔壁リブブランクが成形されたグリーンシートを隔壁ピースに切断し、該隔壁ピースを電極が形成された前記基板に載置する工程と、

該基板に載置された隔壁リブピースを焼結する工程とを有することを特徴とするガス放電型表示ネルの製造方法。

6 . 表面に電極が形成された基板にグリーンシートを載置する工程と、該グリーンシートに隔壁リブブランクを成形するため、隔壁リブと対応する溝が形成されたローラを回転させる工程と、

前記基板に載置されたグリーンシ一トを焼結する工程とを有することを特徴とするガス放電型表示、ネルの製造方法。

7 . 前記グリーンシートは熱可塑性有機結合材を有し、かつ前記グリーンシー卜を加熱して軟化させた後に、前記隔壁リブブランクが形成されることを特徴とする請求項 5 に記載のガス放電型表示、"ネルの製造方法。

8 . 前記グリーンシートは熱可塑性有機結合材を有し、かつ前記グリーンシートを加熱して軟化させた後に、前記隔壁リブブランクが形成されることを特徴とする請求項 6 に記載のガス放電型表示パネルの製造方法。

9 . 前記ローラは、その円筒面に周方向溝を有することを特徴とする請求項 1 から請求項 8 までのいずれか一項に記載のガス放電型表示パネルの製造方法。

10. 前記ローラは、その円筒面に格子状に配列された突起を有することを特徴とする請求項 1 から請求項 8 までのいずれか一項に記載のガス放電型表示パネルの製造方法。

11. 複数の表示電極を有する前面基板と、

複数のァドレス電極と、隔壁リブとを有し、該隔壁リブがシート部材をローラにより圧延して形成されている背面基板とを有することを特徴とするガス放電型表示パネル。

12. 前記シート部材は、前記アドレス電極に対応する複数の孔を備えていることを特徴とする請求項 11に記載のガス放電型表示パネル。

13. 複数の表示電極と有する前面基板と、複数のアドレス電極と隔壁リブとを有し、該隔壁リブがシート部材をローラにより圧延して形成されている背面基板とを有するガス放電型表示、ネルと、

前記表示電極もしくは Zおよび前記ァドレス電極に対して所定の駆動電圧波形を供給する駆動回路とを備えた表示装置。

14. 前記シート部材は、前記アドレス電極に対応する複数の孔を備えていることを特徴とする請求項 13に記載の表示装置。