JP2001057148A

JP2001057148A - バリアリブ製造方法

Info

Publication number: JP2001057148A
Application number: JP23244499A
Authority: JP
Inventors: Ryoji Taura; 良治田浦; Hiroaki Shimazutsu; 博章島筒; Junichi Iifushi; 順一飯伏; Tadashi Rokkaku; 正六角
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 1999-08-19
Filing date: 1999-08-19
Publication date: 2001-02-27

Abstract

(57)【要約】【課題】精度の良いバリアリブを離型性良く、簡便で
迅速且つ安定して製造すること。【解決手段】剥離用のフイルム３０３を加圧型３０２
で基本型３０１ａの凹凸形状に沿って覆うことにより剥
離用フイルム被覆のバリアリブ成形型３０１を作製し、
このバリアリブ成形型３０１の凹部にバリアリブ材料を
刷り込み、バリアリブ材料が刷り込まれた表面にガラス
基板を密着させ、紫外線照射にてバリアリブ材料を硬化
させ、硬化したバリアリブ材料をガラス基板とともにバ
リアリブ成形型３０１から剥離し、焼成してバリアリブ
を形成すると共に、バリアリブに残存するするフイルム
を焼成により燃焼消去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は基板上にバリアリブ
を製造する方法に関し、例えば、セル障壁により形成さ
れた複数の放電用空間を備えてなるプラズマディスプレ
イパネル（以下、ＰＤＰと記す）のセル障壁（以下、バ
リアリブあるいはリブと記す）の製造に適用して有用な
ものである。

【０００２】

【従来の技術】図２２にＰＤＰの構成例を示す。図示の
ＰＤＰでは、リア基板（背面基板）１０上にデータ電極
１１を介して白色誘電体層１２が配置され、この白色誘
電体層１２の表面にバリアリブ（セル障壁）５が接着さ
れている。バリアリブ５の表面にはＲ、Ｇ、Ｂ、各蛍光
層１３が塗られており、プラズマ発光でカラー発光す
る。一方、フロント基板（前面基板）２０にはバス電極
付きの透明電極２３を介して透明誘電体層２２が配置さ
れ、透明誘電体層２２の表面は保護層２１で被覆されて
いる。このフロント基板２０の一式をリア基板１０と一
体化することにより、ＰＤＰとなる。

【０００３】図２３に、バリアリブ５の形状及び寸法の
一例を示す。個々のバリアリブ５は、例えば、高さ0.2
ｍｍ、幅0.04〜0.08ｍｍ、長さ６００ｍｍであり、数千
本等、多数のバリアリブ５がピッチ0.2 ｍｍ程度で全体
として微細な凹凸形状をなして白色誘電体層１２上に設
けられる。バリアリブ５は、バリアリブ５間の各溝内で
発光する光を相互に遮断するためのものであり、適度な
硬さや密度を有し、絶縁効果も必要とされる。そのた
め、バリアリブ５の材質は主にセラミックやガラス粉末
で構成される。

【０００４】次に、バリアリブ製造方法の従来例とし
て、印刷法及び型使用法について説明する。

【０００５】［従来例１（印刷法）］ＰＤＰのバリアリ
ブ製造方法として、従来、ガラス基板上にガラスペース
トをスクリーン印刷法によりパターニングし、その後、
焼成する印刷法が知られている。その際、バリアリブに
必要な高さを得るために、印刷と乾燥を数十回繰り返す
ことによって、ガラスペースト層を積層する方法が取ら
れている。

【０００６】［従来例２（ガラス型使用法：特開平09−
012336号公報）］また、ＰＤＰのバリアリブ製造方法の
従来例として、特開平09−012336号公報に開示されたガ
ラス型を使用する方法が知られており、図２４（ａ）〜
（ｅ）に示す。このガラス型使用法では、同図（ａ）に
示すように、まず、ガラス型３０にリブ形状に相当する
凹部３１を予め多数形成しておき、各凹部３１にバリア
リブペースト（低融点ガラス微粉）３５を塗布する。バ
リアリブペースト３５には、微量の光硬化性樹脂を含有
してある。その後、同図（ｂ）に示すように、余剰のバ
リアリブペーストをスクレーパ等でかきとってガラス型
３０の表面を平坦にし、型凹部のみにバリアリブペース
ト３５を付着させる。その後、同図（ｃ）に示すよう
に、ガラス基板３８をガラス型３０に重ねる。これを反
転させ、型凹部のバリアリブペースト形成側をガラス基
板３８に密着させ、次いで、紫外線等を照射して、バリ
アリブペーストを硬化させる。硬化後、同図（ｄ）に示
すように、ガラス型３０をガラス基板３８から剥離さ
せ、ガラス基板３８上にバリアリブ５を転写させる。次
いで、同図（ｅ）に示すように、焼成を行うことによ
り、バリアリブ５の完成となる。

【０００７】ガラス型３０は、サンドブラスト法とエッ
チング処理で成形され、その後、離型材形成処理を行な
って製作される。

【０００８】［従来例３（フイルム型使用法：特開平08
−273537号公報）］ＰＤＰのバリアリブ製造方法の他の
従来例として、特開平08−273537号公報に開示されたフ
イルム型を使用する方法が知られており、図２５及び図
２６に示す。このフイルム型使用法は、図２５に示すよ
うな回転型５０に設けた凹部４２ａを利用して、型材４
５でフィルム４０上に凹部４１と凸部４２を作成し、こ
れをフィルム型４３としてバリアリブを製造するもので
ある。型材４５は硬化性樹脂材である。ここで、５１と
５２はフィルム４０に対するライン保持ロール、５３は
型材４５の原料タンク、５４は型材塗布ロールである。
型材４５は回転型５０の凹部４２ａに流し込まれ、硬化
装置５５にて硬化されてフィルム４０上に凸部４２とし
て転写される。

【０００９】このようなフィルム型４３をバリアリブ成
形型として用い、図２６（ａ）に示すように、バリアリ
ブペースト４８をブレード４９で刷り込む。その後、同
図（ｂ）に示すように反転させてバリアリブペースト４
８をガラス基板４７に転写し、フィルム型４３を剥離す
る。これにより、ガラス基板４７上にバリアリブ５が形
成される。フィルム型４３の剥離後、ガラス基板４７上
のバリアリブ５を硬化させる。ここで、４１はフィルム
型４３の凹部、４２は凸部を示す。

【００１０】［従来例４（シリコンシート型使用法：特
開平10−134705号公報）］ＰＤＰのバリアリブ製造方法
の他の従来例として、特開平10−134705号公報に開示さ
れたシリコンシート型を使用する方法が知られており、
図２７に示す。このシリコンシート型使用法では、図２
７（ａ）に示すように溝部形状として微細な溝２３６を
有したマスタ金型２３１を固定盤２３５上にセットし、
このマスタ金型２３１に半硬化シリコンシート２３２
を、板状体２３３を介して可動盤２３０で加圧し、加圧
状態でヒートプレスすることにより、半硬化シリコンシ
ート２３２にマスタ金型２３１の溝形状を転写して、硬
化したシリコンシート型２４０（図２７（ｂ）参照）を
作製する。

【００１１】このような硬化シリコンシート型２４０を
バリアリブ成形型として用い、図２７（ｂ）に示すよう
に、硬化シリコンシート型２４０の溝部にバリアリブ材
料２４５を流し込み、ガラス基板２４６を重ねて加圧す
る。そして、この加圧状態で、所定時間、所定温度で加
熱し、バリアリブ材料２４５が多少とも硬化してガラス
基板２４６に接着した後（半硬化状態）、半硬化したバ
リアリブとガラス基板２４６を硬化シリコンシート型２
４０から剥離する。

【００１２】［従来例５（有機材料型使用法：特開平10
−208628号公報）］ＰＤＰのバリアリブ製造方法の他の
従来例として、特開平10−208628号公報に開示された有
機材料型を使用する方法が知られており、図２８に示
す。この有機材料型使用法では、図２８（ａ）に示すよ
うにガラス基板２０２に電極パターン２０６を形成して
おき、このガラス基板２０２上に同図（ｂ）に示すよう
に有機材料（ＰＥＴフイルム）でなる成形型（以下、有
機材料型）２０７をセットする。この有機材料型２０７
には凹凸が形成されており、凸部２１４間に空間２１３
がある。この空間２１３に同図（ｃ）に示すようにバリ
アリブ材料２０８を充填し、ガラス基板２０２ごと加熱
炉で加熱することにより、バリアリブ材料２０８を硬化
させると共に、有機材料型２０７を燃焼して消去する。
これにより、同図（ｄ）に示すように、ガラス基板２０
２上にバリアリブ２０４が形成される。図中、２０３は
放電表示セル、２０５は電極を示す。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】［印刷法の欠点］印刷
法の場合、製造装置は特殊でなく工程が容易であるとい
う利点がある反面、工程数が多くなるという欠点があ
る。また、スクリーン印刷によるバリアリブの形状が焼
成前に崩れ、しかも、印刷の繰り返し回数が増えるにつ
れて形状精度が悪化するという傾向があるため、精巧さ
に劣るという欠点がある。

【００１４】［ガラス型使用法の欠点］ガラス型３０を
使用する場合、ガラス型３０の成形はサンドブラスト法
とエッチング処理で行ない、その後、離型材形成処理を
行なってガラス型３０を製作する成形方法であるため、
型成形が容易でないという欠点がある。また、バリアリ
ブペースト（低融点ガラス微粉）３５とガラス型３０が
ガラスという同一材のため両者は接着しやすく、バリア
リブペースト３５を紫外線硬化した後の離型が困難とな
り、バリアリブ５の欠損やガラス型３０が破損しやすい
という欠点がある。更に、ガラス型３０に塗布した離型
剤は一回のバリアリブ成形で剥離され易いという欠点が
ある。また、凹型の寸法が微細なため、剥離材が凹部に
詰まる等、実際には離型材を良好に塗ることは困難であ
る。これらのため、ガラス型３０を使用したバリアリブ
製造方法は、量産機としては効果的な方法とは言えな
い。

【００１５】特に、バリアリブ５の上述した形状及び寸
法から、ガラス型３０の溝は深さ0.2 ｍｍ、幅0.12〜0.
16ｍｍと微細の上、数百ｍｍ〜１０００ｍｍ以上と長い
ため、多数の溝内にバリアリブペースト３５を途中に抜
けなく、安定に刷り込むことは困難である。

【００１６】［フィルム型使用法の欠点］フィルム型４
３を使用する場合、フィルム型４３の製作方法は、ガラ
ス型３０の場合より比較的容易であり、また、量産向き
でもあるという利点がある。また、型材４５が樹脂材で
あるから、ガラス型３０の場合よりも離型性が良いとい
う利点もある。

【００１７】しかしながら、フィルム型４３を使用した
方法の場合、フィルム型４３でガラス基板４７上にバリ
アリブペースト４８を転写するのみであり、この状態で
バリアリブペースト４８を硬化させないため、フィルム
型４３の剥離時に、ガラス基板４７上に転写形成したバ
リアリブ５が欠損しやすいという欠点がある。ここで、
バリアリブペースト４８を紫外線等により硬化させない
のは、フィルム型４３がフィルム４０及び樹脂の型材４
５で形成されているので、耐熱性が悪いためと思われ
る。

【００１８】また、フィルム型４３の基材がフィルム材
で柔らかいため、微細な型形状精度が狂いやすいという
欠点もある。

【００１９】また、バリアリブ５の上述した形状及び寸
法から、フィルム型４３の溝は深さ0.2 ｍｍ、幅0.12〜
0.16ｍｍと微細の上、数百ｍｍ〜１０００ｍｍ以上と長
いため、多数の溝内にバリアリブペースト４８を途中に
抜けなく、安定に刷り込むことは困難である。

【００２０】［シリコンシート型使用法の欠点］硬化シ
リコンシート型２４０を使用する場合、バリアリブ材料
２４５との離型性は比較的良いが、マスタ金型２３１か
ら転写された溝部形状が変化し易いという欠点があり、
数回の使用で溝部形状の変化により離型性が悪化し、完
全な離型ができなくなり易い。

【００２１】また、硬化シリコンシート型２４０にバリ
アリブ材料２４５を流し込んだ後、ガラス基板２４６を
重ねて加圧した状態で所定時間、所定温度で加熱し、バ
リアリブ材料２４５が多少とも半硬化状態になったした
後、硬化シリコンシート型２４０からガラス基板２４６
を剥離するため、バリアリブ材料２４５が完全にはガラ
ス基板２４６に接着せず、溝部からバリアリブ材料２４
５を離型できない場合も発生することがある。

【００２２】［有機材料型使用法の欠点］有機材料（Ｐ
ＥＴフイルム）型２０７を使用して、離型せずに、有機
材料型２０７を燃焼する方法の場合、バリアリブ材料２
０８を溝部（空間）２１３から離型する必要がないの
で、完全な離型が行えるという利点がある。

【００２３】しかし、この有機材料型２０７は、フイル
ムを張り合わせて製作するとのことであるが、有機材料
型２０７の具体的な作製方法は特開平10−208628号公報
に記載されてなく、例えば５０インチサイズといった大
きなＰＤＰ製造において、大きく且つ燃焼可能な有機材
料型２０７をどのように加工し、バリアリブを形成する
か不明である。

【００２４】本発明は、上述のような従来技術に鑑み、
精度の良いバリアリブを離型性良く、簡便で迅速且つ安
定して製造し得る方法を提供することを目的とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明では下記の方法に
より上記課題を解決する。

【００２６】請求項１に係る発明は、バリアリブを基板
上に製造する方法において、表面の凹凸部をその凹凸形
状に沿って剥離用のフイルムで覆ったバリアリブ成形型
を用い、該バリアリブ成形型の凹部にバリアリブ材料を
刷り込み、バリアリブ材料が刷り込まれた表面に基板を
密着させ、紫外線等の照射にてバリアリブ材料を硬化さ
せ、硬化したバリアリブ材料を基板とともにバリアリブ
成形型から剥離し、焼成してバリアリブを形成すると共
に、バリアリブに残存するフイルムを該焼成により燃焼
消去することを特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００２７】請求項２に係る発明は、請求項１におい
て、表面に凹凸部が形成された基本型と、該基本型とは
逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、更に、前記フイ
ルムとして片面に接着性を有するフイルムを用い、該接
着面を基本型の表面に向けて前記フイルムを基本型と加
圧型の間に挟み、基本型と加圧型を嵌合させ、その後、
加圧型を外すことにより、前記バリアリブ成形型を作製
することを特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００２８】請求項３に係る発明は、請求項１におい
て、表面に凹凸部が形成された基本型と、該基本型とは
逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記フイルムと
基本型に互いに逆極性の静電気を帯電して両者を静電引
力により吸着し、この状態で基本型と加圧型を嵌合さ
せ、加圧型を外した後、静電気を放電することにより、
前記バリアリブ成形型を作製することを特徴とするバリ
アリブ製造方法である。

【００２９】請求項４に係る発明は、請求項１におい
て、表面に凹凸部が形成された基本型と、該基本型とは
逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記フイルムと
加圧型に同極性の静電気を帯電して両者を静電斥力によ
り離反させ、この状態で基本型と加圧型を嵌合させ、加
圧型を外した後、静電気を放電することにより、前記バ
リアリブ成形型を作製することを特徴とするバリアリブ
製造方法である。

【００３０】請求項５に係る発明は、バリアリブを基板
上に製造する方法において、バリアリブ形状に対応した
凹凸型を樹脂材で形成してバリアリブ成形型とし、該バ
リアリブ成形型の凹部にバリアリブ材料を刷り込み、バ
リアリブ材料が刷り込みまれた表面に基板を密着させ、
紫外線等の照射にてバリアリブ材料を硬化させ、その
後、バリアリブ成形型を加熱して軟化させ、軟化したバ
リアリブ成形型をバリアリブ材料及び基板から剥離する
ことを特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００３１】請求項６に係る発明は、請求項５におい
て、前記バリアリブ材料として、紫外線等により連鎖硬
化する光硬化型エポキシ樹脂組成物が添加されたペース
ト状材料を用い、このペースト状バリアリブ材料を加圧
とバキューム吸引によりバリアリブ成形型に刷り込むこ
とを特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００３２】請求項７に係る発明は、バリアリブを基板
上に製造する方法において、バリアリブ形状に対応した
凹凸型をセルロイド材で形成してバリアリブ成形型と
し、該バリアリブ成形型の凹部にバリアリブ材料を刷り
込み、バリアリブ材料が刷り込まれた表面に基板を密着
させ、紫外線等の照射にてバリアリブ材料を硬化させ、
その後、バリアリブ成形型を酢酸エチルにより軟化さ
せ、軟化したバリアリブ成形型をバリアリブ材料及び基
板から剥離することを特徴とするバリアリブ製造方法で
ある。

【００３３】請求項８に係る発明は、請求項７におい
て、表面に凹凸部が形成されたひな型と、該ひな型とは
逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型の凹凸部に
酢酸エチルを付着し、この状態でひな型と加圧型の間に
前記セルロイド材を挟み、ひな型と加圧型を嵌合させ、
その後、加圧型を外し、ひな型からセルロイド材を剥離
することにより、前記バリアリブ成形型を作製すること
を特徴とするバリアリブ製造方法である。

【００３４】請求項９に係る発明は、請求項７におい
て、表面に凹凸部が形成されたひな型と、該ひな型とは
逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型の表面に前
記セルロイド材を載せ、該セルロイド材に酢酸エチルを
付着し、この状態でひな型と加圧型を嵌合させ、その
後、加圧型を外し、ひな型からセルロイド材を剥離する
ことにより、前記バリアリブ成形型を作製することを特
徴とするバリアリブ製造方法である。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態例を説明する。

【００３６】［実施形態例１：隔離用フイルム被覆バリ
アリブ成形型の使用］図１、図２を参照して、本発明に
係るバリアリブ製造方法の実施形態例１として、剥離用
のフイルム３０３で凹凸部がその形状に沿って覆われた
バリアリブ成形型３０１を使用する例を説明する。図
１、図２はいずれも断面図を示している。

【００３７】本例では、基本型３０１ａとフイルム３０
３と加圧型３０２を用いてバリアリブ成形型３０１を作
製し、このバリアリブ成形型３０１を用いてバリアリブ
３０８を製造する。

【００３８】フイルム３０３はバリアリブ焼成時にその
時の温度で燃焼して消去されるものであれば、特に材料
の制限はない。また、フイルム３０３は薄いものであれ
ば使用でき、バリアリブが高さ０．２ｍｍ、幅０．０４
〜０．０８ｍｍ程度であれば、厚さは例えば５〜１０μ
ｍ程度とされる。

【００３９】更に、この例のフイルム３０３は基本型３
０１ａにのみ接着させるべく、図１（ａ）に示すよう
に、片面３０３ａのみに接着性を有している。

【００４０】基本型３０１ａと加圧型３０２の溝形状の
凹凸は嵌合できるように、互いに逆形状となっており、
更に、実際のバリアリブの寸法に対し、フイルム３０３
の厚さ分を考慮した凹凸寸法となっている。

【００４１】基本型３０１ａと加圧型３０２はともに、
精密に加工された金属型であっても、樹脂材やその他の
材料で形成されたものであっても、または、特願平10−
228979号で発明者が提案した「リソグラフィーとＮｉメ
ッキ法」を利用したＮｉメッキ型でも良く、精度を保つ
ことができる型であれば何でも良い。

【００４２】ここで、リソグラフィーとＮｉメッキ法を
利用して基本型３０１ａ及び加圧型３０２を形成する場
合は、例えば、基材上にレジスト材や軟質材等からなる
型材を所定厚さで塗布し、この型材の上に所定間隔（バ
リアリブの間隔に相当）でマスクパターンを複数貼り付
け、型材及びマスクパターンに対して紫外線を照射した
後に洗浄する。これにより、マスクパターンで保護され
ない部分の型材は除去され、保護された部分の型材は縦
壁となって残存し、この間に溝ができる。次に、基材及
び残存型材（縦壁）の上方から、所定厚さのニッケルメ
ッキが得られるまで、ニッケルメッキ処理を施す。その
後、電解エッチング処理を施して、残存型材（縦壁）を
溶融除去する。これにより、基材上にニッケルメッキに
より形成された型が作製される。この型は、高精度、高
強度、低コスト、製作容易、繰り返し使用可能等の利点
がある。また、ニッケルメッキ処理に用いるニッケル内
にアクリル材やテフロン材等の樹脂を分散させたものを
用いることにより、より精巧で堅牢となり、離型性の良
い基本型３０１ａあるいは加圧型３０２が得られ、耐久
性が向上する。

【００４３】まず、図１（ａ）に示すように、接着面３
０３ａを基本型３０１ａの凹凸表面に向けてフイルム３
０３を基本型３０１ａに載せ、フイルム３０３を挟んで
加圧型３０２を基本型３０１ａに押し付け加圧する。

【００４４】このとき、基本型３０１ａと加圧型３０２
の溝形状の凹凸は逆形状であり、また、凹凸がフイルム
３０３の厚さ分考慮した寸法になっており、更に、フイ
ルム３０３の基本型３０１ａ側の面３０３ａは接着性を
有していることから、図１（ｂ）に示すように、フイル
ム３０３は加圧時に基本型３０１ａにその凹凸形状に応
じて接着し、これを覆うことになる。

【００４５】加圧後、図１（ｃ）に示すように、加圧型
３０２を基本型３０１ａから剥がすと、フイルム３０３
は基本型３０１ａの凹凸部に倣って成形され、更に、接
着効果によって基本型３０１ａに接着している。

【００４６】かくして、表面の凹凸部がその凹凸形状に
沿ってフイルム３０３で覆われたバリアリブ成形型３０
１が得られる。なお、バリアリブ成形型の溝方向両端は
閉じられている。

【００４７】次に、図２（ａ）に示すように、フイルム
３０３の上からバリアリブ成形型３０１の溝部に、紫外
線硬化するバリアリブ材料３０６を刷り込み、ガラス基
板３０５を押し付け加圧して、接着させる。

【００４８】この状態（図２（ａ）の状態）で、ガラス
基板３０５の側から紫外線を照射し、バリアリブ材料３
０６を紫外線硬化させる。紫外線照射は例えば、５ＫＷ
で１分程度で良い。

【００４９】バリアリブ材料３０６が硬化したら、図２
（ｂ）に示すように、ガラス基板３０５とバリアリブ成
形型３０１とを分離させる。

【００５０】この分離において、硬化したバリアリブ材
３０７は、ガラス基板３０５に強固に接着しており、ま
た、フイルム３０３によってバリアリブ成形型３０１の
基本型３０１ａから隔離されているので、バリアリブ成
形型３０１から容易に完全に離型できる。

【００５１】そして、硬化したバリアリブ材３０７をガ
ラス基板３０５とともに例えば５６０°Ｃ程度で焼成す
る。これにより、図２（ｃ）に示すように、焼成された
バリアリブ３０８を得る。

【００５２】但し、フイルム３０３は熱に弱いので、紫
外線照射による熱で、図２（ｂ）に３０４で示すように
部分的に剥離し、基本型３０１ａや硬化したバリアリブ
材３０７に付着している

【００５３】そこで、バリアリブ成形型３０１について
は、フイルム３０３が燃焼する温度に加熱し、残存した
フイルム３０４を燃焼して消去させる。あるいは、バリ
アリブ成形型３０１に残存したフイルム３０３を化学薬
品処理で除去しても良い。これによって得られた基本型
３０１ａは、バリアリブ成形型３０１の作製に再利用す
ることができる。

【００５４】一方、硬化したバリアリブ材３０７に付着
したフイルム３０４は、前述した焼成工程において例え
ば５６０°Ｃ程度に加熱されるため燃焼し、図２（ｃ）
に示すように、消滅する。

【００５５】以上説明したバリアリブ製造方法によれ
ば、バリアリブ材料３０６とバリリブ成形型３０１との
間では、バリアリブ材料３０６が基本３０１ａに直接接
することがないので、両者が接着することがなく、よっ
て完全な離型が行われる。

【００５６】なお、紫外線等で硬化するバリアリブ材料
３０６、及び、バリアリブ材料３０６の刷り込み方法に
ついては、後述する。

【００５７】［実施形態例２：バリアリブの形状例］図
３に本発明が対象とするバリアリブの形状例を示す。図
３（ａ）は実施形態例１で説明した台形状のバリアリブ
３０８の例を示し、同図（ｂ）は矩形状のバリアリブ３
０９の例を示し、同図（ｃ）三角形状のバリアリブ３１
０の例を示している。同図（ｄ）は形状にかかわらず、
ピッチや高さが異なっているバリアリブ３１１の例を示
している。

【００５８】［実施形態例３：バリアリブ成形型３０１
の他の作製例］次に、図４、図５を参照して、フイルム
３０３が接着面を何も持たない場合について、剥離用フ
イルム被覆バリアリブ成形型３０１を作製する方法を説
明する。図４、図５はいずれも断面図を示している。

【００５９】まず、図４に示す第１例を説明する。図４
（ａ）に示すように、基本型３０１ａとフイルム３０３
の互いに向き合う面に異なる極性（プラスとマイナス、
または、マイナスとプラス）の静電気を帯電させ、静電
引力によりフイルム３０３を基本型３０１ａに吸着させ
る。

【００６０】この際、基本型３０１ａとフイルム３０３
は絶縁性の材料で作ったものが好ましい。

【００６１】この状態で、図４（ｂ）に示すように、基
本型３０１ａと加圧型３０２を加圧して嵌合させる。

【００６２】その後、図４（ｃ）に示すように、加圧型
３０２を基本型３０１ａから外す。この際、フイルム３
０３が基本型３０１ａに静電引力により吸着されている
ので、加圧型３０２にはフイルム３０３が付着しない。
加圧型３０２を外した後、基本型３０１ａとフイルム３
０３の静電気を放電する。

【００６３】次に、図５に示す第２例を説明する。図５
（ａ）に示すように、加圧型３０２とフイルム３０３の
互いに向き合う面に同極性（プラスとプラス、または、
マイナスとマイナス）の静電気を帯電させ、静電斥力に
よりフイルム３０３を加圧型３０２から離反させる。

【００６４】この際、加圧型３０２とフイルム３０３は
絶縁性の材料で作ったものが好ましい。

【００６５】この状態で、図５（ｂ）に示すように、基
本型３０１ａと加圧型３０２を加圧して嵌合させる。

【００６６】その後、図５（ｃ）に示すように、加圧型
３０２を基本型３０１ａから外す。この際、フイルム３
０３が加圧型３０２から静電引力により離反するので、
加圧型３０２にはフイルム３０３が付着しない。加圧型
３０２を外した後、加圧型３０２とフイルム３０３の静
電気を放電する。

【００６７】かくして、フイルム３０３が接着面を何も
持たない場合でも、表面の凹凸部がその凹凸形状に沿っ
てフイルム３０３で覆われたバリアリブ成形型３０１が
得られる。

【００６８】［実施形態例４：樹脂材製バリアリブ成形
型の使用］次に、図６、図７を参照して、バリアリブ成
形型４０３に樹脂材４０２を使用した場合のバリアリブ
製造方法の例を説明する。図６、図７はいずれも断面図
を示している。

【００６９】まず、図６（ａ）に示すように、ひな型４
０１と、樹脂材４０２及び補強板４０４とを用意する。
樹脂材４０２と補強板４０４は接着材で接着されてい
る。

【００７０】ひな型４０１は溝部（凹部）と凸部を多数
備えており、実際のバリアリブ形状とほぼ一致した形状
となっている。ひな型４０１の形成は、機械加工による
方式でも良いし、前述の「リソグラフィーとＮｉメッキ
法」を利用したＮｉメッキ型でもよい。また、これら以
外の方式でも精度よく加工でき、強度のある型であれば
何ら問題ない。

【００７１】このようなひな型４０１に、図６（ｂ）に
示すように、樹脂材４０２を重ね、加圧してひな型４０
１の凹凸形状を樹脂材４０２に転写する。このとき、適
宜、樹脂材４０２を加熱して柔らかくして、加圧・鍛造
すると良い。

【００７２】その後、図６（ｃ）に示すように、ひな型
４０１から樹脂材４０２を離型させ、凹凸形状が形成さ
れたバリアリブ成形型４０３を得る。

【００７３】ここで、樹脂材４０２としては、型取り用
に開発され、市販されているシリコン材（例えば、東芝
シリコン（株）等の液状タイプのシリコン、東レ（株）
のシートタイプのシリコン）が適している。但し、これ
に限らず、凹凸の転写性が良い樹脂材であれは、何でも
良い。

【００７４】樹脂材製バリアリブ成形型４０３（補強板
４０４付き）が完成したら、図７（ａ）に示すように、
このバリアリブ成形型４０３の溝部にバリアリブ材料３
０６を刷り込み、その上にガラス基板３０５を載せてセ
ットする。

【００７５】この状態で、紫外線照射によりバリアリブ
材料３０６を硬化させる。

【００７６】この紫外線硬化により、図７（ｂ）に示す
ように、ガス基板３０５上に強固に接着したバリアリブ
材料３０７が得られる。

【００７７】この硬化時に、紫外線照射による発生熱で
バリアリブ成形型４０３と補強板４０４間の接着剤が接
着性能を失い、図７（ｂ）に示すように、バリアリブ成
形型４０３と補強板４０４が互いに剥離する。

【００７８】一方、硬化したバリアリブ材料３０７にく
っついているバリアリブ成形型４０３を適宜な手段で加
熱する。この加熱により、バリアリブ成形型４０３は図
７（ｃ）に示すように軟化し、接着性能が消滅したバリ
アリブ成形型４０３ａとなるので、バリアリブ材料３０
７から自然剥離といえるように容易に離型できる。ここ
での加熱温度は、使用する樹脂材４０２により異なる
が、樹脂材４０２が軟化開始する温度以上、例えば、２
００°Ｃから３６０°Ｃ程度で良い。

【００７９】ガラス基板３０５に形成されたバリアリブ
材３０７は焼成処理され、図７（ｄ）に示すように、バ
リアリブ３０８となる。

【００８０】軟化したバリアリブ成形型４０３ａから剥
離した補強板４０４は洗浄し、次回のバリアリブ成形型
の作製に使用することができる。軟化したバリアリブ成
形型４０３ａは廃却とする。

【００８１】このように樹脂材製バリアリブ成形型４０
３を使用したバリアリブ製造方法では、バリアリブ成形
型４０３とバリアリブ材３０７とを強制的に無理やり剥
離するのではなく、加熱による軟化で自然剥離させるの
で、従来法で発生していたバリアリブの剥がれ等、離型
の失敗を解消することができ、精細なバリアリブを形成
できる。

【００８２】また、樹脂材製バリアリブ成形型４０３を
使用すると、変形性があるため、ガラス基板３０５が平
坦さを若干欠いた場合でも、これに追従して良く密着性
する。

【００８３】［実施形態例５：セルロイド製バリアリブ
成形型の使用］次に、図８、図９を参照して、セルロイ
ド材５０２をバリアリブ成形型５０３に使用した場合の
バリアリブ製造方法の例を説明する。図８、図９はいず
れも断面図を示している。

【００８４】まず、図８（ａ）に示すように、ひな型５
０１と、セルロイド材５０２及びその補強板５０４を用
意する。セルロイド材５０２と補強板５０４は接着材に
より接着している。

【００８５】ひな型５０１は先のひな型４０１と同様、
溝部（凹部）と凸部を多数備えており、実際のバリアリ
ブ形状とほぼ一致した形状となっている。ひな型５０１
の形成も、機械加工による方式でも良いし、前述の「リ
ソグラフィーとＮｉメッキ法」を利用したＮｉメッキ型
でもよい。また、これら以外の方式でも精度よく加工で
き、強度のある型であれば何ら問題ない。

【００８６】このようなひな型５０１の凹凸部表面に、
図８（ａ）に示すように、酢酸エチル５０５を付着させ
る。この酢酸エチル５０５の付着は、塗布や、酢酸エチ
ル槽にひな型５０１を浸すこと等により、達成すること
ができる。

【００８７】そして、酢酸エチル５０５が蒸発しきらな
い内に、図８（ｂ）に示すように、ひな型５０１にセル
ロイド材５０２を重ねて加圧する。このとき、セルロイ
ド材５０２が酢酸エチル５０５により軟化するので、軟
化したセルロイド材５０２にひな型５０１の凹凸形状が
良好に転写する。

【００８８】あるいは、ひな型５０１の凹凸部表面にセ
ルロイド材５０２を重ね、この状態で、セルロイド材５
０２の上に酢酸エチル５０５を塗布等により付着させ、
酢酸エチル５０５が蒸発しきらない内に、ひな型５０１
上にセルロイド材５０２を加圧する。この場合にも、セ
ルロイド材５０２が酢酸エチル５０５により軟化するの
で、軟化したセルロイド材５０２にひな型５０１の凹凸
形状が良好に転写する。

【００８９】いずれの場合も、加圧後、図８（ｃ）に示
すように、ひな型５０１からセルロイド材５０２を離型
するこにより、凹凸形状が転写形成されたセルロイド材
製バリアリブ成形型５０３を得る。

【００９０】セルロイド材製バリアリブ成形型５０３
（補強板５０４付き）が完成したら、図９（ａ）に示す
ように、このバリアリブ成形型５０３の溝部にバリアリ
ブ材料３０６を刷り込み、その上にガラス基板３０５を
載せてセットする。

【００９１】この状態で、紫外線照射によりバリアリブ
材料３０６を硬化させる。

【００９２】この紫外線硬化により、図９（ｂ）に示す
ように、ガス基板３０５上に強固に接着したバリアリブ
材料３０７が得られる。

【００９３】この硬化時に、紫外線照射による発生熱で
バリアリブ成形型５０３と補強板５０４間の接着剤が接
着性能を失い、図９（ｂ）に示すように、バリアリブ成
形型５０３と補強板５０４が互いに剥離する。

【００９４】一方、硬化したバリアリブ材料３０７にく
っついているバリアリブ成形型５０３には酢酸エチル５
０５を付着させる。このとき、セルロイド材製のバリア
リブ成形型５０３は酢酸エチル５０５により、図９
（ｃ）に示すように軟化し、接着性能が消滅したバリア
リブ成形型５０３ａとなるので、酢酸エチル５０５が蒸
発しきらない内であれば、バリアリブ材料３０７から自
然剥離といえるように容易に離型できる。酢酸エチル５
０５の付着は、塗布や、バリアリブ成形型５０３を酢酸
エチル槽に浸すこと等により、達成することができる。

【００９５】ガラス基板３０５に形成されたバリアリブ
材３０７は焼成処理されて、図９（ｄ）に示すように、
バリアリブ３０８となる。

【００９６】剥離した補強板５０４は洗浄し、次回のバ
リアリブ成形型作製に使用することができる。軟化した
バリアリブ成形型５０３ａは酢酸エチル５０５の蒸発
後、変形したまま硬化するが、廃却とする。

【００９７】このようにセルロイド材製のバリアリブ成
形型５０３を使用したバリアリブ製造方法では、バリア
リブ成形型５０３とバリアリブ材３０７とを強制的に無
理に剥離するのではなく、酢酸エチルによる軟化で自然
剥離させるので、従来法で発生していたバリアリブの剥
がれ等、離型の失敗を解消することができ、精細なバリ
アリブを形成できる。また、セルロイド材製のバリアリ
ブ成形型５０３は精細な凹凸形状を正確に転写できる。

【００９８】［実施形態例６：バリアペースト刷込み方
法の例］次に、図１０〜図１３を参照して、バリアペー
ストの刷込み方法の例を説明する。

【００９９】この例では、バリアリブ材料として、ガラ
ス粉末とセラミック粉末をベースに、紫外線等により連
鎖硬化する光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加したペー
スト状材料を使用するものとする。以下、この種のバリ
アリブ材料をバリアリブペーストと呼ぶ。

【０１００】例えば、ガラス粉末とセラミック粉末に紫
外線硬化溶剤を２０パーセント位入れて練ったものをバ
リアリブペーストとして使用する。このようにガラスと
セラミック粉末をベースに、紫外線等の光により連鎖硬
化する光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加したバリアリ
ブペーストを使用する場合は、バリアリブペーストが未
硬化の状態でバリアリブ成形型に刷り込み、光硬化させ
てバリアリブを強化してから、離型すると良い。

【０１０１】以下の例で使用するバリアリブ成形型６５
は、実施形態例１または実施形態例３で製作使用した剥
離用フイルム被覆のバリアリブ成形型３０１、あるい
は、実施形態例４で製作使用した樹脂材製のバリアリブ
成形型４０３、あるいは、実施形態例５で製作使用した
セルロイド材製のバリアリブ成形型５０３であり、これ
らのバリアリブ成形型３０１、４０３、５０３を総称し
てバリアリブ成形型６５と呼ぶ。６６はバリアリブ成形
型６５に形成されたバリアリブに対応する溝部（凹部）
である。

【０１０２】まず、図１０に示すように、バリアリブ成
形型６５の上に密着してバリアリブペースト刷込み装置
８０をセットする。バリアリブペースト刷込み装置８０
の一端（図では左端）には、バリアリブ成形型６５の上
に密着してガラス基板３０５をセットする。

【０１０３】バリアリブペースト刷込み装置８０には、
バリアリブペースト８５を加圧充填するバリアリブペー
スト加圧室８５ａが備えられ、このバリアリブペースト
加圧室８５ａより基端側に、バリアリブペースト８５を
バキューム吸引するバリアリブペースト吸引部分８２が
備えられている。

【０１０４】このような構成で行うバリアリブペースト
の刷込み工程を以下説明する。

【０１０５】図１０は刷込み開始時の状態を示してお
り、バリアリブ成形型６５の溝部６６の一端（左先端）
に、バリアリブペースト加圧室８５ａ下面の吐出孔（刷
込み部）が接するようにバリアリブペースト刷込み装置
８０を配置する。ここでバリアリブペースト刷込み装置
８０とガラス基板３０５はバリアリブ成形型６５に密着
している。

【０１０６】図１１（ａ）は、図１０の刷込み開始時の
状態で、圧力Ｐ１で加圧しながら、他方で負圧ｑ１でバ
キューム吸引を開始した状態を示しており、バリアリブ
ペースト８５はバリアリブ成形型６５の各溝内に刷込ま
れる。符号７５は、刷り込まれたバリアリブペーストを
示す。

【０１０７】図１１（ｂ）はバリアリブ成形型６５を左
方へ移動開始した状態であり、溝部６６内に刷込まれた
バリアリブペースト８５が溝部６６内に残る様子を示し
ている。

【０１０８】図１２はバリアリブ成形型６５の移動を更
に進めた状態であり、バリアリブペースト刷込み装置８
０の下部分では、バリアリブペースト８５がバキューム
吸引部分８２まで刷り込まれた状態を保持しつつ、刷り
込みが進行する様子を示している。

【０１０９】ここで、加圧だけの場合は圧力が大き過ぎ
るとバリアリブペーストが漏れて吹き出たり、バキュー
ム吸引だけの場合は溝の途中でバリアリブペーストが途
切れて抜けが生じたりするが、加圧とバキューム吸引し
ながらバリアリブペースト８５を刷り込むことにより、
これらの問題ががなくなる。バキューム吸引の負圧ｑ１
は略真空で良く、加圧力はＰ１はバリアリブペーストが
漏れ出ない程度に抑えると良い。例えば、加圧力Ｐ１：
負圧ｑ１＝２：１等とされる。

【０１１０】図１３を参照して、バリアリブペースト８
５の刷込み長さＬを説明する。図１３（ａ）において、
バリアリブ成形型６５に設けた溝部６６にバリアリブペ
ーストを刷り込むが、溝部表面をガラス基板３０５で密
閉した状態で、加圧力Ｐ１およびバキューム圧力ｑ１を
作用させるため、この溝６６内に刷込まれる長さＬは、
下式（１）に示す計算式で求められる。（Ｐ１−ｑ１）δ₁・δ₂＝τ×２（δ₁ ＋δ₂ ）×ＬＬ＝ΔＰ・δ₁・δ₂／（τ×2(δ₁ ＋δ₂ ）） …式(1) ここで、τはバリアリブペーストの粘性抵抗、ΔＰは加
圧力Ｐ１とバキューム圧力ｑ１の差圧である。また、δ
₁ とδ₂ は図１３（ｂ）に示すように、それぞれ溝部６
６の縦寸法と横寸法である。

【０１１１】式（１）より、刷込み長さＬは、差圧ΔＰ
と溝寸法δ₁ 、δ₂ が大きく、バリアリブペーストの粘
性抵抗τが小さい程、バリアリブペーストを長く刷り込
める。しかし、溝６６の寸法・形状はバリアリブ形状が
決まっているため、容易には変更できない。そのため、
条件調整が可能な差圧ΔＰを利用する。つまり、加圧し
ながら他方でバキューム吸引することにより、差圧ΔＰ
を大きくすることにより、刷込み長さＬを長くしてい
る。

【０１１２】［実施形態例７：バリアリブペースト刷込
み装置の例１］図１４にバリアリブペースト刷込み装置
の第１例８０ａを示す。図１４（ａ）は側面断面図、同
図（ｂ）はかきとり部を拡大して示す断面図である。バ
リアリブ成形型６５の溝６６部分の表面に、ガラス基板
３０５を押し付けながらバリアリブペースト刷込み装置
８０ａをセットする。１１０はバリアリブ成形型６５の
ホルダーである。

【０１１３】このバリアリブペースト刷込み装置８０ａ
のバリアリブペースト加圧室８５ａには、図１４（ａ）
に示すように、バリアリブペースト供給装置９２があ
り、バリアリブペースト８５を加圧装置９０、具体的に
は空気袋（エアバッグ）で加圧供給する機構となってい
る。空気袋（バリアリブペースト加圧装置）９０は上方
からばねで抑えられ、適宜な加圧兼減圧機（図示省略）
に接続されている。

【０１１４】また、バリアリブペースト刷込み装置８０
ａの図示右側（バリアリブ成形型６５の移動方向後寄
り）には、バリアリブ成形型６５の溝６６からバリアリ
ブペースト８５をバキューム吸引するためのバキューム
室８２及び吸引孔８３と吸引ホース８３ａが設けられて
いる。バキューム室８２は装置下面に開口し、吸引孔８
３に連通している。吸引孔８３は吸引ホース８３ａを介
して吸引機（図示省略）に接続されている。

【０１１５】バリアリブペースト刷込み装置８０ａは溝
６６の配列方向（紙面に直角方向）に長い。これに伴
い、バリアリブペースト加圧室８５ａの下面には、多数
の溝６６部分に接するように長孔（幅は、例えば１ｍｍ
程度）が明けられている。また、吸引孔８３も、バリア
リブペースト加圧室８５ａと同じ多数の溝６６部分に接
するように長孔（幅は、例えば１ｍｍ程度）が明けられ
ている。

【０１１６】この空気袋（バリアリブペースト加圧装
置）９０とバリアリブペースト吸引装置（８２、８３、
８３ａ及び吸引機）により、バリアリブペースト供給装
置９２内のバリアリブペースト８５をバリアリブ成形型
６５の多数の溝６６に刷り込む。その際、バリアリブ成
形型６５を移動させながら、順次刷り込みを行う。

【０１１７】上記構造のバリアリブペースト刷込み装置
８０ａにより、基本的には、バリアリブペースト８５は
溝６６のみに刷り込まれる。

【０１１８】しかし、バリアリブ成形型６５の一部の凸
部にバリアリブペースト８５が付着することが考えられ
る。この場合の対策として、図１４（ｂ）に示すよう
に、付着したバリアリブペーストをかき取る装置とし
て、溝６６の配列方向（紙面に直角方向）に長いかき取
り板９４を、バリアリブペースト加圧室８５ａより前方
にて、バリアリブペースト刷込み装置８０ａに設けてあ
る。このかき取り板９４はバリアリブ成形型６５の凸部
に付着したバリアリブペーストをかき取るスクレーパで
あるから、かき取り板加圧装置９３により、かき取り板
９４の押し付け力を調整しながらかき取るようにしてあ
る。かき取られたバリアリブペーストは負圧等により、
隙間部９４ａから排出される。

【０１１９】更に、未硬化時のバリアリブペーストに気
泡等が混入しないように、バリアリブペースト刷込み装
置８０ａへのバリアリブペースト供給を無空気状態で行
なう構成としている。そのため、脱泡された状態でバリ
アリブペーストを貯蔵するバリアリブペースト補給タン
ク９５がバリアリブペースト刷込み装置８０ａに備えら
れ、バリアリブペースト供給装置９２内のバリアリブペ
ースト８５も脱泡されており、バリアリブペースト補給
タンク９５からバリアリブペースト供給装置９２に至る
バリアリブペーストの通路も空気から遮断されている。

【０１２０】また、バリアリブペースト８５は使用中に
減少してくるため、定期的に補給する必要がある。この
バリアリブペースト補給も無空気状態で行なう構成とし
ている。具体的には、バリアリブペースト補給装置はバ
リアリブペースト補給タンク９５、バルブ９１、バリア
リブペースト補給孔９６から構成されるが、補給方法の
詳細については後述する。

【０１２１】以上のように、バリアリブペースト８５を
加圧しながら溝６６内に押し込み、同時に他方からバキ
ューム吸引することによって、バリアリブペースト８５
がバリアリブ成形型６５の溝６６にスムーズに刷り込ま
れ、欠陥の無い良好な刷り込みが行なわれる。

【０１２２】［実施形態例８：バリアリブペースト刷込
み装置の例２］図１５にバリアリブペースト刷込み装置
の第２例として、回転型ローラ８８を使用した装置８０
ｂを示す。

【０１２３】このバリアリブペースト刷込み装置８０ｂ
では、バリアリブペースト加圧室８５ａ内の下部に、ス
ポンジ等の弾性材料で作製したローラ８８を回転可能に
備えている。ローラ８８は、バリアリブ成形型６５の溝
６６に対応して凹凸が形成されたものでも、このような
凹凸がないものでも良い。

【０１２４】ローラ８８はバリアリブ成形型６５の移動
方向と同方向または逆方向に回転される。

【０１２５】また、バリアリブペースト加圧室８５ａに
は、先のバリアリブペースト刷込み装置８０ａと同様、
バリアリブペースト供給装置９２があり、バリアリブペ
ースト８５を加圧装置９０、具体的には空気袋（エアバ
ッグ）で加圧供給する機構となっている。空気袋（バリ
アリブペースト加圧装置）９０は上方からばねで抑えら
れ、適宜な加圧兼減圧機（図示省略）に接続されてい
る。

【０１２６】また、バリアリブペースト刷込み装置８０
ｂの図示右側（バリアリブ成形型６５の移動方向後寄
り）には、バリアリブ成形型６５の溝６６からバリアリ
ブペースト８５をバキューム吸引するためのバキューム
室８２及び吸引孔８３が設けられている。また、装置後
部の下部に、シール材８９を配してある。バキューム室
８２は装置下面に開口し、吸引孔８３に連通している。
吸引孔８３は吸引ホース（図示省略）を介して吸引機
（図示省略）に接続されている。

【０１２７】更に、バリアリブペースト刷込み装置８０
ｂの左端には、ガラス基板３０５をバキュームにより保
持する保持装置１００を配してある。

【０１２８】バリアリブペースト刷込み装置８０ｂは溝
６６の配列方向（紙面に直角方向）に長い。これに伴
い、バリアリブペースト加圧室８５ａの下面には、多数
の溝６６部分に接するように長孔（幅は、例えば１ｍｍ
程度）が明けられている。また、吸引孔８３も、バリア
リブペースト加圧室８５ａと同じ多数の溝６６部分に接
するように長孔（幅は，例えば１ｍｍ程度）が明けられ
ている。

【０１２９】バリアリブペースト刷込み装置８０ｂも、
先のバリアリブペースト刷込み装置８０ａと同様、バリ
アリブ成形型６５の溝６６部分の表面に、ガラス基板３
０５を押し付けながらセットする。

【０１３０】上述したローラ８８と、空気袋（バリアリ
ブペースト加圧装置）９０と、バリアリブペースト吸引
装置（８２、８３、８３ａ及び吸引機）により、バリア
リブペースト供給装置９２内のバリアリブペースト８５
をバリアリブ成形型６５の多数の溝６６に刷り込む。そ
の際、バリアリブ成形型６５を移動させながら、順次刷
り込みを行う。

【０１３１】ここで、刷り込みは、回転するローラ８８
により行なわれ、加圧されたバリアリブペースト８５を
溝６６内に強制的に送り込み、慣らして刷込む。

【０１３２】上記構造のバリアリブペースト刷込み装置
８０ｂにより、基本的には、バリアリブペースト８５は
溝６６のみに刷り込まれる。また、このバリアリブペー
スト刷込み装置８０ｂでは、バリアリブペースト８５の
粘性が高い場合でも、回転刷り込み型のローラ８８で強
制的に且つ慣らして刷込めるため、確実な刷り込みが行
なえる。

【０１３３】しかし、このバリアリブペースト刷込み装
置８０ｂの場合も、バリアリブ成形型６５の一部の凸部
にバリアリブペースト８５が付着することが考えられ
る。この場合の対策として、図１５に示すように、溝６
６の配列方向（紙面に直角方向）に長いかき取り板９４
を、バリアリブペースト加圧室８５ａより前方にて、バ
リアリブペースト刷込み装置８０ｂに設けてある。この
かき取り板９４はバリアリブ成形型６５の凸部に付着し
たバリアリブペーストをかき取るスクレーパであるか
ら、かき取り板加圧装置９３により、かき取り板９４の
押し付け力を調整しながらかき取るようにしてある。か
き取られたバリアリブペーストは負圧等により、隙間部
９４ａから排出される。

【０１３４】更に、未硬化時のバリアリブペーストに気
泡等が混入しないように、バリアリブペースト刷込み装
置８０ｂへのバリアリブペースト供給を無空気状態で行
なう構成としている。そのため、脱泡された状態でバリ
アリブペーストを貯蔵するバリアリブペースト補給タン
ク９５がバリアリブペースト刷込み装置８０ｂに備えら
れ、バリアリブペースト供給装置９２内のバリアリブペ
ースト８５も脱泡されており、バリアリブペースト補給
タンク９５からバリアリブペースト供給装置９２に至る
バリアリブペーストの通路も空気から遮断されている。

【０１３５】また、バリアリブペースト８５は使用中に
減少してくるため、定期的に補給する必要がある。この
バリアリブペースト補給も無空気状態で行なう構成とし
ている。具体的には、バリアリブペースト補給装置はバ
リアリブペースト補給タンク９５、バルブ９１、バリア
リブペースト補給孔９６から構成されるが、補給方法の
詳細については後述する。

【０１３６】以上のように、バリアリブペースト８５を
加圧しながら溝６６内に押し込み、同時に他方からバキ
ューム吸引し、更にローラ８８で強制的に刷り込むこと
によって、バリアリブペースト８５がバリアリブ成形型
６５の溝６６にスムーズに刷り込まれ、欠陥の無い良好
な刷り込みが行なわれる。

【０１３７】［実施形態例９：バリアリブ成形型の溝内
のみへの刷込み方法の例］図１６〜図１８に、バリアリ
ブ成形型６５の溝６６のみに確実にバリアリブペースト
８５を刷込むための方法及び構造例を、バリアリブペー
スト刷込み部の拡大図として示す。図１６は平面断面
図、図１７は側面断面図、図１８は正面断面図を示す。

【０１３８】図１６〜図１８に示すように、バリアリブ
ペースト刷込み装置８０（バリアリブペースト刷込み装
置８０ａとバリアリブペースト刷込み装置８０ｂ両方）
のバリアリブペースト加圧室８５ａの下面に、バリアリ
ブ成形型６５の各溝６６のみに対応した刷込み孔８６を
形成したバリアリブペースト制限板材８４を設けてあ
る。バリアリブペースト８５はこの刷込み孔８６からバ
リアリブ成形型６５の溝６６のみに加圧供給され、溝６
６以外の凸部には付着し難い構成としてある。

【０１３９】ここで、バリアリブペースト制限板材８４
は溝６６の配列方向（紙面に直角方向）に長く、多数の
溝６６に対応して刷込み孔８６を多数形成してある。

【０１４０】本例では、制限板材カセット８１により、
バリアリブペースト制限板材８４をバリアリブペースト
加圧室８５ａの下面に取り付けている。また、制限板材
カセット８１をバリアリブペースト制限板材８４を補強
するための治具として用いてもいる。その理由は、バリ
アリブペースト制限板材８４に設ける刷込み孔８６が例
えば直径0.15ｍｍ以下と微細なため、通常の機械加工で
はバリアリブペースト制限板材８４が薄くないと加工で
きないので、本例では、薄いバリアリブペースト制限板
材８４を複数枚積層して用い、この積層物をバリアリブ
ペースト加圧室８５ａの下面に取り付けているためであ
る。

【０１４１】勿論、レーザ加工やエッチング処理等によ
り、１枚の厚いバリアリブペースト制限板材８４に微細
な刷込み孔８６を形成しても良い。

【０１４２】バリアリブペースト制限板材８４は必ずし
も用いる必要はない。

【０１４３】［実施形態例１０：バリアリブペーストの
補給方法の例］図１９に、常に脱泡されたエアー混入の
無いバリアリブペーストを補給するための方法及び構造
の例を断面図で示す。図１９（ａ）は加圧刷込み中の状
態図、同図（ｂ）は補給開始時の状態図、同図（ｃ）は
補給中の状態図を示す。

【０１４４】図１９（ａ）に示すものは、バリアリブペ
ースト制限板材８４を介してバリアリブペースト８５を
加圧装置９０で刷り込んでいる状況である。ここで加圧
装置９０としてエアバック等のようにエアーで膨らむ方
式のものを利用している。

【０１４５】加圧しながら刷り込むとき、バリアリブペ
ースト８５が所定値まで減少したら、これを適宜なセン
サで検出して、図１９（ｂ）に示すようにバルブ９１を
開き、バリアリブペースト補給タンク９５からバリアリ
ブペースト８５を流入しやすくする。

【０１４６】更に、バルブ９１の開きに同期して、図１
９（ｂ）、（ｃ）に示すようにエアバック等の加圧装置
９０を減圧させる。これにより，バリアリブペースト加
圧室８５ａに負圧が発生する。この負圧及びバリアリブ
ペースト補給タンク９５の圧力（自重を含む加圧）の作
用で、バリアリブペーストがバリアリブペースト補給タ
ンク９５から加圧室８５ａ内に補給する。所定量の補給
が完了したら、これを適宜なセンサで検出して、バルブ
９１を閉じ、補給経路を遮断した後、図１９（ａ）のよ
うに再び加圧装置９０で加圧しながら、他方でバキュー
ム吸引を行って、バリアリブペースト８５を刷り込む。

【０１４７】以上により、常にエアー混入の無い、脱泡
されたバリアリブペースト８５を供給でき、刷り込み精
度が向上する。

【０１４８】［実施形態例１１：量産可能なバリアリブ
製造装置の例］図２０と図２１に、量産可能としたバリ
アリブ製造装置の構成例を示す。図２０は刷込み開始時
の状態を示す側面図、図２１は刷込みが完了し、バリア
リブペーストを硬化している状態を示す側面図である。

【０１４９】まず、図２０において、装置構成を説明す
る。架台１２０にモータ１２２で駆動されるリニアガイ
ドシステム１２１を組み込んである。このリニアガイド
システム１２１に型ホルダ１１０を取り付け、バリアリ
ブ成形型６５をセットする。このバリアリブ成形型６５
上にバリアリブペースト刷込み装置８０（バリアリブペ
ースト刷込み装置８０ａ、バリアリブペースト刷込み装
置８０ｂのどちらでの良い）を密着させる。同時に、バ
リアリブ成形型６５上にガラス基板３０５が密着可能な
ように、ガラス基板受けガイド１０２上にガラス基板３
０５をセットし、ガラス基板保持装置１００で保持す
る。

【０１５０】バリアリブペースト刷込み装置８０には、
先の実施形態例で説明したバリアリブペースト加圧、吸
引、補給、かき取り用等の各装置が組み込まれている。

【０１５１】図２０の状態でバリアリブペーストの刷り
込みを開始するが、刷り込みながらバリアリブ成形型６
５をリニアガイドシステム１２１で図示左側に逐次移動
して行く。

【０１５２】バリアリブペーストをバリアリブ成形型６
５の溝６６に刷り込みながら、バリアリブ成形型６５は
移動し、図２１に示すように、図示左端まで移動して刷
り込み完了となる。

【０１５３】刷り込みが完了したら、バリアリブペース
ト刷込み装置８０は適宜な昇降装置により上昇してバリ
アリブ成形型６５から離れる。

【０１５４】その後、ガラス基板押え装置１０５に設け
てある押え治具１０１が適宜な昇降装置により下降し
て、図２１に示すように、ガラス基板３０５をバリアリ
ブ成形型６５に押し付け加圧する。

【０１５５】このようにガラス基板３０７を押し付け加
圧した状態で、バリアリブペースト硬化用装置、例えば
紫外線ランプ（ＵＶランプ）１０９等で、バリアリブペ
ーストを照射し、硬化させる。

【０１５６】ここで、バリアリブペーストにはガラスと
セラミックの粉末材をベースに、紫外線等により連鎖硬
化する光硬化型エポキシ樹脂組成物を添加して、ペース
ト状とした材料を使用しているのでバリアリブ成形型６
５内のバリアリブペーストは速やかに（例えば、５ＫＷ
の紫外線照射では、１分程度で）硬化する。

【０１５７】バリアリブペーストが硬化したのち、ガラ
ス基板押え装置１０５の押え治具１０１を開放し、ガラ
ス基板保持装置１００でガラス基板３０５を吸引しなが
ら、ガラス基板押え装置１０５を上昇させることによ
り、ガラス基板３０５はバリアリブ成形型６５から離れ
て上昇する。

【０１５８】この時、バリアリブ成形型６５の溝６６に
刷り込まれたバリアリブペーストは硬化しており、更
に、この硬化時にガラス基板３０５と密着していたの
で、ガラス基板３０５と接していた部分がガラス基板３
０５に強固に接着される。

【０１５９】そのため、バリアリブ成形型６５が実施形
態例１または３で示した剥離用フイルム被覆のバリアリ
ブ成形型３０１の場合は、ガラス基板３０５の上昇によ
り、バリアリブ成形型６５の溝６６内の硬化したバリア
リブペーストは、ガラス基板３０５と共にバリアリブ成
形型６５から剥離される。

【０１６０】バリアリブ成形型６５が実施形態例４で示
した樹脂材製バリアリブ成形型４０３または実施形態例
５で示したセルロイド材製バリアリブ成形型５０３の場
合は、ガラス基板３０５の上昇により、バリアリブ成形
型６５はその補強板４０４または５０４から剥離され、
硬化したバリアリブペーストと共に上昇する。

【０１６１】ガラス基板３０５の離型後、次のガラス基
板と交換し、リニアガイドシステム１２１を後退させ、
再び図２０のようにセットすることにより、以下同様の
工程を繰り返してバリアリブの量産が行なえる。

【０１６２】バリアリブ成形型とガラス基板３０５との
離型、剥離用フイルム被覆バリアリブ成形型３０１から
のフイルム除去、樹脂材製バリアリブ成形型４０３の加
熱による軟化、及び、セルロイド材製バリアリブ成形型
５０３の酢酸エチルによる軟化は、別のラインで適宜行
うようにしている。

【０１６３】本発明は、ＰＤＰのバリアリブに限ること
なく、各種のリブ製造に適用可能である。

【０１６４】

【発明の効果】請求項１に係る発明の方法によれば、表
面の凹凸部をその凹凸形状に沿って剥離用のフイルムで
覆ったバリアリブ成形型を用い、該バリアリブ成形型の
凹部にバリアリブ材料を刷り込み、バリアリブ材料が刷
り込まれた表面に基板を密着させ、紫外線等の照射にて
バリアリブ材料を硬化させ、硬化したバリアリブ材料を
基板とともにバリアリブ成形型から剥離し、焼成してバ
リアリブを形成すると共に、バリアリブに残存するする
フイルムを該焼成により燃焼消去するので、フイルムに
介在によりバリアリブの完全な離型が行われる。このよ
うに離型性が良いから、簡便で迅速且つ安定してバリア
リブを製造することができる。

【０１６５】請求項２に係る発明の方法によれば、請求
項１において、表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、更
に、前記フイルムとして片面に接着性を有するフイルム
を用い、該接着面を基本型の表面に向けて前記フイルム
を基本型と加圧型の間に挟み、基本型と加圧型を嵌合さ
せ、その後、加圧型を外すことにより、加圧型にフイル
ムが付着することなく、剥離用フイルム被覆のバリアリ
ブ成形型を容易に作製することができる。

【０１６６】請求項３に係る発明の方法によれば、請求
項１において、表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記
フイルムと基本型に互いに逆極性の静電気を帯電して両
者を静電引力により吸着し、この状態で基本型と加圧型
を嵌合させ、加圧型を外した後、静電気を放電するの
で、加圧型にフイルムが付着することなく、剥離用フイ
ルム被覆のバリアリブ成形型を作製することができる。

【０１６７】請求項４に係る発明の方法によれば、請求
項１において、表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記
フイルムと加圧型に同極性の静電気を帯電して両者を静
電斥力により離反させ、この状態で基本型と加圧型を嵌
合させ、加圧型を外した後、静電気を放電するので、加
圧型にフイルムが付着することなく、剥離用フイルム被
覆のバリアリブ成形型を作製することができる。

【０１６８】請求項５に係る発明の方法によれば、バリ
アリブ形状に対応した凹凸型を樹脂材で形成してバリア
リブ成形型とし、該バリアリブ成形型の凹部にバリアリ
ブ材料を刷り込み、バリアリブ材料が刷り込みまれた表
面に基板を密着させ、紫外線等の照射にてバリアリブ材
料を硬化させ、その後、バリアリブ成形型を加熱して軟
化させ、軟化したバリアリブ成形型をバリアリブ材料及
び基板から剥離するので、硬化したバリアリブ材料を強
制的に無理やり剥離しなくても、バリアリブ成形型の加
熱による軟化で自然剥離し、従来法で発生していたバリ
アリブの剥がれ等、離型の失敗を解消することができ、
精細なバリアリブを製造できる。また離型性が良いか
ら、簡便で迅速且つ安定してバリアリブを製造すること
ができる。

【０１６９】請求項６に係る発明の装置によれば、請求
項５において、前記バリアリブ材料として、紫外線等に
より連鎖硬化する光硬化型エポキシ樹脂組成物が添加さ
れたペースト状材料を用い、このペースト状バリアリブ
材料を加圧とバキューム吸引によりバリアリブ成形型に
刷り込むので、バリアリブ成形型の微細な溝内に途中で
抜けを生じることなく、安定且つ確実に、高い刷り込み
精度でバリアリブペーストを刷り込むことができ、バリ
アリブを高い精度で製造することができる。

【０１７０】請求項７に係る発明の装置によれば、バリ
アリブ形状に対応した凹凸型をセルロイド材で形成して
バリアリブ成形型とし、該バリアリブ成形型の凹部にバ
リアリブ材料を刷り込み、バリアリブ材料が刷り込まれ
た表面に基板を密着させ、紫外線等の照射にてバリアリ
ブ材料を硬化させ、、その後、バリアリブ成形型を酢酸
エチルにより軟化させ、軟化したバリアリブ成形型をバ
リアリブ材料及び基板から剥離するので、硬化したバリ
アリブ材料を強制的に無理やり剥離しなくても、バリア
リブ成形型の酢酸エチルによる軟化で自然剥離し、従来
法で発生していたバリアリブの剥がれ等、離型の失敗を
解消することができ、精細なバリアリブを製造できる。
また、離型性が良いから、簡便で迅速且つ安定してバリ
アリブを製造することができる。

【０１７１】請求項８に係る発明の装置によれば、請求
項７において、表面に凹凸部が形成されたひな型と、該
ひな型とは逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型
の凹凸部に酢酸エチルを付着し、この状態でひな型と加
圧型の間に前記セルロイド材を挟み、ひな型と加圧型を
嵌合させ、その後、加圧型を外し、ひな型からセルロイ
ド材を剥離するので、セルロイド材製のバリアリブ成形
型を容易に作製することができる。

【０１７２】請求項９に係る発明の装置によれば、請求
項７において、表面に凹凸部が形成されたひな型と、該
ひな型とは逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型
の表面に前記セルロイド材を載せ、該セルロイド材に酢
酸エチルを付着し、この状態でひな型と加圧型を嵌合さ
せ、その後、加圧型を外し、ひな型からセルロイド材を
剥離するので、セルロイド材製のバリアリブ成形型を容
易に作製することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態例１として、剥離用フイルム
被覆バリアリブ成形型を用いたバリアリブ製造方法の例
を示す図である。

【図２】図１に続いて、剥離用フイルム被覆バリアリブ
成形型を用いたバリアリブ製造方法の例を示す図であ
る。

【図３】本発明の実施形態例２として、バリアリブの形
状例を示す図である。

【図４】本発明の実施形態例３として、剥離用フイルム
被覆バリアリブ成形型の他の作製例を示す図である。

【図５】本発明の実施形態例３として、剥離用フイルム
被覆バリアリブ成形型の更に他の作製例を示す図であ
る。

【図６】本発明の実施形態例４として、樹脂材製バリア
リブ成形型を用いたバリアリブ製造方法の例を示す図で
ある。

【図７】図６に続いて、樹脂材製バリアリブ成形型を用
いたバリアリブ製造方法の例を示す図である。

【図８】本発明の実施形態例５として、セルロイド材製
バリアリブ成形型を用いたバリアリブ製造方法の例を示
す図である。

【図９】図８に続いて、セルロイド材製バリアリブ成形
型を用いたバリアリブ製造方法の例を示す図である。

【図１０】本発明の実施形態例６として、バリアリブペ
ースト刷込み方法の例を示す図である。

【図１１】図１０に続いて、バリアリブペースト刷込み
方法の例を示す図である。

【図１２】図１１に続いて、バリアリブペースト刷込み
方法の例を示す図である。

【図１３】バリアリブペースト刷込み長さを説明する図
である。

【図１４】本発明の実施形態例７として、バリアリブペ
ースト刷込み装置の例を示す図である。

【図１５】本発明の実施形態例８として、バリアリブペ
ースト刷込み装置の他の例を示す図である。

【図１６】本発明の実施形態例９として、バリアリブ成
形型の溝内のみへのバリアリブペースト刷込み方法の例
を示す図である。

【図１７】図１６に続いて、バリアリブ成形型の溝内の
みへのバリアリブペースト刷込み方法の例を示す図であ
る。

【図１８】図１７に続いて、バリアリブ成形型の溝内の
みへのバリアリブペースト刷込み方法の例を示す図であ
る。

【図１９】本発明の実施形態例１０として、バリアリブ
ペーストの補給方法の例を示す図である。

【図２０】本発明の実施形態例１１として、量産に適し
たバリアリブ製造装置の例を示す図である。

【図２１】本発明の実施形態例１１として、量産に適し
たバリアリブ製造装置の例を示す図である。

【図２２】ＰＤＰの構造例を示す図である。

【図２３】バリアリブの形状例を示す図である。

【図２４】従来のガラス型使用法を示す図である。

【図２５】従来のフィルム型使用法を示す図である。

【図２６】従来のフィルム型使用法を示す図である。

【図２７】従来のシリコンシート型使用法を示す図であ
る。

【図２８】従来の有機材料型使用法を示す図である。

【符号の説明】

５バリアリブ１０リア基板１１データ電極１２白色誘電体層１３蛍光層２０フロント基板２１保護層２２透明誘電体層２３透明電極３０ガラス型３１凹部３５バリアリブペースト３８ガラス基板４０フイルム４１凹部４２凸部４２ａ凹部４３フィルム型４５型材４７ガラス基板４８バリアリブペースト４９ブレード５０回転型５１、５２ライン保持ロール５３原料タンク５４型材塗布ロール５５硬化装置６５各種のバリアリブ成形型６６凹部（溝部）７５刷り込まれたバリアリブペースト８０バリアリブペースト刷込み装置８０ａバリアリブペースト刷込み装置８０ｂバリアリブペースト刷込み装置８１制限板材カセット８２バリアリブペースト吸引部分（バキューム室）８３吸引孔８３ａ吸引ホース８４バリアリブペースト制限板材８５バリアリブペースト８５ａバリアリブペースト加圧室８６刷込み孔８８回転型ローラ８９シール材９０バリアリブペースト加圧装置（空気袋）９１バルブ９２バリアリブペースト供給装置９３かき取り板加圧装置９４かき取り板９４ａ隙間部９５バリアリブペースト補給タンク９６バリアリブペースト補給孔１００ガラス基板保持装置１０１押え治具１０２ガラス基板受ガイド１０５ガラス基板押え装置１０９紫外線ランプ１１０バリアリブ成形型ホルダ１２０架台１２１リニアガイドシステム１２２モータ２０２基板２０３放電表示セル２０４バリアリブ２０５電極２０６電極パターン２０７有機材料成形型２０８バリアリブ材料２１３空間２１４凸部２３０可動盤２３１マスタ金型２３２半硬化シリコンシート２３３板状体２３５固定盤２３６微細溝２４０硬化シリコンシート成形型２４５バリアリブ材料２４６ガラス基板３０１剥離用フイルム被覆バリアリブ成形型３０１ａ基本型３０２加圧型３０３剥離用フイルム３０３ａ接着面３０４残存フイルム３０５ガラス基板３０６バリアリブ材料３０７硬化したバリアリブ材料３０８、３０９、３１０、３１１バリアリブ４０１ひな型４０２樹脂材４０３樹脂材製バリアリブ成形型４０３ａ軟化した樹脂材製バリアリブ成形型４０４補強板５０１ひな型５０２セルロイド材５０３セルロイド製バリアリブ成形型５０３ａ軟化したセルロイド材製バリアリブ成形型５０４補強板５０５酢酸エチル

フロントページの続き (72)発明者飯伏順一広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者六角正広島県広島市安佐南区祇園三丁目２番１号三菱重工業株式会社広島工機工場内Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GF19 JA20 KA16 KA20 MA24 MA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バリアリブを基板上に製造する方法にお
いて、表面の凹凸部をその凹凸形状に沿って剥離用のフ
イルムで覆ったバリアリブ成形型を用い、該バリアリブ
成形型の凹部にバリアリブ材料を刷り込み、バリアリブ
材料が刷り込まれた表面に基板を密着させ、紫外線等の
照射にてバリアリブ材料を硬化させ、硬化したバリアリ
ブ材料を基板とともにバリアリブ成形型から剥離し、焼
成してバリアリブを形成すると共に、バリアリブに残存
するするフイルムを該焼成により燃焼消去することを特
徴とするバリアリブ製造方法。
【請求項２】表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、更
に、前記フイルムとして片面に接着性を有するフイルム
を用い、該接着面を基本型の表面に向けて前記フイルム
を基本型と加圧型の間に挟み、基本型と加圧型を嵌合さ
せ、その後、加圧型を外すことにより、前記バリアリブ
成形型を作製することを特徴とする請求項１記載のバリ
アリブ製造方法。
【請求項３】表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記
フイルムと基本型に互いに逆極性の静電気を帯電して両
者を静電引力により吸着し、この状態で基本型と加圧型
を嵌合させ、加圧型を外した後、静電気を放電すること
により、前記バリアリブ成形型を作製することを特徴と
する請求項１記載のバリアリブ製造方法。
【請求項４】表面に凹凸部が形成された基本型と、該
基本型とは逆の凹凸形状を有する加圧型とを用い、前記
フイルムと加圧型に同極性の静電気を帯電して両者を静
電斥力により離反させ、この状態で基本型と加圧型を嵌
合させ、加圧型を外した後、静電気を放電することによ
り、前記バリアリブ成形型を作製することを特徴とする
請求項１記載のバリアリブ製造方法。
【請求項５】バリアリブを基板上に製造する方法にお
いて、バリアリブ形状に対応した凹凸型を樹脂材で形成
してバリアリブ成形型とし、該バリアリブ成形型の凹部
にバリアリブ材料を刷り込み、バリアリブ材料が刷り込
みまれた表面に基板を密着させ、紫外線等の照射にてバ
リアリブ材料を硬化させ、その後、バリアリブ成形型を
加熱して軟化させ、軟化したバリアリブ成形型をバリア
リブ材料及び基板から剥離することを特徴とするバリア
リブ製造方法。
【請求項６】前記バリアリブ材料として、紫外線等に
より連鎖硬化する光硬化型エポキシ樹脂組成物が添加さ
れたペースト状材料を用い、このペースト状バリアリブ
材料を加圧とバキューム吸引によりバリアリブ成形型に
刷り込むことを特徴とする請求項５記載のバリアリブ製
造方法。
【請求項７】バリアリブを基板上に製造する方法にお
いて、バリアリブ形状に対応した凹凸型をセルロイド材
で形成してバリアリブ成形型とし、該バリアリブ成形型
の凹部にバリアリブ材料を刷り込み、バリアリブ材料が
刷り込まれた表面に基板を密着させ、紫外線等の照射に
てバリアリブ材料を硬化させ、その後、バリアリブ成形
型を酢酸エチルにより軟化させ、軟化したバリアリブ成
形型をバリアリブ材料及び基板から剥離することを特徴
とするバリアリブ製造方法。
【請求項８】表面に凹凸部が形成されたひな型と、該
ひな型とは逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型
の凹凸部に酢酸エチルを付着し、この状態でひな型と加
圧型の間に前記セルロイド材を挟み、ひな型と加圧型を
嵌合させ、その後、加圧型を外し、ひな型からセルロイ
ド材を剥離することにより、前記バリアリブ成形型を作
製することを特徴とする請求項７記載のバリアリブ製造
方法。
【請求項９】表面に凹凸部が形成されたひな型と、該
ひな型とは逆の凹凸形状を有する加圧型を用い、ひな型
の表面に前記セルロイド材を載せ、該セルロイド材に酢
酸エチルを付着し、この状態でひな型と加圧型を嵌合さ
せ、その後、加圧型を外し、ひな型からセルロイド材を
剥離することにより、前記バリアリブ成形型を作製する
ことを特徴とする請求項８記載のバリアリブ製造方法。