JP4799541B2 - 隔壁形成用ソフトモールド、隔壁および下部パネルの製造方法、およびプラズマディスプレイパネル - Google Patents
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Description
Claims (3)
- (a)一面に沿って凹部と凸部とが反復される隔壁パターンが形成された金属モールドを提供する工程と、
(b)前記金属モールドと対面するようにポリマーシートを配する工程と、
(c)前記金属モールドを前記ポリマーシート内へ加圧転写して、前記隔壁パターンの逆像を一面に持つソフトモールドを形成する工程と、
(d)前記ソフトモールドを金属モールドから離型する工程とを含み、
前記(a)金属モールドを提供する工程は、
(a1)基底基板上に隔壁状のフォトレジストパターンを形成する工程と、
(a2)前記フォトレジストパターンと整合する逆パターンを持つシリコンモールドを形成する工程と、
(a3)前記シリコンモールドのパターン面に沿って電気メッキのための金属シード薄膜を形成する工程と、
(a4)前記金属シード薄膜上に前記シリコンモールドのパターンを満たすように電気メッキ層を形成して前記金属モールドを形成する工程とを含み、
前記(a3)金属シード薄膜を形成する工程は、
前記シリコンモールドとの密着用の下地層として前記シリコンモールド上にクロム薄膜を形成する工程と、
前記クロム薄膜上に金薄膜を形成する工程とを含むソフトモールドの製造方法。 - 前記(a1)フォトレジストパターンを形成する工程では、露光−現像により感光性フォトレジスト層をパターン化することを特徴とする、請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
- 前記(a2)シリコンモールドを形成する工程では、前記フォトレジストパターンを埋め込むシリコン成形物質の塗布および硬化により、前記フォトレジストパターンが転写されたシリコンモールドを得ることを特徴とする、請求項1に記載のソフトモールドの製造方法。
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