WO1992001539A1 - Procede d'etalonnage d'un capteur visuel - Google Patents

Description

明 钿 睿

視覚セ ンサ のキ ヤ リ ブレー シ ョ ン方法

技 術 分 野

本発明は、 視覚セ ンサのキ ヤ リ ブレー シ ョ ン方法に関 し、 ·特に、 ロ ボッ ト によ り移動自在に支持したキ ヤ リブ レー シ ョ ン治具を用いて別のロ ボッ ト に装着した視覚セ ンサのキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンを行う方法に関する。

背 景 技 術

一つ以上の視覚セ ンサか らの視覚情報を利用 し て作業 ラ イ ン上の ワ ー ク に対する組立作業， バ レ夕 イ ジ ング作 業等を行う ロ ボ ッ ト シ ス テ ム は公知で、 又、 視覚セ ンサ をロボッ ト アー ム によ り移動自在に保持してワ ー ク の位 置変動に対処可能にする こ と も知られている。 こ の種の ロ ボ ッ ト シス テ ムでは、 視覚情報を口 ボ ッ ト作業に利用 可能にすべく 、 ロボッ ト作業に先だって、 セ ンサ座標値 をロボッ ト座標値に対応させるための視覚セ ンサ のキヤ リ ブレー シ ヨ ンが行われる。 例えば、 ロ ボ ッ ト ア ームに 装着したカ メ ラ （一般には視覚セ ンサ） のキ ヤ リ ブレー シ ヨ ンに、 従来は、 カ メ ラ の視野内に設置される専用の キ ャ リ ブレー シ ョ ン治具を用いている。

しかしながら、 従来のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン治具は一般 に寸法が大き く、 従って、 広い設置ス ペ ー スを要する。 斯かる要件は、 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン治具を作業ラ イ ン上 に設置する場合に特に不都合である。 又、 従来のキヤ リ ブ レー シ ョ ン治具は正確に設置する のに時間を要 し、 キ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具を精度良く設置する には、 特別の 治具設置機構を設ける必要がある。

発 明 の 開 示

本発明の目的は、 治具を精度良く設置するための機構 及び広い治具設置ス ペー スを用いずに、 ロ ボ ッ ト に装着 した視覚セ ンサのキ ヤ リ ブレー シ ョ ンを容易， 迅速かつ 正確に行えるキ ヤ リ ブレー シ ョ ン方法を提供する こ とに め O 0

上記目的を達成するため、 本発明は、 （ a ) ロ ボッ ト によ り移動自在に支持されパタ ー ン部材からなるキヤ リ ブレー シ ョ ン治具の共通座標系での座標値を含む第 1 キ ヤ リ ブ レー シ ヨ ンパタ ー ンデー タ を生成し、 （ b ) 別の ロボッ ト に装着した視覚セ ンサ によ っ て得たキ ヤ リブレ - シ ョ ン治具に関する視覚情報データから、 キ ヤ リブレ ー シ ョ ン洽具の視覚セ ンサ座標系での座標値を含む第 2 キ ヤ リ ブ レー シ ョ ンパタ ー ンデー タ を生成し、 （ c ) 第 1 及び第 2 キ ヤ リ ブレー シ ョ ン パ夕 — ンデータに基づい て視覚セ ンサ のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンを行う。

上述のよ う に、 本発明によれば、 ロボ ッ ト に装着した 牛ヤ リ ブレー シ ョ ン治具と別の口ボッ ト に装着した視覚 セ ンサ と を用いて、 視覚セ ンサ のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンを 行える。 パタ ー ン部材からなるキ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具 は、 従来の治具に比べてサイ ズが小さ く 構造が簡単でか つロボッ ト に よ り移動自在に保持されており、 治具を所 要位置に容易， 迅速かつ正確に設置でき る と共に広い治 具設置ス ペー スを要しない。 又、 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン治 具の共通座標系での座標値を含む第 1 キ ヤ リ ブレ ー シ ョ ンパタ ー ンデータ と視覚セ ンサで得たキ ヤ リ ブ レ ー シ ョ ン治具に関する視覚情報データから生成されキ ヤ リブレ ー シ ョ ン治具の視覚セ ンサ座標系での座標値を含む第 2 キ ヤ リ ブ レー シ ョ ンパタ ー ンデー タ と に基づいて、 視覚 セ ンサのキ ヤ リ ブレー シ ョ ンを容易， 迅速かつ正確に行 える。 従って、 牛 ヤ リ ブレー シ ヨ ン治具を精度良く設置 するための特別の機構が不要である。

図 面 の 簡 単 な 説 明

第 1 図は本発明の一実施例による視覚セ ンサのキヤ リ ブ レー シ ヨ ン方法を実施するた めの ロ ボ ッ ト シ ス テムを 示す概略図、

第 2 図は第 1 図のパタ ー ン板を詳細に示す拡大平面図、 第 3 図は、 カ メ ラを搭載したロ ボ ッ ト をキ ヤ リ ブレー シ ョ ン終了後にワ ー ク側に移動させる場合を示す概略図、 第 4 図は第 1 図のロ ボッ ト シ ス テ ムの変形例を示す部 分概略図、

第 5 図はロボッ ト シ ス テ ム の別の変形例を示す部分概 略図、 および

第 6 図はロ ボッ ト シ ス テ ム の更に別の変形例を示す部 分概略図であ る。

発明を実施するための最良の形態

第 1 図を参照する と、 本発明の一実施例に係る ロボッ ト シ ス テ ム は、 第 1 及び第 2 ロ ボ ッ ト 1 , 4 と、 両ロボ - i - ッ ト 1 ， 4を夫々駆動制御するための第 1 及び第 2 ロボ ッ ト制御装置 1 0 , 1 1 とを備え、 両口ボッ ト 1 ， 4は、 ロ ボ ッ ト シス テム E設空間内に設定した図示しない共通 座標系上において既知の位置及び姿勢で Eされている。

第 1 ロボッ ト 1 は、 例えば、 相隣る もの同士が関節に よつて連結された複数の リ ン クからなるアー ム 2 を有す る多関節式ロ ボッ トからなり、 ア ー ム先端 （ツー ルセン 夕 ポイ ン ト （ T C P ) ) に装着 したキ ャ リ ブレー ショ ン 治具と してのバター ン板 3 を、 第 1 ロボ ッ ト 1 に係る図 示しない第 1 ロボッ ト座標系 （換言すれば共通座標系） 上の任意の位置に任意の姿勢で位置決めするよ う になつ ている。 パタ ー ン板 3 は、 構造が簡単でサイ ズが小さ く、 パター ン板 3 の製造及びロボッ ト 1 への取付けが容易で ある。 キ ャ リ ブ レー シ ョ ンには一種類のパタ ー ン板 3を 用意すれば足り る。 第 ² 図に示すよ う に、 パター ン板 ³ には、 例えば 2 5個の ド ッ ト 3 a ， 3 b , 3 c , ' ' · からなる矩形状の ドッ トパタ ー ンがパタ ー ン板 3 の四辺 に沿って形成され、 原点用の ド ッ ト 3 a はその他の ドッ ト 3 b , 3 c , · · · よ り.も大きい ドッ ト直径を有して いる。 キ ャ リ ブレー シ ョ ンに要する ド ッ ト パタ ー ン構成 ドッ ト数は理論的には 6 つで足り るが、 本実施例では ド ッ ト数を多く してキ ヤ リ ブレー シ ョ ンをより正確に行う ように している。

第 1 ロボッ ト 1 と同様.、 第 2 ロボッ ト 4 は例えば多関 節式ロボッ トからなり、 ア ー ム 5 の先端に固定され或は アーム軸線及びアーム軸線に直交する軸線に対して回耘 自在にアーム先端に装着されたカ メ ラ 6 (—般には視覚 セ ンサ） を、 第 2 のロボッ ト 4 に係る図示しない第 2 口 ボッ ト座標系上ひいては共通座標系上の任意の位置に任 意の姿勢で位匱決めするよ うになっている。 又、 カメ ラ 6 には、 カ メ ラ画面上での画像点の位置を特定するため の図示しないカ メ ラ座標系 （一般には視覚セ ンサ座標系） が設定さ れて いる。

第 1， 第 2 ロ ボ ッ ト制御装置 1 0 , 1 1 の各々 は、 第 1， 第 2 ロ ボ ッ ト の対応する一つのアー ム先端の、 第 1 ， 第 2 ロボッ ト座標系の対応する一つにおける現在の座標 ' 値 （位置， 姿勢） を関節角に基づいて検出する機能と、 • 共通座標値か らロボッ ト座標値への座標変換及び口ボッ ト座標値から 通座標値への座標変換を行う機能とを備 え、 ロボ ッ ト を共通座標系上で駆動制御可能である。 さ ら に、 第 1 ロ ボ ッ ト制御装置 1 0 は、 アー ム先端の座標 値， 第 1 ロボ ッ ト 1 に対するパタ ー ン板 3 の既知の取付 位置， 姿勢及び ド ッ ト 3 a ， 3 b， 3 c ， · ' ' のパタ — ン板 3上での既知の形成位置に基づいて、 ドッ トパ夕 — ン構成 ドッ 3 a ， 3 b , 3 c , · · · の共通座標系 での座標値を表す第 1 キ ヤ リ ブレー シ ョ ンパタ ー ンデー 夕 （ C P D r ) 1 2 a を算出し、 算出データを内蔵のメ モ リ 1 2 に袼納するよ う になつている。

更に、 ロボ ッ ト シス テ ムは、 第 1 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン パタ ー ンデー タ 1 2 a とカ メ ラ 6 力 らの映像デー タ （一 般には視覚情報データ） とに基づいてカ メ ラ 6 のキヤ リ ブ レー シ ョ ンを行うための視覚セ ンサ制御装置 2 0を備 えている。 制御装置 2 0 は、 プ ロ セ ッ サ （ C P U ) 2 1 と、 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン動作用の制御プロ グラ ム 2 2 a を格納した リ ー ドオ ン リ メ モ リ （ R O M) 2 2 と、 第 1 〜第 3 ラ ンダム ア ク セ ス メ モ リ （ R A M) 2 3〜 2 5 と を備えている。 又、 視覚セ ンサ制御装置 2 0 は、 画像処 理プロセ ッ サ 2 6 と、 通信回線 1 3 , 1 3， を介して第 1， 第 2 ロボ ッ ト制御装置 1 0 , 1 1 に接続したイ ン夕 —フ ユイ ス 2 7 と、 カ メ ラ 6 に接続したカ メ ライ ン夕一 フ ェ イ ス 2 8 とを備え、 要素 2 2〜 2 8 はバスを介して プロ セ ッ サ 2 1 に接続されてい る。 ロ ボ ッ ト シス テムに は、 牛一ボー ドイ ンタ 一 フ ユ イ ス （図示略） を介して視 覚セ ンサ制御装置 2 0 に接続したキ—ボー ド （図示略） . が必要に応じて設けられている。

以下、 第 1 図のロボ ッ ト シス テ ム のキ ヤ リ ブレ ー シ ョ ン動作を説明する。

ロボッ ト シ ス テ ム の稼働前に、 オ ペ レータ は、 夫々の ド ッ トノ、'タ ー ン構成 ド ッ ト ₃ a， 3 b , 3 c， · · · の パター ン板 3 上での形成位置を表す ドッ トパタ ー ンデー 夕 （ D P D ) 2 4 a を、 キーボー ドを介して視覚センサ 制御装置 2 0 に入力する。 これに代えて、 データ 2 4 a を制御プロ グ ラ ム 2 2 a内に予め記述しておいて も良い。 キーボー ドからのデータ入力或は制御プロ グラ ム からの データ読取り に応じて、 プロ セ ッ サ 2 1 の制御下でパ夕 ー ンデータ 2 4 a が R A M 2 に格納される。

R 0 M 2 2 内の制御プロ グラ ム に従って作勦するプロ セ ッ サ 2 1 の制御下でキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン動作が開始さ れる と、 先ず、 第 1 ロボ ッ ト制御装置 1 0 によ っ て第 1 ロボッ ト 1 が駆動制御され、 アー ム 2 の先端に装着した パ夕ー ン板 3 が所要位置例えば作業ラィ ン上の所定位置 に位置決めされる。 第 1 ロボッ ト制御装置 1 0 は、 第 1 ロボッ ト 1 のアー ム先端の第 1 ロボッ ト座標系での座標 値を検出し、 検出座標値， 第 1 ロボ ッ ト 1 に対するパタ ー ン板 3 の既知の取付位置， 姿勢及びパタ ー ン板 3上で の既知の ドッ トパター ン形成位置に基づいて、 夫々の ド ッ トパタ ー ン構成 ドッ ト 3 a， 3 b , 3 c , , · · の第 1 ロボッ ト座標系での座標値を求める。 次いで、 第 1 口 ボッ ト制御装置 1 0 は、 各 ドッ トの第 1 ロボッ ト座標系 での座標値を共通座標系での座標値に座標変換して第 1 キ ャ リ ブ レ ー シ ョ ンパタ ー ンデー タ （ C P D r ) 1 2 a を求め、 こ れを メ モ リ 1 2 に格納する。 第 1 キ ヤ リ ブレ — シ ョ ン ノ、'タ ー ンデー タ 1 2 a は、 プロ セ ッ サ 2 1 の制 御下で、 通信回線 1 3 及びイ ン タ ー フ ヱ イ ス 2 7 を介し て メ モ リ 1 2 から R A M 2 3 に転送され、 R A M 2 3内 に格納される。

次に、 第 2 ロボッ ト制御装置 1 1 によ つて第 2 oボッ ト 4が駆動制御され、 アーム 5 の先端に装着したカ メ ラ 6 の視野内にパタ ー ン板 3 が入るよ う にカ メ ラ 6 が位置 決めされる。 カ メ ラ 6 はパタ ー ン板 3 の ドッ トパター ン を撮像し、 ド ッ トパタ ー ン映像デ—夕を送出する。 ドッ トパター ン映像データ は、 プロ セ ッ サ 2 1 の制御下で、 カ メ ラ イ ンタ ー フ ヱ イ ス 2 8 を介して R A M 2 5 に転送 され、 R A M 2 5 內に格納される。 画像プロセ ッ サ 2 6 は、 - R A M 2 4か ら ド ッ ト ノ、'タ ー ンデー タ （ D P D ) 2 4 a を読み出すと共に ドッ トパタ ー ン映像データ を取り 込み、 データ 2 4 a及び映像データに基づいて、 夫々の ドッ トパター ン構成 ドッ トのカ メ ラ座標系での座標値を 表す第 2 キ ヤ リ ブレ一 シ ョ ンパタ ー ンデ一夕 （ C P D c ) 2 5 a を算出 し、 .算出デ—夕 2 5 a を R A M 2 5 内に格 納する。

プロ セ ッ サ *2 1 は、 R A M 2 3 , 2 5 か ら第 1 ， 第 2 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン ⁰タ ー ンデー タ 1 2 a , 2 5 aを夫 々読み出し、 両パタ ー ンデータ 1 2 a， 2 5 a を比較し て、 共通座標値とカ メ ラ座標値とが一対一に対応するよ う に共通座標系とカ メ ラ座標系とを関連づけるカ メ ラパ ラ メ —タ （例えば共通座標系の夫々の座標軸方向への力 メ ラ軸線の方向余弦など） を含むキ ャ リ ブ レー シ ョ ンデ —夕 （ C D ) 2 3 a を算出する。 例えば、 上述の如く求 めた第 1 , 第 2 キ ャ リ ブ レー シ ョ ン タ ー ンデー タ 1 2 a , 2 5 a と未知のカ メ ラ パラ メ 一 夕 と を変数と して含 む連立方程式を解いてカ メ ラパラ メ ータを求める。 そし て、 算出デ― タ 2 3 a を R A M 2 3 内に格納して、 カ メ ラ 6 のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンを終了する。

ワ ー ク に対する ロボ ッ ト作業にあたっては、 必要なら ばパタ ー ン板 3 を作業ラ イ ン上から退避させ又は第 1 口 ボッ ト 1 から取り外し、 次いで、 ワー ク （図示略〉 を作 業ラ イ ン上の所定位置に搬送する。 そ して、 第 2 ロボッ ト 4 に搭載したカ メ ラ 6 によ り ワ ー ク （図示略） が撮像 され、 この結果得たワ ー ク映像データ と R A M 2 3から 読み出したキ ヤ リ ブレ ー シ ョ ンデータ 2 3 a とに基づい て、 プロ セ ッ サ 2 1 に よ り ワ ー ク の共通座標系上での座 標値デ一夕が求められる。 その後、 例えば、 パタ ー ン板 3 を取り外した第 1 ロボッ ト 1 によってロボッ ト作業を 行うべく、 ワ ー ク座標値デ一夕が第 1 ロ ボッ ト制御装置 1 0 に送出され、 次いで、 第 1 ロボッ ト制御装置 1 0の 制御下でロボ ッ ト作業が開始される。 こ れに代えて、 共 通座標系上に配した第 3 ロボッ ト （図示略〉 によ って口 ボッ 卜作業を行つ て も良い。

第 2 ロボッ ト 4 をキ ャ リ ブ レ ー シ ョ ン前後で同一位置 に配した上述の場合とは異なり、 カ メ ラ 6 を搭載した第 2 ロボッ ト 4 を第 3 図に記号 Aで示すキ ヤ リ ブレ ー シ ョ ン時の位置か らこれと は別の位置 B に移動する場合にも、 実質的なキャ リ ブレー シ ョ ンを再度行う必要はない。 即 ち、 斯かる場合には、 第 2 ロボ ッ ト 4 の共通座標系上で の位置 Aから位置 Bまでの移動量が第 2 ロボッ ト制御装 置 1 1 によ り算出され、 算出移動量が装置 1 1 に内蔵の メ モ リ （図示略） に格納される。 次に、 カ メ ラ 6 により ワー ク 4 0 の特定点 4 0 a を撮像して得た映像デ—夕が カ メ ラ 6 から視覚セ ンサ制御装置 2 0 に送られ、 移動量 データ， 映像データ及び第 2 ロ ボッ ト ⁴ の移動前に求め たキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンデー タ 2 3 a に基づいて、 視覚セ ンサ制御装置 2 0 によ り特定点 4 0 a の共通座標系での 座標値データが算出され、 算出座標値データはそ の後の ロボッ ト作業制御に供される。 換言すれば、 キ ヤ リブレ ー シ ョ ンデ一 夕 2 3 a は第 2 ロ ボッ ト 4 の移動量に応じ て補正される。

上述のよ う に、 カ メ ラ 6 を搭載した第 2 ロボッ ト 4を キ ヤ リ ブレ ー シ ョ ン後に移動した場合にもキ ヤ リ ブレー シ ヨ ンを再度行う必要がないので、 作業ラィ か ら外れ た位置でキ ャ リ ブレー シ ョ ンを行った後に、 カ メ ラ 6を 作業ラ イ ンに臨む位置まで移動させて作業ラ イ ン上のヮ 一クを撮像する場合にも支障を来さない。

本発明は上記実施例に限定されず、 種々の変形が可能 である。

例えば、 上記実施例では第 2 ΰボッ ト 4 に搭載 した力 メ ラ 6 のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ンを行う場合について説明し たが、 カ メ ラ 6 'を第 1 ロボッ ト 1 に搭載する と共にパ夕 ー ン板 3 を第 2 ロボッ ト 4.に装着し、 第 1 ロボッ ドに搭 載したカ メ ラ のキ ャ リ ブレー シ ョ ンを行う よ う に しても 良い。 即ち、 本発明によれば、 一対のロ ボッ トを含む口 ボ ッ ト シス テ ム において、 カ メ ラ を搭載した任意の一方 のロボッ ト とパター ン板を装着 した他方のロ ボ ッ ト とを 協働させる こ とによって、 カ メ ラ のキ ャ リ ブ レー ショ ン を行える。 更に、 本発明は、 2 台のロボ ッ ト を含むロボ ッ ト シス テムばかりではな く、 3 台以上のロボッ ト を含む ロボッ ト シス テ ム に も適用でき る。 こ の場合、 ロ ボ ッ ト システ ムの任意の一つのロボ ッ ト にパタ ー ン板 3 を装着 し、 そ の他のロ ボ ッ ト の夫々 にカ メ ラ を装着する。 例えば、 第 4 図に示すよ う に、 第 1 ロ ボ ッ ト 1 にパ夕 — ン板 3 を装 着し、 第 2及び第 3 ロ ボッ ト 4， 3 0 にカ メ ラ 6 b及び 6 c を夫々搭載する。 第 5 図は第 2 ロ ボ ッ ト 4 にパ夕— ン板 3 を装着する と共に第 1 及び第 3 ロ ボ ッ ト 1 , 3 0. の夫々 にカ メ ラ 6 a及び 6 c を装着した場合を示 し、 第 6 図は第 3 ロ ボ ッ ト 3 0 にパタ ー ン板 3 を装着すると共 に第 1 及び第 2 ロ ボ ッ ト 1， 4 の夫々 にカ メ ラ 6 a及び 6 b を装着した場合を示す。

そ して、 3 台以上の ロ ボ ッ ト を含むと共に 2 台以上の ロ ボ ッ ト の各々 にカ メ ラ を搭載 した上記変形例による口 ボ ッ ト シ ス テ ム において も、 各カ メ ラ のキ ヤ リ ブ レー シ ヨ ンを上記実施例と同様に行え る。 例えば、 第 4 図の π ボ ッ ト シス テ ムでは、 ノ、'タ ー ン板 3 がカ メ ラ 6 b， 6 c の視野に入る よ う にカ メ ラ 6 b， 6 c を夫々移動させ、 次いで、 各カ メ ラ でパタ ー ン板 3 を撮像 して得た映像デ 一 夕 に基づいて、 第 1 図の視覚セ ンサ制御装置 2 0 によ り各カ メ ラ に関するキ ヤ リ ブレ ー シ ョ ンデ一 夕 を上記実 施例の場合と 同様に求める。 こ の様に、 本発明によれば、 2 台以上の力 メ ラ を含む種々 の ロ ボ ッ ト シ ス テ ム におい て も、 ロ ボ ッ ト シ ス テ ムの構成に応じてカ メ ラ のキヤ リ _{1 0}

- 12 - ブ レー シ ョ ン をフ レキ シブルに行える o

上記実施例及び変形例では視覚セ ンサ と してカ メ ラを 用いたが、 レーザ測長器などを用いても良い。 更に、 上 記実施例では第 1 キ ヤ リ ブレー シ ョ ンパタ ー ンデータ 1 2 a を第 1 ロ ボ ッ ト制御装置 1 0 から視覚セ ンサ制御装 置 2 0 に入力 したが、 キーボー ドを介して手動入力可能 である。

Claims

請 求 の 範 囲

. ( a ) ロ ボッ ト に装着されパター ン部材からなるキ ャ リ ブ レー シ ョ ン治具の共通座標系での座標値を含む 第 1 キ ヤ リ ブ レー シ ョ ンパタ ー ンデータを生成し、

( b ) 別のロボッ ト に装着 した視覚セ ンサ によって 得たキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン治具に関する視覚情報データ から、 キ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具の視覚セ ンサ座標系で の座標値を含む第 2 キ ヤ リ ブ レー シ ョ ンパタ ー ンデー 夕を生成し、

( c ) 第 1 及び第 2 牛 ヤ リ ブ レー シ ヨ ンパタ ー ンデ 一夕 に基づいて視覚セ ンサのキ ヤ リ ブレ— シ ョ ンを行 う視覚セ ンサのキ ヤ リ ブ レ― シ ヨ ン方法。

. 前記工程 （ a ) において、 （ a 1 ) 前記キャ リブレ ー シ ョ ン治具を装着した前記ロボッ ト のア ー ム先端の

Dボッ ト座標系における座標値を検出し、 （ a 2 ) 前 £ロボッ ト座標系でのアー ム先端の座標値と前記ロボ

'ソ ト ア ー ム に対する前記キ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具の取 付位置， 姿勢を表す既知のデータ とに基づいて、 前記 ロボッ ト座標系での前記キ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具の座 標値を求め、 （ a 3 ) 前記ロ ボッ ト座標系での前記キ ャ リ ブ レー シ ョ ン治具の座標値を座標変換する こ とに よ り、 前記共通座標系での前記キ ャ リ ブ レー シ ョ ン治 具の座標値を求める請求の範囲第 1 項記載の視覚セ ン サのキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン方法。

S工程 （ a ) において、 ドッ トパタ ー ンを形成し たパタ ー ン部材からなるキ ヤ リ ブレー シ ョ ン治具を用 いる請求の範囲第 1 項記載の視覚セ ンサのキ ヤ リブレ ー シ ョ ン方法。

4 . 前記工程 （ a 2 ) において、 前記口ボッ ト座標系で のアー ム先端の座標値及び前記ロボッ ト アー ム に対す る前記キ ャ リ ブレー シ ョ ン治具の取付位置， 姿勢を表 す既知のデー タ に加えて、 前記キ ャ リ ブレー シ ョ ン治 具をなすパタ ー ン部材における ドッ トパタ ー ン構成ド ッ 卜の形成位置を表す既知のデ-タを用い、 前記工程 ( a 3 ) において前記 ドッ ト パタ — ン構成 ドッ 卜の前 記共通座標系での座標値を求める請求の範囲第 2項記 ' 載の視覚セ ンサのキ ャ リ ブレ ー シ ョ ン方法。

5 . 前記工程'（ b ) において、 前記視覚情報デー タを画 像処理する こ と によ り前記第 2 キ ヤ リ ブレー シ ョ ンパ ター ンデー タを生成する請求の範囲第 1 項記載の視覚 セ ンサ のキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン方法。

6 . 前記工程 （ c ) において、 前記共通座標系と前記視 覚セ ンサ座標系； tを関連づけ るキャ リ ブレー シ ョ ンデ ータ を算出する請求の範囲第 2項記載の視覚セ ンサの キ ャ リ ブ レ ー シ ョ ン方法。

7 . ( d ) 前記工程 （ c ) のキ ヤ リ ブレー シ ョ ン実行時 における前記別のロ ボ ッ ト の位置から前記キ ヤ リブレ ー シ ョ ン終了後に移動した前記別のロ ボ ッ ト の新たな 位置までの移動量を求め、 （ e〉 前記別のロボ ッ トの 移動量を用いて、 前記工程 （ c ) で算出した前記キヤ リ ブレー シ ョ ンデータを補正する請求の範囲第 6項記 載の視覚セ ンサのキ ヤ リ ブレ ー シ ョ ン方法。

8. 前記キ ャ リ ブ レー シ ョ ン治具を装着したロボ ッ トと 視覚セ ンサを各々装着した複数のロ ボ ッ ト とを含む口 ボ ッ ト シス テ ム に適用されも ので、 前記複数のロボッ ト の各々について前記工程 （ a ) , ( b ) 及び （ c ) を実行する請求の範囲第 1 項記載の視覚セ ンサ のキヤ リ ブレー シ ョ ン方法。

9. 前記視覚セ ンサ と してカ メ ラ及びレーザ測 S器の少 な く と も一方を用いる請求の範囲第 1 項記載の視覚セ ンサのキ ヤ リ ブ レー シ ョ ン方法。