WO1987004869A1 - Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation - Google Patents

Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation Download PDF

Info

Publication number
WO1987004869A1
WO1987004869A1 PCT/JP1987/000060 JP8700060W WO8704869A1 WO 1987004869 A1 WO1987004869 A1 WO 1987004869A1 JP 8700060 W JP8700060 W JP 8700060W WO 8704869 A1 WO8704869 A1 WO 8704869A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
laser
frequency
conductors
tube
pipe
Prior art date
Application number
PCT/JP1987/000060
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Norio Karube
Original Assignee
Fanuc Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Ltd filed Critical Fanuc Ltd
Priority to DE8787901111T priority Critical patent/DE3781741T2/de
Publication of WO1987004869A1 publication Critical patent/WO1987004869A1/ja

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
    • H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
    • H01S3/0385—Shape
    • H01S3/0387—Helical shape
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/22—Gases
    • H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
    • H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]

Definitions

  • the present invention relates to a circumferential C02 laser excited by a high frequency.
  • the power supply can be made into a solid-state
  • Oscillator can be configured.
  • An object of the present invention is to improve the above-mentioned drawbacks of the prior art, to combine the advantages of high-frequency excitation and the advantages of the peripheral axis type, and to obtain a high-quality beam mode.
  • High frequency excitation shaft type
  • C02 laser is to be provided. .
  • the present invention provides a laser tube made of a dielectric, and the laser tube is provided in the axial direction in the laser tube.
  • a laser gas is flowed, and two helical conductors having the same pitch are adhered to the outer peripheral surface of one tube of the laser, and the two helical conductors are adhered to each other.
  • a high-frequency voltage is applied between the conductors by a high-frequency power supply.
  • two helical conductors are bonded to the outer peripheral surface of a laser tube formed of a dielectric, and the two helical conductors are bonded to each other.
  • a high-frequency voltage is applied from a high-frequency power supply to the laser tube to generate a discharge in the laser tube between both conductors, so that C ⁇ ⁇ that flows through one laser tube 2
  • the fact that the gas flow is circularly symmetrical about the tube axis and that the discharge is generated by the helical conductor gradually rotating around the tube axis along the tube axis.
  • the discharge becomes circularly symmetric as a whole, and has the advantage of high-frequency excitation. That is, there is no chemical reaction between the electrode and C02 gas, and the energy efficiency is low.
  • the advantages such as the fact that the power supply can be solidified, it is unique to coaxial lasers.
  • FIG. 1 is an explanatory view of a principal part of a laser for exciting a high-frequency wave, which is an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is an explanatory view of a principal part of a laser for exciting a high-frequency wave, which is an embodiment of the present invention.
  • FIGS. 2 and 3 show the main parts of a high-frequency laser with a rising axis according to one embodiment of the present invention.
  • a laser tube made of a dielectric material, which is a circular pipe having a circular cross section as shown in Fig. 2.
  • the laser tube 3 has a C tube inside. 2
  • the laser gas flows in the direction of the pipe axis, and the outer peripheral surface of the laser pipe is coated with a conductive paint, such as an Aqua-Duck, at a pitch of two turns.
  • the conductors are spirally applied so as to be different from each other by 180 to form spiral and thin-film conductors 1 and 2, and a high-periphery is provided between the two conductors 1 and 2.
  • a higher frequency voltage is applied than the wave power supply 4.
  • 5 is a total reflection mirror
  • 6 is an output coupling mirror.
  • a C 0 2 laser gas flows through the laser tube 3 in the direction indicated by the arrow a in FIG.
  • a high frequency voltage is applied between the conductors 1.2, the conductors 1, 2 facing each other in the laser tube 3 via the dielectric layer of the laser tube 3.
  • Discharge occurs between the facing surfaces of each part. Since the two conductors 1 and 2 are helically arranged in this discharge, the discharge gradually rotates around the tube axis when viewed along the tube axis. Therefore, the discharge is performed as a whole in circular symmetry with respect to the tube axis.
  • C ⁇ 2 gas flow is Although the gas distribution affects the mode formation, since the gas flow flows along the pipe axis inside the laser pipe 3 having a circular cross section, the laser flow Since the distribution of the gas flow in the cross section of the tube 3 is substantially circularly symmetrical with respect to the tube axis, the laser if-gain is highly circularly symmetric, and the laser tube 3 Further, the laser beam 6 output through the output coupling mirror 6 takes a circular mode. In this way, a TEM00 mode unique to the peripheral laser is obtained.
  • the dielectric material constituting the laser tube 3 from the viewpoint of strength against dielectric breakdown, barium titanate, quartz, alumina, mylar, poly, etc. An imid or the like is often used, and a ceramic pipe as the laser pipe 3 may be formed by using these materials.
  • the thickness of the laser tube 3 is D
  • the discharge sustaining voltage is V
  • the dielectric constant is ⁇
  • the frequency of the high frequency power supply is ⁇
  • the current density is I.
  • the dielectric thickness D can be increased by increasing the frequency of the high-frequency power source having a high dielectric constant s, the dielectric is made of ceramic. In this case, a stable discharge can be obtained without producing pinholes and the like in production, and a required mechanical strength can be given to a single laser tube by using only a dielectric material. Dielectric Can be made thinner.
  • the conductors 1 and 2 when the conductors 1 and 2 are formed in a thin film shape, the conductors 1 and 2 have a difference in thermal characteristics such as a coefficient of thermal expansion between the conductors 1 and 2 even if the conductors 1 and 2 have a difference in thermal characteristics. Since the dielectric material 2 and the dielectric material 3 do not peel off, the material with the optimal electrical characteristics as a constituent material of the dielectric material 3 is not bound by the requirements on the thermal characteristics. You can choose.
  • the thin film conductors 1 and 2 were obtained by applying a conductive paint, but copper and gold were subjected to metal spraying to form a thin film conductor and 2 It may be formed in a shape. Alternatively, it may be created by plating, plating, or the like.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

明 細 書
高周 波励起同軸型 G 〇 2 レ ー ザ ー
技 術 分 野
本発明 は 高周 波 で励起 さ れる周軸型 C 0 2 レ ー ザ ー に 関 する ち の で あ る 。
背 景 技 術
高周 波励起 C 0 '2 レ ー ザ 一 に よ れば 、
i ) 金属電極 と 炭酸ガ ス （ C 0 2 ) と が接触 し な い の で化学反応が な い
ϋ ) キ ャ パ シ テ ィ ブ バ ラ ス 卜 で あ る の で エネ ル ギ ー 効 率が 高い
iii ) 横放電で電圧が低い の で電源の 固体素子化が可能 な ど の理由 で 、
i ) 小型
ii ) 高効 率
の 発振器を構成す る こ と がで き る 。
し か し な が ら 、 一般の 高周 波励起の 場合横放電 で あ り レ ー ザ ー 管断面 に お け る利得分 布は 円 対称性を欠 く ので 周様 に 利得分布 に 円 対称 を欠 く 直交 ガ ス 流 と の組合せ で 用 い ら れ 、 そ の た め高品 質 ビ ー ム モ ー ド は期待で き な い こ の こ と か ら 、 高品質 ビ ー ム モ ー ド が 要求 さ れる 切 断加 ェ用 C 0 2 レ ー ザ ー に は直流励起周軸型の も の が用 い ら れて い る 。 し か し 、 こ の レ ー ザ 一 は ピ ー 厶 モ ー ド以外の 諸点で は高周波励起 に は及ばな い 。 発 明 の 開 示
本発明 の 目 的 は上記従来技術の欠点を改善 し 、 高周 波 励起 に よ る長所 と 、 周軸型 の有 す る長所 と を兼ね備え 、 高品質の ビ ー ム モ ー ド が得 ら れる 高周 波励起周 軸型
C 0 2 レ ー ザ ー を提供す る こ と に あ る 。 .
上記 目 的を達成 す る た め 、 本発明 は 、 誘電体で構成さ れた レ ー ザ ー 管を設け 、 該 レ ー ザ 一 管 に はそ の軸方向 に
C 0 2 レ ー ザ ー ガ ス を流 し 、 ま た 、 該 レ ー ザ 一 管の外周 面に は互い に 同一 ピ ッ チの 2 つ の螺旋状導電体を接着 し 、 該 2 つ の 螺旋状導電体間 に 高周 波電源 よ り 高周 波電圧を 印加 する よ う に し た 。
以 上述べ た よ う に 、 本発明 は 、 誘電体で搆成さ れた レ 一ザ 一 管の外周 面 に 2 つ の 螺旋状の 導電体を接着 し 、 該 2 つ の螺旋状 の 導電体 に高周波電源 よ り 高周波電圧を 印 加 し 、 両導電体間 の レ ー ザ ー 管内 に 放電を生 じ さ せ る す る よ う に し た か ら 、 レ ー ザ 一 管内 を 流 れる C 〇 2 ガ ス流 が管軸 に 関 し て 円対称で あ る こ と と 、 放電が螺旋状導電 体に よ っ て 管軸 に 沿 っ て管軸 の 回 り に 徐 々 に 回転 し て 生 じ る こ と か ら 放電ち全体 と し て 円 対称 と な り 、 高周波励 起の 長所 、 即 ち 、 電極 と C 0 2 ガ ス と の化学反応が な い こ と 、 エネ ル ギ ー 効 率が い こ と 、 電源の 固体化がで き る こ と等の長所 を残 し た ま ま 、 同軸型 レ ー ザ ー に特有な
T E M 0 0モ ー ド を得る こ と がで 、 断加 工用 C 0 2 レ 一ザ 一 の小型 ， 高率化が 計れる 。 図面の 簡単 な 説明
第 1 図 は本発明 の 一実施例 に よ る 高周 波励 起周 軸 ¾ レ 一 ザ 一 の要部説明図 、 第 2 図 は第 Ί 図 の X — X 断面 図で あ る 。
発明 を実施 す る た め の最良の形態 第 "！ 図及び第 2 図 は 、 本発明 の 一実施 洌 に よ る 高周 波 勐起周軸 型 レ ー ザ ー の 要部を 示 し 、 3 は誘電体か ら な る レ ー ザ ー 管で 、 第 2 図 に 示す よ う に 断面が 円 形のパ イ プ で あ る 。 そ し て 、 該 レ 一 ザ 一 管 3 内 に は C 〇 2 レ ー ザ ー ガ ス が管軸方向 に 流 れる 。 ま た 、 該 レ ー ザ ー 管 の外周 面 に は ア ク ア ダ ッ ク 等の導電性塗料が 2 条周一 ピ ッ チで か つ 位 招 が 互い に 1 8 0 異 な る よ う に 螺旋状 に 塗布 さ れ て 螺旋状かつ 薄膜状の導電体 1 , 2 を 形成 し 、 該 2 つ の 導電体 1 , 2 間 に は 高周 波電源 4 よ り 高周波の電圧が 印 加 さ れる よ う に な っ て い る 。 な お 、 5 は全反射鏡 、 6 は 出 力 結 合鏡で あ る 。
上記構成 に お い て 、 第 Ί 図矢印 a で 示す方向 に C 0 2 レ ー ザ 一 ガ ス を レ ー ザ 一 管 3 内 に 流 し 、 高周 波電源 4 よ り 2 つ の螺旋状の導電体 1 . 2 間 に 高周 波電圧を 印加 す る と 、 レ ー ザ ー 管 3 内で は該 レ ー ザ ー 管 3 の 誘電体層 を 介 し て 対面す る導電体 1 ， 2 の各部対 向面間 に 放電が 生 じ る 。 こ の放電 は 2 つ の導電体 1 , 2 が 螺旋状 に 配 さ れ て い る か ら 管軸 に 沿 っ て 見る と 管軸 の 回 り に 徐々 に 回転 す る こ と と な る 。 従 っ て 、 放電 は全体 と し て 管軸 に 関 し 円 対称 に 行わ れる こ と と なる 。 一方 、 C 〇 2 ガ ス 流 は利 得分布ひい て は モ ー ド形成 に 影響す る が 、 断面が 円 形 の レ ー ザ 一 管 3 内 を管軸 に 沿 っ て ガ ス 流 が 流 れ る こ と か ら 、 レ ー ザ 一 管 3 の 断面 に お い て ガ ス 流 の 分布 は管軸 に 関 し て 略円 対称に な る の で 、 レ ー if —利得 は高度 に 円 対称 と な り 、 該 レ ー ザ ー 管 3 よ り 出 力 結 合鏡 6 を介 し て 出 力 さ れる レ 一 ザ 一 光 6 は 円 形 の モ ー ド を取 る 。 こ う し て 周 軸 型 レ ー ザ ー特有な T E M 0 0モ ー ド が得 ら れる 。
上記 レ ー ザ ー 管 3 を 構成 す る 誘電体材料 と し て は絶縁 破壊 に対 す る強度か ら チ タ ン 酸バ リ ウ ム ， 石英， ァル ミ ナ ， マ イ ラ ー ， ポ リ イ ミ ド等が よ く 、 こ れ ら の 材料 に よ り レ ー ザ ー 管 3 と し て の セ ラ ミ ッ ク 製管を 構成す ればよ い 。
' ま た 、 上記 レ一ザ 一 管 3 の 厚 み に いて は 、 そ の 厚み を D 、 放電維持電圧を V 、 誘電 率 を ≤ 、 高周 波電源の 周 波数 を ω ， 電流密度を I と す る と 、 レ ー ザ ー 管 3 の 2 つ の 誘電体層 を通 し て の電圧降下 は I d z s a; と な る の で 、 安定な放電の 為 に は こ の ί直が レ ー ザ ー プ ラ ズマ の放電維 持電圧 V に 等 し け れば良い の で 、
D = V ε ω / 2 I
と し て 与え ら れ る 。
従 っ て 、 誘電率 s の高い も の及び高周 波電源の周 波数 を 上げ れば誘電体の厚み D を厚 く と れ る の で 、 該誘電体 を セ ラ ミ ッ ク で構成 し た と き製造上 ピ ン ホ ー ル等が生ぜ ず 、 安定放電を得る こ と が で き 、 ま た 、 誘電体の みで レ ザ一管 に 所要の機械的強度を付与で き 、 ひい て は誘電体 を 薄 く で き る 。
こ の よ う に 、 導電体 1 ， 2 を 薄膜状 に 形成 す る と 、 該 導電体 1 . 2 と 誘電体 3 と は熱膨張係数等の 熱特性 に 差 が あ っ て も導電体 1 ， 2 と 誘電体 3 は剥離す る こ と は な い の で 、 熱特性上の 要件 に 抱束 さ れ る こ と な く 誘電体 3 の 構成材料 と し て 電気的特性が最適な も の を 選択で き る 。
な お ， 上 記突施 洌 で は 薄膜状の 導電 体 1 , 2 を導電性 塗料を塗布 し て 得 た が 、 銅 や 金を メ タ ル 溶射 に よ っ て 導 電休 Ί ， 2 を 薄膜状 に 形成 し て も 良い 。 あ る い は .、 メ ッ キ . 蒸着等 に よ っ て 作成 し ても良い 。

Claims

求 の 範 囲
Ί . 管内 を該管の軸線方向 に C 0 '2 レ ー ザ ー ガ ス が 流れ
Ό Ρ乃 ¾体で構成さ れた レ ー ザー 管 と 、 該 レ ー ザ 一 管の 外周 面 に 接着 さ れ た 互い に 同 一 ピ ッ チの 2 つ の 螺旋状 導電体 と 、 該 2 つ の螺旋状導電偉間 に 高周波 の電圧 を 印加 す る 问 ] ¾ 波電源 と を有 す る こ と を特徴 と す る 高周 波励起周軸型 C 0 2
•2 つ の螺旋状導電体 は位相 が互 い に 1 8 0 ° なる よ う に 配 さ れる請求の範囲第 1 項記載の高周 波 i 起周軸 型 G 〇 2 レ一 w ― つ
3 . 上記 レ一ザ一管は 円 形断面 に 形成さ れる 請 求の 範簡 第 Ί 項記載の 高周 波励起周軸 型 C Ό レ ー 一。
4 . 上記導電体 ば m膜状 に 形成さ れ -¾ ¾求 の 範囲第 Ί 項 記載の |S) Jn] 励起同軸 型 G 0 2 レ — ザ 一
5 . 上記導電体 は導電性塗料が 記 レ ザ ー 管 の 外周 面 に 塗 さ れる こ と に よ つ て 形成 さ れ て い る 請求の範囲 第
4 項記載の高周波 )起周軸型 C O ? レ — ザ — α
PCT/JP1987/000060 1986-01-29 1987-01-28 Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation WO1987004869A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE8787901111T DE3781741T2 (de) 1986-01-29 1987-01-28 Koaxialer kohlenstoffdioxidlaser unter verwendung von hochfrequenzanregung.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6L/15595 1986-01-29
JP61015595A JPS62174990A (ja) 1986-01-29 1986-01-29 高周波励起同軸型ｃｏ２レ−ザ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO1987004869A1 true WO1987004869A1 (en) 1987-08-13

Family

ID=11893069

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP1987/000060 WO1987004869A1 (en) 1986-01-29 1987-01-28 Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4802184A (ja)
EP (1) EP0254747B1 (ja)
JP (1) JPS62174990A (ja)
DE (1) DE3781741T2 (ja)
WO (1) WO1987004869A1 (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63296382A (ja) * 1987-05-28 1988-12-02 Fanuc Ltd レ−ザ発振装置
JPH021191A (ja) * 1988-03-03 1990-01-05 Fanuc Ltd レーザ発振装置
DE3822229A1 (de) * 1988-07-01 1990-01-04 Messer Griesheim Gmbh Verfahren zum elektrischen anregen eines lasergases
JPH031585A (ja) * 1989-05-29 1991-01-08 Fanuc Ltd レーザ発振器用放電管
WO1993003520A1 (en) * 1991-07-29 1993-02-18 Fanuc Ltd Discharge tube for laser
JPH07142790A (ja) * 1993-11-17 1995-06-02 Fanuc Ltd レーザ用放電管及び電極作成方法
WO1999044264A1 (en) * 1998-02-25 1999-09-02 Motors Engineering A.K. Ltd. Gas laser with magnetic field inducing loops to stir the gas
DE102006030799B4 (de) * 2006-06-30 2010-06-17 Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh Gaslaser mit einem instabilen Laserresonator und einer Lichtleiterfaser
JP2013080743A (ja) * 2011-09-30 2013-05-02 Shibuya Kogyo Co Ltd レーザ発振装置

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3386043A (en) * 1964-07-31 1968-05-28 Bell Telephone Labor Inc Dielectric waveguide, maser amplifier and oscillator
US3427567A (en) * 1967-05-19 1969-02-11 Hughes Aircraft Co Gaseous laser discharge tube
JPS56138976A (en) * 1980-04-01 1981-10-29 Mitsubishi Electric Corp Voiceless discharge gas laser device
JPS603170A (ja) * 1983-06-21 1985-01-09 Mitsubishi Electric Corp 無声放電式ガスレ−ザ装置
JPS61142783A (ja) * 1984-12-17 1986-06-30 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ発振器用電極管
JPS61280689A (ja) * 1985-06-05 1986-12-11 Mitsubishi Electric Corp ガスレ−ザ装置
JPS61294882A (ja) * 1985-06-24 1986-12-25 Mitsubishi Electric Corp ガスレ−ザ発振器
JPS61295681A (ja) * 1985-06-25 1986-12-26 Mitsubishi Electric Corp 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3386043A (en) * 1964-07-31 1968-05-28 Bell Telephone Labor Inc Dielectric waveguide, maser amplifier and oscillator
US3427567A (en) * 1967-05-19 1969-02-11 Hughes Aircraft Co Gaseous laser discharge tube
JPS56138976A (en) * 1980-04-01 1981-10-29 Mitsubishi Electric Corp Voiceless discharge gas laser device
JPS603170A (ja) * 1983-06-21 1985-01-09 Mitsubishi Electric Corp 無声放電式ガスレ−ザ装置
JPS61142783A (ja) * 1984-12-17 1986-06-30 Mitsubishi Electric Corp レ−ザ発振器用電極管
JPS61280689A (ja) * 1985-06-05 1986-12-11 Mitsubishi Electric Corp ガスレ−ザ装置
JPS61294882A (ja) * 1985-06-24 1986-12-25 Mitsubishi Electric Corp ガスレ−ザ発振器
JPS61295681A (ja) * 1985-06-25 1986-12-26 Mitsubishi Electric Corp 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP0254747A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
JPS62174990A (ja) 1987-07-31
EP0254747A1 (en) 1988-02-03
EP0254747B1 (en) 1992-09-16
DE3781741D1 (de) 1992-10-22
DE3781741T2 (de) 1993-02-18
EP0254747A4 (en) 1988-02-16
US4802184A (en) 1989-01-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO1987004869A1 (en) Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation
JP3808493B2 (ja) 熱励起音波発生装置
HUP0100153A2 (hu) Induktív csatolású, elektród nélküli lámpa, gerjesztőtekercs induktív csatolású, elektród nélküli lámpához; integrált lámpafej induktív csatolású, elektród nélküli lámpához, oszcillátor, kettősfalú lámpatest, eljárás kettősfalú lámpatest gyártására és ...
GB2172739A (en) Laser gas discharge tube
JPS6353274A (ja) ガス相からのプラズマ活性化学堆積による導電成型体の製造方法
EP0357451B1 (en) A discharge tube arrangement
US6181068B1 (en) Plasma generating apparatus
WO1987004868A1 (en) Gas laser utilizing high-frequency excitation
JPH079408Y2 (ja) 高周波励起同軸型ｃｏ２ レーザー
US20080054791A1 (en) Dielectric barrier discharge excimer light source
JP2005322618A (ja) 誘電体バリア放電エキシマ光源
WO1988002938A1 (en) High-frequency electric discharge excited laser
WO1988002936A1 (en) Laser device excited by rf discharge
JP2001177173A (ja) ガスレーザ発振器
JP4544934B2 (ja) プラズマ処理装置
JP2004315257A (ja) オゾン発生器
JP4396513B2 (ja) 圧力波発生装置
JP2005154262A (ja) 放電発生部材
JPH09278410A (ja) オゾン発生装置
JPS62174986A (ja) 高周波励起気体レ−ザ−
JPS5851582A (ja) 横方向励起型ガスレ−ザ装置
JPH0690042A (ja) レーザ用放電管
JPS61219191A (ja) レーザーガス中の放電を励起する装置
JPS60157280A (ja) 気体レ−ザ発振装置
KR200248600Y1 (ko) 오존발생기용 유전체

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): US

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): DE FR GB

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 1987901111

Country of ref document: EP

WWP Wipo information: published in national office

Ref document number: 1987901111

Country of ref document: EP

WWG Wipo information: grant in national office

Ref document number: 1987901111

Country of ref document: EP