JPS61294882A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS61294882A JPS61294882A JP13595585A JP13595585A JPS61294882A JP S61294882 A JPS61294882 A JP S61294882A JP 13595585 A JP13595585 A JP 13595585A JP 13595585 A JP13595585 A JP 13595585A JP S61294882 A JPS61294882 A JP S61294882A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge tube
- power supply
- discharge
- silver
- laser oscillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ発振器特に、その放電管に密着せし
められる給１！電極の密着構造に関するものである。
められる給１！電極の密着構造に関するものである。
第２図及び第６図は例えば特開昭５６−１３８９７６号
公報に示嘔れた従来のＣＯ，軸流れ型レーザ発振器を示
すものである。図中（１）、 （２）は共振器ミラー、
（３）は放電管、（５）はプロア、（１２ａ） 、 （
１２ｂ）は放電管（３）に密着せしめられた給電電極、
（４）はレーザ媒質ガス冷却の為のガス冷却器、ａ４は
レーザ媒質ガスの流れを示している。放電管（３）は空
冷の場合と水冷の場合とがあり、水冷の場合！／ｃけ第
４図に示すように、放電管（３）の外側にチューブ状の
水冷ジャケットＧカが装置され、放電管（３）と水冷ジ
ャケットＯｉ）との間を冷却水（至）が流れるようにな
されている。
公報に示嘔れた従来のＣＯ，軸流れ型レーザ発振器を示
すものである。図中（１）、 （２）は共振器ミラー、
（３）は放電管、（５）はプロア、（１２ａ） 、 （
１２ｂ）は放電管（３）に密着せしめられた給電電極、
（４）はレーザ媒質ガス冷却の為のガス冷却器、ａ４は
レーザ媒質ガスの流れを示している。放電管（３）は空
冷の場合と水冷の場合とがあり、水冷の場合！／ｃけ第
４図に示すように、放電管（３）の外側にチューブ状の
水冷ジャケットＧカが装置され、放電管（３）と水冷ジ
ャケットＯｉ）との間を冷却水（至）が流れるようにな
されている。
そして、従来の装置において、給電電極（１２ａ）。
（１２ｂ）はステンレス等の金属を放電管に溶射あるい
は、有機材と含む銀の導電性ペイントにより装着せしめ
ていた。
は、有機材と含む銀の導電性ペイントにより装着せしめ
ていた。
欠に動作について説明する。放電管（３）内部にはレー
ザ媒質ガスα尋が流れており、放電管（３）外側の相対
する給１！電極（１２ａ）、 （１２ｂ） ＶＣ電源（
３）よりの電力を投入することにより放電管（３）内に
放電が生じ、レーザ発振に必要なレーザ媒質ガスの励起
が行なわれる。電源より放電入力が給電電極（３）に電
力を投入せしめた時に、給電電極（３）内に気泡があっ
たり、あるいけ放電管（３）と給電電極（１２ａ）、
（１２ｂ）の間の密着性が悪いと、該気泡あるいは空ゲ
キ部において極部的な放電が起り、熱消費による効率の
低下、さらには極部的な熱発生の為セラミック製放電管
が破損する可能性が高まることが判っている。これは、
たとえ−水冷放電管であっても水の水蒸気化により前気
空ゲキが気体状態となり前述現象が発生する。
ザ媒質ガスα尋が流れており、放電管（３）外側の相対
する給１！電極（１２ａ）、 （１２ｂ） ＶＣ電源（
３）よりの電力を投入することにより放電管（３）内に
放電が生じ、レーザ発振に必要なレーザ媒質ガスの励起
が行なわれる。電源より放電入力が給電電極（３）に電
力を投入せしめた時に、給電電極（３）内に気泡があっ
たり、あるいけ放電管（３）と給電電極（１２ａ）、
（１２ｂ）の間の密着性が悪いと、該気泡あるいは空ゲ
キ部において極部的な放電が起り、熱消費による効率の
低下、さらには極部的な熱発生の為セラミック製放電管
が破損する可能性が高まることが判っている。これは、
たとえ−水冷放電管であっても水の水蒸気化により前気
空ゲキが気体状態となり前述現象が発生する。
特に、有機材を含む銀の導甫、性ペイントは、放電入力
によりその有機成分がガス化し、給電電極内に空ゲキ（
ボイド）を生じる。また、溶射法においては、給電電極
と放電管は主に機械的摩擦により結合しており、その間
には多くの空ゲキがあり、また溶射金属粒子間の隙間に
も少くとも１％程度以上の気孔が生じる。
によりその有機成分がガス化し、給電電極内に空ゲキ（
ボイド）を生じる。また、溶射法においては、給電電極
と放電管は主に機械的摩擦により結合しており、その間
には多くの空ゲキがあり、また溶射金属粒子間の隙間に
も少くとも１％程度以上の気孔が生じる。
従来のレーザ発振器の放電管は以上のよう・に給［１！
極を装着されているので、給電電極（金属）内部あるい
け給電電極と放電管の間の間隙におけるボイド（気孔）
において、極部放電が生じ、電源効率が低下し、しかも
極部熱発生により放電管の耐久性が低下するという問題
点があった。
極を装着されているので、給電電極（金属）内部あるい
け給電電極と放電管の間の間隙におけるボイド（気孔）
において、極部放電が生じ、電源効率が低下し、しかも
極部熱発生により放電管の耐久性が低下するという問題
点があった。
この発明は上記のような問題点を解消する之めになされ
たもので、電源効率の良いしかも放電管の耐久性が向上
したレーザ発振器の放電管を得ることを目的とする。
たもので、電源効率の良いしかも放電管の耐久性が向上
したレーザ発振器の放電管を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ発振器の放電管は、給電電極を銀
鏡反応によりガラス系あるいはセラミック製の放電管に
装置することにより、該放電管と該給１！電極の間の間
隙及び給電電極内部の気孔を無くしたものである。
鏡反応によりガラス系あるいはセラミック製の放電管に
装置することにより、該放電管と該給１！電極の間の間
隙及び給電電極内部の気孔を無くしたものである。
この発明におけるレーザ発振器の放電管は、上記の間隙
及び気孔を無くしたことにより極所放電が阻止され、こ
れにより、電源効率を向上し、また極所熱発生による前
記放電管の耐久性を向上せしめる。
及び気孔を無くしたことにより極所放電が阻止され、こ
れにより、電源効率を向上し、また極所熱発生による前
記放電管の耐久性を向上せしめる。
以下この発明における一実施例を図について説明する。
装置の基本構成は従来装置（第２図及び第３図）と同一
であり、その説明は省略する。
であり、その説明は省略する。
給電電極（２）は放電管（３）にいわゆる銀鏡反応によ
って密着させられている。ここで、銀鏡反応とは銀イオ
ンを含む溶液を用い化学反応により銀イオンを金属銀と
して析出させ、溶液中に存在する団体表面に銀の襟膜を
形成するもので、前記放電管の給電電極装着部分以外の
部分をマスキングして銀鏡反応処理を行えば、該給電電
極形状に金属銀の層が形成される。銀鏡反応によれば、
化学的析出反応の為、放電管との間には気孔等の空隙が
存在せず、むしろ放電管狭面の凹凸面の内にまで金！＠
銀が入りこみ、非常に密着性が高い。しかも、析出した
金属銀内部には気孔は存在せず非常に気孔率の低い給電
電極体ができる。
って密着させられている。ここで、銀鏡反応とは銀イオ
ンを含む溶液を用い化学反応により銀イオンを金属銀と
して析出させ、溶液中に存在する団体表面に銀の襟膜を
形成するもので、前記放電管の給電電極装着部分以外の
部分をマスキングして銀鏡反応処理を行えば、該給電電
極形状に金属銀の層が形成される。銀鏡反応によれば、
化学的析出反応の為、放電管との間には気孔等の空隙が
存在せず、むしろ放電管狭面の凹凸面の内にまで金！＠
銀が入りこみ、非常に密着性が高い。しかも、析出した
金属銀内部には気孔は存在せず非常に気孔率の低い給電
電極体ができる。
さらに密着性を向上させる為には１．第１図に示すよう
に放電管上の銀鏡反応による銀コーテイングをする部分
に、前処理としてサンドブラストあるいはショット仕上
げあるいけドライホーニング等の茂面荒し仕上げをする
とよい（荒仕上げ加工部３３）。また、端部からはくり
しないように前記部分のみ背仕上げ（＠仕上げ加工部６
４）をするのもよい方法である。
に放電管上の銀鏡反応による銀コーテイングをする部分
に、前処理としてサンドブラストあるいはショット仕上
げあるいけドライホーニング等の茂面荒し仕上げをする
とよい（荒仕上げ加工部３３）。また、端部からはくり
しないように前記部分のみ背仕上げ（＠仕上げ加工部６
４）をするのもよい方法である。
なお上記実施例では細流型ＳＤ放電方式ＣＯ，ガスレー
ザについて説明したが、レーザ媒質ガスはこれに限られ
ない。また、ＳＤ放電励起方式でなくともよく、例えば
ＤＣ放電方式でも良いことはもちろんである。
ザについて説明したが、レーザ媒質ガスはこれに限られ
ない。また、ＳＤ放電励起方式でなくともよく、例えば
ＤＣ放電方式でも良いことはもちろんである。
以上のように、この発明によ、れば、レーザ発振器の放
電管に給電電極な銀鏡反応により密着させたので、放電
管と給電電極間および給電電極内の気孔のないものが得
られることにより、放電効率が良く、しかも前記気孔に
おける極部的（ボイド）放電により生じる熱発生に起因
する放電管の破壊のないレーザ発振器の得られる効果が
ある。
電管に給電電極な銀鏡反応により密着させたので、放電
管と給電電極間および給電電極内の気孔のないものが得
られることにより、放電効率が良く、しかも前記気孔に
おける極部的（ボイド）放電により生じる熱発生に起因
する放電管の破壊のないレーザ発振器の得られる効果が
ある。
第１図はこの発明Ｖこおける放電管の実施例のう゛ ち
、銀鏡反応処理前に前処理を行ったものの断面図、第２
図及び第６図は従来のレーザ発振器概要図及びその断面
図、第４図は水冷式放電管を示す図である。 （１）、（２）は共振器ミラー、（３）は放電管、（６
）は給電電極、（ト）は電源、α４ｉｊレーザ媒質ガス
、（至）は荒仕上げ加工部、（ロ）は酵加工部。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 ３３；表圓龍仕趙Ｘ加工部 ３４： 溝 方ロ 工部 第３図 第４図
、銀鏡反応処理前に前処理を行ったものの断面図、第２
図及び第６図は従来のレーザ発振器概要図及びその断面
図、第４図は水冷式放電管を示す図である。 （１）、（２）は共振器ミラー、（３）は放電管、（６
）は給電電極、（ト）は電源、α４ｉｊレーザ媒質ガス
、（至）は荒仕上げ加工部、（ロ）は酵加工部。 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 ３３；表圓龍仕趙Ｘ加工部 ３４： 溝 方ロ 工部 第３図 第４図
Claims (2)
- （１）共振器を構成する複数のミラーとレーザ媒質ガス
励起の為の各種ガラス質もしくは各種セラミック製のチ
ューブ状の放電管と、放電電力を投入する電源と、前記
チューブ状放電管に前記電源からの電力給電する給電電
極とを有する軸流れ型ガスレーザ発振器において、前記
給電電極は銀鏡反応によつて前記放電管に密着加工せし
められた事を特徴とするガスレーザ発振器。 - （２）サンドブラスト、サンドショット、ドライホーニ
ングいづれかの前処理がなされた放電管に、前記給電電
極が密着加工されたことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13595585A JPS61294882A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13595585A JPS61294882A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294882A true JPS61294882A (ja) | 1986-12-25 |
Family
ID=15163745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13595585A Pending JPS61294882A (ja) | 1985-06-24 | 1985-06-24 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294882A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987004869A1 (en) * | 1986-01-29 | 1987-08-13 | Fanuc Ltd | Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation |
| WO1988009577A1 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| US6334902B1 (en) * | 1997-09-24 | 2002-01-01 | Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) | Method and apparatus for removing a liquid from a surface |
| WO2008131744A2 (de) * | 2007-04-27 | 2008-11-06 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laserentladungsrohr fur einen gaslaser und herstellungsverfahren dafür |
| US7867565B2 (en) | 2003-06-30 | 2011-01-11 | Imec | Method for coating substrates |
-
1985
- 1985-06-24 JP JP13595585A patent/JPS61294882A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987004869A1 (en) * | 1986-01-29 | 1987-08-13 | Fanuc Ltd | Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation |
| US4802184A (en) * | 1986-01-29 | 1989-01-31 | Fanuc Ltd | High frequency discharge excited coaxial type CO2 laser |
| WO1988009577A1 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| US6334902B1 (en) * | 1997-09-24 | 2002-01-01 | Interuniversitair Microelektronica Centrum (Imec) | Method and apparatus for removing a liquid from a surface |
| US7867565B2 (en) | 2003-06-30 | 2011-01-11 | Imec | Method for coating substrates |
| WO2008131744A2 (de) * | 2007-04-27 | 2008-11-06 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laserentladungsrohr fur einen gaslaser und herstellungsverfahren dafür |
| WO2008131744A3 (de) * | 2007-04-27 | 2009-07-09 | Trumpf Laser & Systemtechnik | Laserentladungsrohr fur einen gaslaser und herstellungsverfahren dafür |
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