JPS61295681A - 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管 - Google Patents
軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管Info
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- JPS61295681A JPS61295681A JP13690485A JP13690485A JPS61295681A JP S61295681 A JPS61295681 A JP S61295681A JP 13690485 A JP13690485 A JP 13690485A JP 13690485 A JP13690485 A JP 13690485A JP S61295681 A JPS61295681 A JP S61295681A
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、細流型ガスレーザ発振器の放電管に関する
ものである。
ものである。
第４図は従来の軸流型ガスレーザ発振器の一例である炭
酸ガスレーザ発振器の概念を示す説明図である。図にお
いて、（１）は薄肉の円筒状放電管、（２）は部分反射
鏡、（３）は高反射鏡で、それら反射鏡（２）、 （３
）で光共振器を構成し、放電管（１）と同軸に対向して
配設されている。（４）は放電管（１）に連通している
レーザ媒質ガス（炭酸ガス）の供給側ダクト、（４ａ）
は放電管（１）に連通しているレーザ媒質ガス（炭酸ガ
ス）の排出側ダクト、（５）、（５ａ）ｆｄダクト（４
）、（４ａ）に介装されたレーザ媒質ガス（炭酸ガス）
の冷却器で、放電管（１）に供給およびこれから排出さ
れるレーザ媒質ガス（炭酸ガス）を冷却する。（６）は
冷却器（５）、（５ａ）間を連通ずるダクト（４ｂ）Ｋ
介装されたレーザ媒質ガス（炭酸ガス）の循環用ブロワ
、（力はダクト（４）。
酸ガスレーザ発振器の概念を示す説明図である。図にお
いて、（１）は薄肉の円筒状放電管、（２）は部分反射
鏡、（３）は高反射鏡で、それら反射鏡（２）、 （３
）で光共振器を構成し、放電管（１）と同軸に対向して
配設されている。（４）は放電管（１）に連通している
レーザ媒質ガス（炭酸ガス）の供給側ダクト、（４ａ）
は放電管（１）に連通しているレーザ媒質ガス（炭酸ガ
ス）の排出側ダクト、（５）、（５ａ）ｆｄダクト（４
）、（４ａ）に介装されたレーザ媒質ガス（炭酸ガス）
の冷却器で、放電管（１）に供給およびこれから排出さ
れるレーザ媒質ガス（炭酸ガス）を冷却する。（６）は
冷却器（５）、（５ａ）間を連通ずるダクト（４ｂ）Ｋ
介装されたレーザ媒質ガス（炭酸ガス）の循環用ブロワ
、（力はダクト（４）。
（４ａ）、（４ｂ）と放電管（１）の循環系統を減圧す
るための真空ポンプ、（８）は供給するレーザ媒質ガス
（炭酸ガス）のボ／ぺである。
るための真空ポンプ、（８）は供給するレーザ媒質ガス
（炭酸ガス）のボ／ぺである。
第５図は第４図で示した軸流型ガスレーザ発振器に用い
られる放電管（１）の−例の説明図、第６図はその放電
管部分の断面図である。図において、（１）、 （２）
、 （３）、 （４）、 （４ａ ） 、 （５）、
（６）は第４図に示したものと相当のものである。（
イ）は断面円形の放電管（１）の外周面に螺旋状に取付
けた金属電極、（財）は電源、ｇ３は電源（ハ）と金属
電極（１）とを接続する電線である。々お０！２は放電
管（１）の穴の断面である。
られる放電管（１）の−例の説明図、第６図はその放電
管部分の断面図である。図において、（１）、 （２）
、 （３）、 （４）、 （４ａ ） 、 （５）、
（６）は第４図に示したものと相当のものである。（
イ）は断面円形の放電管（１）の外周面に螺旋状に取付
けた金属電極、（財）は電源、ｇ３は電源（ハ）と金属
電極（１）とを接続する電線である。々お０！２は放電
管（１）の穴の断面である。
また第７図は第４図で示した軸流型ガスレーザ発振器に
用いられる放電管（１）の他の例を示す斜視図で、放電
管（１）の外周面と当接するように断面を円弧状に形成
し念横長の金属電極（１）、 （３０ａ）を放電管（１
）の外周面の上面と下面に対向して取付けたものである
。なお、第８図は第７図で示した放電管（１ンの断面図
で、（イ）は放電管（１）の穴の断面である。
用いられる放電管（１）の他の例を示す斜視図で、放電
管（１）の外周面と当接するように断面を円弧状に形成
し念横長の金属電極（１）、 （３０ａ）を放電管（１
）の外周面の上面と下面に対向して取付けたものである
。なお、第８図は第７図で示した放電管（１ンの断面図
で、（イ）は放電管（１）の穴の断面である。
従来の軸流型ガスレーザ発振器とその放電管（１）は上
記のように構成され、レーザ媒質ガスは供給側ダクト（
４）から放電管（１）内に流入し、金属電極（イ）。
記のように構成され、レーザ媒質ガスは供給側ダクト（
４）から放電管（１）内に流入し、金属電極（イ）。
■、（６０−に電源（ハ）から電力を投入して放電管（
１ン内で放電を生じ１せ、レーザ媒質ガスの励起が行な
われる。″またレーザ媒質ガスは温度が上昇するため、
排出側ダク）（４ａ）から排出され念レーザ媒質ガスは
、冷却器（５）、（５ａ）および循環用ブロワ（６）
１に通して供給側ダクト（４）に供給され、ガスレーザ
発振器内を循環する。
１ン内で放電を生じ１せ、レーザ媒質ガスの励起が行な
われる。″またレーザ媒質ガスは温度が上昇するため、
排出側ダク）（４ａ）から排出され念レーザ媒質ガスは
、冷却器（５）、（５ａ）および循環用ブロワ（６）
１に通して供給側ダクト（４）に供給され、ガスレーザ
発振器内を循環する。
ところで、放電管（１）内の穴（ロ）、Ｇ９で放電させ
ると、金属電極（１）、（１）、 （３０ａ）−のエ
ツジに相当する部分に電界が集中するが、放電管（１）
の管壁厚さが一定であるため、を界が集中する管壁の部
分は強度的に耐えられなくなり、その部分および付近か
ら容易に破壊していた。
ると、金属電極（１）、（１）、 （３０ａ）−のエ
ツジに相当する部分に電界が集中するが、放電管（１）
の管壁厚さが一定であるため、を界が集中する管壁の部
分は強度的に耐えられなくなり、その部分および付近か
ら容易に破壊していた。
また、放電管（１）の断面は、管壁厚ざが一定の円形で
あり、対向して取付けられた金属電極…、ＯＩ。
あり、対向して取付けられた金属電極…、ＯＩ。
（３０ａ）も同じ曲面であるから、対向する金属電極（
１）、 Ｃ３ｃ＞、 （３０ａ）のエツジ間の距離は
最も短かくなり、上記の電界が集中することもあって、
穴（２）。
１）、 Ｃ３ｃ＞、 （３０ａ）のエツジ間の距離は
最も短かくなり、上記の電界が集中することもあって、
穴（２）。
Ｇ■での金ｉｔ極翰、（１）、 （３０ａ）のエツジ
間は放電密度が高くなる。第９図は放電中の放電管（１
）の断面図で、（至）、 （３６ａ） け穴（２）、υ
の放電密度の高い部分を示し比ものである。
間は放電密度が高くなる。第９図は放電中の放電管（１
）の断面図で、（至）、 （３６ａ） け穴（２）、υ
の放電密度の高い部分を示し比ものである。
上記のような従来の軸流型ガスレーザ発振器の放電管（
１ンは管壁厚みが薄くて一定の円筒状であるため、対向
する金属電極（１）、（１）、 （３０ａ）のエツジ
に電界が集中し、これらのエツジ間の放電密度が高くな
り、そのため放電管（１）の破壊の危険性が高く、放電
管（１）内の放電密度を均一にするのが困難であるとい
う問題があった。
１ンは管壁厚みが薄くて一定の円筒状であるため、対向
する金属電極（１）、（１）、 （３０ａ）のエツジ
に電界が集中し、これらのエツジ間の放電密度が高くな
り、そのため放電管（１）の破壊の危険性が高く、放電
管（１）内の放電密度を均一にするのが困難であるとい
う問題があった。
この発明はかかる問題点を解決するためになされたもの
で、放電管が破壊せず、放電管内の放電密度が均一な軸
流型ガスレーザ発振器の放電管を得ることを目的とする
。
で、放電管が破壊せず、放電管内の放電密度が均一な軸
流型ガスレーザ発振器の放電管を得ることを目的とする
。
この発明に係る軸流型ガスレーザ発振器の放電管は、横
長の形状とし、少くともほぼ等間隔に形成した対向面に
金属電極を取付け、長手方向には全長にわたって断面が
円形または楕円形の直線状の穴を設けたものである。
長の形状とし、少くともほぼ等間隔に形成した対向面に
金属電極を取付け、長手方向には全長にわたって断面が
円形または楕円形の直線状の穴を設けたものである。
この発明においては、対向する金属電極は各部分が等間
隔にあり、かつ金属電極が取付けられた部分の放電管の
外形断面は平面に近い面で放電が行なわれる穴を狭む状
態となるので、金属電極のエツジに相当する放電管の管
壁は厚くなり、放電電力密度は均一となる。
隔にあり、かつ金属電極が取付けられた部分の放電管の
外形断面は平面に近い面で放電が行なわれる穴を狭む状
態となるので、金属電極のエツジに相当する放電管の管
壁は厚くなり、放電電力密度は均一となる。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図、第２図はそ
の断面図である。図において、（埒は誘電体で形成され
た放電管であり、外形は断面が四角の直方体に形成され
、長手方向に断面が円形で１査線状の穴ａ２が設けられ
ている。−は放電管Ｏｎの上面に取付けらｆした長方形
の平板状金属＠極、（４４ａ）は上面の金属電極■と対
向して放電管（１０の下面に取付けられた同一形状の金
属電極である。（ハ）は電源ｆ２１）と金属１１Ｌ極■
、 （４４ａ）を接続する電線である。
の断面図である。図において、（埒は誘電体で形成され
た放電管であり、外形は断面が四角の直方体に形成され
、長手方向に断面が円形で１査線状の穴ａ２が設けられ
ている。−は放電管Ｏｎの上面に取付けらｆした長方形
の平板状金属＠極、（４４ａ）は上面の金属電極■と対
向して放電管（１０の下面に取付けられた同一形状の金
属電極である。（ハ）は電源ｆ２１）と金属１１Ｌ極■
、 （４４ａ）を接続する電線である。
このように構成された放電管０ｄを使用するには、例え
ば第４図で示すガスレーザ発振器の放電管（１）の代す
にこの発明に係る放電管（７）を設ける。そしてレーザ
媒質ガス（炭酸ガス）を放電管θ０に供給し、炭酸ガス
の励起を従来の炭酸ガスレーザ発振器と同様の動作で行
なう。その場合電源９１）より金ｒ７１４電極（財）、
（４４ａ）に電力を供給しても、金属電極■、
（４４ａ）は平板であり、かつ放電領域０２の断面は円
形であるので、金属電極■、 （４４ａ）のエツジに対
応する穴（６）の位置は円形の中心から離れた左右の位
置となり、その位置での放電管（４Ｉの管壁は厚いため
、電場集中は起らない。
ば第４図で示すガスレーザ発振器の放電管（１）の代す
にこの発明に係る放電管（７）を設ける。そしてレーザ
媒質ガス（炭酸ガス）を放電管θ０に供給し、炭酸ガス
の励起を従来の炭酸ガスレーザ発振器と同様の動作で行
なう。その場合電源９１）より金ｒ７１４電極（財）、
（４４ａ）に電力を供給しても、金属電極■、
（４４ａ）は平板であり、かつ放電領域０２の断面は円
形であるので、金属電極■、 （４４ａ）のエツジに対
応する穴（６）の位置は円形の中心から離れた左右の位
置となり、その位置での放電管（４Ｉの管壁は厚いため
、電場集中は起らない。
また、金属電極Ｇ１４ 、 （４４ａ）は平板であり
、かつ放電管００の断面が四角形であるので、金属電極
（財）。
、かつ放電管００の断面が四角形であるので、金属電極
（財）。
（４４ａ）間は全て等間隔となり、放電領域働は均一な
放を電力密度となる。
放を電力密度となる。
さらに、従来の放電管（１）より外形面積が増大するた
め、冷却面積か増大して冷却効果が大きくなり、放電管
に）の耐久性も向上する。
め、冷却面積か増大して冷却効果が大きくなり、放電管
に）の耐久性も向上する。
なお、上記実施例では、放電管αＣＪを断面が四角形の
直方体にしているが、外形上対向するほぼ等間隔な而を
有する方形であれば、どのような形状でもよく、レーザ
媒質ガスも炭酸ガス以外のものを使用できることはいう
までもない。また励起もＳＤ励起方式に限らない。
直方体にしているが、外形上対向するほぼ等間隔な而を
有する方形であれば、どのような形状でもよく、レーザ
媒質ガスも炭酸ガス以外のものを使用できることはいう
までもない。また励起もＳＤ励起方式に限らない。
第６図はこの発明の他の実施例の斜視図である。
図において、関は放電管であり、断面が方形の直方体を
ひねったような外形にしたものである。このような形状
にしてもほぼ等間隔の対向する面が形成されるから、上
記実施例、の放電管顛と同様の効果が生ずる。なお、６
カは断面が円形で直線状の穴徊、 （５４ａ）は放電管
図の変形し丸面に対向して取付けた。同じ変形形状の金
属電極である。
ひねったような外形にしたものである。このような形状
にしてもほぼ等間隔の対向する面が形成されるから、上
記実施例、の放電管顛と同様の効果が生ずる。なお、６
カは断面が円形で直線状の穴徊、 （５４ａ）は放電管
図の変形し丸面に対向して取付けた。同じ変形形状の金
属電極である。
ところで、上記各実施例で示した放電管（ト）２図に両
端部に反射鏡（２）、 （３）または中央部にはレーザ
媒質ガスの供給側ダクＩ−（４）および排出側ダクト（
４ａ）を取付ける場合、放電管■、（！４の両端部およ
び中央部の断面外形は円形となっていると便利な場合が
ある。そのような場合、それらの位置は金属電極板Ｈ、
（４４ａ） 、 Ｆ４ 、 （５４ａ）を取付けないで
、断面外形を円形としてもよい。
端部に反射鏡（２）、 （３）または中央部にはレーザ
媒質ガスの供給側ダクＩ−（４）および排出側ダクト（
４ａ）を取付ける場合、放電管■、（！４の両端部およ
び中央部の断面外形は円形となっていると便利な場合が
ある。そのような場合、それらの位置は金属電極板Ｈ、
（４４ａ） 、 Ｆ４ 、 （５４ａ）を取付けないで
、断面外形を円形としてもよい。
゛また上記各実施例では穴（６）、υを断面が円形の直
線状に形成しているが、断面が楕円形で直線状の中空に
してもよい。
線状に形成しているが、断面が楕円形で直線状の中空に
してもよい。
この発明は以上説明したとおり、放電管に対向する金属
電極を各部分がほぼ等間隔になるように取付け、かつ金
属電極の各エツジに相当する放電管の外形を穴との厚さ
を厚くしたので、放電管は破壊せず、放電電力密度が均
一となり、冷却効果も高くなり耐久性も向上するという
種々の効果が得られる。
電極を各部分がほぼ等間隔になるように取付け、かつ金
属電極の各エツジに相当する放電管の外形を穴との厚さ
を厚くしたので、放電管は破壊せず、放電電力密度が均
一となり、冷却効果も高くなり耐久性も向上するという
種々の効果が得られる。
第１図はこの発明の一実施例の斜視図、第２図はその断
面図、第６図はこの発明の他の実施例の斜視図、第４図
は従来の軸流型ガスレーザ発振器の一例の説明図、第５
図は従来の放電管の一例の説明図、第６図はその断面図
、第７図は従来の放電管の他の例の斜視図、＠８図はそ
の断面図、第９図は従来の放電管の放電状態を示す断面
図である。 図において、（至）、閃は放電管、（６）、６カは穴、
■。 （４４ａ） 、 ６４ 、 （５４ａ）は金属電極で
ある。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示代理人
弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第３図 ４Ｇ 第５図 第６図
面図、第６図はこの発明の他の実施例の斜視図、第４図
は従来の軸流型ガスレーザ発振器の一例の説明図、第５
図は従来の放電管の一例の説明図、第６図はその断面図
、第７図は従来の放電管の他の例の斜視図、＠８図はそ
の断面図、第９図は従来の放電管の放電状態を示す断面
図である。 図において、（至）、閃は放電管、（６）、６カは穴、
■。 （４４ａ） 、 ６４ 、 （５４ａ）は金属電極で
ある。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示代理人
弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２図 第３図 ４Ｇ 第５図 第６図
Claims (2)
- （１）レーザ媒質ガスを励起してレーザ光を放射する軸
流型ガスレーザ発振器において、誘電体よりなる部材を
横長とし、長手方向の外面の少くとも金属電極を取付け
る面を長手方向に沿つてほぼ等間隔に対向して形成し、
該面にそれぞれ金属電極を取付け、かつ長手方向の中心
部に全長にわたつて断面が円形又は楕円形の直線状の穴
を設けたことを特徴とする軸流型ガスレーザ発振器の放
電管。 - （２）上記放電管の外形は直方体に形成され、該直方体
の対向する２面に該面とほぼ同一の幅で、かつ上記放電
管の長手方向に上記放電管の長さとほぼ同じ長さの金属
電極を取付けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の軸流型ガスレーザ発振器の放電管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13690485A JPS61295681A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13690485A JPS61295681A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61295681A true JPS61295681A (ja) | 1986-12-26 |
Family
ID=15186284
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13690485A Pending JPS61295681A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 軸流型ガスレ−ザ発振器の放電管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61295681A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987004869A1 (en) * | 1986-01-29 | 1987-08-13 | Fanuc Ltd | Coaxial co2 laser utilizing high-frequency excitation |
| WO1988009577A1 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
| JPS647669A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-11 | Komatsu Mfg Co Ltd | Gas laser oscillator |
| JPS648686A (en) * | 1987-06-30 | 1989-01-12 | Fanuc Ltd | Method for controlling laser gas pressure |
| JPH01151279A (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-14 | Komatsu Ltd | ガスレーザ装置 |
| JPH01258482A (ja) * | 1988-04-08 | 1989-10-16 | Fanuc Ltd | ガスレーザ装置用放電管 |
| JP2000133861A (ja) * | 1998-10-23 | 2000-05-12 | Shibuya Kogyo Co Ltd | プラズマチューブ |
| EP3453084A4 (en) * | 2016-05-05 | 2020-02-05 | Auroma Technologies, Co., LLC D/B/A Access Laser Company | DIELECTRIC ELECTRODE ASSEMBLY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| US10593776B2 (en) | 2016-05-05 | 2020-03-17 | Auroma Technologies, Co., Llc. | Dielectric electrode assembly and method of manufacture thereof |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP13690485A patent/JPS61295681A/ja active Pending
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